JP2581479B2 - クリーンルーム間仕切装置及びその組立方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム間仕切装
置及びその組立方法に関し、特に既製の定形パネルを床
面と天井面とで固定を行なう間仕切装置とその組立方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路を高歩留りで製造するた
めには、厳密に管理された無塵室が不可欠である。この
無塵室は、半導体集積回路ウェハ上に形成される所望の
回路機能に影響を及ぼすようなミストやダスト等の塵埃
が空気中に浮んでいないいわゆるクリーンルームであ
る。このようなクリーンルームは、必要に応じてグレー
ド別に分かれており、グレードの相異なるクリーンルー
ム間等には間仕切装置が必要となる。

【０００３】特に大空間を間仕切る場合において、工期
の短さやフレキシビリテイの良さ等から、既製の定形パ
ネルを用いる場合が多く、その固定には、床面と天井面
とに現地施工のビス止めにより行なっている。

【０００４】この種の間仕切装置には、次のような問題
点がある。第１の問題点は、間仕切をエアタイトにする
ためコーキング剤を使用しているが、接着力が強く、レ
イアウト変更の際には取り外し時に構成部品の変形時が
生じて再利用が難しいことである。第２の問題点は、ビ
ス止め用下穴等の開口を、現地で施工しているため、発
塵があることである。第３の問題点は、特にシステム天
井を利用した高清浄度のクリーンルームにおいては、定
形パネルの固定は天井グリッドに予め設けられたインサ
ート部を利用しなくてはならないといった制約条件があ
ることである。

【０００５】従来のこの種のクリーンルーム間切装置を
示す図１０の見取図を参照すると、まず、格子状に張り
めぐらされたシステム天井のグリッド３１の交差部の十
字ジョイント３２に標準装備されているインサート３３
を利用し、このインサート３３にＬ字形のアルミニウム
製のアングル３５を専用ボルト３４で固定し、天井に固
定されたアルミアングル３５の鉛直床面のフロアにも同
様にＬ字形のアルミアングル３６を設置し、ビス３７で
固定する。ここで、天井グリッド３１には、ずでに気密
性のある天井板を張りめぐらせているが、図示はしてい
ない。

【０００６】次に、既製品の定形パネル３８を所定位置
３８に取付け、アルミアングル３５、３６とこのパネル
３８とをビス３９で固定する。これでパネル固定の現場
作業は終了であるが、各部はビス止めだけで固定されて
いる為、隙間が有り、エアタイト性が低いため、各部の
シールが必要となる。そこで、次に、パネル各部のシー
ル作業が必要となり、その方法につき説明する。

【０００７】以上の従来技術によって固定された間仕切
の断面図である図１１を参照すると、システム天井のグ
リッド３１とレイズドフロア４２との間に固定された定
型パネル３８には、グリッド３１−アングル３５間，ア
ングル３５−定型パネル３８間，定型パネル３８−アン
グル３６間，アングル３６−レイズドフロア４２間に、
それぞれ隙間が生じる。この隙間のある部分のエアタイ
ト性と防塵性とを高めるため、シリコン系シール剤４
５、４６にてシールを全周に渡り施す。このシール作業
の終了により、間仕切工事は完成となる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この従来のクリーンル
ームの間仕切装置では、間仕切パネル３８の固定をビス
止めで行なう関係上、ビス止め以前に現地施工でパネル
３８への下穴開口が必要であり、この際に発塵するとい
う上記第２の問題点が解決されていない。また、レイア
ウト変更にともなう部品の再利用という点では、パネル
固定に使用したアルミアングルは接着しているため、撤
去時に変形してしまうことから、再利用は困難であると
いう上記第１の問題点が解決されていない。

【０００９】施工時間の点では、軽量鉄骨を利用した施
工方法に比較すれば短縮されてはいるものの、パネル−
アングル間の隙間のシール剤塗布、パネル撤去に伴うシ
ール剤撤去には、熟練した技能が必要であり、施工時間
の大半をシール作業に費やしてしまう。

【００１０】一方、このようなシール剤には、シリコン
系の物が一般的に使用されるが、近年、このシール剤中
には、製品によって混入量の多少はあるものの、半導体
の製造プロセスにとって有害な揮発性ガス等の物質が混
入している事が判り、その使用量を減少させる事が重要
になってきている。

【００１１】このシリコン系のシール剤からは、硬化に
伴い脱ガス化する縮合物質（オキシム，酢酸他）と、未
反応残留物質である低分子シロキサンの脱ガス化があ
る。特に後者は、半永久的に脱ガス化し、二酸化シリコ
ン化して塵埃となる。

【００１２】以上のような従来技術の諸問題点等に鑑
み、本発明では、次の課題を掲げる。 （１）気密性を良好に保てること。 （２）施工時に塵埃が生じないようにすること。 （３）塵埃の発生源となるような電動ドリル等の工具を
現場に持ち込まないで施工できるようにすること。 （４）構成部品の再利用が可能なように、撤去できるこ
と。 （５）間仕切の施工・撤去が、半導体製造工場では多い
ため、その作業が短時間でできるようにすること。 （６）間仕切のレイアウト変更にも、直ちに応じられる
ようにすること。 （７）施工・撤去作業に特殊な技能がなくとも済むよう
にすること。 （８）現地施工に際しては、部品の加工を行わず、組み
立てだけで済むようにすること。 （９）接着性のシール剤を使用しないで済むようにする
こと。 （１０）シリコン系のシール剤を使用しないで、気密性
を保てるようにすること。 （１１）雰囲気温度による構成部品の膨張・収縮によっ
て、気密性が低下し、塵埃が取り込まれることのないよ
うにすること。特に工場休日における夏冬の雰囲気温度
差は、５０°近くに達するので、無視できない事項であ
る。 （１２）天井グリッドに設けられたインサート部を使用
しなくとも、固定できるようにすること。 （１３）人体等の側面負荷による外力によって、破壊さ
れない機械的強度を有すること。 （１４）製造される半導体集積回路ウェハの製造歩留り
を向上させると共に、信頼性も高めること。 （１５）構成部品を標準化して、部品点数を少なくする
こと。 （１６）組立・撤去作業を省力化すること。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の第１のクリーン
ルーム間仕切装置の構成は、クリーンルーム間の仕切壁
材となるパネルと、天井グリッドの一側面に当接するガ
スケット及び前記パネルの一端部の一主面に当接するガ
スケットを備えた第１の金具と、前記天井グリッドの反
対側面に当接するガスケット及び前記パネルの一端部の
反対主面に当接するガスケットを備えた第２の金具と、
前記グリッドの両側面及び前記パネルの一端部の両主面
を挟み込むように前記第１，第２の金具を互いに締め付
ける第１のボルトと、床面に固定する角材と、前記パネ
ルの他端部の一主面に当接するガスケット及び前記角材
の一側面に当接するガスケットを備えた第３の金具と、
前記パネルの他端部の反対主面に当接するガスケット及
び前記角材の反対側面に当接するガスケットを備えた第
４の金具と、前記パネルの他端部の両主面及び前記角材
の両側面を挟み込むように前記第３，第４の金具を互い
に締め付ける第２のボルトとを含むことを特徴とする。

【００１４】本発明の第２のクリーンルーム間仕切装置
の構成は、天井グリッドの一側面に当接するガスケット
を備えた第１の金具、及び床面に固定された角材の一側
面に当接するガスケットを備えた第３の金具が、一主面
がわの一端部，一主面がわの他端部にそれぞれ固定さ
れ、クリーンルーム間の仕切壁材となるパネルと、前記
天井グリッドの反対側面に当接するガスケット及び前記
パネルの反対主面の一端部に当接するガスケットを備え
た第２の金具と、前記パネルの反対主面の他端部に当接
するガスケット及び前記角材の反対側面に当接するガス
ケットを備えた第４の金具と、前記天井グリッドを挟み
込んで前記第１の金具に前記第２の金具を締め付ける第
１のボルトと、前記角材を挟み込んで前記第３の金具に
前記第４の金具を締め付ける第２のボルトとを含むこと
を特徴とする。

【００１５】特に前記第１，第２の構成のクリーンルー
ム間仕切装置において、前記第２，第４の金具をそれぞ
れ貫通する前記第１，第２のボルトのネジ部と嵌合する
ネジ穴が、前記第１，第３の金具をそれぞれ貫通しない
ように、内部に留められていることを特徴とする。

【００１６】また、特に前記第１，第２の構成におい
て、前記天井グリルの両側面と前記パネルの両主面と前
記角材の両側面と前記第１，第２の金具と前記第３，第
４の金具とを、ガスケットを介して、同時に挟み込む縦
金具を備えたことを特徴とする。

【００１７】さらに、前記第１，第２の構成において使
用されるガスケットが、独立気泡からなる合成樹脂素材
であることを特徴とする。

【００１８】本発明のクリーンルーム間仕切装置の組立
方法は、前記第１又は第２の構成で使用される前記第
３，第４の金具を前記第２のボルトで仮止めして前記パ
ネルの他端部を挿入後、前記第１，第２の金具を前記パ
ネル及び天井グリルを挟んで前記第１のボルトで固定
し、その後前記第２のボルトを締め付けることを特徴と
する。

【００１９】

【実施例】本発明の第１の実施例のクリーンルーム間仕
切装置の組立方法を順次示す図１，図２，図３の断面図
を参照して、この実施例のクリーンルーム間仕切装置の
構造とその組立方法とを説明する。図１乃至図３におい
て、共通する部品については、共通した参照数字で示す
に留め、各図で重複する部分の説明は省略する。

【００２０】図１において、システム天井のグリッド１
１とレイズドフロア１２とで構成されたオールダウンフ
ロータイプの高清浄度クリーンルームにおいて、間仕切
を行う場合には、まず間仕切装置を建てる場所の床面
に、アルミニウム製の中空性角パイプ１３を内部からビ
ス１４にて所定の間隔をおいて固定する。ここで、角パ
イプ１３のレイズドフロア１２との対向面には、ガスケ
ット２０が設けられている。

【００２１】次に、第３の金具１５と第４の金具１５′
とからなるアルミニウム製のＨ型アタッチメントが用意
される。第３の金具１５は、定型パネル１６の一主面６
０の下端部に当接するガスケット２０と、角パイプ１３
の一側面に当接するガスケット２０と、ボルト１７のネ
ジに嵌合するネジ穴とを備える。このネジ穴は、金具１
５の本体を貫通せず、内部で留められているため、この
ネジ穴から空気の流出入がなく、この部分から気密性が
低下することがない。第４の金具１５′は、第３の金具
１５と共通の構造を有するが、ボルト１７の入る穴が貫
通穴となっている点だけが異なる。ボルト１７及びボル
ト穴は、所定の間隔をおいて、紙面と垂直な方向に設け
られるが、図示はしない。ガスケット２０で角パイプ１
３の両側面を締め付けるように、第３，第４の金具１
５，１５′がボルト１７で互いに固定されるが、ここで
は定型パネル１６がすみやかに挿入されるように、ボル
ト１７の締め付けを軽くするか、もしくは角パイプ１３
の両側面にガスケット２０が当接しない程度に軽くボル
ト１７で固定する。

【００２２】次に、定型パネル１６の下端部が、アタッ
チメントに挿入され、このパネル１６を仮固定し、図２
に示す第１，第２の金具１８，１８′からなる（上記第
３，第４の金具１５，１５′と共通構造の）アタッチメ
ントが、上端部の両主面６０，６１と天井グリッド１１
の両側面とを同時に締め合わせるように、ボルト１９で
固定される。ここでも、天井グリッド１１の両側面，パ
ネル１６の両主面の端部にそれぞれ当接するガスケット
２０が変形されているため、気密性が保持される。

【００２３】次に図３に示すように、ボルト１９で固定
後、パネル１６の下端部のボルト１７を最終的に強く締
めつけて、組立作業を終了する。このあと、適宜清浄が
行われ、各種の半導体集積回路の製造装置が搬入され
る。

【００２４】以上の実施例では、現場での加工作業はな
く、ドライバを使用した組立作業のみであるから、発塵
の心配はない。尚、床面にビス１４を打ち込む又はねじ
込む作業中に発生した塵埃は、角パイプ１３の中空内に
留められるので、最終的な清掃作業を行うのみでよい。

【００２５】定型パネル１６の上下寸法等が必要以上に
大きい場合には、現場に打ち込むまでに、所定寸法に加
工しておくことが好ましい。上記実施例で使用するガス
ケット２０は、連続気泡性の合成樹脂材では気密性が保
てないため、独立気泡性の発泡構造を有する合成樹脂材
例えば発泡ポリスチロール等が望ましい。また、強い接
着性がない点でも、このような材料が望ましい。

【００２６】また、組立後、シール材等で接着していな
いので、除去・再組立時に各部品が再利用できるという
利点がある。さらに、雰囲気温度変化にともなう熱膨張
に対しても天井グリル１１と第１，第２の金具１８，１
８′との間に、隙間例えば５ｍｍ乃至１０ｍｍを設けて
おけば、パネルを変形させずに吸収しえる。また、この
実施例によれば、固定と同時にシールが行えるので、後
工程でシール作業を行う必要がなく、組立・撤去作業が
迅速に行えるという利点がある。

【００２７】パネル１６の撤去時は、締め付けボルト１
７，１９を緩める事により容易に撤去可能で、構成部品
はガスケット２０のみの交換で繰りかえし使用可能であ
る。また、ガスケット２０の交換についても、戸当たり
テープの要領で設置すればよく、特に熟練を必要とはし
ない。ガスケット２０の金具への固定には、極めて小量
の接着剤が局所的に設けられる。角パイプ１３は、パイ
プ状でなくとも角材であればよい。

【００２８】本発明の第２の実施例のクリーンルーム間
仕切装置の組立方法を順に示す図４，図５，図６の断面
図を参照すると、この実施例は、第１の金具２５と第３
の金具２５′とが定形パネル２６の両側面にそれぞれ固
定され、一体構造となっている以外は、上記第１の実施
例と共通するため、共通する構成部分１は共通の参照数
字のみで示すに留め、共通した組立方法，共通の効果に
ついても説明を省略する。

【００２９】パネル２６の側面と第１，第２の金具２
５，２５′との固定は、図示していないが、ビス止めに
よることが好ましい。その際、隙間が生じないように、
ガスケットを介在させてもよい。接着性シール材は、半
導体集積回路にとって有害なガスが発生するので使用し
ない。

【００３０】この実施例では、天井グリッド１１とレイ
ズドフロア１２との寸法があらかじめ計測されており、
この寸法に適合したパネル２６が選択されて、現場に持
ち込まれる。

【００３１】組立方法は、上記第１の実施例のように仮
止めする必要はないが、力学的にバランス良く構成する
ためには、第１の実施例と共通した組立方法を用いるこ
とが望ましい。

【００３２】この実施例では、第１の金具２５を保持す
る必要がないため、作業者一名による組立作業でも容易
に行えるという利点がある。

【００３３】上記第１，第２の実施例では天井グリルと
パネルと床面との間仕切を説明したが、この他の間仕切
の必要な部分として、パネル同士の間仕切と、パネルと
パネルとが直交する部分の間仕切とが必要不可欠であ
る。

【００３４】パネル同士の間仕切装置を示す図７の断面
図とこの図７中のＡ−Ａ′線の断面図を示す図８とを参
照すると、上記第１の実施例の間仕切装置がそのまま使
用されており、このようなパネル１６とパネル５０との
いわゆるパネル同士の間仕切を行う縦金具３０が、第
１，第２の金具１８，１８′，第３，第４の金具１５，
１５′，パネル１６，５０の両主面を同時に挟み込む。
この際、両パネル１６，５０にはそれぞれガスケット５
１（図８にのみ示す）を介在させて、取り付けられる。
縦金具３０の連結部７０は、天井グリッド１１，角パイ
プ１３のある部分は、あらかじめ除去されている。

【００３５】この縦金具３０により、必要な機械的強度
が保たれ、人体の横方向負荷により、パネル１６が外さ
れる心配がなくなるという利点がある。

【００３６】図８に示すように、この縦金具３０は、組
立作業を容易にするためＨ型のアルミニウム製の型材と
なっているが、この他に上記第１の実施例の第１乃至第
４の金具と共通した構成のアタッチメントを用いると、
構成部品点数が少なく、標準化でき原価低減化が図れる
という点で望ましい。

【００３７】図７，図８で示した縦金具３０は、上記第
２の実施例の間仕切装置にも採用することができる。さ
らに上記第２の実施例の第１乃至第４の金具と共通した
構成の縦金具でも合わせて、使用することができる。

【００３８】パネル同士が直交する場合の縦方向の間仕
切装置を示す図９を参照すると、四角の支柱５２が建て
られ、その一角にはガスケット６３を介して角パイプ６
２がビス止めされ、第１，第２の金具６４，６５が、ボ
ルト６６で固定され、パネル６０が支柱５２に固定され
る。この固定する構造は、図１の床面との間仕切装置と
共通の構造となっているが、図８に示したＨ型の型材が
使用されてもよい。このパネル６０と直交したパネル６
１の固定構造は、パネル６０の場合と共通するので、説
明を省略する。

【００３９】尚、パネル６０，６１は、図示されていな
いが、上記第１，第２の実施例で示した横方向の間仕切
装置がすでに組み込まれている。

【００４０】図９に示したパネル同士が直交する場合の
他の間仕切装置を示す図１２を参照すると、図９の四角
の支柱５２が、角アングル材６２となっていること以外
図９と共通するため、共通した参照数字で示すに留め、
詳述しない。この角アングル材６２は、図９の角パイプ
６２と支柱５２とを一本の角アングル材で構成してい
る。図１２では直交する二つのパネル６０，６１につい
て図示しているが、三枚のパネル，四枚のパネルを連結
する場合には、角アングル材６２の断面がそれぞれＴ字
型，十字型の形状となる。この間仕切りでは、図９に比
較して、角パイプ６２、ビス等の部品点数が少なく、こ
のためこれらを組み合わせる手間を必要としないという
利点がある。

【００４１】尚、図９に示した支柱５２の構造では、三
枚，四枚のパネルを連結する場合にも、この方形の支柱
５２が、そのままの形で使用できるという利点がある。

【００４２】以上の実施例で使用されたガスケットの材
質は、上述のようにポリスチロールでもよいが、ネオプ
レンゴムがより好ましい。

【００４３】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明は、先端にガ
スケットを付属した金具を用い、床に固定した角パイプ
とシステム天井のグリッドとの間でパネルを挟み込むこ
と等により、上述した（１）乃至（１６）項の各課題が
ことどとく達成され、現地施工で塵埃が問題となるビス
止めを最小限におさえ、更に半導体プロセスに於いて有
害とされる成分を含み、施工上でも熟練及び工期を要す
るシリコン系のシール剤の使用をなくす事が可能である
等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のクリーンルーム間仕切
装置の組立方法の第１のステップを示す断面図である。

【図２】上記第１のステップに続く第２のステップを示
す断面図である。

【図３】上記第２のステップに続く第３のステップを示
す断面図である。

【図４】本発明の第２の実施例のクリーンルーム間仕切
装置の組立方法の第１のステップを示す断面図である。

【図５】第２の実施例における第２のステップを示す断
面図である。

【図６】第２の実施例における第３のステップを示す断
面図である。

【図７】第１及び第２の実施例の間仕切装置を採用した
パネルのさらに縦方向の間仕切装置を示す断面図であ
る。

【図８】図７中のＡ−Ａ′線の断面図である。

【図９】パネル同士が直交する場合の間仕切装置を、第
１及び第２の実施例に採用した状態を示す断面図であ
る。

【図１０】定型パネルを用いて間仕切を行う従来の組立
状態を示す見取図である。

【図１１】従来の間仕切装置を示す断面図である。

【図１２】パネル同士が直交する場合の間仕切装置の他
例を第１及び第２の実施例に採用した状態を示す断面図
である。

【符号の説明】

１１，３１ 天井グリッド １２，４２ レイズドフロア １３，６２ 角パイプ １４，３７，３９ ビス １５，１５′，１８，１８′，２５，２５′，６４，６
５ 金具 １６，２６，３８，５０，６０，６１ パネル １１，１９，３４ ボルト ２０，５１，６３，６ ガスケット ３０ 縦金具 ３２ 十字ジョイント ３３ インサート ３５，３６ アングル ４５，４６ シール剤 ５２ 支柱 ６０ 一主面 ６１ 他主面（反対主面） ６２ 角アングル材

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルーム間の仕切壁材となるパネ
   ルと、天井グリッドの一側面に当接するガスケット及び
   前記パネルの一端部の一主面に当接するガスケットを備
   えた第１の金具と、前記天井グリッドの反対側面に当接
   するガスケット及び前記パネルの一端部の反対主面に当
   接するガスケットを備えた第２の金具と、前記グリッド
   の両側面及び前記パネルの一端部の両主面を挟み込むよ
   うに前記第１，第２の金具を互いに締め付ける第１のボ
   ルトと、床面に固定する角材と、前記パネルの他端部の
   一主面に当接するガスケット及び前記角材の一側面に当
   接するガスケットを備えた第３の金具と、前記パネルの
   他端部の反対主面に当接するガスケット及び前記角材の
   反対側面に当接するガスケットを備えた第４の金具と、
   前記パネルの他端部の両主面及び前記角材の両側面を挟
   み込むように前記第３，第４の金具を互いに締め付ける
   第２のボルトとを含むことを特徴とするクリーンルーム
   間仕切装置。
2. 【請求項２】 天井グリッドの一側面に当接するガスケ
   ットを備えた第１の金具、及び床面に固定された角材の
   一側面に当接するガスケットを備えた第３の金具が、一
   主面がわの一端部，一主面がわの他端部にそれぞれ固定
   され、クリーンルーム間の仕切壁材となるパネルと、前
   記天井グリッドの反対側面に当接するガスケット及び前
   記パネルの反対主面の一端部に当接するガスケットを備
   えた第２の金具と、前記パネルの反対主面の他端部に当
   接するガスケット及び前記角材の反対側面に当接するガ
   スケットを備えた第４の金具と、前記天井グリッドを挟
   み込んで前記第１の金具に前記第２の金具を締め付ける
   第１のボルトと、前記角材を挟み込んで前記第３の金具
   に前記第４の金具を締め付ける第２のボルトとを含むこ
   とを特徴とするクリーンルーム間仕切装置。
3. 【請求項３】 前記第２，第４の金具をそれぞれ貫通す
   る前記第１，第２のボルトのネジ部と嵌合するネジ穴
   が、前記第１，第３の金具をそれぞれ貫通しないよう
   に、内部に留められている請求項１及び２記載のクリー
   ンルーム間仕切装置。
4. 【請求項４】 前記天井グリルの両側面と前記パネルの
   両主面と前記角材の両側面と前記第１，第２の金具と前
   記第３，第４の金具とを、ガスケットを介して、同時に
   挟み込む縦金具を備えた請求項１及び２記載のクリーン
   ルーム間仕切装置。
5. 【請求項５】 前記ガスケットが、独立気泡からなる合
   成樹脂素材である請求項１及び２記載のクリーンルーム
   間仕切装置。
6. 【請求項６】 前記第３，第４の金具を前記第２のボル
   トで仮止めして前記パネルの他端部を挿入後、前記第
   １，第２の金具を前記パネル及び天井グリルを挟んで前
   記第１のボルトで固定し、その後前記第２のボルトを締
   め付けることを特徴とする請求項１及び２記載のクリー
   ンルーム間仕切装置の組立方法。