JP2547530B2 - 電気素子にリード部をはんだ付けする方法 - Google Patents

電気素子にリード部をはんだ付けする方法

Info

Publication number
JP2547530B2
JP2547530B2 JP7005195A JP519595A JP2547530B2 JP 2547530 B2 JP2547530 B2 JP 2547530B2 JP 7005195 A JP7005195 A JP 7005195A JP 519595 A JP519595 A JP 519595A JP 2547530 B2 JP2547530 B2 JP 2547530B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead portion
ribbon
solder
lead
flame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7005195A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07254779A (ja
Inventor
リチャード・イー・キャドック
ロバート・シー・ボウエン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KADOTSUKU EREKUTORONIKUSU Inc
Original Assignee
KADOTSUKU EREKUTORONIKUSU Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KADOTSUKU EREKUTORONIKUSU Inc filed Critical KADOTSUKU EREKUTORONIKUSU Inc
Publication of JPH07254779A publication Critical patent/JPH07254779A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2547530B2 publication Critical patent/JP2547530B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/0008Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
    • B23K1/0016Brazing of electronic components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3405Edge mounted components, e.g. terminals
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15786Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10227Other objects, e.g. metallic pieces
    • H05K2201/1034Edge terminals, i.e. separate pieces of metal attached to the edge of the PCB
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10742Details of leads
    • H05K2201/10886Other details
    • H05K2201/10924Leads formed from a punched metal foil
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/0405Solder foil, tape or wire
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3494Heating methods for reflowing of solder
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S228/00Metal fusion bonding
    • Y10S228/902Metal fusion bonding using flame

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電気素子にリード部をは
んだ付けする方法に関する。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】米国特許第5,252,
944号明細書に開示されたフィルム型の抵抗器の如き
電気素子を製造する場合、リード部をチップへはんだ付
けする作業は退屈で費用がかさむ。例えば、上記米国特
許明細書に記載の如く、はんだ組成物をチップに施すた
めには別個のスクリーン印刷工程が必要となり、それに
続いて、はんだ組成物の箇所においてリード部をチップ
にクランプし、それを加熱してはんだを溶融させる必要
がある。
【0003】各連結部(接着部)に対して適正なはんだ
量を伴ってリード部を適正、強力かつ迅速に供給でき、
スクリーン印刷操作を必要としないはんだ付け方法を提
供するのが望ましい。
【0004】従来技術で慣行されていることは、抵抗器
等を溶剤で洗浄して余分なフラックスを取り除くことで
ある。従って、このような洗浄を必要としない方法を提
供するのが望ましい。
【0005】また、各連結部に対して適正なはんだ量を
伴って、抵抗器及びその他の素子へのリード部のはんだ
付けを比較的迅速に、少なくとも半自動的に、しかも有
効かつ強力に達成する方法を提供するのが望ましい。
【0006】リード部をチップに連結するための従来の
はんだ付け方法により普通に達成されるはんだ接着より
も強力にリード部とチップとをはんだ接着する半自動的
又は全自動的な方法を提供するのが望ましい。
【0007】更に、従来の方法に比べて遥かに制御可能
で扱い易く、スクリーン印刷又ははんだペーストが不要
で、特定の工程によりはんだを所望の接着領域の方へ流
動させることのできる方法を提供するのが望ましい。
【0008】
【問題点を解決するための手段】本発明の一形態によれ
ば、リボンの形をしたはんだを極めて実践的かつ有効な
方法で使用してリード部をチップにはんだ付けする方法
が提供される。
【0009】本発明の別の形態によれば、はんだリボン
は洗浄不要型式のフラックスでコーティングされて、は
んだ付け作業を容易にすると共に、はんだ付け後の物品
を溶剤で洗浄する必要性を排除する。
【0010】本発明の更に別の形態によれば、迅速かつ
有効なはんだ付けを達成し、完成されたはんだ付けジョ
イントの強度を増大させると思われる還元作用を達成す
るために、はんだに関して炎を使用する方法が提供され
る。
【0011】本発明の他の形態によれば、はんだリボン
を切断するため及び切断地点から遠く離れた領域でリー
ド部を加熱するために炎を使用する。また、本発明の形
態によれば、はんだは切断地点からジョイント領域の方
へ引き寄せられる。
【0012】本発明の更に他の形態によれば、はんだの
厚さ及び幅、並びにチップ間の距離は、各リード部の内
端において所望量のはんだが存在するように選定され
る。
【0013】本発明の別の形態によれば、異なるはんだ
領域を自動的に切断し、次いではんだ付けすべき部分を
自動的に加熱する一連の操作にトーチ器を使用し、切断
した適正な量のはんだがジョイント領域へ向かって適正
な位置へ移動するようにする。
【0014】本発明の更に別の形態によれば、x軸及び
z軸上の所望の地点へ種々のトーチ器を移動させる機構
が提供される。また、はんだ付けにより連結される素子
及びリードフレームを正確に位置決めする装置も提供さ
れる。
【0015】
【実施例】本明細書において、「リボン」なる用語は、
幅方向の寸法に比べて長手方向の寸法の方が大きいはん
だの薄い可撓性ストリップ又はテープを意味するものと
する。このリボンは互いに実質上平行な対向する表面
(上面及び下面)と、互いに実質上平行な両側縁とを有
する。
【0016】また、本明細書において、図6、7に示す
方向「x」は左右即ち右左方向であり、方向「z」は垂
直方向であり、方向「y」は図6、7の紙面に垂直な方
向である。
【0017】例示としての好ましい実施例では、本発明
の方法及び装置は上記米国特許第5,252,944号
明細書に開示されたフィルム型の抵抗器においてリード
部をチップにはんだ付けするために使用される。
【0018】まず図1を参照すると、複数個(図では6
個)の同形のトーチ器(バーナーノズル)10−15が
離間した状態でマニホールド16に下向きに装着されて
いる。図示の実施例においては、トーチ器10−15は
直線に沿って等間隔で位置している。トーチ器間の間隔
は、はんだ付けすべきチップを適所に位置決めしたとき
のチップ間の間隔に相当する(等しい)。
【0019】マニホールド16は、プログラムに基づき
マニホールド16をx方向及びz方向へ運動させる作動
機構17に調整可能な状態で水平に支持されている。詳
細には、作動機構17はハウジング20の溝穴19を貫
通して実質上水平に延びるアーム18に接続している。
このアームはマニホールド16に固定された調整手段2
1に接続している。この調整手段は水平方向及び垂直方
向におけるマニホールド16の位置の微調整を可能にす
るように構成されている。溝穴19の高さ(長さ)及び
幅はアーム18のx方向及びz方向への運動を許容する
のに十分なものである。
【0020】作動機構は種々の型式のものでよいが、好
ましい実施例においては、作動機構はアーム18、マニ
ホールド16従ってトーチ器10−15の所望のx方向
及びz方向への運動を達成するためのカムを有する。
【0021】ガス源22は可撓性導管23を介してマニ
ホールド16従ってトーチ器に接続している。トーチ器
において水素炎を発生させるため、熱源(加熱手段)が
設けられ、2体積の水素ガス及び1体積の酸素ガスがガ
ス源22からマニホールドへ供給される。好ましくは、
上述のガス混合物は、付加的な可燃性蒸気をガス流内へ
導入するように、メタノール、エタノール、アセトン、
メチルエチルケトン、ヘキサン又はヘプタンの如き揮発
性有機液体を通して泡立てられる。このような有機蒸気
をガス混合物に付加すると、炎の熱含量が増大し、炎の
還元能力が増大し、各炎の所望の特性が得られる。
【0022】上述及び後述のトーチ手段に使用する場合
の混合ガスの圧力は10ないし15キロパスカル(1.
45ないし2.18psi)、好ましくは11ないし1
2キロパスカル(1.60ないし1.74psi)に維
持すべきである。
【0023】各トーチ器10−15は23ゲージ(内径
0.0125インチ即ち0.318mm)ないし27ゲ
ージ(内径0.0076インチ即ち0.193mm)の
ステンレススチール製チューブから成る。特定の例にお
いては、25ゲージ(内径0.0095インチ即ち0.
241mm)のトーチ器が好ましい。
【0024】本発明の図示の実施例においては、精確に
位置したはんだ付けすべき部分を含む取付具25は位置
決め手段(図示せず)により水平な支持表面26上で位
置決めされる。図示の例では、支持表面26は作動機構
17及びガス源22をも支持する。複数個の同形の取付
具25を設け、1つの取付具及びその内容物をトーチ器
10−15の下方に位置決めし、その間に他の取付具に
内容物を装填し、予熱するとよい。
【0025】図2を参照すると、同形の各取付具25は
金属ベース25aと金属蓋25bとから成り、この金属
はアルミニウムとするのが好ましい。ベース25aには
浅い溝(グルーブ)27が形成され、この溝の長手方向
に沿って小さなスペーサ28が等間隔で配置されてい
る。この間隔は、(図示の実施例では)5つの同形のチ
ップ31(例えば、上記米国特許明細書に開示された型
式のもの)がそれぞれの小さなスペーサ間で溝27内に
位置決めされるように選定してある。溝27にじかに隣
接して大きなスペーサ29が設けられ、これらのスペー
サ29はリードフレーム34のリード部分32、33
(本明細書において「リード部」という)を位置決めす
る役目を果たす。それぞれのスペーサ28、29は互い
に近接しておらず、はんだリボン39の幅より大きな距
離だけ離間している。ベース25aの壁36はリード部
32、33から遠い方のリードフレーム34の縁部を位
置決めする。一方、大きなスペーサ29の壁37はリー
ドフレームの反対側の(平行な)縁部を位置決めする。
【0026】大きなスペーサ29は小さなスペーサ28
より高い位置にあり、小さなスペーサ28の上面は溝2
7の両側のベース25aの上面と同じ高さに位置する。
壁37に直角な大きなスペーサ29の縁部は種々の組の
リード部32、33を位置決めする役目を果たす。従っ
て、図4に示すように、各組のリード部32、33はチ
ップ31と整合し、チップと部分的に重なる。
【0027】図示の実施例において、リードフレーム従
ってリード部32、33は0.023イン(約0.58
mm)の厚さを有し、ニッケルでメッキした銅でできて
いる。また、この実施例において、各リード部32、3
3の幅は0.040インチ(約1.02mm)である。
リードフレーム及びリード部の上下表面は平坦で互いに
平行となっている。
【0028】また、ベース25aははんだリボン39を
受け入れ、位置決めする。詳細には、リボンの一縁は図
示の壁37に平行な大きなスペーサ29の壁に接して位
置決めされ、チップ31の上に配置される。
【0029】取付具25の蓋25bは装填後にベース2
5a上でこれに小さな圧力で嵌合するような形状を有す
る。ベースと蓋との関係は、これらが嵌合したときに、
蓋25bがリード部32、33をはんだリボン39に軽
く押し付け、リボンがリード部とリードフレーム34に
近い方のチップ31の縁部の上面とにより挟まれるよう
なものである。上述のような小さな圧力での嵌合(係
合)により、リボン39は下方へ押圧され、はんだリボ
ンの両面を(チップ及びリード部に)有効に密着させ、
エアポケットが形成される危険性を最少化する。
【0030】蓋25bに形成した溝(グルーブ)41は
はんだリボン39及びリード部32、33を露出させる
ように位置する。
【0031】本発明の方法の残りの工程及び関連素子の
説明 この方法における第1工程は、チップ31と、これらの
チップにはんだ付けすべきリード部32、33との間に
挟みつけるような状態で、フラックスでコーティングし
たはんだリボン39を組立てることである。比較的少量
生産(半自動生産)の場合は、はんだリボンの挟みつけ
及び位置決めは上述の取付具25を使用して行う。この
場合、(上述のように)取付具は小さな圧力ではんだリ
ボンをリード部とチップとの間に保持する。比較的多量
生産(自動生産)の場合は、はんだリボンの挟みつけ及
び位置決めは、連続的なリードフレーム34を使用し、
リード部32、33に対して正確な位置関係となるよう
にチップ31を移動させる部品シャトルを使用し、フラ
ックスでコーティングしたはんだリボンの連続的なリー
ルを使用することにより、行う。また、多量生産の場合
は、自動クランプを使用して、はんだリボンを間に挟ん
だ状態でリード部をチップに押し付け保持する。更に、
多量生産の場合は、リードフレームに設けた穴を含むイ
ンデックス(割り出し)手段をリードフレーム34に関
連して使用し、マニホールド16及びこれに関連するト
ーチ器10−15の作動と同期させてリードフレームを
前進させる。(「少量」及び「多量」なる用語は相対関
係を意味するもので、「少量」の場合でさえ、その生産
速度は上述の米国特許明細書に記載された物品の製造速
度より速いことを諒解されたい。) 図4は少量生産及び多量生産のための上述の挟みつけ関
係を示す。従って、例えば、図4は装填済みの図2の取
付具25を閉じてしまった後の種々の素子の位置を示
す。リボン39の両端は最外側のリード部から所定の距
離だけ突出している。この距離は隣接するチップ31に
関連する隣接リード部間の距離の実質上半分の距離に等
しい。
【0032】図3に明示するように、リボン39はフラ
ックス42で予めコーティングされている。このような
フラックス42は適当な洗浄不要フラックスである。
【0033】本発明の方法の一形態によれば、チップ3
1は、はんだリボン39が2つの隣接するチップの中間
で切断されたときに、はんだの端部及び溶融したはんだ
が下方へ落下せずにチップの方へ引き寄せられるよう
に、互いに十分接近して配置される。従って、はんだ端
部は後述する加熱工程において適所へ適正に流れる。ま
た、チップは、はんだ付け操作の終了時に、所望量のは
んだが各リード部32、33の両側に存在するのに十分
な距離だけ、互いに離れている。特定な例として、約
0.33インチ×約0.35インチ(約8.38mm×
約8.89mm)の寸法を有する比較的「大きな」チッ
プ31に対しては、隣接するチップの隣接する平行な縁
部間の間隔は約0.17インチ(約4.32mm)であ
る。
【0034】リボン39の上述の挟みつけ及びチップ3
1に関するリード部32、33の位置決めは、リード部
の少なくとも端部がチップの高導電性金属化はんだ付け
パッド部分43に整合しこれらパッド部分にはんだによ
り連結されるように、行われる。上記の寸法のチップの
ための図示のパッドはL字形状を呈し、リード部32、
33の端部はL字状パッドの内方へ延びる水平部分に整
合する。
【0035】本発明の実施例に係る方法の次の工程とし
て、使用される特定のはんだの融点に応じて、少なくと
もチップ31を100℃ないし200℃の範囲内の温度
まで予熱する。取付具25を使用した場合、上述の素子
を装填した後に閉じた取付具を加熱素子(その1つを図
5に符号45にて示す)上に置くことにより、予熱を行
う。前述のように、複数個の取付具25に上述の素子を
それぞれ装填し、取付具を閉じ、予熱する。その間、別
の装填した取付具をトーチ器10−15の下方に配置
し、実際のはんだ付け操作を行う。それ故、この場合、
すべての取付具は予熱されている。上述の多量生産方法
においては、チップ31のみを予熱する。
【0036】次に、図6を参照すると、装填され予熱さ
れた取付具25はトーチ器の下方の所定の位置に配置さ
れている。次いで、例えば作動機構17(図1)を使用
して、一連の運動(運動サイクル)を実行する。
【0037】第1の運動では、トーチ器10−15から
の炎46により、はんだリボン39を複数の離間した地
点で同時に切断する。図示の実施例では、第1の切断は
図6に実線で示すトーチ器により行い、リード部32、
33間の中間でチップ31上のリボン39の領域を切断
する。上述の切断により、はんだは切断部の両側で球状
に丸まる。このようにして切断されたはんだリボンの端
部は約1/8インチ(約3.18mm)だけ相互に離れ
る。
【0038】次の運動として、トーチ器及び炎が図6の
一点鎖線の位置へ移動せしめられ、リボン39が隣接す
るチップ31の中間で切断される。これにより、はんだ
は切断部の両側で球状に丸まり、はんだリボンの端部は
約1/8インチ(約3.18mm)だけ相互に離れる。
比較的少量の生産方法では、リボンの各突出した端部
(図4の左端及び右端)は切断されないが、球状に丸め
られる。
【0039】図6に示すように、作動機構17を使用し
た場合は、切断動作中、炎46はリボン39に関して比
較的高い位置にある。本発明の方法の好ましい形態によ
れば、各炎は上述の切断及び球状形成を行うのに十分な
近さまでリボン39に接近している。
【0040】図1の作動機構17により図6の実線位置
と一点鎖線位置との間を移動せしめられるとき、トーチ
器及び炎は、単に横移動せしめられるのではなく、最初
に上昇せしめられ、次いで横方向に移動せしめられ、次
いで下降せしめられる。しかし、別の実施例において
は、トーチ器の運動従って炎の運動は垂直ではなく水平
に行ってもよいし、このような運動は傾斜方向に行って
もよい。この傾斜運動においては、炎は、はんだ、チッ
プ又はリード部に影響を及ぼさない位置と、リボンの切
断又は後述する(接着即ちはんだ付けのための)リード
部の加熱を行う位置との間を移動する。また、トーチ器
及び炎が垂直ではなく水平に移動する場合は、接着即ち
はんだ付けを行っているときの高さと同じ高さでのトー
チ器による(切断のために)はんだ溶融ドゥエル時間を
減少させることにより切断を行う(即ち、接着即ちはん
だ付けドゥエル時間は切断ドゥエル時間より長い)。
【0041】上述のトーチ器及び作動機構17を使用す
るリボン切断の上述の例において、トーチ器の端部は
0.25インチ(6.4mm)ないし0.75インチ
(19.1mm)、好ましくは0.4インチ(10.2
mm)ないし0.6インチ(15.2mm)の距離で位
置すべきである。これらの距離はリードフレーム34
(及びリード部32、33)の上面を基準面とした値で
ある。
【0042】上述の切断工程期間中、下降位置(他の型
式の作動機構を使用した場合はy方向に移動した位置)
における各トーチ器のドゥエル時間は0.1ないし5秒
間、好ましくは0.15ないし2.5秒間とすべきであ
る。ドゥエル時間が短かすぎると、リボンを溶融し、切
断するのに十分な時間が得られない。また、ドゥエル時
間が長すぎると、チップ31及び取付具25を過剰に加
熱し、リボン39を過剰に溶融させ、リボンを酸化させ
てしまう。
【0043】図6に示すように、リボンを5箇所で切断
するために6つのトーチ器を設ける。図6における第2
位置(一点鎖線位置)においては、取付具の端部に位置
する2つのトーチ器10、15は突出したリボン端部に
対して使用される。端側トーチ器10、15がリボン端
部に球状形成を実際行わず接着を行わないとき、(図7
に関連して説明したものも含む)すべてのインターバル
期間中素子を端側トーチ器10、15からシールドする
手段(図示せず)を設ける。
【0044】チップからチップへ橋渡しするときにリボ
ン39が延びる空間は、取付具25の金属等により満た
されず、空気空間47(図6)とするのが好ましい。こ
れにより、取付具の吸熱作用が減少し、リボン39に熱
を一層良好に伝達できる。
【0045】切断により生じたリボンの個々の区分はま
ったく移動せず、リード部32、33により挟まれた位
置でクランプされる。
【0046】図7には、本発明の方法の接着即ちはんだ
付け工程を示す。この場合、リード部及びはんだリボン
に対して、炎は図6の場合(又は、トーチ器がz方向で
はなくy方向へ移動せしめられ、炎がリード部に一層近
づけられずに、一層長いドゥエル時間を有する場合)よ
りも一層近づけられる。
【0047】図7に示すように、トーチ器10−15か
らの炎はリード部32、33の上面に一層近づけられ
る。これにより、端子、はんだ及び金属化パッド43を
一層強烈に加熱し、はんだの接着を行う。テープ39の
前以て切断された領域はリード部32、33に近接する
領域へ引き寄せられ(流動し)、リード部をパッド43
に強固に固定し電気的に接続するが、極めて好ましく
は、リード部の上面にはんだを存在させない。
【0048】図示の実施例においては、図7に実線で示
すトーチ器に関して、リード部32が最初に(サイクル
の第3運動により)下側のパッド及びチップに同時には
んだ付けされる。次いで、サイクルの第4運動によりト
ーチ器を一点鎖線で示す位置へ移動させた後、リード線
33がパッド及びチップにはんだ付けされる。図6に関
連して説明したように、作動機構17を使用した場合
は、トーチ器は単純に横移動せしめられるのではなく、
最初に上昇せしめられ、次いで横方向に移動せしめら
れ、次いで下降せしめられる。
【0049】上述の接着期間中、各トーチ器10−15
は炎の還元部分がリード部に少なくとも部分的に係合す
るのに十分なだけ下降せしめられる。各炎のこのような
還元部分(円錐形の芯)を符号48にて示す。各炎の還
元部分を接着領域に近づけることにより、酸化作用が減
退し、はんだの流れ及び湿潤が増長される。
【0050】各炎は隣接するパッド43、はんだリボン
及びリード部32、33を加熱し、これにより、溶融は
んだは各リード部の方へ流動し、パッド及びリード部が
湿潤される。次いで、各炎はリード部から離れるように
上昇せしめられ、その結果、溶融はんだは急速に熱を失
い、固化する。これにより、リード部32、33とパッ
ド43との間に強力で高導電性の接着部(連結部)が形
成される。
【0051】リード部の接着期間中、端側のトーチ器は
リードフレーム34及びリード部32、33の上面から
上方に0.010インチ(0.25mm)ないし0.2
00インチ(5mm)、好ましくは0.020インチ
(0.50mm)ないし0.08インチ(2mm)の距
離だけ離れて位置すべきである。
【0052】接着工程期間中、下降した位置における各
トーチ器のドゥエル時間は0.25ないし3秒間、好ま
しくは0.5ないし1.5秒間とすべきである。ドゥエ
ル時間が短かすぎると、はんだを流動させ接着領域を湿
潤するのに十分な時間が確保できない。また、ドゥエル
時間が長すぎると、溶融はんだが金属化パッド43と協
力して金属間化合物を形成してしまい、接着部を弱化さ
せてしまう。
【0053】図示の実施例においては、各チップ31の
2つのリード部32、33の中心間距離は0.200イ
ンチ(5mm)である。しかし、この例においても、1
つのチップのためのリード部33と次のチップのための
リード部32との間の距離は0.200インチ(5m
m)より実質上大きい。従って、リード部の外側の切断
リボンの長さはリード部の内側の切断リボンの長さより
若干大きい。しかし、はんだはリード部の端部及びこれ
に隣接するリード部の端部へ流動し、(各リード端部の
両側のはんだ量が幾分アンバランスであるにも拘わら
ず)これらのリード部をチップに有効に接着する。
【0054】はんだリボン39の厚さ及び幅は、各リー
ド端部に存在するはんだの体積が強力で完全な接着を行
うのに十分であるが(上述のように)リード部の上面に
はんだが残るには不十分となるように、選定される。図
示の特定な例においては、はんだリボン39の幅は0.
060インチ(1.5mm)、厚さは0.002インチ
(0.05mm)である。
【0055】好ましいはんだリボンは大量の錫と小量の
銀とで形成され、詳細には、約95%の錫と約5%の銀
とで形成される。
【0056】図8、9には、上述の方法の結果を示し、
各リード端部の両側及び下側に密に固化したはんだが存
在する。固化したはんだを符号49(図9)にて示す。
【0057】次いで、取付具25を取り外し、装填物を
除去する。次いで、別の装填済みで予熱した取付具25
を次のはんだ付けサイクルのために適所に配置する。こ
れに必要な時間中、炎は取付具の領域から外されるか、
または、その代わりに、炎と取付具の領域との間にシー
ルド手段を配置し、取付具を熱からシールドする。
【0058】図10、11の実施例 図11を参照すると、図示のチップ51は上述のチップ
31より小さい。つまり、各チップはリード部に垂直な
方向に測った)約0.25インチ(約6.4mm)の長
さ及び約0.19インチ(約4.8mm)の幅を有す
る。しかし、各チップのためのリード部32、33間の
間隔は図11のものと図1−9のものとで同じである。
従って、図10のリード部32、33の中心間距離は
0.200インチ(5mm)であり、リード部の外縁は
チップの縁部に実質上整合する。
【0059】更に、図11の左側に示すように、リード
部32、33間の重なり部分は図4のものより大きい。
従って、図11に示すように、各リード部はチップの内
縁に至る道程の約2/3だけチップと重なる。図11に
おける下側の金属化パッドはL字形状を呈しておらず、
チップの縁部に沿った直線状を呈する。
【0060】図11の例におけるリード部/パッド接着
部は図1−9の実施例に関して詳説したものと実質上同
一に形成される。
【0061】図11の例においては、はんだは(リード
フレームから離れるように)内方へ移動して、チップに
重なるリード部32、33の部分の実質上全長にわたっ
てその下方に至る。従って、はんだリボンが各チップの
外側部分に最初に(即ち、上述の切断及び接着工程の前
に)位置していた場合でさえ、長くて強力な接着部が得
られる。
【0062】図10の実施例において、リード部32、
33はリードフレーム34に沿って等間隔で位置する。
このことは、各リード部の両側の切断されたはんだ領域
の長さが等しいことを意味する(先の実施例の場合は等
しくない)。
【0063】図10は本発明のすべての実施例に関して
使用されるモールド(成形)工程を示す。合成樹脂でモ
ールド成形された矩形の本体53はリード部及びチップ
がリードフレーム34a上にあるときにリード部及びチ
ップ上にモールド成形されたものである。リード部とモ
ールド成形された本体との間の連結強度を更に増大させ
るため、図4、11に示すように、各リード部にノッチ
即ち切欠きを設ける。
【0064】上述のモールド成形が終了した後(また
は、モールド工程が無い場合)、リードフレーム34a
(又は先の実施例のリードフレーム34)が切断され、
リード部32、33及びこれらとそれぞれ同軸の狭い延
長部のみを残すようにする。上記の米国特許明細書にも
分離されたリード部が開示されている。
【0065】円筒状のリード部を使用した場合は、ま
ず、これらのリード部を適正な関係でボール紙その他の
ストリップに適当に固定する。極めて好ましくは、少な
くともリード部の(はんだ付けを行う)端部をその下側
(チップ側)で予め平坦にしておく。
【0066】以上説明した実施例は単なる例示にすぎな
いことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】一列のトーチ器により炎ではんだ付けされる取
付具内の5つの抵抗器を示す本発明の方法を実施する装
置の斜視図である。
【図2】上方及び下方の取付具部分と、リードフレーム
と、はんだリボンと、はんだ付けすべき5つのチップと
を示す分解部品斜視図である。
【図3】はんだリボンの拡大断面図である。
【図4】図2の取付具内に組立てられる素子の位置関係
を示す斜視図である。
【図5】組立後の図2の素子に対して使用する加熱素子
の側面図である。
【図6】一連のトーチ器を示す側面図で、実線はチップ
上に位置決めされたはんだを切断する位置にあるトーチ
器及び炎を示し、一点鎖線はチップ間のはんだを切断す
る位置へ移動したトーチ器及び炎を示す図である。
【図7】一連のトーチ器を示す側面図で、実線は各チッ
プ上の1つのリード部を加熱する位置にあるトーチ器及
び炎を示し、一点鎖線は各チップ上の残りのリード部を
加熱する位置へ移動したトーチ器及び炎を示す図であ
る。
【図8】図4に対応する図であるが、はんだ付け後の素
子を示す図である。ただし、リードフレームの一部は示
さない。
【図9】チップとこれにはんだ付けされた2つのリード
部とを示す断面図である。
【図10】本発明の別の実施例に係る、抵抗器とリード
フレームとを示し、チップ上の合成樹脂ハウジングをも
示す図である。
【図11】図10の抵抗器の1つを示す拡大図である
が、チップを明示すためにハウジングの一部を破断して
示す図である。
【符号の説明】
10−15 トーチ器 17 作動機構 25 取付具 31 チップ 32、33 リード部 34 リードフレーム 39 はんだリボン 42 フラックス 43 金属化パッド 46 炎 49 はんだ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート・シー・ボウエン アメリカ合衆国オレゴン州97470,ロー ズバーグ,オールド・メルローズ・ロー ド 3790

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気素子にリード部をはんだ付けする方
    法において、 (イ)リード部を取り付ける取り付け領域を有する電気
    素子を提供する工程と; (ロ)上記取り付け領域に係合するようになった取り付
    け表面を有するリード部を提供する工程と; (ハ)フラックスでコーティングされ、上記リード部よ
    り長い寸法のはんだリボンを提供する工程と; (ニ)上記リボンの一部を上記取り付け領域と上記取り
    付け表面との間から延出させた状態で、当該取り付け領
    域と当該取り付け表面との間に当該リボンを挟む工程
    と; (ホ)上記取り付け表面の近傍において、上記はんだリ
    ボンを溶融させ上記延出したリボン部分を上記挟まれた
    リボンの方へ引き寄せるのに十分な温度で十分な時間だ
    け、炎を上記リード部に差し向け、当該リード部を上記
    電気素子に強固に接着する工程と;から成ることを特徴
    とする方法。
  2. 【請求項2】 電気素子にリード部をはんだ付けする方
    法において、 (イ)リード部を取り付けるための2つの離間した取り
    付け領域をそれぞれ有し、互いに所定の距離だけ隔てて
    近接した複数個の同形の電気素子を提供する工程と; (ロ)上記複数個の近接した電気素子の取り付け領域の
    位置と同じ離間関係で互いに所定の距離だけ隔てて位置
    した多数のリード部を提供する工程と; (ハ)細長いはんだリボンを提供する工程と; (ニ)上記取り付け領域と上記リード部の部分との間に
    上記リボンを挟む工程と; (ホ)上記はんだリボンを溶融させ上記リボンの部分を
    対応する上記リード部の部分の方へ引き寄せるのに十分
    な温度で十分な時間期間だけ、当該リード部の部分を加
    熱し、該リード部の部分と上記取り付け領域とをはんだ
    で接着する加熱及び接着工程と;から成ることを特徴と
    する方法。
  3. 【請求項3】 上記はんだリボンとしてフラックスでコ
    ーティングされたはんだリボンを使用することを特徴と
    する請求項2の方法。
  4. 【請求項4】 上記加熱及び接着工程を行う前に、上記
    電気素子間及び当該各電気素子上の上記リード部間で上
    記はんだリボンを切断する工程を更に有することを特徴
    とする請求項2の方法。
  5. 【請求項5】 電気素子にリード部をはんだ付けする方
    法において、 (イ)リード部を取り付けるための2つの離間した取り
    付け領域をそれぞれ有し、互いに所定の距離だけ隔てて
    近接した複数個の電気素子を提供する工程と; (ロ)上記複数個の近接した電気素子の取り付け領域の
    位置と同じ離間関係で互いに所定の距離だけ隔てて位置
    した複数個のリード部を提供する工程と; (ハ)細長いはんだ手段を提供する工程と; (ニ)上記取り付け領域と上記リード部の端部分との間
    に上記はんだ手段を挟む工程と; (ホ)炎発生トーチ器がそれぞれの上記電気素子上で又
    はこれらの電気素子に隣接して作動できるような相対関
    係で複数個の炎発生トーチ器を提供する工程と; (ヘ)上記複数個のトーチ器を作動させて、上記はんだ
    手段を上記リード部の端部分の側部の下方から突出する
    比較的短い区分に炎切断し;次いで、当該はんだ手段が
    溶融し、上記突出した短い区分が当該リード部の端部分
    の方へ引き寄せられ、はんだが固化して該リード部の端
    部分を上記電子素子に接着させるような温度に該リード
    部の端部分を所定時間だけ炎加熱する作動工程と;から
    成ることを特徴とする方法。
  6. 【請求項6】 上記作動工程は、上記トーチ器からの炎
    が、最初の工程で、上記電気素子間の領域で上記はんだ
    手段を最初に溶融、切断し、次いで当該トーチ器からの
    炎がチップ上の上記リード部の端部分間で当該はんだ手
    段を溶融、切断し、次の工程で、該トーチ器からの炎が
    当該各電気素子上の一方の当該リード部の端部分を最初
    に加熱し、次いで該トーチ器からの炎が該各電気素子上
    の他方の当該リード部の端部分を加熱するように実行さ
    れることを特徴とする請求項5の方法。
  7. 【請求項7】 上記電気素子がフィルム型式の抵抗性チ
    ップから成り、上記リード部の末端部分が上記チップ上
    の金属化パッド上に載置した上記はんだ手段の部分に対
    して軽い下向きの圧力で押圧保持されることを特徴とす
    る請求項5の方法。
  8. 【請求項8】 電気素子にリード部をはんだ付けする方
    法において、 (イ)リード部を取り付ける取り付け領域を有する電気
    素子を提供する工程と; (ロ)上記取り付け領域に係合するようになった取り付
    け表面を有するリード部を提供する工程と; (ハ)フラックスでコーティングされ、上記リード部よ
    り長い寸法のはんだリボンを提供する工程と; (ニ)上記リボンの一部を上記取り付け領域と上記取り
    付け表面との間から延出させた状態で、当該取り付け領
    域と当該取り付け表面との間に当該リボンを挟む工程
    と; (ホ)上記リボンに炎を差し向けて、上記リード部の近
    傍で当該リボンを切断する工程と; (ヘ)上記取り付け表面の近傍において、上記はんだリ
    ボンを溶融させて上記リード部を上記電気素子に強力に
    接着させるのに十分な温度で十分な時間だけ、炎を上記
    リード部に差し向ける工程と;から成ることを特徴とす
    る方法。
  9. 【請求項9】 電気素子にリード部をはんだ付けする方
    法において、 (イ)リード部を取り付ける少なくとも2つの離間した
    取り付け領域を有する電気素子を提供する工程と; (ロ)上記電気素子の取り付け領域の位置と同じ離間関
    係で互いに所定の距離だけ隔てて位置した少なくとも2
    つのリード部を提供する工程と; (ハ)細長いはんだリボンを提供する工程と; (ニ)上記取り付け領域と上記リード部の部分との間に
    上記リボンを挟む工程と; (ホ)上記はんだリボンを溶融させ上記リボンの部分を
    対応する上記リード部の部分の方へ引き寄せるのに十分
    な温度で十分な時間だけ、当該リード部の部分を加熱
    し、該リード部の部分と上記取り付け領域とをはんだで
    接着する工程と;から成ることを特徴とする方法。
  10. 【請求項10】 電気素子にリード部をはんだ付けする
    方法において、 (イ)リード部を取り付ける少なくとも2つの離間した
    取り付け領域を有する電気素子を提供する工程と; (ロ)上記電気素子の取り付け領域の位置と同じ離間関
    係で互いに所定の距離だけ隔てて位置した複数個のリー
    ド部を提供する工程と; (ハ)細長いはんだリボン手段を提供する工程と; (ニ)上記取り付け領域と上記リード部の端部分との間
    に上記はんだリボン手段を挟む工程と; (ホ)炎発生トーチ器手段を提供する工程と; (ヘ)上記複数個のトーチ器手段を作動させて、上記は
    んだリボン手段を上記リード部の端部分の下方から突出
    する比較的短い区分に炎切断し;次いで、当該はんだリ
    ボン手段の短い区分が溶融し、当該リード部の端部分を
    上記電子素子に接着させるような温度に該リード部の端
    部分を所定時間だけ炎加熱する工程と;から成ることを
    特徴とする方法。
JP7005195A 1994-01-14 1995-01-17 電気素子にリード部をはんだ付けする方法 Expired - Fee Related JP2547530B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/182,215 US5358169A (en) 1994-01-14 1994-01-14 Method of soldering leads to electrical components
US182215 1994-01-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07254779A JPH07254779A (ja) 1995-10-03
JP2547530B2 true JP2547530B2 (ja) 1996-10-23

Family

ID=22667514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7005195A Expired - Fee Related JP2547530B2 (ja) 1994-01-14 1995-01-17 電気素子にリード部をはんだ付けする方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5358169A (ja)
EP (1) EP0663691A3 (ja)
JP (1) JP2547530B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4346054B2 (ja) * 2000-01-18 2009-10-14 栄修 永田 ハンダ付け方法およびハンダ付け装置
US6857469B2 (en) * 2000-12-18 2005-02-22 Thermasys Corporation Fin-tube block type heat exchanger with grooved spacer bars
WO2012088057A1 (en) * 2010-12-21 2012-06-28 Carrier Corporation Automated brazing system with first and second set of burners
US20190160573A1 (en) * 2017-11-29 2019-05-30 Lincoln Global, Inc. Apparatus and method for brazing
DE102020007704A1 (de) * 2020-12-16 2022-06-23 Amsel-Advanced Materials and Surfaces for Environment and Life GmbH Verfahren und Vorrichtung zum Reduzieren von Oberflächen sowie Verwendung des Verfahrens

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3735911A (en) * 1971-04-30 1973-05-29 Ibm Integrated circuit chip repair tool
US3722072A (en) * 1971-11-15 1973-03-27 Signetics Corp Alignment and bonding method for semiconductor components
US3750252A (en) * 1972-05-01 1973-08-07 Du Pont Solder terminal strip
US4298154A (en) * 1980-01-14 1981-11-03 B. B. Greenberg Company Automatic soldering machine
US4354629A (en) * 1980-06-09 1982-10-19 Raychem Corporation Solder delivery system
JPS59141256A (ja) * 1983-02-02 1984-08-13 Hitachi Ltd リ−ドフレ−ムのろう付け方法
DE3527148C1 (de) * 1985-07-29 1986-05-22 Friedrich 7531 Keltern Zettl Einrichtung zum maschinellen Verbinden von Stiften mit einer Verbindungsplatte
JPH03120789A (ja) * 1989-10-03 1991-05-22 Mitsubishi Electric Corp プリント配線板への電子部品取付法
US5040717A (en) * 1990-03-27 1991-08-20 Metcal, Inc. Solder delivery system
US5254969A (en) * 1991-04-02 1993-10-19 Caddock Electronics, Inc. Resistor combination and method
US5252944A (en) * 1991-09-12 1993-10-12 Caddock Electronics, Inc. Film-type electrical resistor combination
JPH05283587A (ja) * 1992-03-30 1993-10-29 Sony Corp 多リード素子の半田付方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0663691A2 (en) 1995-07-19
EP0663691A3 (en) 1996-05-29
US5358169A (en) 1994-10-25
JPH07254779A (ja) 1995-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200935532A (en) Dispensing solder for mounting semiconductor chips
JP2547530B2 (ja) 電気素子にリード部をはんだ付けする方法
US20040035907A1 (en) Apparatus and method for dispensing solder
JPS5846388B2 (ja) 半田供給方法
KR940002675B1 (ko) 공작물 상호간의 접합을 위한 공작물 가열장치
JPH03124095A (ja) プリント板上ヘのデバイスのろう付け方法
KR102136896B1 (ko) 무-플럭스 솔더를 기판상에 분배하기 위한 방법 및 장치
JPH05109808A (ja) ワイヤボンデイング方法およびその装置
JPH02213075A (ja) リードの接合方法
JP3565032B2 (ja) 半田バンプの形成方法
JPS59136990A (ja) リフロ−半田付け方法
JPH09148377A (ja) 電子部品の製造方法及び半田ブロック
JP2703272B2 (ja) ワイヤボンディング装置
JPH03215998A (ja) リード線付電子部品のプリント基板への実装方法
JP2504466B2 (ja) 熱圧着ヘッド
JPH06333990A (ja) 半導体パッケ−ジの製造装置および方法
JPS5842784B2 (ja) はんだ切断装置
JP3891310B2 (ja) 電子部品及びその実装方法
JPH04262385A (ja) 接続端子の半田付け方法
JPH0983122A (ja) はんだ供給方法
JPH04354399A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH04361536A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH1070352A (ja) 異方導電膜テープ貼付け用熱圧着装置
JPH09216088A (ja) 半田付けシートおよびこれを用いた半田付け方法
JPS6094754A (ja) リ−ドフレ−ムの溶接方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees