KR20220022855A - 분단 방법 및 분단 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 곡선부를 포함하는 스크라이브 라인을 따라서 기판을 양호하게 분단하는 것이 가능한 분단 방법 및 분단 장치를 제공한다.
[해결 수단] 직선부 (L12) 와 곡선부 (L11) 를 포함하는 형상의 제품부 (F1) 를, 제품부 (F1) 의 외형을 따라서 형성된 스크라이브 라인 (L) 에 의해서, 기판 (F) 으로부터 분단하는 분단 방법으로서, 스크라이브 라인 (L) 은, 기판 (F) 의 외주로 연장된 외접부 (L2) 를 갖고, 스크라이브 라인 (L) 의 외측의 단재부 (F2) 의 영역 중 외접부 (L2) 부근의 기점 위치 Q1 을 가압 수단 (30) 에 의해서 가압하고 (S15), 가압 수단 (30) 에 의한 가압 위치를, 단재부 (F2) 의 영역 내에 있어서, 스크라이브 라인 (L) 의 둘레 방향으로 변화시킨다 (S17).

Description

분단 방법 및 분단 장치{DIVIDING METHOD AND DIVIDING APPARATUS}

본 발명은 스크라이브 라인을 따라서 기판을 분단하는 분단 방법 및 분단 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판에 대한 제품부를 잘라내는 것은, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 스크라이브 라인을 따라서 기판을 분단하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다.

아래의 특허문헌 1 에는, 스크라이브 라인 근방에 브레이크 바를 압접시키면서, 스크라이브 라인을 따라서 브레이크 바를 전동시킴으로써, 기판을 분단하는 분단 방법이 개시되어 있다. 제품부가 직사각형인 경우, 4 개의 변을 따라서 스크라이브 라인이 형성되고, 각 변에 대해서 상기한 방법에 의한 분단 공정이 행해진다. 이로써, 각 변의 스크라이브 라인을 따라서 기판이 만곡되고, 스크라이브 라인을 따라서 기판이 분단된다.

일본 특허공보 제5129826호

제품부의 윤곽은, 직사각형의 모서리가 둥글려진 형상 등, 곡선부를 포함하는 경우가 있다. 이 경우, 제품부의 윤곽을 따라서 스크라이브 라인이 형성되기 때문에, 스크라이브 라인은 곡선부를 포함하는 것이 된다. 이와 같이, 스크라이브 라인이 곡선부를 포함하는 경우에는, 제품부측의 단면 (端面) 에 결손 (치핑) 이나 균열이 발생되지 않게, 곡선부를 따라서 기판을 양호하게 분단할 필요가 있다.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 곡선부를 포함하는 스크라이브 라인을 따라서 기판을 양호하게 분단하는 것이 가능한 분단 방법 및 분단 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 양태는, 기판을 분단하는 분단 방법에 관한 것이다. 본 양태에 관련된 분단 방법은, 직선부와 곡선부를 포함하는 형상의 제품부를, 상기 제품부의 외형을 따라서 형성된 스크라이브 라인에 의해서, 기판으로부터 분단하는 분단 방법으로서, 상기 스크라이브 라인은, 상기 기판의 외주로 연장된 외접부를 갖고, 상기 스크라이브 라인의 외측의 단재부 (端材部) 의 영역 중 상기 외접부 부근의 기점 위치를 가압 수단에 의해서 가압하고, 상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시킨다.

본 양태에 관련된 구성에 의하면, 기점 위치를 가압 수단으로 가압하면, 기점 위치의 크랙이 기판의 두께 방향으로 신전 (伸展) 하고, 기판의 이면에 도달함으로써 제품부와 단재부의 분단이 발생된다. 가압 수단의 이동에 수반하여, 가압 수단에 의해서 가압된 가압 위치를 따라서 크랙이 잇따라 신전한다. 이 구성에서는, 가압 위치는 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 변화한다. 이 때문에, 크랙도 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 신전한다. 이로써, 기판으로부터 제품부를 분단할 수 있다.

또, 이와 같이, 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 크랙이 신전하기 때문에, 스크라이브 라인이 곡선부를 갖는 경우에도, 가압 위치가 곡선부의 외측을 따라서 이동함으로써, 곡선부를 따라서 크랙이 원활하게 신전해 간다. 따라서, 제품부의 직선부 및 곡선부의 단면에 결손 (치핑) 이나 균열이 발생되지 않아, 양호한 상태에서 기판으로부터 제품부를 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 기점 위치로부터 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있다.

이 구성에 의하면, 가압 위치의 연속적인 이동에 수반하여 크랙이 연속적으로 신전하기 때문에, 스크라이브 라인을 따라서 크랙을 원활하게 신전시킬 수 있다. 따라서, 기판으로부터 제품부를 보다 양호한 상태에서 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 직선 부분을 따라서 상기 가압 위치를 이동시키는 속도보다, 낮은 속도로, 상기 스크라이브 라인의 곡선 부분을 따라서 상기 가압 위치를 이동시킬 수 있다.

이 구성에 의하면, 가압 수단이 곡선부의 근방을 가압할 때의 속도는, 다른 부분보다 속도가 느리다. 이로써, 곡선부에 있어서 크랙이 완만하게 신전해 가고, 크랙의 신전 방향이 스크라이브 라인의 곡선부를 따르기가 쉬워진다. 따라서, 곡선부의 분단을 양호하게 행할 수 있다. 또, 곡선부에 있어서, 크랙이 스크라이브 라인 이외의 부분으로 신전하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제품부의 단면을 양호한 상태로 형성할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 기점 위치로부터 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 간헐적으로 이동시킬 수 있다.

이 구성에 의하면, 이와 같은 가압 방법에 의해서도, 가압 위치의 간격을 적정하게 조정함으로써, 각 가압 위치에 있어서의 가압에 의해서 신전한 크랙을, 다음의 가압 위치에 있어서의 가압에 의해서, 순차적으로 스크라이브 라인을 따라서 신전시켜 갈 수 있다. 이로써, 스크라이브 라인을 따라서 기판으로부터 제품부를 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 기판은, 상기 제품부의 영역 내에 있어서 지지 부재에 지지되고, 상기 단재부의 하방에 공간이 형성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 지지 부재에 기판이 재치 (載置) 되면, 단재부가 지지 부재로부터 밀려나온 상태가 된다. 이로써, 가압에 의해서 단재부가 분단되어 가면, 단재부는, 자중에 의해서, 순차적으로 하방의 공간으로 처지고, 분단 위치에 있어서, 크랙을 벌리는 방향의 힘을 발생시킨다. 따라서, 스크라이브 라인을 따라서 기판으로부터 제품부를 보다 원활하게 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 제품부는, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고, 상기 지지 부재는, 상기 제품부의 형상보다 작으며, 또한, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고, 상기 지지 부재에 있어서의 상기 모서리가 원호상으로 둥글려진 원호부의 곡률은, 상기 제품부에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률보다 작아지도록 설정될 수 있다.

이 구성에 의하면, 지지 부재의 원호부가 제품부의 원호부보다 곡률이 작기 때문에, 제품부의 원호부 부근에 발생되는 응력이 분산된다. 따라서, 가압에 의한 분단시에, 제품부의 원호부 부근에 과잉된 응력이 걸리지 않고, 이 때문에, 제품부의 원호부를 따라서 단재부를 양호하게 분단할 수 있다. 이로써, 제품부의 단면에 결손 (치핑) 이나 균열이 발생되지 않아, 보다 양호한 상태에서 기판으로부터 제품부를 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 방법에 있어서, 상기 가압 수단은, 상기 단재부를 가압하기 위한 가압 부재이도록 구성될 수 있다.

본 발명의 제 2 양태는, 기판을 분단하는 분단 장치에 관한 것이다. 본 양태에 관련된 분단 장치는, 직선부와 곡선부를 포함하는 형상의 제품부를, 상기 제품부의 외형을 따라서 형성된 스크라이브 라인에 의해서 기판으로부터 분단하는 분단 장치로서, 상기 제품부를 지지하는 지지 부재와, 상기 스크라이브 라인의 외측의 단재부의 영역을 가압하는 가압 부재와, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시키는 가압 위치 조정 수단을 구비한다.

이 구성에 의하면, 제 1 양태와 동일한 효과를 얻는다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 가압 위치 조정 수단은, 상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비할 수 있다. 상기 제어부는, 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시키도록 구성될 수 있다.

본 구성에 의하면, 제어부에 의한 제어에 의해서, 가압 부재의 가압 위치를 조정할 수 있다. 이로써, 제품부의 분단 동작을 원활하게 행할 수 있다.

이 경우, 상기 제어부는, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 연속적으로 이동시키도록 구성될 수 있다.

또, 상기 제어부는, 상기 스크라이브 라인의 직선 부분을 따라서 상기 가압 부재를 이동시키는 속도보다, 상기 스크라이브 라인의 곡선 부분을 따라서 상기 가압 부재를 이동시키는 속도를 낮게 설정하도록 구성될 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 가압 위치 조정 수단은, 상기 단재부를 따라서 배치된 복수의 상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 접근 및 이간시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 복수의 가압 부재가 상기 기판의 상방에 위치할 때, 상기 복수의 가압 부재와 상기 기판의 거리가, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록 설정되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 승강 기구가 복수의 가압 부재를 기판에 접근시키면, 기판과의 거리가 짧은 가압 부재부터 차례로 기판에 맞닿는다. 이로써, 가압 위치가 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 간헐적으로 이동한다. 이와 같이, 승강 기구를 직선적으로 구동시키는 것만으로, 가압 위치를 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 복잡한 제어가 필요 없이, 간이한 구성으로 기판을 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 가압 위치 조정 수단은, 상기 단재부를 따라서 연속적으로 배치된 상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 접근 및 이간시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 가압 부재가 상기 기판의 상방에 위치할 때, 상기 가압 부재와 상기 기판의 거리가, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록 설정되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 승강 기구가 가압 부재를 기판에 접근시키면, 기판과의 거리가 짧은 지점부터 차례로 가압 부재가 기판에 맞닿는다. 이로써, 가압 위치가 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 연속적으로 이동한다. 이와 같이, 승강 기구를 직선적으로 구동시키는 것만으로, 가압 위치를 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 복잡한 제어가 필요 없이, 간이한 구성으로 기판을 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 지지 부재는, 상기 제품부의 영역 내에 있어서 상기 기판을 지지하고, 상기 단재부의 하방에 공간이 형성될 수 있도록 구성될 수 있다.

이 경우, 상기 지지 부재는, 상기 기판이 재치되는 재치면과, 상기 재치면보다 단면적이 작은 대좌부를 구비하도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 스크라이브 라인을 따라서 분단된 단재부의 지점이, 자중에 의해서 하방으로 처질 때, 재치면과 대좌부 사이에 발생되는 단차의 공간으로 들어가는 것이 허용된다. 이로써, 분단된 단재부가, 대좌부의 측벽에 충돌하여 만곡되는 것이 억제되기 때문에, 분단된 단재부로부터 불필요한 응력이 기판에 걸리는 경우가 없다. 따라서, 기판으로부터 제품부를 양호하게 분단할 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 제품부는, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고, 상기 지지 부재는, 상기 제품부의 형상보다 작으며, 또한, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고, 상기 지지 부재에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률은, 상기 제품부에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률보다 작아지도록 구성될 수 있다.

본 양태에 관련된 분단 장치에 있어서, 상기 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 헤드와, 상기 기판의 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하기 위한 지지 프레임과, 상기 지지 프레임을, 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하는 제 1 위치와, 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하지 않는 제 2 위치 사이에서 구동시키는 지지 프레임 구동부를 구비할 수 있다. 상기 지지 프레임 구동부는, 상기 스크라이브 라인의 형성시에 있어서, 상기 지지 프레임을 제 1 위치에 설정하고, 상기 단재부의 분단시에 있어서, 상기 지지 프레임을 제 2 위치에 설정하도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 1 개의 분단 장치에 의해서, 스크라이브 라인의 형성과 단재부의 분단의 양방을 행할 수 있다.

이 경우, 상기 지지 프레임은, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 복수의 프레임부로 분할되고, 상기 지지 프레임 구동부는, 상기 단재부의 분단시에 있어서, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치에 대응하는 위치의 상기 프레임부를 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 설정하도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 단재부의 분단 개시시에, 단재부는, 둘레 방향의 기점 위치에 있어서 지지 프레임에 지지되지 않는 상태가 되고, 둘레 방향의 종점 위치에 있어서 지지 프레임에 지지된 상태가 된다. 따라서, 단재부의 분단 개시시에는, 기점 위치 부근의 스크라이브 라인을 사이에 두고 기점 위치와 이웃하는 종점 위치가 대응하는 프레임부로 지지된 상태에서, 기점 위치에 가압력이 부여되게 된다. 이로써, 기점 위치 부근의 스크라이브 라인에, 벌리는 방향의 힘이 보다 효과적으로 부여되고, 결과적으로, 기점 위치 부근의 단재부를 스크라이브 라인을 따라서 원활하게 분단할 수 있다.

이상대로, 본 발명에 의하면, 곡선부를 포함하는 스크라이브 라인을 따라서 기판을 양호하게 분단하는 것이 가능한 분단 방법 및 분단 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 아래에 나타내는 실시형태의 설명에 의해서 보다 더 명확해질 것이다. 단, 아래에 나타내는 실시형태는, 어디까지나 본 발명을 실시할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은 아래의 실시형태에 기재된 것에 전혀 제한되는 것은 아니다.

도 1(a) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치를 나타내는 모식도이다. 도 1(b) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치에 있어서 사용하는 가압 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2(a) ∼ (c) 는, 각각, 실시형태에 관련된 분단 장치에 있어서의 지지부의 구성을 설명하기 위한 모식도이다. 도 2(a) 는, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 지지부의 상태를 나타내는 모식도이다. 도 2(b) 는, 분단 동작 개시시에 있어서의 지지부의 상태를 나타내는 모식도이다. 도 2(c) 는, 분단 동작 진행시에 있어서의 지지부의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4(a) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치를 사용하여 행해지는 기판의 분단 방법을 나타내는 플로 차트이다. 도 4(b) 는, 도 4(a) 에 있어서의 기판의 분단을 상세하게 나타내는 플로 차트이다.
도 5(a) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치에 있어서, 분단되기 전의 기판의 상태를 나타내는 모식도이다. 도 5(b) 는, 도 5(a) 의 기판 및 지지 부재의 측면도이다. 도 5(c) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치에 있어서, 기점 위치를 가압할 때의 기판의 모식도이다. 도 5(d) 는, 도 5(c) 의 기판 및 지지 부재의 측면도이다.
도 6(a) 는, 실시형태 1 에 관련된 분단 장치에 있어서, 스크라이브 라인을 따라서 분단할 때의 기판의 모식도이다. 도 6(b) 는, 도 6(a) 의 기판 및 지지 부재의 측면도이다.
도 7(a) 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 7(b) 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치에 있어서의 가압 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8 은, 변경예 1 에 관련된 분단 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치의 지지 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10(a) 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치에 있어서, 기판을 분단하기 전 상태를 나타낸 모식도이다. 도 10(b) 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치에 있어서, 기판을 분단하고 있을 때의 기판의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 11 은, 변경예 2 에 관련된 분단 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 12 는, 변경예 2 에 관련된 분단 장치의 가압 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 13 은, 변경예 3 에 관련된 분단 장치의 가압 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 14(a) 는, 다른 변경예에 관련된 분단 장치에 있어서의 지지부의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 14(b) 는, 다른 변경예에 관련된 분단 장치에 있어서, 기판을 재치했을 때의 지지부의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 14(c) 는, 다른 변경예에 관련된 분단 장치에 있어서, 가압 부재에 의해서 기판을 분단할 때의 기판 및 지지부의 구성을 나타내는 모식도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X 축, Y 축 및 Z 축이 부기되어 있다. Z 축은, 연직 방향에 있어서의 상방 및 하방을 나타낸다. 이후, 상방 및 하방은, 각각 Z 축 정측 및 Z 축 부측을 의미한다.

또한, 본 실시형태에 있어서, 이동대 (2), 볼 나사 (5), 레일 (11), 모터 (16) 가, 특허청구범위에 기재된「이동 기구」에 대응한다.

도 1(a) 는, 분단 장치 (1) 의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.

분단 장치 (1) 는, 이른바 멀티 헤드 탑재형의 스크라이브 장치이다. 멀티 헤드 탑재형의 스크라이브 장치는, 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 기능, 및 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판을 분단하는 기능의 2 가지의 기능을 갖는다. 본 실시형 형태에서는, 설명의 편의상, 이 멀티 헤드 탑재형의 스크라이브 장치는「분단 장치」라고 칭해진다.

분단 장치 (1) 는, 이동대 (2) 와, 스크라이브 헤드 (3) 와, 브레이크 헤드 (4) 를 구비하고 있다. 이동대 (2) 는, 볼 나사 (5) 와 나사 결합되어 있다. 이동대 (2) 는, 1 쌍의 안내 레일 (6) 에 의해서 Y 축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 모터의 구동에 의해서 볼 나사 (5) 가 회전함으로써, 이동대 (2) 가 1 쌍의 안내 레일 (6) 을 따라서 Y 축 방향으로 이동한다.

이동대 (2) 의 상면에는, 모터 (7) 가 설치되어 있다. 모터 (7) 는, 상부에 위치하는 테이블 (8) 을 X-Y 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정한다. 테이블 (8) 상에는, 지지부 (20) 가 배치된다. 지지부 (20) 의 상면에는, 흡착부 (51) (도 3 참조) 에 의해서 부압이 부여된다. 기판 (F) 은, 흡착부 (51) 에 의해서 지지부 (20) 의 상면에 흡착되어 유지된다.

기판 (F) 은, 예를 들어, 유리 기판, 저온 소성 세라믹스나 고온 소성 세라믹스 등의 세라믹스 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판, 석영 기판 등이어도 된다. 또, 기판 (F) 은, 표면 또는 내부에 취성 재료에 해당되지 않는 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나 포함시키거나 한 것이어도 된다. 본 실시형태에서는, 유리 기판, 특히, 박형의 유리 기판에 대해서 분단 방법이 적용된다.

또한, 기판 (F) 은, 2 개의 기판이 첩합 (貼合) 되어 이루어지는 첩합 기판이어도 된다. 이와 같은 기판 (F) 으로서, 예를 들어, 일방의 기판에는 컬러 필터 (CF) 가 형성되고, 다른 일방의 기판에는 박막 트랜지스터 (TFT) 가 형성되어 있는 것을 들 수 있다.

스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 의 각각에는, 이 기판 (F) 에 형성된 얼라인먼트 마크를 촬상하기 위한 카메라 (도시 생략) 가 내장된다. 또, 이동대 (2), 테이블 (8), 및 지지부 (20) 에 걸치도록, 브릿지 (9) 가 지주 (10a, 10b) 에 가설되고 있다.

브릿지 (9) 에는, 레일 (11) 이 장착되어 있다. 스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 는 각각 레일 (11) 에 접속된다. 스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 는 각각, 모터 (15, 16) (도 3 참조) 의 구동에 의해서, 레일 (11) 을 슬라이드 이동함으로써 X 축 방향으로 이동하도록 설치되어 있다. 또한, 모터 (15) 는, 스크라이브 헤드 (3) 에 내장되어 있고, 모터 (16) 도 마찬가지로 브레이크 헤드 (4) 에 내장되어 있다.

스크라이브 헤드 (3) 는, 기판 (F) 에 스크라이브 라인을 형성한다. 날끝 (12) 이 장착된 홀더 유닛 (13) 이, 스크라이브 헤드 (3) 의 조인트부 (14) 에 장착됨으로써 구성된다. 브레이크 헤드 (4) 는, 스크라이브 헤드 (3) 에 의해서 기판 (F) 에 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 (F) 을 제품부 (F1) 와 단재부 (F2) (도 5(a) ∼ 도 6(a) 참조) 로 분단한다. 브레이크 헤드 (4) 에는, 스크라이브 헤드 (3) 와 마찬가지로 조인트부 (14) 가 설치된다. 브레이크 헤드 (4) 의 조인트부 (14) 에는, 가압 부재 (30) 가 장착된다.

도 1(b) 는, 가압 부재 (30) 를 포함하는 구조체의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 가압 부재 (30) 는, 지지 부재 (31) 에 지지된 상태에서, 도 1(a) 에서 나타낸 브레이크 헤드 (4) 의 조인트부 (14) 에 장착된다. 가압 부재 (30) 는, 축상의 부재로서, 하단이 반구상으로 형성되어, 가압부 (32) 를 구성하고 있다.

도 2(a) ∼ (c) 는, 각각, 지지부 (20) 의 구성을 설명하기 위한 모식도이다. 도 2(a) 는, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 지지부 (20) 의 상태를 나타내는 모식도이다. 도 2(b) 는, 분단 동작 개시시에 있어서의 지지부 (20) 의 상태를 나타내는 모식도이다. 도 2(c) 는, 분단 동작 진행시에 있어서의 지지부 (20) 의 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 2(a) ∼ (c) 에 있어서, 사선으로 나타내는 부분은 테이블 (8) 의 상면이다.

도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (20) 는, 지지 부재 (21) 와, 지지 부재 (21) 의 외측을 둘러싸는 지지 프레임 (22) 을 구비한다. 지지 프레임 (22) 은, 둘레 방향으로, 제 1 프레임부 (22a) 와, 제 2 프레임부 (22b) 로 분할되어 있다. 지지 부재 (21) 는, 직사각형상으로 형성된 판상 부재이다. 지지 부재 (21) 의 상면은, 기판 (F) 의 제품부 (F1) (도 5(a) 참조) 가 재치되는 재치면 (21a) 이다. 재치면 (21a) 의 중앙 부분에는, 5 개의 구멍 (23) 이 형성된다. 이들 구멍 (23) 을 개재하여 흡착부 (51) (도 3 참조) 에 의해서 기판 (F) 에 대해서 정압 또는 부압이 부여된다.

제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 는 모두, L 자상으로 형성된 판상 부재이다. 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 는, 지지 부재 (21) 의 주위를 둘러싸도록 배치된다. 이 때, 지지 부재 (21) 의 재치면 (21a) 과, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 각각의 상면이 면일 (面一) 해지도록, 지지 부재 (21), 제 1 프레임부 (22a), 및 제 2 프레임부 (22b) 가 형성된다.

기판 (F) 에 스크라이브 라인이 형성될 때, 도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (21), 제 1 프레임부 (22a), 및 제 2 프레임부 (22b) 는 테이블 (8) 의 상면에 배치된다. 이와 같은 상태의 지지 부재 (21) 의 재치면 (21a) 과, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 상면에 기판 (F) 이 재치된다. 이 때, 흡착부 (51) (도 3 참조) 에 의해서 기판 (F) 에 부압이 부여됨으로써, 기판 (F) 이 지지 부재 (21) 에 흡착되어 유지된다. 스크라이브 라인은, 지지 부재 (21) 의 외측, 즉, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 영역에서 형성된다.

이렇게 하여, 기판 (F) 에 스크라이브 라인이 형성된 후, 도 2(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 프레임부 (22a) 가, 제 1 프레임부 (22a) 의 상면이 테이블 (8) 의 상면과 면일해지는 위치까지 강하한다. 그 후, 브레이크 헤드 (4) 의 가압 부재 (30) (도 1(b) 참조) 가, 제 1 프레임부 (22a) 의 X 축 정측의 단부의 위치에 있어서 기판 (F) 을 가압하고, 다시 이 위치부터 Y 축 부측의 단부의 위치까지, 제 1 프레임부 (22a) 의 형상을 따라서 연속적으로 기판 (F) 을 가압한다.

또한, 가압 부재 (30) 가 제 1 프레임부 (22a) 의 Y 축 부측의 단부의 위치에 도달할 때까지의 동안에, 도 2(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 프레임부 (22b) 가, 제 2 프레임부 (22b) 의 상면이 테이블 (8) 의 상면과 면일해지는 위치까지 강하한다. 그 후, 가압 부재 (30) 는, 제 2 프레임부 (22b) 의 X 축 부측의 단부의 위치부터 Y 축 정측의 단부의 위치까지, 제 2 프레임부 (22b) 의 형상을 따라서 연속적으로 기판 (F) 을 가압한다. 이로써, 스크라이브 라인을 따른 기판 (F) 의 분단이 완료된다. 스크라이브 라인을 따른 기판 (F) 의 분단 방법에 대해서는, 이후, 도 5(a) ∼ 도 6(b) 를 참조하여 상세하게 설명한다.

도 3 은, 분단 장치 (1) 의 구성을 나타내는 블록도이다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 분단 장치 (1) 는, 도 1(a), (b) 의 구성 외에, 제어부 (50) 와, 흡착부 (51) 와, 지지 프레임 구동부 (52) 와, 스크라이브 헤드 구동부 (53) 와, 브레이크 헤드 구동부 (54) 와, 이동대 구동부 (55) 를 구비한다.

제어부 (50) 는, CPU 등의 연산 처리 회로나, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부 (50) 는, 메모리에 기억된 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다.

흡착부 (51) 는, 지지 부재 (21) 에 재치된 기판 (F) 에 대해서, 정압 또는 부압을 부여한다. 지지 프레임 구동부 (52) 는, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 승강 이동시킨다. 스크라이브 헤드 구동부 (53) 는, 모터 (15) 를 구동시킴으로써, 스크라이브 헤드 (3) 를 구동시킨다. 브레이크 헤드 구동부 (54) 는, 모터 (16) 를 구동시킴으로써, 브레이크 헤드 (4) 를 구동시킨다. 이동대 구동부 (55) 는, 도 1(a) 에 나타낸 볼 나사 (5) 를 구동시킴으로써, 이동대 (2) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다.

다음으로, 분단 장치 (1) 를 사용한 기판 (F) 의 분단에 대해서, 도 4(a), (b) 의 플로 차트, 및 도 5(a) ∼ 도 6(b) 의 기판 (F) 및 지지부 (20) 의 상태 천이도를 사용하여 설명한다.

도 4(a) 는, 분단 장치 (1) 의 동작을 나타내는 플로 차트이다. 도 5(a), (b) 는, 분단되기 전의 기판 (F) 상태를 나타내는 모식도이다. 도 5(c), (d) 는, 기점 위치 Q1 을 가압할 때의 기판 (F) 의 모식도이다. 도 6(a), (b) 는, 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 분단할 때의 기판 (F) 의 모식도이다.

또한, 도 5(a), (c), 도 6(a) 는, 기판 (F) 및 지지부 (20) 를 Z 축 정측에서 바라 본 경우의 모식도이고, 도 5(b), (d), 도 6(b) 는, X 축 정측에서 바라 본 측면도이다.

도 4(a) 에 나타내는 바와 같이, 스텝 S11 에서는, 제어부 (50) 는, 지지 프레임 구동부 (52) 에, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 테이블 (8) 의 상면으로 상승시킨다. 이로써, 지지부 (20) 는, 도 2(a) 에서 나타내는 상태가 된다.

이 상태에 있어서, 로봇 아암 등의 이송 수단에 의해서, 지지부 (20) 의 상면에 스크라이브 라인 형성 전의 기판 (F) 이 재치된다. 기판 (F) 사이즈는, 지지부 (20) 의 상면과 대략 동일하다. 스텝 S12 에 있어서, 제어부 (50) 는, 흡착부 (51) 에 부압을 발생시켜, 기판 (F) 을 지지 부재 (21) 에 흡착시킨다. 로봇 아암 대신에, 사용자가 기판 (F) 을 지지부 (20) 에 재치해도 된다.

도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (F) 은, 평면에서 보았을 때, 직사각형 형상을 갖고, 제품부 (F1) 와 단재부 (F2) 로 구분된다. 제품부 (F1) 는, 기판 (F) 의 내측에 배치된다. 여기에서는, 평면에서 보았을 때에 있어서의 제품부 (F1) 의 형상은, 장방형의 모서리가 둥글려진 형상이고, 도 5(a) 에 있어서, 스크라이브 라인 (L1) 으로 둘러싸인 영역이 대응한다. 제품부 (F1) 는, 장방형의 모서리에 대응하는 위치에 원호부를 갖는다.

지지부 (20) 에 있어서의 지지 부재 (21) 의 형상 (재치면 (21a) 의 형상) 은, 제품부 (F1) 의 형상과 마찬가지로 장방형의 모서리가 둥글려진 형상이다. 지지 부재 (21) 는, 장방형의 모서리에 대응하는 위치에 원호부를 갖는다. 지지 부재 (21) 의 원호부의 곡률은, 제품부 (F1) 의 원호부의 곡률보다 작다. 또, 지지 부재 (21) 의 사이즈는, 제품부 (F1) 의 사이즈보다 작다.

기판 (F) 은, 지지 부재 (21) 의 각 원호부의 근방에 제품부 (F1) 의 각 원호부가 배치되며, 또한, 지지 부재 (21) 의 중앙 부분에 제품부 (F1) 의 중앙 부분이 중첩되도록 하여, 지지 부재 (21) 에 재치된다. 이와 같이 기판 (F) 이 지지 부재 (21) 에 재치되면, 제품부 (F1) 의 외주 부분과 단재부 (F2) 가, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 상면에 재치된다.

이 상태에서, 제어부 (50) 는, 상기와 같이, 흡착부 (51) 로부터 기판 (F) 에 부압을 부여시킨다. 이로써, 기판 (F) 은 지지 부재 (21) 에 흡착되어, 지지 부재 (21) 에 유지된다. 따라서, 기판 (F) 은, 지지 부재 (21) 로부터 위치가 어긋나는 경우가 없다.

도 4(a) 로 돌아와, 스텝 S13 에 있어서, 제어부 (50) 는, 기판 (F) 에 스크라이브 라인 (L) 을 형성시킨다. 스크라이브 라인 (L) 은, 제품부 (F1) 의 외주를 따라서 형성된다. 이 때, 제어부 (50) 는, 스크라이브 헤드 구동부 (53) 및 이동대 구동부 (55) 를 제어하고, 스크라이브 헤드 (3) 를 기판 (F) 에 대해서 상대적으로 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 이동시킨다. 이로써, 스크라이브 헤드 (3) 의 날끝 (12) 이 기판 (F) 상을 2 차원상으로 이동하여, 기판 (F) 의 표면에 스크라이브 라인 (L) 이 형성된다.

스크라이브 라인 (L) 의 형성에서는, 스크라이브 헤드 (3) 에 내장되어 있는 카메라에 의해서 기판 (F) 의 위치가 결정된다. 그리고, 도 5(a) 의 흑색 동그라미로 나타내는 위치 P1 이 스크라이브 라인 (L) 의 형성 개시 위치로서 설정되어 있는 경우, 제어부 (50) 는, 스크라이브 헤드 구동부 (53) 에 스크라이브 헤드 (3) 를 위치 P1 의 바로 위에 위치하게 한다. 이 때, 기판 (F) 은, 도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (20) 를 구성하는 지지 부재 (21), 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 에 지지되어 있다.

그리고, 제어부 (50) 는, 날끝 (12) 을 소정의 하중으로 기판 (F) 에 접촉시킨 후, 날끝 (12) 을 기판 (F) 에 대해서 제품부 (F1) 의 형상을 따라서 상대적으로 이동시켜, 스크라이브 라인 (L1) 을 형성한다.

이렇게 하여, 스크라이브 라인 (L1) 이 형성되면, 즉, 스크라이브 헤드 (3) 가 제품부 (F1) 의 형상을 따라서 상대적으로 이동하여 다시 위치 P1 에 위치하게 되면, 제어부 (50) 는, 날끝 (12) 을 위치 P1 부터 기판 (F) 의 외주 상의 위치 P2 (도 5(a) 에 있어서 백색 동그라미로 나타내는 위치) 까지 직선 이동시킨다. 이로써, 위치 P1 과, 위치 P1 을 통과하여 스크라이브 라인 (L1) 의 연장선 상에 위치하는 위치 P2 사이에 외접부 (L2) 가 형성된다.

이와 같이, 스크라이브 라인 (L) 에는, 제품부 (F1) 의 외주를 따른 스크라이브 라인 (L1) 과, 이 스크라이브 라인 (L1) 으로부터 기판 (F) 의 외주에 도달하는 외접부 (L2) 가 포함된다. 또, 스크라이브 라인 (L1) 중, 4 개의 곡선부 (L11) 는 제품부 (F1) 의 4 개의 원호부에 대응하고, 4 개의 직선부 (L12) 는 제품부 (F1) 의 4 개의 직선부에 대응한다.

그 후, 스텝 S14 에 있어서, 제어부 (50) 는, 지지 프레임 구동부 (52) 를 제어하여, 제 1 프레임부 (22a) 를 강하시킨다. 이로써, 지지부 (20) 는, 도 2(b) 에서 나타내는 상태가 된다. 기판 (F) 은, 도 5(d) 에 나타내는 상태에서 지지부 (20) 에 지지된다. 외접부 (L2) 부근은, 제 1 프레임부 (22a) 에 의해서는 지지되지 않고, 제 2 프레임부 (22b) 에 의해서만 지지된 상태가 된다.

다음으로, 스텝 S15 에 있어서, 제어부 (50) 는, 브레이크 헤드 구동부 (54) 에게 브레이크 헤드 (4) 를 도 5(c) 의 기점 위치 Q1 에 위치시킨다. 기점 위치 Q1 은, 도 5(c) 에 있어서 백색의 삼각표로 나타내는 위치이고, 단재부 (F2) 의 영역 중, 스크라이브 라인 (L) 의 외접부 (L2) 에 대해서 Y 축 정측 부근에 위치하게 된다. 그리고, 제어부 (50) 는, 브레이크 헤드 (4) 를 제어하여, 소정의 하중으로 가압 부재 (30) 에 기점 위치 Q1 을 가압시킨다. 이렇게 하여, 가압 부재 (30) 가 기점 위치 Q1 을 가압하면, 외접부 (L2) 의 외주측의 단부에 있어서의 크랙이 기판 (F) 의 두께 방향으로 신전하여 기판 (F) 의 이면에 도달하고, 다시 외접부 (L2) 의 내측으로 크랙이 신전하여, 단재부 (F2) 의 기점 위치 Q1 부근이 기판 (F) 으로부터 분단된다.

이 때, 외접부 (L2) 부근은, 도 5(d) 에 나타내는 바와 같이, 외접부 (L2) 의 Y 축 부측의 단재부 (F2) 가 제 2 프레임부 (22b) 에 의해서 지지되어 있기 때문에, 가압 부재 (30) 에 의해서 외접부 (L2) 의 Y 축 정측이 가압되면, 외접부 (L2) 에 대해서, 크랙을 벌리는 방향의 힘이 효율적으로 부여된다. 이로써, 외접부 (L2) 의 외주측의 단부로부터 외접부 (L2) 로 크랙이 원활하게 신전하고, 단재부 (F2) 의 기점 위치 Q1 부근이, 기판 (F) 으로부터 양호하게 분단된다.

이렇게 하여, 기점 위치 Q1 부근의 분단이 행해지면, 제어부 (50) 는, 스텝 S16 에 있어서, 지지 프레임 구동부 (52) 를 제어하여, 제 2 프레임부 (22b) 를 강하시킨다. 이로써, 지지부 (20) 는, 도 2(c) 에서 나타내는 상태가 된다. 기판 (F) 은, 도 6(b) 에 나타내는 상태에서 지지부 (20) 에 지지된다. 또한, 기점 위치 Q1 부근의 분단이 행해진 후, 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 를 일단, 기판 (F) 으로부터 이간시켜도 된다.

그 후, 스텝 S17 에 있어서, 제어부 (50) 는, 브레이크 헤드 구동부 (54) 및 이동대 구동부 (55) 를 제어하여, 브레이크 헤드 (4) 를 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 단재부 (F2) 의 영역을 상대적으로 이동시킨다. 이로써, 기판 (F) 에 대한 가압 부재 (30) 의 가압 위치가 단재부 (F2) 를 따라서 이동하고, 이 이동에 수반하여, 단재부 (F2) 는 기판 (F) 으로부터 분단된다.

브레이크 헤드 (4) 에 의한 기판 (F) 의 분단에 대해서 구체적으로 설명하면, 스텝 S15 에 있어서, 도 6(a) 의 기점 위치 Q1 에 위치하게 된 가압 부재 (30) 는, 스텝 S17 에 있어서, 기점 위치 Q1 로부터 위치 Q2 로 이동한다. 위치 Q2 는, 도 6(a) 에 있어서, 흑색의 삼각표로 나타내는 위치이다. 이 이동에 수반하여, 외접부 (L2) 의 X 축 정측의 단부에서 기판 (F) 의 이면에 도달한 크랙이, 외접부 (L2) 를 따라서 X 축 부방향으로 신전한다. 그 후, 가압 부재 (30) 가 위치 Q2 에 도착하면, 가압 부재 (30) 는, 단재부 (F2) 를 가압한 상태인 채로, 다시 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 단재부 (F2) 의 영역 내를 둘레 방향으로 이동한다. 이 이동 방향은, 도 6(a) 에서 파선의 화살표로 나타낸다. 이 이동에 수반하여, 외접부 (L2) 에서 발생된 크랙이, 외접부 (L2) 로부터 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 로 신전하고, 단재부 (F2) 가 직선부 (L12) 를 따라서 분단된다.

이렇게 하여, 가압 부재 (30) 가 단재부 (F2) 의 영역 내를 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 둘레 방향으로 이동하고, 대략 일주하여 위치 Q3 에 도착하면, 단재부 (F2) 가, 스크라이브 라인 (L1) 의 전체 둘레에 걸쳐 분단된다. 이로써, 기판 (F) 의 분단이 종료된다. 위치 Q3 은, 도 6(a) 에 있어서, 백색의 사각표로 나타내어져 있고, 외접부 (L2) 상에 위치한다.

상기와 같이, 가압 부재 (30) 의 이동에 수반하여, 기점 위치 Q1 을 기점으로 하여, 크랙이 외접부 (L2) 로부터 스크라이브 라인 (L1) 으로 신전하고, 다시 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 신전하기 때문에, 기판 (F) 으로부터 단재부 (F2) 를 원활하게 분단할 수 있고, 제품부 (F1) 를 기판 (F) 으로부터 원활하게 잘라낼 수 있다.

이렇게 하여, 가압 부재 (30) 에 의한 기판 (F) 의 분단이 종료되면, 제어부 (50) 는, 스텝 S18 에서 흡착부 (51) 를 제어하여, 기판 (F) 에 정압을 부여하게 한다. 이로써, 제품부 (F1) 는, 지지 부재 (21) 와의 흡착이 해제되어, 지지 부재 (21) 로부터 떼어낼 수 있게 된다. 그 후, 제품부 (F1) 는, 로봇 아암 등의 이송 수단에 의해서 회수된다. 이렇게 하여, 분단 장치 (1) 에 의한 기판 (F) 의 분단에 관련된 일련의 동작이 종료된다.

또한, 도 4(a) 의 스텝 S17 에 있어서는, 가압 부재 (30) 의 이동 속도를, 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 보다 곡선부 (L11) 쪽이 느려지도록 제어되는 것이 바람직하다. 이로써, 곡선부 (L11) 를 보다 원활하게 분단할 수 있다.

또, 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 에 대응하는 부분의 가압 부재 (30) 의 이동 궤적은, 곡선부 (L11) 와 회전 중심이 일치하도록 설정되는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 가압 부재 (30) 의 이동 궤적의 곡선부의 곡률은, 곡선부 (L11) 의 곡률보다 작게 설정된다. 이로써, 크랙의 신전 방향이 곡선부 (L11) 를 따르기 쉬워진다.

도 4(b) 는, 기판 (F) 에 대한 가압 부재 (30) 의 이동 제어를 나타내는 플로 차트이다.

스텝 S21 에 있어서, 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 를 소정의 하중으로 기점 위치 Q1 로부터 단재부 (F2) 의 둘레 방향으로 이동시킨다. 이 때, 제어부 (50) 는, 스텝 S22 에 있어서, 먼저, 가압 부재 (30) 를 제 1 속도로 기판 (F) 에 대해서 상대적으로 이동시킨다. 이로써, 가압 부재 (30) 는, 도 6(a) 에서 나타내는 바와 같이, 기점 위치 Q1 로부터 위치 Q2 까지의 사이를 외접부 (L2) 를 따라서 상대적으로 제 1 속도로 이동하고, 다시 단재부 (F2) 의 영역 내를 위치 Q2 로부터 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 를 따라서 상대적으로 제 1 속도로 이동한다.

스텝 S23 에 있어서, 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 가 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 의 근방에 도착했는지의 여부를 판정한다. 가압 부재 (30) 가 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 의 근방에 도착했을 경우 (S23 : YES), 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 의 이동 속도를, 제 1 속도보다 저속인 제 2 속도로 전환한다 (S24).

그리고, 제어부 (50) 는, 스텝 S25 에 있어서, 가압 부재 (30) 가 곡선부 (L11) 부근을 통과했는지의 여부를 판정한다. 가압 부재 (30) 가 곡선부 (L11) 부근을 아직 통과하고 있지 않은 경우 (S25 : NO), 가압 부재 (30) 의 이동 속도는 제 2 속도인 채로 유지된다 (S24).

그 후, 가압 부재 (30) 가 곡선부 (L11) 부근을 통과하면 (S25 : YES), 제어부 (50) 는, 처리를 스텝 S22 로 되돌려, 가압 부재 (30) 의 이동 속도를 제 2 속도에서 제 1 속도로 전환한다. 이로써, 곡선부 (L11) 통과 후의 직선부 (L12) 를 따라서, 가압 부재 (30) 가 제 1 속도로 이동한다.

그 후, 제어부 (50) 는, 스텝 S26 에 있어서, 가압 부재 (30) 가 위치 Q3 에 도착했음을 판정내릴 때까지, 상기와 동일한 처리를 실행한다. 이 경우, 위치 Q3 은, 가압 부재 (30) 에 의한 이동의 종점이다. 이로써, 가압 부재 (30) 는, 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 를 따라서, 제 1 속도로 단재부 (F2) 의 영역을 이동하고, 또, 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 를 따라서 제 1 속도보다 느린 제 2 속도로 단재부 (F2) 의 영역을 이동한다. 이렇게 하여, 가압 부재 (30) 가 위치 Q3 에 도착하면 (S26 : YES), 제어부 (50) 는 도 4(b) 의 처리를 종료한다. 이로써, 도 4(a) 의 스텝 S17 에 있어서의 기판 (F) 의 분단 처리가 종료된다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 가압 부재 (30) 가 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 단재부 (F2) 의 영역 내를 상대적으로 이동할 때, 곡선부 (L11) 의 근방을 통과하는 경우와, 직선부 (L12) 의 근방을 통과하는 경우에서, 가압 부재 (30) 의 상대적인 이동 속도가 전환된다. 이로써, 곡선부 (L11) 에 있어서 크랙을 완만하게 신전시킬 수 있고, 곡선부 (L11) 를 원활하며 또한 양호하게 분단할 수 있다.

또한, 상기한 분단 장치 (1) 의 동작에 있어서, 필요에 따라서 테이블 (8) 을 회동 (回動) 시켜도 된다.

또, 상기에서는, 스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 가 X 축 방향으로 이동하고, 이동대 (2) 가 Y 축 방향으로 이동함과 함께, 테이블 (8) 이 회전하는 분단 장치 (1) 에 대해서 나타내었으나, 분단 장치 (1) 는, 스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 를 기판 (F) 에 대해서 X-Y 평면의 면 내 방향으로 2 차원상으로 상대 이동시킬 수 있는 구성이면 된다. 예를 들어, 스크라이브 헤드 (3) 및 브레이크 헤드 (4) 가 고정되고, 이동대 (2) 가 X 축, Y 축 방향으로 이동하는 분단 장치 (1) 여도 된다.

＜실시형태의 효과＞

본 실시형태에 의하면, 아래의 효과가 얻어진다.

도 4(a), 도 5(a) ∼ 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 기점 위치 Q1 을 가압 부재 (30) 로 가압하면, 기점 위치 Q1 에 있어서 크랙이 기판 (F) 의 두께 방향으로 신전하고, 기판 (F) 의 분단이 행해진다. 가압 부재 (30) 의 이동에 수반하여, 가압 부재 (30) 에 의해서 가압된 가압 위치를 따라서 제품부 (F1) 가 기판 (F) 으로부터 분리되어 간다. 이 구성에서는, 가압 위치는 스크라이브 라인 (L) 의 둘레 방향을 따라서 변화한다. 이 때문에, 크랙도 스크라이브 라인 (L) 의 둘레 방향을 따라서 신전한다. 이로써, 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 분단할 수 있다.

또, 이와 같이, 스크라이브 라인 (L) 의 둘레 방향을 따라서 크랙이 신전하기 때문에, 스크라이브 라인 (L) 이 곡선부 (L11) 를 갖는 경우에도, 가압 위치가 곡선부 (L11) 의 외측을 따라서 이동함으로써, 곡선부 (L11) 를 따라서 크랙이 원활하게 신전해 간다. 따라서, 제품부 (F1) 의 직선부 (L12) 및 곡선부 (L11) 의 단면에 결손 (치핑) 이나 균열이 발생되지 않아, 양호한 상태에서 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 분단할 수 있다.

도 4(a), (b), 도 5(a) ∼ 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 가압 위치의 연속적인 이동에 수반하여 크랙이 연속적으로 신전하기 때문에, 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 크랙을 원활하게 신전시킬 수 있다. 따라서, 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 보다 양호한 상태에서 분단할 수 있다.

일반적으로, 취성 재료 기판의 두께가 얇아지면, 곡선 형상을 따라서 기판을 절곡할 때 주름이 발생되어, 곡선부에 과잉된 응력이 걸리기 쉽다. 이 때문에, 제품부의 모서리부의 형상이 곡선상으로 형성되어 있는 경우, 이 모서리부를 절곡하면, 크랙이 스크라이브 라인으로부터 일탈한 방향, 예를 들어, 제품부로 신전할 우려가 있다.

그러나, 본 실시형태에 의하면, 도 4(a), (b), 도 5(a) ∼ 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 가압 부재 (30) 가 곡선부 (L11) 의 근방을 가압할 때의 속도는, 다른 부분보다 속도가 느리다. 이로써, 곡선부 (L11) 에 있어서 크랙이 완만하게 신전해 가고, 크랙의 신전 방향이 스크라이브 라인 (L) 의 곡선부 (L11) 를 따르기 쉬워진다. 따라서, 곡선부 (L11) 의 분단을 양호하게 행할 수 있다. 또, 곡선부 l11 에 있어서, 크랙이 제품부 (F1) 측으로 신전하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제품부 (F1) 의 단면을 양호한 상태로 형성할 수 있다.

도 2(c), 도 5(a) ∼ 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (20) 에 기판 (F) 이 재치되면, 단재부 (F2) 가 지지 부재 (21) 로부터 밀려나온 상태가 된다. 이로써, 가압에 의해서 단재부 (F2) 가 분단되어 가면, 단재부 (F2) 는, 자중에 의해서, 순차적으로 하방의 공간으로 처지고, 분단 위치에 있어서 크랙을 벌리는 방향의 힘을 발생시킨다. 따라서, 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 보다 원활하게 분단할 수 있다.

또, 이와 같이, 기판 (F) 의 분단 위치에 있어서, 크랙을 벌리는 방향의 힘이 발생되고, 이와 같은 크랙이 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 연속된다. 이 때문에, 크랙은, 단재부 (F2) 의 영역 내나 제품부 (F1) 의 영역 내로 일탈하지 않고, 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 신전한다. 그 결과, 단재부 (F2) 는, 도중에서 분단되지 않고, 연결된 상태에서 기판 (F) 으로부터 제거된다. 이로써, 제품부 (F1) 와 단재부 (F2) 의 경계이기도 한 제품부 (F1) 의 단면에는, 결손이나 균열이 발생되는 것이 억제되어, 제품부 (F1) 의 품질이 양호해진다.

도 2(c), 도 5(a) ∼ 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (21) (재치면 (21a)) 의 원호부 쪽이 제품부 (F1) 의 원호부보다 곡률이 작기 때문에, 제품부 (F1) 의 원호부 부근에 발생되는 응력이 분산된다. 따라서, 가압에 의한 분단시에, 원호부 부근에 과잉된 응력이 걸리지 않고, 이 때문에, 제품부 (F1) 의 원호부를 따라서, 단재부 (F2) 를 양호하게 분단할 수 있다. 이로써, 제품부 (F1) 의 단면에 결손 (치핑) 이나 균열이 발생되지 않아, 보다 양호한 상태에서 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 분단할 수 있다.

도 1(a), 도 3 ∼ 도 4(b) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (50) 에 의한 제어에 의해서, 가압 부재 (30) 의 가압 위치를 조정할 수 있다. 이로써, 제품부 (F1) 의 분단 동작을 원활하게 행할 수 있다.

＜변경예＞

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 실시형태도 다양한 변경이 가능하다.

또한, 아래의 각 변경예에 있어서도, 분단 대상의 기판은, 상기 실시형태와 마찬가지로 기판 (F) 이고, 제품부 (F1) 및 단재부 (F2) 의 형상도 동일하다.

[변경예 1]

도 7(a) 는, 변경예 1 에 관련된 분단 장치 (100) 의 구성을 나타내는 사시도이다.

변경예 1 에 관련된 분단 장치 (100) 는, 앞서, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이 스크라이브 라인 (L1) 과 외접부 (L2) 가 형성된 기판 (F) 을, 외접부 (L2) 및 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 분단하기 위한 장치이다. 즉, 분단 장치 (100) 는, 기판 (F) 에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 구성은 구비하고 있지 않고, 기판 (F) 을 스크라이브 라인을 따라서 분단하기 위한 구성만을 구비하고 있다.

도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 분단 장치 (100) 는, 승강 기구 (110) 와, 지지부 (120) 와, 프레임 부재 (130) 와, 가압 부재 (140) 를 구비한다. 가압 부재 (140) 는, 도 7(b) 를 참조하여 설명된다. 또, 변경예 1 에 관련된 분단 장치 (100) 에서는, 사용자가, 수동으로 기판 (F) 을 분단 장치 (100) 에 세트하고, 가압 부재 (140) 를 조작한다.

승강 기구 (110) 는, 베이스가 되는 설치대 (101) 에 설치된다. 승강 기구 (110) 는, 직사각형상의 판부 (111) 에, X 축 방향으로 나란히 3 개의 구멍이 형성되어 있다. 이들 3 개의 구멍 중, X 축 방향의 중앙에 위치하는 구멍 (111a) 이외의 2 개의 구멍의 각각에, 리니어 부시 (112) 가 형성된다. 각 리니어 부시 (112) 에는, 샤프트 (113) 가 통과된다.

각 샤프트 (113) 의 상부에는, 세트 칼라 (114) 가 각각 장착된다. 각 샤프트 (113) 의 하단부에는, 도시하지 않는 나사공이 각각 형성되어 있다. 또, 각 샤프트 (113) 의 주위를 덮도록, 탄성 지지 부재 (115) 가 각각 형성된다. 각 탄성 지지 부재 (115) 는, 상단부를 세트 칼라 (114), 하단부를 리니어 부시 (112) 사이에 오도록 걸려 고정된다.

X 축 방향의 중앙에 위치하는 구멍 (111a) 에는, 나사 (116) 의 나사축이 끼워진다. 나사축의 하단은, 지지체 (117) 의 상면에 맞닿는다.

지지체 (117) 는, 직사각형상의 판 부재로부터 Y 축 정측의 단 가장자리부 (117a), X 축 정측의 단 가장자리부 (117b), 및 X 축 부측의 단 가장자리부 (117c) 이외의 것이 도려내어진 형상으로 형성되어 있다. 단 가장자리부 (117a) 와, 단 가장자리부 (117b, 117c) 에서는 미소하게 단차가 형성되어 있다. 이 단차의 Z 축 방향의 폭은, 프레임 부재 (130) 의 두께 방향의 폭과 합치한다. 상기한 나사 (116) 의 나사축의 하단부는, 지지체 (117) 의 단 가장자리부 (117a) 에 맞닿는다.

또, 지지체 (117) 의 단 가장자리부 (117a) 에는, 2 개의 나사공 (117d) 이 형성된다 (도 8 참조). 이들 나사공 (117d) 과, 상기한 각 샤프트 (113) 의 하단부에 형성되는 도시하지 않은 나사공에, 도시하지 않은 나사가 하방으로부터 끼워진다. 이로써, 지지체 (117) 와, 각 샤프트 (113) 가 접속된 상태가 된다.

판부 (111) 는, 받침대 (118) 의 X 축 정측 및 부측에 각각 설치되는 1 쌍의 지지판 (119) 에 의해서 지지된다. 이렇게 하여, 승강 기구 (110) 가 구성된다.

지지부 (120) 는, 지지 부재 (121) 와, 대좌부 (122) 와, 판부 (123) 를 일체적으로 구비한다. 판부 (123) 는, 설치대 (101) 의 상면의 테이블 (101a) 에 설치된다.

지지 부재 (121) 의 상면이 기판 (F) 의 재치면 (121a) 으로 되어 있다. 상기 실시형태와 동일하게, 재치면 (121a) 에는, 도시하지 않은 흡착부에 의해서 기판 (F) 에 공기를 부여하기 위한 구멍 (124) 이 형성된다.

지지부 (120) 에 있어서의 지지 부재 (121) 의 형상 (재치면 (121a) 의 형상) 은, 상기 실시형태와 동일하다. 즉, 제품부 (F1) 의 형상과 동일하게 모서리가 둥글려진 형상이다. 지지 부재 (121) 는, 모서리에 대응하는 위치에 원호부를 갖는다. 지지 부재 (121) 쪽이 제품부 (F1) 의 원호부보다 원호부의 곡률이 작고, 지지 부재 (121) 가 제품부 (F1) 보다 사이즈가 작다.

대좌부 (122) 는, 대략 직사각형상으로 형성되어 있다. 대좌부 (122) 는, X-Y 평면과 평행하는 평면에서 절단했을 때의 단면적이, 지지 부재 (121) 보다 작아지도록 형성된다.

프레임 부재 (130) 는, 직사각형상의 판 부재의 중앙 부분에 큰 개구가 형성되어 있는 부재이다. 프레임 부재 (130) 의 X 축 정측 및 부측의 단 가장자리부가 각각, 지지체 (117) 의 단 가장자리부 (117b, 117c) 에 재치되고, 프레임 부재 (130) 의 Y 축 정측의 단 가장자리부가 지지체 (117) 의 단 가장자리부 (117a) 에 재치된다. 이 때, 프레임 부재 (130) 는 지지체 (117) 의 단 가장자리부 (117a)와, 단 가장자리부 (117b, 117c) 사이의 단차에 끼워지도록 재치된다. 이 상태에서, 프레임 부재 (130) 의 X 축 정측 및 부측의 모서리부가 지지체 (117) 에 나사 고정된다. 이로써, 지지체 (117) 에 프레임 부재 (130) 가 고정된다.

도 7(b) 는, 가압 부재 (140) 의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 가압 부재 (140) 는, 파지부 (141) 와, 가압부 (142) 로 구성된다. 파지부 (141) 는, 가늘고 긴 원주상의 부재로서, 하단부에 가압부 (142) 가 형성된다. 가압부 (142) 는, 축상의 부재로서, 하단부가 상기 실시형태의 가압부 (32) 와 마찬가지로, 반구상으로 형성된다. 사용자가 기판 (F) 을 분단할 때에는, 가압 부재 (140) 의 파지부 (141) 를 파지하고, 가압부 (142) 의 하단부로 기판 (F) 을 가압한다.

다음으로, 분단 장치 (100) 를 사용한 기판 (F) 의 분단에 대해서 설명한다.

도 8 은, 기판 (F) 을 분단하는 경우의 분단 장치 (100) 의 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 8 에서는, 기판 (F) 은 사선으로 나타내어져 있다.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 분단 장치 (100) 를 사용하여 기판 (F) 을 분단하는 경우, 사용자는, 스크라이브 라인 (L1) (도 5(a) 참조) 이 형성된 기판 (F) 을 지지 부재 (121) 의 재치면 (121a) 에 재치한다. 다음으로, 사용자는, 도시하지 않은 조작부를 조작하여, 도시하지 않은 흡착부에 의해서 구멍 (124) 을 개재하여 기판 (F) 에 부압을 부여하게 한다. 기판 (F) 의 재치 방법은, 상기 실시형태와 동일하다 (도 5(a) 참조). 이것은, 상기 실시형태에 있어서, 도 4(a) 의 플로 차트의 스텝 S12 의 처리에 대응한다.

다음으로, 사용자는, 프레임 부재 (130) 의 상하 위치를 조정한다. 사용자가 프레임 부재 (130) 를 눌러 내리면, 탄성 지지 부재 (115) 의 탄성 지지에 저항하여, 지지체 (117) 및 프레임 부재 (130) 가 강하한다. 이 때, 사용자는, 가압 부재 (140) 의 파지부 (141) 와 가압부 (142) 사이의 단차를 프레임 부재 (130) 의 내주 가장자리에 맞닿게 했을 때, 가압부 (142) 의 선단으로부터 기판 (F) 에 원하는 하중이 걸리는 위치(조정 위치) 로, 프레임 부재 (130) 를 강하시킨다. 이 상태에서, 사용자는, 나사 (116) 를 체결하여, 나사의 하단을 지지체 (117) 의 상면에 맞닿게 한다. 이로써, 프레임 부재 (130) 가, 탄성 지지 부재 (115) 의 탄성 지지에 의해서, 상기 서술한 조정 위치에 걸려 고정된다.

사용자는, 프레임 부재 (130) 의 높이 위치를 조정한 후, 가압 부재 (140) 의 가압부 (142) 로 기판 (F) 을 가압한다. 구체적으로는, 사용자는, 기판 (F) 의 위치 Q2 (도 6(a) 참조) 로부터 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서, 가압부 (142) 를 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향으로 이동시킨다. 이 때, 사용자는, 가압 부재 (140) 의 단차를 프레임 부재 (130) 의 개구의 측벽에 따르게 하면서 가압 부재 (140) 를 이동시킨다.

요컨대, 도 6(a) 에서 나타낸 바와 같이, 사용자는 가압 부재 (140) 를, 위치 Q2 로부터 출발하여, 단재부 (F2) 의 영역 내이고 스크라이브 라인 (L1) 의 근방을, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 둘레 방향으로 이동시킨다. 가압 부재 (140) 의 단차를 프레임 부재 (130) 의 개구의 측벽에 따르게 하면서 가압 부재 (140) 를 이동시킴으로써, 가압 부재 (140) 의 가압부 (142) 가, 이와 같은 궤적을 나아간다. 가압 부재 (140) (가압부 (142)) 가 위치 Q3 (도 6(a) 참조) 에 위치하게 되면, 기판 (F) 의 분단이 종료된다. 이것은, 도 4(a) 의 스텝 S17 의 처리에 대응한다.

사용자는, 기판 (F) 의 분단이 종료되면, 조작부를 조작하여, 도시하지 않은 흡착부에 의한 재치면 (121a) (지지 부재 (121)) 과 기판 (F) 의 흡착을 해제하고, 기판 (F) 을 회수한다. 이것은, 도 4(a) 의 스텝 S18 의 처리에 대응한다.

이렇게 하여, 분단 장치 (100) 에 의한 기판 (F) 의 분단에 관련된 일련의 처리가 종료된다.

변경예 1 의 경우도, 상기 실시형태와 동일하게, 사용자는, 가압부 (142) 가 가압하는 기판 F (단재부 (F2) 의 영역 내) 의 위치에 따라서, 가압 부재 (140) 의 이동 속도를 변경해도 된다. 즉, 사용자는, 가압 부재 (140) 를 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 를 따라서 이동시킬 때의 이동 속도보다, 가압 부재 (140) 를 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 를 따라서 이동시킬 때의 이동 속도를 느리게 한다. 이로써, 상기 실시형태의 도 4(b) 와 동일한 작용을 실현할 수 있다.

도 9 는, 변경예 1 에 관련된 지지부 (120) 의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (120) 는, 지지 부재 (121) 와, 대좌부 (122) 와, 판부 (123) 를 구비한다. 지지부 (120) 는, 도 7(a) 를 참조하여 설명한 바와 같이, X-Y 평면과 평행하는 평면에서 절단했을 때의 대좌부 (122) 의 단면적이, 재치면 (121a) 보다 작아지도록 형성된다. 판부 (123) 의 4 지점의 모서리가 도 7 의 테이블 (101a) 에 나사 고정됨으로써, 지지부 (120) 가 설치대 (101) 에 고정된다.

도 10(a) 는, 기판 (F) 을 분단하기 전의, 기판 (F) 의 상태에 대해서 설명하기 위한 모식도이다. 도 10(b) 는, 기판 (F) 을 분단하고 있을 때의 기판 (F) 의 상태를 나타낸 도면이다.

도 10(a) 에 나타내는 바와 같은 지지부 (120), 특히, 지지 부재 (121) 및 대좌부 (122) 를 사용하여 기판 (F) 을 분단할 때, 기판 (F) 은, 지지 부재 (121) 의 재치면 (121a) 에 재치된다.

사용자가 가압 부재 (140) 를 조작하여, 기판 (F) (단재부 (F2) 의 영역 내) 을 스크라이브 라인 (L1) (도 6(a) 참조) 을 따라서 가압하면서 이동하면, 기점 위치 Q1 (도 6(a) 참조) 에서 발생된 크랙이 잇따라 신전한다. 이로써, 단재부 (F2) 중 먼저 가압부 (142) 로 가압되어 분단된 부분이, 나중에 가압된 단재부 (F2) 부분의 변형에 끌려 변형되게 하여, 분단된 단재부 (F2) 가 잇따라 하방으로 처진다.

이 때, 도 10(b) 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (121) 와 대좌부 (122) 사이에는, Z 축 방향으로 단차가 발생되어 있기 때문에, 단재부 (F2) 는, 지지 부재 (121) 의 이측으로 들어가듯이 처진다.

이와 같이, 변경예 1 의 구성에서는, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 분단된 단재부 (F2) 의 지점이 처질 때, 지지 부재 (121) 와 대좌부 (122) 사이의 단차에 발생된 공간으로 들어가는 것이 허용된다. 이로써, 분단된 단재부 (F2) 의 단면이, 대좌부 (122) 의 측벽과 충돌하여 만곡되는 것이 억제되기 때문에, 분단된 단재부 (F2) 로부터 불필요한 응력이 기판 (F) 에 걸리는 경우가 없다. 따라서, 기판 (F) 으로부터 제품부 (F1) 를 양호하게 분단할 수 있다.

[변경예 2]

도 11 은, 변경예 2 에 관련된 분단 장치 (100) 의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 분단 장치 (100) 는, 승강 기구 (110) 와, 지지부 (120) 와, 프레임 부재 (150) 와, 가압 부재 (160) 를 구비한다. 변경예 2 의 분단 장치 (100) 는, 프레임 부재 (150) 및 가압 부재 (160) 가 변경예 1 의 프레임 부재 (130) 및 가압 부재 (140) 와 상이하게 되어 있다. 그 밖의 구성은, 변경예 1 과 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 또, 도 11 에 있어서, 기판 (F) 은 생략되어 있다.

프레임 부재 (150) 는, 상기 변경예 1 의 프레임 부재 (130) 와 동일하게, 판상의 부재의 중앙에 개구가 설치되어 형성된다. 단, 변경예 2 의 프레임 부재 (150) 는, 변경예 1 의 프레임 부재 (130) 에 비해서, 두께가 두껍고, 중앙 부분에 형성되어 있는 개구의 면적이 작다. 프레임 부재 (150) 는, 상기 변경예 1 의 프레임 부재 (130) 와 동일한 상태에서 지지체 (117) 에 설치된다.

또, 프레임 부재 (150) 에는, 개구의 주위를 따라서, 복수의 나사공 (150a) 이 형성된다. 이들 나사공 (150a) 의 각각에, 가압 부재 (160) 가 나사 고정된다. 가압 부재 (160) 에는, 축부에 나사홈이 형성되어 있다. 가압 부재 (160) 의 선단은 구면상이고, Z 축 부측을 향하여 돌출되어 있다.

도 12 는, 프레임 부재 (150) 에 가압 부재 (160) 가 장착된 상태를, Z 축 부측에서 바라 본 사시도이다.

복수의 가압 부재 (160) 는, 기판 (F) 의 단재부 (F2) 의 영역 내를 가압 가능한 위치에 배치된다. 즉, 복수의 가압 부재 (160) 는, 기판 (F) 이 지지부 (120) 에 지지된 상태에 있을 경우, 기판 (F) 의 단재부 (F2) 의 영역을 따라서 배열되도록, 프레임 부재 (150) 에 장착된다. 또, 복수의 가압 부재 (160) 는, 프레임 부재 (150) 로부터의 돌출량이 각각 상이하도록 형성된다. 구체적으로는, 기판 (F) 이 지지부 (120) 에 지지되고, 가압 부재 (160) 가 기판 (F) 의 상방에 위치할 경우, 복수의 가압 부재 (160) 와 기판 (F) (단재부 (F2) 의 영역 내) 의 거리가, 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록, 복수의 가압 부재 (160) 가 프레임 부재 (150) 에 설정된다. 각 가압 부재 (160) 의 돌출량은, 프레임 부재 (150) 에 대한 가압 부재 (160) 의 나사 조임량에 의해서 조정된다.

도 11 의 상태에서는, 가장 돌출량이 큰 가압 부재 (160) 가, 지지 부재 (121) 에 재치된 기판 (F) 의 표면에 대해서 소정 거리만큼 떨어지도록, 지지체 (117) 및 프레임 부재 (150) 의 높이 위치 (Z 축 방향의 위치) 가 조정된다. 지지체 (117) 및 프레임 부재 (150) 의 높이 위치는, 상기 실시형태와 동일하게, 나사 (116) 의 돌출량에 의해서 조정된다.

이 상태에서, 사용자는, 지지부 (120) (지지 부재 (121) 의 재치면 (121a)) 에 기판 (F) 을 재치하고, 도시하지 않은 흡착부를 동작시켜, 기판 (F) 을 지지 부재 (121) 에 흡착시킨다. 그리고, 사용자는, 프레임 부재 (150) 를 하방으로 눌러 내려, 프레임 부재 (150) 와 함께 복수의 가압 부재 (160) 를 강하시킨다. 이로써, 기판 (F) 의 표면 (단재부 (F2) 의 표면) 과의 거리가 가장 짧은 가압 부재 (160) 가 단재부 (F2) 에 최초로 맞닿고, 그 후, 단재부 (F2) 와의 거리가 짧은 순으로, 각 가압 부재 (160) 가 단재부 (F2) 에 맞닿는다. 이로써, 가압 부재 (160) 에 의한 단재부 (F2) 의 가압 위치가, 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향을 따라서 간헐적으로 이동한다.

이 때, 가압 위치는, 도 6(a) 에 파선으로 나타낸 궤적을 따라서 이동한다. 이와 같이, 가압 위치가 변화하도록, 복수의 가압 부재 (160) 의 돌출량이 조절되고 있다. 이로써, 도 6(a) 의 경우와 동일하게, 먼저, 외접부 (L2) 의 외주측 단 가장자리의 크랙이 기판 (F) 의 두께 방향으로 신전하고, 다시 외접부 (L2) 를 따라서 크랙이 신전한다. 그리고, 다음의 가압 위치가 가압되면, 크랙이 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 로 신전하고, 다시 가압 위치의 이동에 수반하여, 크랙이 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 신전해 간다. 이렇게 하여, 가압 위치가 외접부 (L2) 부근까지 주회하면, 스크라이브 라인 (L1) 의 전체 둘레에 걸쳐서 크랙이 신전하고, 기판 (F) 으로부터 단재부 (F2) 가 분단된다.

이와 같이, 변경예 2 의 구성에서는, 승강 기구 (110) 에 의해서 프레임 부재 (150) 를 직선적으로 구동시키는 것만으로, 가압 부재 (160) 에 의한 가압 위치를 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 복잡한 제어가 필요 없이, 간이한 구성으로 기판 (F) 을 분단할 수 있다.

또한, 이웃하는 가압 부재 (160) 의 간격은, 1 개의 가압 부재 (160) 에 의한 가압에 의해서 스크라이브 라인 (L1) 에 발생된 크랙이, 그 이웃하는 가압 부재 (160) 에 의한 가압에 의해서, 당해 가압 위치 부근의 스크라이브 라인 (L1) 으로 신전하는 간격으로 조정된다.

또, 여기서는, 프레임 부재 (150) 가 수동으로 승강되었지만, 프레임 부재 (150) 가, 모터나 에어 실린더 등을 구동원으로 하는 구동 기구에 의해서 승강되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 2 개의 샤프트 (113) 를 동시에 승강시키도록 구동 기구가 구성된다. 또, 이 구동 기구는, 상기 실시형태와 동일하게, 스크라이브 라인 (L1) 의 곡선부 (L11) 부근을 가압 위치가 이동할 때의 속도가, 스크라이브 라인 (L1) 의 직선부 (L12) 부근을 가압 위치가 이동할 때의 속도보다 느려지도록 제어되어도 된다. 또, 상기와 같이 프레임 부재 (150) 를 수동으로 승강시키는 경우에도, 사용자는, 이 제어와 동일한 동작이 실현되도록, 프레임 부재 (150) 의 강하 속도를 변화시켜도 된다.

[변경예 3]

도 13 은, 변경예 3 에 관련된 분단 장치 (100) 의 프레임 부재 (170) 및 가압 부재 (180) 의 구성을 Z 축 부측에서 바라 본 사시도이다.

변경예 3 의 분단 장치 (100) 에서는, 프레임 부재 (170) 및 가압 부재 (180) 가, 변경예 1 의 프레임 부재 (130) 및 가압 부재 (140) 와 상이하게 되어 있다. 변경예 3 의 그 밖의 구성은, 변경예 1 과 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 분단 장치 (100) 의 구성은, 도 11 의 구성과 동일하다. 도 11 의 프레임 부재 (150) 대신에, 도 13 의 프레임 부재 (170) 가 지지체 (117) 에 장착된다.

도 13 에 나타내는 바와 같이, 프레임 부재 (170) 는, 상기 변경예 2 의 프레임 부재 (150) 와 동일한 형상을 갖는다. 변경예 3 의 프레임 부재 (170) 는, 개구 부분의 4 지점의 모서리 부근에 각각 2 개씩 나사공 (170a) 이 형성된다. 각 나사공 (170a) 에는, 볼트 (182) 가 나사 고정된다.

8 개의 볼트 (182) 의 선단에, 가압부 (181) 가 접착제 등의 고정 수단에 의해서 고정된다. 가압부 (181) 는, 가늘고 긴 일련의 판상 부재가 프레임상으로 절곡된 형상을 갖는다. 평면에서 보았을 때, 가압부 (181) 는 트랙상으로 주회하고 있다. 8 개의 볼트 (182) 는, 프레임 부재 (170) 로부터의 돌출량이 각각 상이하게 되어 있다. 구체적으로는, 도 11 의 지지 부재 (121) 에 기판 (F) 이 장착되고, 가압부 (181) 가 기판 (F) 의 상방에 위치한 상태에 있어서, 볼트 (182) 의 하단과 기판 (F) (단재부 (F2) 의 영역 내) 의 거리가, 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록 형성된다.

이와 같이 8 개의 볼트 (182) 의 돌출량이 조정됨으로써, 가압부 (181) 와 기판 (F) 의 거리도, 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어진다. 이 때문에, 도 11 의 분단 장치 (100) 에 프레임 부재 (170) 를 장착하여, 프레임 부재 (170) 를 수동으로 강하시키면, 가압부 (181) 는, 기판 (F) 과의 거리가 짧은 지점부터 차례로 기판 (F) 에 맞닿는다.

평면에서 보았을 때, 가압부 (181) 는, 기판 (F) 의 단재부 (F2) 의 영역을 따라서 배치되어 있다. 가압부 (181) 는, 단재부 (F2) 와의 거리가 가장 짧은 단부가, 도 6(a) 의 기점 위치 Q1 에 위치하게 되고, 이 위치로부터, 도 6(a) 의 파선 화살표를 따라서 단재부 (F2) 와의 거리가 서서히 길어지고 있다. 따라서, 사용자가, 수동으로 프레임 부재 (170) 를 강하시키면, 도 6(a) 의 기점 위치 Q1 로부터 파선 화살표를 따라서, 가압부 (181) 가 단재부 (F2) 에 맞닿아 간다. 이로써, 가압 위치가 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향을 따라서 연속적으로 이동한다.

이렇게 하여, 가압 위치가 연속적으로 이동하면, 기점 위치 Q1 부근에서 발생된 크랙이, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 신전한다. 스크라이브 라인 (L1) 의 전체 둘레에 걸쳐 크랙이 신전함으로써, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 기판 (F) 이 분단된다.

이와 같이, 변경예 3 에 있어서도, 수동에 의해서 프레임 부재 (170) 가 직선적으로 강하되는 것만으로, 가압부 (181) 에 의한 단재부 (F2) 의 가압 위치를 스크라이브 라인 (L1) 의 둘레 방향으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 복잡한 제어가 필요 없이, 간이한 구성으로 기판 (F) 을 분단할 수 있다. 또, 변경예 3 의 구성에서는, 상기 변경예 2 와 달리, 가압부 (181) 에 의한 단재부 (F2) 의 가압 위치가 단재부 (F2) 를 따라서 연속적으로 변화된다. 이 때문에, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 크랙을 보다 원활하게 신전시킬 수 있다.

또한, 변경예 3 에 있어서도, 상기 변경예 2 와 동일하게, 구동 기구에 의해서 프레임 부재 (170) 가 승강되어도 된다. 또, 곡선부 (L11) 부근의 가압 위치의 이동 속도가, 직선부 (L12) 부근의 가압 위치의 이동 속도보다 느리게, 프레임 부재 (170) 의 승강이 제어되어도 된다. 이로써, 곡선부 (L11) 에 대한 분단이 양호하게 행해질 수 있다.

＜그 밖의 변경예＞

상기 실시형태에서는, 제어부 (50) 의 제어에 의해서, 가압 부재 (30) 의 가압 위치가 단재부 (F2) 를 따라서 연속적으로 변화하였다. 그러나, 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 에 의한 가압 위치를 단재부 (F2) 를 따라서 간헐적으로 변화시켜도 된다.

이 경우, 단재부 (F2) 의 영역 내에, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 복수의 가압 위치가 설정된다. 제어부 (50) 는, 이들 가압 위치가 차례로 가압 부재 (30) 에 의해서 가압되도록, 브레이크 헤드 구동부 (54) 및 이동대 구동부 (55) 를 제어한다. 구체적으로는, 제어부 (50) 는, 가압 부재 (30) 를 단재부 (F2) 를 따라서 이동시키면서, 이웃하는 가압 위치 사이를 가압 부재 (30) 가 이동하는 동안에, 브레이크 헤드 (4) 로 가압 부재 (30) 를 상승시켜, 가압 부재 (30) 를 단재부 (F2) 로부터 이간시킨다.

이 제어에 의하면, 상기 변경예 2 와 동일하게, 가압 부재 (30) 에 의해서 단재부 (F2) 가 둘레 방향으로 간헐적으로 가압된다. 이로써, 외접부 (L2) 및 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 크랙을 신전시킬 수 있고, 스크라이브 라인 (L1) 을 따라서 기판 (F) 을 분단할 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는, 기판 (F) 의 분단시에, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 가 차례로 강하했지만, 기판 (F) 의 분단시에 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 가 동시에 강하해도 된다.

이 경우, 상기 실시형태와 달리, 가압 부재 (30) 에 의해서 기점 위치 Q1 이 가압될 때, 기판 (F) 은 제 2 프레임부 (22b) 에 의해서 지지되지 않는다. 이 때문에, 기점 위치 Q1 이 가압되면, 단재부 (F2) 는, 기점 위치 Q1 과 함께, 외접부 (L2) 를 사이에 두고 기점 위치 Q1 과 반대측의 위치도 하방으로 이동하고, 그 결과, 상기 실시형태에 비해서, 외접부 (L2) 에 벌리는 방향의 힘이 잘 걸리기 않게 된다. 이 때문에, 기판 (F) 의 분단시에, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 동시에 강하시키면, 상기 실시형태의 경우에 비해서, 외접부 (L2) 에 대한 크랙의 형성이 약간 열등할 가능성이 있다.

이 때문에, 외접부 (L2) 에 있어서 크랙을 보다 양호하게 신전시키기 위해서는, 상기 실시형태와 같이, 기점 위치 Q1 의 가압시에, 제 1 프레임부 (22a) 만을 기판 (F) 으로부터 이간시키고, 제 2 프레임부 (22b) 로 기판 (F) 을 지지해 두는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 프레임부 (22b) 를 기판 (F) 으로부터 이간시키는 타이밍은, 반드시, 상기 실시형태와 같이, 기점 위치 Q1 로부터 가압 부재 (30) 가 이동을 개시하기 전의 타이밍이 아니어도 되고, 가압 부재 (30) 의 가압 위치가 제 2 프레임부 (22b) 에 진입하기 전의 어느 타이밍이면 된다.

또, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 기판 (F) 으로부터 퇴피시키는 방법은, 상기 실시형태와 같이, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 강하시키는 방법에 한정되는 것이 아니고, 예를 들어, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 X-Y 평면과 평행하는 방향으로 슬라이드시킴으로써, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 를 기판 (F) 으로부터 퇴피시켜도 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 지지부 (20) 를 구성하는 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 형상은 L 자상으로 형성되어 있었지만, 제 1 프레임부 (22a) 및 제 2 프레임부 (22b) 의 형상은 이것에 한정되지 않는다.

도 14(a) 는, 다른 변경예에 관련된 분단 장치에 있어서의 지지부 (40) 의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 14(b) 는, 기판 (F) 을 재치했을 때의 지지부 (40) 의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 14(c) 는, 가압 부재 (30) 가 기판 (F) 을 가압할 때의 기판 (F) 및 지지부 (40) 의 구성을 나타내는 모식도이다. 또한, 도 14(b) 에서는, 제 2 프레임부 (41b) 의 배치를 설명하기 위해서, 가상적으로 기판 (F) 에 있어서의 가압 부재 (30) 의 이동 궤적이 파선으로 나타내어져 있다.

도 14(a) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (40) 는, 지지 부재 (21) 의 전체 둘레를 둘러싸도록 배치되는 지지 프레임 (41) 을 갖는다. 지지 프레임 (41) 은, 제 1 프레임부 (41a) 와, 제 1 프레임부 (41a) 의 일부를 구성하도록 배치되는 직사각형상의 제 2 프레임부 (41b) 로 구성된다. 제 2 프레임부 (41b) 의 보다 상세한 배치는, 도 14(b) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (40) 에 기판 (F) 을 재치했을 때, 외접부 (L2) 를 사이에 두고 기점 위치 Q1 에 대해서 반대측 (Y 축 부측) 의 기판 (F) 을 지지할 수 있는 위치이고, 그리고 가압 부재 (30) 의 이동을 방해하지 않는 위치에 배치된다.

이와 같은 지지부 (40) 에 지지된 기판 (F) 에 대한 스크라이브 라인 (L) 의 형성 및 기판 (F) 의 분단은, 상기 실시형태와 동일한 순서로 행해진다. 여기서, 상기 실시형태에서는, 도 4(a) 의 플로 차트에 있어서, 스텝 S16 에서는, 가압 부재 (30) 가 이동하기 위해서, 제 2 프레임부 (22b) 를 승강시켰었다. 그러나, 지지부 (40) 에서는, 상기한 바와 같이, 제 2 프레임부 (41b) 는, 가압 부재 (30) 의 이동 궤적의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 도 4(a) 의 스텝 S16 의 처리를 행하지 않고, 도 14(c) 에 나타내는 바와 같이, 테이블 (8) 상에 제 2 프레임부 (41b) 가 배치된 상태에서, 가압 부재 (30) 를 이동시킬 수 있다.

또한, 도 14(a) ∼ (c) 에서는, 제 2 프레임부 (41b) 의 형상은 직사각형상으로 나타내어져 있으나, 가압 부재 (30) 에 의한 기점 위치 Q1 의 가압시에, 외접부 (l2) 를 사이에 두고 기점 위치 Q1 에 대해서 반대측 (Y 축 부측) 의 기판 (F) 을 지지할 수 있는 형상이면 된다.

또, 상기 변경예 2 에 있어서, 가압 부재 (160) 는, 프레임 부재 (150) 에 나사 고정에 의해서 배치되었지만, 나사 고정 이외의 방법으로 가압 부재 (160) 가 배치되어도 된다. 예를 들어, 샤프트상의 가압 부재 (160) 가, 프레임 부재 (150) 에 형성된 구멍에 압입되어, 프레임 부재 (150) 에 장착되어도 된다. 혹은, 프레임 부재 (150) 의 하면에 복수의 가압 부재 (160) 가 일체로 형성되어도 된다. 변경예 3 의 볼트 (182) 도, 동일하게 변경될 수 있다.

또, 실시형태 1 에 나타낸 분단 장치 (1) 의 구성은, 도 1(a) 의 구성으로부터 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어, 도 1(a) 에 나타낸 구성으로부터 스크라이브 헤드 (3) 가 생략되고, 분단 장치 (1) 가 구성되어도 된다. 이 경우, 기판 (F) 에 대한 스크라이브 라인 (L1) 및 외접부 (L2) 의 형성은, 다른 스크라이브 장치에 의해서 행해지면 된다.

또, 변경예 2 에 관련된 가압 부재 (160) 의 배열 방법은, 도 12 에 나타낸 배열 방법에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 이웃하는 가압 부재 (160) 간의 간격이나, 배치되는 가압 부재 (160) 의 수는, 도 12 에 나타낸 간격 및 수에서 변경되어도 된다. 또, 반드시, 가압 부재 (160) 의 직경이 동일하지 않아도 되고, 직경이 상이한 복수 종류의 가압 부재 (160) 를 단재부 (F2) 를 따라서 배치 해도 된다.

또, 상기 실시형태 및 변경예 1 ∼ 3 에 나타낸 각 가압 부재의 구성도, 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어, 상기 실시형태 및 변경예 1, 2 에서는 가압 부재의 선단이 구상이었지만, 가압 부재의 선단이, 타원이나, 원추의 선단이 둥글려진 형상 등의 다른 형상이어도 된다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 가압 부재 (30) 가 원통형이고, 단재부 (F2) 상을 전동 (轉動) 하는 것이어도 된다.

또, 제품부 (F1) 의 형상도, 상기 실시형태 및 변경예 1 ∼ 3 에 나타낸 형상에 한정되는 것이 아니고, 예를 들어, 직선부와 곡선부를 갖는 다른 형상이어도 된다. 예를 들어, 제품부 (F1) 의 형상이, 정방형이나 사다리꼴의 모서리부를 원호상으로 둥글린 형상이어도 된다. 이 경우에도, 제품부 (F1) 를 둘러싸는 단재부 (F2) 의 영역에 있어서, 가압 위치가 둘레 방향으로 이동하도록, 단재부 (F2) 가 가압되면 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 지지 부재 (21) 의 재치면 (21a) 에, 기판 (F) 이 직접 재치되었지만, 기판 (F) 과 재치면 (21a) 사이에, 예를 들어, 탄성체와 같은 시트를 개재시켜도 된다. 이 경우, 기판 (F) 에 스크라이브 라인 (L) 을 형성할 때, 지지 부재 (21) 의 재치면 (21a) 에 깔 수 있다. 이 시트는, 재치면 (21a) 에 형성되어 있는 구멍 (23) 으로부터의 공기를 기판 (F) 에 통하게 한다.

지지 부재 (21) 의 재치면 (21a) 에는, 미소한 요철이 나 있다. 기판 (F) 과 재치면 (21a) 사이에 시트를 깔면, 이와 같은 미소한 요철을 시트가 흡수하기 때문에, 재치면 (21a) 에 기판 (F) 을 수평면과 평행하게 재치할 수 있다. 따라서, 기판 (F) 을 안정적으로 재치할 수 있기 때문에, 스크라이브 라인 (L) 을 정확하게 형성하고, 또, 스크라이브 라인 (L) 을 따라서 기판 (F) 을 분단할 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는, 가압 부재 (30) 에 의해서 기판 (F) 이 가압됨으로써, 기판 (F) 의 분단이 행해졌지만, 예를 들어, 에어 등의 유체를 노즐로부터 분사함으로써, 기판 (F) 이 가압되어도 된다.

이 밖에, 본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타내어진 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절히 다양하게 변경할 수 있다.

1 : 분단 장치
2 : 이동대 (이동 기구)
5 : 볼 나사 (이동 기구)
4 : 브레이크 헤드 (이동 기구)
11 : 레일 (이동 기구)
16 : 모터 (이동 기구)
21, 121 : 지지 부재
21a, 121a : 재치면
30, 140, 160, 180 : 가압 부재 (가압 수단)
41 : 지지 프레임
50 : 제어부
54 : 브레이크 헤드 구동부 (가압 위치 조정 수단)
55 : 이동대 구동부 (가압 위치 조정 수단)
100 : 분단 장치
110 : 승강 기구
122 : 대좌부
F : 기판
F1 : 제품부
F2 : 단재부
L : 스크라이브 라인
L1 : 스크라이브 라인
L2 : 외접부
L11 : 곡선부
L12 : 직선부
Q1 : 기점 위치

Claims (18)

1. 직선부와 곡선부를 포함하는 형상의 제품부를, 상기 제품부의 외형을 따라서 형성된 스크라이브 라인에 의해서, 기판으로부터 분단하는 분단 방법으로서,
   상기 스크라이브 라인은, 상기 기판의 외주로 연장된 외접부를 갖고,
   상기 스크라이브 라인의 외측의 단재부의 영역 중 상기 외접부 부근의 기점 위치를 가압 수단에 의해서 가압하고,
   상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 분단 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 기점 위치로부터 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 연속적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분단 방법.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 스크라이브 라인의 직선 부분을 따라서 상기 가압 위치를 이동시키는 속도보다, 낮은 속도로, 상기 스크라이브 라인의 곡선 부분을 따라서 상기 가압 위치를 이동시키는 것을 특징으로 하는 분단 방법.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 가압 수단에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 기점 위치로부터 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 간헐적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분단 방법.
5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판은, 상기 제품부의 영역 내에 있어서 지지 부재에 지지되고, 상기 단재부의 하방에 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분단 방법.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 제품부는, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고,
   상기 지지 부재는, 상기 제품부의 형상보다 작으며, 또한, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고,
   상기 지지 부재에 있어서의 상기 모서리가 원호상으로 둥글려진 원호부의 곡률은, 상기 제품부에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률보다 작은 것을 특징으로 하는 분단 방법.
7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가압 수단은, 상기 단재부를 가압하기 위한 가압 부재인 것을 특징으로 하는 분단 방법.
8. 직선부와 곡선부를 포함하는 형상의 제품부를, 상기 제품부의 외형을 따라서 형성된 스크라이브 라인에 의해서 기판으로부터 분단하는 분단 장치로서,
   상기 제품부를 지지하는 지지 부재와,
   상기 스크라이브 라인의 외측의 단재부의 영역을 가압하는 가압 부재와,
   상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시키는 가압 위치 조정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 가압 위치 조정 수단은,
   상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
   상기 이동 기구를 제어하는 제어부를 구비하고,
   상기 제어부는, 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치를, 상기 단재부의 영역 내에 있어서, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향으로 연속적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 스크라이브 라인의 직선 부분을 따라서 상기 가압 부재를 이동시키는 속도보다, 상기 스크라이브 라인의 곡선 부분을 따라서 상기 가압 부재를 이동시키는 속도를 낮게 설정하는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
12. 제 8 항에 있어서,
    상기 가압 위치 조정 수단은, 상기 단재부를 따라서 배치된 복수의 상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 접근 및 이간시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 복수의 가압 부재가 상기 기판의 상방에 위치할 때, 상기 복수의 가압 부재와 상기 기판의 거리가, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
13. 제 8 항에 있어서,
    상기 가압 위치 조정 수단은, 상기 단재부를 따라서 연속적으로 배치된 상기 가압 부재를, 상기 기판에 대해서 접근 및 이간시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 가압 부재가 상기 기판의 상방에 위치할 때, 상기 가압 부재와 상기 기판의 거리가, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향의 위치의 변화에 수반하여 길어지도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
14. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 상기 제품부의 영역 내에 있어서 상기 기판을 지지하고,
    상기 단재부의 하방에 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 지지 부재는,
    상기 기판이 재치되는 재치면과,
    상기 재치면보다 단면적이 작은 대좌부를 구비하는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
16. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제품부는, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고,
    상기 지지 부재는, 상기 제품부의 형상보다 작으며, 또한, 직사각형의 모서리가 원호상으로 둥글려진 형상을 갖고,
    상기 지지 부재에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률은, 상기 제품부에 있어서의 상기 모서리가 둥글려진 원호부의 곡률보다 작은 것을 특징으로 하는 분단 장치.
17. 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 헤드와,
    상기 기판의 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하기 위한 지지 프레임과,
    상기 지지 프레임을, 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하는 제 1 위치와, 상기 제품부의 외측의 영역을 지지하지 않는 제 2 위치 사이에서 구동시키는 지지 프레임 구동부를 구비하고,
    상기 지지 프레임 구동부는, 상기 스크라이브 라인의 형성시에 있어서, 상기 지지 프레임을 제 1 위치에 설정하고, 상기 단재부의 분단시에 있어서, 상기 지지 프레임을 제 2 위치에 설정하는 것을 특징으로 하는 분단 장치.
18. 제 17 항에 있어서,
    상기 지지 프레임은, 상기 스크라이브 라인의 둘레 방향을 따라서 복수의 프레임부로 분할되고,
    상기 지지 프레임 구동부는, 상기 단재부의 분단시에 있어서, 상기 가압 부재에 의한 가압 위치에 대응하는 위치의 상기 프레임부를 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 분단 장치.

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