JP2549048Y2

JP2549048Y2 - Ｘ線分析用の試料ホルダ

Info

Publication number: JP2549048Y2
Application number: JP1992072982U
Authority: JP
Inventors: 勝久戸田
Original assignee: 理学電機工業株式会社
Priority date: 1992-09-24
Filing date: 1992-09-24
Publication date: 1997-09-24
Anticipated expiration: 2007-09-24
Also published as: JPH0630754U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、蛍光Ｘ線分析装置の
ようなＸ線分析装置において板状の小さな試料を保持す
るための試料ホルダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線の
ような放射線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を
測定することにより、試料の元素分析を行う装置であ
る。この分析装置によって、鉄板やメッキ板のサンプル
を分析する場合には、一次Ｘ線の照射位置に試料を正し
くセットするとともに、自動機による試料の搬入を可能
にするために、試料ホルダを用いる。この種の試料ホル
ダとしては、試料を載置するケースと、このケースに螺
合するキャップとの間で試料を挟持するものがある。こ
の種の試料ホルダの一例を図６および図７に示す。

【０００３】図６において、試料ホルダ１は、リング状
の位置決板２と、この位置決板２から離間した位置に設
けられたベース３との間に、試料台４を有している。試
料台４は、下方から円錐ばね５により押されて、上記位
置決板２との間で試料６を挟んで保持する。位置決板２
は、試料６の表面６１に裏面２１が当接しているととも
に、一次Ｘ線Ｂ１を通過させて試料に照射させるＸ線通
過孔２２を有しており、試料６の表面６１の中央部を露
出させるものである。なお、位置決板２が固定されてい
るキャップ本体７は、ケース本体８にねじ９により螺合
して固定されている。

【０００４】上記位置決板２のＸ線通過孔２２は、図７
のようにたとえばφ５〜φ１０mm程度の小さな孔になっ
ている。これは、図８（ａ）の試料６の特定の微小な分
析箇所６２を分析すべく、上記分析箇所６２を、図７の
Ｘ線通過孔２２に対応させることで、分析箇所６２を位
置決めするためである。

【０００５】つぎに、試料６の装着方法について説明す
る。試料６を図６の試料ホルダ１に装着するには、ま
ず、位置決板２と一体のキャップ本体７を、ケース本体
８から取り外す。ついで、試料６を試料台４の上に置
き、試料６の特定の分析箇所６２（図８）がＸ線通過孔
２２に対応するように、試料６の位置を決める。その
後、キャップ本体７をケース本体８にねじ込んで固定し
て、試料６を試料ホルダ１に装着する。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、分析箇所６２（図８）がＸ線通過孔２２の位置と
合致するであろう位置を予測して、試料６を試料ホルダ
１に装着しているので、図８（ｂ）のように、分析箇所
６２がＸ線通過孔２２に合致しにくい。しかも、装着時
に、キャップ本体７（図６）を回転させてねじ込むの
で、分析箇所６２がＸ線通過孔２２の位置からずれる。
したがって、分析箇所６２がＸ線通過孔２２と対応しな
いから、分析される試料６の部位が設定部位に対して位
置ずれする。ここで、試料６は、その部位により元素濃
度や組成などが異なるので、上記分析箇所６２の位置ず
れにより、分析値に誤差が生じる。その結果、分析精度
が低下する。

【０００７】また、分析箇所６２をＸ線通過孔２２に合
致させるべく、慎重に試料６の装着を行うので、装着時
間も長くなる。

【０００８】この考案は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、その目的は、試料の分析すべき箇所をＸ線
が照射される位置に正確に位置決めできるようにして、
分析の精度を向上させるとともに、試料の装着時間も短
くなるＸ線分析用の試料ホルダを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案の試料ホルダは、Ｘ線通過孔が形成された
中央板から径方向に延び、位置決板を試料ホルダ本体に
固定する複数の固定板を位置決板に設けている。上記固
定板と固定板との間には、試料の表面の外周部を露出さ
せる切欠部が形成されており、上記切欠部に指が挿入さ
れて、指により試料を試料台に沿って移動させるのを許
すように構成されている。

【００１０】

【作用】この考案によれば、試料を試料ホルダに装着し
た後に、試料の表面を露出させる切欠部に指を挿入し
て、試料を若干移動させて、分析すべき箇所をＸ線通過
孔に対応させることができる。したがって、試料の分析
箇所を正確かつ容易に位置決めすることができる。

【００１１】

【実施例】以下、この考案の実施例を図面にしたがって
説明する。図１〜図３は、この考案の第１実施例を示
す。試料ホルダ１の説明に先だって、まず、蛍光Ｘ線分
析装置の概略について説明する。

【００１２】図３において、Ｘ線管（放射線源）１０
は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出射して、試料６に一次
Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料６に照射された一次Ｘ線
Ｂ１は、試料６の原子を励起して、その元素固有の蛍光
Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料６からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、
視野制限スリット１１および第１のソーラスリット１２
を通過し、分光結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグ
の式を満足する所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射
角θと同一の回折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ
線Ｂ２は、第２のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ
線検出器１５に入射して検出される。この検出値に基づ
いて試料６の元素分析がなされる。

【００１３】つぎに、試料ホルダ１について説明する。
図１において、位置決板２は、Ｘ線通過孔２２が形成さ
れた環状の中央板２３と、この中央板２３から径方向Ｒ
の外方に向って延びる複数の固定板２４とで構成されて
いる。上記固定板２４は、この実施例では３枚設けられ
ており、ビス２５を介して、位置決板２をキャップ本体
７の上面の周囲で固定している。固定板２４と固定板２
４の間には、試料６の表面６１の外周部を露出させる切
欠部２６が形成されている。上記固定板２４の先端部２
４ａは、図２の断面図のように、キャップ本体７の外周
よりも若干内方へ退避しており、二点鎖線で示す分析装
置の環状の位置決部１６に嵌合する。なお、キャップ本
体７およびケース本体８により、試料ホルダ本体１７が
構成されている。

【００１４】上記ケース本体８の下部には、Ｃリング３
１が固定されている。Ｃリング３１の上方には、周方向
に回転するベアリング３２を介して、ベース板３３が固
定されている。なお、その他の構成は、上記従来技術と
同様であり、同一部分または相当部分に同一符号を付し
て、その詳しい説明を省略する。

【００１５】つぎに、試料６の装着方法について説明す
る。試料６を試料ホルダ１に装着するには、まず、予
め、試料６の分析箇所６２（図８（ａ））にマーキング
を施した後、キャップ本体７をケース本体８から取り外
す。ついで、試料６を試料台４の上の適当な位置に置
く。つづいて、キャップ本体７をケース本体８にねじ込
んで固定し、ばね力により試料６を位置決板２と試料台
４との間で挟む。その後、図１の切欠部２６から指Ｆを
挿入して、指Ｆで試料６を若干移動させ、分析すべき箇
所をＸ線通過孔２２に対応させる。このように、この試
料ホルダ１は、試料６の分析箇所６２（図８）を正確か
つ容易に位置決めすることができる。したがって、分析
箇所の位置精度が向上するので、微小部分析における分
析の精度が向上するとともに、試料６の装着時間も短く
なる。

【００１６】なお、位置決板２に凹凸があるが、図３の
ように、視野制限スリット１１を設けることで、位置決
板２に照射された一次Ｘ線Ｂ１が、Ｘ線検出器１５に入
射するのを防止し得る。

【００１７】ところで、上記第１実施例では、図２のキ
ャップ本体７をケース本体８に螺合させて、試料ホルダ
本体１７を構成したが、試料ホルダ本体１７は他の構造
であってもよい。この一例を図４および図５の第２実施
例に示す。

【００１８】図４において、ベース板３３Ａには、４本
の支柱１８を介して、環状の上板７Ａがベース板３３Ａ
から離間した位置に固定されている。試料台４は、上記
支柱１８に案内される溝４ａを有しており、上下に摺動
自在になっている。この実施例では、上記上板７Ａ、支
柱１８およびベース板３３Ａにより、試料ホルダ本体１
７が構成されている。位置決板２の形状および構造など
のその他の構成は、図５に示すように、第１実施例と同
様であり、同一部分または相当部分に同一符号を付し
て、その説明を省略する。

【００１９】ところで、上記実施例では、位置決板２に
固定板２４を３枚設けたが、この考案では、固定板２４
を複数枚設ければよく、たとえば、２枚または４枚以上
であってもよい。また、上記実施例では蛍光Ｘ線分析装
置に用いる試料ホルダについて説明したが、この考案
は、回折Ｘ線に基づいて試料の結晶構造を分析する回折
Ｘ線分析装置などの他のＸ線分析装置についても適用で
きる。

【００２０】

【考案の効果】以上説明したように、この考案によれ
ば、Ｘ線通過孔が形成された中央板から複数の固定板を
径方向の外方に突出させて、固定板と固定板との間に試
料の表面を露出させる切欠部を設けたので、試料を試料
ホルダに装着した後に、切欠部に指を挿入して試料を移
動させることができる。そのため、試料の分析箇所をＸ
線通過孔に正確に位置決めすることができるから、微小
部分析における分析精度が向上するとともに、位置決め
が容易になるので、装着時間も短くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の第１実施例を示す試料ホルダの斜視
図である。

【図２】同縦断面図である。

【図３】この考案にかかる蛍光Ｘ線分析装置の概略構成
図である。

【図４】第２実施例を示す試料ホルダの側面図である。

【図５】同平面図である。

【図６】従来の試料ホルダを示す縦断面図である。

【図７】同斜視図である。

【図８】（ａ）は試料の平面図、（ｂ）は試料を従来の
試料ホルダに装着した状態を示す平面図である。

【符号の説明】

１…試料ホルダ、２…位置決板、４…試料台、５…ば
ね、６…試料、７…キャップ本体（試料ホルダ本体）、
７Ａ…上板（試料ホルダ本体）、２１…裏面、２２…Ｘ
線通過孔、２３…中央板、２４…固定板、２６…切欠
部、３３，３３Ａ…ベース、６１…表面、Ｒ…径方向。

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】試料の表面に裏面が当接するとともに、
Ｘ線を通過させて試料に照射させるＸ線通過孔を有する
位置決板と、この位置決板から離間した位置に設けられ
たベースと、上記位置決板とベースとの間に設けられ、
ばねに押されて上記位置決板との間で試料を挟んで保持
する試料台とを備えたＸ線分析用の試料ホルダであっ
て、上記位置決板は、上記Ｘ線通過孔が形成された中央板
と、この中央板から径方向の外方に向って延び位置決板
を試料ホルダ本体に固定する複数の固定板とを有し、こ
れらの固定板と固定板との間に試料の表面の外周部を露
出させる切欠部が形成されており、上記切欠部に指が挿
入されて、指により試料を試料台に沿って移動させるの
を許すように構成されているＸ線分析用の試料ホルダ。