JP2023061565A - ウェーハの研削方法及び研削装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】外周側が反り上がるウェーハを研削する場合において、研削後のウェーハを均一な厚みに仕上げる。【解決手段】第１研削工程において外周部分が弾性部材２１７に支持された状態でウェーハ１０が研削されてウェーハ１０の反り上がろうとする力が弱められ、その後の第２保持工程においてウェーハ１０の下面全面を吸引保持することが可能となる。そして、第２研削工程においてはウェーハ１０の下面全面を吸引保持した状態で研削を行うため、ウェーハ１０の外周部分を含めた全面を平坦に仕上げることができる。したがって、ウェーハ１０の外周付近に形成されたデバイス１２が不良となるおそれが低減される。【選択図】図３

Description

本発明は、反りのあるウェーハを研削する方法及び装置に関する。
中央よりも外周側が反り上がる要素を備えたウェーハを保持するチャックテーブルとして、ウェーハの中央部分の下面を吸引する吸引面と、ウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材（スポンジ、ゴム板、ゴムチューブ等）とを備えた構成のものがある。このチャックテーブルに保持されたウェーハを研削砥石で研削すると、研削荷重によって弾性部材が潰されるため、吸引力のリークを防ぎ、ウェーハを確実に吸引保持することができる（例えば、特許文献１、２参照）。
特開２０１６－０３１９７９号公報 特開２０１８－２０７０３３号公報
しかし、研削中に弾性部材が潰れることにより、ウェーハのうち弾性部材に支持されている部分が厚く形成されるため、環状に厚い部分が形成され、外周縁は薄く形成されるという問題がある。
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、外周側が反り上がるウェーハを研削する場合において、均一な厚みに仕上げることを課題とする。
本発明は、外周が反り上がる要素をもったウェーハをチャックテーブルの吸引面に倣わせて吸引保持し、研削砥石によってウェーハを研削するウェーハの研削方法であって、ウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材と、該弾性部材の内側においてウェーハの下面を吸引する第１吸引面を有する吸引部材と、で構成される第１チャックテーブルの該第１吸引面においてウェーハを吸引保持する第１保持工程と、該第１吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって仕上げ厚みに達しない厚みに研削し、ウェーハの反り上がる要素を弱める第１研削工程と、該第１吸引面において保持しているウェーハを、該ウェーハの下面全面を吸引する第２吸引面を有するポーラス部材を備えた第２チャックテーブルの該第２吸引面に搬送する搬送工程と、仕上げ厚みに達しない厚みに研削されたウェーハを該第２吸引面において吸引保持する第２保持工程と、該第２吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって仕上げ厚みに研削する第２研削工程と、からなる。
このウェーハの研削方法では、該第1研削工程において使用される該研削砥石に粗研削砥石を用い、該第２研削工程において使用される該研削砥石に仕上げ研削砥石を用いるとよい。
また、本発明は、外周部分が反り上がったウェーハを研削砥石によって研削する研削装置であって、反り上がったウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材と該弾性部材の内側においてウェーハの下面を吸引する第１吸引面を有する吸引部材とで構成される第１チャックテーブルと、該第１吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する第１研削機構と、ウェーハの下面全面を吸引する第２吸引面を有するポーラス部材を備えた第２チャックテーブルと、該第２吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する第２研削機構と、該第１吸引面から該第２吸引面にウェーハを搬送する搬送機構と、を備える。
本発明に係るウェーハの研削方法では、第１研削工程において外周部分が弾性部材に支持された状態でウェーハが研削されてウェーハの反り上がろうとする力が弱められるため、その後の第２保持工程においてウェーハの全面を吸引保持することが可能となる。そして、第２研削工程においてはウェーハの下面全面を吸引保持した状態で研削を行うため、ウェーハの外周部分を含めた全面を平坦に仕上げることができる。したがって、ウェーハの外周付近に形成されたデバイスが不良となるおそれが低減される。
また、本発明に係る研削装置は、第１チャックテーブルにウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材とその内側においてウェーハの下面を吸引する第１吸引面とを備え、第２チャックテーブルにウェーハの下面全面を吸引する第２吸引面を備え、さらに第１吸引面から第２吸引面にウェーハを搬送する搬送機構を備えるため、上記ウェーハの研削方法の実施に好適であり、ウェーハの全面を平坦に仕上げるまでの一連の工程を自動化することが可能となる。
研削装置の例を示す斜視図である。 チャックテーブル及び反りのあるウェーハを略示的に示す断面図である。 第１研削工程を略示的に示す断面図である。 第１研削工程を略示的に示す断面図である。
図１に示す研削装置１は、ウェーハを吸引保持する第１チャックテーブル２１及び第２チャックテーブル２２と、第１チャックテーブル２１に保持されたウェーハ１０を研削する第１研削機構３及び第２チャックテーブル２２に保持されたウェーハ１０を研削する第２研削機構４とを備えている。
研削装置１の前部には、ウェーハ１０を収容するカセット６１０、６２０が載置されるカセット載置領域６１、６２を備えている。カセット６１０には例えば研削前のウェーハ１０が収容され、カセット６２０には例えば研削後のウェーハ１０が収容される。
カセット載置領域の後方（＋Ｙ側）には、カセット６１０、６２０に対するウェーハ１０の搬出入を行うロボット６３が配設されている。ロボット６３は、ウェーハ１０を吸引保持するハンド６３１と、ハンド６３１の表裏を反転する反転駆動部６３２と、反転駆動部６３２に連結されハンド６３１を旋回及び昇降させるアーム部６３３とを備えている。
ハンド６３１の可動域には、研削前のウェーハ１０が一時的に置かれる仮置き機構６４が配設されている。仮置き機構６４には、ウェーハ１０が載置される載置テーブル６４１と、円弧状に配置され載置テーブル６４１の中心に向けて径方向に移動可能な複数の位置決めピン６４２とを備えており、載置テーブル６４１にウェーハ１０が載置された状態で複数の位置決めピン６４２が互いに近づく方向に移動することにより、ウェーハ１０を所定の位置に位置合わせすることができる。
ハンド６３１の可動域には、仮置き機構６４とＸ軸方向に並ぶ位置に、研削後のウェーハ１０を洗浄する洗浄機構６５が配設されている。洗浄機構６５は、研削後のウェーハ１０を吸引保持するスピンナーテーブル６５１と、スピンナーテーブル６５１に保持されたウェーハ１０に洗浄液を噴射するノズル６５２とを備えている。
第１チャックテーブル２１及び第２チャックテーブル２２は、図示しない水平移動機構によって駆動されてＹ軸方向に移動可能となっている。第１チャックテーブル２１のＹ軸方向の移動経路と第２チャックテーブル２２の移動経路との間には、ウェーハ１０を搬送する搬送機構７が配設されている。この搬送機構７は、図１における位置７０に配設される。
搬送機構７は、門型の壁部７１と、壁部７１の一方の面側に配設されＹ軸方向の軸心を有するボールネジ７２と、ボールネジ７２と平行に配設された一対のガイドレール７３と、ボールネジ７２の一端に連結されボールネジ７２を回転させるモータ７４と、ボールネジ７２に螺合するナットを内部に備えるとともに側部がガイドレール７３に摺接するスライド部７５とを備えている。モータ７４がボールネジ７２を回転させると、スライド部７５がガイドレール７３にガイドされてＹ軸方向に移動する。
スライド部７５の側面には、ウェーハ１０の上面を吸引保持する吸引保持部８９を昇降させる昇降機構８が配設されている。昇降機構８は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ８１と、ボールネジ８１と平行に配設されたガイドレール８２と、ボールネジ８１の一端に連結されボールネジ８１を回転させるモータ８３と、ボールネジ８１に螺合するナットを内部に備えるとともに側部がガイドレールに摺接する昇降部材８４とを備えている。モータ８３がボールネジ８１を回転させると、昇降部材８４がガイドレール８２にガイドされてＺ軸方向に昇降する。
昇降部材８４は、旋回機構８５を支持している。旋回機構８５は、昇降部材８４から垂下する軸部８６と、軸部８６の上端に連結されたモータ８７と、軸部８６の下端に連結されたアーム８８とを備えており、アーム８８の先端には吸引保持部８９が連結されている。モータ８７が軸部８６を回転させると、アーム８８が旋回して軸部８６を中心として吸引保持部８９が回転する。吸引保持部８９は、回転によって壁部７１の下方を通り、壁部７１のおもて側（＋Ｘ方向側）と裏側（－Ｘ方向側）との間を移動可能であり、第１チャックテーブル２１の移動経路から第２チャックテーブル２２の移動経路までを移動可能である。
また、モータ７４がボールネジ７２を回転させてスライド部７５がガイドレール７３にガイドされてＹ軸方向に移動することにより、吸引保持部８９もＹ軸方向に移動する。さらに、モータ８３がボールネジ８１を回転させて昇降部材８４をＺ軸方向に昇降させると、吸引保持部８９もＺ軸方向に昇降する。
吸引保持部８９の下部には、図示しない吸引源に接続された吸引パッドを備えている。
第１研削機構３は、Ｚ軸方向に延在する回転軸を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転させるスピンドル回転機構３１と、スピンドル３０を回転可能に支持するスピンドルハウジング３２と、スピンドル３０の下端に連結されたマウント３３と、マウント３３に装着された研削ホイール３４とを備えている。スピンドル回転機構３１がスピンドル３０を回転させると、研削ホイール３４も回転する。研削ホイール３４は、中央に開口を有する円環状のマウント３３に固定される基台３４０と、基台３４０の下面に環状に固着された複数の研削砥石３４１とで構成されている。研削砥石３４１は、例えば砥粒の粒径が比較的大きい粗研削砥石である。
第２研削機構４は、研削砥石３４２以外は第１研削機構３と同様に構成されている。研削砥石３４２は、第１研削機構３の研削砥石３４１よりも砥粒の粒径が小さい仕上げ研削砥石である。研削砥石３４２以外の部位については第１研削機構３と同一の符号を付し、説明は省略することとする。
第１研削機構３及び第２研削機構４は、それぞれが、同一構造からなる研削送り機構５によって昇降可能に支持されている。研削送り機構５は、Ｚ軸方向の回転軸を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０を回転させるモータ５１と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５２と、側部がガイドレール５２に摺接しボールネジ５０に螺合する図示しないナットを内部に有する昇降板５３と、昇降板５３に連結されスピンドルハウジング３２を支持するホルダ５４とを備えている。ボールネジ５０が回転すると、昇降板５３がガイドレール５２にガイドされてＺ軸方向に移動し、これにともない第１研削機構３もＺ軸方向に移動する。
図２に示すように、第１チャックテーブル２１は、ポーラス材からなる吸引部材２１１と、吸引部材２１１を外周側及び下方から支持する枠体２１２とから構成されている。吸引部材２１１の表面である第１吸引面２１３は、反りのあるウェーハ１０の下面１０１を吸引する。第１吸引面２１３は、反りのあるウェーハ１０よりも小径に形成されている。また、第１吸引面２１３は、枠体２１２の上面２１４と面一に形成されている。第１吸引面２１３の外周側、すなわち枠体２１２の上面２１４の外周部には、環状の凹部２１５が形成されている。凹部２１５には、その空間の下部から第１チャックテーブル２１の中心側に向けて延伸されて形成された空間２１６が形成されている。凹部２１５には、一端が空間２１６に固定され他端が上面２１４よりも上方に突出する弾性部材２１７が収容されている。弾性部材２１７は、例えばスポンジ、ゴム板等によって環状に形成されており、空間２１６に収容されている部分から上方に向けて屈曲する屈曲部２１８を備えている。反りのあるウェーハ１０を第１吸引面２１３において吸引保持すると、屈曲部２１８が倒れて弾性部材２１７がウェーハ１０の下面１０１の外周部分に接触する。また、ウェーハ１０の外周は、枠体２１２の上面２１４に接触する。そして、凹部２１５の上面は、ウェーハ１０の下面１０１で塞がれた状態になる。
枠体２１２の下部には回転軸２３１の上端が連結されている。回転軸２３１の下端は、支持部２３２によって回転可能に支持されている。回転軸２３１の周囲には従動プーリ２３３が配設され、従動プーリ２３３の側方には駆動プーリ２３４が配設されている。駆動プーリ２３４はモータ２３５によって駆動される。駆動プーリ２３４及び従動プーリ２３３にはベルト２３６が巻回されており、モータ２３５によって駆動されて駆動プーリ２３４が回転すると、ベルト２３６によってその回転力が従動プーリ２３３に伝達され、回転軸２３１が回転し、第１チャックテーブル２１が回転する。
枠体２１２、回転軸２３１、支持部２３２には、流体を通すための流路２４１が貫通して形成されている。流路２４１の一端は枠体２１２の上面に開口し、吸引部材２１１に連通している。流路２４１の他端は３つの経路に分岐しており、それぞれの経路は、バルブ２４２、２４３、２４４を介して吸引源２４５、エア供給源２４６、水供給源２４７に接続されている。流路２４１には、流路２４１内の圧力を測定する圧力計２４８が接続されている。
図１に示すように、第２チャックテーブル２２は、ポーラス部材２２１と、ポーラス部材２２１を支持する枠体２２２とを備えている。ポーラス部材２２１の表面である第２吸引面２２３は、ウェーハ１０の下面全面を吸引する。第２吸引面２２３は、枠体２２２の上面２２４と面一に形成されている。第２チャックテーブル２２は、例えば図２示した第１チャックテーブル２１と同様の図示しない回転駆動機構によって駆動されて回転可能となっている。また、第２チャックテーブル２２の枠体２２２及びその下方には、第１チャックテーブル２１と同様に、図２に示したように、バルブ２４２、２４３、２４４を介して吸引源２４５、エア供給源２４６、水供給源２４７に接続された流路２４１を備えている。
第１チャックテーブル２１の移動経路の側方には、第１チャックテーブル２１に保持されたウェーハ１０の厚みを測定する厚み測定器２５が配設されている。厚み測定器２５は、枠体２１２の上面２１４の高さを測定する第１測定部２５１と、第１吸引面２１３に吸引保持されたウェーハ１０の上面１００の高さを測定する第２測定部２５２とを備え、第１測定部２５１の測定値と第２測定部２５２の測定値との差に基づき、ウェーハ１０の厚みを算出する。
第２チャックテーブル２２の移動経路の側方には、第２チャックテーブル２２に保持されたウェーハ１０の厚みを測定する厚み測定器２６が配設されている。厚み測定器２６は、枠体２２２の上面２２４の高さを測定する第１測定部２５１と、第１吸引面２１３に吸引保持されたウェーハ１０の上面１００の高さを測定する第２測定部２５２とを備え、第１測定部２５１の測定値と第２測定部２５２の測定値との差に基づき、ウェーハ１０の厚みを算出する。
次に、図２に示す反りのウェーハ１０を研削する際の研削装置１の動作について説明する。このウェーハ１０は、基板１１上にデバイス１２が形成され、そのデバイス１２が樹脂１３によって封止されて構成されており、樹脂１３の収縮等によって反り上がる要素をもっている。
ウェーハ１０は、図１に示すカセット６１０の内部に複数収容される。そして、アーム部６３３の旋回と昇降によってロボット６３のハンド６３１がカセット６１０の内部に進入して１枚のウェーハ１０を吸引保持し、その後、ハンド６３１がカセット６１０の外に退避し、仮置き機構６４の載置テーブル６４１に載置する。そして、位置決めピン６４２が互いに近づく方向に移動し、ウェーハ１０が所定の位置に位置合わせされる。
（１）第１保持工程
次に、搬送機構７が吸引保持部８９を－Ｙ方向に移動させるとともに旋回機構８５が吸引保持部８９を旋回させることにより載置テーブル６４１に載置されたウェーハ１０の上方に吸引保持部８９を移動させる。そしてさらに、昇降機構８が吸引保持部８９を下降させ、ウェーハ１０の上面１００を吸引保持する。
次に、昇降機構８が吸引保持部８９を上昇させ、搬送機構７が吸引保持部８９を＋Ｙ方向に移動させるとともに、旋回機構８５が吸引保持部８９を旋回させ、ウェーハ１０を吸引保持する吸引保持部８９を第１チャックテーブル２１の上方に移動させ、さらに昇降機構８が吸引保持部８９を下降させて第１チャックテーブル２１にウェーハ１０の下面１０１側を載置する。そして、図２に示したバルブ２４２を開放して第１チャックテーブル２１の吸引部材２１１と吸引源２４５とを連通させることにより、第１吸引面２１３に吸引力を作用させてウェーハ１０の下面１０１を吸引保持する。このとき、仮置き機構６４においてウェーハ１０が所定位置に位置合わせされていることにより、第１吸引面２１３の中心とウェーハ１０の中心とが一致する。その後、吸引保持板８９の吸引力を解除し、昇降機構８が吸引保持板８９を上昇させる。
こうして第１吸引面２１３の中心とウェーハ１０の中心とが一致した状態で第１吸引面２１３に倣って反りのあるウェーハ１０の下面１０１が吸引保持される。ウェーハ１０は、外周側が反り上がっており、第１吸引面２１３はウェーハ１０よりも小径に形成されているため、ウェーハ１０の反り上がっている外周部分は吸引保持されない。すなわち、弾性部材２１７の内周側においてウェーハ１０の下面１０１が吸引保持される。
（２）第１研削工程
次に、第１チャックテーブル２１を＋Ｙ方向に移動させて、ウェーハ１０を第１研削機構３の下方に位置させる。そして、図３に示すように、モータ２３５によって駆動されて第１チャックテーブル２１が回転するとともに、スピンドル回転機構３１がスピンドル３０を回転させて研削砥石３４１を回転させ、さらに図１に示した研削送り機構５が第１研削機構３を下降させることにより、回転する研削砥石３４１をウェーハ１０の上面１００に接触させる。そうすると、ウェーハ１０の反り上がっていた部分が押されて下面１０１が弾性部材２１７に接触し、図３において拡大して示すように、下面１０１の外周部によって弾性部材２１７が下方に押され、吸引力がリークしなくなる。
そして、研削送り機構５がさらに第１研削機構３を下降させてウェーハ１０の上面１００を粗研削する。研削中は、厚み測定器２５の第１測定部２５１の先端を枠体２１２の上面２１４に接触させるとともに、厚み測定器２５の第２測定部２５２の先端をウェーハ１０の上面１００に接触させ、第１測定部２５１の測定値と第２測定部２５２の測定値との差によってウェーハ１０の厚みを算出する。そして、その算出値が所定の厚み値になると、研削送り機構５が第１研削機構３を上昇させて研削を終了する。ここにおける所定の厚みは、仕上げ厚みに達しない値である。
第１研削工程におけるウェーハ１０の研削によって樹脂１３が薄くなるため、ウェーハ１０の反り上がる要素は弱まる。また、第１研削工程においては、ウェーハ１０の下面１０１の外周部分が弾性部材２１７によって支持された状態で研削されるため、研削中は、図３の拡大図のように、研削砥石３４１をウェーハ１０に押し付ける研削荷重によって弾性部材２１７が若干沈み込み、ウェーハ１０のうち弾性部材２１７によって支持された部分が若干凹部２１５内に進入された状態になっているため、弾性部材２１７によって支持された部分が若干厚く形成され、その外周側が薄く形成される。
（３）搬送工程
次に、昇降機構８が吸引保持部８９を下降させて粗研削されたウェーハ１０の上面１００を吸引保持する。そして、バルブ２４２を閉止して第１チャックテーブル２１の第１吸引面２１３に作用する吸引力を解除するとともに、バルブ２４３を開放して第１吸引面２１３からエアを噴出する。また、このとき、バルブ２４４も開放してエアとともに水を第１吸引面２１３から噴出してもよい。こうしてエアのみ又はエアと水とを第１吸引面２１３から噴出した状態で、昇降機構８が吸引保持部８９を上昇させることにより、ウェーハ１０を第１チャックテーブル２１から離間させる。
吸引保持部８９が上昇した状態で、旋回機構８５が吸引保持部８９を旋回させて壁部７１よりも＋Ｘ側に位置させる。そして、ウェーハ１０を第２チャックテーブル２２の上方に位置させ、昇降機構８が吸引保持部８９を下降させ、粗研削後のウェーハ１０の下面１０１を第２チャックテーブル２２に載置する。
（４）第２保持工程
次に、図４に示すバルブ２４２を開放して吸引源２４５と第２吸引面２２３とを連通させ、第２吸引面２２３に吸引力を作用させる。その後、吸引保持部８９の吸引力を解除し、昇降機構８が吸引保持部８９を上昇させると、吸引保持部８９がウェーハ１０の上面１００から離間する。こうして、第１研削工程における研削によって仕上げ厚みに達しない厚みに形成されたウェーハ１０の下面１０１の全面が、第２チャックテーブル２２の第２吸引面２２３によって吸引保持される。第１研削工程においてウェーハ１０の反りが軽減されているため、第２吸引面２２３においてウェーハ１０の下面１０１の全面を吸引保持することができる。なお、第１研削工程においてウェーハ１０の下面１０１の外周部が弾性部材２１７によって支持されて研削されたことにより、ウェーハ１０には部分的に若干厚く形成された凸状部１０２が円環状に形成されている。
（５）第２研削工程
次に、第２チャックテーブル２２に保持された粗研削後のウェーハ１０を第２研削機構４の下方に位置させる。そして、図４に示すように、モータ２３５によって駆動されて第２チャックテーブル２２が回転するとともに、スピンドル回転機構３１がスピンドル３０を回転させて研削砥石３４２を回転させ、さらに図１に示した研削送り機構５が第２研削機構４を下降させることにより、回転する研削砥石３４２を粗研削された上面１００に接触させる。そして、研削送り機構５がさらに第２研削機構４を下降させて、第２吸引面２２３の吸引保持された粗研削後の上面１００を仕上げ研削する。研削中は、厚み測定器２６の第１測定部２６１の先端を枠体２２２の上面２２４に接触させるとともに、厚み測定器２６の第２測定部２６２の先端をウェーハ１０の上面１００に接触させ、第１測定部２６１の測定値と第２測定部２６２の測定値との差によってウェーハ１０の厚みを算出する。そして、その算出値が所定の仕上げ厚み値になると、研削送り機構５が第２研削機構４を上昇させて研削を終了する。
第２研削工程では、ウェーハ１０の下面１０１の全面を吸引保持した状態で研削を行うため、凸状部１０２が除去され、全面を平坦に仕上げることができる。したがって、ウェーハ１０の外周付近に形成されたデバイス１２が不良となるおそれが低減される。
なお、研削砥石３４１、３４２は、同じ種類であってもよいし、異なる種類であってもよい。
１：研削装置
２１：第１チャックテーブル
２１１：吸引部材 ２１２：枠体 ２１３：第１吸引面 ２１４：上面
２１５：凹部 ２１６：空間 ２１７：弾性部材 ２１８：屈曲部
２２：第２チャックテーブル
２２１：ポーラス部材 ２２２：枠体 ２２３：第２吸引面 ２２４：上面
２３１：回転軸 ２３２：支持部 ２３３：従動プーリ ２３４：駆動プーリ
２３５：モータ ２３６：ベルト
２４１：流路 ２４２、２４３、２４４：バルブ
２４５：吸引源 ２４６：エア供給源 ２４７：水供給源 ２４８：圧力計
２５：厚み測定器 ２５１：第１測定部 ２５２：第２測定部
２６：厚み測定器 ２６１：第１測定部 ２６２：第２測定部
３：第１研削機構 ４：第２研削機構
３０：スピンドル ３１：スピンドル回転機構 ３２：スピンドルハウジング
３３：マウント
３４：研削ホイール
３４０：基台 ３４１、３４２：研削砥石
５：研削送り機構
５０：ボールネジ ５１：モータ ５２：ガイドレール ５３：昇降板 ５４：ホルダ
６１、６２：カセット載置領域 ６１０：カセット ６２０：カセット
６３：ロボット ６３１：ハンド ６３２：反転駆動部 ６３３：アーム部
６４：仮置き機構 ６４１：載置テーブル ６４２：位置決めピン
６５：洗浄機構 ６５１：スピンナーテーブル ６５２：ノズル
７：搬送機構
７１：壁部 ７２：ボールネジ ７３：ガイドレール ７４：モータ ７５：スライド部
８：昇降機構
８１：ボールネジ ８２：ガイドレール ８３：モータ ８４：昇降部材
８５：旋回機構 ８６：軸部 ８７：モータ ８８：アーム ８９：吸引保持部
１０：ウェーハ
１１：基板 １２：デバイス １００：上面 １０１：下面 １０２：凸状部

Claims (3)

  1. 外周が反り上がる要素をもったウェーハをチャックテーブルの吸引面に倣わせて吸引保持し、研削砥石によってウェーハを研削するウェーハの研削方法であって、
    ウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材と、該弾性部材の内側においてウェーハの下面を吸引する第１吸引面を有する吸引部材と、で構成される第１チャックテーブルの該第１吸引面においてウェーハを吸引保持する第１保持工程と、
    該第１吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって仕上げ厚みに達しない厚みに研削し、ウェーハの反り上がる要素を弱める第１研削工程と、
    該第１吸引面において保持しているウェーハを、該ウェーハの下面全面を吸引する第２吸引面を有するポーラス部材を備えた第２チャックテーブルの該第２吸引面に搬送する搬送工程と、
    仕上げ厚みに達しない厚みに研削されたウェーハを該第２吸引面において吸引保持する第２保持工程と、
    該第２吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって仕上げ厚みに研削する第２研削工程と、
    からなるウェーハの研削方法。
  2. 該第1研削工程において使用される該研削砥石に粗研削砥石を用い、
    該第２研削工程において使用される該研削砥石に仕上げ研削砥石を用いる
    請求項１記載のウェーハの研削方法。
  3. 外周部分が反り上がったウェーハを研削砥石によって研削する研削装置であって、
    反り上がったウェーハの外周部分の下面に接触させる環状の弾性部材と該弾性部材の内側においてウェーハの下面を吸引する第１吸引面を有する吸引部材とで構成される第１チャックテーブルと、
    該第１吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する第１研削機構と、
    ウェーハの下面全面を吸引する第２吸引面を有するポーラス部材を備えた第２チャックテーブルと、
    該第２吸引面において吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する第２研削機構と、
    該第１吸引面から該第２吸引面にウェーハを搬送する搬送機構と、
    を備える研削装置。
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