JP2519004B2 - 浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト - Google Patents
浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上型磁気ヘッド用ス
ライダーに好適に使用可能な、固相反応により製造した
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトに関するものであ
る。
ライダーに好適に使用可能な、固相反応により製造した
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、固定磁気ディスク装置（ＲＤ
Ｄ）等には磁気ヘッドが使用され、この磁気ヘッドは種
々のものが知られている。図６はその一例として浮上型
薄膜磁気ヘッドの例を示す図である。図６において、ス
ライダー本体２は、その磁気記録媒体と摺接する面に、
互いに平行な所定幅のレール状の空気ベアリング部４、
４を有している。これらの空気ベアリング部４、４のト
レーリング側（摺接方向において後方側）の端面に、薄
膜状の上下の磁極間に配置された薄膜状のコイル８とに
よって構成される薄膜ヘッド部が構成されおり、それら
リード部１０、１０を通じて所定の電流が通電されるよ
うに構成されている。図７は図６に示す浮上型薄膜磁気
ヘッドの要部断面を示す図であり、１１（２）はフェラ
イトからなるスライダー本体、１２はスライダー本体１
１のトレーリング側に設けた非磁性材層、１３は非磁性
材層１２上に設けた下部磁極、１４は上部磁極、１５は
下部磁極１３と上部磁極１４との間に設けた絶縁用レジ
スト、１６は絶縁用レジスト１５内に埋め込んだコイ
ル、１７は下部磁極１３と上部磁極１４との間に形成さ
れたギャップ、１８は上部磁極１４を保護する保護膜、
１９（４）は空気ベアリング部である。
Ｄ）等には磁気ヘッドが使用され、この磁気ヘッドは種
々のものが知られている。図６はその一例として浮上型
薄膜磁気ヘッドの例を示す図である。図６において、ス
ライダー本体２は、その磁気記録媒体と摺接する面に、
互いに平行な所定幅のレール状の空気ベアリング部４、
４を有している。これらの空気ベアリング部４、４のト
レーリング側（摺接方向において後方側）の端面に、薄
膜状の上下の磁極間に配置された薄膜状のコイル８とに
よって構成される薄膜ヘッド部が構成されおり、それら
リード部１０、１０を通じて所定の電流が通電されるよ
うに構成されている。図７は図６に示す浮上型薄膜磁気
ヘッドの要部断面を示す図であり、１１（２）はフェラ
イトからなるスライダー本体、１２はスライダー本体１
１のトレーリング側に設けた非磁性材層、１３は非磁性
材層１２上に設けた下部磁極、１４は上部磁極、１５は
下部磁極１３と上部磁極１４との間に設けた絶縁用レジ
スト、１６は絶縁用レジスト１５内に埋め込んだコイ
ル、１７は下部磁極１３と上部磁極１４との間に形成さ
れたギャップ、１８は上部磁極１４を保護する保護膜、
１９（４）は空気ベアリング部である。
【０００３】通常、上述した磁気ヘッド用スライダー本
体２の材質としては、磁性のある材料を用いるとスライ
ダー本体と下部磁極の間に絶縁層を形成する必要があ
る。また磁気ヘッド用スライダーの磁極は、磁場中メッ
キによって形成されるが、ヘッド特性上の点からこの磁
性膜には一軸磁気異方性を付与する必要があるため、磁
性を有する基板においては、この一軸異方性を付与し難
い等の問題があり、通常非磁性のAl2O3-TiC 、CaTiO3あ
るいは多結晶Znフェライトが使用されている。しかしな
がら、Al2O3-TiC は、磁気ディスクとの摺動性が悪く、
磁気ディスクを傷つけ易い問題があった。一方、CaTiO3
は、磁気ディスクに対する摩擦係数が大きいため、磁気
ディスクとの接触により磁気ディスクを傷つけ易く、ひ
いてはスライダーも傷め易い問題があった。また、いず
れの材料においてもスライダー本体２の空気ベアリング
部４の形状、例えば負圧スライダーにおける橋絡構造
や、シェープトレール構造等の形状を採用するにあた
り、通常イオンエッチングを行うため装置が高価とな
り、またエッチング速度も遅いため製品のコストへの影
響が大きかった。
体２の材質としては、磁性のある材料を用いるとスライ
ダー本体と下部磁極の間に絶縁層を形成する必要があ
る。また磁気ヘッド用スライダーの磁極は、磁場中メッ
キによって形成されるが、ヘッド特性上の点からこの磁
性膜には一軸磁気異方性を付与する必要があるため、磁
性を有する基板においては、この一軸異方性を付与し難
い等の問題があり、通常非磁性のAl2O3-TiC 、CaTiO3あ
るいは多結晶Znフェライトが使用されている。しかしな
がら、Al2O3-TiC は、磁気ディスクとの摺動性が悪く、
磁気ディスクを傷つけ易い問題があった。一方、CaTiO3
は、磁気ディスクに対する摩擦係数が大きいため、磁気
ディスクとの接触により磁気ディスクを傷つけ易く、ひ
いてはスライダーも傷め易い問題があった。また、いず
れの材料においてもスライダー本体２の空気ベアリング
部４の形状、例えば負圧スライダーにおける橋絡構造
や、シェープトレール構造等の形状を採用するにあた
り、通常イオンエッチングを行うため装置が高価とな
り、またエッチング速度も遅いため製品のコストへの影
響が大きかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した欠点を解消す
るため、特開平３−１２６６６２号公報において、非磁
性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを磁気ヘッド用スライダ
ーとして使用する例が開示されている。しかしながら、
上述したように空気ベアリングを採用する場合、機械加
工による工程が煩雑となり、かなりの時間を要する問題
があった。また、非磁性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを
化学エッチングして空気ベアリングを形成する場合、結
晶方位が揃っていないため、結晶粒子間のエッチング速
度が異なり、直線加工性が悪くなり、寸法制度や磁気ヘ
ッドの浮上特性に影響を及ぼす問題もあった。
るため、特開平３−１２６６６２号公報において、非磁
性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを磁気ヘッド用スライダ
ーとして使用する例が開示されている。しかしながら、
上述したように空気ベアリングを採用する場合、機械加
工による工程が煩雑となり、かなりの時間を要する問題
があった。また、非磁性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを
化学エッチングして空気ベアリングを形成する場合、結
晶方位が揃っていないため、結晶粒子間のエッチング速
度が異なり、直線加工性が悪くなり、寸法制度や磁気ヘ
ッドの浮上特性に影響を及ぼす問題もあった。
【０００５】また、特開平４−５３０１３号公報におい
て、融液から単結晶フェライトを作製するいわゆるブリ
ッジマン法で得た非磁性単結晶フェライトを、ＶＴＲ用
磁気ヘッド基板として使用する例が開示されている。し
かしながら、この方法では組成の偏析が避けられないた
め、化学エッチングにより空気ベアリングを形成する場
合、エッチング速度が異なることとなり、寸法精度が得
られにくく、工業的な生産には使用できない問題があっ
た。また、仮にＲＤＤ用スライダーとしてTiO2を含む非
磁性Zn単結晶フェライトを使用した場合、化学エッチン
グによるエッチング速度がMn-Zn 単結晶フェライトに比
べ著しく遅いため、空気ベアリングの形成が極めて困難
であり、実質的に製造できない問題もあった。
て、融液から単結晶フェライトを作製するいわゆるブリ
ッジマン法で得た非磁性単結晶フェライトを、ＶＴＲ用
磁気ヘッド基板として使用する例が開示されている。し
かしながら、この方法では組成の偏析が避けられないた
め、化学エッチングにより空気ベアリングを形成する場
合、エッチング速度が異なることとなり、寸法精度が得
られにくく、工業的な生産には使用できない問題があっ
た。また、仮にＲＤＤ用スライダーとしてTiO2を含む非
磁性Zn単結晶フェライトを使用した場合、化学エッチン
グによるエッチング速度がMn-Zn 単結晶フェライトに比
べ著しく遅いため、空気ベアリングの形成が極めて困難
であり、実質的に製造できない問題もあった。
【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
加工性および量産性が良好となる浮上型磁気ヘッド用ス
ライダーとして好適に使用できる非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結
晶フェライトを提供しようとするものである。
加工性および量産性が良好となる浮上型磁気ヘッド用ス
ライダーとして好適に使用できる非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結
晶フェライトを提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の浮上型磁気ヘッ
ド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは、多結晶フェ
ライトと単結晶フェライトを接触させて加熱することに
より、単結晶フェライトを多結晶フェライト方向に結晶
成長させて単結晶フェライトを育成する単結晶フェライ
トの製造法（固相反応法）により得られる単結晶フェラ
イトの組成が、添付図８で示すように、モル％でＡ（Fe
2O3 40：MnO 10：ZnO 50）、Ｂ（Fe2O340：MnO 22：ZnO
38）、Ｃ（Fe2O3 60：MnO ２：ZnO 38）、Ｄ（Fe2O3 4
8：MnO2：ZnO 50）のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄで囲まれた範囲内
であることを特徴とするものである。
ド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは、多結晶フェ
ライトと単結晶フェライトを接触させて加熱することに
より、単結晶フェライトを多結晶フェライト方向に結晶
成長させて単結晶フェライトを育成する単結晶フェライ
トの製造法（固相反応法）により得られる単結晶フェラ
イトの組成が、添付図８で示すように、モル％でＡ（Fe
2O3 40：MnO 10：ZnO 50）、Ｂ（Fe2O340：MnO 22：ZnO
38）、Ｃ（Fe2O3 60：MnO ２：ZnO 38）、Ｄ（Fe2O3 4
8：MnO2：ZnO 50）のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄで囲まれた範囲内
であることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】上述した構成において、固相反応法により得ら
れた所定の組成の非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは
加工性が良く、特に磁気ヘッド用スライダーとして使用
したときに、まず非磁性であることから下部磁極とスラ
イダー本体の絶縁層を簡略化できる。また、単結晶であ
るため機械加工性や化学エッチングによる加工性が良好
で、複雑な空気ベアリングを容易に量産できるととも
に、寸法精度や浮上特性の信頼性が向上する。なお、非
磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトの気孔率を0.005%以下
とすると、加工による欠けが少なく、また薄膜磁気ヘッ
ド用基板として使用した場合、磁極を直接基板の上にの
せると、その基板の気孔率が小さい（表面性が良い）た
め磁性膜の特性が良く（膜の結晶配向が良い）、また磁
性膜をパターニングする際基板の表面性が良いため、パ
ターン直線性が良く、ひいてはトラックの直線性が安定
して得られる。
れた所定の組成の非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは
加工性が良く、特に磁気ヘッド用スライダーとして使用
したときに、まず非磁性であることから下部磁極とスラ
イダー本体の絶縁層を簡略化できる。また、単結晶であ
るため機械加工性や化学エッチングによる加工性が良好
で、複雑な空気ベアリングを容易に量産できるととも
に、寸法精度や浮上特性の信頼性が向上する。なお、非
磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトの気孔率を0.005%以下
とすると、加工による欠けが少なく、また薄膜磁気ヘッ
ド用基板として使用した場合、磁極を直接基板の上にの
せると、その基板の気孔率が小さい（表面性が良い）た
め磁性膜の特性が良く（膜の結晶配向が良い）、また磁
性膜をパターニングする際基板の表面性が良いため、パ
ターン直線性が良く、ひいてはトラックの直線性が安定
して得られる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェ
ライトを製造する方法の一例の工程を示す図である。図
１に従って製造方法を説明すると、まず固相反応に使用
する種となるＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライトと単結晶を成
長させるためのＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを準備す
る。Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトとしては、多結晶フェ
ライトとほぼ同組成であることが好ましいが、非磁性の
種となるＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは一番最初の段階
では存在しないため、組成がＦｅ2 Ｏ3 ／ＭｎＯ／Ｚｎ
Ｏ＝５２．７／２６．６／２０．７ｍｏｌ％の磁性Ｍｎ
−Ｚｎ単結晶フェライトを使用する。また、Ｍｎ−Ｚｎ
多結晶フェライトとしては、目的とする組成を有する非
磁性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを使用する。Ｍｎ−Ｚ
ｎ多結晶フェライトの焼成は、図２に一例を示す焼成ス
ケジュールに従って実施すると好ましい。なお、使用す
る単結晶フェライトと多結晶フェライトとの組成が異な
り、両者の格子間距離等が若干異なるが、以下の方法に
より非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトをＭｎ−Ｚｎ多
結晶フェライト中に伸長させて育成することができる。
ライトを製造する方法の一例の工程を示す図である。図
１に従って製造方法を説明すると、まず固相反応に使用
する種となるＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライトと単結晶を成
長させるためのＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを準備す
る。Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトとしては、多結晶フェ
ライトとほぼ同組成であることが好ましいが、非磁性の
種となるＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは一番最初の段階
では存在しないため、組成がＦｅ2 Ｏ3 ／ＭｎＯ／Ｚｎ
Ｏ＝５２．７／２６．６／２０．７ｍｏｌ％の磁性Ｍｎ
−Ｚｎ単結晶フェライトを使用する。また、Ｍｎ−Ｚｎ
多結晶フェライトとしては、目的とする組成を有する非
磁性Ｍｎ−Ｚｎ多結晶フェライトを使用する。Ｍｎ−Ｚ
ｎ多結晶フェライトの焼成は、図２に一例を示す焼成ス
ケジュールに従って実施すると好ましい。なお、使用す
る単結晶フェライトと多結晶フェライトとの組成が異な
り、両者の格子間距離等が若干異なるが、以下の方法に
より非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトをＭｎ−Ｚｎ多
結晶フェライト中に伸長させて育成することができる。
【００１０】次に、準備したＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライ
トとＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトとを接合し、図３に一
例を示す育成スケジュールに従って固相反応を行い、Ｍ
ｎ−Ｚｎ多結晶フェライト中に非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶
フェライトを伸長させている。その後、単結晶伸長後の
接合体に対して図４に一例を示すスケジュールでＨＩＰ
処理を行い、さらにＨＩＰ処理後の接合体に対して図５
に一例を示すスケジュールでアニール処理を行い、接合
体から単結晶フェライトを切り出して、本発明で目的と
する非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを得ている。
トとＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトとを接合し、図３に一
例を示す育成スケジュールに従って固相反応を行い、Ｍ
ｎ−Ｚｎ多結晶フェライト中に非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶
フェライトを伸長させている。その後、単結晶伸長後の
接合体に対して図４に一例を示すスケジュールでＨＩＰ
処理を行い、さらにＨＩＰ処理後の接合体に対して図５
に一例を示すスケジュールでアニール処理を行い、接合
体から単結晶フェライトを切り出して、本発明で目的と
する非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを得ている。
【００１１】以下、実際の例について説明する。実施例１ 上述した製造方法に従って、以下の表１，表２に示す種
々の組成のＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトから同一組成の
Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを育成した。母材となる多
結晶フェライトの形状は１７×８×５ｔ（ｍｍ）であっ
た。得られた本発明範囲内および範囲外の組成を有する
Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトに対し、その伸びを測定す
るとともに、キューリー温度を測定し磁性・非磁性を判
定した。同時に、固相反応により育成した直後の単結晶
の気孔率を測定するとともに、ＨＩＰ処理およびアニー
ル処理後の単結晶の気孔率をも測定した。結果を表１，
表２に示す。
々の組成のＭｎ−Ｚｎ多結晶フェライトから同一組成の
Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを育成した。母材となる多
結晶フェライトの形状は１７×８×５ｔ（ｍｍ）であっ
た。得られた本発明範囲内および範囲外の組成を有する
Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトに対し、その伸びを測定す
るとともに、キューリー温度を測定し磁性・非磁性を判
定した。同時に、固相反応により育成した直後の単結晶
の気孔率を測定するとともに、ＨＩＰ処理およびアニー
ル処理後の単結晶の気孔率をも測定した。結果を表１，
表２に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】
【表２】
【００１４】表１，表２の結果を検討するにあたり、キ
ューリー温度については、屋外での使用を考慮して信頼
性の観点から−５０℃以下として少なくとも−５０℃ま
で非磁性となることが必要であるとともに、浮上型磁気
ヘッド用スライダーとして使用する場合はその形状から
単結晶の伸びは４mm以上必要である。表１、表２の結果
から、上記範囲を満たす組成は、図８に示すように、モ
ル％でＡ（Fe2O3 40：MnO 10：ZnO 50）、Ｂ（Fe2O3 4
0：MnO 22：ZnO 38）、Ｃ（Fe2O3 60：MnO ２：ZnO 3
8）、Ｄ（Fe2O3 48：MnO 2：ZnO 50）のＡ−Ｂ−Ｃ−
Ｄで囲まれた範囲内であることがわかった。
ューリー温度については、屋外での使用を考慮して信頼
性の観点から−５０℃以下として少なくとも−５０℃ま
で非磁性となることが必要であるとともに、浮上型磁気
ヘッド用スライダーとして使用する場合はその形状から
単結晶の伸びは４mm以上必要である。表１、表２の結果
から、上記範囲を満たす組成は、図８に示すように、モ
ル％でＡ（Fe2O3 40：MnO 10：ZnO 50）、Ｂ（Fe2O3 4
0：MnO 22：ZnO 38）、Ｃ（Fe2O3 60：MnO ２：ZnO 3
8）、Ｄ（Fe2O3 48：MnO 2：ZnO 50）のＡ−Ｂ−Ｃ−
Ｄで囲まれた範囲内であることがわかった。
【００１５】実施例２ 化学エッチング特性を調べるため、以下の表３に示す本
発明範囲内の組成の単結晶フェライトと範囲外の単結晶
フェライトとを上述した製造方法に従った固相反応法に
より得た後、空気ベアリングとなるようにマスクした
後、８０℃の燐酸溶液中に１時間浸漬し、出来上がった
段差と直線性を表面粗さ計及び顕微鏡にて測定した。結
果を表３に示す。
発明範囲内の組成の単結晶フェライトと範囲外の単結晶
フェライトとを上述した製造方法に従った固相反応法に
より得た後、空気ベアリングとなるようにマスクした
後、８０℃の燐酸溶液中に１時間浸漬し、出来上がった
段差と直線性を表面粗さ計及び顕微鏡にて測定した。結
果を表３に示す。
【００１６】
【表３】
【００１７】表３の結果から、本発明範囲内の非磁性Ｍ
ｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは、化学エッチングにより磁
性のある従来材と同じく、優れた直線加工性を得ること
ができるとともに、段差加工をすることができることが
わかった。
ｎ−Ｚｎ単結晶フェライトは、化学エッチングにより磁
性のある従来材と同じく、優れた直線加工性を得ること
ができるとともに、段差加工をすることができることが
わかった。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明に
よれば、薄膜磁気ヘッド用基板として好適に使用できる
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを得ることができる
ため、例えば、磁気ヘッド用スライダーとして本発明の
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを使用することによ
り、下部磁極とスライダー本体との絶縁層が簡略化で
き、また機械加工性や化学エッチングによる加工性が良
好で、複雑な形状の空気ベアリングを容易に量産できる
とともに、寸法精度や浮上特性の信頼性が向上する。さ
らに、コンポジット型ヘッドにおいてスライダーとして
従来使用されていたCaTiO3にかわって、本発明の非磁性
Mn-Zn 単結晶フェライトを使用することにより、摺動性
の優れたスライダーを得ることもできる。また、気孔率
が０．００５％以下の場合は、加工による欠けが少な
く、また薄膜磁気ヘッド用基板として使用した場合、ト
ラックの直線性が安定して得られる。
よれば、薄膜磁気ヘッド用基板として好適に使用できる
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを得ることができる
ため、例えば、磁気ヘッド用スライダーとして本発明の
非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを使用することによ
り、下部磁極とスライダー本体との絶縁層が簡略化で
き、また機械加工性や化学エッチングによる加工性が良
好で、複雑な形状の空気ベアリングを容易に量産できる
とともに、寸法精度や浮上特性の信頼性が向上する。さ
らに、コンポジット型ヘッドにおいてスライダーとして
従来使用されていたCaTiO3にかわって、本発明の非磁性
Mn-Zn 単結晶フェライトを使用することにより、摺動性
の優れたスライダーを得ることもできる。また、気孔率
が０．００５％以下の場合は、加工による欠けが少な
く、また薄膜磁気ヘッド用基板として使用した場合、ト
ラックの直線性が安定して得られる。
【図１】本発明の非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトを
製造する方法の一例の工程を示す図である。
製造する方法の一例の工程を示す図である。
【図２】本発明の製造方法における焼成スケジュールの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図３】本発明の製造方法における育成スケジュールの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図４】本発明の製造方法におけるＨＩＰ処理スケジュ
ールの一例を示す図である。
ールの一例を示す図である。
【図５】本発明の製造方法におけるアニール処理スケジ
ュールの一例を示す図である。
ュールの一例を示す図である。
【図６】従来の浮上型磁気ヘッドの例を示す図である。
【図７】従来の浮上型薄膜磁気ヘッドの要部断面図であ
る。
る。
【図８】本発明の非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトの
組成を示す図である。
組成を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 多結晶フェライトと単結晶フェライトを
接触させて加熱することにより、単結晶フェライトを多
結晶フェライト方向に結晶成長させて単結晶フェライト
を育成する単結晶フェライトの製造法（固相反応法）に
より得られる単結晶フェライトの組成が、添付図８に示
すように、モル％でＡ（Fe2O3 40：MnO 10：ZnO 50）、
Ｂ（Fe2O3 40：MnO 22：ZnO 38）、Ｃ（Fe2O3 60：MnO
２：ZnO 38）、Ｄ（Fe2O3 48：MnO 2：ZnO 50）のＡ−
Ｂ−Ｃ−Ｄで囲まれた範囲内であることを特徴とする浮
上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト。 - 【請求項２】 前記単結晶フェライトの気孔率が0.005%
以下である請求項１記載の浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍ
ｎ−Ｚｎ単結晶フェライト。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4311996A JP2519004B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト |
| DE69316730T DE69316730T2 (de) | 1992-11-20 | 1993-11-18 | Nichtmagnetischer Mn-Zn-Ferrit-Einkristall für schwebende Magnetköpfe |
| EP93309205A EP0604016B1 (en) | 1992-11-20 | 1993-11-18 | Non-magnetic single crystal Mn-Zn ferrite for floating type magnetic heads |
| US08/580,495 US5629100A (en) | 1992-11-20 | 1995-12-29 | Non-magnetic single crystal Mn--Zn ferrite for floating type magnetic heads |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4311996A JP2519004B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06157197A JPH06157197A (ja) | 1994-06-03 |
| JP2519004B2 true JP2519004B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=18023956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4311996A Expired - Lifetime JP2519004B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 浮上型磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライト |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5629100A (ja) |
| EP (1) | EP0604016B1 (ja) |
| JP (1) | JP2519004B2 (ja) |
| DE (1) | DE69316730T2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007091539A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Tdk Corp | 非磁性Ｚｎフェライトおよびこれを用いた複合積層型電子部品 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4402787A (en) * | 1979-05-31 | 1983-09-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for producing a single crystal |
| JPS6191092A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-09 | Ngk Insulators Ltd | フエライト単結晶の製造法 |
| JPS61133007A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS61146781A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Ngk Insulators Ltd | 単結晶の製造法 |
| JPS629559A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Hitachi Maxell Ltd | デイスクドライブ |
| JPS62216986A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-24 | Ngk Insulators Ltd | 単結晶フエライトの製造法 |
| JPS62223099A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-10-01 | Ngk Insulators Ltd | 単結晶フエライトの製造法 |
| JPH0244099A (ja) * | 1988-04-14 | 1990-02-14 | Hitachi Metals Ltd | 単結晶フェライト、それを用いた磁気ヘッド及び単結晶フェライトの製造方法 |
| JPH0730465B2 (ja) * | 1989-01-09 | 1995-04-05 | 日本碍子株式会社 | 負圧形磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
| JPH03126662A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-29 | Hitachi Metals Ltd | 磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ―Ｚｎフェライト |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP4311996A patent/JP2519004B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-11-18 EP EP93309205A patent/EP0604016B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-18 DE DE69316730T patent/DE69316730T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-12-29 US US08/580,495 patent/US5629100A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0604016A1 (en) | 1994-06-29 |
| DE69316730T2 (de) | 1998-08-06 |
| JPH06157197A (ja) | 1994-06-03 |
| DE69316730D1 (de) | 1998-03-05 |
| EP0604016B1 (en) | 1998-01-28 |
| US5629100A (en) | 1997-05-13 |
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