JP2024526780A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JP2024526780A5
JP2024526780A5 JP2024502110A JP2024502110A JP2024526780A5 JP 2024526780 A5 JP2024526780 A5 JP 2024526780A5 JP 2024502110 A JP2024502110 A JP 2024502110A JP 2024502110 A JP2024502110 A JP 2024502110A JP 2024526780 A5 JP2024526780 A5 JP 2024526780A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating removal
substrate
removal head
coating
moving device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2024502110A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2024526780A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102022117344.5A external-priority patent/DE102022117344A1/de
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/EP2022/069938 external-priority patent/WO2023285689A1/de
Publication of JP2024526780A publication Critical patent/JP2024526780A/ja
Publication of JP2024526780A5 publication Critical patent/JP2024526780A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2024502110A 2021-07-15 2022-07-15 角形の基板からコーティングを除去するための装置 Pending JP2024526780A (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102021118379.0 2021-07-15
DE102021118379 2021-07-15
DE102022117344.5A DE102022117344A1 (de) 2021-07-15 2022-07-12 Vorrichtung zum Entschichten von eckigen Substraten
DE102022117344.5 2022-07-12
PCT/EP2022/069938 WO2023285689A1 (de) 2021-07-15 2022-07-15 Vorrichtung zum entschichten von eckigen substraten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2024526780A JP2024526780A (ja) 2024-07-19
JP2024526780A5 true JP2024526780A5 (enExample) 2025-07-23

Family

ID=82851773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024502110A Pending JP2024526780A (ja) 2021-07-15 2022-07-15 角形の基板からコーティングを除去するための装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20240326103A1 (enExample)
EP (1) EP4371149A1 (enExample)
JP (1) JP2024526780A (enExample)
TW (1) TW202314909A (enExample)
WO (1) WO2023285689A1 (enExample)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12138745B2 (en) 2023-03-22 2024-11-12 Yield Engineering Systems, Inc. Apparatus and method for coating removal
US20260054350A1 (en) * 2024-08-21 2026-02-26 Yield Engineering Systems, Inc. Edge zone coating removal with warpage compensation

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3407835B2 (ja) * 1995-03-09 2003-05-19 東京応化工業株式会社 基板端縁部被膜の除去方法及び除去装置
US5993552A (en) * 1996-08-08 1999-11-30 Tokyo Electron Ltd Processing apparatus
JP3469788B2 (ja) * 1997-08-26 2003-11-25 東京エレクトロン株式会社 薄膜除去方法及びその装置
JPH1176908A (ja) * 1997-09-04 1999-03-23 Tokyo Electron Ltd 塗布膜形成装置及びその方法並びに基板搬送装置
JP4601452B2 (ja) * 2005-02-22 2010-12-22 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP4830523B2 (ja) * 2006-02-08 2011-12-07 東京エレクトロン株式会社 塗布、現像装置、塗布、現像方法及びその方法を実施するためのコンピュータプログラム。
JP4761381B2 (ja) * 2006-08-01 2011-08-31 東京エレクトロン株式会社 薄膜除去装置及び薄膜除去方法
JP4720812B2 (ja) * 2007-10-09 2011-07-13 東京エレクトロン株式会社 塗布膜除去方法
DE102012103330A1 (de) 2012-03-29 2013-10-02 solar-semi GmbH Vorrichtung zum Entfernen einer Beschichtung von einem Substrat und Verfahren

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4846629B2 (ja) カーテン塗布装置及びカーテン塗布方法
JP6008929B2 (ja) インクミスト回収装置、インクジェット記録装置、およびインクミスト回収方法
CN102029793B (zh) 喷墨用的擦拭装置、以及使用该装置的擦拭方法
CN102196918B (zh) 喷墨记录装置
JP6283911B2 (ja) ワイプ装置、インクジェット装置、および、ワイプ方法
JP2011088103A (ja) 液滴吐出装置
JP2015083372A5 (enExample)
CN103286445B (zh) 一种激光精密加工设备除尘系统
US10926429B2 (en) Systems and methods for shaping materials
EP1787816A3 (en) Inkjet recording apparatus with ink mist removal arrangement
BR112013010030B1 (pt) Câmara de processo, instalação de secagem e processo para operação de uma câmara de processo
JP2008522827A (ja) 滴下がなくかつ清潔な圧延ストリップを製造するための圧延機の出口においてストリップを吹払い洗浄するための方法および装置
CN104070798A (zh) 液体喷出装置
JP5540032B2 (ja) ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法
SE511999C2 (sv) Sätt och anordning för sprutbeläggning
JP2756341B2 (ja) インクジェット記録装置
JP2004122787A (ja) 印刷材料の乾燥装置
EP3162583B1 (en) Liquid discharge apparatus
JP5306769B2 (ja) フィルム状物の表面処理装置
JP2024526780A (ja) 角形の基板からコーティングを除去するための装置
CN103552377A (zh) 喷墨印刷装置及涂覆配向膜的方法
JP2004284058A (ja) インクジェット記録装置
US20160279949A1 (en) Liquid ejecting apparatus
JP2003300001A5 (enExample)
JP2002282765A (ja) 塗布液の除去方法及び塗布液の除去装置