JP2023015808A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2023015808A5
JP2023015808A5 JP2021119815A JP2021119815A JP2023015808A5 JP 2023015808 A5 JP2023015808 A5 JP 2023015808A5 JP 2021119815 A JP2021119815 A JP 2021119815A JP 2021119815 A JP2021119815 A JP 2021119815A JP 2023015808 A5 JP2023015808 A5 JP 2023015808A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
leds
light
current
current value
light emission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021119815A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2023015808A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2021119815A priority Critical patent/JP2023015808A/ja
Priority claimed from JP2021119815A external-priority patent/JP2023015808A/ja
Priority to KR1020220086362A priority patent/KR102900827B1/ko
Priority to CN202210835115.7A priority patent/CN115639728A/zh
Publication of JP2023015808A publication Critical patent/JP2023015808A/ja
Publication of JP2023015808A5 publication Critical patent/JP2023015808A5/ja
Priority to KR1020250191376A priority patent/KR20260002384A/ko
Priority to JP2026005023A priority patent/JP2026063175A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2021119815A 2021-07-20 2021-07-20 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法 Pending JP2023015808A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021119815A JP2023015808A (ja) 2021-07-20 2021-07-20 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法
KR1020220086362A KR102900827B1 (ko) 2021-07-20 2022-07-13 광원 장치, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법
CN202210835115.7A CN115639728A (zh) 2021-07-20 2022-07-15 光源装置、曝光装置以及物品的制造方法
KR1020250191376A KR20260002384A (ko) 2021-07-20 2025-12-05 광원 장치, 노광 장치, 및 물품의 제조 방법
JP2026005023A JP2026063175A (ja) 2021-07-20 2026-01-15 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021119815A JP2023015808A (ja) 2021-07-20 2021-07-20 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2026005023A Division JP2026063175A (ja) 2021-07-20 2026-01-15 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023015808A JP2023015808A (ja) 2023-02-01
JP2023015808A5 true JP2023015808A5 (https=) 2024-07-09

Family

ID=84939487

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021119815A Pending JP2023015808A (ja) 2021-07-20 2021-07-20 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法
JP2026005023A Pending JP2026063175A (ja) 2021-07-20 2026-01-15 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2026005023A Pending JP2026063175A (ja) 2021-07-20 2026-01-15 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (2) JP2023015808A (https=)
KR (2) KR102900827B1 (https=)
CN (1) CN115639728A (https=)

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004342633A (ja) * 2003-05-13 2004-12-02 Nikon Corp 露光装置、照明装置及び露光方法
DE102004015700A1 (de) * 2004-03-29 2005-11-03 Platsch Gmbh & Co.Kg Flächige UV-Lichtquelle
JP2009289622A (ja) * 2008-05-29 2009-12-10 Sharp Corp 照明装置
US8536790B2 (en) * 2008-12-26 2013-09-17 Mitsubishi Electric Corporation LED lighting device and head lamp LED lighting device
US8592830B2 (en) * 2009-04-13 2013-11-26 Panasonic Corporation LED unit
JP5421799B2 (ja) * 2010-01-18 2014-02-19 パナソニック株式会社 Ｌｅｄユニット
WO2011096365A1 (ja) * 2010-02-05 2011-08-11 日本精工株式会社 露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法、並びに露光装置、露光方法及び基板
JP2011165509A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Moritex Corp Ｌｅｄ照明装置
WO2012095889A1 (ja) * 2011-01-11 2012-07-19 三菱電機株式会社 Ｌｅｄ点灯装置
JP5325907B2 (ja) * 2011-02-22 2013-10-23 東京エレクトロン株式会社 局所露光装置
JP2013104934A (ja) * 2011-11-11 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd 露光装置及び露光方法
KR20130114032A (ko) * 2013-08-30 2013-10-16 (주)세미솔루션 광 발생 장치 및 그의 제어 방법
JP2015214092A (ja) * 2014-05-12 2015-12-03 キヤノン株式会社 画像形成装置、露光器、及び画像形成方法
JP6503235B2 (ja) * 2015-06-02 2019-04-17 株式会社アドテックエンジニアリング 光源装置、露光装置及び光源制御方法
KR101820041B1 (ko) * 2016-02-02 2018-01-18 조남직 노광용 광원모듈 유닛 및 그 광원모듈 유닛이 구비된 노광장치
KR102672299B1 (ko) * 2016-05-17 2024-06-04 더 유니버시티 오브 홍콩 자체(in situ) 실시간 강도 모니터링을 위한 일체형으로 통합된 광감지기들을 구비한 발광 다이오드(LED)
JP6636996B2 (ja) * 2017-07-11 2020-01-29 ファナック株式会社 Ｌｄモジュール冷却装置及びレーザ装置
KR102148856B1 (ko) * 2018-10-30 2020-08-27 주식회사 에이아이오코리아 Uv led 광원을 이용한 노광장치
JP7210249B2 (ja) * 2018-11-30 2023-01-23 キヤノン株式会社 光源装置、照明装置、露光装置及び物品の製造方法
JP7267761B2 (ja) * 2019-01-31 2023-05-02 キヤノン株式会社 光源装置、照明装置、露光装置及び物品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2470223C2 (ru) Устройство источника света и устройство отображения изображений проекторного типа
EP3715709A2 (en) Led light engine with integrated color system
CN101886757A (zh) 照明装置
US20150192274A1 (en) Led array beam control luminaires
KR20100099651A (ko) 광조사 장치
JP2023015808A5 (https=)
US20130278156A1 (en) Light-emitting diode lighting apparatus, illuminating apparatus and illuminating method
JP2023096984A (ja) 露光装置及び物品の製造方法
CN114234130A (zh) 氛围灯具
US20110121749A1 (en) Led array luminaires
JP7458853B2 (ja) 光源装置、照明装置、及び露光装置。
JP2026063175A (ja) 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法
WO2009114646A2 (en) Led array luminaires
EP4709111A1 (en) Light source apparatus, exposure apparatus, and article manufacturing method
CN209101022U (zh) 一种照射宽度和亮度可调的线光源
JP7126876B2 (ja) 照明装置および投光器
JP2005316441A (ja) 照明装置及び投写型映像表示装置
JP7418128B2 (ja) 光源装置、照明装置、及び露光装置。
JP7737617B2 (ja) 光源モジュールおよび照明装置
WO2025187716A1 (ja) 照明制御システム、照明装置、照明制御方法、及びプログラム
JP2021162612A5 (https=)
JP2025135886A (ja) 照明制御システム、照明装置、及び照明制御方法
JP2023073019A (ja) 光源装置、露光装置、及び物品の製造方法
JP2025020625A (ja) 発光装置
JP2025021991A (ja) 照明制御システム