JP2023138901A - 接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
第1基板14を保持する第1保持部18と、第2基板16を保持する第2保持部20と、第1保持部18で第1基板14を保持する保持面と反対側に位置する撮像部22と、第2保持部20に配置され第2基板16を第1基板14側に押圧する押圧部24と、を有する接合装置10であって、撮像部22は、第1光源23を有し、押圧部24は、第2光源34を有し、第1保持部18は、当該第1保持部18を鉛直方向に貫通した光路部28を備え、第2光源34から出射された赤外光が前記光路部28を通って撮像部22に入射可能となる。
【選択図】 図2
Description
12 フレーム
14 第1基板
16 第2基板
18 第1保持部
18A 第1保持面
20 第2保持部
20A 第2保持面
22 撮像部
23 第1光源(光源)
24 押圧部
26 第1駆動機構
28 光路部
30 ステージ
32 第2駆動機構
34 第2光源(光源)
36 第1プレート
38 第2プレート
40 接合面
42 開孔部
44 空間部
46 光源固定部
Claims (3)
- 第1基板を保持する第1保持部と、第2基板を保持する第2保持部と、前記第1保持部で前記第1基板を保持する保持面と反対側に位置する撮像部と、前記第2保持部に配置され前記第2基板を前記第1基板側に押圧する押圧部と、を有する接合装置であって、
前記撮像部は、第1光源を有し、
前記押圧部は、第2光源を有し、
前記第1保持部は、当該第1保持部を鉛直方向に貫通した光路部を備え、前記第2光源から出射された赤外光が前記光路部を通って前記撮像部に入射可能となる、接合装置。 - 前記第2保持部は、相互に分離可能な第1プレートと、第2プレートと、を有し、
前記第1プレートは、鉛直方向に貫通した開孔部を有し、
前記第2プレートは、鉛直方向に貫通した空間部を有し、
前記第1プレートと前記第2プレートが接合したときに、前記開孔部と前記空間部が鉛直方向に連通してひとつの部屋が形成される、請求項1に記載の接合装置。 - 前記押圧部が前記第1プレートの前記開孔部に配置され、前記第2光源が前記第2プレートの前記空間部に配置されている、請求項2に記載の接合装置。
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