JP2522756B2

JP2522756B2 - 研磨テ―プの製造方法

Info

Publication number: JP2522756B2
Application number: JP5209885A
Authority: JP
Inventors: 泰樹鈴浦; 雄二新谷
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1993-08-02
Filing date: 1993-08-02
Publication date: 1996-08-07
Anticipated expiration: 2011-08-07
Also published as: JPH06155313A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドや磁気ディ
スクの仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨等に使用する
研磨テープの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】精密機械部品や精密電子部品に使用され
る磁気ヘッド等の表面は、ミクロン又はサブミクロンオ
ーダー以下の精密な表面に仕上げられることが近年しば
しば必要とされている。

【０００３】かかる精密仕上げ研磨には、フィルム状を
なす研磨テープ用基材の上に、高硬度の無機質微粉末を
樹脂溶液中に分散させたコーティング剤を塗布、乾燥し
て研磨層を形成した研磨テープ（例えば特公昭５３−４
４７１４号公報）が利用されている。

【０００４】また、前記研磨テープにおける研磨層に摩
耗粉を溜めるための斜線縞模様の凹状部を形成した研磨
テープ（実開昭５５−８９５６４号公報）が知られてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の摩耗粉を溜める
ための凹状部を研磨層に形成した研磨テープは、該研磨
層の形成を印刷手段で行なうものであるため、研磨層の
形成が厄介である。

【０００６】さらに、先の実開昭５５−８９５６４号公
報に例示されているような斜線縞模様の凹状部が形成さ
れている研磨層を有する研磨テープにおいては、研磨時
に発生する摩耗粉の大きさと量とに応じてコントロール
される摩耗粉を溜めるための凹状部が、斜線縞模様状を
なすものであるため、「シロヌケ」を生ずることのない
品質の高度な研磨仕上げをなし得ない等の欠点を有す
る。

【０００７】これに対して本発明は、研磨層に形成され
ている凹状部、すなわち、研磨時に発生する摩耗粉を溜
めるための凹状部の形状が特別の形状をなし、「シロヌ
ケ」を生ずることのない品質の高度な研磨仕上げをなし
得る研磨テープを安定して得ることのできる方法を提供
する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨テープの製
造方法は、フィルム状をなす研磨テープ用基材の少なく
とも片面に、ポリエステル樹脂または塩化ビニル・酢酸
ビニル共重合体樹脂あるいはこれらの混合樹脂からなる
バインダー成分１００重量部に対して研磨剤粒子１００
〜１４００重量部を含有し、しかも溶剤中の５重量％以
上が親水性を有する溶剤からなる粘度７〜２５０ｃ．
ｐ．の研磨剤粒子分散樹脂溶液によるコーティング剤
を、５〜６０ｇ（固形成分）／ｍ² に塗布、乾燥するこ
とにより、前記研磨テープ用基材の少なくとも片面に、
多数の略正六角形が前後左右に略均等配置されてなる亀
甲形状の画線相応部分と該亀甲形状を形成しているそれ
ぞれの略正六角形の中心部相応部分とが凹状部とされて
いる厚さ５〜４０μの研磨層を形成する方法からなる。

【０００９】すなわち、本発明の研磨テープの製造方法
によって得られる研磨テープは、該研磨テープの研磨層
の表面に、亀甲形状の画線に相応する形状の凹条部と、
亀甲形状を形成しているそれぞれの略正六角形の中心部
に相応する位置におけるスポット状の凹部とからなる凹
状部を有している。

【００１０】前記構成による本発明の研磨テープの製造
方法は、多量の無機質成分を含有するコーティング剤に
よって塗膜層を形成する際に、該塗膜層に発生する「ベ
ナードセル（対流セル）現象」を利用し、研磨時に発生
する摩耗粉を溜めるための凹状部を、表面の全面に亙っ
て略均一に有する研磨層を得るものである。

【００１１】なお、多量の無機質成分を含有するコーテ
ィング剤によって塗膜層を形成する際に、該塗膜層に発
生する「ベナードセル（対流セル）現象」は、前記コー
ティング剤による塗布層が乾燥、固化して塗膜層が形成
される過程で、すなわち、コーティング剤による塗布層
中に含まれている溶剤が蒸発して塗布層が固化する過程
で、塗布層中のコーティング剤成分が塗布層に対して垂
直方向に対流を起こし、これに表面張力が加わることに
よって発生する。

【００１２】本発明者は、塗膜層に発生する前述の「ベ
ナードセル（対流セル）現象」を利用して、研磨の際に
発生する摩耗粉を溜めるための凹状部が研磨層の表面に
形成されている研磨テープを得るに当たり、研磨テープ
用基材の表面に研磨層を形成する際の諸条件を前記した
通りのものにすることにより、多数の略正六角形が前後
左右に略均等配置されてなる亀甲形状の画線相応部分の
凹条部と、亀甲形状を形成しているそれぞれの略正六角
形の中心部相応部分の凹部とからなる凹状部を有する研
磨層を安定して形成し得ることを解明し、本発明の研磨
テープの製造方法を完成した。

【００１３】本発明の研磨テープの製造方法にて得られ
る研磨層における亀甲形状の画線に相応する略正六角形
の凹条部の大きさ、該凹条部の幅や深さ、さらには、ス
ポット状の凹部の幅や深さ等のコントロールは、研磨層
形成用のコーティング剤の粘度や溶剤中の５重量％以上
を占める親水性溶剤の種類、さらには、コーティング剤
の塗布量等を適宜選択することによって行なえる。

【００１４】一般的には、亀甲形状の画線に相応する略
正六角形の凹条部としては、隣接する略正六角形の凹条
部の中心点同士の距離が約１０〜３００μ、略正六角形
の凹条部の幅が約０．１〜２００μ、略正六角形の凹条
部の深さが約０．５〜４０μのものを、また、スポット
状の凹部としては、直径が約０．５〜１００μ、深さが
約０．１〜３０μの略円筒状のものを形成する。

【００１５】本発明の研磨テープの製造方法において、
フィルム状をなす研磨テープ用基材としては、例えば、
延伸ポリプロピレン、延伸ポリエチレン、ポリカーボネ
ート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレ
フタレート、ポリアセテート等からなる厚さ１２〜１０
０μ程度の機械的強度、寸法安定性、耐熱性等に優れた
性質を有するフィルムや合成紙を利用する。

【００１６】また、研磨層形成用のコーティング剤中の
バインダー成分は、ポリエステル樹脂または塩化ビニル
・酢酸ビニル共重合体樹脂あるいはこれらの混合樹脂か
らなるが、得られる研磨層の耐摩耗性や耐熱性を向上さ
せるために、該コーティング剤中にトルイレンジイソシ
アナート（ＴＤＩ）、キシリレンジイソシアナート（Ｘ
ＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアナート（ＨＭＤＩ）
等のイソシアナート系硬化剤を添加し、前述のバインダ
ー成分をなす樹脂における官能基（−ＯＨ等）と反応さ
せ、熱硬化樹脂によるバインダー成分の研磨層とするこ
ともできる。

【００１７】なお、これらの硬化剤の添加量は、［イソ
シアナート基（−ＮＣＯ）／樹脂の官能基］で表示され
る当量比が、０．５〜１０程度の範囲内となることが好
ましい。

【００１８】研磨剤粒子としては、例えば、酸化アルミ
ニウム、炭化珪素、窒化珪素、酸化ジルコニウム、酸化
クロム、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素、エメリー
等の１次粒子の粒径０．１〜２０μ程度のものが利用さ
れる。

【００１９】本発明の研磨テープの製造方法において利
用するコーティング剤、すなわち、研磨剤を含有するポ
リエステル樹脂または塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体
樹脂あるいはこれらの混合樹脂の樹脂溶液における溶剤
は、該溶剤中の５重量％以上が親水性を有する溶剤、例
えば、ケトン系、アルコール系、エステル系等の溶剤か
らなることが必要である。

【００２０】本発明の研磨テープの製造方法において利
用するコーティング剤は、前記した親水性を有する溶剤
の存在により、研磨層形成用のコーティング剤の塗布、
乾燥工程で、塗布層中に含まれている溶剤が蒸発する際
に生ずるコーティング剤成分の対流が容易に発生し、研
磨層の表面に所定の凹状部を形成し得る。

【００２１】親水性を有する溶剤としては、コーティン
グ剤中の研磨剤粒子の分散安定性が良好で、沈降、凝集
等が生ずることのない溶剤、例えば、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケ
トン類、メタノール、エタノール、イソプロパノール、
イソブタノール等のアルコール類、酢酸エチル、酢酸ブ
チル等のエステル類等が好適である。

【００２２】なお、親水性を有する溶剤の親水性の基準
は、バインダー成分である樹脂の溶解性の点から中水素
結合溶剤に属するものが好適である。

【００２３】本発明の研磨テープの製造方法において
は、研磨層におけるバインダー成分として、ポリエステ
ル樹脂または塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体樹脂ある
いはこれらの混合樹脂を利用するが、これは、バインダ
ー成分であるこれらの樹脂が、コーティング剤による塗
布層中に含まれている溶剤が蒸発して固化する過程での
塗布層中のコーティング剤成分の対流を生じさせ易い性
質を有していることによる。

【００２４】本発明の研磨テープの製造方法において
は、研磨層形成用のコーティング剤として、バインダー
成分である樹脂と研磨剤粒子との割合が、樹脂１００重
量部に対して研磨剤粒子１００〜１４００重量部のもの
を利用するが、これは、樹脂１００重量部に対して研磨
剤粒子が１００重量部未満になると、研磨作用の良好な
研磨層が得られなくなる恐れがあり、また、１４００重
量部を超えると、研磨層におけるバインダー成分のバイ
ンダー力が不足し、研磨テープによる研磨工程中に研磨
剤粒子が脱落する恐れがあるためである。

【００２５】また、研磨層形成用のコーティング剤とし
て粘度７〜２５０ｃ．ｐ．ものを利用するが、これは、
コーティング剤の粘度が２５０ｃ．ｐ．を超える高粘度
のもの、あるいは７ｃ．ｐ．未満の低粘度のものでは、
コーティング剤による塗布層中に含まれている溶剤が蒸
発して塗布層が固化する過程での塗布層中のコーティン
グ剤成分の対流の発生が無いか、あるいは対流の程度が
低過ぎるために、研磨層に凹状部が形成されないか、あ
るいは摩耗粉を溜めるには浅すぎるような凹状部しか形
成されない恐れがあるためである。

【００２６】さらに、本発明の研磨テープの製造方法に
おいては、研磨層形成用のコーティング剤を、研磨テー
プ用基材の表面に、５〜６０ｇ（固形成分）／ｍ² に塗
布、乾燥することが必要である。

【００２７】研磨テープ用基材の表面に適用するコーテ
ィング剤の量が５ｇ（固形成分）／ｍ² 未満になると、
コーティング剤の塗布層中に含まれている溶剤が蒸発し
て塗布層が固化する過程で発生する塗布層中のコーティ
ング剤成分の対流の推進力となる塗布層の上，下両表面
の表面張力の差や浮力の差が顕著でなくなり、研磨の際
の摩耗粉を溜め得る作用を十分に果たす凹状部を研磨層
の表面に形成し難くなる。

【００２８】また、コーティング剤の量が６０ｇ（固形
成分）／ｍ² を超えると、コーティング剤の塗布層の乾
燥工程で、塗布層の表面の固化後においても、強制乾燥
によって塗布層内部の溶剤の蒸発が進み、研磨層に発泡
やひび割れが生じ、亀甲形状の画線部分に相応する凹条
部と、該亀甲形状を形成しているそれぞれの略正六角形
の中心部相応部分の凹部とによる凹状部を、研磨層の表
面に略均一に形成し難くなる。

【００２９】研磨層形成用のコーティング剤を研磨テー
プ用基材の表面に適用する手段としては、２本ロール、
３本ロール、４本ロール等のロールコート、グラビアコ
ート、キスコート、ナイフコート、バーコート、ロッド
コート、コンマコート、スプレイコート、パークコート
等の方法を利用することができ、ロールコート法とグラ
ビアコート法においては、ダイレクト法とリバース法と
の両方法を利用し得る。特に、２本、３本、４本リバー
スロールコート法を利用すると、表面平滑性に優れた特
性を有する研磨層が得られる。

【００３０】

【作用】本発明の研磨テープの製造方法は、フィルム状
をなす研磨テープ用基材の少なくとも片面に、ポリエス
テル樹脂または塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体樹脂あ
るいはこれらの混合樹脂からなるバインダー成分１００
重量部に対して研磨剤粒子１００〜１４００重量部を含
有し、しかも溶剤中の５重量％以上が親水性を有する溶
剤からなる粘度７〜２５０ｃ．ｐ．の研磨剤粒子分散樹
脂溶液によるコーティング剤を、５〜６０ｇ（固形成
分）／ｍ² に塗布、乾燥することにより、研磨テープ用
基材の少なくとも片面に、多数の略正六角形が前後左右
に略均等配置されてなる亀甲形状の画線相応部分と該亀
甲形状を形成しているそれぞれの略正六角形の中心部相
応部分とが凹状部とされている厚さ５〜４０μの研磨層
を形成することからなる。

【００３１】本発明の研磨テープの製造方法によれば、
研磨層形成用のコーティング剤の粘度や溶剤中の５重量
％以上を占める親水性溶剤の種類、さらには、コーティ
ング剤の塗布量等を適宜選択することにより、研磨層の
表面の凹状部の密度、深さ、幅等を容易にコントロール
し得るという特別の作用を有する。

【００３２】また、本発明方法によれば、表面全面に亙
って、多数の略正六角形が前後左右に略均等配置されて
なる亀甲形状の画線相応部分と、該亀甲形状を形成して
いるそれぞれの略正六角形の中心部相応部分とに凹状部
を有する研磨層を形成できるので、該研磨テープによる
研磨作業の際には、研磨層における凹状部が研磨によっ
て発生する摩耗粉を溜める作用を奏し、所謂「シロヌ
ケ」を生ずることの無い高品質の研磨仕上げが行なえる
研磨テープが得られる。

【００３３】

【実施例】以下、本発明の研磨テープの製造方法の具体
的な構成を実施例に基づいて説明する。

【００３４】実施例１ポリエステル樹脂［ユニチカ (株) ：ＵＥ−３２２０］
１００重量部と、アルミナ微粉末［不二見研磨剤 (株)
：ＷＡ−^# ８０００］６００重量部と、メチルエチル
ケトン３００重量部と、前記ポリエステル樹脂中の（−
ＯＨ）とキシリレンジイソシアナートのイソシアナート
基（−ＮＣＯ）との関係が、［−ＮＣＯ／−ＯＨ］＝４
（当量比）に相当する量のキシリレンジイソシアナート
［武田薬品(株) ：タケネート５００］とからなる研磨
剤粒子分散樹脂溶液を作成した。

【００３５】続いて、該研磨剤粒子分散樹脂溶液をメチ
ルイソブチルケトン３００重量部で希釈し、粘度４０
ｃ．ｐ．の研磨層形成用のコーティング剤を調製した。

【００３６】さらに、該コーティング剤を、厚さ５０μ
のポリエステルフィルムからなる研磨テープ用基材の片
面に、３本リバースロール法にて３０ｇ（固形成分）／
ｍ²に塗布、乾燥後、４０℃にて７日間のエージング処
理に付し、本発明の１実施例品である研磨テープ(1) を
得た。

【００３７】研磨テープ(1) における研磨層の厚さは２
０μである。

【００３８】また、研磨テープ(1) の研磨層の表面を倍
率２００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、［図
１］及び［図２］に示されるような形状の凹状部、すな
わち、多数の略正六角形が前後左右に略均等配置されて
なる亀甲形状の画線相応部分をなす凹条部１と、該亀甲
形状を形成しているそれぞれの略正六角形の中心部相応
部分をなすスポット状の凹部２とからなる凹状部が形成
されていることが確認された。

【００３９】なお、［図１］及び［図２］は、研磨テー
プ(1) の拡大図であり、符号３は研磨テープ用基材を、
また、符号４は研磨層を表示する。

【００４０】研磨層４に形成されている亀甲形状の画線
相応部分をなす凹条部１は、該凹条部１を形成している
隣接する略正六角形の中心部同士の間隔、すなわち、隣
接するスポット状の凹部２同士の間隔が約０．１ｍｍ、
凹条部１の幅が約５μ、深さが約１０μであり、また、
亀甲形状を形成している略正六角形の中心部相応部分を
なす凹部２は、直径約５μ、深さ約３μであった。

【００４１】研磨テープ(1) を使用して、中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．４μの５．２５インチフロッピーディス
クの研磨仕上げを行なったところ、中心線平均粗さ０．
０７μの研磨仕上げができ、研磨の際に発生した摩耗粉
による擦り傷は無かった。

【００４２】また、使用後の研磨テープの研磨層面を２
００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の
表面における凹条部１や凹部２に、摩耗粉が略均一に堆
積しているのが観察された。

【００４３】実施例２塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂［ユニオンカーバ
イド (株) ］１００重量部と、炭化珪素微粉末［不二見
研磨剤 (株) ：ＧＣ−６０００］７５０重量部と、メチ
ルイソブチルケトン／トルエン（９：１）の混合溶剤４
００重量部とからなる研磨剤粒子分散樹脂溶液を作成し
た。

【００４４】続いて、該研磨剤粒子分散樹脂溶液をメチ
ルイソブチルケトン３００重量部で希釈し、粘度８０
ｃ．ｐ．の研磨層形成用のコーティング剤を調製した。

【００４５】さらに、該コーティング剤を、厚さ３８μ
のポリエチレンテレフタレートフィルムからなる研磨テ
ープ用基材の片面に、４本リバースロール法にて４０ｇ
（固形成分）／ｍ² に塗布、乾燥し、本発明の１実施例
品である研磨テープ(2) を得た。

【００４６】研磨テープ(2) における研磨層の厚さは２
５μである。

【００４７】研磨テープ(2) の研磨層の表面を倍率３０
０倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、実施例１の
研磨テープ(1) における研磨層の凹状部と同形状の凹状
部が形成されていた。

【００４８】亀甲形状の画線相応部分をなす凹条部は、
該凹条部を形成している隣接する略正六角形の中心部同
士の間隔が約０．１５ｍｍ、凹条部の幅が約８０μ、深
さが約１５μであり、また、亀甲形状を形成している略
正六角形の中心部相応部分をなす凹部は、直径約７μ、
深さ約５μであった。

【００４９】研磨テープ(2) を使用して、中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．５０μのステンレスＳＵＳ−４５Ｃ製成
形用金型を研磨したところ、中心線平均粗さ０．１０μ
の研磨仕上げができ、研磨の際に発生した摩耗粉による
擦り傷は無かった。

【００５０】また、使用後の研磨テープの研磨層面を３
００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の
表面における凹条部や凹部には、摩耗粉が略均一に堆積
しているのが観察された。

【００５１】実施例３ポリエステル樹脂［ユニチカ (株) ：ＵＥ−３２２０］
１００重量部と、酸化クロム粉末［バイエル (株) ：粒
径０．３μ］７００重量部と、メチルエチルケトン２０
０重量部と、前記ポリエステル樹脂中の（−ＯＨ）とキ
シリレンジイソシアナートのイソシアナート基（−ＮＣ
Ｏ）との関係が、［−ＮＣＯ／−ＯＨ］＝４（当量比）
に相当する量のキシリレンジイソシアナート［武田薬品
(株) ：タケネート５００］とからなる研磨剤粒子分散
樹脂溶液を作成した。

【００５２】続いて、該研磨剤粒子分散樹脂溶液をメチ
ルイソブチルケトン４５０重量部で希釈し、粘度２０
ｃ．ｐ．の研磨層形成用のコーティング剤を調製した。

【００５３】さらに、該コーティング剤を、厚さ５０μ
のポリエステルフィルムからなる研磨テープ用基材の片
面に、３本リバースロール法にて２０ｇ（固形成分）／
ｍ²に塗布、乾燥後、４０℃にて７日間のエージング処
理に付し、本発明の１実施例品である研磨テープ(3) を
得た。

【００５４】研磨テープ(3) における研磨層の厚さは１
３μである。

【００５５】研磨テープ(3) の研磨層の表面を倍率１０
０倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、実施例１の
研磨テープ(1) における研磨層の凹状部と同形状の凹状
部が形成されていた。

【００５６】なお、亀甲形状の画線相応部分をなす凹条
部は、該凹条部を形成している隣接する略正六角形の中
心部同士の間隔が約３０μ、凹条部の幅が約２μ、深さ
が約３μであり、また、亀甲形状を形成している略正六
角形の中心部相応部分をなす凹部は、直径約１μ、深さ
約２μであった。

【００５７】研磨テープ(3) を使用して、中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．２２μのＶＨＳ磁気テープの研磨仕上げ
を行なったところ、中心線平均粗さ０．０５μの研磨仕
上げができ、研磨の際に発生した摩耗粉による擦り傷は
無かった。

【００５８】また、使用後の研磨テープの研磨層面を１
００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の
表面における凹条部や凹部には、摩耗粉が略均一に堆積
しているのが観察された。

【００５９】実施例４ポリエステル樹脂［ユニチカ (株) ：ＵＥ−３２２０］
１００重量部と、アルミナ微粉末［不二見研磨剤 (株)
：ＷＡ^# ８０００］６００重量部と、トルエン／メチ
ルエチルケトン（９／１）の混合溶剤３００重量部と、
前記ポリエステル樹脂中の（−ＯＨ）とキシリレンジイ
ソシアナートのイソシアナート基（−ＮＣＯ）との関係
が、［−ＮＣＯ／−ＯＨ］＝４（当量比）に相当する量
のキシリレンジイソシアナート［武田薬品 (株) ：タケ
ネート５００］とからなる研磨剤粒子分散樹脂溶液を作
成した。

【００６０】続いて、該研磨剤粒子分散樹脂溶液をトル
エン２００重量部で希釈し、粘度２０ｃ．ｐ．の研磨層
形成用のコーティング剤を調製した。

【００６１】さらに、該コーティング剤を、厚さ５０μ
のポリエステルフィルムからなる研磨テープ用基材の片
面に、３本リバースロール法にて４０ｇ（固形成分）／
ｍ²に塗布、乾燥後、４０℃にて７日間のエージング処
理に付し、本発明の１実施例品である研磨テープ(4) を
得た。

【００６２】研磨テープ(4) における研磨層の厚さは２
５μである。

【００６３】研磨テープ(4) の研磨層の表面を倍率３０
０倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、実施例１の
研磨テープ(1) における研磨層の凹状部と同形状の凹状
部が形成されていた。

【００６４】亀甲形状の画線相応部分をなす凹条部は、
該凹条部を形成している隣接する略正六角形の中心部同
士の間隔が約０．０８ｍｍ、凹条部の幅が約１μ、深さ
が約２μであり、また、亀甲形状を形成している略正六
角形の中心部相応部分をなす凹部は、直径約１μ、深さ
約１μであった。

【００６５】研磨テープ(4) を使用して、中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．４０μの５．２５インチフロッピーディ
スクの研磨仕上げを行なったところ、中心線平均粗さ
０．０９μの研磨仕上げができ、研磨の際に発生した摩
耗粉による擦り傷は無かった。

【００６６】また、使用後の研磨テープの研磨層面を３
００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の
表面における凹条部や凹部には、摩耗粉が略均一に堆積
しているのが観察された。

【００６７】比較例１ポリエステル樹脂［ユニチカ (株) ：ＵＥ−３２２０］
１００重量部と、アルミナ微粉末［不二見研磨剤 (株)
：ＷＡ−^# ８０００］６００重量部と、トルエン５０
０重量部と、前記ポリエステル樹脂中の（−ＯＨ）とキ
シリレンジイソシアナートのイソシアナート基（−ＮＣ
Ｏ）との関係が、［−ＮＣＯ／−ＯＨ］＝４（当量比）
に相当する量のキシリレンジイソシアナート［武田薬品
(株) ：タケネート５００］とからなる粘度３０ｃ．
ｐ．の研磨層形成用のコーティング剤を調製した。

【００６８】さらに、該コーティング剤を、厚さ５０μ
のポリエステルフィルムからなる研磨テープ用基材の片
面に、３本リバースロール法にて３０ｇ（固形成分）／
ｍ²に塗布、乾燥後、４０℃にて７日間のエージング処
理に付し、比較のための研磨テープ(5) を得た。

【００６９】研磨テープ(5) における研磨層の厚さは２
０μである。

【００７０】研磨テープ(5) の研磨層の表面を倍率２０
０倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の表
面には凹状部は全く無く、均一な平坦面が確認された。

【００７１】研磨テープ(5) を使用して、中心線平均粗
さ（Ｒａ）０．４０μの５．２５インチフロッピーディ
スクの研磨仕上げを行なったところ、中心線平均粗さ
０．０９μの研磨仕上げができたが、研磨の際に発生し
た摩耗粉による擦り傷（シロヌケ）が随所に生成してお
り、均一な研磨仕上げにはならなかった。

【００７２】また、使用後の研磨テープの研磨層面を２
００倍の走査型電子顕微鏡で観察したところ、研磨層の
表面に付着している摩耗粉の量は少なく、その全面に略
均一に点在しているのが観察された。

【００７３】

【発明の効果】本発明方法によれば、表面全面に亙っ
て、多数の略正六角形が前後左右に略均等配置されてな
る亀甲形状の画線相応部分と、該亀甲形状を形成してい
るそれぞれの略正六角形の中心部相応部分とに凹状部を
有する研磨層を形成し得る。

【００７４】すなわち、本発明方法によれば、研磨の際
に発生する摩耗粉を効果的に堆積させ得る凹状部を有す
る研磨層からなる研磨テープが得られ、所謂「シロヌ
ケ」を生ずることの無い極めて高品質の研磨仕上げが行
なえる研磨テープを的確に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨テープの１実施例品の拡大平面図
である。

【図２】図１の研磨テープの部分拡大断面図である。

【符号の説明】

１・・・・亀甲形状の画線相応部分をなす凹条部２・・・・スポット状の凹部３・・・・研磨テープ用基材４・・・・研磨層

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フィルム状をなす研磨テープ用基材の少
なくとも片面に、ポリエステル樹脂または塩化ビニル・
酢酸ビニル共重合体樹脂あるいはこれらの混合樹脂から
なるバインダー成分１００重量部に対して研磨剤粒子１
００〜１４００重量部を含有し、しかも溶剤中の５重量
％以上が親水性を有する溶剤からなる粘度７〜２５０
ｃ．ｐ．の研磨剤粒子分散樹脂溶液によるコーティング
剤を、５〜６０ｇ（固形成分）／ｍ² に塗布、乾燥する
ことにより、研磨テープ用基材の少なくとも片面に、多
数の略正六角形が前後左右に略均等配置されてなる亀甲
形状の画線相応部分と該亀甲形状を形成しているそれぞ
れの略正六角形の中心部相応部分とが凹状部とされてい
る厚さ５〜４０μの研磨層を形成することを特徴とする
研磨テープの製造方法。