JP2016085050A - 外観検査装置 - Google Patents

外観検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016085050A
JP2016085050A JP2014216015A JP2014216015A JP2016085050A JP 2016085050 A JP2016085050 A JP 2016085050A JP 2014216015 A JP2014216015 A JP 2014216015A JP 2014216015 A JP2014216015 A JP 2014216015A JP 2016085050 A JP2016085050 A JP 2016085050A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
calibration
inspection
camera
white balance
reference plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014216015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6353766B2 (ja
Inventor
寧彦 江浪
Yasuhiko Enami
寧彦 江浪
誉生 林田
Yoshio Hayashida
誉生 林田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Plex Co Ltd
Original Assignee
Plex Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Plex Co Ltd filed Critical Plex Co Ltd
Priority to JP2014216015A priority Critical patent/JP6353766B2/ja
Priority to PCT/JP2015/004005 priority patent/WO2016063439A1/ja
Priority to US15/505,235 priority patent/US20170269003A1/en
Priority to EP15853487.5A priority patent/EP3211403B8/en
Priority to DK15853487.5T priority patent/DK3211403T3/da
Publication of JP2016085050A publication Critical patent/JP2016085050A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6353766B2 publication Critical patent/JP6353766B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/10—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths
    • H04N23/12—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from different wavelengths with one sensor only
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/56—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof provided with illuminating means
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
    • H04N23/84—Camera processing pipelines; Components thereof for processing colour signals
    • H04N23/88—Camera processing pipelines; Components thereof for processing colour signals for colour balance, e.g. white-balance circuits or colour temperature control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8835—Adjustable illumination, e.g. software adjustable screen

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Abstract

【課題】常に最適なホワイトバランスで検査を行える外観検査装置を提供する。
【解決手段】カメラ１と検査基準面２と光源３とを備えた外観検査装置Ａにおいて、校正基準板４と、校正基準板４を、カメラ１の撮影領域内にある校正位置と、そこから退避した退避位置との間で進退させる進退機構５と、校正基準板４が校正位置にあるとき、カメラ１にホワイトバランス調整指令を出す制御部６とを備える。外観検査を行っていない非検査時になると制御部６が、進退機構５に対し校正基準板４を校正位置に移動させる駆動指令と光源３の光量を調整する調整指令とホワイトバランス調整指令を出す。このため、人手を介することなく自動的にホワイトバランス調整が行える。
【選択図】図１

Description

本発明は、外観検査装置に関する。さらに詳しくは、カメラの自動校正機能を備えた外観検査装置に関する。
今日、カメラを用いた外観検査装置はあらゆる分野で利用されている。たとえば、リネンサプライ工場の仕上げライン、半導体ウエハの製造ライン、印刷物の検査ライン、基板の製造ラインなどが代表的である。
外観検査装置に用いられるカメラは、実際の光景の光のパワースペクトルをそのまま再現するように撮影する。しかるに、人間の視覚は自然な色合いで対象を見るため、カメラの撮影した映像は自然なものとはならないことがある。
カメラの撮像が人間の眼と同じような自然さがないと、人の眼には異常に写るものでも、カメラによる撮像情報では異常と認識できないことがあるので、正確な外観検査ができない。このためカメラには望んだ色調を得るための補正を行う。この補正をホワイトバランスという。なお、ホワイトバランスとは、純白の被写体をどう写すかという点に代表させて補正することから、そう呼ばれている。
各種の外観検査装置でも、カメラを用いる以上は、ホワイトバランス調整が必要である。このホワイトバランス調整に関しては、つぎの従来技術がある。
特許文献１の従来技術では、ホワイトバランス処理をパソコンで行うことが記載されているが、補正の基準となる被写体（いわゆる校正基準板）をどう扱うかという点については何ら開示がない。
特許文献２の従来技術では、ホワイトバランス処理をワークの表面における反射光の分光特性に基づいて調整することが記載されている。しかし、どの状態のワークを基準とするのか、そのワークをどのように扱うのかという具体的手法は何ら開示していない。
ところで、外観検査装置には撮像素子がライン状に並んだカラーラインカメラが用いられるが、このようなカラーラインカメラのホワイトバランスは、一般的に温度ドリフトや経年変化によって若干変動する。
この場合、ホワイトバランスの失調に気付かないで外観検査を実行し続けると、正確な検査が行えないという問題がある。
特開2009-115681号公報 特開2014-89156号公報
本発明は上記事情に鑑み、常に最適なホワイトバランスで検査を行える外観検査装置を提供することを目的とする。
第１発明の外観検査装置は、カメラと検査基準面と光源とを備えた外観検査装置において、校正基準板と、該校正基準板を、前記カメラの撮影領域内にある校正位置と、そこから退避した退避位置との間で進退させる進退機構と、前記校正基準板が前記校正位置にあるとき、前記カメラにホワイトバランス調整指令を出す制御部とからなることを特徴とする。
第２発明の外観検査装置は、第１発明において、前記制御部が、外観検査を行っていない非検査時になると前記進退機構に対し前記校正基準板を校正位置に移動させる駆動指令を出すことを特徴とする。
第３発明の外観検査装置は、第１または第２発明において、前記制御部が、前記校正基準板が前記校正位置にあるとき、前記光源の光量を調整する調整指令を出すことを特徴とする。
第１発明によれば、進退機構が校正基準板を校正位置に移動させたとき、制御部がカメラにホワイトバランス調整指令を出すので、人手を介することなく自動的にホワイトバランス調整が行える。
第２発明によれば、非検査時になると、制御部が進退機構を作動させて校正基準板を校正位置にもたらすので、人手を介することなく、ホワイトバランス調整が行える。
第３発明によれば、ホワイトバランス調整時に、制御部が光源の光量を調整するよう指示するので、ホワイトバランス調整が正確に行える。
本発明に係る外観検査装置の基本構成説明図である。 本発明の一実施形態に係る外観検査装置の説明図である。 図２における要部拡大図である。
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
図１に基づき本発明の基本構成を説明する。
本発明の外観検査装置は、カメラ１と、このカメラ１の撮像位置に置かれた検査基準面２と、この検査基準面２に光を当てる光源３を備えている。カメラ１と検査基準面２との間の線Ｌは表面検査ラインである。これらの構成は通常の外観検査装置が備えているものである。
なお、前記カメラ１はホワイトバランス調整機能を内蔵している。
光源３は、ＬＥＤや蛍光灯等の発光体とその制御基盤からなる。制御基盤は、通常の検査用光量とホワイトバランス用光量とを切換える機能を内蔵している。
本発明は、上記に加え次の機器を具備している。
４は校正基準板であり、５はその進退機構である。６は制御部であり、ホワイトバランス調整を自動で行うための制御機能を有している。
校正基準板４は、ホワイトバランス調整の基準となる被写体なので、たとえば白色の平坦な板が用いられる。
進退機構５は、校正基準板４を校正位置Ｐ１と、そこから退避した退避位置Ｐ２との間で進退させる駆動装置である。校正基準板４を進退させることができればどのような駆動装置を用いてもよいが、エアシリンダや各種電動アクチュエータなどが軽量の校正基準板４を駆動するのに好適である。
制御部６はコンピュータ等の情報処理装置で構成されている。そして、この制御部６は、つぎの制御機能を有している。
１）カメラ１にホワイトバランス調整指令を出す。
カメラ１にはホワイトバランス調整機能が内蔵されているので、調整指令を出すことで自律的にホワイトバランス調整を行うことができる。
２）進退機構５の進出動作および退避動作の動作指令を出す。
３）光源３の光量の調整。
光源３には光量調節機能が内蔵されているので、調整指令を出すことで自律的にホワイトバランス調整に適した光量に調整することができる。
制御部６には被検査物を送るコンベア７から駆動状態と非駆動状態を区別する識別信号が入力されるようになっている。通常のワーク検査、つまり外観検査を行っているときはコンベア７が駆動しているが、非検査時にはコンベア７が駆動していないので、その非駆動状態を現わす識別信号が入力してくる。この識別信号にはコンベア７の停止でＯＮするスイッチとか、ローラの回転・非回転をとる回転計とか任意のものを用いることができる。
本発明ではコンベア７の非駆動時に制御部６がホワイトバランス調整に必要な諸動作を開始させる。
具体的には、毎日の操業開始の時点、あるいは操業中であっても一連の非検査物の検査後であって次の検査物が来るまでの間などに、コンベア７が止まっている状態が発現する。
この非検査時には、制御部６から自動的に三つの指令信号がでる。
まず進退機構５が退避位置Ｐ２にある校正基準板４を校正位置Ｐ１で進出させる。こうして校正準備が整うと、光源３の光量調整を指令し併せてカメラ１にホワイトバランス調整指令を出す。これにより、適切な光量の下でカメラ１は内蔵の機能に基づいてホワイトバランスを調整する。
ホワイトバランスの調整が終了すると、制御部６は進退機構５に退避信号を出して校正基準板４を退避させる。そして光源３の光量を通常の検査用光量に復帰させ、カメラ１のホワイトバランス調整を終了させる。
以上のようにして、本発明によれば人手を介すことなく自動的にホワイトバランス調整が行える。
つぎに、本発明の一実施形態を図２および図３に基づき説明する。
本実施形態は、リネンサプライ工場の布類用仕上げラインにおける外観検査装置Ａであり、前工程装置Ｂ（アイロン掛け装置など）と後工程装置Ｃ（折り畳み装置など）との間に設置されている。この外観検査装置Ａには、被検査物の表面を検査する表面検査装置Ａ１と裏面を検査する裏面検査装置Ａ２とが含まれている。
外観検査装置Ａの本体内には、前工程装置Ｂから被検査物であるシーツや包布、枕カバーなどの布類を送り込んでくる入側コンベア１０と次工程装置Ｃへ送り出す出側コンベア３０が設けられている。
まず、表面検査装置Ａ１を説明する。
入側コンベア１０の上面には表面検査板１２が設置されている。この表面検査板１２の上面を被検査物である布類が通るとき、この布類の外観検査が行われる。よって、表面検査板１２の上面が特許請求の範囲にいう検査基準面２となる。
前記表面検査板１２の上方には表面検査用カメラ１１が設置されている。この表面検査用カメラ１１は支柱１７の先端に取付けられ、レンズが下を向くようになっている。この表面検査用カメラ１１のレンズと前記表面検査板１２の間は表面検査ラインＬ１が通っている。また、支柱１７の下方部分には光源１３が取付けられている。光源１３は、表面検査板１２の表面に光を照射している。
支柱１７の根元にはブラケットを介して進退機構１５が配置されている。進退機構１５はエアシリンダで構成されており、そのピストンロッドに校正基準板１４が取付けられている。校正基準板１４を前進させると、校正基準板１４が表面検査ラインＬ１を通る位置にもたらされる。この位置が校正位置である。エアシリンダを収縮させ校正基準板１４を引き込めると、退避位置となる。
表面検査装置Ａ１より出側には裏面検査装置Ａ２が配置されている。
入側コンベア１０と出側コンベア３０との間の空間におけるやや上方には透過光光源２０が配置され、前記空間のやや下方には光源２３が配置されている。裏面検査用カメラ２１は外観検査装置本体の側壁に取付けられている。この裏面検査用カメラ２１と透過用光源２３との間の光路は反射鏡２８を介してつなげられている。この光路は表面検査ラインＬ２を構成している。
図２において、裏面検査ラインＬ２には、校正基準板も進退機構も設けられていないが、表面検査装置Ａ１と同様に裏面検査装置Ａ２にも設けることは可能である。
上記第１実施形態の外観検査装置Ａ１によれば制御部６が非検査状態になると、進退機構５を作動させて校正基準板４を校正位置にもたらすので、人手を介することなく、ホワイトバランス調整が行える。制御部６がホワイトバランス調整時に光源３の光量を調整するよう指示するので、ホワイトバランス調整が正確に行える。、進退機構５が校正基準板４を校正位置に移動させたとき、制御部６がカメラ１にホワイトバランス調整指令を出すので、人手を介することなく自動的にホワイトバランス調整が行える。
（他の実施形態）
上記実施形態は、リネンサプライ工場のシーツ仕上げラインに適用したものであったが、本発明は半導体ウエハの製造ライン、印刷物の検査ライン、基板の製造ラインなど様々な技術分野の外観検査装置に適用することができる。
Ａ 外観検査装置
Ａ１ 表面検査装置
Ａ２ 裏面検査装置
１ カメラ
２ 検査基準面
３ 光源
４ 校正基準板
５ 進退機構
６ 制御部
７ コンベア
１０ 入側コンベア
１１ 表面検査用カメラ
１２ 表面検査板
１３ 光源
１４ 校正基準板
１５ 進退機構
２０ 透過光光源
２１ 裏面検査用カメラ
２３ 光源
３０ 出側コンベア

Claims (3)

  1. カメラと検査基準面と光源とを備えた外観検査装置において、
    校正基準板と、
    該校正基準板を、前記カメラの撮影領域内にある校正位置と、そこから退避した退避位置との間で進退させる進退機構と、
    前記校正基準板が前記校正位置にあるとき、前記カメラにホワイトバランス調整指令を出す制御部とからなる
    ことを特徴とする外観検査装置。
  2. 前記制御部が、外観検査を行っていない非検査時になると前記進退機構に対し前記校正基準板を校正位置に移動させる駆動指令を出す
    ことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
  3. 前記制御部が、前記校正基準板が前記校正位置にあるとき、前記光源の光量を調整する調整指令を出す
    ことを特徴とする請求項１または２記載の外観検査装置。
JP2014216015A 2014-10-23 2014-10-23 外観検査装置 Active JP6353766B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014216015A JP6353766B2 (ja) 2014-10-23 2014-10-23 外観検査装置
PCT/JP2015/004005 WO2016063439A1 (ja) 2014-10-23 2015-08-10 外観検査装置
US15/505,235 US20170269003A1 (en) 2014-10-23 2015-08-10 Exterior inspection device
EP15853487.5A EP3211403B8 (en) 2014-10-23 2015-08-10 Exterior inspection device
DK15853487.5T DK3211403T3 (da) 2014-10-23 2015-08-10 Udvendigt inspektionsapparat

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014216015A JP6353766B2 (ja) 2014-10-23 2014-10-23 外観検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016085050A true JP2016085050A (ja) 2016-05-19
JP6353766B2 JP6353766B2 (ja) 2018-07-04

Family

ID=55760503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014216015A Active JP6353766B2 (ja) 2014-10-23 2014-10-23 外観検査装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20170269003A1 (ja)
EP (1) EP3211403B8 (ja)
JP (1) JP6353766B2 (ja)
DK (1) DK3211403T3 (ja)
WO (1) WO2016063439A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018059903A (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 外観検査装置及びその光学系自動キャリブレーション方法
JP7512733B2 (ja) 2020-07-21 2024-07-09 株式会社サタケ 穀粒検査器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019128289A (ja) * 2018-01-25 2019-08-01 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
US10753734B2 (en) 2018-06-08 2020-08-25 Dentsply Sirona Inc. Device, method and system for generating dynamic projection patterns in a confocal camera

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05137693A (ja) * 1991-11-15 1993-06-01 Fuji Photo Optical Co Ltd 電子内視鏡の映像特性測定装置
JPH0625969A (ja) * 1992-07-07 1994-02-01 Toyobo Co Ltd シート状物色差検査装置
JPH06258225A (ja) * 1993-03-05 1994-09-16 Maki Seisakusho:Kk 同軸反射型計測装置の校正方法及び同軸反射型計測装置
JPH10262922A (ja) * 1997-03-25 1998-10-06 Olympus Optical Co Ltd 電子内視鏡装置
WO2000079247A1 (fr) * 1999-06-21 2000-12-28 Kabushikikaisha Kajitsuhihakaihinshitsukenkyujo Dispositif d'inspection de la qualite en ligne par plusieurs lampes laterales
WO2001022062A1 (fr) * 1999-09-24 2001-03-29 Kabushikikaisha Kajitsuhihakaihinshitsu Kenkyujo Appareil de controle en direct d'une partie interne, au moyen de lampes multiples placees sur deux cotes
WO2004011917A1 (en) * 2002-07-29 2004-02-05 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for non-destructive inspection on a patterned surface
JP2004093486A (ja) * 2002-09-03 2004-03-25 Tookai:Kk 欠陥布片検出装置における欠陥レベル情報設定方法
JP2005169139A (ja) * 2005-01-18 2005-06-30 Olympus Corp 電子内視鏡装置
US20060090319A1 (en) * 2004-11-01 2006-05-04 Howe Major K Defect locating system for moving web
WO2007058102A1 (ja) * 2005-11-16 2007-05-24 Japan Tobacco Inc. 混合物の識別システム
JP2011106995A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Hitachi High-Technologies Corp 基板検査装置及びその測定運用システム
JP2011242330A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Plex International Design Co Ltd 布片検査装置および検査方法
JP2014112035A (ja) * 2012-10-29 2014-06-19 Plex International Design Co Ltd 布類検査装置
JP2014190852A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Plex International Design Co Ltd 布類検査装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6874420B2 (en) * 1999-10-22 2005-04-05 Cc1, Inc. System and method for register mark recognition
JP3868896B2 (ja) * 2002-01-23 2007-01-17 本田技研工業株式会社 自律移動体用撮像装置、撮像装置較正方法及び撮像装置較正プログラム

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05137693A (ja) * 1991-11-15 1993-06-01 Fuji Photo Optical Co Ltd 電子内視鏡の映像特性測定装置
JPH0625969A (ja) * 1992-07-07 1994-02-01 Toyobo Co Ltd シート状物色差検査装置
JPH06258225A (ja) * 1993-03-05 1994-09-16 Maki Seisakusho:Kk 同軸反射型計測装置の校正方法及び同軸反射型計測装置
JPH10262922A (ja) * 1997-03-25 1998-10-06 Olympus Optical Co Ltd 電子内視鏡装置
WO2000079247A1 (fr) * 1999-06-21 2000-12-28 Kabushikikaisha Kajitsuhihakaihinshitsukenkyujo Dispositif d'inspection de la qualite en ligne par plusieurs lampes laterales
WO2001022062A1 (fr) * 1999-09-24 2001-03-29 Kabushikikaisha Kajitsuhihakaihinshitsu Kenkyujo Appareil de controle en direct d'une partie interne, au moyen de lampes multiples placees sur deux cotes
WO2004011917A1 (en) * 2002-07-29 2004-02-05 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for non-destructive inspection on a patterned surface
JP2004093486A (ja) * 2002-09-03 2004-03-25 Tookai:Kk 欠陥布片検出装置における欠陥レベル情報設定方法
US20060090319A1 (en) * 2004-11-01 2006-05-04 Howe Major K Defect locating system for moving web
JP2005169139A (ja) * 2005-01-18 2005-06-30 Olympus Corp 電子内視鏡装置
WO2007058102A1 (ja) * 2005-11-16 2007-05-24 Japan Tobacco Inc. 混合物の識別システム
JP2011106995A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Hitachi High-Technologies Corp 基板検査装置及びその測定運用システム
JP2011242330A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Plex International Design Co Ltd 布片検査装置および検査方法
JP2014112035A (ja) * 2012-10-29 2014-06-19 Plex International Design Co Ltd 布類検査装置
JP2014190852A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Plex International Design Co Ltd 布類検査装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018059903A (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 外観検査装置及びその光学系自動キャリブレーション方法
KR20180038857A (ko) * 2016-10-07 2018-04-17 삼성전기주식회사 외관 검사 장치 및 그 광학계 자동 캘리브레이션 방법
JP7070867B2 (ja) 2016-10-07 2022-05-18 サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド． 外観検査装置及びその光学系自動キャリブレーション方法
KR102653207B1 (ko) 2016-10-07 2024-04-01 삼성전기주식회사 외관 검사 장치 및 그 광학계 자동 캘리브레이션 방법
JP7512733B2 (ja) 2020-07-21 2024-07-09 株式会社サタケ 穀粒検査器

Also Published As

Publication number Publication date
EP3211403B8 (en) 2020-12-16
EP3211403A1 (en) 2017-08-30
US20170269003A1 (en) 2017-09-21
DK3211403T3 (da) 2020-12-21
EP3211403A4 (en) 2018-05-23
JP6353766B2 (ja) 2018-07-04
EP3211403B1 (en) 2020-10-28
WO2016063439A1 (ja) 2016-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6353766B2 (ja) 外観検査装置
KR101263391B1 (ko) 위치검출 기능을 구비한 카메라모듈 연속 검사 및 초점 조정 장치
US10743448B2 (en) Substrate position detection device
EP3281219A1 (en) Apparatus, method and computer program product for inspection of at least side faces of semiconductor devices
CN105716649A (zh) 一键式检测仪
JP6837161B2 (ja) 撮像ユニット及び部品実装機
KR102235933B1 (ko) 검사조건 최적화 시스템
JP5689952B2 (ja) 観察用光学系付き液体吐出装置
CN105914171B (zh) 一种机器视觉飞行系统
JP5740647B2 (ja) 画像測定装置
KR100771827B1 (ko) 카메라 모듈 초점 조정 장치 및 오토포커싱 방법
JP2014207271A (ja) 観察装置及び部品実装機
CN203083809U (zh) 一种用于镜头制程的自动化实拍设备
JP2005322939A (ja) ウェーハ研磨方法
EP3863391A1 (en) Camera for capturing component images, and component mounting machine
KR20140084612A (ko) 주편 에지 모니터링 시스템 및 방법
US11557109B2 (en) Image-capturing unit and component-mounting device
JP7562860B2 (ja) 部品実装機
US10088420B2 (en) Measurement system and method for switching set value for adjustment
KR20040095184A (ko) 조명 장치
CN217007020U (zh) 一种模切产品品质检测机
JP6723391B2 (ja) 部品実装機及び生産ジョブ作成方法
JP3192515U (ja) 寸法測定装置
CN104502863A (zh) 脉冲氙灯光斑检测装置
KR20160026315A (ko) 프로파일을 이용한 검사장비용 광학 줌렌즈 및 조명 자동 제어시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170705

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180417

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180511

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180529

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180611

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6353766

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250