JP2024046956A - 配線回路基板 - Google Patents

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Abstract

【課題】配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる配線回路基板を提供する。【解決手段】配線回路基板1は、絶縁層12と、厚み方向における第1絶縁層12の一方側に配置される導体パターン13と、厚み方向における第1絶縁層12の他方側に配置される金属支持層11とを備える。金属支持層11は、導体パターン13の端子131A,131B,131Cを支持する端子支持部111Aと、導体パターン13の配線133Aを支持する配線支持部112Aと、導体パターン13の配線133Bを支持する配線支持部112Bとを有する。配線支持部112A,112Bのそれぞれの厚みT2は、端子支持部111Aの厚みT1よりも薄い。【選択図】図2

Description

本発明は、配線回路基板に関する。
従来、ヒートシンクとして機能する金属系支持層を備える配線回路基板において、第1連結体と、第1連結体から離れて配置される第2連結体と、第1連結体と第2連結体との間に配置され、互いに間隔を隔てて並ぶ複数の配線体とを設けて、放熱性の向上を図ることが提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。
特開2019-212656号公報
上記した特許文献1に記載されるような配線回路基板において、配線体が第1連結体と第2連結体との間で動いた場合、配線体の金属系支持層が周囲の部材と接触してしまう可能性がある。
本発明は、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる配線回路基板を提供する。
本発明[1]は、絶縁層と、前記厚み方向における前記絶縁層の一方側に配置され、第1端子と、第2端子と、前記第1端子と接続される第1配線と、前記第2端子と接続され、前記第1配線と間隔を隔てて並ぶ第2配線とを有する導体パターンと、前記厚み方向における前記絶縁層の他方側に配置され、前記第1端子および前記第2端子を支持する端子支持部と、前記第1配線を支持する第1配線支持部と、前記第2配線を支持し、前記第1配線支持部と間隔を隔てて並ぶ第2配線支持部とを有する金属支持層とを備え、前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれの厚みが、前記端子支持部の厚みよりも薄い、配線回路基板を含む。
このような構成によれば、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれの厚みが、端子支持部の厚みよりも薄い。
そのため、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
本発明[2]は、前記金属支持層が、第1金属支持層と、前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層とを有し、前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれの前記第2金属支持層の厚みが、前記端子支持部の前記第2金属支持層の厚みよりも薄い、上記[1]の配線回路基板を含む。
このような構成によれば、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれの第2金属支持層の厚みを端子支持部の第2金属支持層の厚みよりも薄くすることにより、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれの厚みを端子支持部の厚みよりも薄くして、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
本発明[3]は、前記端子支持部が、第1金属支持層と、前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層とを有し、前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれが、前記第1金属支持層を有し、前記第2金属支持層を有さない、上記[1]の配線回路基板を含む。
このような構成によれば、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれに第2金属支持層を設けないことにより、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれの厚みを端子支持部の厚みよりも薄くして、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
本発明[4]は、前記端子支持部が、第1金属支持層と、前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層と、前記厚み方向において前記第2金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第3金属支持層とを有し、前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれが、前記第1金属支持層および前記第3金属支持層を有し、前記第2金属支持層を有さない、上記[1]の配線回路基板を含む。
このような構成によれば、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれに第2金属支持層を設けないことにより、第1配線支持部および第2配線支持部のそれぞれの厚みを端子支持部の厚みよりも薄くして、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
本発明の配線回路基板によれば、配線支持部が周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
図1は、本発明の一実施形態としての配線回路基板の平面図である。 図2Aは、図1に示す配線回路基板のA-A断面図である。図2Bは、図1に示す配線回路基板のB-B断面図である。 図3は、図1に示す配線回路基板の裏面図である。 図4Aから図4Dは、配線回路基板の製造方法を示す工程図であって、図4Aは、準備工程を示し、図4Bは、第1パターン工程を示し、図4Cは、第2パターン工程を示し、図4Dは、第3パターン工程を示す。 図5Aから図5Cは、配線回路基板の製造方法を示す工程図であって、図4Dに続き、図5Aは、薄層化工程を示し、図5Bは、密着層形成工程を示し、図5Cは、堆積工程を示し、図5Dは、エッチング工程を示す。 図6は、図5Aに示す薄層化工程におけるエッチングレジストの配置を説明するための説明図である。 図7は、変形例(1)の配線回路基板の断面図であって、図1に示すA-A線に相当する断面図である。 図8Aおよび図8Aは、図7に示す配線回路基板の製造方法を説明するための説明図であって、図8Aは、エッチング工程を示し、図8Bは、堆積工程を示す。 図9は、図8Aに示すエッチング工程におけるエッチングレジストの配置を説明するための説明図である。 図10は、変形例(2)の配線回路基板の断面図であって、図1に示すA-A線に相当する断面図である。 図11Aから図11Eは、図10に示す配線回路基板の製造方法を示す工程図であって、図11Aは、準備工程を示し、図11Bは、金属層形成工程を示し、図11Cは、第1パターン工程を示し、図11Dは、第2パターン工程を示し、図11Eは、第3パターン工程を示す。 図12Aから図12Dは、配線回路基板の製造方法を示す工程図であって、図11Eに続き、図12Aは、除去工程を示し、図12Bは、密着層形成工程を示し、図12Cは、堆積工程を示し、図12Dは、エッチング工程を示す。 図13は、図12Aに示す除去工程におけるエッチングレジストの配置を説明するための説明図である。 図14Aは、変形例(3)の配線回路基板の製造方法におけるエッチング工程を説明する説明図である。図14Bは、変形例(3)の配線回路基板の製造方法によって得られた配線回路基板の断面図であり、図1のB-B線に相当する断面図である。 図15Aは、変形例(4)の配線回路基板の製造方法における密着層形成工程を説明する説明図である。図15Bは、変形例(4)の配線回路基板の製造方法における堆積工程を説明する説明図である。
1.配線回路基板
図1から図3を参照して、配線回路基板1について説明する。
図1に示すように、配線回路基板1は、2つの端子配置部2A,2Bと、複数の接続部3A,3B,3Cとを有する。端子配置部2A,2Bは、第1方向において、互いに間隔を隔てて配置される。第1方向は、配線回路基板1の厚み方向と直交する。端子配置部2A,2Bのそれぞれは、第2方向に延びる。第2方向は、第1方向および厚み方向の両方と直交する。端子配置部2Aには、後述する導体パターン13の端子131A,131B,131Cが配置される。端子配置部2Bには、後述する導体パターン13の端子132A,132B,132Cが配置される。
接続部3A,3B,3Cは、端子配置部2Aと端子配置部2Bとを繋ぐ。接続部3A,3B,3Cは、第1方向において、端子配置部2Aと端子配置部2Bとの間に配置される。本実施形態では、接続部3A,3B,3Cのそれぞれは、第1方向に延びる。第1方向における接続部3A,3B,3Cのそれぞれの一端部は、端子配置部2Aと接続される。第1方向における接続部3A,3B,3Cのそれぞれの他端部は、端子配置部2Bと接続される。なお、接続部3A,3B,3Cのそれぞれの形状は、限定されない。接続部3A,3B,3Cのそれぞれは、直線形状であってもよいし、湾曲していてもよい。接続部3A,3B,3Cは、第2方向において、互いに間隔を隔てて並ぶ。言い換えると、接続部3A,3B,3Cは、接続部3Aが延びる方向と直交する方向において、互いに間隔を隔てて並ぶ。接続部3Aには、後述する導体パターン13の配線133Aが配置される。接続部3Bには、後述する導体パターン13の配線133Bが配置される。接続部3Cには、後述する導体パターン13の配線133Cが配置される。
接続部3A,3B,3Cのそれぞれの幅W0は、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。幅W0は、例えば、10μm以上、好ましくは、50μm以上である。
なお、「幅」とは、接続部が延びる方向と厚み方向との両方と直交する方向における最大の長さである。例えば、接続部3Aの「幅」とは、接続部3Aが延びる方向と厚み方向との両方と直交する方向における最大の長さである。本実施形態では、「幅」とは、第2方向における最大の長さである。
接続部3A,3B,3Cのそれぞれの間隔D1は、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。間隔D1は、例えば、5μm以上、好ましくは、10μm以上である。
図2Aおよび図2Bに示すように、配線回路基板1は、金属支持層11と、絶縁層の一例としての第1絶縁層12と、導体パターン13と、第2絶縁層14とを備える。
(1)金属支持層
金属支持層11は、第1絶縁層12、導体パターン13とおよび第2絶縁層14を支持する。金属支持層11は、厚み方向において、第1絶縁層12の他方側に配置される。
図3に示すように、金属支持層11は、2つの端子支持部111A,111Bと、複数の配線支持部112A,112B,112Cとを有する。
端子支持部111Aは、端子配置部2A(図1参照)の金属支持層11である。端子支持部111Aは、導体パターン13のうちの少なくとも端子131A,131B,131Cを支持する。端子支持部111Aは、導体パターン13のうちの配線133A,133B,133Cのそれぞれの一部を支持してもよい。
端子支持部111Bは、端子配置部2B(図1参照)の金属支持層11である。端子支持部111Bは、第1方向において、端子支持部111Aと間隔を隔てて配置される。端子支持部111Bは、導体パターン13のうちの少なくとも端子132A,132B,132Cを支持する。端子支持部111Bは、導体パターン13のうちの配線133A,133B,133Cのそれぞれの一部を支持してもよい。
配線支持部112Aは、接続部3A(図1参照)の金属支持層11である。配線支持部112Aは、端子支持部111Aと端子支持部111Bとを繋ぐ。配線支持部112Aは、第1方向において、端子支持部111Aと端子支持部111Bとの間に配置される。配線支持部112Aは、第1方向に延びる。第1方向における配線支持部112Aの一端部は、端子支持部111Aと接続される。第1方向における配線支持部112Aの他端部は、端子支持部111Bと接続される。配線支持部112Aは、配線133A(図1参照)を支持する。
配線支持部112Bは、接続部3B(図1参照)の金属支持層11である。配線支持部112Bは、端子支持部111Aと端子支持部111Bとを繋ぐ。配線支持部112Bは、第1方向において、端子支持部111Aと端子支持部111Bとの間に配置される。配線支持部112Bは、第1方向に延びる。第1方向における配線支持部112Bの一端部は、端子支持部111Aと接続される。第1方向における配線支持部112Bの他端部は、端子支持部111Bと接続される。配線支持部112Bは、配線133B(図1参照)を支持する。配線支持部112Bは、第2方向において、配線支持部112Aと間隔を隔てて並ぶ。
配線支持部112Cは、接続部3C(図1参照)の金属支持層11である。配線支持部112Cは、端子支持部111Aと端子支持部111Bとを繋ぐ。配線支持部112Cは、第1方向において、端子支持部111Aと端子支持部111Bとの間に配置される。配線支持部112Cは、第1方向に延びる。第1方向における配線支持部112Cの一端部は、端子支持部111Aと接続される。第1方向における配線支持部112Cの他端部は、端子支持部111Bと接続される。配線支持部112Cは、配線133C(図1参照)を支持する。配線支持部112Cは、第2方向において、配線支持部112Bと間隔を隔てて並ぶ。
図2Aに示すように、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT1は、端子支持部111A,111Bのそれぞれの厚みT2よりも薄い。厚みT1は、例えば、10μm以上、好ましくは、50μm以上であり、例えば、250μm以下、好ましくは、200μm以下である。厚みT2は、例えば、20μm以上、好ましくは、50μm以上であり、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。厚みT1が厚みT2よりも薄いため、配線支持部112A,112B,112Cは、端子支持部111A,111Bよりも周囲の部材と接触しにくい。そのため、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
図2Aおよび図2Bに示すように、金属支持層11は、複数の金属層からなる。本実施形態では、金属支持層11は、複数の金属層として、第1金属支持層11Aと、第2金属支持層11Bと、密着層11Cとを有する。
(1-1)第1金属支持層
第1金属支持層11Aは、厚み方向において、第1絶縁層12から離れて配置される。第1金属支持層11Aは、金属からなる。第1金属支持層11Aの材料として、例えば、銅、ニッケル、コバルト、鉄、および、これらの合金が挙げられる。合金として、例えば、銅合金が挙げられる。第1金属支持層11Aの材料として、好ましくは、銅合金が挙げられる。
端子支持部111A,111B、および、配線支持部112A,112B,112Cにおいて、第1金属支持層11Aの厚みT11は、例えば、10μm以上、好ましくは、50μm以上であり、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。好ましくは、端子支持部111A,111Bの第1金属支持層11Aの厚みは、配線支持部112A,112B,112Cの第1金属支持層11Aの厚みと同じである。なお、「同じ」とは、互いの寸法に差が全く無い場合だけでなく、許容できる寸法公差の範囲内で寸法に差が生じている場合も、「同じ」とみなすという意味である。
第1金属支持層11Aは、好ましくは、第2金属支持層11Bよりも厚い。詳しくは、配線支持部112A,112B,112Cにおいて、第2金属支持層11Bの厚みT122に対する第1金属支持層11Aの厚みT11の比率(T11/T122)は、例えば、1.5以上、好ましくは、2以上、より好ましくは、4以上であり、例えば、20以下、好ましくは、10以下である。
図2Bに示すように、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第1金属支持層11Aの幅W1は、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第1金属支持層11Aの幅W1は、好ましくは、接続部3A,3B,3Cのそれぞれの幅W0(図1参照)よりも狭い。配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第1金属支持層11Aの幅W1は、例えば、5μm以上、好ましくは、10μm以上である。
配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれにおいて、第1金属支持層11Aの幅W1に対する第1金属支持層11Aの厚みT11の比率(T11/W1)は、例えば、1以上、好ましくは、5以上である。比率(T11/W1)が上記下限値以上であると、放熱性の向上を図ることができる。比率(T11/W1)は、例えば、30以下、好ましくは、10以下である。比率(T11/W1)が上記上限値以下であると、支持強度の低下を抑制できる。
配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第1金属支持層11Aの間隔D2は、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。間隔D2は、例えば、5μm以上、好ましくは、10μm以上である。間隔D2は、好ましくは、間隔D1よりも長い。間隔D2が間隔D1よりも長いことにより、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの間からの放熱性を確保できる。
(2)第2金属支持層
図2Aに示すように、第2金属支持層11Bは、厚み方向において、第1絶縁層12の他方側に配置される。第2金属支持層11Bは、厚み方向における第1絶縁層12の他方面上に配置される。第2金属支持層11Bは、厚み方向において、第1金属支持層11Aと第1絶縁層12との間に配置される。第2金属支持層11Bは、金属からなる。第2金属支持層11Bの材料として、例えば、銅、銅合金、ステンレス、ニッケル、チタン、および42アロイが挙げられる。第2金属支持層11Bの材料は、第1金属支持層11Aの材料と同じでもよく、異なっていてもよい。第2金属支持層11Bの材料として、好ましくは、銅合金が挙げられる。
端子支持部111A,111Bのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT121は、例えば、5μm以上、好ましくは、10μm以上であり、例えば、100μm以下、好ましくは、50μm以下である。
配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT122は、端子支持部111A,111Bのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT121よりも薄い。配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT122は、例えば、1μm以上、好ましくは、5μm以上であり、例えば、50μm以下、好ましくは、20μm以下である。
厚みT121に対する厚みT122の比率(T122/T121)は、例えば、0.1以上、好ましくは、0.2以上であり、例えば、1以下、好ましくは、0.5以下である。
図2Bに示すように、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの幅W2は、例えば、300μm以下、好ましくは、250μm以下である。配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの幅W2は、好ましくは、接続部3A,3B,3Cのそれぞれの幅W0以下である。
配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの幅W2は、例えば、10μm以上、好ましくは、50μm以上である。
配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれにおいて、第2金属支持層11Bの幅W2は、第1金属支持層11Aの幅W1よりも広い。
(3)密着層
図2Aに示すように、密着層11Cは、必要により、厚み方向において、第1金属支持層11Aと第2金属支持層11Bとの間に配置される。密着層11Cは、厚み方向において、第2金属支持層11Bの他方面上に配置される。密着層11Cは、厚み方向において、第1金属支持層11Aの一方面と接触する。密着層11Cは、第2金属支持層11Bに対する第1金属支持層11Aの密着性を確保する。密着層11Cは、金属からなる。密着層11Cの材料として、例えば、銅、クロム、ニッケル、および、コバルトが挙げられる。
密着層11Cの厚みは、例えば、0.05μm以上、好ましくは、0.1μm以上であり、例えば、50μm以下、好ましくは、10μm以下である。
(4)絶縁層
第1絶縁層12は、厚み方向において、第2金属支持層11Bの一方側に配置される。第1絶縁層12は、厚み方向において、第2金属支持層11Bの一方面上に配置される。第1絶縁層12は、第2金属支持層11Bと導体パターン13との間に配置される。第1絶縁層12は、第2金属支持層11Bと導体パターン13とを絶縁する。第1絶縁層12は、樹脂からなる。樹脂として、例えば、ポリイミド、マレイミド、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール、および、ポリエステルが挙げられる。
(5)導体パターン
導体パターン13は、厚み方向において、第1絶縁層12の一方側に配置される。導体パターン13は、厚み方向における第1絶縁層12の一方面上に配置される。導体パターン13は、厚み方向において、第1絶縁層12に対して、金属支持層11の反対側に配置される。導体パターン13は、金属からなる。金属として、例えば、銅、銀、金、鉄、アルミニウム、クロム、および、それらの合金が挙げられる。良好な電気特性を得る観点から、好ましくは、銅が挙げられる。導体パターン13の形状は、限定されない。
図1に示すように、導体パターン13は、複数の端子131A,131B,131Cと、複数の端子132A,132B,132Cと、複数の配線133A,133B,133Cとを有する。
端子131A,131B,131Cは、端子配置部2Aに配置される。端子131A,131B,131Cのそれぞれは、角ランド形状を有する。端子131A,131B,131Cは、互いに間隔を隔てて第2方向に並ぶ。
端子132A,132B,132Cは、端子配置部2Bに配置される。端子132A,132B,132Cのそれぞれは、角ランド形状を有する。端子132A,132B,132Cは、互いに間隔を隔てて第2方向に並ぶ。
配線133Aは、端子131Aと端子132Aとを電気的に接続する。配線133Aの一端部は、端子131Aと接続される。配線133Aの他端部は、端子132Aと接続される。配線133Aの少なくとも一部は、接続部3Aに配置される。
配線133Bは、端子131Bと端子132Bとを電気的に接続する。配線133Bの一端部は、端子131Bと接続される。配線133Bの他端部は、端子132Bと接続される。配線133Bの少なくとも一部は、接続部3Bに配置される。配線133Bは、第2方向において、配線133Aと間隔を隔てて並ぶ。
配線133Cは、端子131Cと端子132Cとを電気的に接続する。配線133Cの一端部は、端子131Cと接続される。配線133Cの他端部は、端子132Cと接続される。配線133Cの少なくとも一部は、接続部3Cに配置される。配線133Cは、第2方向において、配線133Bと間隔を隔てて並ぶ。
(6)第2絶縁層
図2Bに示すように、第2絶縁層14は、全ての配線133A,133B,133Cを覆う。第2絶縁層14は、厚み方向において、第1絶縁層12の上に配置される。なお、第2絶縁層14は、図1および図2Aに示すように、端子131A,131B,131C、および、端子132A,132B,132Cを覆わない。第2絶縁層14は、樹脂からなる。樹脂としては、例えば、ポリイミド、マレイミド、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール、および、ポリエステルが挙げられる。
2.配線回路基板の製造方法
次に、図4Aから図6を参照して、配線回路基板1の製造方法について説明する。
配線回路基板1の製造方法は、準備工程(図4A参照)と、第1パターニング工程(図4B参照)と、第2パターニング工程(図4C参照)と、第3パターニング工程(図4D参照)と、薄層化工程(図5A参照)と、密着層形成工程(図5B参照)と、堆積工程(図5C参照)と、エッチング工程(図5D参照)とを含む。なお、密着層形成工程は、必要により実施される。
(1)準備工程
図4Aに示すように、準備工程では、基材Sを準備する。本実施形態では、基材Sは、金属箔のロールから引き出された金属箔である。基材Sの材料は、第2金属支持層11B(図2B参照)の材料と同じである。
(2)第1パターニング工程
図4Bに示すように、第1パターニング工程では、厚み方向における基材Sの一方側に、第1絶縁層12を形成する。第1パターニング工程では、厚み方向における基材Sの一方面上に、第1絶縁層12を形成する。
第1絶縁層12を形成するには、まず、基材Sの上に感光性樹脂の溶液(ワニス)を塗布して乾燥し、感光性樹脂の塗膜を形成する。次に、感光性樹脂の塗膜を露光および現像する。これにより、第1絶縁層12が、基材Sの上に、所定のパターンで形成される。
(3)第2パターニング工程
図4Cに示すように、第2パターニング工程では、電解メッキにより、厚み方向における第1絶縁層12の一方側に、導体パターン13を形成する。
詳しくは、まず、第1絶縁層12および基材Sの表面にシード層を形成する。シード層は、例えば、スパッタリングにより形成される。シード層の材料としては、例えば、クロム、銅、ニッケル、チタン、および、これらの合金が挙げられる。
次に、シード層が形成された第1絶縁層12および基材Sの上に、メッキレジストを貼り合わせて、導体パターン13が形成される部分を遮光した状態で、メッキレジストを露光する。
次に、露光されたメッキレジストを現像する。すると、遮光された部分のメッキレジストが除去され、導体パターン13が形成される部分にシード層が露出する。なお、露光された部分、すなわち、導体パターン13が形成されない部分のメッキレジストは、残る。
次に、露出したシード層の上に、電解メッキにより、導体パターン13を形成する。
電解メッキが終了した後、メッキレジストは、剥離される。その後、メッキレジストによって覆われていたシード層を、エッチングにより除去する。
(4)第3パターニング工程
次に、図4Dに示すように、第3パターニング工程では、第1絶縁層12および導体パターン13の上に、第1絶縁層12と同様にして、第2絶縁層14を形成する。
以上により、厚み方向における基材Sの一方面上に回路パターンが形成される。なお、第3パターニング工程の後、密着層形成工程の前に、端子131A,131B,131C、および、端子132A,132B,132Cを保護するための図示しない端子保護レジストを形成する。端子保護レジストは、端子配置部2A,2Bが形成される部分に形成され、エッチング工程(図5D参照)が終了するまで剥離されない。
(5)薄層化工程
次に、図5Aに示すように、薄層化工程では、堆積工程の前に、基材Sの厚みを薄くする。堆積工程の前に密着層形成工程を実施する場合、薄層化工程は、密着層形成工程の前に実施される。
薄層化工程では、図6に示すように、基材Sのうち、端子支持部111A,111Bが形成される第1領域A1の厚みを薄くせずに、配線支持部112A,112B,112Cが形成される第2領域A2の厚みを薄くする。言い換えると、基材Sは、端子支持部111A,111Bが形成される第1領域A1と、配線支持部112A,112B,112Cが形成される第2領域A2とを有し、薄層化工程では、第1領域A1の厚みを薄くせずに、第2領域A2の厚みを薄くする。
詳しくは、薄層化工程において、まず、厚み方向における基材Sの一方面に、回路パターンの全部を覆うようにメッキレジストR1を形成し、厚み方向における基材Sの他方面に、第1領域A1を覆い、第2領域A2を露出するように、エッチングレジストR2を形成する。次に、厚み方向における基材Sの他方側から、基材Sの第2領域A2を、ウェットエッチングする。これにより、基材Sの第2領域A2の厚みを薄くする。
その後、メッキレジストR1を剥離しないで、エッチングレジストR2を剥離する。
(6)密着層形成工程
次に、図5Bに示すように、密着層形成工程では、堆積工程の前に、厚み方向における基材Sの他方面上に、密着層11Cを形成する。
密着層13は、例えば、電解メッキまたはスパッタリングにより形成される。密着層13を電解メッキにより形成する場合、メッキレジストR1を剥離しないで、電解メッキにより、厚み方向における基材Sの他方面全部に、密着層11Cを形成する。密着層13をスパッタリングにより形成する場合、上記した密着層13の材料からなるターゲットを用いて、スパッタリングにより、厚み方向における基材Sの他方面全部に、密着層13を形成する。
(7)堆積工程
次に、図5Cに示すように、堆積工程では、第2パターニング工程の後、厚み方向における基材Sの他方側に金属を堆積させて、第1金属支持層11Aを形成する。詳しくは、密着層11Cの上に第1金属支持層11Aを形成する。堆積工程では、例えば、電解メッキによって金属を堆積させて、第1金属支持層11Aを形成する。
詳しくは、メッキレジストR1を剥離しないで、まず、密着層11Cの上に、メッキレジストR3を貼り合わせて、第1金属支持層11Aが形成される部分を遮光した状態で、メッキレジストR3を露光する。
次に、露光されたメッキレジストR3を現像する。すると、遮光された部分のメッキレジストが除去され、第1金属支持層11Aが形成される部分に密着層11Cが露出する。なお、露光された部分、すなわち、第1金属支持層11Aが形成されない部分のメッキレジストR3は、残る。
次に、露出した密着層11Cの上に、電解メッキにより、金属を堆積させる。これにより、密着層11Cの上に第1金属支持層11Aが形成される。
(8)エッチング工程
次に、図5Dに示すように、エッチング工程では、堆積工程の後、基材Sをエッチングして、第2金属支持層12を形成する。
詳しくは、メッキレジストR3を剥離しないで、メッキレジストR1を剥離して、厚み方向における基材Sの一方側から、基材Sおよび密着層11Cをウェットエッチングする。
すると、第1絶縁層12、第2絶縁層14、および、端子保護レジストがエッチングマスクとして機能し、第1絶縁層12、第2絶縁層14、および、端子保護レジストが形成されていない部分の基材Sおよび密着層11Cが、除去される。
これにより、第2金属支持層11Bが形成される。
その後、メッキレジストR3が剥離される。
3.作用効果
(1)配線回路基板1によれば、図2Aに示すように、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT2が、端子支持部111A,111Bの厚みT1よりも薄い。
そのため、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
例えば、配線回路基板1が電子装置に実装された状態では、配線支持部112Aが固定された状態で、配線支持部112Bが移動する場合がある。このとき、配線支持部112A,112B,112Cが、配線支持部112Bの移動に従って移動して、周囲の部材と接触してしまう可能性がある。
しかし、配線回路基板1では、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT2が端子支持部111A,111Bの厚みT1よりも薄いので、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
(2)配線回路基板1によれば、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT122が、端子支持部111A,111Bの第2金属支持層11Bの厚みT121よりも薄い。
そのため、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの第2金属支持層11Bの厚みT122を端子支持部111A,111Bの第2金属支持層11Bの厚みT121よりも薄くすることにより、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT2を端子支持部111A,111Bの厚みT1よりも薄くして、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
4.変形例
次に、変形例について説明する。変形例において、上記した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。
(1)図7に示すように、端子支持部111A,111Bが第1金属支持層11Aと第2金属支持層11Bとを有し、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれが第1金属支持層11Aを有し、第2金属支持層11Bを有さなくてもよい。
変形例(1)の配線回路基板1によれば、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれに第2金属支持層11Bを設けないことにより、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT2を端子支持部111A,111Bの厚みT1よりも薄くして、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
変形例(1)の配線回路基板1を製造するには、例えば、上記した薄層化工程(図5Aおよび図6参照)を実施せず、密着層形成工程(図5B)の後に、エッチング工程を実施する。
詳しくは、変形例(1)の配線回路基板1の製造方法は、準備工程(図4A参照)と、第1パターニング工程(図4B参照)と、第2パターニング工程(図4C参照)と、第3パターニング工程(図4D参照)と、密着層形成工程(図5B参照)と、エッチング工程(8A参照)と、堆積工程(図8B参照)とを含む。なお、密着層形成工程は、必要により実施される。
エッチング工程では、まず、図9に示すように、基材Sの両面にエッチングレジストR11を形成する。エッチングレジストR11は、基材Sのうち、端子支持部111A,111Bが形成される第1領域A1を覆い、配線支持部112A,112B,112Cが形成される第2領域A2を覆わない。
次に、厚み方向における基材Sの両側から、基材Sの第2領域A2をウェットエッチングする。
すると、第1絶縁層12、第2絶縁層14、および、エッチングレジストR11がマスクとして機能し、第2領域A2の基材Sおよび密着層11Cが除去される。なお、エッチング工程では、図8Aに示すように、第2領域A2の基材Sおよび密着層11Cを完全に除去する。これにより、第1領域A2に第2金属支持層11Bが形成され、第2領域A2には、第2金属支持層11Bが形成されない。
次に、図8Bに示すように、堆積工程を実施する。
詳しくは、まず、エッチングレジストR11(図9参照)を剥離しないで、エッチング工程によって露出した第1絶縁層12の厚み方向他方面に、シード層を形成する。シード層は、例えば、スパッタリングにより形成される。シード層の材料としては、例えば、クロム、銅、ニッケル、チタン、および、これらの合金が挙げられる。
シード層が形成された後、エッチングレジストR11は、剥離される。
次に、第1絶縁層12および第2金属支持層11Bの上に、シード層および密着層11Cを覆うようにメッキレジストR12を貼り合わせて、第1金属支持層11Aが形成される部分を遮光した状態で、メッキレジストR12を露光する。
次に、露光されたメッキレジストR12を現像する。すると、遮光された部分のメッキレジストR12が除去され、第1金属支持層11Aが形成される部分に、シード層または密着層11Cが露出する。なお、露光された部分、すなわち、第1金属支持層11Aが形成されない部分のメッキレジストR12は、残る。
なお、厚み方向におけるメッキレジスト12の一方側には、回路パターンの全部を覆うように、メッキレジストR13が形成される。
次に、露出したシード層または密着層11Cの上に、電解メッキにより、金属を堆積させる。これにより、シード層の上に第1金属支持層11Aが形成される。
その後、メッキレジストR12,R13を剥離し、メッキレジストR12によって覆われていたシード層を、エッチングにより除去する。
これにより、変形例(1)の配線回路基板を得る。
(2)図10に示すように、端子支持部111A,111Bが、第1金属支持層11Aと、第2金属支持層11Bと、厚み方向において第2金属支持層11Bと絶縁層との間に配置される第3金属支持層11Dとを有し、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれが、第1金属支持層11Aおよび第3金属支持層11Dを有し、第2金属支持層11Bを有さなくてもよい。
変形例(2)の配線回路基板1も、変形例(1)の配線回路基板1と同様に、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれに第2金属支持層11Bを設けないことにより、配線支持部112A,112B,112Cのそれぞれの厚みT1を端子支持部111A,111Bの厚みT2よりも薄くして、配線支持部112A,112B,112Cが周囲の部材と接触してしまうことを抑制できる。
変形例(2)の配線回路基板1の製造方法は、準備工程(図11A参照)と、金属層形成工程(図11B参照)と、第1パターニング工程(図11C参照)と、第2パターニング工程(図11D参照)と、第3パターニング工程(図11E参照)と、除去工程(図12A参照)と、密着層形成工程(図12B参照)と、堆積工程(図12C参照)と、エッチング工程(図12D参照)とを含む。なお、密着層形成工程は、必要により実施される。
図11Aに示すように、準備工程では、上記した実施形態の準備工程と同様に、基材Sを準備する。
次に、図11Bに示すように、金属層形成工程では、厚み方向における基材Sの一方側に、金属層Mを形成する。金属層Mは、基材Sと異なる金属からなる。金属層Mの材料として、例えば、ニッケル、クロム、コバルト、タングステン、および、チタンが挙げられる。
金属層Mは、例えば、電解メッキまたはスパッタリングにより形成される。金属層Mを電解メッキにより形成する場合、厚み方向における基材Sの他方面にメッキレジストを形成し、電解メッキにより、厚み方向における基材Sの一方面全部に、金属層Mを形成する。電解メッキが終了した後、メッキレジストを剥離する。金属層Mをスパッタリングにより形成する場合、上記した金属層Mの材料からなるターゲットを用いて、スパッタリングにより、厚み方向における基材Sの一方面全部に、金属層Mを形成する。
次に、図11Cに示すように、第1パターニング工程では、厚み方向における金属層Mの一方面上に、上記した実施形態の第1パターニング工程と同様にして、第1絶縁層12を形成する。
次に、図11Dに示すように、第2パターニング工程では、上記した実施形態の第2パターニング工程と同様にして、厚み方向における第1絶縁層12の一方側に、導体パターン13を形成する。
次に、図11Eに示すように、第3パターニング工程では、上記した実施形態の第3パターニング工程と同様にして、第1絶縁層12および導体パターン13の上に、第1絶縁層12と同様にして、第2絶縁層14を形成する。
次に、図12Aに示すように、除去工程では、第2パターニング工程の後、基材Sを除去して、金属層Mの少なくとも一部を露出させる。
基材Sを除去するには、図13に示すように、まず、回路パターンの全部を覆うように、厚み方向における金属層Mの一方面にメッキレジストR21を形成し、第1領域A1を覆い、第2領域A2を露出するように、厚み方向における基材Sの他方面にエッチングレジストR22を形成する。次に、厚み方向における基材Sの他方側から、基材Sの第2領域A2を、ウェットエッチングする。これにより、基材Sの第2領域A2を除去する。
ウェットエッチングでは、基材Sを溶解し、金属層Mを溶解しないエッチング液が使用される。例えば、基材Sが銅合金からなり、金属層Mがニッケルまたはクロムからなる場合、エッチング液として、塩化第二鉄溶液が使用される。
次に、図12Bに示すように、密着層形成工程では、上記した実施形態の密着層形成工程と同様にして、堆積工程の前に、厚み方向における金属層Mの他方面上に、密着層11Cを形成する。
次に、図12Cに示すように、堆積工程では、上記した実施形態の堆積工程と同様にして、密着層11Cの上に第1金属支持層11Aを形成する。
次に、図12Dに示すように、エッチング工程では、堆積工程の後、上記した実施形態のエッチング工程と同様にして、金属層Mをエッチングして、第3金属支持層11Dを形成する。
これにより、変形例(2)の配線回路基板を得る。
(3)エッチング工程後の第2金属支持層11Bの形状は、限定されない。エッチング工程後の第2金属支持層11Bは、例えば、図5Dに示すように、厚み方向において第1金属支持層11Aに近づくにつれて幅が狭くなるテーパ形状を有してもよいし、図14Aに示すように、厚み方向における第2金属支持層11Bの中央部分の幅が、厚み方向における第2金属支持層11Bの一端部および他端部の幅よりも狭くなるくびれ形状を有してもよい。
エッチング工程後の第2金属支持層11Bがくびれ形状を有している場合、図14Bに示すように、厚み方向における第2金属支持層11Bの他端部の幅は、第1金属支持層11Aの幅W1よりも広くてもよい。また、配線回路基板1が密着層11Cを有する場合、密着層11Cの幅は、第1金属支持層11Aの幅W1よりも広くてもよい。
(4)密着層形成工程において、厚み方向における基材S(図5B参照)または、金属層M(図12B参照)の他方面全部に密着層11Cを形成しなくてもよい。密着層11Cは、堆積工程において第1金属支持層11Aが形成される部分に、パターン形成されていてもよい。
詳しくは、図15Aに示すように、密着層形成工程において、メッキレジストR1を剥離しないで、厚み方向における基材S(または金属層M)の他方面に、上記したメッキレジストR3を形成する。
次に、メッキレジストR3から露出した基材S(または金属層M)の他方面上に密着層11Cを形成する。
次に、図15Bに示すように、メッキレジストR1、R3を剥離しないで、密着層11Cの上に金属を堆積させて、密着層11Cの上に第1金属支持層11Aを形成する。
(5)変形例(1)から(4)においても、上記した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
1 配線回路基板
11 金属支持層
12 第1絶縁層(絶縁層の一例)
13 導体パターン
111A 端子支持部
112A 配線支持部(第1配線支持部の一例)
112B 配線支持部(第2配線支持部の一例)
11A 第1金属支持層
11B 第2金属支持層
11D 第3金属支持層
131A 端子(第1端子の一例)
131B 端子(第2端子の一例)
133A 配線(第1配線の一例)
133B 配線(第2配線の一例)
S 基材

Claims (4)

  1. 絶縁層と、
    前記厚み方向における前記絶縁層の一方側に配置され、第1端子と、第2端子と、前記第1端子と接続される第1配線と、前記第2端子と接続され、前記第1配線と間隔を隔てて並ぶ第2配線とを有する導体パターンと、
    前記厚み方向における前記絶縁層の他方側に配置され、前記第1端子および前記第2端子を支持する端子支持部と、前記第1配線を支持する第1配線支持部と、前記第2配線を支持し、前記第1配線支持部と間隔を隔てて並ぶ第2配線支持部とを有する金属支持層と、
    を備え、
    前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれの厚みは、前記端子支持部の厚みよりも薄い、配線回路基板。
  2. 前記金属支持層は、
    第1金属支持層と、
    前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層と
    を有し、
    前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれの前記第2金属支持層の厚みは、前記端子支持部の前記第2金属支持層の厚みよりも薄い、請求項1に記載の配線回路基板。
  3. 前記端子支持部は、
    第1金属支持層と、
    前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層と
    を有し、
    前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれは、前記第1金属支持層を有し、前記第2金属支持層を有さない、請求項1に記載の配線回路基板。
  4. 前記端子支持部は、
    第1金属支持層と、
    前記厚み方向において前記第1金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第2金属支持層と、
    前記厚み方向において前記第2金属支持層と前記絶縁層との間に配置される第3金属支持層と
    を有し、
    前記第1配線支持部および前記第2配線支持部のそれぞれは、前記第1金属支持層および前記第3金属支持層を有し、前記第2金属支持層を有さない、請求項1に記載の配線回路基板。
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