JP2539897B2 - 漏れ電流試験装置 - Google Patents
漏れ電流試験装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は被試験装置の入力ピンの漏れ電流を測定す
る技術に関する。
る技術に関する。
発明の背景 電子装置を試験するとき、装置の入力ピンの漏れ電流
を測定して所定の範囲内にあるかどうかを調べることが
よく行われる。
を測定して所定の範囲内にあるかどうかを調べることが
よく行われる。
漏れ電流の試験を行う従来例では1つの高精度電流測
定回路を使ってすべてのピンを調べる。測定回路を1つ
のピンに接続して測定を行い、その後、そのピンから測
定回路をはずして次に試験するピンに接続する。この手
順を基板上の全部のピンについて繰り返し行う。
定回路を使ってすべてのピンを調べる。測定回路を1つ
のピンに接続して測定を行い、その後、そのピンから測
定回路をはずして次に試験するピンに接続する。この手
順を基板上の全部のピンについて繰り返し行う。
もう1つの従来の漏れ電流測定技術では入力ピンごと
に1つの高精度電流測定回路を使用している。
に1つの高精度電流測定回路を使用している。
発明の概要 この発明の1つの特徴によれば、複数の電流測定回路
を被試験用の装置の入力ピンの電流測定に使用し、これ
らの電流測定回路のアナログ出力信号を、マルチプレク
サを介して1個のアナログ/デジタル(A/D)変換器に
順次入力することにより、入力ピンの漏れ電流を迅速か
つ正確に測定できるようにしている。好ましい構成例で
は入力ピンごとに独立の電流測定回路が設けられるとと
もに、出力されるデジタル信号を記憶する測定結果メモ
リが使用される。このメモリと上記マルチプレクサはカ
ウンタにより同期がとられる。各電流測定回路はオペア
ンプ(演算増幅器)とオペアンプの入出力間を接続する
コンデンサとから構成され、周囲の電力線の周波数の整
数倍に等しい時間間隔で漏れ電流を積分する。
を被試験用の装置の入力ピンの電流測定に使用し、これ
らの電流測定回路のアナログ出力信号を、マルチプレク
サを介して1個のアナログ/デジタル(A/D)変換器に
順次入力することにより、入力ピンの漏れ電流を迅速か
つ正確に測定できるようにしている。好ましい構成例で
は入力ピンごとに独立の電流測定回路が設けられるとと
もに、出力されるデジタル信号を記憶する測定結果メモ
リが使用される。このメモリと上記マルチプレクサはカ
ウンタにより同期がとられる。各電流測定回路はオペア
ンプ(演算増幅器)とオペアンプの入出力間を接続する
コンデンサとから構成され、周囲の電力線の周波数の整
数倍に等しい時間間隔で漏れ電流を積分する。
この発明のもう1つの特徴によれば、複数の電流測定
回路とこの複数の電流測定回路の出力を選択するマルチ
プレクサと、各入力ピンの漏れ電流の限界値を記憶する
限界値メモリと、ピンの漏れ電流を表わすマルチプレク
サの各出力を各限界値と比較する比較回路とが使用され
る。好ましい構成例には合格/不合格の情報を記憶する
合否メモリと入力ピンにつながっていない電流測定回路
による誤動作の表示を防止するマスクメモリも設けられ
ている。
回路とこの複数の電流測定回路の出力を選択するマルチ
プレクサと、各入力ピンの漏れ電流の限界値を記憶する
限界値メモリと、ピンの漏れ電流を表わすマルチプレク
サの各出力を各限界値と比較する比較回路とが使用され
る。好ましい構成例には合格/不合格の情報を記憶する
合否メモリと入力ピンにつながっていない電流測定回路
による誤動作の表示を防止するマスクメモリも設けられ
ている。
更に、この発明の特徴によれば複数の電流測定回路と
ピンに対する所望の入力を選択的に供給する複数のデジ
タル/アナログ変換器が使用される。
ピンに対する所望の入力を選択的に供給する複数のデジ
タル/アナログ変換器が使用される。
更に、この発明の特徴によれば、複数の電流測定回路
と、この複数の測定回路の出力を選択的に取り出すマル
チプレクサと、各電流測定回路に関する修正値を記憶す
る修正メモリと、各修正値に基づいてマルチプレクサの
出力を修正する手段とが使用される。好ましい構成例で
は修正値としてオフセット修正値とゲイン修正値の両方
があり、これらの情報はそれぞれ、オフセットメモリと
ゲインメモリに記憶されている。
と、この複数の測定回路の出力を選択的に取り出すマル
チプレクサと、各電流測定回路に関する修正値を記憶す
る修正メモリと、各修正値に基づいてマルチプレクサの
出力を修正する手段とが使用される。好ましい構成例で
は修正値としてオフセット修正値とゲイン修正値の両方
があり、これらの情報はそれぞれ、オフセットメモリと
ゲインメモリに記憶されている。
実施例 以下、図面を参照してこの発明の好ましい実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
構成 第1図に被試験装置(DUT)20の入力漏れ電流を検査
する漏れ電流試験装置10を示す。複数の電流測定回路24
がコネクタの端子22を介してDUT20の入力ピンに接続さ
れる。電流測定回路(CMC)24のアナログ出力は256:1の
アナログマルチプレクサ26に入力され、その出力は加算
器28にてゲインとオフセットの修正値を加え、サンプル
・ホールド回路47でサンプリングした後にアナログ/デ
ジタル(A/D)変換器48に入力される。
する漏れ電流試験装置10を示す。複数の電流測定回路24
がコネクタの端子22を介してDUT20の入力ピンに接続さ
れる。電流測定回路(CMC)24のアナログ出力は256:1の
アナログマルチプレクサ26に入力され、その出力は加算
器28にてゲインとオフセットの修正値を加え、サンプル
・ホールド回路47でサンプリングした後にアナログ/デ
ジタル(A/D)変換器48に入力される。
マルチプレクサ26のアナログ出力はアナログ加算器28
とゲイン修正回路(GCC)30の両方に入力される。この
ゲイン修正回路30にはゲインメモリ32のデジタル修正出
力も入力される。更に、加算器28にはゲイン修正回路30
のアナログ出力と、オフセットメモリ34のデジタルオフ
セット修正出力が入力されるデジタル/アナログ(D/
A)変換器31からのアナログ出力が入力される。
とゲイン修正回路(GCC)30の両方に入力される。この
ゲイン修正回路30にはゲインメモリ32のデジタル修正出
力も入力される。更に、加算器28にはゲイン修正回路30
のアナログ出力と、オフセットメモリ34のデジタルオフ
セット修正出力が入力されるデジタル/アナログ(D/
A)変換器31からのアナログ出力が入力される。
ゲインメモリ32、オフセットメモリ34、上限/下限の
限界メモリ36、マスクメモリ38、合/否メモリ40、測定
結果メモリ42はいずれもランダムアクセスメモリであ
り、アドレスバス45を介して与えられる状態カウンタ46
のデジタル出力でアドレス指定される。状態カウンタ46
はプログラム可能な周波数発生器50によって与えられる
クロックで動作する。アナログ/デジタル(A/D)変換
器48へのデータを入力するサンプルホールド回路は状態
カウンタ46の別の出力によってクロック動作する。漏れ
電流の測定値を表わすA/D変換器48の出力は所定の限界
値との比較のために比較論理回路52に入力されるととも
に、記憶及び後での検査のために測定結果メモリ42に入
力される。ゲインメモリ32、オフセットメモリ34、上限
/下限メモリ36、マスクメモリ38、合否メモリ40、測定
結果メモリ42、プログラマブル周波数発生器50、装置無
効フリップフロップ51はいずれもデータバス54に接続さ
れている。
限界メモリ36、マスクメモリ38、合/否メモリ40、測定
結果メモリ42はいずれもランダムアクセスメモリであ
り、アドレスバス45を介して与えられる状態カウンタ46
のデジタル出力でアドレス指定される。状態カウンタ46
はプログラム可能な周波数発生器50によって与えられる
クロックで動作する。アナログ/デジタル(A/D)変換
器48へのデータを入力するサンプルホールド回路は状態
カウンタ46の別の出力によってクロック動作する。漏れ
電流の測定値を表わすA/D変換器48の出力は所定の限界
値との比較のために比較論理回路52に入力されるととも
に、記憶及び後での検査のために測定結果メモリ42に入
力される。ゲインメモリ32、オフセットメモリ34、上限
/下限メモリ36、マスクメモリ38、合否メモリ40、測定
結果メモリ42、プログラマブル周波数発生器50、装置無
効フリップフロップ51はいずれもデータバス54に接続さ
れている。
第2図に示すように、電流測定回路24はオペアンプ27
を有し、このオペアンプ27の入出力間にコンデンサ25と
スイッチ72が並列に接続され、このスイッチ72と直列に
抵抗73が接続される。DUT20の入力ピンに接続されるコ
ネクタ端子22はライン60を通って第2図で3位置スイッ
チとして示すスイッチ回路62のノード61に接続される。
スイッチ62のノード63はオペアンプ27の反転入力に接続
され、同スイッチ62のノード64は開いており、同スイッ
チ62のノード66は制御電圧が加えられる高精度抵抗68に
接続される。D/A変換器29は入力ピンに所望の電圧(例
えば、高または低)を供給するのに使用されるもので、
オペアンプ27の非反転入力に接続される。更に、オペア
ンプ27の出力とD/A変換器29の出力は差動アンプ74の非
反転入力と反転入力にそれぞれ接続される。
を有し、このオペアンプ27の入出力間にコンデンサ25と
スイッチ72が並列に接続され、このスイッチ72と直列に
抵抗73が接続される。DUT20の入力ピンに接続されるコ
ネクタ端子22はライン60を通って第2図で3位置スイッ
チとして示すスイッチ回路62のノード61に接続される。
スイッチ62のノード63はオペアンプ27の反転入力に接続
され、同スイッチ62のノード64は開いており、同スイッ
チ62のノード66は制御電圧が加えられる高精度抵抗68に
接続される。D/A変換器29は入力ピンに所望の電圧(例
えば、高または低)を供給するのに使用されるもので、
オペアンプ27の非反転入力に接続される。更に、オペア
ンプ27の出力とD/A変換器29の出力は差動アンプ74の非
反転入力と反転入力にそれぞれ接続される。
動作 システムの較正作業時に、各電流測定回路24のゲイン
とオフセットの修正電圧を調べて電流測定回路24を較正
する。ゲイン修正電圧とオフセット修正電圧は次のよう
にして決められる。
とオフセットの修正電圧を調べて電流測定回路24を較正
する。ゲイン修正電圧とオフセット修正電圧は次のよう
にして決められる。
各々の電流測定回路24について、スイッチ62をノード
64に接続してライン60から電流が測定回路に入力されな
いようにする。D/A変換器29を所望の入力電圧に設定す
る。その後、差動アンプ74の出力(充電用コンデンサ25
の積分に比例する電圧)を特定のタイミングで測定す
る。すなわち、サンプル・ホールド回路47で出力をサン
プリングし、A/D本換器48でデジタル値に変換する。こ
のデジタル値は電流測定回路24を入力ピンからはずした
状態(もれ電流なしの状態)で発生する測定回路の電圧
(オフセット電圧)を表わす。このオフセット値が各々
の電流測定回路に対応するオフセットメモリ34のアドレ
スに記憶される。
64に接続してライン60から電流が測定回路に入力されな
いようにする。D/A変換器29を所望の入力電圧に設定す
る。その後、差動アンプ74の出力(充電用コンデンサ25
の積分に比例する電圧)を特定のタイミングで測定す
る。すなわち、サンプル・ホールド回路47で出力をサン
プリングし、A/D本換器48でデジタル値に変換する。こ
のデジタル値は電流測定回路24を入力ピンからはずした
状態(もれ電流なしの状態)で発生する測定回路の電圧
(オフセット電圧)を表わす。このオフセット値が各々
の電流測定回路に対応するオフセットメモリ34のアドレ
スに記憶される。
オフセット電圧の測定が完了したら、スイッチ62をノ
ード66側に切り換えて、高精度抵抗68をオペアンプ27に
接続する。高精度抵抗68には定電圧が加わるので、コン
デンサ25とオペアンプ27の反転入力に既知の入力電流が
与えられることになる。D/A変換器29の出力は差動アン
プ74でオペアンプ27の出力から差し引かれ、この差動ア
ンプ74の出力(電流に比例する速度で上昇する電圧)と
D/A変換器31の出力するオペアンプ修正電圧とが加算器2
8で加算され、その結果得られる電圧が特定のタイミン
グでサンプリングされる。この測定値と既知の入力電流
とを比較することによりオペアンプのゲインが求められ
る。このゲイン修正値は電流測定回路24別にゲインメモ
リ32に記憶される。
ード66側に切り換えて、高精度抵抗68をオペアンプ27に
接続する。高精度抵抗68には定電圧が加わるので、コン
デンサ25とオペアンプ27の反転入力に既知の入力電流が
与えられることになる。D/A変換器29の出力は差動アン
プ74でオペアンプ27の出力から差し引かれ、この差動ア
ンプ74の出力(電流に比例する速度で上昇する電圧)と
D/A変換器31の出力するオペアンプ修正電圧とが加算器2
8で加算され、その結果得られる電圧が特定のタイミン
グでサンプリングされる。この測定値と既知の入力電流
とを比較することによりオペアンプのゲインが求められ
る。このゲイン修正値は電流測定回路24別にゲインメモ
リ32に記憶される。
実際の漏れ電流試験を行う前に上限/下限メモリ36と
マスクメモリ38にデータバス54を介してデータをロード
する。上限/下限メモリ36にはDUT20の各入力ピンの上
限と下限の値(例えばメーカー規定値)を設定する。マ
スクメモリ38にはDUT20のピンパターンを設定して使用
していない電流測定回路24による誤表示が行われないよ
うにする。
マスクメモリ38にデータバス54を介してデータをロード
する。上限/下限メモリ36にはDUT20の各入力ピンの上
限と下限の値(例えばメーカー規定値)を設定する。マ
スクメモリ38にはDUT20のピンパターンを設定して使用
していない電流測定回路24による誤表示が行われないよ
うにする。
メモリ36と38の設定とD/Aコンバータ29の設定完了
後、カウンタ46は1から256までをカウントアップしそ
の出力はアドレスバス43に与えられる。この結果、1:25
6デマルチプレクサ44を介して、電流測定回路24が順次
動作してスイッチ72が開く。これにより、コンデンサ25
が充電され、差動アンプ74からピンの漏れ電流(I)に
比例する速度で増大する電圧(V)が発生する。すなわ
ち、V=I/C×時間となる。
後、カウンタ46は1から256までをカウントアップしそ
の出力はアドレスバス43に与えられる。この結果、1:25
6デマルチプレクサ44を介して、電流測定回路24が順次
動作してスイッチ72が開く。これにより、コンデンサ25
が充電され、差動アンプ74からピンの漏れ電流(I)に
比例する速度で増大する電圧(V)が発生する。すなわ
ち、V=I/C×時間となる。
この電流測定回路24の電圧上昇期間(電流積分期間)
は60Hzの電力線、周波数の場合には1/60秒あるいは1/6
秒、50Hzの電力線周波数の場合には1/50秒あるいは1/5
秒というように背景の電力周波数の整数倍に設定され
る。ただし、時間の長さは漏れ電流の大きさと所要の精
度に依存する。このように、電圧上昇期間を電力線周波
数の整数倍に選定することにより、電力源から生じる電
磁ノイズの積分値がゼロになる。上昇期間の長さによっ
て分解能と測定範囲が変わる。例えば、1/6秒の上昇期
間では、測定範囲は±200ナノアンペアで分解能(12ビ
ットで与えられる)は100ピコアンペアである。1/60秒
の上昇期間では測定範囲は±2マイクロアンペアであ
り、分解能は1ナノアンペアとなる。上昇期間が短くな
るにつれ分解能が低下するが、この点は、測定する電流
も多分大きくなり、大きな電流は周囲の電磁ノイズによ
る電流の影響を受けにくくなるのである程度は補償され
る。2マイクロアンペアより大きな電流を測定するの
に、上昇期間を1/60秒あるいは1/50秒より短くする必要
のある場合(例えば、1/600秒、1/500秒)、ノイズ電流
は小さな値で開始する。より高い電流を測定する場合に
はスイッチ72は閉じたままとなり、積分なしで差動アン
プ74の電圧出力(漏れ電流×抵抗73の抵抗値に比例する
電圧出力)を単に(修正後に)サンプリングする。
は60Hzの電力線、周波数の場合には1/60秒あるいは1/6
秒、50Hzの電力線周波数の場合には1/50秒あるいは1/5
秒というように背景の電力周波数の整数倍に設定され
る。ただし、時間の長さは漏れ電流の大きさと所要の精
度に依存する。このように、電圧上昇期間を電力線周波
数の整数倍に選定することにより、電力源から生じる電
磁ノイズの積分値がゼロになる。上昇期間の長さによっ
て分解能と測定範囲が変わる。例えば、1/6秒の上昇期
間では、測定範囲は±200ナノアンペアで分解能(12ビ
ットで与えられる)は100ピコアンペアである。1/60秒
の上昇期間では測定範囲は±2マイクロアンペアであ
り、分解能は1ナノアンペアとなる。上昇期間が短くな
るにつれ分解能が低下するが、この点は、測定する電流
も多分大きくなり、大きな電流は周囲の電磁ノイズによ
る電流の影響を受けにくくなるのである程度は補償され
る。2マイクロアンペアより大きな電流を測定するの
に、上昇期間を1/60秒あるいは1/50秒より短くする必要
のある場合(例えば、1/600秒、1/500秒)、ノイズ電流
は小さな値で開始する。より高い電流を測定する場合に
はスイッチ72は閉じたままとなり、積分なしで差動アン
プ74の電圧出力(漏れ電流×抵抗73の抵抗値に比例する
電圧出力)を単に(修正後に)サンプリングする。
測定回路24の積分動作を始動するために、状態カウン
タ46よりアドレスバス43を介してデマルチプレクサ44に
デジタル出力が与えられ、このデジタル出力は積分期間
の間に1から256までを一巡する。256番目の測定回路24
の始動後、カウンタ46は再び1から256までをカウント
するが、今度はその出力はバス47,45を介して与えられ
るため、各電流測定回路24の出力がマルチプレクサ26に
通されるとともに、メモリ32〜42の各記憶場所がアドレ
ス指定される。状態カウンタ46はプログラム可能な周波
数発生器50でクロック動作するので、その計数速度した
がって積分期間は周波数発生器50の出力周波数を変える
だけで容易に変更できる。このようにして、各電流測定
回路24の出力が順次A/D変換器48に入力され、順次測定
が行われる。256:1マルチプレクサ26とメモリ32〜42は
状態カウンタ46により同時にアドレツシングされるた
め、すべての信号修正とデータ転送は同期している。各
電流測定回路24のアドレスがアドレスバス47,45に現わ
れると、その測定回路24のアナログ出力が256:1マルチ
プレクサ26を通過する。また、ゲインメモリ32とオフセ
ットメモリ34からは修正値が読み出され、上限/下限メ
モリ36とマスクメモリ38からは適正な限界値とマスク情
報が読み出され、合否メモリ40と測定結果メモリ42には
合格/不合格情報と測定電流値が書き込まれる。256:1
マルチプレクサ26のアナログ出力はゲイン修正回路30に
入力され、ここでゲインメモリ32からの情報が利用され
てゲイン修正電圧、すなわち、電流測定回路の測定出力
に加えることによってオペアンプ27のゲインを修正する
ことになる電圧が形成される。このゲイン修正電圧は加
算器28においてオフセット修正電圧(オフセットメモリ
34に記憶される値に基づくものでD/A変換器31から与え
る)とともにマルチプレクサ26のアナログ出力に加算さ
れる。したがって、加算器28の出力は端子22に接続され
る入力ピンの漏れ電流に対応する修正電圧となってい
る。加算器28の修正電圧出力は上昇し、上昇期間(積分
期間)の完了時点にサンプル・ホールド回路47でサンプ
リングされる。サンプル・ホールド回路47はサンプリン
グした電圧をA/D変換器48のデジタルへの変換に十分な
間保持する。サンプル・ホールド回路47とA/D変換器48
は状態カウンタ46からのタイミング信号により適正なタ
イミングで作動される。A/D変換器48のデジタル漏れ電
流信号は(実際の漏れ電流値を得るため)測定結果メモ
リ42に記憶されるとともに、比較論理回路52にてその入
力ピンに対する上限、下限値と比較される。この比較結
果は合否メモリ40に記憶されるとともに、誤動作の場合
には装置無効フリップフロップ51をセットする。したが
って、フリップフロップ51の出力を調べるだけでDUT20
が仕様、通常の条件を満たしているかどうかがわかる。
タ46よりアドレスバス43を介してデマルチプレクサ44に
デジタル出力が与えられ、このデジタル出力は積分期間
の間に1から256までを一巡する。256番目の測定回路24
の始動後、カウンタ46は再び1から256までをカウント
するが、今度はその出力はバス47,45を介して与えられ
るため、各電流測定回路24の出力がマルチプレクサ26に
通されるとともに、メモリ32〜42の各記憶場所がアドレ
ス指定される。状態カウンタ46はプログラム可能な周波
数発生器50でクロック動作するので、その計数速度した
がって積分期間は周波数発生器50の出力周波数を変える
だけで容易に変更できる。このようにして、各電流測定
回路24の出力が順次A/D変換器48に入力され、順次測定
が行われる。256:1マルチプレクサ26とメモリ32〜42は
状態カウンタ46により同時にアドレツシングされるた
め、すべての信号修正とデータ転送は同期している。各
電流測定回路24のアドレスがアドレスバス47,45に現わ
れると、その測定回路24のアナログ出力が256:1マルチ
プレクサ26を通過する。また、ゲインメモリ32とオフセ
ットメモリ34からは修正値が読み出され、上限/下限メ
モリ36とマスクメモリ38からは適正な限界値とマスク情
報が読み出され、合否メモリ40と測定結果メモリ42には
合格/不合格情報と測定電流値が書き込まれる。256:1
マルチプレクサ26のアナログ出力はゲイン修正回路30に
入力され、ここでゲインメモリ32からの情報が利用され
てゲイン修正電圧、すなわち、電流測定回路の測定出力
に加えることによってオペアンプ27のゲインを修正する
ことになる電圧が形成される。このゲイン修正電圧は加
算器28においてオフセット修正電圧(オフセットメモリ
34に記憶される値に基づくものでD/A変換器31から与え
る)とともにマルチプレクサ26のアナログ出力に加算さ
れる。したがって、加算器28の出力は端子22に接続され
る入力ピンの漏れ電流に対応する修正電圧となってい
る。加算器28の修正電圧出力は上昇し、上昇期間(積分
期間)の完了時点にサンプル・ホールド回路47でサンプ
リングされる。サンプル・ホールド回路47はサンプリン
グした電圧をA/D変換器48のデジタルへの変換に十分な
間保持する。サンプル・ホールド回路47とA/D変換器48
は状態カウンタ46からのタイミング信号により適正なタ
イミングで作動される。A/D変換器48のデジタル漏れ電
流信号は(実際の漏れ電流値を得るため)測定結果メモ
リ42に記憶されるとともに、比較論理回路52にてその入
力ピンに対する上限、下限値と比較される。この比較結
果は合否メモリ40に記憶されるとともに、誤動作の場合
には装置無効フリップフロップ51をセットする。したが
って、フリップフロップ51の出力を調べるだけでDUT20
が仕様、通常の条件を満たしているかどうかがわかる。
異なる入力電圧レベルで漏れ電流の試験を行いたい場
合には、これに合わせてD/A変換器29を設定し直し、上
記の手順を繰り返えせばよい。
合には、これに合わせてD/A変換器29を設定し直し、上
記の手順を繰り返えせばよい。
すべての入力ピンが各電流測定回路に同時に接続され
ており、すべての電流測定回路の電圧が同時に上昇する
ので、各デバイスを別々に接続するような場合(したが
って落ち着くのを待つ)や、電流を1つずつ測定する場
合に比べはるかに速く試験が行える。種々の電流測定回
路を次々と接続するマルチプレクサを仕様しているので
全入力ピンに対し1個のA/D変換器、単一のサンプル・
ホールド回路、単一の修正回路、単一の比較回路が使用
できる。漏れ電流の測定値は記憶されるのでうまくいか
なかったピンについて例えば別の限界値を用いるなどし
て漏れ電流の大きさを測定し直す必要はなくなる。個々
にD/A変換器29を使用しているので各電流測定回路24は
それぞれの端子22に異なるレベルの入力電圧を与えるこ
とができる(例えば、高,低の入力をピン順に交互に与
えることができる。) 以上で実施例の説明を終えるが、他の態様も可能であ
る。例えば、各電流測定回路24を選択的に接続される少
数の入力ピンの間で共用するようにしてもよい。
ており、すべての電流測定回路の電圧が同時に上昇する
ので、各デバイスを別々に接続するような場合(したが
って落ち着くのを待つ)や、電流を1つずつ測定する場
合に比べはるかに速く試験が行える。種々の電流測定回
路を次々と接続するマルチプレクサを仕様しているので
全入力ピンに対し1個のA/D変換器、単一のサンプル・
ホールド回路、単一の修正回路、単一の比較回路が使用
できる。漏れ電流の測定値は記憶されるのでうまくいか
なかったピンについて例えば別の限界値を用いるなどし
て漏れ電流の大きさを測定し直す必要はなくなる。個々
にD/A変換器29を使用しているので各電流測定回路24は
それぞれの端子22に異なるレベルの入力電圧を与えるこ
とができる(例えば、高,低の入力をピン順に交互に与
えることができる。) 以上で実施例の説明を終えるが、他の態様も可能であ
る。例えば、各電流測定回路24を選択的に接続される少
数の入力ピンの間で共用するようにしてもよい。
第1図は本発明による漏れ電流試験装置のブロック図、 第2図は第1図の装置における電流測定回路の簡略化し
た構成図である。 20:被試験装置、22:コネクタ端子 24:電流測定回路、26:マルチプレクサ 32:ゲインメモリ、34:オフセットメモリ 36:上限/下限メモリ、38:マスクメモリ 40:合否メモリ、42:測定結果メモリ 44:デマルチプレクサ、48:A/D変換器 46:状態カウンタ 50:プログラマル周波数発生器
た構成図である。 20:被試験装置、22:コネクタ端子 24:電流測定回路、26:マルチプレクサ 32:ゲインメモリ、34:オフセットメモリ 36:上限/下限メモリ、38:マスクメモリ 40:合否メモリ、42:測定結果メモリ 44:デマルチプレクサ、48:A/D変換器 46:状態カウンタ 50:プログラマル周波数発生器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−75073(JP,A) 特開 昭62−221018(JP,A) 特開 昭56−93193(JP,A) 特開 昭54−113268(JP,A) 特開 昭61−70473(JP,A) 実開 昭60−192542(JP,U) 実開 昭61−74881(JP,U) 実開 昭49−37748(JP,U)
Claims (6)
- 【請求項1】被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試
験する漏れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該漏れ電流を表すアナログ出力を与える複数の電流測定
回路であって、各々が増幅器を有する複数の電流測定回
路と、 前記アナログ出力を受けるように接続され、1つのアナ
ログ出力をマルチプレクサ出力として選択的に供給する
マルチプレクサと、 前記入力ピンの各々についての修正値を記憶し、選択的
にアドレス指定されて前記1つのアナログ出力を与えた
電流測定回路に対応する修正値を供給する修正メモリ
と、 前記マルチプレクサ出力を前記修正値に基づいて修正す
る手段と、 から構成される漏れ電流試験装置。 - 【請求項2】被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試
験する漏れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該漏れ電流を表すアナログ出力を与える複数の電流測定
回路と、 前記アナログ出力を受けるように接続され、1つのアナ
ログ出力をマルチプレクサ出力として選択的に供給する
マルチプレクサと、 前記入力ピンの各々についての修正値を記憶し、選択的
にアドレス指定されて前記1つのアナログ出力を与えた
電流測定回路に対応する修正値を供給する修正メモリ
と、 前記マルチプレクサ出力を前記修正値に基づいて修正す
る手段と、 前記修正されたマルチプレクサ出力を受けるように接続
され、漏れ電流を表すデジタル出力を与えるアナログ−
デジタル変換器と、 前記入力ピンの各々についての限界値を記憶し、選択的
にアドレス指定されて前記1つのアナログ出力に対応す
る入力ピンについての限界値を与える限界メモリと、 前記限界値と前記アナログ−デジタル変換器の出力とを
受け、両者を比較する比較回路と、 から構成される漏れ電流試験装置。 - 【請求項3】請求項1または2記載の漏れ電流試験装置
において、前記電流測定回路の各々は対応するアナログ
オフセットを有し、前記修正値にはこのアナログオフセ
ットを修正するオフセット信号を発生するためのオフセ
ット値が含まれる、漏れ電流試験装置。 - 【請求項4】請求項1または2記載の漏れ電流試験装置
において、前記電流測定回路の各々は対応するゲインを
有し、前記修正値にはこのゲインを修正するためのゲイ
ン信号を発生するゲイン値が含まれる、漏れ電流試験装
置。 - 【請求項5】請求項1または2記載の漏れ電流試験装置
において、前記複数の電流測定回路の各々についての前
記修正値を発生し、前記修正メモリに記憶する手段を更
に有する、漏れ電流試験装置。 - 【請求項6】請求項1または2記載の漏れ電流試験装置
において、 前記電流測定回路の各々がそれぞれの漏れ電流を積分
し、 更に、AC電力線周波数の整数倍に等しい時間間隔にわた
り前記積分が行われたとき、前記マルチプレクサ出力を
サンプリングして、電源からの電磁界によるノイズをキ
ャンセルする手段を有する漏れ電流試験装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/115,156 US4862070A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Apparatus for testing input pin leakage current of a device under test |
US115156 | 1987-10-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01187469A JPH01187469A (ja) | 1989-07-26 |
JP2539897B2 true JP2539897B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=22359621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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CA (1) | CA1300228C (ja) |
DE (1) | DE3836813A1 (ja) |
FR (1) | FR2622702B1 (ja) |
GB (1) | GB2211951B (ja) |
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---|---|---|---|---|
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US5917331A (en) * | 1995-10-23 | 1999-06-29 | Megatest Corporation | Integrated circuit test method and structure |
US5977774A (en) * | 1997-10-31 | 1999-11-02 | Hewlett-Packard Company | Method for detecting open circuits with a measurement device |
DE19836361C1 (de) | 1998-08-11 | 2000-03-30 | Siemens Ag | Verfahren zur Leckstromprüfung einer Kontaktierungsstelle einer integrierten Schaltung |
JP2000267552A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Sony Corp | 画像記録装置及び画像記録方法並びに記録媒体 |
US6232759B1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-05-15 | Credence Systems Corporation | Linear ramping digital-to-analog converter for integrated circuit tester |
AUPS322602A0 (en) * | 2002-06-28 | 2002-07-18 | Cochlear Limited | Coil and cable tester |
US7411409B2 (en) * | 2005-11-17 | 2008-08-12 | P.A. Semi, Inc. | Digital leakage detector that detects transistor leakage current in an integrated circuit |
US8054085B2 (en) | 2008-03-31 | 2011-11-08 | Electro Scientific Industries, Inc. | Programmable gain trans-impedance amplifier overload recovery circuit |
US8098696B2 (en) * | 2009-09-04 | 2012-01-17 | Rosemount Inc. | Detection and compensation of multiplexer leakage current |
KR102039112B1 (ko) * | 2017-06-20 | 2019-10-31 | 포스필 주식회사 | 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 프로세서 기반의 계측 방법 및 이를 이용한 계측 장치 |
JP7170399B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2022-11-14 | 新電元工業株式会社 | 電流検出装置、電流検出システム、及び電流検出装置の校正方法 |
CN111638519B (zh) * | 2019-03-01 | 2023-03-03 | 华为技术有限公司 | 一种利用无线电信号进行目标物探测的方法及相关装置 |
CN113804962B (zh) * | 2021-08-10 | 2024-04-02 | 上海贝岭股份有限公司 | 计量芯片以及测量系统 |
Family Cites Families (17)
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---|---|---|---|---|
US3916306A (en) * | 1973-09-06 | 1975-10-28 | Ibm | Method and apparatus for testing high circuit density devices |
US4004222A (en) * | 1974-11-20 | 1977-01-18 | Semi | Test system for semiconductor memory cell |
US4021112A (en) * | 1975-06-23 | 1977-05-03 | Xerox Corporation | Photoreceptor dark current leakage detecting apparatus for xerographic machines |
US4092589A (en) * | 1977-03-23 | 1978-05-30 | Fairchild Camera And Instrument Corp. | High-speed testing circuit |
US4506212A (en) * | 1979-08-02 | 1985-03-19 | The Post Office | Method and apparatus for testing integrated circuits using AC test input and comparison of resulting frequency spectrum outputs |
GB2058366B (en) * | 1979-08-02 | 1983-03-30 | Post Office | Testing of integrated circuits |
JPS5693193A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-28 | Fujitsu Ltd | Ic memory test device |
JPS5875073A (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-06 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 直流特性測定システム |
US4517512A (en) * | 1982-05-24 | 1985-05-14 | Micro Component Technology, Inc. | Integrated circuit test apparatus test head |
US4504783A (en) * | 1982-09-30 | 1985-03-12 | Storage Technology Partners | Test fixture for providing electrical access to each I/O pin of a VLSI chip having a large number of I/O pins |
US4724379A (en) * | 1984-03-14 | 1988-02-09 | Teradyne, Inc. | Relay multiplexing for circuit testers |
JPH0743413B2 (ja) * | 1984-05-09 | 1995-05-15 | 三菱電機株式会社 | 半導体試験装置 |
JPS60192542U (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-20 | 株式会社山武 | Ad変換器 |
JPS6170473A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-11 | Shigeru Ebihara | 波形解析装置 |
JPS62221018A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-29 | Toshiba Corp | アナログデ−タ処理装置 |
US4739252A (en) * | 1986-04-24 | 1988-04-19 | International Business Machines Corporation | Current attenuator useful in a very low leakage current measuring device |
US4710927A (en) * | 1986-07-24 | 1987-12-01 | Integrated Device Technology, Inc. | Diagnostic circuit |
-
1987
- 1987-10-30 US US07/115,156 patent/US4862070A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-10-28 GB GB8825319A patent/GB2211951B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-28 CA CA000581588A patent/CA1300228C/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-28 DE DE3836813A patent/DE3836813A1/de active Granted
- 1988-10-31 JP JP63275982A patent/JP2539897B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-02 FR FR888814278A patent/FR2622702B1/fr not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2622702B1 (fr) | 1992-08-07 |
DE3836813A1 (de) | 1989-05-18 |
FR2622702A1 (fr) | 1989-05-05 |
CA1300228C (en) | 1992-05-05 |
GB2211951B (en) | 1991-06-05 |
US4862070A (en) | 1989-08-29 |
DE3836813C2 (ja) | 1991-06-27 |
GB2211951A (en) | 1989-07-12 |
JPH01187469A (ja) | 1989-07-26 |
GB8825319D0 (en) | 1988-11-30 |
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