JP2714492B2 - 位置検出器 - Google Patents
位置検出器Info
- Publication number
- JP2714492B2 JP2714492B2 JP3053398A JP5339891A JP2714492B2 JP 2714492 B2 JP2714492 B2 JP 2714492B2 JP 3053398 A JP3053398 A JP 3053398A JP 5339891 A JP5339891 A JP 5339891A JP 2714492 B2 JP2714492 B2 JP 2714492B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pitch
- scale
- track
- position data
- tracks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械等において位
置計測に利用される位置検出器、特にアブソリュート方
式の位置検出器に関する。
置計測に利用される位置検出器、特にアブソリュート方
式の位置検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】アブソリュート方式の位置検出器に用い
られる符号パターンとしてはグレイコードが一般的であ
る。このグレイコードを用いた場合、アブソリュート範
囲が広くなるとその分だけトラック数が増大し、位置検
出器の断面積が大きくなってしまうという問題や、トラ
ック数の分だけ受光系や電気回路が複数化してしまうと
いう問題がある。これに対し少ないトラック数で絶対位
置化のできる位置検出器が考案されている。
られる符号パターンとしてはグレイコードが一般的であ
る。このグレイコードを用いた場合、アブソリュート範
囲が広くなるとその分だけトラック数が増大し、位置検
出器の断面積が大きくなってしまうという問題や、トラ
ック数の分だけ受光系や電気回路が複数化してしまうと
いう問題がある。これに対し少ないトラック数で絶対位
置化のできる位置検出器が考案されている。
【0003】図9は少ないトラック数で絶対位置化ので
きる従来の位置検出器の一例を示すブロック図であり、
発光素子101やコリメータレンズ102が含まれた光
源部から出た光は第1スケール103に入射する。この
第1スケール103には光の透過部と非透過部とが一定
のピッチで繰返されている格子トラックが複数本設けら
れており、第1スケール103はその長手方向(紙面に
垂直な方向)に移動可能となっている。図10は第1ス
ケール103に設けられた格子トラックの一例を示す図
であり、各格子トラックのピッチの関係は互いに1:N
(Nは3以上の整数)、即ち3列の格子トラックt1,
t2,t3のピッチP1:P2:P3が1:10:10
0の関係となっている。第1スケール103を透過した
光は読取ユニット106内の第1スケール103と同様
の格子トラックt1,t2,t3が施された第2スケー
ル104に入射し、第2スケール104を透過した光は
読取ユニット106内の第2スケール104の各格子ト
ラックt1,t2,t3に対応した光電変換素子105
1,1052,1053に入射する。光電変換素子10
51,1052,1053は入射光を電気信号SS1,
SS2,SS3に変換して信号処理回路110を構成す
る信号内挿回路1111,1112,1113に送出す
る。
きる従来の位置検出器の一例を示すブロック図であり、
発光素子101やコリメータレンズ102が含まれた光
源部から出た光は第1スケール103に入射する。この
第1スケール103には光の透過部と非透過部とが一定
のピッチで繰返されている格子トラックが複数本設けら
れており、第1スケール103はその長手方向(紙面に
垂直な方向)に移動可能となっている。図10は第1ス
ケール103に設けられた格子トラックの一例を示す図
であり、各格子トラックのピッチの関係は互いに1:N
(Nは3以上の整数)、即ち3列の格子トラックt1,
t2,t3のピッチP1:P2:P3が1:10:10
0の関係となっている。第1スケール103を透過した
光は読取ユニット106内の第1スケール103と同様
の格子トラックt1,t2,t3が施された第2スケー
ル104に入射し、第2スケール104を透過した光は
読取ユニット106内の第2スケール104の各格子ト
ラックt1,t2,t3に対応した光電変換素子105
1,1052,1053に入射する。光電変換素子10
51,1052,1053は入射光を電気信号SS1,
SS2,SS3に変換して信号処理回路110を構成す
る信号内挿回路1111,1112,1113に送出す
る。
【0004】信号内挿回路1111,1112,111
3は送出されて来た電気信号SS1,SS2,SS3を
第1スケール103上の各格子トラックt1,t2,t
3のピッチ内であって各格子トラックt1,t2,t3
のピッチの比N以上の数で内挿分割し、格子1ピッチ内
の絶対位置データSP1,SP2,SP3として信号処
理回路110を構成するデータ処理論理回路112に送
出する。そして、データ処理論理回路112は送出され
て来た格子1ピッチ内の絶対位置データSP1,SP
2,SP3を組合せて第1スケール103の移動量の絶
対位置データSPとして出力するようになっている。な
お、データ処理論理回路112には、それぞれの格子1
ピッチ内の絶対位置データが誤り無く組合わされるよう
に格子1ピッチの境界付近の絶対位置データについて桁
上げや桁下げをするか否かの判定機能が備えられてい
る。また、この位置検出器100の絶対位置検出範囲
は、複数の格子トラックのピッチのうち最大のピッチの
値となる。
3は送出されて来た電気信号SS1,SS2,SS3を
第1スケール103上の各格子トラックt1,t2,t
3のピッチ内であって各格子トラックt1,t2,t3
のピッチの比N以上の数で内挿分割し、格子1ピッチ内
の絶対位置データSP1,SP2,SP3として信号処
理回路110を構成するデータ処理論理回路112に送
出する。そして、データ処理論理回路112は送出され
て来た格子1ピッチ内の絶対位置データSP1,SP
2,SP3を組合せて第1スケール103の移動量の絶
対位置データSPとして出力するようになっている。な
お、データ処理論理回路112には、それぞれの格子1
ピッチ内の絶対位置データが誤り無く組合わされるよう
に格子1ピッチの境界付近の絶対位置データについて桁
上げや桁下げをするか否かの判定機能が備えられてい
る。また、この位置検出器100の絶対位置検出範囲
は、複数の格子トラックのピッチのうち最大のピッチの
値となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の位置検
出器100は、第1スケール103と読取ユニット10
6の相対移動が所望の姿勢のままで行なわれる場合は正
しい絶対位置データを出力するが、第1スケール103
と読取ユニット106とがスケール面に垂直な法線を軸
として相対的に大きく回転するような姿勢変化が発生し
た場合は異なったピッチを持つ格子トラックからの位置
データがうまく組み合わせられずに誤った絶対位置デー
タを出力してしまうことがある。第1スケール103上
に施されたそれぞれピッチの異なる格子トラックt1、
t2、t3に対応して、読取ユニット106内には第2
スケール104の格子トラックt1、t2、t3及び光
電変換素子1051、1052、1053で成る3つの
検出部S1、S2、S3が図11(a)に示すように配
置されている。これらの検出部S1、S2、S3には検
出の重心、、が存在する。この検出の重心とは仮
想的な点であり、検出部は等価的にこの重心の位置を検
出していると考えられる。例えば、光学式エンコーダで
は格子のピッチを周期として互いに1/4周期ずつ位相
が異なるような4つの周期信号(a,b,a/,b/)
を出力できるような格子が第2スケール上に施されてい
るのが一般的であり、この場合は図11(b)に示すよ
うに“田型”に配置された格子部の中心がそれぞれ検出
の重心、、となる。
出器100は、第1スケール103と読取ユニット10
6の相対移動が所望の姿勢のままで行なわれる場合は正
しい絶対位置データを出力するが、第1スケール103
と読取ユニット106とがスケール面に垂直な法線を軸
として相対的に大きく回転するような姿勢変化が発生し
た場合は異なったピッチを持つ格子トラックからの位置
データがうまく組み合わせられずに誤った絶対位置デー
タを出力してしまうことがある。第1スケール103上
に施されたそれぞれピッチの異なる格子トラックt1、
t2、t3に対応して、読取ユニット106内には第2
スケール104の格子トラックt1、t2、t3及び光
電変換素子1051、1052、1053で成る3つの
検出部S1、S2、S3が図11(a)に示すように配
置されている。これらの検出部S1、S2、S3には検
出の重心、、が存在する。この検出の重心とは仮
想的な点であり、検出部は等価的にこの重心の位置を検
出していると考えられる。例えば、光学式エンコーダで
は格子のピッチを周期として互いに1/4周期ずつ位相
が異なるような4つの周期信号(a,b,a/,b/)
を出力できるような格子が第2スケール上に施されてい
るのが一般的であり、この場合は図11(b)に示すよ
うに“田型”に配置された格子部の中心がそれぞれ検出
の重心、、となる。
【0006】第1スケール103と読取ユニット106
が所定の姿勢で相対移動している場合は3つの検出部S
1、S2、S3の検出の重心、、は第1スケール
103の移動方向に垂直な方向に一直線に並んでいる。
しかし、第1スケール103に対して読取ユニット10
6が図10に示すように矢印の方向にわずかに回転して
点線で示すような姿勢となってしまった場合、3つの検
出部S1、S2、S3の検出の重心、、は図12
に示すように傾き、検出部S1と検出部S3には△Dの
ずれが生じてしまう。そのために、異なったピッチを持
つ格子トラックt1、t2、t3からの位置データがう
まく組み合わせられず誤った絶対位置データを出力する
可能性がある。従って、第1スケール103に対する読
取ユニット106の姿勢変化が発生すると、位置データ
の組み合わせの信頼性が低下したり、逆にその信頼性を
確保するために位置検出器を装着する機械等の真直度を
管理する必要があるという問題があった。本発明は上述
の様な事情からなされたものであり、本発明の目的は、
位置検出器を取付けている機械等の真直度や姿勢の変化
に対して読み取りミスをせずに絶対位置検出ができるよ
うにした位置検出器を提供することにある。
が所定の姿勢で相対移動している場合は3つの検出部S
1、S2、S3の検出の重心、、は第1スケール
103の移動方向に垂直な方向に一直線に並んでいる。
しかし、第1スケール103に対して読取ユニット10
6が図10に示すように矢印の方向にわずかに回転して
点線で示すような姿勢となってしまった場合、3つの検
出部S1、S2、S3の検出の重心、、は図12
に示すように傾き、検出部S1と検出部S3には△Dの
ずれが生じてしまう。そのために、異なったピッチを持
つ格子トラックt1、t2、t3からの位置データがう
まく組み合わせられず誤った絶対位置データを出力する
可能性がある。従って、第1スケール103に対する読
取ユニット106の姿勢変化が発生すると、位置データ
の組み合わせの信頼性が低下したり、逆にその信頼性を
確保するために位置検出器を装着する機械等の真直度を
管理する必要があるという問題があった。本発明は上述
の様な事情からなされたものであり、本発明の目的は、
位置検出器を取付けている機械等の真直度や姿勢の変化
に対して読み取りミスをせずに絶対位置検出ができるよ
うにした位置検出器を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、各目盛トラッ
クに配置されたピッチの関係が互いに1:N(Nは3以
上の整数)であるM種類の目盛トラックが設けられ長手
方向に移動する第1スケールと、位相の異なる複数の変
位信号により構成される1組の変位信号群を前記M種類
の目盛トラックのうちの対応する1つからそれぞれ検出
するM個の検出部を有する読取ユニットと、前記M個の
検出部に各自接続され前記1組の変位信号群に基づいて
それぞれが対応する1つの目盛トラックの1ピッチ内絶
対位置データを求めるM個の信号内挿回路及び前記M個
の信号内挿回路で求められたM個の1ピッチ内絶対位置
データを組合せて前記第1スケールの絶対位置データを
求めるデータ処理論理回路を有する信号処理回路とを備
えた位置検出器に関するものであり、本発明の目的は、
前記M個の検出部及び前記M個の信号内挿回路による各
1ピッチ内絶対位置データの検出の重心を全て1点に重
ねるようにすることによって達成される。
クに配置されたピッチの関係が互いに1:N(Nは3以
上の整数)であるM種類の目盛トラックが設けられ長手
方向に移動する第1スケールと、位相の異なる複数の変
位信号により構成される1組の変位信号群を前記M種類
の目盛トラックのうちの対応する1つからそれぞれ検出
するM個の検出部を有する読取ユニットと、前記M個の
検出部に各自接続され前記1組の変位信号群に基づいて
それぞれが対応する1つの目盛トラックの1ピッチ内絶
対位置データを求めるM個の信号内挿回路及び前記M個
の信号内挿回路で求められたM個の1ピッチ内絶対位置
データを組合せて前記第1スケールの絶対位置データを
求めるデータ処理論理回路を有する信号処理回路とを備
えた位置検出器に関するものであり、本発明の目的は、
前記M個の検出部及び前記M個の信号内挿回路による各
1ピッチ内絶対位置データの検出の重心を全て1点に重
ねるようにすることによって達成される。
【0008】
【作用】本発明は、互いにピッチの異なった目盛トラッ
クから得られる複数の変位信号により構成される変位信
号群を検出する複数個の検出部の検出の重心を全て1点
に集めることで、第1スケールに対する読取ユニットの
姿勢変化に影響されること無く安心して高精度な絶対位
置検出を行なうものである。
クから得られる複数の変位信号により構成される変位信
号群を検出する複数個の検出部の検出の重心を全て1点
に集めることで、第1スケールに対する読取ユニットの
姿勢変化に影響されること無く安心して高精度な絶対位
置検出を行なうものである。
【0009】
【実施例】図1は本発明の位置検出器の一例を図9に対
応させて示すブロック図であり、同一構成箇所は同符号
を付して説明を省略する。この位置検出器100″の第
1スケール103″には図2に示すように格子ピッチの
一番小さい格子トラックt1を中心として格子トラック
t1の格子ピッチより順に大きい格子ピッチの格子トラ
ックt2−U,t3−U及びt2−L,t3−Lがそれ
ぞれ上下に分割配置されている。さらに、第1スケール
103″の各格子トラックt1,t2−U,t3−U,
t2−L,t3−Lに対応した第2スケール104″の
格子トラックt1,t2−U,t3−U,t2−L,t
3−L及び光電変換素子1051,1052−U,10
53−U,1052−L,1053−Lが設けられてい
る。従って、第1スケール103″の格子トラックt
1,t2−U,t3−U,t2−L,t3−Lに対応し
て、読取ユニット106″内には第2スケール104″
の格子トラックt1,t2−U,t3−U,t2−L,
t3−L及び光電変換素子1051,1052−U,1
053−U,1052−L,1053−Lで成る検出部
S1,S2−U,S3−U,S2−L,S3−Lが図3
に示すように配置されている。なお、検出部S2−Uと
S2−L及びS3−UとS3−Lは一体となって従来の
検出部S2及びS3と同じ機能を呈する。
応させて示すブロック図であり、同一構成箇所は同符号
を付して説明を省略する。この位置検出器100″の第
1スケール103″には図2に示すように格子ピッチの
一番小さい格子トラックt1を中心として格子トラック
t1の格子ピッチより順に大きい格子ピッチの格子トラ
ックt2−U,t3−U及びt2−L,t3−Lがそれ
ぞれ上下に分割配置されている。さらに、第1スケール
103″の各格子トラックt1,t2−U,t3−U,
t2−L,t3−Lに対応した第2スケール104″の
格子トラックt1,t2−U,t3−U,t2−L,t
3−L及び光電変換素子1051,1052−U,10
53−U,1052−L,1053−Lが設けられてい
る。従って、第1スケール103″の格子トラックt
1,t2−U,t3−U,t2−L,t3−Lに対応し
て、読取ユニット106″内には第2スケール104″
の格子トラックt1,t2−U,t3−U,t2−L,
t3−L及び光電変換素子1051,1052−U,1
053−U,1052−L,1053−Lで成る検出部
S1,S2−U,S3−U,S2−L,S3−Lが図3
に示すように配置されている。なお、検出部S2−Uと
S2−L及びS3−UとS3−Lは一体となって従来の
検出部S2及びS3と同じ機能を呈する。
【0010】検出部S1,S2−U,S3−U,S2−
L,S3−Lからの電気信号SS1,SS2−U,SS
3−U,SS2−L,SS3−Lのうち電気信号SS1
は信号処理回路110内の信号内挿回路1111に送出
され、電気信号SS2−U及びSS2−Lは信号内挿回
路1112に送出され、電気信号SS3−U及びSS3
−Lは信号内挿回路1113に送出され、3つの位置デ
ータSP1,SP2,SP3に変換される。変換された
位置データSP1,SP2,SP3はデータ処理論理回
路112に入力されて組み合わされ、第1スケール10
3″の移動量の絶対位置データSP′として出力される
ようになっている。
L,S3−Lからの電気信号SS1,SS2−U,SS
3−U,SS2−L,SS3−Lのうち電気信号SS1
は信号処理回路110内の信号内挿回路1111に送出
され、電気信号SS2−U及びSS2−Lは信号内挿回
路1112に送出され、電気信号SS3−U及びSS3
−Lは信号内挿回路1113に送出され、3つの位置デ
ータSP1,SP2,SP3に変換される。変換された
位置データSP1,SP2,SP3はデータ処理論理回
路112に入力されて組み合わされ、第1スケール10
3″の移動量の絶対位置データSP′として出力される
ようになっている。
【0011】このような構成において、各検出部S1,
S2−U,S3−U,S2−L,S3−Lの検出の重心
について図3を参照して説明する。検出部S1について
は従来と同様にで示す位置に検出の重心が存在する。
一方、分割された検出部S2−UとS2−Lの検出の重
心は検出部S1の検出の重心と全く同じ位置に重な
る。同様に分割された検出部S3−UとS3−Lの検出
の重心も検出部S1の検出の重心と全く同じ位置に
重なる。例えば図4に示すように第1スケール103″
の格子トラックt1に対応する4つの格子1a,1b,
1a/,1b/の配置は図11(b)と同じであり、格
子トラックt2に対応する4つの格子2a,2b,2a
/,2b/は2つずつ上下に分割されて配置されてい
る。このように配置した格子の検出の重心は位置的に4
つの格子2a,2b,2a/,2b/の中心となり、格
子トラックt1に対応する4つの格子1a,1b,1a
/,1b/の重心と同じ点になる。同様に格子トラック
t3に対応する4つの格子3a,3b,3a/,3b/
も2つずつ上下に分割されて配置されており、検出の重
心は位置的に4つの格子3a,3b,3a/,3b/の
中心となり、格子トラックt1に対応する4つの格子1
a,1b,1a/,1b/の重心と同じ点になる。この
ように配置すると各検出部の検出の重心はずれないの
で、位置データがうまく組み合わせられず誤った絶対位
置データを出力することは無くなる。
S2−U,S3−U,S2−L,S3−Lの検出の重心
について図3を参照して説明する。検出部S1について
は従来と同様にで示す位置に検出の重心が存在する。
一方、分割された検出部S2−UとS2−Lの検出の重
心は検出部S1の検出の重心と全く同じ位置に重な
る。同様に分割された検出部S3−UとS3−Lの検出
の重心も検出部S1の検出の重心と全く同じ位置に
重なる。例えば図4に示すように第1スケール103″
の格子トラックt1に対応する4つの格子1a,1b,
1a/,1b/の配置は図11(b)と同じであり、格
子トラックt2に対応する4つの格子2a,2b,2a
/,2b/は2つずつ上下に分割されて配置されてい
る。このように配置した格子の検出の重心は位置的に4
つの格子2a,2b,2a/,2b/の中心となり、格
子トラックt1に対応する4つの格子1a,1b,1a
/,1b/の重心と同じ点になる。同様に格子トラック
t3に対応する4つの格子3a,3b,3a/,3b/
も2つずつ上下に分割されて配置されており、検出の重
心は位置的に4つの格子3a,3b,3a/,3b/の
中心となり、格子トラックt1に対応する4つの格子1
a,1b,1a/,1b/の重心と同じ点になる。この
ように配置すると各検出部の検出の重心はずれないの
で、位置データがうまく組み合わせられず誤った絶対位
置データを出力することは無くなる。
【0012】図5は本発明の位置検出器の別の一例を図
1に対応させて示すブロック図であり、同一構成箇所は
同符号を付して説明を省略する。この位置検出器10
0′の第1スケール103′には図6に示すように格子
ピッチの一番小さい格子トラックt1を中心として格子
トラックt1の格子ピッチより順に大きい格子ピッチの
格子トラックt2,t3とそれらと同じ格子ピッチを持
った格子トラックt2′,t3′が上下対称に配置され
ている。さらに、図7に示すように第1スケール10
3′上の格子トラックt1,t2,t3,t2′,t
3′に対応して検出部も同様に検出部S1を中心として
検出部S2,S3とS2′,S3′がそれぞれ上下対称
に配置されている。ここで、上述の5つの検出部S1,
S2,S3,S2′,S3′はそれぞれ独立に第1スケ
ール103′の対応する格子トラックt1,t2,t
3,t2′,t3′の変位信号を検出する能力を持った
検出部である。例えば図8に示すように第1スケール1
03′の格子トラックt1に対応する4つの格子1a,
1b,1a/,1b/の配置は図11(b)と同じであ
り、格子トラックt2に対応する4つの格子2a,2
b,2a/,2b/はその隣に配置されている。また、
格子トラックt2′に対応する4つの格子2a′,2
b′,2a′/,2b′/は、格子トラックt1に対応
する4つの格子1a,1b,1a/,1b/を中心とし
て対称となるように反対側に設けられている。同様に、
格子トラックt3に対応する4つの格子3a,3b,3
a/,3b/と、格子トラックt3′に対応する4つの
格子3a′,3b′,3a′/,3b′/とは対称な位
置に配置されている。
1に対応させて示すブロック図であり、同一構成箇所は
同符号を付して説明を省略する。この位置検出器10
0′の第1スケール103′には図6に示すように格子
ピッチの一番小さい格子トラックt1を中心として格子
トラックt1の格子ピッチより順に大きい格子ピッチの
格子トラックt2,t3とそれらと同じ格子ピッチを持
った格子トラックt2′,t3′が上下対称に配置され
ている。さらに、図7に示すように第1スケール10
3′上の格子トラックt1,t2,t3,t2′,t
3′に対応して検出部も同様に検出部S1を中心として
検出部S2,S3とS2′,S3′がそれぞれ上下対称
に配置されている。ここで、上述の5つの検出部S1,
S2,S3,S2′,S3′はそれぞれ独立に第1スケ
ール103′の対応する格子トラックt1,t2,t
3,t2′,t3′の変位信号を検出する能力を持った
検出部である。例えば図8に示すように第1スケール1
03′の格子トラックt1に対応する4つの格子1a,
1b,1a/,1b/の配置は図11(b)と同じであ
り、格子トラックt2に対応する4つの格子2a,2
b,2a/,2b/はその隣に配置されている。また、
格子トラックt2′に対応する4つの格子2a′,2
b′,2a′/,2b′/は、格子トラックt1に対応
する4つの格子1a,1b,1a/,1b/を中心とし
て対称となるように反対側に設けられている。同様に、
格子トラックt3に対応する4つの格子3a,3b,3
a/,3b/と、格子トラックt3′に対応する4つの
格子3a′,3b′,3a′/,3b′/とは対称な位
置に配置されている。
【0013】5つの検出部S1,S2,S3,S2′,
S3′からの電気信号SS1,SS2,SS3,SS
2′,SS3′はそれぞれ信号処理回路110′内の5
つの信号内挿回路1111,1112,1113,11
12′,1113′で5つの位置データSP1,SP
2,SP3,SP2′,SP3′に変換される。変換さ
れた位置データの内、検出部S2及びS2′からの位置
データSP2及びSP2′と検出部S3及びS3′から
の位置データSP3及びSP3′はそれぞれ合成器11
32と1133に入力され、2つの位置データが合成さ
れてその平均値が求められる。そして、検出部S1から
の位置データSP1及び合成器1132,1133から
の位置データSP22,SP33はデータ処理論理回路
112に入力されて組み合わされ、第1スケール10
3′の移動量の絶対位置データSP′として出力される
ようになっている。
S3′からの電気信号SS1,SS2,SS3,SS
2′,SS3′はそれぞれ信号処理回路110′内の5
つの信号内挿回路1111,1112,1113,11
12′,1113′で5つの位置データSP1,SP
2,SP3,SP2′,SP3′に変換される。変換さ
れた位置データの内、検出部S2及びS2′からの位置
データSP2及びSP2′と検出部S3及びS3′から
の位置データSP3及びSP3′はそれぞれ合成器11
32と1133に入力され、2つの位置データが合成さ
れてその平均値が求められる。そして、検出部S1から
の位置データSP1及び合成器1132,1133から
の位置データSP22,SP33はデータ処理論理回路
112に入力されて組み合わされ、第1スケール10
3′の移動量の絶対位置データSP′として出力される
ようになっている。
【0014】前述のように各検出部S1,S2,S3,
S2′,S3′には検出の重心,,,′,′
が存在する。第1スケール103′と読取ユニット10
6′が所定の姿勢で相対移動している場合は5つの検出
の重心,,,′,′は第1スケール103′
の移動方向に垂直な方向に一直線に並んでいる。しか
し、第1スケール103′に対して読取ユニット10
6′がわずかに回転してしまった場合、検出の重心,
,,′,′が移動方向にずれてしまう。ところ
が、検出の重心を回転中心と考えると、検出の重心
と′は逆方向に同量の位置ずれを発生することから、
これらからの位置データを合成しその平均値に相当する
位置データを求めれば合成された絶対位置データの検出
の重心はと同じ点になる。同様に検出の重心,′
からの位置データを合成してその平均値に相当する位置
データを求めれば合成された位置データの検出の重心は
と同じ点になる。従って、結果的にそれぞれ周期の異
なった位置データを1点で検出したこととなり、第1ス
ケール103′に対する読取ユニット106′の姿勢変
化が発生しても、位置データがうまく組み合わせられず
誤った絶対位置データを出力することは無くなる。
S2′,S3′には検出の重心,,,′,′
が存在する。第1スケール103′と読取ユニット10
6′が所定の姿勢で相対移動している場合は5つの検出
の重心,,,′,′は第1スケール103′
の移動方向に垂直な方向に一直線に並んでいる。しか
し、第1スケール103′に対して読取ユニット10
6′がわずかに回転してしまった場合、検出の重心,
,,′,′が移動方向にずれてしまう。ところ
が、検出の重心を回転中心と考えると、検出の重心
と′は逆方向に同量の位置ずれを発生することから、
これらからの位置データを合成しその平均値に相当する
位置データを求めれば合成された絶対位置データの検出
の重心はと同じ点になる。同様に検出の重心,′
からの位置データを合成してその平均値に相当する位置
データを求めれば合成された位置データの検出の重心は
と同じ点になる。従って、結果的にそれぞれ周期の異
なった位置データを1点で検出したこととなり、第1ス
ケール103′に対する読取ユニット106′の姿勢変
化が発生しても、位置データがうまく組み合わせられず
誤った絶対位置データを出力することは無くなる。
【0015】
【発明の効果】以上のように本発明の位置検出器によれ
ば、位置検出器を装着する機械等の真直度を厳しく管理
する必要が無くなるので、メンテナンスの労力やコスト
を削減することができ、また各格子トラックの検出値の
内挿に厳しい精度を必要としないため、製造コストの低
減が可能となる。
ば、位置検出器を装着する機械等の真直度を厳しく管理
する必要が無くなるので、メンテナンスの労力やコスト
を削減することができ、また各格子トラックの検出値の
内挿に厳しい精度を必要としないため、製造コストの低
減が可能となる。
【図1】本発明の位置検出器の一例を示すブロック図で
ある。
ある。
【図2】本発明による第1スケールの一例を示す図であ
る。
る。
【図3】本発明による検出部の一例を示す図である。
【図4】本発明による検出部の具体例を示す図である。
【図5】本発明の位置検出器の別の一例を示すブロック
図である。
図である。
【図6】本発明による第1スケールの別の一例を示す図
である。
である。
【図7】本発明による検出部の別の一例を示す図であ
る。
る。
【図8】本発明による検出部の別の具体例を示す図であ
る。
る。
【図9】従来の位置検出器の一例を示すブロック図であ
る。
る。
【図10】従来の第1スケールの一例を示す図である。
【図11】従来の検出部の一例を示す図である。
【図12】従来の位置検出器の問題点を説明するための
図である。
図である。
100′ 位置検出器 100″ 位置検出器 101 発光素子 102 コリメータレンズ 103′ 第1スケール 103″ 第1スケール 104′ 第2スケール 104″ 第2スケール 106′ 読取ユニット 106″ 読取ユニット 110′ 信号処理回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−164913(JP,A) 特開 昭63−234729(JP,A) 特開 昭63−290916(JP,A) 特開 昭60−97214(JP,A) 特開 昭62−212516(JP,A) 特開 昭61−182523(JP,A)
Claims (4)
- 【請求項1】 各目盛トラックに配置されたピッチの関
係が互いに1:N(Nは3以上の整数)であるM種類の
目盛トラックが設けられ長手方向に移動する第1スケー
ルと、位相の異なる複数の変位信号により構成される1
組の変位信号群を前記M種類の目盛トラックのうちの対
応する1つからそれぞれ検出するM個の検出部を有する
読取ユニットと、前記M個の検出部に各自接続され前記
1組の変位信号群に基づいてそれぞれが対応する1つの
目盛トラックの1ピッチ内絶対位置データを求めるM個
の信号内挿回路及び前記M個の信号内挿回路で求められ
たM個の1ピッチ内絶対位置データを組合せて前記第1
スケールの絶対位置データを求めるデータ処理論理回路
を有する信号処理回路とを備えた位置検出器において、
前記M個の検出部及び前記M個の信号内挿回路による各
1ピッチ内絶対位置データの検出の重心が全て1点に重
ねられていることを特徴とする位置検出器。 - 【請求項2】 前記第1スケール上の最も小さいピッチ
を持つ1つの目盛トラックを除く各目盛トラックがそれ
ぞれ同一ピッチを持つ2つの目盛トラックに分離され、
これらM−1組の同一ピッチを持つ目盛トラックがそれ
ぞれ前記最も小さいピッチを持つ1つの目盛トラックを
中心として対称となるように配置されており、前記M個
の検出部のそれぞれが前記最も小さいピッチを持つ1つ
の目盛トラックまたは前記対称的に分離配置された同一
ピッチを持つ目盛トラックの対応する各組から前記1組
の変位信号群を検出し、前記M個の信号内挿回路のそれ
ぞれが前記1組の変位信号群に基づいて前記最も小さい
ピッチを持つ目盛トラックまたは前記M−1組の同一ピ
ッチを持つ目盛トラックの1ピッチ内絶対位置データを
求めるようにした請求項1に記載の位置検出器。 - 【請求項3】 各目盛トラックに配置されたピッチの関
係が互いに1:N(Nは3以上の整数)であるM種類計
P個の目盛トラックが最も小さいピッチを持つ1つの目
盛トラックを除いて各ピッチ2つずつ計M−1組設けら
れており前記M−1組の同一ピッチを持つ目盛トラック
がそれぞれ前記最も小さいピッチを持つ1つの目盛トラ
ックを中心として対称となるように配置された長手方向
に移動する第1スケールと、位相の異なる複数の変位信
号により構成される1組の変位信号群を前記P個の目盛
トラックのうちの対応する1つからそれぞれ検出するP
個の 検出部を有する読取ユニットと、前記P個の検出部
に各自接続され前記1組の変位信号群に基づいてそれぞ
れが対応する1つの目盛トラックの1ピッチ内絶対位置
データを求めるP個の信号内挿回路、前記対称的に配置
された同一ピッチを持つ目盛トラックの各組から得られ
たM−1組の1ピッチ内絶対位置データをそれぞれ合成
して各ピッチ毎の1ピッチ内絶対位置データの平均値を
求める合成器、及び前記最も小さいピッチを持つ目盛ト
ラックの1ピッチ内絶対位置データ及び前記合成器によ
り得られた前記各ピッチ毎の1ピッチ内絶対位置データ
の平均値を組合せて前記第1スケールの絶対位置データ
を求めるデータ処理回路を有する信号処理回路とを備え
ることを特徴とする位置検出器。 - 【請求項4】 前記検出部が光学格子と光電変換素子と
を備えている請求項2または3に記載の位置検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3053398A JP2714492B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3053398A JP2714492B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 位置検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04269624A JPH04269624A (ja) | 1992-09-25 |
JP2714492B2 true JP2714492B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=12941724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3053398A Expired - Fee Related JP2714492B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 位置検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2714492B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007515998A (ja) * | 2003-06-30 | 2007-06-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気共鳴イメージングのためのテーブル位置センシング装置及び方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59164913A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-09-18 | Samutaku Kk | ロ−タリ−エンコ−ダ |
JPH067062B2 (ja) * | 1987-03-24 | 1994-01-26 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置 |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP3053398A patent/JP2714492B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007515998A (ja) * | 2003-06-30 | 2007-06-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気共鳴イメージングのためのテーブル位置センシング装置及び方法 |
JP4838124B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2011-12-14 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気共鳴イメージングのためのテーブル位置センシング装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04269624A (ja) | 1992-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5235181A (en) | Absolute position detector for an apparatus for measuring linear angular values | |
US4421980A (en) | Position encoder with closed-ring diode array | |
EP0100243B1 (en) | Position sensor | |
US4991125A (en) | Displacement detector | |
JP2754422B2 (ja) | アブソリュート・エンコーダ | |
US4794251A (en) | Apparatus for measuring lengths or angles | |
JP2670193B2 (ja) | 位置検出器 | |
US4870559A (en) | Intelligent transducer | |
US5069547A (en) | Multitrack multilevel sensing system with error detecting | |
JPH03140820A (ja) | エンコーダ | |
GB1590922A (en) | Device for detecting relative position or displacement between two movable bodies | |
US20050236561A1 (en) | Photodetector array arrangement for optical encoders | |
US7145131B2 (en) | Absolute encoder | |
JP2714492B2 (ja) | 位置検出器 | |
JP3442869B2 (ja) | 光学式アブソリュートエンコーダ | |
US3482106A (en) | Precision shaft encoder having means to eliminate the effect of translational movement | |
CN110375776B (zh) | 一种旋转编码器 | |
US7679533B2 (en) | Photodiode array for an optical encoder, photodiode detection system, and optical encoder | |
JPH06347288A (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
WO1993014376A1 (en) | Structure of semiconductor element for detecting image position and method of detecting image position | |
US2960689A (en) | Binary scale reader | |
JPH06137899A (ja) | 光学式リニアエンコーダ | |
JP2540803B2 (ja) | 絶対番地形多回転式位置検出装置 | |
WO2003079555A2 (en) | Encoder with reference marks | |
JPH02168115A (ja) | アブソリュートエンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |