JP3242132U - 試料ホルダ及び側面照射型蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

【課題】試料の交換作業が簡便であり、かつ、装置内部の汚染を防止するとともに高精度な分析が可能な試料ホルダ及び側面照射型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】側面照射型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる試料ホルダ１００であって、試料を含み平行平板の表面と裏面を有する被測定体の表面の１次Ｘ線照射部分の周囲に部分的に当接する被測定体押さえ１０６と、前記被測定体を裏面側から付勢して前記被測定体を前記被測定体押さえに押し付けるバネと、を有する。【選択図】図１

Description

本考案は、試料ホルダ及び側面照射型蛍光Ｘ線分析装置に関する。

試料に含まれる元素や当該元素の濃度を測定する装置として、蛍光Ｘ線分析装置が知られている。蛍光Ｘ線分析装置には、試料に対し下側から１次Ｘ線を照射する下面照射型の蛍光Ｘ線分析装置と、試料に対し上側から１次Ｘ線を照射する上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置がある。

蛍光Ｘ線分析装置を用いた測定を行う際に、試料が配置される治具（例えば試料セルや試料ホルダ）を用いることがある。例えば下記特許文献１及び特許文献２は、樹脂フィルムを用いて液体試料を封入する試料ホルダを記載している。

また、蛍光Ｘ線分析装置を用いた測定を行う際に、試料ホルダが用いられない場合もある。例えば、下記特許文献３は、測定セルの背面に液体試料の供給と排出を行うバルブを設け、測定毎に測定セル内部の液体試料を入れ替えることができる蛍光Ｘ線液分析計を記載している。

特開2005-345442号公報 特開2018-205290号公報 特開2011-127954公報

上記特許文献３によれば、試料を入れ替えたときに入れ替える前の試料の一部が測定セルに残存し、分析精度が低下するおそれがある。一方、上記特許文献１及び特許文献２のような試料ホルダを用いることで前の測定時に用いられた測定試料を測定位置に残存させることなく測定を行うことができる。しかしながら、試料ホルダを用いたとしても、下面照射型の蛍光Ｘ線分析装置の場合、試料ホルダの樹脂フィルムがＸ線照射によって破損し、装置内部が汚染されるおそれがある。また、上面照射型の蛍光Ｘ線分析装置の場合、試料の蒸発や揮散によって１次Ｘ線を正確に照射することができなくなり、分析精度が低下するおそれがある。

本開示は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、試料の交換作業が簡便であり、かつ、装置内部の汚染を防止するとともに高精度な分析が可能な試料ホルダ及び側面照射型蛍光Ｘ線分析装置を提供することである。

（１）本開示の一側面に係る試料ホルダは、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる試料ホルダであって、試料を含み平行平板の表面と裏面を有する被測定体の表面の１次Ｘ線照射部分の周囲に部分的に当接する被測定体押さえと、前記被測定体を裏面側から付勢して前記被測定体を前記被測定体押さえに押し付けるバネと、を有することを特徴とする。

（２）本開示の上記態様において、さらに、前記被測定体の底部を支持する底板を有することを特徴とする。

（３）本開示の上記態様において、さらに、前記バネと前記被測定体押さえを固定し、前記被測定体の裏面に配置される裏板を有することを特徴とする。

（４）本開示の上記態様において、さらに、前記被測定体と前記裏板との間に配置されるスペーサを有する、ことを特徴とする。

（５）本開示の上記態様において、前記被測定体押さえは、前記被測定体の両側面に配置される側壁と、前記被測定体と当接する押さえ部と、を有することを特徴とする。

（６）本開示の上記態様において、前記被測定体は、１次Ｘ線が照射される位置に孔が形成され、前記試料の前記表面側に配置されるマスクと、前記試料の前記裏面側に配置される支持板と、を有する、ことを特徴とする。

（７）本開示の上記態様において、前記バネは、板バネであることを特徴とする。

（８）本開示の一側面に係る側面照射型蛍光Ｘ線分析装置は、上記いずれかの試料ホルダに含まれる前記被測定体に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、１次Ｘ線の照射される位置に配置され、前記試料ホルダが立てて取り付けられる試料台と、を有することを特徴とする。

（９）本開示の上記態様において、前記試料台が複数配置されたターレットを有し、前記ターレットは、前記蛍光Ｘ線分析装置の内部に回転可能に軸支され、水平面内に回転軸が存在する軸部と、前記試料台が複数配置され、前記軸部に固定されて回転する回転部と、を有することを特徴とする。

（１０）本開示の上記態様において、前記回転部は、前記被測定体の照射位置が円錐台の側面に位置するように前記被測定体を支持し、測定位置で所定の前記被測定体に１次Ｘ線が照射されるように前記被測定体を配置する、ことを特徴とする。

本開示によれば、試料の交換作業が簡便であり、蛍光Ｘ線分析装置の内部でばらけてしまうおそれのない試料ホルダを提供できる。

試料ホルダを俯瞰して見た図である。 試料ホルダの各部を説明するための図である。 被測定体をはめ込む様子を示す図である。 被測定体を示す図である。 側面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略図である。 試料ホルダが設置された側面照射型蛍光Ｘ線分析装置を示す図である。 試料台に試料ホルダを設置する様子を示す図である。 測定時における側面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略を示す図である。 変形例に係る側面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略を示す図である。 ターレットの上面図及び側面図である。 試料ホルダを取り外すした状態のターレットを示す図である。 変形例に係る測定時における側面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略を示す図である。 変形例に係る被測定体を示す図である。

以下、本考案を実施するための好適な実施の形態（以下、実施形態という）を図を参照しつつ説明する。図１は、試料ホルダ１００を俯瞰して見た図である。図２は、被測定体１０２及びスペーサ１０８を取り外した状態の試料ホルダ００の各部を説明するための図である。図３は、試料ホルダ１００に被測定体１０２をはめ込む様子を示す図である。なお、以下において、被測定体１０２が見える面を表面側、裏板１０４が見える面を裏面側、側壁１１０が見える面を側面側、底板２０４が見える面を下面側と呼称する。また、図３に示す被測定体１０２がはめ込まれる向きが上側から下側に向かう方向であるとする。

図１乃至図３に示すように、試料ホルダ１００は、被測定体押さえ１０６と、バネ２０２と、底板２０４と、裏板１０４と、スペーサ１０８と、を含む。試料ホルダ１００には、被測定体１０２が配置される。

被測定体１０２は、試料３０４を含み平行平板の表面と裏面を有する。具体的には、例えば、図４(a)は、被測定体１０２の平面図であって、図４(b)は、図４(a)のIV-IV断面を示す図である。本実施形態では、試料３０４がパウチセルに封入される液体である場合について説明する。被測定体１０２は、マスク３０２と、試料３０４が封入されるパウチセルと、支持板３０６と、を含み、パウチセルはマスク３０２及び支持板３０６によって挟んで配置される。マスク３０２は、１次Ｘ線が照射される位置に孔４０８が形成され、パウチセルの表面側に配置される。マスク３０２に設けられた孔４０８は、被測定体１０２の表面の１次Ｘ線照射部分である。支持板３０６は、パウチセルの裏面側に配置される。マスク３０２は平行平板の表面であり、支持板３０６は平行平板の裏面である。マスク３０２及び支持板３０６は、例えば、薄い矩形状の金属板である。

パウチセルは、第１樹脂フィルム４０２と、第２樹脂フィルム４０４と、樹脂製フィルム４０６と、を含む。第１樹脂フィルム４０２は、１次Ｘ線の照射側に配置され、該１次Ｘ線を透過する分析窓を有する。具体的には、例えば、第１樹脂フィルム４０２は、アルミラミネートやポリプロピレンやポリエステルなどの樹脂で形成されたフィルムである。第１樹脂フィルム４０２の材料は、熱可塑性樹脂であることが望ましい。第１樹脂フィルム４０２の形状は、例えば矩形状であって、丸い孔を有する。丸い孔は、第１樹脂フィルム４０２のおよそ中央に設けられる。第１樹脂フィルム４０２に設けられた孔にポリイミドなどのごく薄い樹脂製フィルム４０６が配置され、測定時に分析窓として機能する。なお、分析窓として設けられる孔の形状は、任意の形状であってよい。また、第１樹脂フィルム４０２が１次Ｘ線を透過する材料で形成される場合、分析窓は省略されてもよい。

第２樹脂フィルム４０４は、試料３０４を挟んで第１樹脂フィルム４０２と対向して配置される樹脂フィルムである。具体的には、例えば、第２樹脂フィルム４０４は、第１樹脂フィルム４０２と同じ材料で形成されたフィルムである。第２樹脂フィルム４０４は第１樹脂フィルム４０２と異なり孔を有しないが、外形形状は第１樹脂フィルム４０２と対応する形状であることが望ましい。

第２樹脂フィルム４０４は、第１樹脂フィルム４０２と接着される。具体的には、図４(a)の破線は、第１樹脂フィルム４０２と第２樹脂フィルム４０４が接着される領域の一例を示している。当該接着される領域のうち下側、左側及び右側の領域が接着された状態で第１樹脂フィルム４０２と第２樹脂フィルム４０４の間に試料３０４を注いだ後、上側の領域を接着する。上側の領域を接着する際、第１樹脂フィルム４０２と第２樹脂フィルム４０４の間に空気が残らないように気密に封止することにより試料３０４が封入されたパウチセルが完成する。なお、図４(a)に示す第１樹脂フィルム４０２と第２樹脂フィルム４０４が接着される領域は矩形状であるが、接着される領域は分析窓を囲っていれば他の位置に設けられてもよい。接着の方法は、任意であってよく、例えば、熱融着や接着剤を塗布する方法である。また、パウチセルに封入される試料は液体の他、粉体や固体であってもよい。

なお、被測定体１０２は、パウチセルのみによって構成されてもよく、マスク３０２と支持板３０６の一方または両方が省略されてもよい。例えば、パウチセルの表面が被測定体押さえ１０６によって押さえられれば、マスク３０２は省略されてもよい。また、例えば、パウチセルの裏面がバネ２０２によって被測定体押さえ１０６に押さえられれば、支持板３０６は省略されてもよい。

被測定体押さえ１０６は、被測定体１０２の表面の１次Ｘ線照射部分の周囲に部分的に当接する。具体的には、例えば、図２に示すように、被測定体押さえ１０６は、被測定体１０２の両側面に配置される側壁１１０と、被測定体１０２と当接する押さえ部１１２と、を有する。側壁１１０は、側面から見て矩形状を有し、裏板１０４にねじで固定される。押さえ部１１２は、側壁１１０の前方端面から被測定体１０２の中央側に向かって張り出した形状を有し、被測定体の表面側の一部と当接する。すなわち、被測定体押さえ１０６は、側壁１１０と押さえ部１１２をあわせると、上面側から見てＬ字型の形状である。なお、図１乃至図３に示す押さえ部１１２は被測定体１０２の側方端部の上端から下端まで隙間なく押さえているが、１次Ｘ線照射部分の周囲の他の部分に当接していてもよい。被測定体押さえ１０６が被測定体１０２を押さえることができれば、押さえ部１１２の形状は任意である。

バネ２０２は、被測定体１０２を裏面側から付勢して被測定体１０２を被測定体押さえ１０６に押し付ける。具体的には、例えば、バネ２０２は裏板１０４にネジで固定され、被測定体１０２を裏面側から付勢する。バネ２０２は、巻きバネであってもよいが、板バネであることが望ましい。例えば図２に示すように、板バネは、上側から下側に向かうほど裏板１０４から被測定体１０２に近づく形状を有する。当該形状によれば、図３に示すように、被測定体１０２を試料ホルダ１００の板バネに沿って内部に差し込むことができるため、試料３０４交換の作業が容易になる。なお、バネ２０２は、被測定体１０２を押さえ部１１２に押し付けることができれば、裏板１０４ではなく被測定体押さえ１０６や底板２０４に固定されてもよい。

底板２０４は、被測定体１０２の底部を支持する。具体的には、例えば、底板２０４は、下側からみて略矩形状であって、上側に裏板１０４と被測定体押さえ１０６とが固定される。底板２０４により、被測定体１０２が下側に落下することを防止できる。

裏板１０４は、バネ２０２と被測定体押さえ１０６を固定し、被測定体１０２の裏面に配置される。具体的には、例えば、裏板１０４は、表面側から見て矩形状であって、一定の厚さの金属製の板である。また、裏板１０４は、マスク３０２の孔４０８と対応する位置に孔を有する。当該孔により、１次Ｘ線が被測定体１０２を透過することによって生じるバックグラウンドの影響を抑えることができる。裏板１０４の孔は省略されてもよい。

スペーサ１０８は、被測定体１０２と裏板１０４との間に配置される。具体的には、例えば、スペーサ１０８は、被測定体１０２とバネ２０２の間に配置される金属製の板であって、支持板３０６と対応する形状を有する。スペーサ１０８は、バネ２０２が被測定体１０２の裏面に接しないときにスペースを調整するための部材であって、被測定体１０２の裏面と裏板１０４の距離が大きい場合に配置される。また、スペーサ１０８は、マスク３０２の孔４０８と対応する位置に孔が設けられていてもよい。なお、図２ではスペーサ１０８を省略している。

続いて、上記試料ホルダ１００を用いる側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００について説明する。図５(a)は、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の外観を示す図である。図５(b)は、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の試料台５０６の近傍を拡大した図であって、試料台５０６が見えるように蓋５０２が開いた状態を示す図である。側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００は、試料ホルダ１００が試料台５０６に立てて配置される構造を有する。ここで、試料ホルダ１００が立てて配置されるとは、重力の働く方向が試料ホルダ１００の１次Ｘ線が照射される面内（すなわちマスク３０２の表面内）に存在するように、試料ホルダ１００が配置されることを意味する。

図６(a)乃至図６(c)は、図５(b)の試料台５０６が配置される空間（以下、試料室と呼称する）をさらに拡大した図であって、試料ホルダ１００が設置された状態を示す図である。図６(a)は、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００を表面側から見た図である。図６(b)は、図６(a)のVI-VI断面を示す図である。図６(c)は、図６(a)のVI’-VI’断面を示す図である。以下において、図６(a)における試料室壁５０４の試料室側をｖとし、反対側（紙面奥行方向）を裏面側と呼称する。

試料室は、蓋５０２と試料室壁５０４とによって囲われた空間であって、試料台５０６が配置される。蓋５０２及び試料室壁５０４は、Ｘ線を透過しない鉛などの重金属を含んだ材料で形成される。試料室壁５０４は、試料台５０６が配置された部分に開口を有し、試料台５０６の上方に窪み５０８を有する。試料台５０６は、試料室壁５０４の試料室側（表面側）に固定される裏側部材５１０と、試料室壁５０４の裏面側（以下、裏面側の空間を測定室と呼称する）に固定される表側部材５１２と、を有する。裏側部材５１０は、図６(a)に示すように表面側から見て矩形状を有し、図６(b)に示す断面図において直角に２回折れ曲がった形状を有する。表側部材５１２は、試料ホルダ１００の１次Ｘ線が照射される側を支持する部材であって、試料ホルダ１００の１次Ｘ線が照射される位置を避けて配置される。

なお、試料ホルダ１００が測定室側に落下しない構成であれば、表側部材５１２は、省略されてもよい。例えば、試料室壁５０４の開口が試料ホルダ１００よりも小さく、試料室壁５０４の一部が試料ホルダ１００の一部に当接する構成とすることで、試料ホルダ１００が測定室側に落下しないようにしてもよい。

図７(a)及び図７(b)は、試料台５０６に試料ホルダ１００を設置する様子を示す図である。図７(a)に示すように、使用者は、試料ホルダ１００の１次Ｘ線が照射される側が測定室を向くように試料ホルダ１００を指で挟み、試料室壁５０４に対して試料ホルダ１００を傾けながら試料台５０６に配置する。この際、試料室壁５０４に窪み５０８が設けられているため、指を当該窪み５０８に入れることにより試料ホルダ１００の取り付け及び取り外しが容易になる。図６(a)乃至図６(c)及び図７(b)に示すように、取り付けられた試料ホルダ１００は、裏板１０４が裏側部材５１０に支持され、マスク３０２が表側部材５１２に支持され、側壁１１０は開口が設けられた試料室壁５０４によって支持される。また、試料室壁５０４の開口により、試料ホルダ１００の１次Ｘ線が照射される位置は、測定室に露出している。

図８は、測定時における側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の概略を示す図である。図８は、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００を上側から見た断面図である。また、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００が波長分散型の蛍光Ｘ線分析装置である場合について説明するが、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００はエネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００は、Ｘ線源８０２と、分光素子８０４と、検出器８０６と、を含む。Ｘ線源８０２は、試料ホルダ１００に含まれる被測定体１０２に含まれる試料３０４に１次Ｘ線を照射する。ここで、Ｘ線源８０２は、１次Ｘ線の進む方向がおよそ水平面内に存在するように配置される。従って、立てて配置された試料ホルダ１００に対して横方向から１次Ｘ線が照射される。１次Ｘ線が照射された試料３０４から、蛍光Ｘ線が出射される。

分光素子８０４は、蛍光Ｘ線を分光する。具体的には、例えば、分光素子８０４は、試料３０４から発生した複数の波長の蛍光Ｘ線のうち、ブラッグの条件式を満たす特定の波長の蛍光Ｘ線のみを分光する。試料３０４から発生した蛍光Ｘ線の進む方向と分光素子８０４表面との成す入射角度をθとする。

試料台５０６は、１次Ｘ線の照射される位置に配置され、試料ホルダ１００が立てて取り付けられる（図７(a)及び図７(b)参照）。

検出器８０６は、例えば、シンチレーションカウンタである。検出器８０６は、蛍光Ｘ線の強度を測定し、測定した蛍光Ｘ線のエネルギーに応じた波高値を有するパルス信号を出力する。

分光素子８０４及び検出器８０６は、ゴニオメータ（図示なし）によって、一定の角度関係を保ちながら回動する。具体的には、分光素子８０４は、分光素子８０４表面に対する蛍光Ｘ線の入射角度θが所定の範囲内で変化するように、ゴニオメータによって回動する。２次Ｘ線は分光素子８０４により回折され、分光素子８０４からブラッグの条件式を満たす蛍光Ｘ線（すなわち出射角度θである蛍光Ｘ線）が出射する。検出器８０６は、ゴニオメータによって、分光素子８０４から出射角度θで出射された蛍光Ｘ線が入射される位置に移動する。

検出器８０６から出力されるパルス信号を波高値に応じて計数することにより、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００は、蛍光Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する。当該スペクトルに基づいて、試料３０４に含まれる元素の分析が行われる。特定元素のみを分析する場合、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００はゴニオメータを有さず、分光素子８０４及び検出器８０６の位置は固定されていてもよい。

以上のように、本実施形態に係る試料ホルダ１００が立てて配置されることにより、試料３０４の交換作業が簡便であり、かつ、装置内部の汚染を防止するとともに高精度な分析が可能となる。

続いて、上記実施形態に係る側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の変形例について説明する。本変形例では、側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００が、試料台５０６が複数配置されたターレット９００を有する点で上記実施形態と異なる。図９は、変形例に係る側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の概略を示す図であって、図５(b)に示す試料台５０６に代えてターレット９００が配置されている。ターレット９００以外の構成については同様であるため説明を省略する。

図１０(a)は、ターレット９００の上面図であり、図１０(b)は、ターレット９００の側面図である。また、図１１(a)は、ターレット９００を俯瞰した図であって、試料ホルダ１００を取り外した状態を示す図である。ターレット９００は、軸部１００２と、回転部１００４と、を有する。

軸部１００２は、蛍光Ｘ線分析装置の内部に回転可能に軸支され、水平面内に回転軸が存在する。具体的には、軸部１００２は、一方の端部が試料室壁５０４に回転可能に軸支され、他方の端部に円板状のハンドル部が設けられる。軸部１００２は、回転軸が水平面内に存在し、かつ、試料室壁５０４に対して所定の角度を有するように、試料室壁５０４に対して軸支される。ユーザは、ハンドル部を握って軸部１００２を回転させることにより、ターレット９００を回転させる。

回転部１００４は、試料台５０６が複数配置され、軸部１００２に固定されて回転する。具体的には、回転部１００４は、図１１の下側に示す第１部材１００６と、上側に示す第２部材１００８と、を有する。第１部材１００６は、およそ円錐台の頂部の面と側面のみからなる形状を有し、側面に一定の間隔で試料ホルダ１００の形状に対応する孔を６個有する。当該孔の近傍にそれぞれ、各孔に配置される試料ホルダ１００を識別するための符号として数字が付されている。また、第１部材１００６は、頂部の面の中央に軸部１００２が嵌合する孔を有する。

第２部材１００８は、第１部材１００６が有する６個の孔の位置と対応する位置に、試料ホルダ１００を押さえる試料ホルダ押さえを有する。すなわち、第２部材１００８は、試料ホルダ押さえが、回転軸を中心に所定の間隔で連結された構造を有する。また、第２部材１００８は、第１部材１００６と同様中央に軸部１００２が嵌合する孔を有する。第１部材１００６及び第２部材１００８は、それぞれ中央に有する孔が軸部１００２に嵌合することにより、軸部１００２の回転に伴って回転する。

第１部材１００６に設けられた６個の孔の周囲と、第２部材１００８に設けられた６個の試料ホルダ押さえと、によって６個の試料台５０６が構成される。試料ホルダ１００は、第１部材１００６の側面に設けられた孔にはめ込まれ、第２部材１００８の試料ホルダ押さえによって固定されることで、試料台５０６に配置される。

図１２は、本変形例において、測定時の側面照射型蛍光Ｘ線分析装置５００の概略を示す図である。図１２は、試料台５０６に代えてターレット９００が設けられている点を除き、図８と同様である。図１２に示すように、回転部１００４は、被測定体１０２の照射位置が円錐台の側面に位置するように被測定体１０２を支持し、測定位置で所定の被測定体１０２に１次Ｘ線が照射されるように被測定体１０２を配置する。具体的には、ターレット９００の側面に支持された試料ホルダ１００は、１次Ｘ線が照射される位置に試料ホルダ１００内の試料３０４の表面が位置するように配置される。この際、軸部１００２が試料室壁５０４に対して所定の角度を有するように試料室壁５０４に対して軸支されているため、試料ホルダ１００内の試料３０４の表面は試料室壁５０４と略平行となる。

すなわち、試料ホルダ１００は、試料ホルダ１００内の試料３０４の位置が、図８に示す試料３０４の位置関係と同じとなるように配置される。また、軸部１００２が回転することによって、他の試料ホルダ１００が１次Ｘ線が照射される位置に移動する。ターレット９００は６０度ごと回転するように構成されており、それぞれ１から６の符号が付された孔にはめ込まれた試料ホルダ１００を１次Ｘ線の照射位置に配置することができる。

本変形例によれば、先に試料ホルダ１００をターレット９００に配置することにより、交換することなく複数の試料３０４を測定することができる。なお、変形例で示したターレット９００の形状は任意であってよく、回転によって試料ホルダ１００を１次Ｘ線の照射位置に配置することができれば他の形状（例えば角錐台の形状など）であってもよい。また、１つのターレット９００に配置できる試料ホルダ１００の数は６個に限られず他の数であってもよい。

また、上記においては、試料３０４がパウチセルに封入される液体である場合について説明したが、本試料ホルダ１００によれば、種々の試料３０４の測定が可能である。例えば、図１３(a)に示すように、試料３０４は、薄膜や基板などの板状の試料３０４であってもよい。また、図１３(b)に示すように、試料３０４は、金属のインゴットや粉体をプレスにより固められた不規則な形状を有する試料３０４であってもよい。さらに、試料３０４は、パウチセル等に封入された基板や粉体試料などであってもよい。

この場合においても、被測定体１０２は、試料３０４のみによって構成されてもよく、マスク３０２と支持板３０６の一方または両方が省略されてもよい。例えば、試料３０４の表面が平坦な面を有し被測定体押さえ１０６によって押さえられれば、マスク３０２は省略されてもよい。また、例えば、試料３０４の裏面がバネ２０２によって被測定体押さえ１０６に押さえられれば、支持板３０６は省略されてもよい。

１００ 試料ホルダ、１０２ 被測定体、１０４ 裏板、１０６ 被測定体押さえ、１０８ スペーサ、１１０ 側壁、１１２ 押さえ部、２０２ バネ、２０４ 底板、３０２ マスク、３０４ 試料、３０６ 支持板、４０２ 第１樹脂フィルム、４０４ 第２樹脂フィルム、４０６ 樹脂製フィルム、４０８ マスクの孔、５００ 側面照射型蛍光Ｘ線分析装置、５０２ 蓋、５０４ 試料室壁、５０６ 試料台、５０８ 窪み、５１０ 裏側部材、５１２ 表側部材、８０２ Ｘ線源、８０４ 分光素子、８０６ 検出器、９００ ターレット、１００２ 軸部、１００４ 回転部、１００６ 第１部材、１００８ 第２部材。

Claims (10)

1. 側面照射型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる試料ホルダであって、
   試料を含み平行平板の表面と裏面を有する被測定体の表面の１次Ｘ線照射部分の周囲に部分的に当接する被測定体押さえと、
   前記被測定体を裏面側から付勢して前記被測定体を前記被測定体押さえに押し付けるバネと、
   を有することを特徴とする試料ホルダ。
2. さらに、前記被測定体の底部を支持する底板を有することを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ。
3. さらに、前記バネと前記被測定体押さえを固定し、前記被測定体の裏面に配置される裏板を有することを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
4. さらに、前記被測定体と前記裏板との間に配置されるスペーサを有する、ことを特徴とする請求項３に記載の試料ホルダ。
5. 前記被測定体押さえは、前記被測定体の両側面に配置される側壁と、前記被測定体と当接する押さえ部と、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
6. 前記被測定体は、
   １次Ｘ線が照射される位置に孔が形成され、前記試料の前記表面側に配置されるマスクと、
   前記試料の前記裏面側に配置される支持板と、
   を有する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
7. 前記バネは、板バネであることを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
8. 請求項１または２に記載の試料ホルダに含まれる前記被測定体に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
   １次Ｘ線の照射される位置に配置され、前記試料ホルダが立てて取り付けられる試料台と、
   を有することを特徴とする側面照射型蛍光Ｘ線分析装置。
9. 前記試料台が複数配置されたターレットを有し、
   前記ターレットは、
   前記蛍光Ｘ線分析装置の内部に回転可能に軸支され、水平面内に回転軸が存在する軸部と、
   前記試料台が複数配置され、前記軸部に固定されて回転する回転部と、
   を有することを特徴とする請求項８に記載の側面照射型蛍光Ｘ線分析装置。
10. 前記回転部は、前記被測定体の照射位置が円錐台の側面に位置するように前記被測定体を支持し、測定位置で所定の前記被測定体に１次Ｘ線が照射されるように前記被測定体を配置する、ことを特徴とする請求項９に記載の側面照射型蛍光Ｘ線分析装置。

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