JP2022103440A - 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板液処理装置A1は、処理液43及び基板8を収容する処理槽41と、処理槽41内の下部にガスを吐出するガスノズル70と、ガスを供給するガス供給部90と、ガスノズル70及びガス供給部90を接続するガス供給ライン93と、ガス供給ライン93を減圧することによりガス供給ライン93に処理槽41内の処理液43を引き込む減圧部95と、処理槽41に基板8が収容されていないアイドル期間の一部において、ガスの供給が停止するようにガス供給部90を制御すると共に、ガス供給ライン93に処理液43が引き込まれるように減圧部95を制御する、第1制御を実行するように構成された制御部7と、を備える。
【選択図】図2
Description
続いて基板液処理システム1Aが含む基板液処理装置A1について詳細に説明する。図2及び図3に示すように、基板液処理装置A1は、洗浄処理装置1と、制御部7とを備える。
洗浄処理装置1は、液処理部40と、処理液供給部44と、処理液排出部67と、複数(例えば6つ)のガスノズル70と、ガス供給部90と、ガス供給ライン93と、減圧部95と、開放ライン97とを備える。
制御部7は、処理槽41に基板8が収容されていないアイドル期間の一部において、ガスの供給が停止するようにガス供給部90を制御すると共に、ガス供給ライン93に処理液43が引き込まれるように減圧部95を制御する、第1制御を実行する。
続いて、基板液処理方法の一例として、制御部7が実行する制御手順を説明する。図4に示すように、制御部7は、まずステップS1を実行する。ステップS1は、処理液43の充填制御を含む。充填制御についてのより詳細な手順は後述する。次に、制御部7はステップS2を実行する。ステップS2では、レシピ記憶部111に記憶されたレシピの処理予定に基づいて、次回の液交換処理開始までの時間がロット処理に関する第1時間以上であるか否かが判定される。ロット処理に関する第1時間とは、ロット処理を実行するために必要な時間に所定のバッファを加えた時間である。
続いて、上記ステップS1における処理液43の充填制御の詳細な手順を説明する。なおステップS1の実行開始タイミングにおいては、ガス供給ライン93に設けられた供給バルブ92、及び開放ライン97に設けられた開放バルブ96の双方が閉じた状態となっている。図5に示すように、制御部7は、まずステップS11を実行する。ステップS11では、液供給制御部112が、処理槽41への処理液43の充填が開始されるように処理液供給部44を制御する。具体的には、液供給制御部112は、処理槽41が空であり、開閉弁69が閉じた状態にて、流量調節器46を開いて外槽42内への処理液43の供給を開始し、供給ポンプ52を駆動させて外槽42から処理槽41への送液を開始するように処理液供給部44を制御する。
続いて、上記ステップS4におけるロット処理制御の詳細な手順を図6及び図11を参照して説明する。図6に示すように、制御部7はまずステップS41を実行する。ステップS41では、レシピ記憶部111に記憶されたレシピの処理予定に基づいて、前段処理がアイドル処理であるか否かが判定される。当該ステップS41の処理は、「前段処理がアイドル処理である場合には、ガス供給が停止し開放バルブ96が開いた状態となっているのに対し、前段処理がアイドル処理以外のロット処理又は液交換処理である場合には、ガスが供給されて開放バルブ96が閉じた状態になっている」との前提に基づき、前段処理の内容によって処理が変わるために行っているものである。なお、本実施形態の説明では、アイドル処理が終わった状態においては、ガス供給が停止し開放バルブ96が開いた状態となっているとして説明するがこれに限定されるものでなく、アイドル処理が終わった状態において、前段処理がロット処理等である場合と同様に、ガスが供給されて開放バルブ96が閉じた状態になっていてもよい。その場合には、ロット処理制御においては、ステップS43~S45の処理が最初に行われ、その後にステップS42以降の処理が行われる。
続いて、上記ステップS8における液交換処理制御の詳細な手順を図7及び図12を参照して説明する。図7に示すように、制御部7はまずステップS81を実行する。ステップS81では、レシピ記憶部111に記憶されたレシピの処理予定に基づいて、前段処理がアイドル処理であるか否かが判定される。ステップS81において、前段処理がアイドル処理である(図12(a)に示す状態となっている)と判定された場合には、制御部7はステップS82及びステップS83を実行する。ステップS82では、減圧制御部116が、開放バルブ96を閉じる。ステップS83では、ガス供給制御部115が、ガス供給ライン93にガスが供給されるように供給バルブ92を開く。
続いて、上記ステップS5及びS9におけるアイドル処理制御の詳細な手順を、図8を参照して説明する。図8に示すように、制御部7はまずステップS101を実行する。ステップS101では、レシピ記憶部111に記憶されたレシピの処理予定に基づいて、前段処理がロット処理であったか否かが判定される。当該処理は、前段処理がロット処理である場合には、前段処理がロット処理でない場合と比べて処理液が汚れているため、ガス供給ライン93への処理液43の引き込み量を小さくする(より詳細には、積極的には引き込まない)との制御を行うために行っている。
以上に説明したように、基板液処理装置A1は、処理液43及び基板8を収容する処理槽41と、処理槽41内の下部にガスを吐出するガスノズル70と、ガスを供給するガス供給部90と、ガスノズル70及びガス供給部90を接続するガス供給ライン93と、ガス供給ライン93を減圧することによりガス供給ライン93に処理槽41内の処理液43を引き込む減圧部95と、処理槽41に基板8が収容されていないアイドル期間の一部において、ガスの供給が停止するようにガス供給部90を制御すると共に、ガス供給ライン93に処理液43が引き込まれるように減圧部95を制御する、第1制御を実行するように構成された制御部7と、を備える。
Claims (7)
- 処理液及び基板を収容する処理槽と、
前記処理槽内の前記処理液を撮像可能な位置に設けられた撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像に基づき前記処理液の沸騰状態を特定し、特定した沸騰状態に基づき前記処理液の濃度を調整する制御部と、を備え、
前記制御部は、所定期間において前記撮像部によって撮像された複数の画像それぞれにおける気泡の個数を推定し、推定した気泡の個数と、気泡の個数の範囲及び沸騰状態を示す区分が関連付けられた情報とに基づき、推定した前記気泡の個数に応じた前記沸騰状態を示す区分を特定する、基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記撮像部によって撮像されて取り込まれた前記複数の画像について、画像処理ソフトを用いて、沸騰状態を特定し、
特定した沸騰状態が、基準となる沸騰状態から乖離している場合には、乖離が小さくなるようにフィードバック処理を行い、前記処理液の濃度を一定に維持する、請求項1記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、前記撮像部によって撮像された画像と、背景画像である水単相流画像との間で差分画像を生成し、該差分画像に基づき、前記処理液の沸騰状態を特定する、請求項1又は2記載の基板液処理装置。
- 前記制御部は、前記差分画像にメディアンフィルターをかけてノイズを除去する、請求項3記載の基板液処理装置。
- 前記制御部は、ノイズが除去された前記差分画像について2値化処理を行い、気泡のみを画像から抽出して、気泡の個数を推定する、請求項4記載の基板液処理装置。
- 基板液処理装置が実施する基板液処理方法であって、
処理液及び基板を収容する処理槽内の前記処理液を撮像することと、
所定期間において撮像された複数の画像それぞれにおける気泡の個数を推定することと、
推定した気泡の個数と、気泡の個数の範囲及び沸騰状態を示す区分が関連付けられた情報とに基づき、推定した前記気泡の個数に応じた前記沸騰状態を示す区分を特定することと、
特定した前記沸騰状態に基づき、前記処理液の濃度を調整することと、を含む基板液処理方法。 - 請求項6に記載の基板液処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04369361A (ja) * | 1991-06-18 | 1992-12-22 | Kotohiko Sekoguchi | 直火式高温再生器 |
JP2004153164A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | M Fsi Kk | 沸騰薬液の管理方法 |
JP2006090901A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Fujitsu Ltd | 半導体製品の製造工程における処理評価方法および装置ならびに半導体製品製造システム |
JP2012078195A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Toray Ind Inc | 溶液中の異物検査方法 |
WO2012090695A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 旭硝子株式会社 | 電子デバイスとその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0620520B2 (ja) * | 1986-09-18 | 1994-03-23 | 三菱重工業株式会社 | 散気ノズルの洗浄方法 |
JPH0758078A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-03-03 | Matsushita Electron Corp | ウエットエッチング処理装置 |
US5922138A (en) * | 1996-08-12 | 1999-07-13 | Tokyo Electron Limited | Liquid treatment method and apparatus |
JPH11204476A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄処理装置及び洗浄処理方法 |
JP4688741B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-05-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04369361A (ja) * | 1991-06-18 | 1992-12-22 | Kotohiko Sekoguchi | 直火式高温再生器 |
JP2004153164A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | M Fsi Kk | 沸騰薬液の管理方法 |
JP2006090901A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Fujitsu Ltd | 半導体製品の製造工程における処理評価方法および装置ならびに半導体製品製造システム |
JP2012078195A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Toray Ind Inc | 溶液中の異物検査方法 |
WO2012090695A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 旭硝子株式会社 | 電子デバイスとその製造方法 |
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