JP2021162613A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021162613A5 JP2021162613A5 JP2020060987A JP2020060987A JP2021162613A5 JP 2021162613 A5 JP2021162613 A5 JP 2021162613A5 JP 2020060987 A JP2020060987 A JP 2020060987A JP 2020060987 A JP2020060987 A JP 2020060987A JP 2021162613 A5 JP2021162613 A5 JP 2021162613A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- source device
- led
- chip
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020060987A JP7458853B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 光源装置、照明装置、及び露光装置。 |
| CN202110233730.6A CN113467191A (zh) | 2020-03-30 | 2021-03-03 | 光源装置、照明装置以及曝光装置 |
| KR1020210036402A KR102700446B1 (ko) | 2020-03-30 | 2021-03-22 | 광원 장치, 조명 장치 및 노광 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020060987A JP7458853B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 光源装置、照明装置、及び露光装置。 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021162613A JP2021162613A (ja) | 2021-10-11 |
| JP2021162613A5 true JP2021162613A5 (https=) | 2023-03-27 |
| JP7458853B2 JP7458853B2 (ja) | 2024-04-01 |
Family
ID=77868225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020060987A Active JP7458853B2 (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 光源装置、照明装置、及び露光装置。 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7458853B2 (https=) |
| KR (1) | KR102700446B1 (https=) |
| CN (1) | CN113467191A (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2026046013A (ja) * | 2024-08-30 | 2026-03-13 | キヤノン株式会社 | 光源装置、露光装置、および、物品製造方法 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073984A (ja) * | 2003-01-16 | 2007-03-22 | Nikon Corp | 照明光源装置、露光装置及び露光方法 |
| JP2004274011A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-09-30 | Nikon Corp | 照明光源装置、照明装置、露光装置、及び露光方法 |
| JP2005316441A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-11-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 照明装置及び投写型映像表示装置 |
| JP2005339881A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Hitachi Displays Ltd | 照明装置、照明モジュール及び液晶表示装置 |
| JP2006019412A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Canon Inc | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP4148230B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2008-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 冷却ユニットの製造方法、冷却ユニット、光学装置、並びにプロジェクタ |
| TWI345661B (en) * | 2006-10-30 | 2011-07-21 | Coretronic Corp | Backlight module |
| JP5344809B2 (ja) | 2007-11-21 | 2013-11-20 | アルパイン株式会社 | バックライト装置 |
| JP2010098204A (ja) * | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Stanley Electric Co Ltd | 光源の冷却構造 |
| US8592830B2 (en) * | 2009-04-13 | 2013-11-26 | Panasonic Corporation | LED unit |
| JP2010278130A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Toyota Motor Corp | パワーデバイスの冷却装置及び燃料電池システム |
| KR101034935B1 (ko) * | 2009-07-30 | 2011-05-17 | 박상희 | 방송 및 사진 촬영용 엘이디 조명장치 |
| WO2015064470A1 (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 光源装置及び内視鏡装置 |
| JP2016111268A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、照明光学系、露光装置、並びに物品の製造方法 |
| CN104896330A (zh) * | 2015-06-03 | 2015-09-09 | 中国科学院半导体研究所 | Led光源模组 |
| JP2017045002A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | キヤノン株式会社 | 光源装置及び投射型表示装置 |
| CN109844970B (zh) * | 2016-07-28 | 2023-04-04 | 亮锐有限责任公司 | 具有反射侧覆层的发光器件封装 |
| JP6726401B2 (ja) * | 2016-08-23 | 2020-07-22 | 株式会社リコー | 光源装置、画像投写装置、及び光源装置の配置方法 |
| EP3301999B1 (en) * | 2016-09-30 | 2020-06-17 | HP Scitex Ltd | Light emitting diode heatsink |
| JP6636996B2 (ja) * | 2017-07-11 | 2020-01-29 | ファナック株式会社 | Ldモジュール冷却装置及びレーザ装置 |
| EP3495050A1 (en) * | 2017-12-07 | 2019-06-12 | Syddansk Universitet | Fluid based cooling system |
| CN110095929A (zh) * | 2018-01-29 | 2019-08-06 | 精工爱普生株式会社 | 投影仪 |
-
2020
- 2020-03-30 JP JP2020060987A patent/JP7458853B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-03 CN CN202110233730.6A patent/CN113467191A/zh active Pending
- 2021-03-22 KR KR1020210036402A patent/KR102700446B1/ko active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200919103A (en) | Ultraviolet light-emitting diode exposure apparatus for microfabrication | |
| US20110037390A1 (en) | Multi-chip package LED lighting device | |
| US20100283978A1 (en) | LED-based UV illuminators and lithography systems using same | |
| TWI851941B (zh) | 光源裝置,冷卻方法,及產品的製造方法 | |
| TWI608309B (zh) | 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置 | |
| JP2021162613A5 (https=) | ||
| HRP20161336T1 (hr) | Rasvjetno tijelo s reflektorom | |
| TWI766854B (zh) | 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置 | |
| Watjanatepin et al. | Rectangular module for large scale solar simulator based on high-powered LEDs array | |
| CN108253370A (zh) | 一种太阳光led发光系统 | |
| JP7458853B2 (ja) | 光源装置、照明装置、及び露光装置。 | |
| KR20100030339A (ko) | 엘이디를 이용한 조명 모듈 | |
| CN105190884B (zh) | Led模块和具有相应模块的照明组件 | |
| KR101110516B1 (ko) | 노광용 광원 | |
| TW201704884A (zh) | 曝光用光源模組單元及具備該光源模組單元的曝光裝置 | |
| JP2021162612A5 (https=) | ||
| CN107990215A (zh) | 线光源的聚光结构、光源系统及应用 | |
| JP7418128B2 (ja) | 光源装置、照明装置、及び露光装置。 | |
| KR200445215Y1 (ko) | Led 확산 렌즈를 이용한 조명장치 | |
| JP7126876B2 (ja) | 照明装置および投光器 | |
| CN112014966A (zh) | 一种两色led阵列照明显微镜 | |
| JP2023015808A5 (https=) | ||
| CN220338298U (zh) | 照明装置 | |
| KR101808419B1 (ko) | 냉각부 및 광학격벽을 포함하는 led 광원을 이용한 스캔 방식의 노광장치 | |
| CN223928744U (zh) | 一种全光谱led灯具 |