JP2000507703A - 角度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 基部（１４）に対して回転可能な要素（１３）の正確な角度位置を測定するための装置及び方法。この装置には、第一トラック（１８）及び第二トラック（２０）を持つ回転ディスク（１６）が含まれ、各トラックは高透明度及び低透明度の交互に並ぶラインから構成される。回転ディスクは要素の回転軸の周りを連続的に回転する。高透明度及び低透明度の交互のラインからなる光学格子（２２）を第一トラックに対向させて、且つ回転ディスクに平行に配置し、基部に対して固定する。さらに、要素に取り付けた測定ディスク（２４）を回転ディスクと同軸に配置する。また、装置には、測定光の透過率の変化に対応する信号を生成する二つの光電センサ（２８と３０）が含まれる。一方の光電センサは、第一トラックと光学格子との組合せを介した光透過率の変化に対応する基準信号（５６）を生成する。他方の光電センサは、第二トラックと測定ディスクのトラックとの組合せを介した光透過率の変化に対応する測定信号（５８）を生成する。これらの信号は、基部に対する要素の正確な角度位置に関する情報を計算するために、プロセッサによって処理される。

Description

【発明の詳細な説明】 角度測定装置発明の分野及び背景 本発明は、概して測定システムに関し、特に、回転要素の角度位置の正確な測 定のための装置に関する。 シャフトの回転を周期的な電気信号に変換するために、回転エンコーダが用い られることは既知である。これらの信号は、表示のための位置情報を得るために 、あるいはシステムを制御するための入力として処理される。通常、回転エンコ ーダは目盛盤の光電走査によって電気信号を生成する。 高精度の用途では、±１あるいは２秒以下の角度分解能が必要とされるため、 回転エンコーダの使用には多くの問題が生じる。このような用途に対しては、３ ６,０００ライン以上を持つ目盛盤が用いられるため、数アークセコンド（秒） の累積誤差が生じ易い。精度を改善するために、さらに基準マークを用いるこの ようなシステムの例が、アーネスト氏（Ernst）の米国特許第４,４７７,１８９ 号に開示されている。 一般的に、既存の回転盤の較正に、高精度のエンコーダを用いることは適当で はない。その理由は、エンコーダ・アセンブリ全体が、高度に堅牢な構造内に組 み込まれた非常に高精度な構成要素の複雑な構成からなっているためである。ま た、非常に高精度な構成要素は非常に高価である。 高精度の回転プラットホームすなわち「回転割出盤」の較正は、通常、経緯儀 あるいは多角形コリメータ等の光学装置を用いて行われる。このような装置の使 用は、手間がかかり極度に作業を遅くするもので、通常、設定及び較正のために ８時間から１６時間を必要とする。 較正時間を減らすために、レーザ光の角度干渉法に基づいた自動較正システム が開発された。チェイニー氏（Chaney）の米国特許第５,２３７,３９０ 号に開示されたこのようなシステムは、英国のレニショー社（Renishaw）からＲ Ｘ１０システムとして市販されている。しかしながら、この非常にコスト高なシ ステムでさえ、通常、設定時間を含めて５時間から６時間を必要とする。 したがって、回転盤等の回転要素の角度位置の正確な測定のための代替的方法 が必要である。また、角度位置の正確な測定をするために、低コストで比較的に 低解像度の構成要素を用いた装置を得ることは、たいへん有利なことである。発明の要約 本発明は、基部に対して回転可能な要素の正確な角度位置を測定するための装 置及び方法に関する。 本発明は、基部に対する回転要素の角度位置を正確に測定するための方法を提 供する。この方法は次のステップからなる。（ａ）少なくとも一つの目盛トラッ クを持つディスクの回転を介して、（ｉ）振動基準信号と、（ｉｉ）振動測定信 号とを生成するステップ。この測定信号は基準信号に対して移相的関係にあり、 この移相は、基部に対する回転要素の角度位置の関数である。（ｂ）移相を測定 するステップ。移相における２πの変化が、基部に対する回転要素のおよそ１° 以下の回転ステップに対応する。 本発明の特徴によれば、前記移相は、０から２πの範囲で測定されるため、回 転ステップ内における角度位置を示す。さらに、この方法は、任意の初期値から 、移相のゼロ交差を数えるステップを含む。この初期値は初期角度位置に対応す るため、移相のゼロ交差数は、角度位置が存在する回転ステップを示す。 さらに、本発明の特徴によれば、回転要素の状態を、回転しているか、あるい は静止しているか識別するステップが含まれる。 また、本発明の特徴によれば、前記移相は、０から２πの範囲で測定されるた め、回転ステップ内における角度位置を示す。このとき、この方法は、 さらに、角度位置が存在する回転ステップを測定するために、基部に対する回転 要素の角度位置の近似測定を行うステップを含む。 本発明の特徴によれば、基準信号は、高透明度及び低透明度の交互に並ぶライ ンからなる固定格子と回転ディスク上の少なくとも一つのトラックとの組合せを 介した光の透過率を測定することによって生成される。 また、本発明の特徴によれば、測定信号は、前記要素に付随した高透明度及び 低透明度の交互に並ぶラインからなる測定トラックと回転ディスク上の少なくと も一つのトラックとの組合せを介した光の透過率を測定することによって生成さ れる。 また、本発明は、基部に対して回転可能な要素の正確な角度位置を測定するた めの装置を提供する。この装置は、次のものから構成される。（ａ）高透明度及 び低透明度の交互に並ぶラインからなる少なくとも一つの主トラックを持つ回転 ディスク。この回転ディスクは前記要素の回転軸の周りを連続的に回転する。（ ｂ）基部及び要素の一方に付随した、高透明度及び低透明度の交互に並ぶライン からなる光学格子。この光学格子は、回転ディスクに平行に、且つ主トラックの 一部に対向させて配置される。（ｃ）基部及び要素の他方に付随した測定ディス ク。測定ディスクは、高透明度及び低透明度の交互に並ぶラインからなる副トラ ックを持ち、回転ディスクに同軸に配置される。また、この副トラックは、主ト ラックの少なくとも一部に対向するように配置される。（ｄ）主トラックと光学 格子との組合せを介した光透過率の変化を示す基準信号を生成する第一の光電セ ンサ。（ｅ）主トラックと副トラックとの組合せを介した光透過率の変化を示す 測定信号を生成する第二の光電センサ。（ｆ）基部に対する要素の正確な角度位 置に関する情報を計算するために、基準信号及び測定信号を処理するプロセッサ 。 本発明の特徴によれば、このプロセッサは次のものを含む。（ａ）少なくとも 一つのタイマ。このタイマは、（ｉ）基準信号の周期と、（ｉｉ）基準信号と測 定信号との間の対応位相遅れとを測定する。（ｂ）周期及び位相遅れの複数の対 を保存するメモリ。（ｃ）正確で代表的な位相差を計算するた めに、前記複数の対を処理する数値プロセッサ。 また、本発明の特徴によれば、プロセッサは、さらに、基準信号と測定信号と の間の位相差のゼロ交差を数えるカウンタを含む。 また、本発明の特徴によれば、基部に対して回転要素の方向を広範囲に適応さ せるために、基部に付随する玉継ぎ手が設けられる。 また、本発明は、基部に対して回転可能な要素の角度位置を正確に測定するた めの方法を提供する。この方法は次のステップからなる。（ａ）基部と回転部材 との間の相対的な運動に関連した第一の信号を生成するステップ。この第一の信 号はほぼ周期的である。（ｂ）要素と回転部材との間の相対的な運動に関連した 第二の信号を生成するステップ。この第二の信号もほぼ周期的である。（ｃ）第 一及び第二の信号から複数のデータ対（Ｔｉ、ｔｉ）得るステップ。この場合、 Ｔｉは第一及び第二の信号の一つの周期であり、ｔｉは第一及び第二の信号間の 対応位相遅れである。（ｄ）複数のデータ対を処理し、第一及び第二の信号の間 の正確で代表的な位相差を見いだすステップ。（ｅ）代表的な位相差から基部に 対する回転要素の正確な角度位置に関する情報を計算するステップ。 さらに、本発明の特徴によれば、第一の信号は、基部に付随した目盛尺と回転 部材に付随した目盛トラックとの組合せを介した透過光を感知することによって 生成される。 また、本発明の特徴によれば、第二の信号は、前記要素に付随した第一の目盛 トラックと回転部材に付随した第二の目盛トラックとの組合せを介した透過光を 感知することによって生成される。 さらに、本発明の特徴によれば、第一及び第二の信号は、回転部材の各回転毎 におよそ３６００のサイクルを含む。 さらに、本発明の特徴によれば、複数のデータ対（Ｔｉ、ｔｉ）を得るステッ プは、第一あるいは第二の信号の連続なサイクルについてＮサイクル分のデータ 対を得ることを含む。この場合、Ｎは回転部材の各回転毎に生成されるサイクル 数に等しい。図面の簡単な説明 一例として添付図面を参照して、本発明をここに説明する。 図１は、基部に対して回転可能な要素の正確な角度位置を測定するための、本 発明に従って構成され操作可能な装置の側面断面図である。 図２は、図１の装置の構成要素の位置関係を示す概略的な分解斜視図である。 図３Ａは、図１の装置の測定ディスク及び光学格子の一部を示す概略平面図で ある。 図３Ｂは、図１の装置の回転ディスクの一部を示す概略平面図である。 図４は、図３Ａの測定ディスク及び光学格子上に重ねられた図３Ｂの回転ディ スクを示す概略平面図である。 図５は、図１の装置における光電センサによって生成された基準信号及び測定 信号の透過光輝度の経時変化を示すグラフである。 図６は、図１の装置に用いられるプロセッサのブロック図である。 図７は、図６のプロセッサに用いるタイマーの一例を詳細なブロック図で示す ものである。好適実施例の説明 本発明は、基部に対して回転可能な要素の正確な角度位置を測定するための装 置と方法とに関する。 本発明による装置及び方法の原理及び作動については、図面及びその説明文か ら明確に理解することができる。 さて、図面を参照する。図１は、本発明に従って構成され操作可能な、概して １０と符号が付けられた装置を示す。この装置は、基部１４に対して、回転盤１ ３に結合されたシャフト１２の正確な角度位置を測定するためのものである。図 ２は、装置１０の特定な構成要素の位置関係を概略的に示すものである。 概して、装置１０には、第一トラック１８と第二トラック２０とを持つ回転デ ィスク１６が含まれ、各トラック１８及び２０は、典型的に、透過率が正弦変化 する交互に並ぶ高透明度及び低透明度のラインから構成される。また、回転ディ スク１６は、シャフト１２の回転軸を中心として連続的に回転する。第一トラッ ク１８に対向させ、且つ回転ディスク１６に平行に、二つの光学格子２２が置さ れており、これら光学格子の各々は、交互に並ぶ高透明度及び低透明度のライン からなる。格子２２は、通常、基部１４に対して、シャフト１２の回転軸の反対 側に固定される。シャフト１２に取り付けられた測定ディスク２４は、回転ディ スク１６に同軸に配置されており、測定ディスク２４には、第二トラック２０に 対向して配置された、交互に並ぶ高透明度及び低透明度のラインからなるトラッ ク２６がある。 また、装置１０は、測定光の透過率の変化に対応する信号を生成する光電セン サ２８及び３０が設けられている。光電センサ２８は、第一トラック１８と光学 格子２２との組合せを介した光透過率の変化に対応する基準信号を生成し、光電 センサ３０は、第二トラック２０とトラック２６との組合せを介した光透過率の 変化に対応する測定信号を生成する。これらの信号は、基部１４に対するシャフ ト１２の正確な角度位置に関する情報を計算するためにプロセッサ３２によって 処理される。 シャフト１２及び基部１４に関する装置１０の構成は任意であり、装置１０の 機能を変えることなく、基部１４に測定ディスク２４を固定し、光学格子２２を シャフト１２に取り付けるようにすれば、装置１０は容易に反転可能であること が明らかである。同様に、シャフト１２と基部１４との間の相対的な回転のみが 測定されるため、装置１０が、基部１４に対してシャフト１２の、あるいはシャ フト１２に対して基部１４の回転を測定するように配置されるかどうかは重要な ことではない。 装置１０は、設定時間を含み２０分から３０分の合計時間内に、３６０の位置 において高度に正確な角度測定を可能にすることによって、従来の技術における 較正システムに勝る重要な改良を提供する。また、装置１０は、比 較的に低精度の構成要素を用いるため、従来の技術におけるシステムに比べ、か なりのコストの節約を提供する。 さて、装置１０の特徴をより詳細に説明する。通常、回転ディスク１６及び測 定ディスク２４は、従来のエンコーダにおける光学ディスクに用いられるものと 同様の材料から、同様の技術によって形成される。通常、回転ディスク１６はお よそ５０ｍｍの直径がある。回折光の透過を防ぐために、回転ディスク１６と測 定ディスク２４とをできるだけ近くに取り付けることが好ましい。通常、それら の間隙は０.１ｍｍ程度である。 回転ディスク１６の第一トラック１８及び第二トラック２０は、同数かつ、一 定の角度間隔で半径方向に延びるラインを持つ。トラック１８及び２０は各々互 いに同相、すなわち第一トラック１８の各ラインは、第二トラック２０の一つの ラインと同一直線上にある。事実、設計方針に応じて、トラック１８及び２０を 、一つの広いトラックとして設けることも可能である。 通常、第一トラック１８及び第二トラック２０には、およそ１０００から１０ ０００のラインが設けられる。およそ３６００のライン値、すなわち０．１°の 角度間隔であることが好ましい。これは、コスト高な生産技術を必要とせずに、 非常に高い精度を提供するのに十分である。これらのラインを、比較的に透明な 背景上に不透明あるいは不透明に近い状態で設けることが好ましい。各トラック の機能領域のおよそ５０％をカバーするように、十分に広いことが好ましい。し かし、比較的に高透明度の等間隔で半径方向に延びる領域と、比較的に低透明度 の等間隔で半径方向に延びる領域とが交互に並ぶ構成であれば、いかなるものも 機能することは明らかである。したがって、トラック１８及び２０の領域パター ンについては、種々の選択肢があるが、ここでは一般的に、高透明度及び低透明 度の交互に並ぶラインとして表す。 回転ディスク１６は、柔軟なカプリング３５を介するモータ３６によって連続 的に駆動される回転ハブ３４に取り付けられている。モータ３６は振動の発生が 少ないタイプのものであることが好ましい。カプリング３５は、モータ３６の僅 かな偏心が回転ディスク１６の位置合わせを不可能にすること を防ぐためのものである。モータ３６の回転速度は重要ではないが、回転盤１３ の予測回転速度よりもかなり大きいことが好ましい。モータ３６は、装置１０に 対して堅牢な構造と保護カバーとを提供するケーシング３８に取り付けられてい る。 既存の回転盤１３を較正するために、基部１４を、回転盤１３のベースに対し て固定関係にある堅牢な構造に固定しなければならない。ここに示す実施例にお いては、ケーシング３８の一端側は、玉継ぎ手４０を介して基部１４に取り付け られており、ケーシング３８の反対側には、シャフト１２が軸受４２を介して旋 回可能に取り付けられている。この構成によって、装置１０の作動に干渉するこ となく、回転盤１３に対する基部１４の様々な配置あるいは状態が受容可能とな る。さらに、シャフト１２と回転盤１３との間に柔軟なカプリング３７が設けら れており、これによって、装置１０は、回転盤１３に対してシャフト１２が心し て取り付けられても影響を受けないようになっている。 測定ディスク２４は、シャフト１２の端部近くに、回転ディスク１６に平行に 、且つ光学格子２２と同一平面上に取り付けられている。概して、測定ディスク ２４は、回転ディスク１６と同形状であり、その半径が、第一トラック１８と第 二トラック２０との間の半径になるように切削されている。トラック２６には多 くのラインがあり、その数はトラック１８及び２０のライン数に等しい。トラッ ク２６のラインは、比較的に透明な背景上に設けられた不透明あるいは不透明に 近いラインであり、十分に広く、トラック２６の機能領域のおよそ５０％をカバ ーしていることが好ましい。 典型的に、光学格子２２の一つと光電センサ２８及び３０の各々が、ケーシン グ３８の内側に取り付けられたＵ形ブラケット４６に固定され、回転ディスク１ ６及び測定ディスク２４の面上に延びる。本発明の基本的な実施例においては、 一つの光学格子２２と各光電センサ２８及び３０とからなる単一セットの単一Ｕ 形ブラケット４６で十分であるが、このようなアセンブリが二つ、各々反対側に 、すなわち、シャフト１２の回転軸の周りに、一方が 他方から１８０°回転した状態で設けられることが好ましい。光電センサの第二 の対は、各々、２９及び３１と符号が付されている。二つのアセンブリからの出 力は、累積誤差及びシャフトの偏心の影響を減らすためにプロセッサ３２によっ て処理される。下記にこの処理の詳細を示す。 光学格子２２は、典型的に、第一トラック１８の小切片と同じであり、シャフ ト１２の回転軸に向かって、すなわち「半径方向に」配列されたラインを持つ。 光学格子２２のラインは、シャフト１２の回転軸に対して、トラック１８、２０ 及び２６のラインと同じ角度間隔で「角度的に間隔が定められている」。しかし ながら、光学格子２２の領域は、第一トラック１８の直径に比べてかなり小さい ため、必要なパターンを、等距離の平行ラインで置き換えた同等な格子であって もよい。 光電センサ２８及び３０は、各々、例えば、赤外線ＬＥＤあるいは電球等の光 エミッタ４８と、従来のタイプの、例えばフォトダイオードあるいはフォトトラ ンジスタ等の光センサ５０とを含む。単一の光エミッタ４８が、隣接する光電セ ンサ２８及び３０に共通に用いられてもよい。 光電センサ２８の二つの部分は、光エミッタ４８からの光線が光センサ５０に 到達する前に第一トラック１８と光学格子２２との両方を通過するように、光学 格子２２との位置関係が固定されている。したがって、光電センサ２８は、任意 の瞬間における第一トラック１８と光学格子２２との重なりの透過率に対応する 出力信号を生成する。この信号を以下「基準信号」と呼ぶ。下記に説明するが、 この基準信号は振動信号である。出力信号は、通常約正弦波の形態をとる。 光電センサ３０の二つの部分は、光エミッタ４８からの光線が光センサ５０に 到達する前に第二トラック２０と測定ディスク２４のトラック２６との両方を通 過するように配列されている。したがって、光電センサ３０は、任意の瞬間にお ける第二トラック２０とトラック２６との重なりの透過率に対応する出力信号を 生成する。この信号を以下「測定信号」と呼ぶ。この測定信号は、下記に説明す るが、基準信号とは単に位相が異なるだけの振動信号 である。 基準信号及び測定信号は電気結線５２を介してプロセッサ３２に転送される。 このプロセッサ３２の詳細については、図６及び図７を参照して後に説明する。 さて、図３から図５を参照しながら、装置１０の作動について説明する。図３ Ａに、トラック２６を含む測定ディスク２４の一部と光学格子２２とを概略的に 示す。この例においては、測定ディスク２４が回転しているため、トラック２６ のラインは、ライン間の角度間隔のおよそ４分の１だけ光学格子２２のラインか らずれている。図３Ｂに、第一トラック１８と第二トラツク２０とを含む回転デ ィスク１６の一部を概略的に示す。この場合、第一及び第二トラックは、単一の 広いトラック５４を形成している。図３Ａ及び図３Ｂの両方に、光電センサ２８ 及び３０の機能領域が破線で示されている。 図４に、図３Ｂに示した回転ディスク１６が、図３Ａに示した光学格子２２及 び測定ディスク２４上に重ね合わされた状態を示す。回転ディスク１６が回転す ると、トラック１８及び２０のラインが、各々、光学格子２２及びトラック２６ のライン上を通過するため、光電センサ２８及び３０の機能領域上への低透明度 ラインの重なる量が周期的に変化する。このため、光電センサ２８及び３０によ って測定される透過量に周期的な変化が起こり、振動出力信号が生成される。 図５に、光電センサ２８によって生成された基準信号の変化（符号５６）と光 電センサ３０によって生成された測定信号の変化（符号５８）を示す。回転ディ スク１６の連続した位置に対応する値を英大文字ＡからＤで示す。例えば、ピー クからピークまでの測定振動周期をＴで示し、基準信号５６からの測定信号５８ の遅れを△ｔで示す。信号間の正規化移相を次のように定義することができる。 （１） △φ＝２π△ｔ／Ｔ 正規化移相を計算することによって、特定な回転ステップ内における、光学格 子２２に対する測定ディスク２４の、すなわち基部１４に対するシャフ ト１２及び回転盤１３の角度位置を非常に正確に測定できることは明白である。 代数的に表すなら、測定トラック２６に合計Ｎラインが含まれる場合、ライン間 の角度ステップは△θ＝３６０°／Ｎとなり、任意の初期化位置から測定される 基部１４に対する回転盤１３の角度位置θは、次式によって表すことができる。 （２） θ＝ｎ△θ＋△φ△θ／２π この場合、ｎは整数である。言い換えれば、例えば、トラック２６及び光学格子 ２２が△θ＝０．１°の角度間隔のラインで目盛られるなら（一回転につきＮ＝ ３６００ライン）、移相△φ／２πは、０.１°のステップ内における割合で回 転盤１３の角度位置に対応する。したがって、装置１０は、０.１°の回転を２ πの移相に変換する。このため、任意の角度間隔あるいは解像度の構成要素を用 いて従来の方法で達成されるものよりも非常に高精度の角度測定が可能である。 原理的には、任意の回転ステップ内における回転盤１３の角度位置を測定する のに、一回の移相測定だけで十分であり、追加的に、回転盤が現在いずれの回転 ステップ内にあるかを決定するための低解像度の情報が必要なだけである。しか しながら、本発明の好適実施例の特徴は、角度位置の非常に正確な測定が低精度 の構成要素を用いて行えることである。系統誤差を最小にするよう多量のデータ を収集しデータを統計的に分析することによって、これを達成することができる 。さて、図６及び７を参照して、このことを説明する。 図６にプロセッサ３２の構造の一例を示す。プロセッサ３２は、概して、シグ ナル・プロセッサ６０、モード・スイッチ６２、ゼロ交差カウンタ６４、タイマ ６６、メモリ６８及びマイクロプロセッサ７０を含む。また、プロセッサ３２は 、概して、ディスプレイ７２、標準コンピュータ通信ポート７４及び操作パネル あるいは他の入力装置７６を含む。 シグナル・プロセッサ６０は、電気結線５２を介して一対の基準信号と測定信 号とを受ける。シグナル・プロセッサ６０は、通常、周期性の基準信号 及び測定信号をパルス波あるいは方形波の形態に変換し、デジタル処理技術の使 用を可能にする。説明を単純にするために、これらの波形を全体的に「パルス信 号」と呼ぶ。この信号処理を行うための装置及び方法は、よく知られた技術であ る。二つの光電センサ・アセンブリが用いられる好適実施例においては、シグナ ル・プロセッサ６０は、各アセンブリから一対の信号、すなわち合計で４つの信 号を受ける。この場合、シグナル・プロセッサは、一対の入力を選択するための 、マイクロプロセッサ７０の制御下で操作可能な交換システムをも含み、通常、 下記に説明するが、正確な角度測定がなされる短時間を除いて、一対の入力が連 続的に用いられる。 シグナル・プロセッサ６０から一対の基準信号及び測定信号に対応する二つの パルス信号がモード・スイッチ６２へ送られ、モード・スイッチ６２は、シャフ ト１２が回転している、あるいは静止しているその状態に応じてプロセッサ３２ のモードを設定する。モード・スイッチ６２は、二つの信号間の有意義な位相の ずれを識別することによって作動する自動機能があることが好ましい。モード・ スイッチ６２の感度は、使用構成要素の許容範囲内にある変化を無視するように 設定される。シャフト１２が回転しているときは、角度位置を大まかに測定する ために、モード・スイッチ６２は、移相ゼロ交差カウンタ６４に信号を送るよう に切り替わる。シャフト１２が静止しているときは、角度位置を正確に測定する ために、モード・スイッチ６２は、タイマ６６に信号を送るように切り替わる。 したがって、シグナル・プロセッサ６０は、ゼロ交差カウンタ６４及びタイマ６ ６に対して、各々が行う処理に適当な幾分異なる信号形態を提供するものであっ てもよい。択一的に、モード・スイッチ６２を、他のタイプの運動センサ、ある いは、正確な測定が必要なときにユーザーが操作する単純な手動スイッチで置き 換えてもよい。 移相ゼロ交差カウンタ６４は、基準信号と測定信号との間の移相のゼロ交差を 累積的にカウントするものである。一例として述べるなら、単にパルスを数える ことによって、すなわち到着する各信号パルスに対してカウンタへ１を加え、各 基準パルスに対して１を引くことによって、これを行ってもよ い。この場合、カウント数は、シャフト１２を介して任意の初期化位置から基部 １４に相対的に移動した回転ステップ数に対応する。この数は、マイクロプロセ ッサ７０に送られ、回転盤１３の全体的な角度位置の測定に用いられる。 さて、タイマ６６は、基準信号及び測定信号に対応するパルス信号から複数の データ対（Ｔｉ、ｔｉ）を得るように機能する。各データ対内において、Ｔｉは 基準信号の周期、すなわち隣接するパルスあるいは波面間の時間であり、ｔｉは 基準信号に対する測定信号の対応位相遅れ、すなわち、基準信号の隣接するパル スの第一のパルスとそれを追う測定信号パルスとの間の時間である。 タイマ６６のための構成の一例を図７に示す。この例によれば、タイマ６６は 、高周波発生器８０によって駆動される高周波カウンタ７８を含む。一般的に、 発生器８０は何十メガヘルツもの周波数において作動するが、およそ４５ＭＨｚ であることが好ましい。カウンタ７８は、通常、２バイト・カウンタであるが、 もし必要なら、より大きなカウンタを用いてもよい。第一のバッファ８２はｔｉ を測定するために設けられており、第二のバッファ８４は、Ｔｉを測定するため に設けられている。 基準信号に対応する信号からのパルスの到着によって、カウンタ７８から第二 のバッファ８４へ値の書き込みが行われ、その後、遅延８６によって生じる非常 に短い遅延の後にカウンタ７８がリセットされる。この遅延は、単に、リセット 前にカウンタの読み込みを行うための、１ナノ秒程度のものであり、これによっ て装置の精度に影響が生じることはない。測定信号に対応する信号からのパルス が到着すると、カウンタ７８から第一のバッファ８２への値の書き込みが行われ 、これによってｔｉが記録される。この場合、カウントされた発生器の周期数が 基準信号と測定信号との間の位相遅れに対応する。次の基準信号パルスの到着に よって、対応するＴｉの第二のバッファ８４への書き込みが行われ、このときに カウントされた発生器の周期数が基準信号の周期に対応し、この周期内において ｔｉが既に測定されている。 （Ｔｉ、ｔｉ）がメモリ６８に保存されるとき、カウンタ７８は、次のデータ対 （Ｔｉ＋１、ｔｉ＋１）を測定する準備のためにリセットされる。 その後、マイクロプロセッサ７０は、基準信号と測定信号との間の正確で代表 的な位相差を認知するために、メモリ６８に保存されたデータ対を処理する。こ れは、通常、正規化位相差を計算し、 △φｉ＝２πｔｉ／Ｔｉ 次に、標準的な統計手法を用いて、正確で代表的な値を決定する。この値は、単 純な平均値であってもよいし、あるいはより複雑な方法によって決定されてもよ い。特に、ゼロ交差と重なり合う測定位相差の範囲をチェックすることが重要で ある。このような場合、統計的分析を行う前に、単一の連続した範囲のデータを 形成するために、特定の位相測定に対して補正率±２πを付加しなければならな い。また、カウンタ６４からの数値に±１の対応補正が必要となるかも知れない 。これは、３６０°の連続的な範囲でどの角度位置においても正確な測定を可能 にするものである。 さらに重要なことは、目的とする量は、正規化された、あるいは相対的な位相 差、すなわちＴｉに対するｔｉの比であるため、振動周期Ｔが測定精度に影響を 与えないで変化することである。したがって、上記のとおり、モータ３６のある 特定な回転速度あるいはその一定性は重要なことではない。 マイクロプロセッサ７０は、ゼロ交差カウンタ６４からの読みと正確で代表的 な位相差に基づき、独自な測定によって基部１４に対する回転盤１３の高度に正 確な回転位置を計算することができる。この情報は、ディスプレイ７２上に表示 してもよいし、そして／あるいは通信ポートすなわちインタフェース７４を介し て他の装置に直接送ってもよい。操作パネル７６は、装置の全体としての作動モ ード、表示フォーマット、そしてユーザ定義可能なシステムの他のパラメータを 制御するために用いられる。 さて、プロセッサ３２の作動を説明する。前述のとおり、シグナル・プロセッ サは、通常、最初の１対の基準信号及び測定信号へ切り替えられている。モード ・スイッチ６２が、シャフト１２が回転していることを示す限り、タ イマ６６及びメモリ６８かバイパスされ、カウンタ６４は、シャフト１２がどの 回転ステップ内にあるかを測定するためにシャフトの粗い動きを追跡する。シャ フト１２が停止すると、タイマ６６は、自動的に、あるいはマイクロプロセッサ ７０を介する操作パネル７６からのコントロールの下で起動し、（Ｔｉ、ｔｉ） データ対の測定を行う。このデータはメモリ６８に蓄積される。 プロセッサ３２が、回転ディスク１６のフル回転に対応する基準信号及び測定 信号の連続した周期からデータ対を蓄積するということが本発明の好適実施例の 特徴である。これは、ディスクの不規則さから起こる系統誤差を消去する性質が あるため、任意の許容値を持つ構成要素で従来可能であったレベルよりも、より 正確な測定を可能にする。各データ対は位置測定を計算するために用いられ、そ れらの結果に対して統計的分析が行われる。 さらに、系統誤差を減らすための技術としては、一セットの光電センサからの 信号を用いて、回転ディスク１６の回転に対応するデータ対の収集を行った後、 マイクロプロセッサ７０が、第二のセットの光電センサからの信号へとシグナル ・プロセッサ６０を一時的に切り替える。そして、メモリ６８が、回転ディスク １６のほぼフル回転に対応するもう一セットのデータ対を蓄積する。このように して、プロセッサ３２は２Ｎデータ対を用いることができる（Ｎは各目盛盤上の ライン数）。通常、各位置における測定及び処理に必要な合計時間は数秒であり 、ほとんどリアル・タイムの測定システムに対応する。 もし必要なら、測定サイクルを一回以上繰り返して、２Ｎの倍数（２ｋＮ：ｋ ＝１、２、３・・・）のデータ対を提供することができる。これは、系統誤差を 最小にする非常に大きな測定数に対応するため、統計的分析は非常に高精度なも のになる。 回転ディスク１６が一回転につきおよそ３６００ラインを持つ好適実施例にお いては、光電センサの各セットからのデータ対の一回のフルセットを用いること で、７２００のデータ対が得られる。このデータを分析することで、 １/２アークセコンドよりも優れた角度精度が得られるため、従来の技術で同様 な許容範囲の構成要素を用いて達成される精度に勝るものであり、意義深い改善 である。 上記の説明は単に例として意図されたもので、本発明の範囲内において多くの 他の実施例が可能であることは明らかである。例えば、本発明は、特に既存の回 転盤あるいはプラットホームの較正に適した実施例として表されたが、回転プラ ットホーム・アセンブリの一部として容易に適合させ、コントロール・システム の一部として用いることも可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ， ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，Ｇ Ｂ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ， ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，Ｎ Ｚ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ， ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 シモン クレイトマン イスラエル国、ネスジオナ74014、エツェ ルストリート103／９ 【要約の続き】 ッサによって処理される。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．基部に対して回転要素の角度位置を正確に測定するための方法であって、 （ａ）少なくとも一つの目盛トラックを持つディスクの回転を介して、 （ｉ）振動基準信号と （ｉｉ）振動測定信号とを生成するステップ、 なお、この測定信号は前記基準信号に対して移相の関係にあり、この移相は 前記基部に対する前記回転要素の前記角度位置の関数である、 （ｂ）前記移相を測定するステップからなり、 前記移相の変化２πが、前記基部に対する前記回転要素のおよそ１°以下の 回転ステップに対応することを特徴とする方法。 ２．前記移相が０から２πの範囲で測定されることによって、回転ステップ内に おける前記角度位置が示され、前記方法がさらに、任意の初期値からの前記移相 のゼロ交差数をカウントするステップからなり、この初期値が初期角度位置に対 応するため、前記移相ゼロ交差数は前記角度位置が存在する回転ステップを示す ことを特徴とする請求項１に記載の方法。 ３．回転しているか、あるいは静止しているか前記回転要素の状態を識別するス テップからなる請求項２に記載の方法。 ４．前記移相が０から２πの範囲で測定されることによって、回転ステップ内に おける前記角度位置が示され、前記方法がさらに、前記角度位置が存在する回転 ステップを測定するために、前記基部に対する前記回転要素の前記角度位置の近 似測定を行うステップからなる請求項１に記載の方法。 ５．前記基準信号が、高透明度及び低透明度の交互に並ぶラインからなる固定格 子と、前記回転ディスク上の前記少なくとも一つのトラックとの組合せを介した 光の透過率を測定することによって生成される請求項１に記載の方法。 ６．前記測定信号が、前記要素に付随する高透明度及び低透明度の交互に並ぶラ インからなる測定トラックと、前記回転ディスク上の前記少なくとも一つのトラ ックとの組合せを介した光の透過率を測定することによって生成される請求項１ に記載の方法。 ７．基部に対して回転可能な要素の正確な角度位置を測定するための装置であっ て、 （ａ）高透明度及び低透明度の交互に並ぶラインからなる少なくとも一つの主 トラックを持つ回転ディスクと、なお、この少なくとも一つの主トラックは第一 トラック部と第二トラック部とを備え、前記回転ディスクは前記要素の回転軸の 周りを連続的に回転する、 （ｂ）前記基部及び前記要素の一方に付随した高透明度及び低透明度の交互に 並ぶラインからなる光学格子と、なお、この光学格子は、前記回転ディスクに平 行に、且つ、前記第一トラック部に対向して配置される、 （ｃ）前記基部及び前記要素の他方に付随した測定ディスクと、なお、この測 定ディスクは、高透明度及び低透明度の交互に並ぶラインからなる副トラックを 持ち、前記回転ディスクに同軸に配置され、前記副トラックが前記第二トラック 部に対向して配置される、 （ｄ）前記第一トラック部と前記光学格子との組合せを介した光透過率の変化 を示す基準信号を生成する第一の光電センサと、 （ｅ）前記第二トラック部と前記副トラックとの組合せを介した光透過率の変 化を示す測定信号を生成する第二の光電センサと、 （ｆ）前記基部に対する前記要素の正確な角度位置に関する情報を計算するた めに、前記基準信号及び前記測定信号を処理するプロセッサとからなり、 前記第一トラック部、前記第二トラック部、前記光学格子及び前記副トラッ クは、すべてほぼ等しい有効角度のライン間隔を持つことを特徴とする装置。 ８．前記プロセッサが、 （ａ）少なくともの一つのタイマと、なお、このタイマは、 （ｉ）前記基準信号のサイクル周期と、 （ｉｉ）前記基準信号と前記測定信号との間の対応位相遅れとを測定する 、 （ｂ）前記周期及び前記位相遅れの複数の対を保存するメモリと、 （ｃ）正確で代表的な位相差を計算するために前記複数の対を処理する数値プ ロセッサとを含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。 ９．前記プロセッサが、さらに、前記基準信号と前記測定信号との間の位相差の ゼロ交差を数えるカウンタを含む請求項８に記載の装置。 １０．さらに、前記基部に対して前記回転要素の方向を広範囲に適応させる前記 基部に付随した玉継ぎ手からなる請求項７に記載の装置。 １１．基部に対して回転可能な要素の角度位置を正確に測定するための方法であ って、 （ａ）前記基部と回転部材との間の相対的な運動に関連して第一の信号を生成 するステップ、なお、この第一の信号はほぼ周期的である、 （ｂ）前記要素と前記回転部材との間の相対的な運動に関連して第二の信号を 生成するステップ、なお、この第二の信号はほぼ周期的である、 （ｃ）前記第一及び第二の信号から複数のデータ対（Ｔｉ、ｔｉ）を得るステ ップ、なお、Ｔｉは前記第一及び第二の信号の一つの周期であり、ｔｉは前記第 一及び第二の信号間の対応位相遅れである、 （ｄ）前記第一及び第二の信号間の正確で代表的な位相差を見いだすために前 記複数のデータ対を処理するステップ及び （ｅ）前記代表的な位相差から、前記基部に対する前記回転要素の正確な角度 位置に関する情報を計算するステップからなる方法。 １２．前記第一の信号が、前記基部に付随した目盛尺と前記回転部材に付随した 目盛トラックとの組合せを介して透過する光を感知することによって生成される 請求項１１に記載の方法。 １３．前記第二の信号が、前記要素に付随した第一の目盛トラックと前記回転部 材に付随した第二の目盛トラックとの組合せを介して透過する光を感知すること によって生成される請求項１１に記載の方法。 １４．前記第一及び第二の信号が、前記回転部材の各回転に対しておよそ３６０ ０サイクルを含む請求項１１に記載の方法。 １５．前記複数のデータ対（Ｔｉ、ｔｉ）を得るステップが、前記第一あるいは 第二の信号の連続なサイクルについて前記データ対をＮサイクル分得ることを含 む方法であって、この場合、Ｎは前記回転部材の各回転毎に生成されるサイクル 数に等しいことを特徴とする請求項１１に記載の方法。