JP2021162613A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2021162613A5
JP2021162613A5 JP2020060987A JP2020060987A JP2021162613A5 JP 2021162613 A5 JP2021162613 A5 JP 2021162613A5 JP 2020060987 A JP2020060987 A JP 2020060987A JP 2020060987 A JP2020060987 A JP 2020060987A JP 2021162613 A5 JP2021162613 A5 JP 2021162613A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
source device
led
chip
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020060987A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2021162613A (ja
JP7458853B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2020060987A priority Critical patent/JP7458853B2/ja
Priority claimed from JP2020060987A external-priority patent/JP7458853B2/ja
Priority to CN202110233730.6A priority patent/CN113467191A/zh
Priority to KR1020210036402A priority patent/KR102700446B1/ko
Publication of JP2021162613A publication Critical patent/JP2021162613A/ja
Publication of JP2021162613A5 publication Critical patent/JP2021162613A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7458853B2 publication Critical patent/JP7458853B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2020060987A 2020-03-30 2020-03-30 光源装置、照明装置、及び露光装置。 Active JP7458853B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020060987A JP7458853B2 (ja) 2020-03-30 2020-03-30 光源装置、照明装置、及び露光装置。
CN202110233730.6A CN113467191A (zh) 2020-03-30 2021-03-03 光源装置、照明装置以及曝光装置
KR1020210036402A KR102700446B1 (ko) 2020-03-30 2021-03-22 광원 장치, 조명 장치 및 노광 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020060987A JP7458853B2 (ja) 2020-03-30 2020-03-30 光源装置、照明装置、及び露光装置。

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2021162613A JP2021162613A (ja) 2021-10-11
JP2021162613A5 true JP2021162613A5 (https=) 2023-03-27
JP7458853B2 JP7458853B2 (ja) 2024-04-01

Family

ID=77868225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020060987A Active JP7458853B2 (ja) 2020-03-30 2020-03-30 光源装置、照明装置、及び露光装置。

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7458853B2 (https=)
KR (1) KR102700446B1 (https=)
CN (1) CN113467191A (https=)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2026046013A (ja) * 2024-08-30 2026-03-13 キヤノン株式会社 光源装置、露光装置、および、物品製造方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007073984A (ja) * 2003-01-16 2007-03-22 Nikon Corp 照明光源装置、露光装置及び露光方法
JP2004274011A (ja) * 2003-01-16 2004-09-30 Nikon Corp 照明光源装置、照明装置、露光装置、及び露光方法
JP2005316441A (ja) * 2004-03-30 2005-11-10 Sanyo Electric Co Ltd 照明装置及び投写型映像表示装置
JP2005339881A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Hitachi Displays Ltd 照明装置、照明モジュール及び液晶表示装置
JP2006019412A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Canon Inc 露光装置及びデバイスの製造方法
JP4148230B2 (ja) * 2005-03-01 2008-09-10 セイコーエプソン株式会社 冷却ユニットの製造方法、冷却ユニット、光学装置、並びにプロジェクタ
TWI345661B (en) * 2006-10-30 2011-07-21 Coretronic Corp Backlight module
JP5344809B2 (ja) 2007-11-21 2013-11-20 アルパイン株式会社 バックライト装置
JP2010098204A (ja) * 2008-10-20 2010-04-30 Stanley Electric Co Ltd 光源の冷却構造
US8592830B2 (en) * 2009-04-13 2013-11-26 Panasonic Corporation LED unit
JP2010278130A (ja) * 2009-05-27 2010-12-09 Toyota Motor Corp パワーデバイスの冷却装置及び燃料電池システム
KR101034935B1 (ko) * 2009-07-30 2011-05-17 박상희 방송 및 사진 촬영용 엘이디 조명장치
WO2015064470A1 (ja) * 2013-10-30 2015-05-07 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 光源装置及び内視鏡装置
JP2016111268A (ja) * 2014-12-09 2016-06-20 キヤノン株式会社 冷却装置、照明光学系、露光装置、並びに物品の製造方法
CN104896330A (zh) * 2015-06-03 2015-09-09 中国科学院半导体研究所 Led光源模组
JP2017045002A (ja) * 2015-08-28 2017-03-02 キヤノン株式会社 光源装置及び投射型表示装置
CN109844970B (zh) * 2016-07-28 2023-04-04 亮锐有限责任公司 具有反射侧覆层的发光器件封装
JP6726401B2 (ja) * 2016-08-23 2020-07-22 株式会社リコー 光源装置、画像投写装置、及び光源装置の配置方法
EP3301999B1 (en) * 2016-09-30 2020-06-17 HP Scitex Ltd Light emitting diode heatsink
JP6636996B2 (ja) * 2017-07-11 2020-01-29 ファナック株式会社 Ldモジュール冷却装置及びレーザ装置
EP3495050A1 (en) * 2017-12-07 2019-06-12 Syddansk Universitet Fluid based cooling system
CN110095929A (zh) * 2018-01-29 2019-08-06 精工爱普生株式会社 投影仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200919103A (en) Ultraviolet light-emitting diode exposure apparatus for microfabrication
US20110037390A1 (en) Multi-chip package LED lighting device
US20100283978A1 (en) LED-based UV illuminators and lithography systems using same
TWI851941B (zh) 光源裝置,冷卻方法,及產品的製造方法
TWI608309B (zh) 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置
JP2021162613A5 (https=)
HRP20161336T1 (hr) Rasvjetno tijelo s reflektorom
TWI766854B (zh) 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置
Watjanatepin et al. Rectangular module for large scale solar simulator based on high-powered LEDs array
CN108253370A (zh) 一种太阳光led发光系统
JP7458853B2 (ja) 光源装置、照明装置、及び露光装置。
KR20100030339A (ko) 엘이디를 이용한 조명 모듈
CN105190884B (zh) Led模块和具有相应模块的照明组件
KR101110516B1 (ko) 노광용 광원
TW201704884A (zh) 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置
JP2021162612A5 (https=)
CN107990215A (zh) 线光源的聚光结构、光源系统及应用
JP7418128B2 (ja) 光源装置、照明装置、及び露光装置。
KR200445215Y1 (ko) Led 확산 렌즈를 이용한 조명장치
JP7126876B2 (ja) 照明装置および投光器
CN112014966A (zh) 一种两色led阵列照明显微镜
JP2023015808A5 (https=)
CN220338298U (zh) 照明装置
KR101808419B1 (ko) 냉각부 및 광학격벽을 포함하는 led 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치
CN223928744U (zh) 一种全光谱led灯具