JP2022083681A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024066091A (ja) * 2022-11-01 2024-05-15 キヤノントッキ株式会社 成膜装置、成膜装置の駆動方法、及び成膜方法
JP2025023499A (ja) * 2023-08-04 2025-02-17 キヤノントッキ株式会社 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び成膜方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017222009A (ja) 2016-06-16 2017-12-21 ローランドディー．ジー．株式会社 回転軸ユニット、加工装置
CN107851603B (zh) * 2016-06-24 2021-11-23 佳能特机株式会社 基板载置方法、成膜方法、电子设备的制造方法
JP6876520B2 (ja) * 2016-06-24 2021-05-26 キヤノントッキ株式会社 基板の挟持方法、基板の挟持装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイスの製造方法、基板載置方法、アライメント方法、基板載置装置
JP2018072541A (ja) * 2016-10-28 2018-05-10 キヤノン株式会社 パターン形成方法、基板の位置決め方法、位置決め装置、パターン形成装置、及び、物品の製造方法
JP6448067B2 (ja) * 2017-05-22 2019-01-09 キヤノントッキ株式会社 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法
KR20200049357A (ko) * 2018-10-31 2020-05-08 캐논 톡키 가부시키가이샤 흡착 및 얼라인먼트 방법, 흡착 시스템, 성막 방법, 성막 장치 및 전자 디바이스의 제조 방법
JP7170524B2 (ja) * 2018-12-14 2022-11-14 キヤノントッキ株式会社 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、有機ｅｌパネルの製造システム
JP7194006B2 (ja) * 2018-12-18 2022-12-21 キヤノントッキ株式会社 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ｅｌパネルの製造システム
KR102133900B1 (ko) * 2018-12-27 2020-07-15 캐논 톡키 가부시키가이샤 얼라인먼트 시스템, 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스 제조방법
KR20200104969A (ko) * 2019-02-27 2020-09-07 캐논 톡키 가부시키가이샤 얼라인먼트 장치, 성막 장치, 얼라인먼트 방법, 성막 방법, 및 전자 디바이스 제조방법

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