DE3809804C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Positionserfassungseinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Positionserfassungseinrichtungen werden als Vorrichtung für das Ermitteln der Drehung, Bewegung, Lage oder dergleichen eines Meßobjekts oder des Ausmaßes und der Geschwindigkeit der Drehung eines Drehmechanismus verwendet.

Eine Positionserfassungseinrichtung der eingangs genannten Art ist aus der WO 86/06 895 bekannt. Die bei dem in dieser Druckschrift beschriebenen optischen Codierer verwendete bewegliche Skala umfaßt sechs Längsspuren, von denen fünf Gray-Code-Muster tragen, während die sechste uncodiert als inkrementale Spur ausgelegt ist. Jede der Spuren wird durch eine Leuchtdiode bestrahlt, und die durch die Skala hindurchgetretenen, entsprechend modulierten Lichtstrahlen werden durch eine Sensoranordnung erfaßt. Die inkrementale Spur dient dazu, genauere Positionsdaten zu gewinnen. Das Vorsehen einer derartigen inkrementalen Spur erfordert jedoch einen hohen Aufwand bezüglich Fertigung, Skalengröße und Signalauswertung.

In der DE 27 48 320 C3 ist ein Gray-Code-Leser beschrieben, dessen Skala fünf Gray-Code-Spuren sowie zwei zusätzliche randseitige Spuren trägt, von denen die eine zur Gewinnung entsprechender Paritätsprüfbits und die andere zur Bereitstellung von Taktsignalen für eine Steuervorrichtung dient. Die beiden zusätzlichen Spuren werden jeweils mittels separater Detektoren abgetastet. Auch diese Vorrichtung erfordert einen hohen Aufwand hinsichtlich Aufbau und Signalauswertung.

In "messen prüfen automatisieren", April 1985, Seiten 190 bis 195 sind optische Drehwinkelgeber als Sensoren für Regelschaltungen beschrieben, wobei Unterbrecher-Drehgeber mit und ohne separater Blende sowie Moir-Muster-Unterbrecher-Drehwinkelgeber erläutert wird.

Fig. 1 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für einen Absolutwert-Codierer nach dem Stand der Technik für das Messen der Lage bzw. des absoluten Ausmaßes der Versetzung eines Meßobjekts zeigt. In Fig. 1 ist mit 41 eine um eine Achse 40 drehbare Drehscheibe bezeichnet. Auf der Drehscheibe 41 sind konzentrisch mehrere Spuren für das Erzeugen von binären Daten in Übereinstimmung mit einer jeweiligen Winkel­ stellung der Drehscheibe 41 ausgebildet. Beispielsweise ist in regelmäßigen Abständen auf einer jeden Spur eine Vielzahl von Schlitzen 42 mit jeweils einem durchlässigen und einem undurchlässigen Bereich als optisch binäre Daten ausgebildet, so daß radial zu der Drehscheibe 41 jeweils eine bestimmte Datenreihe gebildet ist. Mit 43 ist eine Reihe feststehender Schlitze bezeichnet, die mehrere Öffnungen zum selektiven Durchlassen des Lichts aus den auf der jeweiligen Spur ange­ brachten Schlitzen darstellen, wobei sich die Schlitzreihe in radialer Richtung der Drehscheibe 41 erstreckt. Mit 44 ist eine Lichtprojektionsvorrichtung mit mehreren Lichtprojek­ tionselementen bezeichnet, während mit 45 eine Lichtempfangs­ vorrichtung mit mehreren Lichtempfangselementen bezeichnet ist. Diese beiden Vorrichtungen sind unter Zwischensetzung der Drehscheibe 41 und der Reihe 43 der feststehenden Schlit­ ze derart angeordnet, daß jeweils einer Öffnung der Reihe 43 der feststehenden Schlitze und einer Spur an der Drehscheibe 41 ein Lichtprojektionselement und ein Lichtempfangselement entspricht.

Bei dem in Fig. 1 gezeigten Aufbau gelangt der von einem jeweiligen Lichtprojektionselement der Lichtprojektionsvor­ richtung 44 abgegebene Lichtstrahl durch einen der Schlitze 42 und einen der festen Schlitze der Reihe 43 hindurch zu der Lichtempfangsvorrichtung 45. Dabei wird eine Datenreihe als Kombination der Ausgangssignale der Lichtempfangselemente gelesen, um dadurch die absolute Drehstellung der Drehscheibe 41 zu ermitteln. Das Auflösungsvermögen bei dem Erfassen der Drehstellung der Drehscheibe 41 ist in einem derartigen Gerät von der Anzahl der Spuren an der Drehscheibe 41 abhängig.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positionserfassungseinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart weiterzubilden, daß auf einfache Weise zuverlässig eine gute Positionserfassung durchführbar ist.

Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 und durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 2 angegebenen Mittel gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Positionserfassungseinrichtung werden demnach zwei sich schneidende Lichtstrahlengruppen, von denen die eine in Bewegungsrichtung der Skala und die andere quer hierzu orientiert ist, oder aber zwei linienförmige Lichtstrahlen erzeugt, von denen wiederum einer in Bewegungsrichtung der Skala und der andere quer hierzu orientiert ist. Durch diese Anordnung läßt sich durch die zweite Strahlengruppe bzw. durch den zweiten linienförmigen Strahl eine langgestreckte Abtastung der vorbestimmten Spur erzielen, so daß das Skalenmuster im wesentlichen kreuzförmig ausgewertet werden kann. Hierdurch läßt sich auf einfache Weise zuverlässig eine sehr genaue Positionserfassung erreichen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel für einen Absolutwert-Codierer nach dem Stand der Technik zeigt.

Fig. 2 zeigt schematisch den Aufbau eines Codierers gemäß einem Ausführungsbeispiel.

Fig. 3A und 3B sind schematische Ansichten eines optischen Systems, die das Prinzip veranschaulichen, nach dem in dem in Fig. 2 gezeigten Codierer eine Codeplatte gelesen wird.

Fig. 4 zeigt Ausgangssignale aus einer in Fig. 2 gezeigten Lichtempfangselementezeile 12.

Fig. 5A bis 5C zeigen schematisch Abwandlungsformen des in Fig. 2 gezeigten Codierers.

Die Fig. 2 ist eine schematische Ansicht, die als Ausführungsbeispiel einen Drehcodierer bzw. Drehmelder oder Drehmeßgeber zeigt. Die Fig. 2 zeigt eine drehbare Skala 1 als Meßobjekt, eine an der Skala 1 angebrachte Codeplatte 2 mit einer Vielzahl von Spuren, eine Lichtquelle 6 wie eine Laserdiode, eine Kollimatorlinse 7, eine Beugungseinrichtung in Form einer Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 mit Gittern in zwei Richtungen x und y, eine Linse 9, einen Halbspiegel 10, eine erste Sensoranordnung bzw. Detektorvorrichtung 11 und eine zweite Sensoranordnung bzw. Detektorvorrichtung 12. Diese Detektorvorrichtungen sind jeweils eine Lichtempfangselementezeile mit einer Vielzahl von Lichtempfangselementen. Mit einem Pfeil 13 ist die Drehrichtung der drehbaren Skala 1 dargestellt.

Die Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 ist an dem vorderen Brennpunkt der Linse 9 angeordnet, während die Codeplatte 2 (an der drehbaren Skala 1) an dem hinteren Brennpunkt der Linse 9 angeordnet ist, so daß gemäß der Darstellung eine sog. f-f-Anordnung gebildet ist. Infolgedessen werden auf die Linse 9 fallende parallele Lichtstrahlen nutzvoll an der Codeplatte 2 gesammelt bzw. abgebildet.

Die von der Lichtquelle 6 abgegebenen Lichtstrahlen werden durch die Kollimatorlinse 7 kollimiert bzw. parallel ausgerichtet und treffen auf die Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8. Dabei wird Beugungslicht aus einer Vielzahl paralleler Lichtstrahlen jeweils unter einem Winkel abgegeben, der durch die Gitterkonstante der Beugungsgitterplatte 8 in der Richtung x oder y bestimmt ist. Diese Beugungslichtstrahlen werden durch die Linse 9 zu parallelen Lichtstrahlen ausgerichtet und jeweils einzeln auf einer jeweiligen Spur 2a bis 2i der Codeplatte 2 an der drehbaren Skala 1 gesammelt, die auf der Fourier-Umsetzungsebene der Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 angeordnet ist.

Die Fig. 3A und 3B zeigen die auf die Codeplatte 2 nach Fig. 2 gerichteten Strahlen. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat die Codeplatte 2 neun Spuren 2a bis 2i, von denen jede eine Schlitzblende mit einer Vielzahl durchlässiger und undurch­ lässiger Bereiche darstellt. Die radial zu der drehbaren Skala 1 angeordneten Schlitzblenden der jeweiligen Spuren bilden einen binären Graycode. Auf diese Weise sind an dieser Codeplatte Daten für 2⁹ Winkel gespeichert.

Bei dem Ausführungsbeispiel wird eine Codeplatte benutzt, an der eine Spur 2a mit den Codeelementen mit der kürzesten Wechselperiode, die dem wertniedrigsten Bit der Datenreihe entsprechen, in der Mitte der Vielzahl von Spuren angeordnet ist, so daß von dem Beugungslicht, das durch die Orthogonal- Beugungsgitterplatte 8 in den Richtungen x und y gebeugt ist, die dem in nullter Ordnung gebeugten Licht entsprechenden mittleren Lichtstrahlen auf die Spur 2a treffen. In diesem Zusammenhang ist darauf hinzuweisen, daß jede der Spuren 2a bis 2i eine jeweils vorbestimmte Wechselperiode bzw. Umkeh­ rungsteilung hat. Die von der Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 in der Richtung x gebeugten mehreren Beugungslichtstrahlen treffen auf die entsprechenden Spuren 2a bis 2i an der dreh­ baren Skala 1. Dabei wird das auf den durchlässigen Bereich der Schlitzblende auf der jeweiligen Spur 2a bis 2i treffende Beugungslicht durchgelassen, wonach eine Gruppe aus mehreren Beugungslichtstrahlen, die in der zur Bewegungsrichtung der drehbaren Skala 1 senkrechten diametralen Richtung x gebeugt sind, von dem Halbspiegel 10 reflektiert und auf jeweilige Lichtempfangselemente der Lichtempfangselementezeile bzw. Detektorvorrichtung 11 gerichtet wird, die den Spuren 2a bis 2i entsprechende Lichtempfangselemente aufweist.

Ferner trifft eine Gruppe aus mehreren Beugungslichtstrahlen, die in der gleichen Richtung wie die Bewegungsrichtung der drehbaren Skala 1, nämlich in der Umfangs- oder Tangential­ richtung y gebeugt sind, auf die Spur 2a, so daß an dem durchlässigen Bereich an der Spur 2a Lichtstrahlen durchge­ lassen werden, welche daraufhin gemäß Fig. 3B durch den Halbspiegel 10 durchgelassen werden und auf jeweils ein Lichtempfangselement der Lichtempfangselementezeile bzw. De­ tektorvorrichtung 12 treffen.

Das aus der Lichtempfangselementezeile 11 erhaltene Signal ist eine Zusammensetzung der Daten der Spuren an der das Meßobjekt bildenden drehbaren Skala 1 und stellt ein mit einem bekannten Absolutwert-Codierer gelesenes binäres Code­ signal dar, aus dem die Absolutlage bzw. der absolute Winkel des Meßobjekts ermittelt wird. Hierbei trägt die drehbare Skala 1 neun Spuren, so daß gemäß den vorangehenden Ausfüh­ rungen bei einer Codeplatte mit dem binären Graycode das Auflösungsvermögen 2⁹ beträgt.

Andererseits ist das aus der Lichtempfangselementezeile 12 erhaltene Signal ein Signal, das die Wechsel- bzw. Umkeh­ rungsstellen der Codeelemente an der Spur 2a wiedergibt und das entsprechend der Drehung der Skala 1, nämlich der Bewe­ gung der Codeelemente der Spur 2a abgegeben wird.

Der Codierer gemäß dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ist derart gestaltet, daß auf ein Codeelement (eine Schlitzblen­ de) der Spur 2a neun Strahlen fallen und daß die Lichtemp­ fangselementezeile 12 gleichfalls neun Lichtempfangselemente enthält.

Die Fig. 4 zeigt die dann erhaltenen Ausgangssignale von Lichtempfangselementen 2a1 bis 2a9 der Lichtempfangselemente­ zeile 12. Aus der Fig. 4 ist ersichtlich, daß aus dem Zusam­ menhang zwischen den Ausgangssignalen der Lichtempfangsele­ mente 2a1 bis 2a9 zu einem bestimmten Zeitpunkt die Stelle, an der das Codeelement bzw. der binäre Datenwert der Spur 2a wechselt, und dessen Richtung ermittelt werden können, um dadurch das Ausmaß und die Richtung der Abweichung der Meß­ stelle an den Daten der Spur 2a gegenüber der Datenwert- Wechselstelle zu erfassen.

Die Ausgangssignale der Lichtempfangselementezeile 12 werden zeitlich parallel oder zeitlich seriell ausgegeben und mit­ tels einer nachgeschalteten Verarbeitungsschaltung in digi­ tale Signale umgesetzt, die die Wechselstelle und die Rich­ tung des Codeelements an der Spur 2a anzeigen und die danach von der Verarbeitungsschaltung ausgegeben werden. Die Bestim­ mung der Richtung erfolgt dadurch, daß das Ausgangssignal desjenigen der Lichtempfangselemente 2a1 bis 2a9, an dem zu einem bestimmten Zeitpunkt das Codeelement wechselt, mit dem Ausgangssignal des zu diesem einen Lichtempfangselement be­ nachbarten Lichtempfangselements verglichen wird. Durch das Heranziehen des Signals für die Richtung und die Wechselstel­ le wird der wertniedrigste Datenwert bzw. das wertniedrigste Bit des aus der Lichtempfangselementezeile 11 erhaltenen Absolutlagesignals unterteilt, um dadurch die Absolutlage feiner bzw. genauer durch Interpolation hinsichtlich des Codeelements, nämlich der den undurchlässigen und den durch­ lässigen Bereich bildenden Schlitzblende auf der Spur 2a zu messen.

D. h., bei dem Codierer gemäß dem Ausführungsbeispiel wird zusätzlich zu dem aus der ersten Detektorvorrichtung erhalte­ nen binären Codesignal, das die Lage- bzw. Winkelinformation für die drehbare Skala 1 darstellt, die Lageinformation für das Codeelement auf einer besonderen Spur aus der zweiten Detektorvorrichtung herangezogen, um dadurch ein Absolutlage­ signal mit einem Auflösungsvermögen zu bilden, das im Ver­ gleich zu demjenigen bei dem Stand der Technik gesteigert ist. Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird die Lageinfor­ mation für das Codeelement auf dieser besonderen Spur gemäß dem Zustand gebildet, in welchem das auf die zweite Detektor­ vorrichtung mit der Lichtempfangselementezeile 12 projizierte Codeelement bzw. dessen Wechsel- oder Umkehrungsstelle auf die Lichtempfangselementezeile 12 projiziert wird.

Ferner können bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungs­ beispiel entsprechend dem Ausmaß und der Richtung der Abwei­ chung des Datenwerts von der Wechselstelle stufenweise meh­ rere Potentiale erzeugt und als analoge Größe übertragen und ausgegeben werden oder es kann diese analoge Größe in ein digitales Signal umgesetzt und ausgegeben werden, um dadurch ein unterteiltes bzw. interpoliertes Absolutlagesignal zu erhalten.

Alternativ kann jedesmal dann, wenn sich die Stelle ändert, an der der binäre Datenwert wechselt, ein Impuls erzeugt werden, wonach die Impulse gezählt werden, um dadurch das Ausmaß der Abweichung von der Grenz- bzw. Übergangsstelle zu ermitteln und damit ein unterteiltes bzw. interpoliertes Absolutlagesignal zu erhalten.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ist an der drehba­ ren Skala 1 eine Reihe von Schlitzblenden ausgebildet und es wird mittels eines jeden Lichtempfangselements das Ein- und Ausschalten des durchgelassenen Lichts erfaßt, jedoch kann alternativ eine drehbare Skala mit einer Reihe von Schlitz­ blenden aus einem reflektierenden und einem nichtreflektie­ renden Abschnitt verwendet werden, um das Ein- und Ausschal­ ten von reflektiertem Licht zu erfassen.

Wenn die Abstände zwischen den auf die Spur 2a gerichteten Strahlen sehr klein gewählt werden, um dadurch die Anzahl der Strahlen zu erhöhen und ein höheres Auflösungsvermögen zu erzielen, kann statt der Lichtempfangselementezeile 12 eine Ladungskopplungsvorrichtung (CCD) als Festkörper-Bildaufnah­ mevorrichtung mit sehr kleinem Bildelemente-Teilungsabstand oder eine Sensorzeile zur zeitlich seriellen Abgabe eines Signals verwendet werden.

Es ist anzustreben, daß die Lageermittlung mit einem Absolut­ wert-Codierer schnell und genau erfolgt; falls jedoch die Drehskala eines Codierer mit hohem Auflösungsvermögen mit einer Anzahl von Spuren mit hoher Drehzahl umläuft, wird die Frequenz des Ausgangssignals des Codierers hoch und das Sig­ nalverarbeitungssystem umfangreich bzw. aufwendig. Falls jedoch wie bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel des Codierers die Anzahl der Spuren vermindert ist und die Wech­ selperiode der Codeelemente an jeder Spur verhältnismäßig lang ist, kann dadurch selbst bei dem Umlauf der Drehskala mit hoher Drehzahl eine Erhöhung der Frequenz des Ausgangs­ signals verhindert werden, während das Signalverarbeitungssy­ stem leichter aufzubauen ist. Darüberhinaus kann die Absolut­ lage durch das Ausgangssignal der Lichtempfangselementezeile 12 feiner bzw. genauer erfaßt werden, so daß daher insgesamt gesehen eine kleine Drehskala und ein Lichtempfangselemente­ signal-Verarbeitungssystem mit niedriger Ansprechfrequenz zum Erhalten des gleichen Auflösungsvermögens ausreichend sind; dies ergibt die Vorteile, daß der ganze Codierer kompakt aufgebaut ist und das elektrische System vereinfacht ist.

Insbesondere dann, wenn eine Ladungskopplungsvorrichtung (CCD) eingesetzt wird, kann die Interpolation sehr feinstufig ausgeführt werden, wodurch es einfach wird, in einem Codierer mit hohem Auflösungsvermögen die Anzahl von Spuren beträcht­ lich zu verringern und die Anzahl von Übertragungsleitungen herabzusetzen, wodurch der Leitungsanschluß der Codiereraus­ gänge vereinfacht wird.

Zur Feininterpolation ist es günstiger, die Abstände zwischen den auf die Spuren fallenden Strahlen zu verringern, jedoch können die Größe und der Teilungsabstand der Elemente der Lichtempfangselementezeile 12 nach Fig. 2 nicht sehr klein werden. Daher wird zum Erweitern der Abstände zwischen den auf die Lichtempfangselementezeile 12 fallenden Strahlen vor diesem gemäß Fig. 5A ein optisches Vergrößerungssystem 9′ angeordnet oder es wird eine Anordnung verwendet, in der die Reihe von Schlitzblenden in Abhängigkeit von der Richtung der auf die drehende Skala 1 fallenden Lichtstrahlen und von der Lagebeziehung zwischen der Skala und der Lichtempfangselemen­ tezeile vergrößert projiziert wird.

Weiterhin können statt der Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 zwei Beugungsgitterplatten eingesetzt werden, deren Beugungs­ gitter zueinander senkrecht stehen. Wenn in diesem Fall nach Fig. 5C eine Beugungsgitterplatte 8x für die Richtung x in der Nähe der Codeplatte 2 angeordnet wird, wird auf die Lichtempfangselementezeile 12 die Information über die Bewe­ gung der Spuren vergrößert projiziert. Die Fig. 5B ist eine Querschnittsansicht des optischen Systems in einer zur Ebene der Fig. 5C senkrechten Ebene.

Während vorstehend als Ausführungsbeispiel ein Drehcodierer bzw. Drehmeßgeber für das Auslesen von Daten an einer drehba­ ren Skala dargestellt wurde, ist die gleiche Gestaltung eben­ so auch bei einem Linearcodierer bzw. Wegmeßgeber für das Auslesen von Daten an einer linearen Skala anwendbar.

Weiterhin werden bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel auf die Codeplatte an der drehbaren Skala 1 mehrere, mittels der Orthogonal-Beugungsgitterplatte 8 gebildete Lichtstrahlen aus Beugungslicht gerichtet; alternativ kann jedoch auf die Codeplatte ein kreuzförmiger Strahl aus zwei linearen Licht­ strahlen gerichtet werden, die mittels einer Zylinderlinse oder dergleichen gebildet sind und die einander senkrecht schneiden. In diesem Fall wird der kreuzförmige Strahl derart auf die Skala gerichtet, daß der erste lineare Lichtstrahl mit seiner Längsrichtung in der Richtung der Anordnung der Spuren der Skala liegt und der zweite lineare Lichtstrahl mit seiner Längsrichtung in der Richtung der Bewegung bzw. Drehung der Skala liegt.

Claims (7)

1. Positionserfassungseinrichtung zum Erfassen einer Position einer beweglichen, durch eine Bestrahlungseinrichtung bestrahlten Skala mit mehreren Spuren, die jeweils eine vorbestimmte Musteranordnung beinhalten, wobei die Musteranordnungen aller Spuren gemeinsam einen Gray-Code oder einen ähnlichen Code zum Darstellen der Position der beweglichen Skala bilden und die Muster aller Spuren durch eine erste Sensoranordnung erfaßt werden, die ein dem Gray- oder ähnlichen Code entsprechendes Ausgangssignal erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungseinrichtung (6 bis 9) eine Beugungseinrichtung (8; 8x, 8y) aufweist, die einen auftreffenden Strahl in mehrere gebeugte Strahlen umsetzt, von denen eine erste Strahlengruppe auf die mehreren Spuren (2) gerichtet ist und für jede Spur jeweils einen gebeugten Strahl umfaßt, und von denen eine zweite Strahlengruppe auf eine vorbestimmte Spur aus den mehreren Spuren gerichtet ist und mehrere Strahlen enthält, die entlang der Bewegungsrichtung der Skala (2) so angeordnet sind, daß alle Strahlen der zweiten Strahlengruppe auf die Musteranordnung der vorbestimmten Spur auftreffen, daß die erste Sensoranordnung (11) die erste Strahlengruppe empfängt und ein dem Code entsprechendes erstes Signal erzeugt, und daß eine zweite Sensoranordnung (12) vorgesehen ist, die für den Empfang der zweiten Strahlengruppe und zur Erzeugung eines der Verlagerung der Musteranordnung der vorbestimmten Spur entsprechenden zweiten Signals ausgelegt ist, wobei die Skalenposition auf der Grundlage des ersten und zweiten Signals bestimmt wird.

2. Positionserfassungseinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungseinrichtung (6 bis 9) einen ersten und einen zweiten linienförmigen Strahl erzeugt, die sich gegenseitig schneiden und von denen der erste linienförmige Strahl auf die mehreren Spuren gerichtet ist und seine Längsrichtung im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung der Skala entlang der mehreren Spuren verläuft, und von denen der zweite linienförmige Strahl derart auf eine vorbestimmte Spur aus den mehreren Spuren gerichtet ist, daß seine Längsrichtung im wesentlichen mit der Skalenbewegungsrichtung übereinstimmt, daß die erste Sensoranordnung (11) den ersten linienförmigen Strahl empfängt und ein dem Code entsprechendes erstes Signal erzeugt, und daß eine zweite Sensoranordnung (12) vorgesehen ist, die für den Empfang des zweiten linienförmigen Strahls und zur Erzeugung eines der Verlagerung der Musteranordnung der vorbestimmten Spur entsprechenden zweiten Signals ausgelegt ist, wobei die Skalenposition auf der Grundlage des ersten und zweiten Signals bestimmt wird.

3. Positionserfassungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Sensoranordnung (12) die Position der Musteranordnung derjenigen Spur erfaßt, die der Bitstelle geringster Wertigkeit des Gray- oder ähnlichen Codes entspricht.

4. Positionserfassungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungsquelle (6) einen Laser umfaßt.

5. Positionserfassungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser ein Halbleiterlaser ist.

6. Positionserfassungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strahlteiler (10) vorhanden ist, der zwischen der Skala (2) und der ersten und zweiten Sensoranordnung (11, 12) angeordnet ist und zur Ausbildung eines zur ersten Sensoranordnung (11) führenden ersten optischen Pfads, über den die erste Strahlengruppe oder der erste linienförmige Strahl von der Skala (2) zur ersten Sensoranordnung (11) gelangt, sowie eines zur zweiten Sensoranordnung (12) führenden zweiten optischen Pfads dient, über den die zweite Strahlengruppe oder der zweite linienförmige Strahl von der Skala (2) zur zweiten Sensoranordnung (12) gelangt.

7. Positionserfassungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlungseinrichtung (6 bis 9) ein optisches System zum Konvergieren der ersten und zweiten Strahlengruppe bzw. des ersten und zweiten linienförmigen Strahls auf der Skala (2) umfaßt.