DE69733647T2 - Winkelmessvorrichtung - Google Patents

Winkelmessvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE69733647T2
DE69733647T2 DE69733647T DE69733647T DE69733647T2 DE 69733647 T2 DE69733647 T2 DE 69733647T2 DE 69733647 T DE69733647 T DE 69733647T DE 69733647 T DE69733647 T DE 69733647T DE 69733647 T2 DE69733647 T2 DE 69733647T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
track
signals
signal
base
relative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69733647T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69733647D1 (de
Inventor
Boris Peschansky
Lev Kraitman
Shimon Kraitman
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Placa Ltd
Original Assignee
Placa Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Placa Ltd filed Critical Placa Ltd
Publication of DE69733647D1 publication Critical patent/DE69733647D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69733647T2 publication Critical patent/DE69733647T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/02Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks
    • H01J5/16Optical or photographic arrangements structurally combined with the vessel
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Body Structure For Vehicles (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft Meßsysteme allgemein und insbesondere ein Verfahren zur präzisen Messung einer Winkelposition eines drehbaren Elements.
  • Es ist bekannt, Drehencoder zu verwenden, um die Drehung einer Welle in periodische elektrische Signale umzuwandeln. Diese Signale werden dann verarbeitet, um eine Positionsinformation für eine Anzeige oder als Eingabe in Steuersysteme zu erhalten. Typischerweise erzeugen Drehencoder die elektrischen Signale durch photoelektrisches Abtasten einer skalierten Scheibe.
  • Bei Hochpräzisionsanwendungen, das heißt, wenn eine Winkelauflösung von ± 1 oder 2 Bogensekunden oder weniger notwendig ist, wird die Verwendung von Drehencodern problematisch. Bei solchen Anwendungen werden skalierte Scheiben mit 36.000 Linien oder mehr verwendet, was einen Häufungsfehler von einigen Bogensekunden ergibt. Ein Beispiel eines derartigen Systems, welches zusätzliche Referenzmarkierungen verwendet, um die Genauigkeit zu verbessern, ist in der US-PS 4,477,189 von Ernst beschrieben.
  • Hochpräzisionsencoder sind für gewöhnlich ungeeignet bei der Verwendung zur Kalibrierung vorhandener Drehtische, da die gesamte Encoderanordnung aus einem komplexen Aufbau von extrem hochgenauen Bauteilen besteht, welche in eine steife Struktur eingebaut sind. Diese extrem hochpräzisen Bauteile sind auch äußerst teuer.
  • Die Kalibrierung von hochgenauen Drehplattformen oder "Drehindextischen" wird typischerweise unter Verwendung eines optischen Geräts, beispielsweise eines Theodoliten oder eines Polygon-Kollimators, durchgeführt. Die Verwendung einer solchen Vorrichtung ist äußerst langsam und macht üblicherweise zwischen 8 und 16 Stunden für Einrichtung und Kalibrierung notwendig.
  • Um die Kalibrierzeit zu verringern, wurde ein automatisiertes Kalibriersystem basierend auf einer Winkelinterferometrie von Laserlicht entwickelt. Ein solches System, wie es in der US-PS 5,237,390 von Chaney beschrieben ist, ist im Handel als RX10-System von Renishaw plc, U.K. erhältlich. Jedoch benötigt auch dieses sehr teure System typischerweise 5-6 Stunden einschließlich der Einrichtzeit.
  • Es besteht daher eine Notwendigkeit für ein anderes Verfahren zur präzisen Messung der Winkelposition eines drehbaren Elements, beispielsweise eines Drehtisches. Es wäre auch besonders vorteilhaft, eine Vorrichtung zu haben, welche preiswerte Bauteile mit relativ niedriger Auflösung verwendet, um präzise Messungen der Winkelposition durchzuführen.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung einer präzisen Winkelposition eines Elements, welches relativ zu einer Basis drehbar ist.
  • Die Merkmale des Oberbegriffs von Anspruch 1 der vorliegenden Anmeldung sind in der US-A-3,702,471 (Shepherd Alexander Turnbull et al) beschrieben.
  • Gemäß der Lehre der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Durchführung einer präzisen Messung der Winkelposition eines Elements geschaffen, welches relativ zu einer Basis drehbar ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: (a) Erzeugen eines ersten Signals in Relation zu einer Relativbewegung zwischen der Basis und einem sich drehenden Bauteil, wobei das erste Signal annähernd periodisch ist; (b) Erzeugen eines zweiten Signals in Relation zu einer Relativbewegung zwischen dem Element und dem sich drehenden Bauteil, wobei das zweite Signal annähernd periodisch ist; und gekennzeichnet ist durch (c) Ermitteln einer Mehrzahl von Datenpaaren (Ti, ti) aus den ersten und zweiten Signalen, wobei Ti die Periode eines Zyklus von dem ersten oder dem zweiten Signal ist und ti die entsprechende Phasenverzögerung zwischen den ersten und zweiten Signalen ist; (d) Verarbeiten der Mehrzahl von Datenpaaren, um eine präzise repräsentative Phasendifferenz zwischen den ersten und zweiten Signalen zu identifizieren; und (e) Berechnen einer Information betreffend die präzise Winkelposition des drehbaren Elements relativ zu der Basis aus der repräsentativen Phasendifferenz.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung wird das erste Signal durch Erfassen von Licht erzeugt, welches durch eine Kombination einer der Basis zugeordneten unterteilten Skala und einer skalierten Spur übertragen wird, welche dem sich drehenden Bauteil zugeordnet ist.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung wird das zweite Signal durch Erfassen von Licht erzeugt, welches durch eine Kombination einer ersten, dem Element zugeordneten skalierten Spur und einer zweiten, dem sich drehenden Bauteil zugeordneten skalierten Spur übertragen wird.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung beinhalten die ersten und zweiten Signale für jede Drehung des sich drehenden Bauteils ungefähr 3600 Zyklen.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung enthält der Schritt des Erhaltens einer Mehrzahl von Datenpaaren (Ti, ti) den Erhalt des Datenpaares für aufeinanderfolgende Zyklen des ersten oder zweiten Signals für N Zyklen, wobei N gleich der Anzahl von Zyklen ist, welche bei jeder Drehung des sich drehenden Bauteils erzeugt werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • Die Erfindung wird nachfolgend exemplarisch unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben, wobei:
  • 1 eine seitliche Schnittdarstellung einer Vorrichtung zur Messung einer präzisen Winkelposition eines relativ zu einer Basis drehbaren Elements ist, aufgebaut und betreibbar gemäß den Lehren der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine schematische perspektivische Ansicht ist, welche die Ausrichtung der Bauteile der Vorrichtung von 1 zeigt;
  • 3a eine schematische Draufsicht auf einen Teil einer Meßscheibe und ein optisches Gitter der Vorrichtung von 1 ist;
  • 3b eine schematische Draufsicht auf einen Teil einer sich drehenden Scheibe der Vorrichtung von 1 ist;
  • 4 eine schematische Draufsicht ist, welche die sich drehende Scheibe von 3b der Meßscheibe und dem optischen Gitter von 3a überlagert zeigt;
  • 5 eine Graphik ist, welche die Änderungen von übertragener Lichtintensität über die Zeit hinweg für ein Referenzsignal und ein Meßsignal zeigt, welche durch photoelektrische Sensoren in der Vorrichtung von 1 erzeugt werden;
  • 6 ein Blockdiagramm eines Prozessors zur Verwendung in der Vorrichtung von 1 ist; und
  • 7 ein detailliertes Blockdiagramm eines Beispiels eines Timers zur Verwendung im Prozessor von 6 ist.
  • BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung einer präzisen Winkelposition eines relativ zu einer Basis drehbaren Elements.
  • Die Grundsätze und der Betrieb von Vorrichtungen und verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung lassen sich besser unter Bezugnahme auf die Zeichnung und die beigefügte Beschreibung verstehen.
  • Bezugnehmend auf die Zeichnung, so zeigt 1 eine insgesamt mit 10 bezeichnete Vorrichtung, welche gemäß den Lehren der vorliegenden Erfindung aufgebaut und betreibbar ist, um eine präzise Winkelposition einer Welle 12, die mit einem Drehtisch 13 verbunden ist, relativ zu einer Basis 14 zu messen. 2 zeigt schematisch die Ausrichtung bestimmter Bauteile der Vorrichtung 10.
  • Allgemein gesagt, die Vorrichtung 10 weist eine sich drehende Scheibe 16 mit einer ersten Spur 18 und einer zweiten Spur 20 auf. Jede Spur 18 bzw. 20 ist aus sich abwechselnden Linien hoher und niedriger Durchlässigkeit, typischerweise mit einer sinusförmigen Schwankung der spezifischen Durchlässigkeit, gebildet. Die sich drehende Scheibe 16 wird fortlaufend um die Drehachse der Welle 12 gedreht. Gegenüber der ersten Spur 18 und parallel zur sich drehenden Scheibe 16 sind zwei optische Gitter 22 ausgerichtet, von denen jedes sich abwechselnde Linien hoher und niedriger Durchlässigkeit hat. Die Gitter 22 sind relativ zur Basis 14 festgelegt und befinden sich typischerweise an einander gegenüberliegenden Seiten der Drehachse der Welle 12. Eine an der Welle 12 angebrachte Meßscheibe 24 ist koaxial zur sich drehenden Scheibe 16 ausgerichtet. Die Meßscheibe 24 weist eine Spur 26 von sich abwechselnden Linien hoher und niedriger Durchlässigkeit auf, welche gegenüber der zweiten Spur 20 ausgerichtet ist.
  • Die Vorrichtung 10 weist auch photoelektrische Sensoren 28 und 30 auf, welche Signale entsprechend Änderungen in der gemessenen spezifischen optischen Durchlässigkeit erzeugen. Die photoelektrischen Sensoren 28 erzeugen ein Referenzsignal entsprechend Änderungen der spezifischen optischen Durchlässigkeit durch eine Kombination der ersten Spur 18 und des optischen Gitters 22. Die photoelektrischen Sensoren 30 erzeugen ein Meßsignal entsprechend Änderungen der spezifischen optischen Durchlässigkeit durch eine Kombination der zweiten Spur 20 und der Spur 26. Diese Signale werden dann von einem Prozessor 32 verarbeitet, um Informationen betreffend die präzise Winkelposition der Welle 12 relativ zur Basis 14 zu berechnen.
  • Es sei festzuhalten, daß die Anordnung der Vorrichtung 10 in Relation zur Welle 12 und zur Basis 14 beliebig ist. Somit kann die Vorrichtung 10 problemlos derart umgekehrt werden, daß die Meßscheibe 24 an der Basis 14 befestigt ist und die optischen Gitter 22 an der Welle 12 angebracht sind, ohne daß die Funktionalität der Vorrich tung 10 geändert wird. Auf ähnliche Weise ist es, da nur die Relativdrehung zwischen der Welle 12 und der Basis 14 vermessen wird, unerheblich, ob die Vorrichtung 10 zur Messung der Drehung der Welle 12 relativ zur Basis 14 oder der Basis 14 relativ zur Welle 12 angeordnet ist.
  • Die Vorrichtung 10 liefert eine wesentliche Verbesserung über Kalibriersysteme nach dem Stand der Technik, indem eine hochpräzise Winkelmessung von 360 Positionen innerhalb einer Gesamtzeit von 20-30 Minuten einschließlich der Einrichtzeit ermöglicht wird. Die Vorrichtung 10 verwendet relativ geringpräzise Bauteile, so daß sich gegenüber Systemen nach dem Stand der Technik erhebliche Kosteneinsparungen ergeben.
  • Was die genaueren Merkmale der Vorrichtung 10 betrifft, so sind die sich drehende Scheibe 16 und die Meßscheibe 24 typischerweise aus ähnlichen Materialien wie denjenigen gefertigt, welche für optische Scheiben in herkömmlichen Encodern verwendet werden, und sie werden auch durch ähnliche Techniken erzeugt. Typischerweise hat die sich drehende Scheibe 16 einen Durchmesser von ungefähr 50 mm. Die sich drehende Scheibe 16 und die Meßscheibe 24 sind bevorzugt ausreichend nahe aneinander angeordnet, um eine merkliche Durchlassung von gebeugtem Licht zu verhindern. Typischerweise beträgt der Abstand zwischen ihnen größenordnungsmäßig 0,1 mm.
  • Die erste Spur 18 und die zweite Spur 20 der sich drehenden Scheibe 16 haben gleiche Anzahl von radialen Linien mit einem konstanten Winkelabstand. Die Linien der Spuren 18 und 20 sind zueinander in Phase, das heißt, jede Linie der ersten Spur 18 ist kollinear mit einer Linie der zweiten Spur 20. Tatsächlich können abhängig von Gestaltungsüberlegungen die Spuren 18 und 20 als einzelne breite Spur ausgeführt werden.
  • Die erste Spur 18 und die zweite Spur 20 haben typischerweise zwischen ungefähr 1000 und 10.000 Linien. Bevorzugt ist ein Wert von ungefähr 3600 Linien, d. h. ein Winkelabstand von 0,1°, ausreichend, um eine sehr hohe Genauigkeit zu schaffen, ohne daß besonders teure Herstellungstechniken notwendig sind. Die Linien sind bevorzugt opake oder annähernd opake Linien auf einem relativ transparenten Hintergrund, und sie sind bevorzugt ausreichend breit, um ungefähr 50 % der funktionellen Fläche einer jeden Spur abzudecken. Es ist jedoch jegliche Anordnung von gleichförmig beabstandeten, sich radial erstreckenden Bereichen relativ hoher Durchlässigkeit, welche sich mit gleichmäßig beabstandeten, sich radial erstreckenden Bereichen relativ niedriger Durchlässigkeit abwechseln, denkbar. Somit werden die verschiedenen Möglichkeiten für das Muster der Bereiche in den Spuren 18 und 20 allgemein als sich abwechselnde Linien hoher und niedriger Durchlässigkeit bezeichnet.
  • Die sich drehende Scheibe 16 ist an einer Drehnabe 34 befestigt, welche fortlaufend über eine flexible Kupplung 35 von einem Motor 36 angetrieben wird. Der Motor 36 ist bevorzugt von einem Typ, der keine merkliche Vibration erzeugt. Die Kupplung 35 verhindert, daß eine leichte Exzentrizität vom Motor 36 die Ausrichtung der sich drehenden Scheibe 16 beeinflußt. Die Drehzahl des Motors 36 ist nicht kritisch, sollte jedoch merklich größer als die zu erwartende Drehzahl des Drehtisches 13 sein. Der Motor 36 ist an einem Gehäuse 38 angebracht, welches für die Vorrichtung 10 eine steife Struktur und Schutzabdeckung bildet.
  • Zum Zweck einer Kalibrierung eines existierenden Drehtisches 13 muß die Basis 14 an einer gewissen steifen Struktur befestigt werden, welche eine feste Beziehung zur Basis des Drehtisches 13 liefert. In der hier gezeigten Umsetzung ist eine Seite des Gehäuses 38 an der Basis 14 über eine Kugelgelenkverbindung 40 befestigt, und die Welle 12 ist über Lager 42 an der gegenüberliegenden Seite des Gehäuses 38 drehbar angeordnet. Diese Ausgestaltung erlaubt die bequeme Einnahme unterschiedlicher Positionen oder Ausrichtungen der Basis 14 relativ zu dem Drehtisch 13, ohne den Betrieb der Vorrichtung 10 zu stören. Eine zusätzliche flexible Kupplung 37 ist zwischen der Welle 12 und dem Drehtisch 13 angeordnet, so daß die Vorrichtung weniger empfindlich gegenüber einer exzentrischen Anordnung der Welle 12 relativ zum Drehtisch 13 wird.
  • Die Meßscheibe 24 ist nahe dem Ende der Welle 12 parallel zur sich drehenden Scheibe 16 und in einer gemeinsamen Ebene mit den optischen Gittern 22 angeordnet. Die Meßscheibe 24 ist im wesentlichen äquivalent zur sich drehenden Scheibe 16, jedoch verkleinert, so daß ihr Radius zwischen demjenigen der ersten Spur 18 und der zweiten Spur 20 liegt. Die Spur 26 enthält eine Anzahl von Linien gleich derjenigen der Spuren 18 und 20. Die Linien der Spur 26 sind bevorzugt opake oder annähernd opake Linien auf einem relativ transparenten Hintergrund und sind bevorzugt ausreichend breit, um ungefähr 50 % der Betriebsfläche der Spur 26 abzudecken.
  • Eines der optischen Gitter 22 und jeweils einer der photoelektrischen Sensoren 28 und 30 sind typischerweise in einer U-förmigen Halterung 46 festgelegt, die an der Innenseite des Gehäuses 38 so angebracht ist, daß sie sich über die Flächen der sich drehenden Scheibe 16 und der Meßscheibe 24 erstreckt. In einer Grundausführungsform der vorliegenden Erfindung ist eine einzelne U-förmige Halterung 46 mit einem einzelnen Satz eines der optischen Gitter 22 und jeweils einem der photoelektrischen Sensoren 28 und 30 ausreichend. Bevorzugt sind jedoch zwei derartige Anordnungen einander gegenüberliegend, d. h. bezüglich der Drehachse der Welle 12 um 180° zueinander versetzt, vorgesehen. Das zweite Paar von photoelektrischen Sensoren ist mit 29 bzw. 31 bezeichnet. Die Ausgänge der beiden Anordnungen werden vom Prozessor 32 verarbeitet, um die Effekte von systematischen Fehlern und Wellenexzentrizitäten zu verringern. Details dieser Verarbeitung werden nachfolgend beschrieben.
  • Die optischen Gitter 22 sind typischerweise äquivalent zu einem schmalen Ausschnitt der ersten Spur 18 mit den Linien in Ausrichtung auf die Drehachse der Welle 12, d. h. "radial". Die Linien der optischen Gitter 22 sind in dem gleichen Winkelabstand wie die Linien der Spuren 18, 20 und 26 relativ zur Drehachse der Welle 12 "im Winkelabstand". Da jedoch die Fläche der optischen Gitter 22 im Vergleich zum Durchmesser der ersten Spur 18 relativ klein ist, kann das benötigte Muster adäquat durch ein ähnliches Gitter von gleichförmig beabstandeten parallelen Linien angenähert werden.
  • Die photoelektrischen Sensoren 28 und 30 beinhalten jeweils einen Lichtemitter 48, beispielsweise eine Infrarot-LED oder eine Lampe, und einen Lichtsensor 50 eines üblichen Typs, beispielsweise eine Photodiode oder einen Phototransistor. Ein einzelner Lichtemitter 48 kann für benachbarte photoelektrische Sensoren 28 und 30 gemeinsam sein.
  • Die beiden Teile des photoelektrischen Sensors 28 sind in fester Ausrichtung zu dem optischen Gitter 22 und sind derart ausgerichtet, daß ein Lichtstrahl vom Lichtemitter 48 sowohl das optische Gitter 22 als auch die erste Spur 18 durchläuft, bevor er den Lichtsensor 50 erreicht. Der photoelektrische Sensor 28 erzeugt somit ein Ausgangssignal, welches der spezifischen Durchlässigkeit der Überlagerung von optischem Gitter 22 und erster Spur 18 unter bestimmten Umständen entspricht und nachfolgend als "Referenzsignal" bezeichnet wird. Wie nachfolgend erläutert wird, ist dieses Referenzsignal ein oszillierendes Signal. Die Ausgangssignale sind typischerweise annähernd sinusförmig.
  • Die beiden Teile des photoelektrischen Sensors 30 sind so ausgerichtet, daß Licht vom Lichtemitter 48 sowohl die zweite Spur 20 und die Spur 26 der Meßscheibe 24 durchläuft, bevor es den Lichtsensor 50 erreicht. Der photoelektrische Sensor 30 erzeugt somit ein Ausgangssignal entsprechend der spezifischen Durchlässigkeit einer Überlagerung der Spur 26 und der zweiten Spur 20 unter bestimmten Umständen und wird nachfolgend als "Meßsignal" bezeichnet. Dieses Meßsignal ist ebenfalls ein oszillierendes Signal, welches sich, wie nachfolgend beschrieben wird, lediglich in der Phase von dem Referenzsignal unterscheidet.
  • Die Referenz- und Meßsignale werden über elektrische Verbindungen 52 an den Prozessor 32 übertragen. Details des Prozessors 32 werden nachfolgend unter Bezug auf die 6-7 noch beschrieben.
  • Was die Arbeitsweise der Vorrichtung 10 betrifft, so wird diese unter Bezugnahme auf die 3-5 beschrieben. 3a zeigt schematisch einen Teil der Meßscheibe 24 mit der Spur 26 und dem optischen Gitter 22. In diesem Beispiel ist die Meßscheibe 24 in einer derartigen Drehposition, daß die Linien der Spur 26 ungefähr um ein Viertel des Winkelabstandes zwischen den Linien außer Fluchtung mit den Linien des optischen Gitters 22 sind. 3b zeigt schematisch einen Teil der sich drehenden Scheibe 16 mit der ersten Spur 18 und der zweiten Spur 20, welche hier so verbreitert sind, daß sie eine einzelne breite Spur 54 bilden. In den beiden 3a und 3b sind die Arbeitsbereiche der photoelektrischen Sensoren 28 und 30 gestrichelt dargestellt.
  • 4 zeigt den Effekt der Überlagerung der sich drehenden Scheibe 16 gemäß 3b über der Meßscheibe 24 und dem optischen Gitter 22 gemäß 3a. Die Drehung der sich drehenden Scheibe 16 bewirkt, daß die Linien der Spuren 18 und 20 über die Linien des optischen Gitters 22 und der Spur 26 laufen, so daß eine zyklische Änderung des Überlappungsbetrags von Linien niedriger Durchlässigkeit über den Arbeitsbereichen der photoelektrischen Sensoren 28 und 30 erzeugt wird. Dies wiederum erzeugt eine zyklische Änderung der von den photoelektrischen Sensoren 28 und 30 gemessenen Durchlässigkeit, was oszillierende Ausgangssignale erzeugt.
  • 5 zeigt Änderungen im Referenzsignal, welches das Bezugszeichen 56 hat und vom photoelektrischen Sensor 28 erzeugt wird, und im Meßsignal, welches das Bezugszeichen 58 hat und vom photoelektrischen Sensor 30 erzeugt wird. Die werte entsprechend aufeinanderfolgenden Positionen der sich drehenden Scheibe 16 sind mit den Großbuchstaben A-D bezeichnet. Die Periode der gemessenen Oszillationen, beispielsweise von Spitze zu Spitze, ist mit T bezeichnet. Die Zeitverzögerung des Meßsignals 58 bezüglich des Referenzsignals 56 ist mit Δt bezeichnet. Eine normalisierte Phasenverschiebung Δϕ zwischen den Signalen wird dann definiert durch: Δϕ = 2πΔt/T (1)
  • Man erkennt ohne weiteres, daß die Berechnung der normalisierten Phasenverschiebung Δϕ extrem genau die Winkelposition der Meßscheibe 24 relativ zum optischen Gitter 22 und somit der Welle 12 und des Drehtisches 13 relativ zur Basis 14 innerhalb eines gewissen Rotationsschrittes bestimmt. Algebraisch ausgedrückt, wenn die Meßspur 26 insgesamt N Linien hat, so daß der Winkelschritt zwischen ihnen gegeben ist durch Δθ = 360°/N, läßt sich die Winkelposition θ des Drehtisches 13 relativ zur Basis 14, gemessen von einer beliebigen Initialisierungsposition aus, schreiben als: θ = nΔθ + ΔϕΔθ/2π, (2)wobei n eine ganze Zahl ist. Mit anderen Worten, wenn beispielsweise die Spur 26 und das optische Gitter mit Linien in einem Winkelabstand von Δθ = 0,1° (N = 3600 Linien pro Drehung) versehen sind, entspricht die Phasenverschiebung Δϕ/2π der Winkelposition des Drehtisches 13 innerhalb eines 0,1°-Schritts, als Bruch ausgedrückt. Somit wandelt die Vorrichtung 10 eine Drehung von 0,1° in eine Phasenverschiebung von 2π, so daß eine viel höhere Winkelmeßgenauigkeit erreicht wird als unter Verwendung von herkömmlichen Komponenten mit einer gegebenen Winkelbeabstandung oder -auflösung.
  • Im Prinzip ist eine einzelne Messung einer Phasenverschiebung ausreichend, um die Winkelposition des Drehtisches 13 innerhalb eines gegebenen Drehschritts zu bestimmen, und die einzig zusätzlich benötigte Information ist eine Information niedriger Auflösung, um zu bestimmen, innerhalb welchen Drehschritts der Drehtisch momentan liegt. Es ist jedoch ein besonderes Merkmal einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, daß eine extrem genaue Messung der Winkelposition unter Verwendung von Bauteilen niedriger Präzision gemacht wird. Dies wird erreicht, indem große Datenmengen derart gesammelt werden, daß systematische Fehler minimiert werden, und dann eine statistische Analyse an den Daten durchge führt wird, wie nachfolgend unter Bezug auf die 6 und 7 beschrieben.
  • 6 zeigt einen möglichen Aufbau des Prozessors 32. Der Prozessor 32 beinhaltet typischerweise einen Signalprozessor 60, einen Modusschalter 62, einen Nulldurchgangszähler 64, einen Zeitgeber 66, einen Speicher 68 und einen Mikroprozessor 70. Der Prozessor 32 weist typischerweise auch eine Anzeige 72, einen Standard-Computerkommunikationsanschluß 74 und eine Steuerkonsole oder eine andere Eingabevorrichtung 76 auf.
  • Der Signalprozessor 60 empfängt ein Paar von Referenz- und Meßsignalen über elektrische Verbindungen 52. Der Signalprozessor 60 wandelt für gewöhnlich die oszillatorischen Referenz- und Meßsignale in eine Puls- oder Rechteckwellenform, um die Verwendung digitaler Verarbeitungstechniken zu ermöglichen. Aus Gründen der Einfachheit werden diese Wellenformen insgesamt als "Pulssignal" bezeichnet. Vorrichtungen und Verfahren zur Durchführung dieser Signalverarbeitung sind im Stand der Technik allgemein bekannt. In einer bevorzugten Ausführungsform, bei der photoelektrische Sensoranordnungen verwendet werden, empfängt der Signalprozessor 60 ein Paar von Signalen von jeder Anordnung, d. h. insgesamt vier Signale. In diesem Fall beinhaltet der Signalprozessor auch ein Schaltsystem, welches unter Steuerung des Mikroprozessors 70 betreibbar ist, um ein Paar von Eingängen anzuwählen. Typischerweise verbleibt ein Paar von Eingängen durchgehend im Gebrauch, mit Ausnahme einer kurzen Zeitdauer, zu der die präzise Winkelmessung gemacht wird, die nachfolgend beschrieben wird.
  • Vom Signalprozessor 60 werden zwei Pulssignale entsprechend einem Paar von Referenz- und Meßsignalen dem Modusschalter 62 übertragen. Der Modusschalter 62 setzt den Modus des Prozessors 32 abhängig davon, ob der Zustand der Welle 12 drehend oder stillstehend ist. Bevorzugt ist der Modusschalter 62 automatisch und arbeitet durch Identifikation signifikanter Verschiebungen der Phase zwischen den beiden Signalen. Die Empfindlichkeit des Modusschalters 62 wird so gewählt, daß Schwankungen, welche innerhalb des Toleranzbereichs der verwendeten Bauteile liegen, nicht beachtet werden. Wenn die Welle 12 sich dreht, schaltet der Modusschalter 62, um die Signale an den Phasenverschiebungs-Nulldurchgangszähler 64 weiterzugeben, um eine grobe Messung der Winkelposition durchzuführen. wenn die Welle 12 stillsteht, schaltet der Modusschalter 62, um die Signale an den Zeitgeber 66 durchzulassen, so daß eine präzise Messung der Winkelposition erfolgt. Der Signalprozessor 60 kann auch etwas unterschiedliche Signalformen für den Nulldurchgangszähler 64 und den Zeitgeber 66 bereitstellen, jeweils geeignet zur jeweiligen durchzuführenden Verarbeitung. Alternativ kann der Modusschalter 62 durch eine andere Art von Bewegungssensor oder einen einfachen Handschalter ersetzt werden, der von einem Benutzer betätigt wird, wenn eine präzise Messung notwendig ist.
  • Der Phasenverschiebungs-Nulldurchgangszähler 64 hält einen angesammelten Zählwert von Nulldurchgängen der Phasenverschiebung zwischen dem Referenzsignal und dem Meßsignal. Beispielsweise kann dies dadurch erfolgen, indem einfach die Pulse gezählt werden, das heißt, für jeden Signalpuls, der ankommt, 1 einem Zähler hinzuzuaddieren, und für jeden Referenzpuls 1 zu subtrahieren. Die dann erreichte Zahl entspricht der Anzahl von Drehschritten, welche von der Welle 12 relativ zur Basis 14 ausgehend von einer gegebenen Initialisierungsposition durchlaufen wurden. Diese Zahl wird an den Mikroprozessor 70 weitergegeben, um die Gesamtwinkelposition des Drehtisches 13 zu bestimmen.
  • Bezugnehmend auf den Zeitgeber 66, so arbeitet dieser dahingehend, eine Mehrzahl von Datenpaaren (Ti, ti) aus den Pulssignalen entsprechend den Referenz- und Meßsignalen zu ermitteln. Innerhalb eines jeden Datenpaars ist Ti die Periode eines Zyklus des Referenzsignals, d. h. die Zeit zwischen benachbarten Pulsen oder Wellenfronten, und ti ist die entsprechende Phasenverzögerung des Meßsignals relativ zum Referenzsignal, d. h. die Zeit zwischen dem ersten der benachbarten Pulse des Referenzsignals und dem Meßsignalpuls, der diesem folgt.
  • Ein Beispiel des Aufbaus für den Zeitgeber 66 ist in 7 gezeigt. Bei diesem Beispiel weist der Zeitgeber 66 einen Hochfrequenzzähler 78 auf, der von einem Hochfrequenzgenerator 80 betrieben wird. Typischerweise arbeitet der Generator 80 mit einer Frequenz von einigen – zig MHz, bevorzugt mit ungefähr 45 MHz. Der Zähler 78 ist typischerweise ein Zwei-Byte-Zähler, jedoch kann bei Bedarf auch ein größerer Zähler verwendet werden. Ein erster Puffer 82 ist für die Messung von ti vorgesehen, und ein zweiter Puffer 84 ist für die Messung von Ti vorgesehen.
  • Die Ankunft eines Pulses vom Signal entsprechend dem Referenzsignal bewirkt ein Schreiben des Werts vom Zähler 78 in den zweiten Puffer 84 und danach, nach einer sehr kurzen Verzögerung aufgrund eines Verzögerers 86, ein Zurücksetzen des Zählers 78. Die Verzögerung dient allein dem Zweck, daß das Lesen des Zählers ermöglicht wird, bevor dieser zurückgesetzt wird, und ist in der Größenordnung einer Nanosekunde, so daß sich keine meßbare Auswirkung auf die Genauigkeit der Vorrichtung ergibt. Wenn ein Puls vom Signal entsprechend dem Meßsignal ankommt, bewirkt dies ein Schreiben des Werts vom Zähler 78 zum ersten Puffer 82, so daß ti aufgezeichnet wird, d. h, die Anzahl von Generatorzyklen entsprechend der Phasenverzögerung zwischen dem Referenz- und dem Meßsignal. Die Ankunft des nachfolgenden Referenzsignalpulses bewirkt das Schreiben des entsprechenden Ti in den zweiten Puffer 84, d. h. der Anzahl von Generatorzyklen entsprechend der Periode des Referenzsignals, innerhalb der ti gemessen wurde. Der Zähler 78 wird dann zurückgesetzt, um das nächste Datenpaar (Ti+1, ti+1) vorzubereiten, während (Ti, ti) im Speicher 68 gespeichert wird.
  • Der Mikroprozessor 70 verarbeitet dann die im Speicher 68 gespeicherten Datenpaare, um eine präzise repräsentative Phasendifferenz zwischen dem Referenzsignal und dem Meßsignal zu identifizieren. Dies erfolgt typischerweise durch Berechnung der normalisierten Phasendifferenz: Δϕi = 2πti/Ti und dann durch Verwendung von statistischen Standardverfahren, um einen präzisen repräsentativen Wert zu bestimmen. Dieser Wert kann ein einfacher Mittelwert sein oder er kann durch komplexere Verfahren bestimmt werden. Insbesondere ist es vorteilhaft, nach Bereichen von gemessenen Phasendifferenzen zu suchen, welche einen Nulldurchgang überlappen. In einem solchen Fall muß ein Korrekturfaktor von ± 2π gewissen Phasenmessungen hinzuaddiert werden, um einen einzelnen durchgängigen Datenbereich zu bilden, bevor eine statistische Analyse durchgeführt wird. Eine entsprechende Korrektur von ± 1 vom Zähler 64 kann notwendig sein. Dies erlaubt eine genaue Messung in jeder Winkelposition über einen durchgehenden Bereich von 360°.
  • Nebenbei gesagt, es ist interessant, festzustellen, daß, da die interessierende Größe die normalisierte oder relative Phasendifferenz ist, d. h. das Verhältnis von ti zu Ti, die Periode T der Oszillationen sich ändern kann, ohne die Meßgenauigkeit zu beeinflussen. Somit ist, wie oben erwähnt, weder die bestimmte Drehzahl des Motors 36 noch ihre Konstanz kritisch.
  • Basierend auf der präzisen repräsentativen Phasendifferenz zusammen mit dem Lesewert vom Nulldurchgangszähler 64 kann dann der Mikroprozessor 70 eine einzigartig bestimmte und hochgenaue Drehposition des Drehtisches 13 relativ zur Basis 14 berechnen. Diese Information kann auf der Anzeige 72 angezeigt und/oder direkt einem anderen Gerät über den Kommunikationsanschluß oder das Interface 74 übertragen werden. Die Steuerkonsole 76 kann verwendet werden, um den Betriebsmodus der Vorrichtung insgesamt, das Anzeigeformat oder irgendwelche anderen Parameter des Systems zu steuern, welche benutzerdefiniert sein können.
  • Was den Betrieb des Prozessors 32 betrifft, der weiter oben erwähnt wurde, so verbleibt der Signalprozessor üblicherweise auf ein primäres Paar von Referenz- und Meßsignalen geschaltet. Solange der Modusschalter 62 anzeigt, daß sich die Welle 12 dreht, überprüft der Zähler 64 grob die Bewegung der Welle 12, um zu bestimmen, innerhalb welchen Drehschritts sie liegt, während der Zeitgeber 66 und der Speicher 68 umgangen werden. Wenn die Welle 12 anhält, beginnt der Zeitgeber 66 automatisch oder unter Steuerung von der Steuerkonsole 76 über den Mikroprozessor 70 mit seinem Betrieb, um Messungen von Datenpaaren (Ti, ti) durchzuführen. Diese Daten werden dann im Speicher 68 gesammelt.
  • Es ist ein besonderes Merkmal einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, daß der Prozessor 32 Datenpaare von aufeinanderfolgenden Zyklen der Re ferenz- oder Meßsignale entsprechend einer vollen Drehung der drehenden Scheibe 16 sammelt. Dies ermöglicht eine viel genauere Messung, als sonst mit Bauteilen bestimmter Toleranz möglich wäre, da irgendwelche systematischen Fehler aufgrund von Ungleichmäßigkeiten der Scheibe dazu neigen, einander aufzuheben. Jedes Datenpaar wird verwendet, eine Positionsmessung zu berechnen, und eine statistische Analyse wird an den Ergebnissen durchgeführt.
  • Als eine weitere Technik zur Verringerung von systematischen Fehlern führt, nach Sammlung von Datenpaaren entsprechend einer Drehung der sich drehenden Scheibe 16 unter Verwendung von Signalen von einem Satz von photoelektrischen Sensoren, der Mikroprozessor 70 ein vorübergehendes Umschalten des Signalprozessors 60 auf die Signale von dem zweiten Satz von photoelektrischen Sensoren durch. Der Speicher 68 sammelt dann einen zusätzlichen Satz von Datenpaaren entsprechend im wesentlichen einer vollen Drehung der sich drehenden Scheibe 16. Auf diese Weise verwendet der Prozessor 32 2N Datenpaare, wobei N die Anzahl von Linien einer jeden skalierten Scheibe ist. Die Gesamtzeit zur Messung und Verarbeitung an jeder Position beträgt typischerweise ein paar Sekunden, was praktisch einem Echtzeit-Meßsystem entspricht.
  • Falls nötig, kann der Meßzyklus einmal oder mehrmals wiederholt werden, so daß Mehrfache von 2N erhalten werden (2kN: k = 1, 2, 3...). Da dies einer sehr hohen Anzahl von Messungen entspricht, welche so gemacht werden, daß systematische Fehler minimiert werden, führt eine statistische Analyse zu einem sehr hohen Genauigkeitsgrad.
  • In einem bevorzugten Beispiel, bei dem die sich drehende Scheibe 16 ungefähr 3600 Linien pro Drehung hat, führt die Verwendung eines einzelnen vollen Satzes von Datenpaaren aus jedem Satz von photoelektrischen Sensoren zu 7200 Datenpaaren. Eine Analyse dieser Daten liefert eine Winkelgenauigkeit von besser als 1/2 Bogensekunden, was eine erhebliche Verbesserung gegenüber der Präzision darstellt, welche mit Bauteilen ähnlicher Toleranzen im Stand der Technik erreicht wird.
  • Man erkennt, daß die obige Beschreibung lediglich beispielhaft ist und daß viele andere Ausführungsformen innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung möglich sind, der alleine durch die beigefügten Ansprüche definiert ist. Beispielsweise kann, obgleich die vorliegende Erfindung bei einer Ausführungsform beschrieben wurde, welche insbesondere zur Kalibrierung vorhandener Drehtische oder Plattformen geeignet ist, sie problemlos für eine Einfügung in eine Drehplattformanordnung ausgelegt werden, welche als Teil eines Steuersystems verwendet wird.

Claims (5)

  1. Ein Verfahren zur Durchführung einer präzisen Messung der Winkelposition eines Elements (12, 13), welches relativ zu einer Basis (14) drehbar ist, wobei das Verfahren die Schritte aufweist von: (a) Erzeugen eines ersten Signals (56) in Relation zu einer Relativbewegung zwischen der Basis (14) und einem sich drehenden Bauteil (16), wobei das erste Signal annähernd periodisch ist; (b) Erzeugen eines zweiten Signals (58) in Relation zu einer Relativbewegung zwischen dem Element (12, 13) und dem sich drehenden Bauteil (16), wobei das zweite Signal annähernd periodisch ist; gekennzeichnet durch• (c) Ermitteln einer Mehrzahl von Datenpaaren (Ti, ti) aus den ersten und zweiten Signalen (56, 58), wobei Ti die Periode eines Zyklus von einem der ersten und zweiten Signale ist und ti die entsprechende Phasenverzögerung zwischen den ersten und zweiten Signalen ist; (d) Verarbeiten der Mehrzahl von Datenpaaren, um eine präzise repräsentative Phasendifferenz zwischen den ersten und zweiten Signalen zu identifizieren; und (e) Berechnen einer Information betreffend die präzise Winkelposition des drehbaren Elements relativ zu der Basis aus der repräsentativen Phasendifferenz.
  2. Ein Verfahren nach Anspruch 1, wobei das erste Signal (56) durch Erfassen von Licht erzeugt wird, welches durch eine Kombination einer unterteilten Skala (22), welche der Basis zugeordnet ist, und einer skalierten Spur (18), welche dem sich drehenden Bauteil (16) zugeordnet ist, übertragen wurde.
  3. Ein Verfahren nach Anspruch 1, wobei das zweite Signal (58) durch Erfassen von Licht erzeugt wird, wel ches durch eine Kombination einer ersten skalierten Spur (26), welche dem Element zugeordnet ist, und einer zweiten skalierten Spur (20), welche dem sich drehenden Bauteil (16) zugeordnet ist, übertragen wurde.
  4. Ein Verfahren nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Signale (56, 58) ungefähr 3600 Zyklen für jede Drehung des sich drehenden Bauteils aufweisen.
  5. Ein Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt des Ermittelns einer Mehrzahl von Datenpaaren (Ti, ti) das Ermitteln des Datenpaars für aufeinanderfolgende Zyklen der ersten und zweiten Signale für N Zyklen beinhaltet, wobei N gleich der Anzahl von Zyklen ist, welche für jede Drehung des sich drehenden Bauteils erzeugt werden.
DE69733647T 1996-04-03 1997-04-01 Winkelmessvorrichtung Expired - Fee Related DE69733647T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US627200 1996-04-03
US08/627,200 US5698851A (en) 1996-04-03 1996-04-03 Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts
PCT/US1997/005393 WO1997037368A1 (en) 1996-04-03 1997-04-01 Angular measurement apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69733647D1 DE69733647D1 (de) 2005-08-04
DE69733647T2 true DE69733647T2 (de) 2006-04-27

Family

ID=24513654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69733647T Expired - Fee Related DE69733647T2 (de) 1996-04-03 1997-04-01 Winkelmessvorrichtung

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5698851A (de)
EP (1) EP0892982B1 (de)
JP (1) JP2000507703A (de)
KR (1) KR20000005250A (de)
AT (1) ATE298883T1 (de)
AU (1) AU2602697A (de)
DE (1) DE69733647T2 (de)
IL (1) IL126213A (de)
WO (1) WO1997037368A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006027733A1 (de) * 2006-06-16 2007-12-20 Daimlerchrysler Ag Elektrischer Sensor für ein Kraftfahrzeug und Kraftfahrzeug mit einem solchen Sensor

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2686995A (en) * 1994-06-01 1995-12-21 Stridsberg Innovation Ab Position transducer
GB2340234B (en) * 1996-03-08 2000-09-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd Modular encoder and method for manufacturing the same
GB9914918D0 (en) * 1999-06-26 1999-08-25 British Aerospace Method and apparatus for calibrating a first co-ordinate frame of an indexing means in a second frame of a sensing means
US7199354B2 (en) * 2004-08-26 2007-04-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Detector array for optical encoders
US7244928B2 (en) * 2005-01-07 2007-07-17 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical encoder
WO2009103342A1 (en) 2008-02-22 2009-08-27 Trimble Jena Gmbh Angle measurement device and method
CN114966087A (zh) * 2022-05-12 2022-08-30 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种适用范围广的光电跟踪仪器跟踪角速度的测试装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1284641A (en) * 1970-01-08 1972-08-09 Ferranti Ltd Improvements relating to measuring apparatus
JPS5971598A (ja) * 1982-10-18 1984-04-23 フアナツク株式会社 光学式アブソリユ−トエンコ−ダ
DE3311204A1 (de) * 1983-03-26 1984-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3412063A1 (de) * 1984-03-31 1985-11-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3429648A1 (de) * 1984-08-11 1986-02-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lagemesseinrichtung
JPS63281015A (ja) * 1987-05-13 1988-11-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置検出器の基準信号発生装置
JP2893194B2 (ja) * 1990-01-09 1999-05-17 株式会社小野測器 回転角変位検出器
JP2930683B2 (ja) * 1990-08-23 1999-08-03 マツダ株式会社 トルク検出装置
JPH0634462A (ja) * 1992-07-20 1994-02-08 Suzuki Motor Corp トルク検出装置
JP3208933B2 (ja) * 1993-06-01 2001-09-17 株式会社ニコン 位置測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006027733A1 (de) * 2006-06-16 2007-12-20 Daimlerchrysler Ag Elektrischer Sensor für ein Kraftfahrzeug und Kraftfahrzeug mit einem solchen Sensor

Also Published As

Publication number Publication date
IL126213A (en) 2000-02-29
KR20000005250A (ko) 2000-01-25
DE69733647D1 (de) 2005-08-04
ATE298883T1 (de) 2005-07-15
US5698851A (en) 1997-12-16
AU2602697A (en) 1997-10-22
WO1997037368A1 (en) 1997-10-09
EP0892982B1 (de) 2005-06-29
EP0892982A4 (de) 2001-03-21
JP2000507703A (ja) 2000-06-20
EP0892982A1 (de) 1999-01-27
IL126213A0 (en) 1999-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112006003663B4 (de) Drehkodierer
EP1923670B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE3018496C2 (de)
DE112008003711B4 (de) Winkelmessgerät und -verfahren
EP0575843B1 (de) Drehwinkelmesssystem
DE10158223B4 (de) Drehwinkel-Messgerät
DE3821083C2 (de)
DE69633213T2 (de) Drehwinkelgeber
DE69933050T2 (de) Positionssensor und schaltung fur optische kodiervorrichtung
DE3809804C2 (de)
DE19505176A1 (de) Optischer Meßgeber
DE112014002505T5 (de) Verfahren zum Selbstkalibrieren eines Drehgebers
DE3921756C1 (de)
WO2008083797A1 (de) Verfahren zur bestimmung einer einflussgrösse auf die exzentrizität in einem winkelmesser
EP0268558A2 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3150349A1 (de) Winkelmessvorrichtung mit einem liniensensor
DE19527287C2 (de) Fotoelektrisches Weg- und Winkelmeßsystem zum Messen der Verschiebung zweier Objekte zueinander
DE19731854A1 (de) Skala zur Erfassung der Position eines sich bewegenden Objekts sowie eine diese Skala verwendende Vorrichtung
DE3438234A1 (de) Kapazitives verschiebungs-messinstrument
DE69733647T2 (de) Winkelmessvorrichtung
DE4141000A1 (de) Anordnung und verfahren zur messung von distanzen oder drehwinkeln
EP2388556A1 (de) Optischer Positionsgeber
EP0363620A1 (de) Photoelektrische Positionsmesseinrichtung
DE4234016A1 (de) Kapazitiv arbeitende positionsmessvorrichtung
EP1260787A1 (de) Winkelaufnehmer mit magnetoresistiven Sensorelementen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee