JP2555083Y2 - 回転角測定装置 - Google Patents
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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- G01D5/24471—Error correction
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、回転角検出用のパター
ンが形成された回転円板を使用する回転角測定装置に関
する。
ンが形成された回転円板を使用する回転角測定装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】特開昭５５ー６７６０８号公報に開示さ
れた回転角測定装置には、円周に等角度ピッチのラジア
ル格子を有する回転円板と対向するように、回転円板と
同心にインデックス円板が設けられ、インデックス円板
の回転対称位置には、回転円板のラジアル格子と同ピッ
チの２つのインデックス格子が逆相に設けられ、２つの
インデックス格子と回転円板を挟んで、２つの光源と、
２つの光電変換素子とが設けられている。そして、２つ
の光電変換素子にそれぞれ対応させて、２つの信号処理
回路が設けられている。
れた回転角測定装置には、円周に等角度ピッチのラジア
ル格子を有する回転円板と対向するように、回転円板と
同心にインデックス円板が設けられ、インデックス円板
の回転対称位置には、回転円板のラジアル格子と同ピッ
チの２つのインデックス格子が逆相に設けられ、２つの
インデックス格子と回転円板を挟んで、２つの光源と、
２つの光電変換素子とが設けられている。そして、２つ
の光電変換素子にそれぞれ対応させて、２つの信号処理
回路が設けられている。
【０００３】２つの光電変換素子の出力信号は、それぞ
れ、対応する信号処理回路内で、パルスに変換され、カ
ウンタによって計数される。２つのカウンタの計数値
は、平均化回路で平均され、表示回路は、平均化回路の
出力値を回転角に変換して表示する。軸ガタや偏心のあ
る場合、２つのカウンタの計数値は互いに逆方向に等し
い量の位相ずれを含むことになるが、これらの計数値を
平均化回路によって加算平均することにより、偏心の影
響が除去され、正しい回転角を測定することができる。
れ、対応する信号処理回路内で、パルスに変換され、カ
ウンタによって計数される。２つのカウンタの計数値
は、平均化回路で平均され、表示回路は、平均化回路の
出力値を回転角に変換して表示する。軸ガタや偏心のあ
る場合、２つのカウンタの計数値は互いに逆方向に等し
い量の位相ずれを含むことになるが、これらの計数値を
平均化回路によって加算平均することにより、偏心の影
響が除去され、正しい回転角を測定することができる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】従来、この種の回転角
測定装置の回転円板には、任意の１箇所にのみ基準パタ
−ンが形成され、またインデックス円板の所定位置に、
対応する基準パターンが形成されている。そして、回転
円板の基準パターンとインデックス円板の基準パターン
とが対向したときに光電変換素子から得られる基準信号
を使用して２つのカウンタをリセットしているが、回転
軸にラジアルガタがある場合、回転円板に形成されたラ
ジアル格子が偏心して回転することになり、基準信号が
誤差を含むことになる。さらに、信号処理回路でのヒス
テリシス等により誤差が増大され、その誤差量が規定値
を超えると、カウンタのリセットがパタ−ンの１ピッチ
分ずれるおそれがあり、測定誤差発生の原因となってい
た。
測定装置の回転円板には、任意の１箇所にのみ基準パタ
−ンが形成され、またインデックス円板の所定位置に、
対応する基準パターンが形成されている。そして、回転
円板の基準パターンとインデックス円板の基準パターン
とが対向したときに光電変換素子から得られる基準信号
を使用して２つのカウンタをリセットしているが、回転
軸にラジアルガタがある場合、回転円板に形成されたラ
ジアル格子が偏心して回転することになり、基準信号が
誤差を含むことになる。さらに、信号処理回路でのヒス
テリシス等により誤差が増大され、その誤差量が規定値
を超えると、カウンタのリセットがパタ−ンの１ピッチ
分ずれるおそれがあり、測定誤差発生の原因となってい
た。
【０００５】本考案は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、測定誤差の発生を防止できる回転角測定
装置を提供することを目的とする。
たものであり、測定誤差の発生を防止できる回転角測定
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の回転角
測定装置は、回転角検出用のパタ−ン（例えば、実施例
の図２のパターン２Ａ）が形成された回転円板（例え
ば、実施例の回転円板２）と、この回転円板の実質的回
転対称位置に設けられ、それぞれ回転角検出用パターン
に対応した角度測定用パターン（例えば、実施例の図２
のパターン３ＡＡおよび３ＢＡ）を有する第１と第２の
検出部材（例えば、実施例の検出部材３Ａおよび３Ｂ）
と、第１検出部材の角度測定用パターンと回転円板の回
転角検出用パターンとの位置関係に応じて出力される信
号に基づいて回転円板の回転角を示す第１角度信号を求
める第１信号処理回路（例えば、実施例の信号処理回路
１００Ａ）と、第２検出部材の角度測定用パターンと回
転円板の回転角検出用パターンとの位置関係に応じて出
力される信号に基づいて回転円板の回転角を示す第２角
度信号を求める第２信号処理回路（例えば、実施例の信
号処理回路１００Ｂ）と、第１および第２角度信号の示
す回転角の平均値を求める平均化回路（例えば、実施例
のマイクロコンピュータ２００）とを有する回転角測定
装置であって、第１検出部材に第１基準パターン（例え
ば、実施例のパターン３ＡＢ）を形成し、第２検出部材
に第２基準パターン（例えば、実施例のパターン３Ｂ
Ｂ）を形成し、回転円板の第１位置に、第１検出部材に
形成された第１基準パターンによって検出でき且つ第２
検出部材に形成された第２基準パターンによっては検出
できない第３の基準パターン（例えば、実施例のパター
ン２ＡＢ）を形成し、回転円板の第１位置と実質的に回
転対称位置にある第２位置に、第２検出部材に形成され
た第２基準パターンによって検出でき且つ第１検出部材
に形成された第１基準パターンによっては検出できない
第４の基準パタ−ン（例えば、実施例のパターン２Ｂ
Ｂ）を形成し、第１検出部材に形成された第１基準パタ
ーンによって回転円板の第３基準パターンを検出するこ
とによって得られる信号を、第１信号処理回路に第１基
準信号（例えば、実施例のコンパレータ６ＡＢへの信
号）として供給し、第２検出部材に形成された第２基準
パターンによって回転円板の第４基準パターンを検出す
ることによって得られる信号を、第２信号処理回路に第
２基準信号（例えば、実施例のコンパレータ６ＢＢへの
信号）として供給するようにしたことを特徴とする。
測定装置は、回転角検出用のパタ−ン（例えば、実施例
の図２のパターン２Ａ）が形成された回転円板（例え
ば、実施例の回転円板２）と、この回転円板の実質的回
転対称位置に設けられ、それぞれ回転角検出用パターン
に対応した角度測定用パターン（例えば、実施例の図２
のパターン３ＡＡおよび３ＢＡ）を有する第１と第２の
検出部材（例えば、実施例の検出部材３Ａおよび３Ｂ）
と、第１検出部材の角度測定用パターンと回転円板の回
転角検出用パターンとの位置関係に応じて出力される信
号に基づいて回転円板の回転角を示す第１角度信号を求
める第１信号処理回路（例えば、実施例の信号処理回路
１００Ａ）と、第２検出部材の角度測定用パターンと回
転円板の回転角検出用パターンとの位置関係に応じて出
力される信号に基づいて回転円板の回転角を示す第２角
度信号を求める第２信号処理回路（例えば、実施例の信
号処理回路１００Ｂ）と、第１および第２角度信号の示
す回転角の平均値を求める平均化回路（例えば、実施例
のマイクロコンピュータ２００）とを有する回転角測定
装置であって、第１検出部材に第１基準パターン（例え
ば、実施例のパターン３ＡＢ）を形成し、第２検出部材
に第２基準パターン（例えば、実施例のパターン３Ｂ
Ｂ）を形成し、回転円板の第１位置に、第１検出部材に
形成された第１基準パターンによって検出でき且つ第２
検出部材に形成された第２基準パターンによっては検出
できない第３の基準パターン（例えば、実施例のパター
ン２ＡＢ）を形成し、回転円板の第１位置と実質的に回
転対称位置にある第２位置に、第２検出部材に形成され
た第２基準パターンによって検出でき且つ第１検出部材
に形成された第１基準パターンによっては検出できない
第４の基準パタ−ン（例えば、実施例のパターン２Ｂ
Ｂ）を形成し、第１検出部材に形成された第１基準パタ
ーンによって回転円板の第３基準パターンを検出するこ
とによって得られる信号を、第１信号処理回路に第１基
準信号（例えば、実施例のコンパレータ６ＡＢへの信
号）として供給し、第２検出部材に形成された第２基準
パターンによって回転円板の第４基準パターンを検出す
ることによって得られる信号を、第２信号処理回路に第
２基準信号（例えば、実施例のコンパレータ６ＢＢへの
信号）として供給するようにしたことを特徴とする。
【０００７】請求項２に記載の回転角測定装置は、第１
および第３基準パターンが、同一のランダムピッチ配列
格子パターンであり、第２および第４基準パターンが、
同一のランダムピッチ配列格子パターンであることを特
徴とする。
および第３基準パターンが、同一のランダムピッチ配列
格子パターンであり、第２および第４基準パターンが、
同一のランダムピッチ配列格子パターンであることを特
徴とする。
【０００８】請求項３に記載の回転角測定装置は、回転
角検出用のパタ−ンが形成された回転円板と、この回転
円板の円周均等分割位置に設けられ、それぞれ回転角検
出用パターンに対応した角度測定用パターンを有するＮ
個の検出部材（Ｎは、２以上の正の整数）と、Ｎ個の検
出部材の角度測定用パターンと回転円板の回転角検出用
パターンとの位置関係に応じて出力されるＮ個の信号に
それぞれ基づいて回転円板の回転角を示す角度信号を求
めるＮ個の信号処理回路と、これらＮ個の信号処理回路
が出力する角度信号が示す回転角の平均値を求める平均
化回路とを有する回転角測定装置であって、Ｎ個の検出
部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成し、回
転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材のそれぞ
れに対応させて、対応する検出部材に形成された基準パ
ターンによって検出でき且つ他の検出部材によって検出
できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検出部材
に形成された基準信号によって回転円板の対応する基準
パターンを検出することによって得られるＮ個の信号
を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に基準
信号として供給するようにしたことを特徴とする。
角検出用のパタ−ンが形成された回転円板と、この回転
円板の円周均等分割位置に設けられ、それぞれ回転角検
出用パターンに対応した角度測定用パターンを有するＮ
個の検出部材（Ｎは、２以上の正の整数）と、Ｎ個の検
出部材の角度測定用パターンと回転円板の回転角検出用
パターンとの位置関係に応じて出力されるＮ個の信号に
それぞれ基づいて回転円板の回転角を示す角度信号を求
めるＮ個の信号処理回路と、これらＮ個の信号処理回路
が出力する角度信号が示す回転角の平均値を求める平均
化回路とを有する回転角測定装置であって、Ｎ個の検出
部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成し、回
転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材のそれぞ
れに対応させて、対応する検出部材に形成された基準パ
ターンによって検出でき且つ他の検出部材によって検出
できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検出部材
に形成された基準信号によって回転円板の対応する基準
パターンを検出することによって得られるＮ個の信号
を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に基準
信号として供給するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】請求項１の構成の回転角測定装置においては、
第１検出部材に形成された第１基準パターンによって回
転円板の第３基準パターンを検出することによって得ら
れた信号が、第１信号処理回路に第１基準信号として供
給され、第２検出部材に形成された第２基準パターンに
よって回転円板の第４基準パターンを検出することによ
って得られる信号が、第２信号処理回路に第２基準信号
として供給される。従って、第１および第２信号処理回
路を独立に動作させることができ、回転円板の回転角検
出用パターンが偏心して回転しても測定誤差が生じるこ
とはない。
第１検出部材に形成された第１基準パターンによって回
転円板の第３基準パターンを検出することによって得ら
れた信号が、第１信号処理回路に第１基準信号として供
給され、第２検出部材に形成された第２基準パターンに
よって回転円板の第４基準パターンを検出することによ
って得られる信号が、第２信号処理回路に第２基準信号
として供給される。従って、第１および第２信号処理回
路を独立に動作させることができ、回転円板の回転角検
出用パターンが偏心して回転しても測定誤差が生じるこ
とはない。
【００１０】請求項２の構成の回転角測定装置において
は、同一のランダムピッチ配列格子パターンである第１
および第３基準パターンが対向すると、第１基準信号が
発生し、同一のランダムピッチ配列格子パターンである
第２および第４基準パターンが対向すると、第２基準信
号が発生する。従って、簡単に基準信号を発生させるこ
とができる。
は、同一のランダムピッチ配列格子パターンである第１
および第３基準パターンが対向すると、第１基準信号が
発生し、同一のランダムピッチ配列格子パターンである
第２および第４基準パターンが対向すると、第２基準信
号が発生する。従って、簡単に基準信号を発生させるこ
とができる。
【００１１】請求項３の構成の回転角測定装置において
は、Ｎ個の検出部材に形成された基準信号によって回転
円板の対応する基準パターンを検出することによって得
られるＮ個の信号が、それぞれＮ個の信号処理回路の対
応する回路に基準信号として供給される。従って、測定
の累積誤差を無くすことができる。
は、Ｎ個の検出部材に形成された基準信号によって回転
円板の対応する基準パターンを検出することによって得
られるＮ個の信号が、それぞれＮ個の信号処理回路の対
応する回路に基準信号として供給される。従って、測定
の累積誤差を無くすことができる。
【００１２】
【実施例】 図１は、本考案の回転角測定装置の一実施
例の構成を示す。図２に示すように円周に等角度ピッチ
のラジアル格子すなわち回転角検出用パターン２Ａが形
成された回転円板２は、回転軸１と同心にこの軸１に固
定されている。回転円板２の２つの回転対称位置には、
回転円板２に対向するように、第１検出部材３Ａおよび
第２検出部材３Ｂが固定されている。図２に示されてい
るように、第１検出部材３Ａには、回転円板２に形成さ
れたラジアル格子と同ピッチのインデックス格子すなわ
ち角度測定用パターン３ＡＡが形成されている。また、
第２検出部材３Ｂには、回転円板２に形成されたラジア
ル格子と同ピッチのインデックス格子すなわち角度測定
用パターン３ＢＡが形成されている。
例の構成を示す。図２に示すように円周に等角度ピッチ
のラジアル格子すなわち回転角検出用パターン２Ａが形
成された回転円板２は、回転軸１と同心にこの軸１に固
定されている。回転円板２の２つの回転対称位置には、
回転円板２に対向するように、第１検出部材３Ａおよび
第２検出部材３Ｂが固定されている。図２に示されてい
るように、第１検出部材３Ａには、回転円板２に形成さ
れたラジアル格子と同ピッチのインデックス格子すなわ
ち角度測定用パターン３ＡＡが形成されている。また、
第２検出部材３Ｂには、回転円板２に形成されたラジア
ル格子と同ピッチのインデックス格子すなわち角度測定
用パターン３ＢＡが形成されている。
【００１３】図２に示されているように、第１検出部材
３Ａには、第１基準パターン３ＡＢが形成され、第２検
出部材には、第２基準パターン３ＢＢが形成されてい
る。また、回転円板２の第１位置には、第１検出部材３
Ａに形成された第１基準パターン３ＡＢによって検出で
き且つ第２検出部材３Ｂに形成された第２基準パターン
３ＢＢによっては検出できない第３の基準パターン２Ａ
Ｂが形成されている。また、回転円板２の第１位置と回
転対称位置にある第２位置には、第２検出部材３Ｂに形
成された第２基準パターン３ＢＢによって検出でき且つ
第１検出部材３Ａに形成された第１基準パターン３ＡＢ
によっては検出できない第４の基準パタ−ン２ＢＢが形
成されている。
３Ａには、第１基準パターン３ＡＢが形成され、第２検
出部材には、第２基準パターン３ＢＢが形成されてい
る。また、回転円板２の第１位置には、第１検出部材３
Ａに形成された第１基準パターン３ＡＢによって検出で
き且つ第２検出部材３Ｂに形成された第２基準パターン
３ＢＢによっては検出できない第３の基準パターン２Ａ
Ｂが形成されている。また、回転円板２の第１位置と回
転対称位置にある第２位置には、第２検出部材３Ｂに形
成された第２基準パターン３ＢＢによって検出でき且つ
第１検出部材３Ａに形成された第１基準パターン３ＡＢ
によっては検出できない第４の基準パタ−ン２ＢＢが形
成されている。
【００１４】この実施例においては、第１検出部材３Ａ
の第１基準パターン３ＡＢおよび回転円板２の第３基準
パターン２ＡＢが、例えば図３の（ａ）に示されている
ような同一のランダムピッチ配列格子パターンで形成さ
れ、第２検出部材３Ｂの第２基準パターン３ＢＢおよび
回転円板２の第４基準パターン２ＢＢが、例えば図３
（ｂ）に示されているような同一のランダムピッチ配列
格子パターンで形成されている。図３に示されているよ
うに、第１および第３基準パターン３ＡＢおよび２ＡＢ
と、第２および第４基準パターン３ＢＢおよび２ＢＢと
は、全く異なるパターンである。
の第１基準パターン３ＡＢおよび回転円板２の第３基準
パターン２ＡＢが、例えば図３の（ａ）に示されている
ような同一のランダムピッチ配列格子パターンで形成さ
れ、第２検出部材３Ｂの第２基準パターン３ＢＢおよび
回転円板２の第４基準パターン２ＢＢが、例えば図３
（ｂ）に示されているような同一のランダムピッチ配列
格子パターンで形成されている。図３に示されているよ
うに、第１および第３基準パターン３ＡＢおよび２ＡＢ
と、第２および第４基準パターン３ＢＢおよび２ＢＢと
は、全く異なるパターンである。
【００１５】図１に戻って、回転円板２および第１検出
部材３Ａを挟んで、回転円板２側に、光源４Ａが配設さ
れ、第１検出部材３Ａ側に、２つの光電変換素子５ＡＡ
および５ＡＢが配設されている。光電変換素子５ＡＡ
は、第１検出部材３Ａの角度測定用パターン３ＡＡに対
向する位置に固定され、光電変換素子５ＡＢは、第１検
出部材３Ａの第１基準パターン３ＡＢに対向する位置に
固定される。
部材３Ａを挟んで、回転円板２側に、光源４Ａが配設さ
れ、第１検出部材３Ａ側に、２つの光電変換素子５ＡＡ
および５ＡＢが配設されている。光電変換素子５ＡＡ
は、第１検出部材３Ａの角度測定用パターン３ＡＡに対
向する位置に固定され、光電変換素子５ＡＢは、第１検
出部材３Ａの第１基準パターン３ＡＢに対向する位置に
固定される。
【００１６】また、回転円板２および第２検出部材３Ｂ
を挟んで、回転円板２側に、光源４Ｂが配設され、第２
検出部材３Ｂ側に、２つの光電変換素子５ＢＡおよび５
ＢＢが配設されている。光電変換素子５ＢＡは、第２検
出部材３Ａの角度測定用パターン３ＢＡに対向する位置
に固定され、光電変換素子５ＢＢは、第２検出部材３Ｂ
の第２基準パターン３ＢＢに対向する位置に固定され
る。
を挟んで、回転円板２側に、光源４Ｂが配設され、第２
検出部材３Ｂ側に、２つの光電変換素子５ＢＡおよび５
ＢＢが配設されている。光電変換素子５ＢＡは、第２検
出部材３Ａの角度測定用パターン３ＢＡに対向する位置
に固定され、光電変換素子５ＢＢは、第２検出部材３Ｂ
の第２基準パターン３ＢＢに対向する位置に固定され
る。
【００１７】上述のように、第１検出部材３Ａの第１基
準パターン３ＡＢおよび回転円板２の第３基準パターン
２ＡＢが、同一のランダムピッチ配列格子パターンで形
成され、第２検出部材３Ｂの第２基準パターン３ＢＢお
よび回転円板２の第４基準パターン２ＢＢが、同一のラ
ンダムピッチ配列格子パターンで形成され、第１および
第３基準パターン３ＡＢおよび２ＡＢと、第２および第
４基準パターン３ＢＢおよび２ＢＢとは、全く異なるパ
ターンであるから、第１検出部材３Ａの第１基準パター
ン３ＡＢと回転円板２の第３基準パターン２ＡＢとが対
向したときには、光電変換素子５ＡＢは、基準パターン
検出信号すなわち基準信号を出力するが、第１検出部材
３Ａの第１基準パターン３ＡＢと回転円板２の第４基準
パターン２ＢＢとが対向したときには、光電変換素子５
ＡＢは、基準パターン検出信号すなわち基準信号を出力
しない。
準パターン３ＡＢおよび回転円板２の第３基準パターン
２ＡＢが、同一のランダムピッチ配列格子パターンで形
成され、第２検出部材３Ｂの第２基準パターン３ＢＢお
よび回転円板２の第４基準パターン２ＢＢが、同一のラ
ンダムピッチ配列格子パターンで形成され、第１および
第３基準パターン３ＡＢおよび２ＡＢと、第２および第
４基準パターン３ＢＢおよび２ＢＢとは、全く異なるパ
ターンであるから、第１検出部材３Ａの第１基準パター
ン３ＡＢと回転円板２の第３基準パターン２ＡＢとが対
向したときには、光電変換素子５ＡＢは、基準パターン
検出信号すなわち基準信号を出力するが、第１検出部材
３Ａの第１基準パターン３ＡＢと回転円板２の第４基準
パターン２ＢＢとが対向したときには、光電変換素子５
ＡＢは、基準パターン検出信号すなわち基準信号を出力
しない。
【００１８】同様に、第２検出部材３Ａの第２基準パタ
ーン３ＢＢと回転円板２の第４基準パターン２ＢＢとが
対向したときには、光電変換素子５ＢＢは、基準パター
ン検出信号すなわち基準信号を出力するが、第２検出部
材３Ａの第２基準パターン３ＢＢと回転円板２の第３基
準パターン２ＡＢとが対向したときには、光電変換素子
５ＢＢは、基準パターン検出信号すなわち基準信号を出
力しない。
ーン３ＢＢと回転円板２の第４基準パターン２ＢＢとが
対向したときには、光電変換素子５ＢＢは、基準パター
ン検出信号すなわち基準信号を出力するが、第２検出部
材３Ａの第２基準パターン３ＢＢと回転円板２の第３基
準パターン２ＡＢとが対向したときには、光電変換素子
５ＢＢは、基準パターン検出信号すなわち基準信号を出
力しない。
【００１９】光電変換素子５ＡＡおよび５ＡＢの出力信
号は、信号処理回路１００Ａに供給され、光電変換素子
５ＢＡおよび５ＢＢの出力信号は、信号処理回路１００
Ｂに供給される。
号は、信号処理回路１００Ａに供給され、光電変換素子
５ＢＡおよび５ＢＢの出力信号は、信号処理回路１００
Ｂに供給される。
【００２０】信号処理回路１００Ａは、光電変換素子５
ＡＡの出力信号が零以上のときに高レベル信号を発生
し、この信号を角度測定信号として出力するコンパレー
タ６ＡＡと、光電変換素子５ＡＢの出力信号が所定値以
上のときに高レベル信号を発生し、この信号を第１基準
パターン検出信号として出力するコンパレータ６ＡＢ
と、コンパレータ６ＡＡから出力される角度測定信号を
計数するカウンタ７Ａと、コンパレータ６ＡＡから出力
される角度測定信号の立ち上がりを検出する立上り検出
回路８Ａと、一方の入力で立上り検出回路８Ａの出力信
号を受け、他方の入力でコンパレータ６ＡＢから出力さ
れる第１基準パターン検出信号をを受け、両者が高レベ
ルのときに高レベルの信号を発生し、これをリセット信
号としてカウンタ７Ａに出力するＡＮＤゲート９Ａとを
備えている。
ＡＡの出力信号が零以上のときに高レベル信号を発生
し、この信号を角度測定信号として出力するコンパレー
タ６ＡＡと、光電変換素子５ＡＢの出力信号が所定値以
上のときに高レベル信号を発生し、この信号を第１基準
パターン検出信号として出力するコンパレータ６ＡＢ
と、コンパレータ６ＡＡから出力される角度測定信号を
計数するカウンタ７Ａと、コンパレータ６ＡＡから出力
される角度測定信号の立ち上がりを検出する立上り検出
回路８Ａと、一方の入力で立上り検出回路８Ａの出力信
号を受け、他方の入力でコンパレータ６ＡＢから出力さ
れる第１基準パターン検出信号をを受け、両者が高レベ
ルのときに高レベルの信号を発生し、これをリセット信
号としてカウンタ７Ａに出力するＡＮＤゲート９Ａとを
備えている。
【００２１】他方、信号処理回路１００Ｂは、光電変換
素子５ＢＡの出力信号が零以上のときに高レベル信号を
発生し、この信号を角度測定信号として出力するコンパ
レータ６ＢＡと、光電変換素子５ＢＢの出力信号が所定
値以上のときに高レベル信号を発生し、この信号を第２
基準パターン検出信号として出力するコンパレータ６Ｂ
Ｂと、コンパレータ６ＢＡから出力される角度測定信号
を計数するカウンタ７Ｂと、コンパレータ６ＢＡから出
力される角度測定信号の立ち上がりを検出する立上り検
出回路８Ｂと、一方の入力で立上り検出回路８Ｂの出力
信号を受け、他方の入力でコンパレータ６ＢＢから出力
される第２基準パターン検出信号をを受け、両者が高レ
ベルのときに高レベルの信号を発生し、これをリセット
信号としてカウンタ７Ｂに出力するＡＮＤゲート９Ｂと
を備えている。
素子５ＢＡの出力信号が零以上のときに高レベル信号を
発生し、この信号を角度測定信号として出力するコンパ
レータ６ＢＡと、光電変換素子５ＢＢの出力信号が所定
値以上のときに高レベル信号を発生し、この信号を第２
基準パターン検出信号として出力するコンパレータ６Ｂ
Ｂと、コンパレータ６ＢＡから出力される角度測定信号
を計数するカウンタ７Ｂと、コンパレータ６ＢＡから出
力される角度測定信号の立ち上がりを検出する立上り検
出回路８Ｂと、一方の入力で立上り検出回路８Ｂの出力
信号を受け、他方の入力でコンパレータ６ＢＢから出力
される第２基準パターン検出信号をを受け、両者が高レ
ベルのときに高レベルの信号を発生し、これをリセット
信号としてカウンタ７Ｂに出力するＡＮＤゲート９Ｂと
を備えている。
【００２２】マイクロコンピュータ２００は、信号処理
回路１００Ａおよび１００Ｂの出力、すなわちカウンタ
７Ａおよび７Ｂの計数値を受けて、両者の平均値を求
め、これを回転角のディジタル値に変換し、表示装置３
００に出力する。表示装置３００は、マイクロコンピュ
ータ２００が出力した回転角を表示する。軸ガタや偏心
ののある場合、２つのカウンタ７Ａおよび７Ｂの計数値
は、互いに逆方向に等しい量の位相ずれを含むことにな
るが、これらの計数値をマイクロコンピュータ２００に
よって加算平均することにより、偏心の影響が除去さ
れ、正しい回転角を測定することができる。
回路１００Ａおよび１００Ｂの出力、すなわちカウンタ
７Ａおよび７Ｂの計数値を受けて、両者の平均値を求
め、これを回転角のディジタル値に変換し、表示装置３
００に出力する。表示装置３００は、マイクロコンピュ
ータ２００が出力した回転角を表示する。軸ガタや偏心
ののある場合、２つのカウンタ７Ａおよび７Ｂの計数値
は、互いに逆方向に等しい量の位相ずれを含むことにな
るが、これらの計数値をマイクロコンピュータ２００に
よって加算平均することにより、偏心の影響が除去さ
れ、正しい回転角を測定することができる。
【００２３】図４は、図１の実施例の光電変換素子５Ａ
Ａおよび５ＡＢならびに信号処理回路１００Ａの各部の
信号波形を示す。以下、図４を参照して図１の実施例の
動作を説明する。回転円板２の回転に応じて光電変換素
子５ＡＡから出力される正弦波信号は、コンパレータ６
ＡＡによって矩形波状の角度測定信号に変換され、カウ
ンタ７Ａによって計数される。そして、回転円板２の第
３基準パターン２ＡＢが、第１検出部材３Ａの第１基準
パターン３ＡＢに対向すると、光電変換素子５ＡＢの出
力信号が所定値以上となって、コンパレータ６ＡＢから
矩形波状の第１基準パターン検出信号が出力される。
Ａおよび５ＡＢならびに信号処理回路１００Ａの各部の
信号波形を示す。以下、図４を参照して図１の実施例の
動作を説明する。回転円板２の回転に応じて光電変換素
子５ＡＡから出力される正弦波信号は、コンパレータ６
ＡＡによって矩形波状の角度測定信号に変換され、カウ
ンタ７Ａによって計数される。そして、回転円板２の第
３基準パターン２ＡＢが、第１検出部材３Ａの第１基準
パターン３ＡＢに対向すると、光電変換素子５ＡＢの出
力信号が所定値以上となって、コンパレータ６ＡＢから
矩形波状の第１基準パターン検出信号が出力される。
【００２４】一方、コンパレータ６ＡＡから出力される
矩形波状の角度測定信号の立上りが、立上り検出回路８
Ａによって検出され、回路８Ａの検出出力とコンパレー
タ６ＡＢの出力である第１基準パターン検出信号との論
理積がＡＮＤゲート９Ａによって求められ、ＡＮＤゲー
ト９Ａの高レベル信号によってカウンタ７Ａがリセット
される。
矩形波状の角度測定信号の立上りが、立上り検出回路８
Ａによって検出され、回路８Ａの検出出力とコンパレー
タ６ＡＢの出力である第１基準パターン検出信号との論
理積がＡＮＤゲート９Ａによって求められ、ＡＮＤゲー
ト９Ａの高レベル信号によってカウンタ７Ａがリセット
される。
【００２５】光電変換素子５ＢＡおよび５ＢＢならびに
信号処理回路１００Ｂの動作は、光電変換素子５ＡＡお
よび５ＡＢならびに信号処理回路１００Ａの動作と逆相
である点を除いて同一であり、カウンタ７Ｂは、ＡＮＤ
ゲート９Ｂの高レベル信号によってリセットされる。
信号処理回路１００Ｂの動作は、光電変換素子５ＡＡお
よび５ＡＢならびに信号処理回路１００Ａの動作と逆相
である点を除いて同一であり、カウンタ７Ｂは、ＡＮＤ
ゲート９Ｂの高レベル信号によってリセットされる。
【００２６】カウンタ７Ａおよびカウンタ７Ｂは、リセ
ットされた後、それぞれ、コンパレータ６ＡＡおよび６
ＢＡからの角度測定信号の計数を行い、マイクロコンピ
ュ−タ２００が、２つのカウンタ７Ａおよび７Ｂの計数
値を平均化し、さらに、ディジタル回転角に変換し、表
示装置３００に表示する。
ットされた後、それぞれ、コンパレータ６ＡＡおよび６
ＢＡからの角度測定信号の計数を行い、マイクロコンピ
ュ−タ２００が、２つのカウンタ７Ａおよび７Ｂの計数
値を平均化し、さらに、ディジタル回転角に変換し、表
示装置３００に表示する。
【００２７】上述のように、カウンタ７Ａおよび７Ｂ
を、それぞれ対応する基準パターンに基づいて独立にリ
セットできるので、基準パターンが偏心して回転しても
測定誤差が生じることはない。また、検出部材３Ａおよ
び３Ｂの位置を独立に調整でき、調整が容易になる。
を、それぞれ対応する基準パターンに基づいて独立にリ
セットできるので、基準パターンが偏心して回転しても
測定誤差が生じることはない。また、検出部材３Ａおよ
び３Ｂの位置を独立に調整でき、調整が容易になる。
【００２８】なお、上記実施例においては、回転円板の
２つの回転対称位置にそれぞれ基準パターンを形成し、
対応する２つの検出部材にそれぞれ基準パターンを形成
しているが、次の様に構成してもよい。
２つの回転対称位置にそれぞれ基準パターンを形成し、
対応する２つの検出部材にそれぞれ基準パターンを形成
しているが、次の様に構成してもよい。
【００２９】すなわち、回転角検出用のパタ−ンが形成
された回転円板と、この回転円板の円周均等分割位置に
設けられ、それぞれ回転角検出用パターンに対応した角
度測定用パターンを有するＮ個の検出部材（Ｎは、３以
上の正の整数）と、Ｎ個の検出部材の角度測定用パター
ンと回転円板の回転角検出用パターンとの位置関係に応
じて出力されるＮ個の信号にそれぞれ基づいて回転円板
の回転角を示す角度信号を求めるＮ個の信号処理回路
と、これらＮ個の信号処理回路が出力する角度信号が示
す回転角の平均値を求める平均化回路とを備え、Ｎ個の
検出部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成
し、回転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材の
それぞれに対応させて、対応する検出部材に形成された
基準パターンによって検出でき且つ他の検出部材によっ
て検出できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給する。このようにすれば、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号が、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給される。従って、測定の累積誤差を
無くすことができる。
された回転円板と、この回転円板の円周均等分割位置に
設けられ、それぞれ回転角検出用パターンに対応した角
度測定用パターンを有するＮ個の検出部材（Ｎは、３以
上の正の整数）と、Ｎ個の検出部材の角度測定用パター
ンと回転円板の回転角検出用パターンとの位置関係に応
じて出力されるＮ個の信号にそれぞれ基づいて回転円板
の回転角を示す角度信号を求めるＮ個の信号処理回路
と、これらＮ個の信号処理回路が出力する角度信号が示
す回転角の平均値を求める平均化回路とを備え、Ｎ個の
検出部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成
し、回転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材の
それぞれに対応させて、対応する検出部材に形成された
基準パターンによって検出でき且つ他の検出部材によっ
て検出できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給する。このようにすれば、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号が、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給される。従って、測定の累積誤差を
無くすことができる。
【００３０】
【考案の効果】以上の説明から明かなように、請求項１
の回転角測定装置によれば、回転円板の第１位置に、第
１検出部材に形成された第１基準パターンによって検出
でき且つ第２検出部材に形成された第２基準パターンに
よっては検出できない第３の基準パターンを形成し、回
転円板の第１位置と実質的に回転対称位置にある第２位
置に、第２検出部材に形成された第２基準パターンによ
って検出でき且つ第１検出部材に形成された第１基準パ
ターンによっては検出できない第４の基準パタ−ンを形
成し、第１検出部材に形成された第１基準パターンによ
って回転円板の第３基準パターンを検出することによっ
て得られた信号を、第１信号処理回路に第１基準信号と
して供給し、第２検出部材に形成された第２基準パター
ンによって回転円板の第４基準パターンを検出すること
によって得られる信号を、第２信号処理回路に第２基準
信号として供給するようにしたので、第１および第２信
号処理回路を独立に動作させることができ、回転円板の
回転角検出用パターンが偏心して回転しても測定誤差が
生じることはない。また、第１および第２の検出部材の
位置を独立に調整すことが可能となるから、調整が容易
となる。
の回転角測定装置によれば、回転円板の第１位置に、第
１検出部材に形成された第１基準パターンによって検出
でき且つ第２検出部材に形成された第２基準パターンに
よっては検出できない第３の基準パターンを形成し、回
転円板の第１位置と実質的に回転対称位置にある第２位
置に、第２検出部材に形成された第２基準パターンによ
って検出でき且つ第１検出部材に形成された第１基準パ
ターンによっては検出できない第４の基準パタ−ンを形
成し、第１検出部材に形成された第１基準パターンによ
って回転円板の第３基準パターンを検出することによっ
て得られた信号を、第１信号処理回路に第１基準信号と
して供給し、第２検出部材に形成された第２基準パター
ンによって回転円板の第４基準パターンを検出すること
によって得られる信号を、第２信号処理回路に第２基準
信号として供給するようにしたので、第１および第２信
号処理回路を独立に動作させることができ、回転円板の
回転角検出用パターンが偏心して回転しても測定誤差が
生じることはない。また、第１および第２の検出部材の
位置を独立に調整すことが可能となるから、調整が容易
となる。
【００３１】請求項２の回転角測定装置によれば、基準
パターンを同一のランダムピッチ配列格子パターンによ
って構成したので、ある基準パターンによって検出でき
他の基準パターンによっては検出できない基準パタ−ン
を容易に形成できる。
パターンを同一のランダムピッチ配列格子パターンによ
って構成したので、ある基準パターンによって検出でき
他の基準パターンによっては検出できない基準パタ−ン
を容易に形成できる。
【００３２】請求項３の回転角測定装置によれば、Ｎ個
の検出部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成
し、回転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材の
それぞれに対応させて、対応する検出部材に形成された
基準パターンによって検出でき且つ他の検出部材によっ
て検出できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給するようにしたので、測定の累積誤
差を無くすことができる。
の検出部材にそれぞれ互いに異なる基準パターンを形成
し、回転円板の円周均等分割位置に、Ｎ個の検出部材の
それぞれに対応させて、対応する検出部材に形成された
基準パターンによって検出でき且つ他の検出部材によっ
て検出できないＮ個の基準パターンを形成し、Ｎ個の検
出部材に形成された基準信号によって回転円板の対応す
る基準パターンを検出することによって得られるＮ個の
信号を、それぞれＮ個の信号処理回路の対応する回路に
基準信号として供給するようにしたので、測定の累積誤
差を無くすことができる。
【図１】本考案の回転角測定装置の一実施例の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】図１の回転円板２と、第１検出部材３Ａと、第
２検出部材３Ａの一例を示す図である。
２検出部材３Ａの一例を示す図である。
【図３】第１検出部材３Ａおよび回転円盤２にそれぞれ
形成される第１および第３基準パターン２ＡＢおよび３
ＡＢの一例、ならびに第２検出部材３Ａおよび回転円盤
２にそれぞれ形成される第２および第４基準パターン２
ＢＢおよび３ＢＢの一例を示す図である。
形成される第１および第３基準パターン２ＡＢおよび３
ＡＢの一例、ならびに第２検出部材３Ａおよび回転円盤
２にそれぞれ形成される第２および第４基準パターン２
ＢＢおよび３ＢＢの一例を示す図である。
【図４】図１の実施例の各部の信号波形を示す図であ
る。
る。
２ 回転円板 ２Ａ 回転角検出用パターン ２ＡＢ 第３基準パターン ２ＢＢ 第４基準パターン ３Ａ 第１検出部材 ３Ｂ 第２検出部材 ３ＡＡ 角度測定用パターン ３ＡＢ 第１基準パターン ３ＢＡ 角度測定用パターン ３ＢＢ 第２基準パターン ５ＡＡ、５ＡＢ、５ＢＢ、５ＢＡ 光電変換素子 ７Ａ、７Ｂ カウンタ １００Ａ 第１信号処理回路 １００Ｂ 第２信号処理回路 ２００ マイクロコンピュ−タ ３００ 表示装置
Claims (3)
- 【請求項１】 回転角検出用のパタ−ンが形成された回
転円板と、この回転円板の実質的回転対称位置に設けら
れ、それぞれ前記回転角検出用パターンに対応した角度
測定用パターンを有する第１と第２の検出部材と、前記
第１検出部材の角度測定用パターンと前記回転円板の回
転角検出用パターンとの位置関係に応じて出力される信
号に基づいて前記回転円板の回転角を示す第１角度信号
を求める第１信号処理回路と、前記第２検出部材の角度
測定用パターンと前記回転円板の回転角検出用パターン
との位置関係に応じて出力される信号に基づいて前記回
転円板の回転角を示す第２角度信号を求める第２信号処
理回路と、前記第１および第２角度信号の示す回転角の
平均値を求める平均化回路とを有する回転角測定装置に
おいて、 前記第１検出部材に第１基準パターンを形成し、 前記第２検出部材に第２基準パターンを形成し、 前記回転円板の第１位置に、前記第１検出部材に形成さ
れた前記第１基準パターンによって検出でき且つ前記第
２検出部材に形成された前記第２基準パターンによって
は検出できない第３の基準パターンを形成し、 前記回転円板の第１位置と実質的に回転対称位置にある
第２位置に、前記第２検出部材に形成された前記第２基
準パターンによって検出でき且つ前記第１検出部材に形
成された前記第１基準パターンによっては検出できない
第４の基準パタ−ンを形成し、 前記第１検出部材に形成された前記第１基準パターンに
よって前記回転円板の前記第３基準パターンを検出する
ことによって得られる信号を、前記第１信号処理回路に
第１基準信号として供給し、 前記第２検出部材に形成された前記第２基準パターンに
よって前記回転円板の前記第４基準パターンを検出する
ことによって得られる信号を、前記第２信号処理回路に
第２基準信号として供給するようにしたことを特徴とす
る回転角測定装置。 - 【請求項２】 前記第１および第３基準パターンが、同
一のランダムピッチ配列格子パターンであり、前記第２
および第４基準パターンが、同一のランダムピッチ配列
格子パターンであることを特徴とする請求項１記載の回
転角測定装置。 - 【請求項３】 回転角検出用のパタ−ンが形成された回
転円板と、この回転円板の円周均等分割位置に設けら
れ、それぞれ前記回転角検出用パターンに対応した角度
測定用パターンを有するＮ個の検出部材（Ｎは、２以上
の正の整数）と、前記Ｎ個の検出部材の角度測定用パタ
ーンと前記回転円板の回転角検出用パターンとの位置関
係に応じて出力されるＮ個の信号にそれぞれ基づいて前
記回転円板の回転角を示す角度信号を求めるＮ個の信号
処理回路と、これらＮ個の信号処理回路が出力する角度
信号が示す回転角の平均値を求める平均化回路とを有す
る回転角測定装置において、 前記Ｎ個の検出部材にそれぞれ互いに異なる基準パター
ンを形成し、 前記回転円板の円周均等分割位置に、前記Ｎ個の検出部
材のそれぞれに対応させて、対応する検出部材に形成さ
れた基準パターンによって検出でき且つ他の検出部材に
形成された基準パターンよって検出できないＮ個の基準
パターンを形成し、 前記Ｎ個の検出部材に形成された基準パターンによって
前記回転円板の対応する基準パターンを検出することに
よって得られるＮ個の信号を、それぞれ前記Ｎ個の信号
処理回路の対応する回路に基準信号として供給するよう
にしたことを特徴とする回転角測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991111938U JP2555083Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 回転角測定装置 |
| US07/992,438 US5301434A (en) | 1991-12-24 | 1992-12-17 | Rotation angle measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991111938U JP2555083Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 回転角測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555022U JPH0555022U (ja) | 1993-07-23 |
| JP2555083Y2 true JP2555083Y2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=14573905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991111938U Expired - Fee Related JP2555083Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 回転角測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5301434A (ja) |
| JP (1) | JP2555083Y2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI91325C (fi) * | 1992-04-07 | 1994-06-10 | Partek Cargotec Oy | Paikka-asteikko ja optinen lukuanturi tämän paikka-asteikon lukemiseksi |
| DE19601676A1 (de) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Teves Gmbh Alfred | Lenkwinkelsensor mit Auswertung der Inkrementalspur zur Absolutwertbestimmung |
| DE19601965A1 (de) * | 1996-01-20 | 1997-07-24 | Teves Gmbh Alfred | Lenkwinkelsensor mit Umdrehungszählwerk |
| US5746005A (en) * | 1996-10-22 | 1998-05-05 | Powerhorse Corporation | Angular position sensor |
| NL1004624C2 (nl) * | 1996-11-27 | 1998-05-28 | Nedap Nv | Compacte incrementele positiebepaling met een absolute referentie. |
| US6119355A (en) * | 1998-06-02 | 2000-09-19 | Trimble Navigation Limited | Audible tilt sensor calibration |
| DE19835972C1 (de) * | 1998-08-08 | 2000-01-20 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Optoelektronische Positionserfassungseinrichtung zur absoluten Weg- oder Winkelbestimmung sowie Verwendung einer solchen Einrichtung |
| DE19849554C1 (de) * | 1998-10-27 | 2000-03-02 | Ruf Electronics Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern |
| DE19939643B4 (de) * | 1999-08-18 | 2005-10-13 | Trimble Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur Positionsbestimmung zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Teilen |
| US6286220B1 (en) * | 1999-11-30 | 2001-09-11 | Directional Robotics, Inc. | Reflective compass device |
| JP3376546B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2003-02-10 | 理英 近藤 | ペン形屈曲線長測器 |
| DE10102278B4 (de) * | 2001-01-18 | 2004-10-28 | Raytheon Marine Gmbh | Datenübertragungsstrecke an einer n.360° Lagerung |
| DE60335238D1 (de) * | 2002-01-04 | 2011-01-20 | Parker Hannifin Corp | Zylinder mit optischer erfassungsvorrichtung und verfahren |
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