JP2023041150A - ロボットハンド - Google Patents

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Abstract

【課題】ロボットハンドを用いてウェーハを搬送する加工装置においては、洗浄後のウェーハを完全非接触でカセットに収納する。【解決手段】ロボットハンド６を用い、非接触保持部６０の第１エア噴射口か６０１ら噴射されるエアによって生じる負圧によりウェーハを非接触にて保持し、外周支持部６１の第２エア噴射口から噴射するエアによってウェーハを移動しないように支持することにより、ウェーハを完全非接触にて保持する。【選択図】図２

Description

本発明は、非接触にてウェーハを保持するロボットハンドに関する。
チャックテーブルにおいてウェーハを保持し、ウェーハに対して研削、研磨等の加工を施す加工装置では、加工後のウェーハをチャックテーブルからスピンナテーブルに搬送して洗浄を行い、洗浄したウェーハをロボットによってカセットに収納している。ロボットにはロボットハンドが装着され、ロボットハンドの保持面は吸引源に連通している。スピンナテーブルによって下面が吸引保持されたウェーハは、上面がロボットハンドの保持面によって吸引保持されて搬出され、カセットに収納される。ウェーハの上面に接触して吸引保持するタイプのロボットハンドは、ウェーハの上面を傷つけるおそれがあるため、非接触式のものも提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許第５９１８７７１号
上記特許文献１に記載されたロボットハンドは、ウェーハの外周縁には接触するもので、完全非接触ではない。そのため、ウェーハを傷つけるおそれがあり、また、接触によってゴミが発生して洗浄後のウェーハを汚してしまうおそれもある。
したがって、ロボットハンドを用いてウェーハを搬送する加工装置においては、洗浄後のウェーハを完全非接触でカセットに収納するという解決すべき課題がある。
本発明は、ロボットに取り付けられウェーハを非接触で保持する板状のロボットハンドであって、中央から外周に向けて放射状にエアを噴射する第１エア噴射口を有し、該第１エア噴射口から噴射したエアが放射状に流れて負圧を生じさせ非接触でウェーハを保持する非接触保持部と、該非接触保持部によって保持された該ウェーハの中心に向くように配置され該ウェーハの外周縁にエアを噴射する第２エア噴射口を有し、該第２エア噴射口から噴射したエアによって該ウェーハが移動しないように支持する外周支持部とを備える。
該非接触保持部は、一方の端が中央側に位置し他方の端が外周に至らないように径方向に延在し該ウェーハを非接触で保持する保持面の中心を中心とする放射状に複数配設される溝を備え、該溝は、該他方の端に向かうほど浅くなり、該第１エア噴射口は、該溝の該一方の端に配置され該溝にエアを噴射し、該外周支持部は、第１外周支持部、第２外周支持部の少なくとも２つが対向配置され、該第１外周支持部および該第２外周支持部は、各々該第２エア噴射口を少なくとも２つ備えることが望ましい。
本発明では、非接触保持部の第１エア噴射口から噴射されるエアによって生じる負圧によりウェーハが非接触にて保持されるとともに、外周支持部の第２エア噴射口から噴射するエアによってウェーハが移動しないように支持されるため、ウェーハを完全非接触にて保持することができ、ウェーハを傷つけるのを防ぎ、接触によってゴミが発生して洗浄後のウェーハを汚してしまうのを防ぐことができる。
研削装置の一例を示す斜視図である。 ロボットハンドの一例を示す斜視図である。 ロボットハンドの非接触保持部の例を示す斜視図である。 図２のＡ－Ａ線断面図である。 ロボットハンドの外周支持部の例を示す斜視図である。 ロボットハンドの一例を示す平面図である。 ウェーハを保持したロボットハンドがカセットの内部に進入した状態を示す底面図である。 ロボットハンドがウェーハを非接触にて保持した状態を示す断面図である。 ロボットハンドの非接触保持部に形成される吸引力発生領域を示す底面図である。 外周支持部によってウェーハが支持された状態を示す拡大断面図である。 ロボットハンドの第２の例を示す底面図である。 ロボットハンドの第３の例を示す底面図である。 第３の例のロボットハンドの外周支持部を示す斜視図である。
１ 研削装置の構成
図１に示す研削装置１は、チャックテーブル２に保持されたウェーハ１０を研削ユニット３によって研削する加工装置である。研削装置１の前部（－Ｙ方向側）には、研削対象のウェーハ１０を収納するカセット４１が載置されるカセット載置領域４を備えている。
カセット載置領域４の近傍には、カセット４１からのウェーハ１０の搬出及びカセット４１へのウェーハ１０の搬入を行うロボット５が配設されている。ロボット５は、屈曲及び旋回可能なアーム５１と、アーム５１を昇降させる昇降駆動部５２と、ロボットハンド６が取り付けられ水平方向の回転軸を中心としてロボットハンド６を回転させるモータを備える回転駆動部５３とを備えている。
ロボットハンド６の可動域には、ウェーハ１０を一定の位置に位置合わせする仮置き領域４２が設けられている。仮置き領域４２には、ウェーハ１０が載置される載置テーブル４３と、載置テーブル４３の径方向に移動可能な複数のピン４４とを備えている。載置テーブル４３に載置されたウェーハ１０を一定の位置に位置合わせすることができる。
また、ロボットハンド６の可動域には、加工後のウェーハ１０を洗浄するスピンナ洗浄ユニット４５が配設されている。スピンナ洗浄ユニット４５は、ウェーハ１０を保持して回転するスピンナテーブル４６と、スピンナテーブル４６に保持されたウェーハ１０に向けて洗浄液を噴出する図示しないノズルとを備えている。
仮置き領域４２の近傍には、ウェーハ１０を仮置き領域４２からチャックテーブル２に搬送する第１搬送ユニット８１を備えている。第１搬送ユニット８１は、旋回及び昇降可能なアーム部８２と、アーム部８２の先端に取り付けられた吸着部８３とを備えている。
第１搬送ユニット８１の－Ｘ方向側には、ウェーハ１０をチャックテーブル２からスピンナテーブル４６に搬送する第２搬送ユニット８４が配設されている。第２搬送ユニット８４は、旋回及び昇降可能なアーム部８５と、アーム部８５の先端に取り付けられた吸着部８６とを備えている。
チャックテーブル２は、ポーラス部材からなる吸引部２０と、吸引部２０を囲繞する枠体２１とで構成されている。吸引部２０には図示しない吸引源が連通し、吸引部の上面の保持面２００に吸引力を作用させることができる。保持面２００と枠体２１の上面２１０とは面一に形成されている。
チャックテーブル２は、Ｚ軸方向の回転軸を中心として回転可能であるとともに、Ｙ軸方向に水平移動可能となっている。チャックテーブル２のＹ軸方向の移動経路の側方には、チャックテーブル２に保持されたウェーハ１０の厚みを測定する厚み測定器６７が配設されている。厚み測定器６７は、枠体２１の上面２１０の高さ測定を通じて保持面２００の高さを測定する第１測定部６８と、保持面２００に保持されたウェーハ１０の高さを測定する第２測定部６９とを備え、第１測定部６８の測定値と第２測定部６９の測定値との差によってウェーハ１０の厚みを算出する。
研削ユニット３は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、スピンドル３０を回転させるモータ３２と、スピンドル３０の下端に連結されたマウント３３と、マウント３３に装着された研削ホイール３４とから構成されている。研削ホイール３４は、マウント３３に取り付けられる基台３４０と、基台３４０の下面に円環状に複数固着された研削砥石３４１とから構成されている。モータ３２がスピンドル３０を回転させることにより、研削ホイール３４も回転する。
研削ユニット３は、研削送りユニット７によって昇降可能に支持されている。研削送りユニット７は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ７０と、ボールネジ７０と平行に配設された一対のガイドレール７１と、ボールネジ７０を回転させるモータ７２と、ボールネジ７０に螺合するナットを内部に有し側部がガイドレール７１に摺接する昇降板７３と、昇降板７３に連結され研削ユニット３を保持するホルダ７４とから構成されている。モータ７２がボールネジ７０を回転させると、昇降板７３がガイドレール７１にガイドされて昇降し、これにともない研削ユニット３も昇降する。
研削装置１は、カバー８０よって覆われており、前面側（－Ｙ方向側）には、加工条件の入力や表示等に用いられるタッチパネル８７が配設されている。
ロボット５に取り付けられるロボットハンド６は、図２に示すように、平板状に形成されており、ウェーハ１０の面を非接触にて非接触保持部６０と、ウェーハ１０の外周縁を非接触にて支持する外周支持部６１と、図１に示した回転駆動部５３に取り付ける取り付け部６２とを備えている。
取り付け部６２の上面６２０にはエア入口６２１が開口して形成されている。エア入口６２１は、内部に形成されたエア流路６２２と連通している。
非接触保持部６０の上面６００の中央には、エア流路６２２に連通し上面６００側に開口した第１エア噴射口６０１を備えている。図３に示すように、第１エア噴射口６０１の外周側には、第１エア噴射口６０１から放射状に延びる溝６０２が形成されている。溝６０２は、非接触保持部６０の中央側であって第１エア噴射口６０１との連結部分を一方の端６０３とし、第１エア噴射口６０１よりも外方であって非接触保持部６０の外周に至らない位置を他方の端６０４とし、非接触保持部６０の径方向に延在している。溝６０２の深さは、一方の端６０３が最も深く、他方の端６０４に向かうほど浅く形成され、他方の端６０４において上面６００と同じ高さとなっている。溝６０２の他方の端６０４は、保持しようとするウェーハ１０よりも内周側に位置している。
第１エア噴射口６０１の上方は、円板６０５によって覆われている。円板６０５は、上面６００のうち溝６０２が形成されていない部分に接着されている。図４に示すように、溝６０２の一方の端６０３と円板６０５との間には空間があり、この空間には第１エア噴射口６０１から噴出したエア６３が導かれ、このエア６３は、溝６０２に沿って上面６００に沿って流れていく。
なお、溝６０２は、上面６００の中心を中心に対称的に配置されているとよい。また、溝６０２は、他方の端６０４側を広くし扇型に形成していてもよい。
図５に示すように、外周支持部６１は、上面６００と、上面６００から円弧状に上方に突出した肉厚部６１１とを備えている。図２に示した例では、２つの外周支持部６１が対向して形成されている。
肉厚部６１１の内部には、その円弧に沿ってエア流路６１２が形成されており、肉厚部６１１の内周面には、エア流路６１２と連通し、非接触保持部６０によって保持されるウェーハ１０の中心に対向しウェーハ１０の中心に向けてエア６５を噴出する開口である第２エア噴射口６１３が形成されている。図示の例では、３つの第２エア噴射口６１３が形成されている。第２エア噴射口６１３は、１つの外周支持部６１に少なくとも１つ以上備えて、合計３つ備えていればよいが、１つの外周支持部６１に対して好ましくは２つ以上備えていることが望ましい。図６に示すように、エア流路６２２は、一方の外周支持部（第１外周支持部）６１から第１エア噴射口６０１の下方を通り、他方の外周支持部６１（第２外周支持部）に到達している。また、非接触保持部６０の直径は、外周支持部６１の幅よりも大きく形成されている。
つまり、エア入口６２１にエア源から供給されたエアが、第１エア噴射口６０１および第２エア噴射口６１３から所定量のエア６３およびエア６５が噴出されるように、第１エア噴射口６０１および第２エア噴射口６１３の大きさが設定されている。
２ 研削装置の動作
図１に示した研削装置のカセット４１には、研削前のウェーハ１０が収納されている。このウェーハ１０を研削加工するにあたり、最初に、ロボット５の昇降駆動部５２がロボットハンド６の高さを取り出そうとするウェーハ１０の高さに合わせ、アーム５１を屈曲及び旋回させて、図７に示すように、ロボットハンド６を開口４１１側からカセット４１の内部に進入させる。このとき、図１に示した回転駆動部５３がロボットハンド６を反転させることにより、ロボットハンド６の上面６００側を下に向けておく。ウェーハ１０は、カセット４１の内部の一対の棚板４１０の上に載った状態で対向する端部のみが支持された状態となっており、ロボットハンド６は、取り出そうとするウェーハ１０の上方に進入し、外周支持部６１の内周側にウェーハ１０が位置するように進入する。なお、カセット４１は、標準カセットと呼ばれる後方側４１２が開口しているタイプのもので、ロボットハンド６の第２外周支持部６１は、カセット４１の後方側と干渉しない。
次に、ロボットハンド６を若干下降させ、反転によって下を向く上面６００をウェーハ１０の上面１０１に近づけていき、エア入口６２１にエアを供給することにより、図８に示すように、第１エア噴射口６０１から溝６０２に向かい、さらに溝６０２から非接触支持部６０の外周側に向かう放射状のエア６３を発生させる。これにより、ベルヌーイ効果によって負圧が生じ、上面６００とウェーハ１０の上面１０１との間に上面１０１から上面６００に向かう上向きの吸引力が生じ、非接触保持部６０において、ウェーハ１０が上面６００及び円板６０５の上面と非接触の状態で保持される。
図９に示すように、図８に示したエア６３は、溝６０２の延長線上を放射状に流れる。そして、そのエア６３の両側に、ベルヌーイ効果による吸引力発生領域６４が形成される。
また、エア入口６２１に供給したエアは、図１０に示すように、対向する外周支持部６１の第２エア噴射口６１３からもエア６５が噴射される。これにより、外周支持部６１において、ウェーハ１０の外周部１０３が非接触にて支持される。図９に示したように、２つの外周支持部６１が対向して配設されていることにより、ウェーハ１０の外周部１０３が両側から支持されるため、ウェーハ１０が水平方向に位置ずれすることなく支持される。
図９に示したように、溝６０２の他方の端６０４は、外周支持部６１の肉厚部６１１が存在しない方向に向いている。したがって、エア６３は肉厚部６１１に向かわず、外周支持部６１の第２エア噴射口６１３から噴射されるエア６５と干渉しない。したがって、非接触保持部６０によるウェーハ１０の面方向の保持と外周支持部６１によるウェーハ１０の水平方向の保持とを互いに悪影響を与えることなく両立させることができ、これにより、完全に非接触にてウェーハ１０を保持することができる。こうしてロボットハンド６によって保持されたウェーハ１０は、仮置き領域４２の載置テーブル４３に搬送され載置される。
なお、ロボットハンド６に代えて、図１１に示すロボットハンド９を用いることもできる。このロボットハンド９は、外周支持部６１を４つ備えている点、および、それに対応して非接触保持部６０においてエア流路６２２が分岐している点が、ロボットハンド６とは異なる。
ロボットハンド９を用いる場合は、図１１に示すカセット４７を用いることが望ましい。ロボットハンド９は、外周支持部６１が形成されている部分のみが外周側に突出し、エア６３が向かう位置が、外周支持部６１より小径に形成されている。カセット４７は、このロボットハンド９の形状に対応した一対の棚板４７０を備えている。すなわち、棚板４７０は、非接触保持部６０及び外周支持部６１に干渉しない形状に形成されており、エア６３が向かう位置のみがウェーハ１０を下方から支持する。
ロボットハンド９は、ロボットハンド９と同様に、反転した状態でカセット４７の内部に進入し、非接触保持部６０の第１エア噴射口６０１から噴射され溝６０２に沿って流れるエアにより発生する負圧によってウェーハ１０の上面１０１を保持するとともに、外周支持部６１の第２エア噴射口６１３から噴射されるエアによってウェーハ１０の外周部１０３を支持する。ロボットハンド９は、４つの外周支持部６１を備えており、前後左右からウェーハ１０の外周部１０３を支持するため、より安定的にウェーハ１０が移動しないように保持することができ、ウェーハ１０を保持した状態で反転することも可能である。したがって、ロボットハンド９がウェーハ１０の下方に進入し、仮置き領域４２への搬送の途中でロボットハンド９を反転させてもよい。
ロボットハンド６、９に代えて、図１２に示すロボットハンド９０を用いることもできる。このロボットハンド９０は、ウェーハ１０の面を非接触にて非接触保持部９１と、ウェーハ１０の外周縁を非接触にて支持する３つの外周支持部９２と、図１に示した回転駆動部５３に取り付ける取り付け部９３とを備えている。
取り付け部９３の上面９３０には、第１エア入口９３１と第２エア入口９３２とがそれぞれ開口して形成されている。第１エア入口９３１は、内部に形成された第１エア流路９３３に連通し、第２エア入口９３２は、内部に形成された第２エア流路９３４に連通している
非接触保持部９１の上面９１０の中央には、第１エア流路９３３に連通し上面９１０側に開口した第１エア噴射口９１１を備えている。第１エア噴射口９１１の外周側には、第１エア噴射口９１１から放射状に延びる３つの溝９１２が形成されている。溝９１２は、ロボットハンド６、９の溝６０２と同様に、非接触保持部９１の中央側であって第１エア噴射口９１１との連結部分である一方の端９１３側の深さが最も深く、第１エア噴射口９１１よりも外方であって非接触保持部９１の外周に至らない位置である他方の端９１４側に向かうほど浅く形成され、他方の端９１４側において上面９１０と同じ高さとなっている。他方の端９１４は、保持しようとするウェーハ１０の外周よりも内周側に位置している。
第１エア噴射口９１１の上方は、円板９１５によって覆われている。円板９１５は、上面９１０のうち溝９０２が形成されていない部分に接着されている。第１エア噴射口９１１から噴出したエアは、溝９１２を通り上面９１０に流れていく。なお、溝９１２は、他方の端９１４側を広くし扇型に形成していてもよい。
図１３に示すように、それぞれの外周支持部９２は、上面９１０から上方に突出した円柱状の突起部９２０と、突起部９２０の側面に形成され非接触保持部９１の中心に向いて開口する第２エア噴射口９２１とを備えている。第２エア噴射口９２１は、図１２に示した第２エア流路９３４に連通している。３つの第２エア噴射口９２１は、等間隔をあけて、すなわち１２０度ごとに配設されている。
第１エア入口９３１にエアが供給されると、そのエアは、第１エア流路９３３を通って第１エア噴射口９１１から噴出され、上面９１０に沿って放射状に流れ、そのエアの周囲にベルヌーイ効果による吸引力が発生する。他方、第２エア入口９３２にエアが供給されると、そのエアは、第２エア流路９３４を通って図１３に示した第２エア噴射口９２１からエア９２２として噴出される。このエア９２２は、ウェーハ１０の外周部１０３に向けて噴出され、ウェーハ１０が水平方向にずれることなく非接触にて支持される。
図１２に示したように、溝９１２の他方の端９１４は、突起部９２０が存在しない方向に向いている。したがって、エア９２２は突起部９２０に向かわず、第２エア噴射口９２１から噴射されるエア９２２と干渉しないため、非接触保持部９１によるウェーハ１０の面方向の保持と外周支持部９２によるウェーハ１０の水平方向の保持とを互いに悪影響を与えることなく両立させることができ、これにより、完全に非接触にてウェーハ１０を保持することができる。なお、図１２に示したロボットハンド９０では、第１エア入口９３１及び第１エア流路９３３と第２エア入口９３２及び第２エア流路９３４とが互いに独立しているため、第１エア噴射口９１１から噴出されるエアの量と第２エア噴射口９２１から噴出されるエアの量とを個別に制御することができる。特に、第２エア噴射口９２１から噴出されるエアの量を、ウェーハ１０の厚みに応じて制御することにより、ウェーハ１０の厚みにかかわらず、安定して支持することができる。
なお、個々の第２エア噴射口９２１ごとに連通するエア流路を個別に配設し、個々のエア流路にそれぞれエア入口を設けてもよい。
ロボットハンド６、ロボットハンド９又はロボットハンド９０によって仮置き領域４２に搬送された載置されたウェーハ１０は、上面１０１が上に向いた状態で載置テーブル４３に載置される。そして、図２等に示したエア入口６２１へのエアの供給を停止することにより、ロボットハンド６のエア６３及び６５の噴射を止めて、ウェーハ１０から離間する。その後、複数のピン４４が載置テーブル４３の中心に向けて移動することにより、ウェーハ１０が所定の位置に位置合わせされる。
次に、第１搬送ユニット８１の吸着部８３によってウェーハ１０の上面１０１が吸着され、アーム部８２の旋回によってチャックテーブル２に搬送される。チャックテーブル２においては、保持面２００にウェーハ１０の下面１０２が吸引保持される。
次に、チャックテーブル２が＋Ｙ方向に移動して研削ユニット３の下方に位置づけられる。そして、チャックテーブル２が回転するとともに、モータ３２が研削ホイール３４を回転させ、研削送りユニット７のモータ７２がボールネジ７０を回転させることにより研削ユニット３を下降させていき、回転する研削砥石３４１をウェーハ１０の上面１０１に接触させて研削する。研削中は、厚み測定器６７によってウェーハ１０の厚みを測定し、ウェーハ１０が所定の厚みに達すると、研削送りユニット７が研削砥石３４１を上昇させて研削を終了する。
研削終了後、チャックテーブル２が－Ｙ方向に移動し、第２搬送ユニット８４の近傍に位置づけられる。次に、第２搬送ユニット８４の吸着部８６が研削された上面１０１を吸着し、アーム部８５の旋回によってウェーハ１０がスピンナ洗浄ユニット４５のスピンナテーブル４６に載置され、下面１０２側が吸引保持される。そして、スピンナテーブル４６が回転するとともに図示しないノズルからウェーハ１０の上面１０１に向けて洗浄液が噴出されて上面１０１が洗浄される。
上面１０１の洗浄が終了すると、ロボット５がロボットハンド６をウェーハ１０の上方に移動させ、ロボットハンド６の非接触保持部６０を下に向けて状態でウェーハ１０の上面１０１に対面させる。そして、図２等に示したエア入口６２１にエアを供給して第１エア噴射口６０１からエア６３を噴射するとともに、図１０に示した第２エア噴射口６１３からエア６５を噴射し、ウェーハ１０の上面１０１側を保持するとともに、ウェーハ１０が水平方向に移動しないように支持する。
なお、第２エア噴射口６１３は、ウェーハ１０の側面１０３の厚さ方向中央にエアを噴射するとよい。しかし、ウェーハ１０が薄く研削されている場合は、ウェーハ１０の下面１０２に第２エア噴射口６１３から噴射したエア６５が流れるように、第２エア噴射口６１３が形成されているとよい。また、ウェーハ１０の下面１０２に保護テープを貼着している場合は、保護テープの表面（下面）にエア６５が流れるようにするとよい。
つまり、エア６５とウェーハ１０の下面１０２との摩擦によって、ウェーハ１０が水平方向に移動しないように支持していてもよい。
なお、エア６５が螺旋状に噴射されるように第２エア噴射口が形成されていてもよい。
その状態で、昇降駆動部５２がロボットハンド６を上昇させ、アーム５１を旋回させることにより、ロボットハンド６をカセット４１の内部に進入させる。そして、ウェーハ１０の端部が図７に示したように棚板４１０の上に位置する状態とし、ロボットハンド６を下降させてウェーハ１０を棚板４１０に載置する。そして、エア入口６２１へのエアの供給を停止することによりウェーハ１０の保持を解除する。こうしてウェーハ１０がカセット４１に収納される。その後、ロボットハンド６をカセット４１から退避させる。
なお、図１１に示したロボットハンド９を用いてスピンナテーブル４６からカセット４１にウェーハ１０を搬送する場合は、搬送途中でロボットハンド９の表裏を反転させることができる。この場合、ウェーハ１０を下方から保持した状態でロボットハンド９をカセット４１の内部に進入させる。そして、棚板４７０にウェーハ１０を載置させる際は、ロボット５によって、ウェーハ１０を上面で保持するロボットハンド９を、棚板４７０と棚板４７０との間の高さ位置でかつ、上方から見て棚板４７０と非接触支持部６０及び外周支持部６１とが干渉しない位置に進入させた後、ロボットハンド９を下降させロボットハンド９が棚板４７０を通過するときに、棚板４７０のウェーハ１０を下方から支持する部分によって、エア６３の流れを阻害し、吸引力を弱め、棚板４７０にウェーハ１０が載置され、ロボットハンド９からウェーハ１０が離間される。
なお、棚板４７０をロボットハンド９が下方に通過するときに、エアの供給を停止させてもよい。
ウェーハ１０をカセット４１に収納する際にも、カセット４１から搬出する際と同様に、ウェーハ１０を非接触にて保持するとともに、水平方向への位置ずれを防ぐことができる。特に、研削後は、スピンナ洗浄ユニット４５における洗浄後も上面１０１に研削屑が付着していることがあるが、非接触にてウェーハ１０を保持することにより、ロボットハンド６に研削屑が付着しないため、後に研削されてカセット４１に収納されるウェーハ１０に研削屑が付着するのを防ぐことができる。また、接触によりウェーハ１０を傷つけるのを防ぎ、接触によってゴミが発生して洗浄後のウェーハ１０を汚してしまうのを防ぐことができる。
また、搬送等のその後の取扱いを容易にするために、ウェーハの中心部のみが研削され外周部が研削されないことにより中心部に凹部が形成されたウェーハをスピンナ洗浄後にカセット４１に搬送する場合にも、非接触にてそのウェーハを保持することができる。
なお、研削前のウェーハ１０をカセット４１から仮置き領域４２に搬送する際には、接触式のロボットハンドを使用してもよいため、特許６８５３６４６号のように、一方の面を接触式、他方の面を非接触式とし、非接触式の面を本発明のように構成してもよい。
また、本実施形態では非接触保持部６０に放射状に延びる溝６０２を備える構成としたが、溝６０２に代えて、すり鉢状のエア流路を採用してもよい。
さらに、本実施形態では、第１エア噴射口６０１の上方を円板６０５によって覆うことでエア６３を放射状に噴射することとしたが、第１エア噴射口が複数形成され、そのそれぞれが外周側にエアを噴射するように形成されていてもよく、その場合、円板は不要となる。
なお、本実施形態では研削装置について説明したが、本発明は、研磨装置にも適用することができる。
１：研削装置
２：チャックテーブル
２０：吸引部 ２００：保持面 ２１：枠体 ２１０：上面
３：研削ユニット
３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：モータ ３３：マウント
３４：研削ホイール ３４０：基台 ３４１：研削砥石
４：カセット載置領域 ４１：カセット ４１０：棚板 ４１１：開口 ４１２：後方側
４２：仮置き領域 ４３：載置テーブル ４４：ピン
４５：スピンナ洗浄ユニット ４６：スピンナテーブル
４７：カセット ４７０：棚板
５：ロボット ５１：アーム ５２：昇降駆動部 ５３：回転駆動部
６：ロボットハンド
６０：非接触保持部
６００：上面 ６０１：第１エア噴射口 ６０２：溝 ６０３：一方の端
６０４：他方の端 ６０５：円板
６１：外周支持部（第１外周支持部、第２外周支持部）
６１１：肉厚部 ６１２：エア流路 ６１３：第２エア噴射口
６２：取り付け部
６２０：上面 ６２１：エア入口 ６２２：エア流路
６３：エア ６４：吸引力発生領域
６５：エア
６７：厚み測定器 ６８：第１測定部 ６９：第２測定部
７：研削送りユニット
７０：ボールネジ ７１：ガイドレール ７２：モータ ７３：昇降板 ７４：ホルダ
８０：カバー ８１：第１搬送ユニット ８２：アーム部 ８３：吸着部
８４：第２搬送ユニット ８５：アーム部 ８６：吸着部
８７：タッチパネル
９：ロボットハンド
９０：ロボットハンド
９１：非接触保持部
９１０：上面 ９１１：第１エア噴射口 ９１２：溝 ９１３：一方の端
９１４：他方の端 ９１５：円板
９２：外周支持部
９２０：突起部 ９２１：第２エア噴射口 ９２２：エア
９３：取り付け部
９０２：溝
９３０：上面 ９３１：第１エア入口 ９３２：第２エア入口
９３３：第１エア流路 ９３４：第２エア流路
１０：ウェーハ １０１：上面 １０２：下面 １０３：外周部

Claims (2)

  1. ロボットに取り付けられウェーハを非接触で保持する板状のロボットハンドであって、
    中央から外周に向けて放射状にエアを噴射する第１エア噴射口を有し、該第１エア噴射口から噴射したエアが放射状に流れて負圧を生じさせ非接触でウェーハを保持する非接触保持部と、
    該非接触保持部によって保持された該ウェーハの中心に向くように配置され該ウェーハの外周縁にエアを噴射する第２エア噴射口を有し、該第２エア噴射口から噴射したエアによって該ウェーハが移動しないように支持する外周支持部と、
    を備えるロボットハンド。
  2. 該非接触保持部は、一方の端が中央側に位置し他方の端が外周に至らないように径方向に延在し該ウェーハを非接触で保持する保持面の中心を中心とする放射状に複数配設される溝を備え、
    該溝は、該他方の端に向かうほど浅くなり、
    該第１エア噴射口は、該溝の該一方の端に配置され該溝にエアを噴射し、
    該外周支持部は、第１外周支持部、第２外周支持部の少なくとも２つが対向配置され、該第１外周支持部および該第２外周支持部は、各々該第２エア噴射口を少なくとも２つ備える、請求項１記載のロボットハンド。
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