JP2022128590A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2022128590A5
JP2022128590A5 JP2022022554A JP2022022554A JP2022128590A5 JP 2022128590 A5 JP2022128590 A5 JP 2022128590A5 JP 2022022554 A JP2022022554 A JP 2022022554A JP 2022022554 A JP2022022554 A JP 2022022554A JP 2022128590 A5 JP2022128590 A5 JP 2022128590A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ipd
baw
filter structure
baw resonator
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022022554A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2022128590A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US17/182,988 external-priority patent/US11923827B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2022128590A publication Critical patent/JP2022128590A/ja
Publication of JP2022128590A5 publication Critical patent/JP2022128590A5/ja
Priority to JP2026042729A priority Critical patent/JP2026094466A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2022022554A 2021-02-23 2022-02-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器 Pending JP2022128590A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2026042729A JP2026094466A (ja) 2021-02-23 2026-03-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/182,988 US11923827B2 (en) 2021-02-23 2021-02-23 Bulk acoustic wave resonator stacked onto an integrated passive device
US17/182,988 2021-02-23

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2026042729A Division JP2026094466A (ja) 2021-02-23 2026-03-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022128590A JP2022128590A (ja) 2022-09-02
JP2022128590A5 true JP2022128590A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2025-06-11

Family

ID=82702318

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022022554A Pending JP2022128590A (ja) 2021-02-23 2022-02-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器
JP2026042729A Pending JP2026094466A (ja) 2021-02-23 2026-03-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2026042729A Pending JP2026094466A (ja) 2021-02-23 2026-03-17 一体型受動デバイス上に積み重ねられたバルク音響波共振器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11923827B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (2) JP2022128590A (cg-RX-API-DMAC7.html)
KR (1) KR102983765B1 (cg-RX-API-DMAC7.html)
CN (1) CN114978092A (cg-RX-API-DMAC7.html)
DE (1) DE102022201420A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116562212B (zh) * 2023-05-26 2024-10-11 安徽大学 一种有限元结合Mason模型的体声波滤波器设计方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015025758A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 Hoya株式会社 基板検査方法、基板製造方法および基板検査装置
WO2015019989A1 (ja) * 2013-08-07 2015-02-12 Hoya株式会社 感光性ガラス成形体およびその製造方法
US9978732B2 (en) * 2014-09-30 2018-05-22 Skyworks Solutions, Inc. Network with integrated passive device and conductive trace in packaging substrate and related modules and devices
US11050412B2 (en) * 2016-09-09 2021-06-29 Qorvo Us, Inc. Acoustic filter using acoustic coupling
CN111164889B (zh) * 2017-09-29 2023-11-03 株式会社村田制作所 混合滤波器装置以及多路调制器
WO2019132937A1 (en) * 2017-12-28 2019-07-04 Intel Corporation Hybrid filters and packages therefor
DE102019210493B4 (de) * 2018-07-18 2026-05-07 Skyworks Solutions, Inc. Hybrides akustisches lc-filter kaskadiert mit lc-filter
JP2020108066A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社村田製作所 フィルタ回路及びフィルタ装置
KR102493538B1 (ko) * 2018-12-28 2023-02-06 3디 글래스 솔루션즈 인코포레이티드 광활성 유리 기판들에서 rf, 마이크로파, 및 mm 파 시스템들을 위한 이종 통합
US11502667B2 (en) * 2019-01-14 2022-11-15 Qorvo Us, Inc. Top electrodes with step arrangements for bulk acoustic wave resonators
CN111628747B (zh) * 2020-04-26 2023-01-17 深圳市信维通信股份有限公司 一种滤波装置、一种射频前端装置及一种无线通信装置
JP2022024343A (ja) * 2020-07-16 2022-02-09 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
US20220140814A1 (en) * 2020-10-30 2022-05-05 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with integrated passive device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5654303B2 (ja) 電子部品およびその製造方法、並びに電子部品を備えた電子デバイス
JP2020031428A5 (ja) 無線周波数フィルタ、電子機器モジュール、弾性波デバイス及び電子デバイス
JP6555270B2 (ja) 受動素子付フィルタ部品および高周波モジュール
CN103415995B (zh) 电子元器件
JP3913700B2 (ja) 弾性表面波デバイス及びその製造方法
WO2010125873A1 (ja) 弾性波装置及びその製造方法
CN106716827B (zh) 压电模块
CN111740722B (zh) 滤波器和射频通信设备
JP3952464B2 (ja) デュプレクサ
CN110114975B (zh) 弹性波装置、高频前端模块以及通信装置
WO2000042704A1 (en) Surface acoustic wave element and surface acoustic wave device
CN114826192B (zh) 三维集成的mems振荡器
JP2001217674A (ja) 弾性表面波装置
KR20170073188A (ko) 표면 탄성파 웨이퍼 레벨 패키지 및 이를 위한 pcb 제작 방법
US9166559B2 (en) Circuit module and composite circuit module
CN114844484A (zh) 弹性波装置及包含所述弹性波装置的模块
JP4722204B2 (ja) 弾性表面波装置及び弾性表面波装置の製造方法
CN103312292A (zh) 单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法
CN121585128B (zh) 一种高度集成的体声波谐振器、滤波器及制备方法
JP2016225727A (ja) 弾性波装置および通信装置
US12633894B2 (en) Elastic wave device, module
JP7055503B1 (ja) 弾性波デバイス
US20240364310A1 (en) Acoustic wave devices and modules with acoustic wave devices
JP7364197B2 (ja) 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール
JP2022071310A (ja) モジュール