JP6759961B2 - ガラス板の切断方法及びその切断装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板の切断方法及びその切断装置に関する。

円盤状ガラスは、半導体ウェハの製造プロセス中における半導体ウェハの支持部材などとして、種々の分野で用いられている。

円盤状ガラスは、母材となるガラス板から切り出されて製造されるのが一般的である。母材となるガラス板の切断方法としては、例えば特許文献１に開示の方法が挙げられる。特許文献１に開示の切断方法は、ガラス板の一方の主面に円周線に沿ってスクライブ線を形成した後に、スクライブ線の外側部分の他方の主面に接触させたヒーターで外側部分を加熱膨張させることで、スクライブ線から厚み方向にクラックを伸展させ、スクライブ線の外側部分と内側部分とを分離するというものである。このような切断方法によれば、内側部分からなる円盤状ガラスの外周面を構成する切断端面が割断面となり、カッターなどで機械的に切削した場合よりも欠陥が少ない平滑面になるという利点がある。

特開２０１１−１４０４２３号公報

しかしながら、特許文献１に開示のように、スクライブ線の外側部分を加熱膨張させることのみによってスクライブ線からクラックを伸展させる場合、スクライブ線から厚み方向にクラックが伸びなかったり、クラックの伸び量が不十分であったりするなどし、スクライブ線の内側部分と外側部分とを分離できないときがある。その結果、切断不良が生じやすく、生産性が悪くなるという問題がある。このような傾向は、円盤状ガラスの直径が大きいときや、ガラス板の厚みが大きいときに特に顕著になる。

なお、円盤状ガラスを母材となるガラス板から切り出す場合に限らず、円以外の閉曲線状（例えば、楕円など）の輪郭線を有するガラス板を母材となるガラス板から切り出す場合にも同様の問題が生じ得る。

本発明は、一方の主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板からスクライブ線の内側部分を切り出すために、スクライブ線からクラックを確実に伸展させることを技術的課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、厚み方向に対向する第一主面および第二主面のうち、第一主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板を、スクライブ線を境界として内側部分と外側部分とに切断するガラス板の切断方法であって、内側部分の第二主面を支持手段で支持すると共に、外側部分のスクライブ線に沿った一部領域で第一主面及び第二主面を折曲手段の一対の挟持部で挟持した状態で、折曲手段で外側部分の一部領域を第一主面側が凸となるように折り曲げてスクライブ線の一部からクラックを伸展させる折曲工程をスクライブ線に沿った複数箇所で行うことを特徴とする。このような構成によれば、折曲手段で挟持された外側部分の一部領域が折り曲げられるので、内側部分の面積が大きい場合や、ガラス板の厚みが大きい場合であっても、スクライブ線の一部からクラックを確実に伸展させることができる。そして、この折曲手段による折曲工程はスクライブ線に沿った複数箇所で行われるので、スクライブ線の全周又は略全周でクラックを確実に伸展させることができる。

上記の構成において、複数箇所での折曲工程において、内側部分の第二主面側と外側部分の第二主面側とが連続する非分離部分を少なくとも一部に残し、複数箇所での折曲工程の後に、外側部分を加熱膨張させ、非分離部分を分離する加熱工程を行うことが好ましい。このようにすれば、折曲工程では、内側部分と外側部分とが非分離部分によって僅かに繋がった状態で残るため、内側部分が外側部分に対して厚み方向に大きく移動して、内側部分の切断端面と外側部分の切断端面が互いに擦れ合うという事態を防止することができる。一方、加熱工程では僅かに残っている非分離部分だけを分離すればよいので、内側部分と外側部分とを確実に分離できる。また、加熱工程では、外側部分が加熱膨張により内側部分から離れた状態となるので、内側部分の切断端面と外側部分の切断端面が互いに擦れ合うことなく、内側部分を取り出すことができる。

上記の構成において、折曲手段が、スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と第二主面との交点を支点として外側部分の一部領域を折り曲げることが好ましい。このようにすれば、スクライブ線を中心として適切な曲げ応力を作用させることができ、スクライブ線から厚み方向にクラックが伸展しやすくなる。

上記の構成において、複数箇所における折曲工程を一箇所ずつ順に行ってもよい。このようにすれば、一つの折曲手段だけで、複数箇所における折曲工程の全てを行うことができる。この場合、所定位置にある折曲手段に対してガラス板側を移動させてもよいし、所定位置にあるガラス板に対して折曲手段側を移動させてもよいし、折曲手段とガラス板の両側を移動させてもよい。

上記の構成において、二回目以降の折曲工程における一対の挟持部で挟持する外側部分の一部領域が、それ以前の折曲工程におけるクラック形成範囲の一部と重複するか、又はクラック形成範囲と近接することが好ましい。このようにすれば、スクライブ線に沿う方向に確実にクラックを連続させることができる。特に、この方法は、折曲工程を四回以上行う場合に好適である。

上記の構成において、最初の折曲工程における折曲手段による折曲速度が、二回目以降の折曲工程における折曲手段による折曲速度よりも低速とすることが好ましい。このようにすれば、折曲手段による折り曲げ時に、切断端面にチッピング等の不良が生じにくくなる。

上記の構成において、一対の挟持部のうち、第二主面に接触する挟持部が、スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と第二主面との交点に接した位置又は交点から外側に離れた位置で第二主面に接触することが好ましい。このようにすれば、スクライブ線からクラックが内側に向かって斜めに伸展するのを防止することができる。

上記の構成において、支持手段が、内側部分の第二主面を吸着保持する平面部を有することが好ましい。このようにすれば、内側部分を支持手段に確実に保持できるので、折曲工程で、スクライブ線を中心とした曲げ応力を作用させやすくなる。

上記の構成において、折曲工程において、押え手段で内側部分の第一主面を支持手段側に押圧することが好ましい。このようにすれば、内側部分を支持手段に確実に保持できるので、折曲工程で、スクライブ線を中心とした曲げ応力を作用させやすくなる。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、厚み方向に対向する第一主面および第二主面のうち、第一主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板を、スクライブ線を境界として内側部分と外側部分とに切断するガラス板の切断装置であって、内側部分の第二主面を支持する支持手段と、外側部分のスクライブ線に沿った一部領域で第一主面及び第二主面を挟持する一対の挟持部を有する折曲手段とを備え、折曲手段は、スクライブ線に沿った複数箇所で、外側部分の一部領域を第一主面側が凸となるように折り曲げるように構成されていることを特徴とする。このような構成によれば、既に述べた対応する構成と同様の効果を享受することができる。

上記の構成において、折曲手段で折り曲げられた外側部分を加熱膨張させる加熱手段を備えていることが好ましい。

上記の構成において、折曲手段が、スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と第二主面との交点を支点として外側部分の一部領域を折り曲げるように構成されていることが好ましい。

上記の構成において、支持手段が、内側部分の第二主面を吸着保持する平面部を有することが好ましい。

上記の構成において、内側部分の第一主面を支持手段側に押圧する押圧手段を備えていることが好ましい。

以上のような本発明によれば、一方の主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板からスクライブ線の内側部分を切り出すために、スクライブ線からクラックを確実に伸展させることができる。特に、厚みが０．７ｍｍ〜５０ｍｍ、直径が５０ｍｍ〜５００ｍｍのガラス板に対して、本発明の効果がより顕著になる。

ガラス板にスクライブ線を形成するスクライブ装置を示す断面図である。 スクライブ線が形成されたガラス板を示す平面図である。 ガラス板を折り曲げる折曲装置を示す側面図である（退避位置）。 ガラス板を折り曲げる折曲装置を示す側面図である（作業位置）。 折曲装置による折曲工程を説明するための断面図である。 折曲装置による折曲工程を説明するための断面図である。 折曲工程後のガラス板の状態を示す断面図である。 （ａ）折曲装置による最初の折曲工程を説明するための平面図であり、（ｂ）折曲装置による二回目の折曲工程を説明するための平面図である。 ガラス板を加熱する加熱装置を示す断面図である。

以下、本発明に係るガラス板の切断装置及びその切断方法の一実施形態を説明する。

本実施形態に係るガラス板の切断装置は、ガラス板にスクライブ線を形成するスクライブ装置と、ガラス板を折り曲げる折曲装置と、ガラス板を加熱する加熱装置とを備えている。また、本実施形態に係るガラス板の切断方法は、ガラス板にスクライブ線を形成するスクライブ工程と、ガラス板を折り曲げる折曲工程と、ガラス板を加熱する加熱工程とを順に備えている。以下、各装置及び各工程の構成を順に説明する。

（スクライブ装置及びスクライブ工程）
図１に示すように、スクライブ装置１は、母材となるガラス板Ｇの第一主面Ｇ１にスクライブ線Ｓを形成するツール２と、ガラス板Ｇの第二主面Ｇ２を支持する平面部３ａを有する回転テーブル３とを備えている。ここで、第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２は、ガラス板Ｇの厚み方向に対向する。この実施形態では、第一主面Ｇ１が上面とされ、第二主面Ｇ２が下面とされる。

ツール２は、先端部にダイヤモンドチップなどの超硬チップを保持している。ツール２は、超硬チップに限定されない。例えば、カッターホイール（超硬ホイール）であってもよいし、レーザ照射によってスクライブ線Ｓを形成するものであってもよい。

回転テーブル３の平面部３ａは、ガラス板Ｇを水平姿勢で支持する。回転テーブル３の平面部３ａは、ガラス板Ｇよりも大きく、第二主面Ｇ２の全面を負圧によって吸着保持する。平面部３ａの大きさや支持態様は、これに限定されない。

以上のように構成されたスクライブ装置１によるスクライブ工程では、ツール２の先端部を第一主面Ｇ１に押圧した状態で、回転テーブル３と共にガラス板Ｇを回転させる。これにより、図２に示すように、第一主面Ｇ１に円形のスクライブ線Ｓが形成される。ガラス板Ｇは、スクライブ線Ｓを境界として、円盤状ガラスとなる内側部分Ｇａと、それ以外の外側部分Ｇｂとに区画される。なお、スクライブ線Ｓは、円形に限定されない。例えば、長円、楕円又は多角形のような他の閉曲線状であってもよい。

（折曲装置及び折曲工程）
図３及び図４に示すように、折曲装置４は、ガラス板Ｇの内側部分Ｇａを支持する平面部５ａを有する回転テーブル（支持手段に相当）５と、ガラス板Ｇの外側部分Ｇｂを折り曲げる折曲機構（折曲手段に相当）６と、外側部分Ｇｂの第一主面Ｇ１を回転テーブル５の平面部５ａ側に押圧する押え機構（押え手段に相当）７とを備えている。

回転テーブル５の平面部５ａは、ガラス板Ｇを水平姿勢で支持する。回転テーブル５の平面部５ａは、ガラス板Ｇよりも小さく、ガラス板Ｇのスクライブ線Ｓの内側部分Ｇａを負圧によって吸着保持する。ガラス板Ｇのスクライブ線Ｓの外側部分Ｇｂは、回転テーブル５の平面部５ａの外側に食み出した状態となる。回転テーブル５は、一箇所で折曲工程が終了する毎に、所定角度だけ回転して折曲工程を行う箇所を順に変更する。回転テーブル５の回転角度は調整可能とされている。なお、平面部５ａの支持態様は、吸着保持に限定されない。

折曲機構６は、ヘッド部８と、第一駆動部９と、第二駆動部１０とを備えている。

ヘッド部８は、ガラス板Ｇの外側部分Ｇｂのスクライブ線Ｓに沿った一部領域Ｘ（図８を参照）の第一主面Ｇ１と第二主面Ｇ２を両側から挟持する一対の挟持部１１，１２と、それぞれの挟持部１１，１２を支持する一対の第三駆動部１３，１４と、それぞれの第三駆動部１３，１４を支持するベース部１５とを備えている。挟持部１１，１２は、第三駆動部１３，１４の駆動によって開閉動作する。第三駆動部１３，１４は、例えばピストンタイプのエアシリンダである。挟持部１１，１２の挟持位置とスクライブ線Ｓとの距離は、挟持部１１，１２の取付位置自体を変更することで調整可能とされている。

第一駆動部９は、例えばスライダタイプの電動シリンダであり、スライダ１６を備えている。スライダ１６は、退避位置Ｓ１（図３の位置）と作業位置Ｓ２（図４の位置）の間を水平移動する。退避位置Ｓ１と作業位置Ｓ２のそれぞれの水平方向位置は、第一駆動部９によって調整可能とされている。

第二駆動部１０の基端部はピン１７によってスライダ１６に軸支されており、第二駆動部１０がピン１７を中心として揺動可能とされている。

第二駆動部１０は、例えばピストンタイプの電動シリンダであり、ピストンロッド１８を備えている。ピストンロッド１８の先端部１８ａは、ガイドレール１９に支持されると共に、ガイドレール１９に沿って移動可能とされている。ピストンロッド１８の先端部１８ａにはベース部１５が固定されている。図４に示すように、作業位置Ｓ２で第二駆動部１０を駆動してピストンロッド１８の先端部１８ａをガイドレール１９に沿って移動させると、ベース部１５が傾動する。このとき、ベース部１５に第三駆動部１３，１４を介して取り付けられている挟持部１１，１２はベース部１５の傾動動作に伴って移動し、外側部分Ｇｂの一部領域Ｘを折り曲げる。挟持部１１，１２による外側部分Ｇｂの一部領域Ｘの折曲角度は、第二駆動部１０で調整可能とされている。折曲角度の調整範囲は、例えば０°〜９０°である。ここで、０°は水平方向、９０°は鉛直方向とする。

図４及び図５に示すように、ガイドレール１９は、円弧状の部材である。ガイドレール１９の中心線は、作業位置Ｓ２において、スクライブ線Ｓから厚み方向（垂直方向）に下した仮想直線Ｌｓと第二主面Ｇ２との交点Ｐを中心とする半径Ｒの仮想円の円周線Ｌｃと一致している。作業位置Ｓ２で第二駆動部１０を駆動してピストンロッド１８の先端部１８ａをガイドレール１９に沿って移動させると、ベース部１５が交点Ｐを中心として回転しながら傾動する。この傾動動作に伴って、外側部分Ｇｂの第二主面Ｇ２に接触する挟持部１２は交点Ｐを中心とした半径Ｒよりも小さい半径を有する仮想円の円周上を移動し、外側部分Ｇｂの第一主面Ｇ１に接触する挟持部１１は挟持部１２の移動に追随する。この挟持部１１，１２の移動により、外側部分Ｇｂの一部領域Ｘが交点Ｐを中心とした仮想円に沿って折り曲げられる。

ここで、ガイドレール１９は、第一駆動部９のスライダ１６に固定されている。第一駆動部９を駆動してスライダ１６を水平移動させると、ヘッド部８、第二駆動部１０及びガイドレール１９が、一体的に退避位置Ｓ１と作業位置Ｓ２の間を移動する。

押え機構７は、押え部２０と、押え部２０を支持する第四駆動部２１とを備えている。第四駆動部２１の駆動によって、押え部２０が内側部分Ｇａの第一主面Ｇ１に対して上下方向に進退移動する。第四駆動部２１は、例えばピストンタイプのエアシリンダである。押え機構７は、第一駆動部９の駆動によって、折曲機構６のヘッド部８と共に退避位置Ｓ１と作業位置Ｓ２の間を移動する。押え部２０の押圧位置とスクライブ線Ｓとの距離は、押え部２０の取付位置自体を変更することで調整可能とされている。なお、押え機構７は、第一駆動部９とは異なる別の駆動部で駆動してもよい。また、押え機構７は省略してもよい。

図５に示すように、内側部分Ｇａの第一主面Ｇ１と接触する押え部２０の接触部２０ａは、ゴムなどの弾性体で形成されている。また同様に、外側部分Ｇｂの第一主面Ｇ１と接触する挟持部１１の接触部１１ａおよび外側部分Ｇｂの第二主面Ｇ２と接触する挟持部１２の接触部１２ａも、ゴムなどの弾性体で形成されている。押え部２０の接触部２０ａと、挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａは、スクライブ線Ｓに沿った円弧状部材である。押え部２０の接触部２０ａは、挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａよりもスクライブ線Ｓに沿う方向（円周方向）で長尺とされている（図８（ａ），（ｂ）を参照）。なお、押え部２０の接触部２０ａと、挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａの形状や長さは、外側部分Ｇｂを正確に折り曲げ可能であれば、特に限定されない。

挟持部１２の内側端面１２ｂは、第二主面Ｇ２から下方に離れるに連れて外側に移行する傾斜面とされている。これにより、外側部分Ｇｂを折り曲げる際に、挟持部１２の内側端面１２ｂが回転テーブル５の外側端面５ｂと接触するのを防止している。挟持部１２の内側端面１２ｂを傾斜面とする代わりに、回転テーブル５の外側端面５ｂを第二主面Ｇ２から下方に離れるに連れて内側に移行する傾斜面としてもよい。なお、挟持部１２の内側端面１２ｂや回転テーブル５の外側端面５ｂの形状は、互いの干渉を回避し得る形状であれば、特に限定されない。

以上のように構成された折曲装置４による折曲工程は、次の通りである。

まず、図５に示すように、回転テーブル５の平面部５ａでガラス板Ｇの内側部分Ｇａの第二主面Ｇ２を吸着保持する。この状態で、押え部２０で内側部分Ｇａの第一主面Ｇ１を回転テーブル５側に押圧し、内側部分Ｇａの第二主面Ｇ２を回転テーブル５の平面部５ａに密接させる。またこれと併せて、一対の挟持部１１，１２でガラス板Ｇの外側部分Ｇｂの一部領域Ｘを表裏両側から挟持する。なお、回転テーブル５にガラス板Ｇを載置する前は、図３に示すように、折曲機構６及び押え機構７を退避位置Ｓ１に退避させておき、回転テーブル５にガラス板Ｇを載置した後に、図４に示すように、折曲機構６及び押え機構７を作業位置Ｓ２に進出させる。

一対の挟持部１１，１２でガラス板Ｇの外側部分Ｇｂを挟持する際、図５に拡大して示すように、外側部分Ｇｂの第二主面Ｇ２に接触する挟持部１２の接触部１２ａは、交点Ｐに接する位置又は交点Ｐから外側に離れた位置で第二主面Ｇ２に接触することが好ましい。接触部１２ａと交点Ｐの離間距離は、例えば、０ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましく、０ｍｍ〜５ｍｍであることがより好ましい。

次に、図６に示すように、挟持部１１，１２によって、外側部分Ｇｂの一部領域Ｘを交点Ｐを中心とした仮想円に沿って折り曲げ、第一主面Ｇ１側を凸にする。これにより、スクライブ線Ｓを中心とする曲げ応力が確実に作用し、挟持部１１，１２で挟持した外側部分Ｇｂの一部領域Ｘに対応したスクライブ線Ｓの一部からクラックＣが厚み方向に沿って伸展する。

外側部分Ｇｂの一部領域Ｘを挟持部１１，１２で折り曲げた後、図７に示すように、内側部分Ｇａの第二主面Ｇ２側と外側部分Ｇｂの第二主面Ｇ２側とが連続する非分離部分Ｇｘを残すことが好ましい。非分離部分Ｇｘは、スクライブ線Ｓに沿う方向の全周に亘って形成されていてもよいし、部分的に形成されていてもよい。非分離部分Ｇｘの厚みは、例えば、０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍであることが好ましく、０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍであることがより好ましい。なお、折曲工程で、非分離部分Ｇｘを残すことなく、クラックＣをガラス板Ｇの第二主面Ｇ２まで伸展させてもよい。

挟持部１１，１２は、折曲動作が終了すると、外側部分Ｇｂを挟持した状態で元の位置まで復帰し、第一主面Ｇ１及び第二主面Ｇ２から離れる。これと共に、押え機構７の押え部２０も押圧前の元の位置まで復帰し、第一主面Ｇ１から離れる。その後、回転テーブル５が所定角度だけ回転し、挟持部１１，１２によって折曲工程を行う場所が変更される。そして、以上のような手順を繰り返し、折曲工程をスクライブ線Ｓに沿った複数箇所で順に行う。

図８（ａ）に示すように、一回目の折曲工程におけるクラックの伸展は、ガラス板Ｇの厚み方向及びスクライブ線Ｓに沿った円周方向（矢印Ａ方向）に生じる。クラックの伸展の程度は、例えば、ガラス板Ｇのガラス組成、ガラス板Ｇの厚み、内側部分Ｇａの面積などによって変化する。

図８（ｂ）に示すように、二回目の折曲工程における挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａで挟持する外側部分Ｇｂの一部領域Ｘは、一回目の折曲工程におけるクラック形成範囲Ｃｘの一部と重複していることが好ましい。このような関係は、三回目以降も同様である。すなわち、二回目以降の折曲工程における挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａで挟持する外側部分Ｇｂの一部領域Ｘは、それ以前の折曲工程におけるクラック形成範囲Ｃｘの一部と重複していることが好ましい。このようにすれば、スクライブ線Ｓに沿う方向に確実にクラックを連続させることができる。なお、図８（ｂ）は、図８（ａ）の状態からガラス板Ｇを反時計回りに９０°回転させた状態を例示しているが、回転角度はこれに限定されない。

ここで、二回目以降の折曲工程における挟持部１１，１２の接触部１１ａ，１２ａで挟持する外側部分Ｇｂの一部領域Ｘは、それ以前の折曲工程におけるクラック形成範囲Ｃｘと重複せずに近接していてもよい。近接させる場合、スクライブ線Ｓに沿う方向（円周方向）におけるクラック形成範囲Ｃｘとの離間距離は、例えば、０．０１ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましく、０．０１ｍｍ〜５ｍｍであることがより好ましい。また、全ての折曲工程が終了した後に、クラック形成範囲Ｃｘが、スクライブ線Ｓに沿う方向で不連続な部分を僅かに有していてもよい。

最初の折曲工程における折曲機構６による折曲速度は、二回目以降の折曲工程における折曲機構６による折曲速度よりも低速であることが好ましい。このようにすれば、折曲機構６による折り曲げ時に、内側部分Ｇａの切断端面にチッピング等の不良が生じにくくなる。最初の折曲工程における折曲速度は、二回目以降の折曲工程における折曲速度の０．１〜０．９５倍であることが好ましい。０．９５倍よりも大きいと、上記効果が得られにくく、０．１倍よりも小さいと、生産性が低下しやすい。

（加熱装置及び加熱工程）
図９に示すように、加熱装置２２は、ガラス板Ｇの内側部分Ｇａの第二主面Ｇ２を支持する平面部２３ａを有する昇降テーブル２３と、ガラス板Ｇの外側部分Ｇｂの第二主面Ｇ２に接触するヒーター（加熱手段に相当）２４とを備えている。

以上のように構成された加熱装置２２による加熱工程では、ヒーター２４で外側部分Ｇｂを加熱膨張させて、内側部分Ｇａと外側部分Ｇｂの非分離部分Ｇｘを分離させる。非分離部分Ｇｘを分離させた後、昇降テーブル２３を上昇（又は下降）させて、外側部分Ｇｂから内側部分Ｇａを抜き取る。この際、外側部分Ｇｂの加熱膨張により、外側部分Ｇｂの切断端面（内側端面）Ｇｂｘと、内側部分Ｇａの切断端面（外側端面）Ｇａｘとが離れているので、切断端面Ｇｂｘ，Ｇａｘ同士が互いに擦れ合うことがない。なお、外側部分Ｇｂを上昇又は下降させて、内側部分Ｇａを抜き取るようにしてもよい。また、折曲工程で内側部分Ｇａと外側部分Ｇｂとを完全に分離する場合には、加熱工程は省略してもよい。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態では、ツール２に対してガラス板Ｇを移動させてスクライブ線Ｓを形成する場合を説明したが、例えば、ガラス板Ｇに対してツール２を移動させてもよいし、ツール２とガラス板Ｇの両方を移動させてもよい。

上記の実施形態では、一つの折曲機構６を用いて、ガラス板Ｇの複数箇所で折曲工程を順に行う場合を説明したが、例えば、複数の折曲機構６を用いて、ガラス板Ｇの複数箇所で折曲工程を順に行ってもよいし、同時に行ってもよい。

上記の実施形態では、ガラス板Ｇの折曲工程を行う箇所を変更するときに、折曲機構６に対してガラス板Ｇを移動させる場合を説明したが、例えば、ガラス板Ｇに対して折曲機構６を移動させてもよいし、折曲機構６とガラス板Ｇの両方を移動させてもよい。

上記の実施形態では、折曲工程の後に、外側部分Ｇｂを加熱膨張させる加熱工程を行う場合を説明したが、例えば、折曲工程の後に、内側部分Ｇａを冷却収縮させる冷却工程を行ってもよいし、外側部分Ｇｂを加熱膨張させる加熱工程と内側部分Ｇａを冷却収縮させる冷却工程を併用してもよい。

１ スクライブ装置
２ ツール
３ 回転テーブル
３ａ 平面部
４ 折曲装置
５ 回転テーブル（支持手段）
５ａ 平面部
６ 折曲機構
７ 押え機構
８ ヘッド部
９ 第一駆動部
１０ 第二駆動部
１１，１２ 挟持部
１３，１４ 第三駆動部
１５ ベース部
１６ スライダ
１８ ピストンロッド
１９ ガイドレール
２０ 押え部
２１ 第四駆動部
２２ 加熱装置
２３ 昇降テーブル
２４ ヒーター
Ｇ ガラス板
Ｇ１ 第一主面
Ｇ２ 第二主面
Ｇａ 内側部分
Ｇｂ 外側部分
Ｓ スクライブ線

Claims (13)

1. 厚み方向に対向する第一主面および第二主面のうち、前記第一主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板を、前記スクライブ線を境界として内側部分と外側部分とに切断するガラス板の切断方法であって、
   前記内側部分の前記第二主面を支持手段で支持すると共に、前記外側部分の前記スクライブ線に沿った一部領域で前記第一主面及び前記第二主面を折曲手段の一対の挟持部で挟持した状態で、
   前記折曲手段で前記外側部分の前記一部領域を前記第一主面側が凸となるように折り曲げて前記スクライブ線の一部からクラックを伸展させる折曲工程を前記スクライブ線に沿った複数箇所で行い、
   複数箇所での前記折曲工程において、前記内側部分の前記第二主面側と前記外側部分の前記第二主面側とが連続する非分離部分を少なくとも一部に残し、
   複数箇所での前記折曲工程の後に、前記外側部分を加熱膨張させ、前記非分離部分を分離する加熱工程を行うことを特徴とするガラス板の切断方法。
2. 複数箇所における前記折曲工程を一箇所ずつ順に行うことを特徴とする請求項１に記載のガラス板の切断方法。
3. 二回目以降の前記折曲工程における前記一対の挟持部で挟持する前記外側部分の前記一部領域が、それ以前の前記折曲工程におけるクラック形成範囲の一部と重複するか、又は前記クラック形成範囲と近接することを特徴とする請求項２に記載のガラス板の切断方法。
4. 最初の前記折曲工程における前記折曲手段による折曲速度が、二回目以降の前記折曲工程における前記折曲手段による折曲速度よりも低速であることを特徴とする請求項３に記載のガラス板の切断方法。
5. 厚み方向に対向する第一主面および第二主面のうち、前記第一主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板を、前記スクライブ線を境界として内側部分と外側部分とに切断するガラス板の切断方法であって、
   前記内側部分の前記第二主面を支持手段で支持すると共に、前記外側部分の前記スクライブ線に沿った一部領域で前記第一主面及び前記第二主面を折曲手段の一対の挟持部で挟持した状態で、前記折曲手段で前記外側部分の前記一部領域を前記第一主面側が凸となるように折り曲げて前記スクライブ線の一部からクラックを伸展させる折曲工程を前記スクライブ線に沿った複数箇所で行い、
   複数箇所における前記折曲工程を一箇所ずつ順に行いながら、二回目以降の前記折曲工程における前記一対の挟持部で挟持する前記外側部分の前記一部領域を、それ以前の前記折曲工程におけるクラック形成範囲の一部と重複させるか、又は前記クラック形成範囲と近接させると共に、
   最初の前記折曲工程における前記折曲手段による折曲速度を、二回目以降の前記折曲工程における前記折曲手段による折曲速度よりも低速にすることを特徴とするガラス板の切断方法。
6. 前記折曲手段が、前記スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と前記第二主面との交点を支点として前記外側部分の前記一部領域を折り曲げることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス板の切断方法。
7. 前記一対の挟持部のうち、前記第二主面に接触する挟持部が、前記スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と前記第二主面との交点と接する位置又は交点から外側に離れた位置で前記第二主面に接触することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス板の切断方法。
8. 前記支持手段が、前記内側部分の前記第二主面を吸着保持する平面部を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラス板の切断方法。
9. 前記折曲工程において、押え手段で前記内側部分の前記第一主面を前記支持手段側に押圧することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のガラス板の切断方法。
10. 厚み方向に対向する第一主面および第二主面のうち、前記第一主面に閉曲線状のスクライブ線が形成されたガラス板を、前記スクライブ線を境界として内側部分と外側部分とに切断するガラス板の切断装置であって、
    前記内側部分の前記第二主面を支持する支持手段と、
    前記外側部分の前記スクライブ線に沿った一部領域で前記第一主面及び前記第二主面を挟持する一対の挟持部を有する折曲手段と、
    前記折曲手段で折り曲げられた前記外側部分を加熱膨張させる加熱手段とを備え、
    前記折曲手段は、前記スクライブ線に沿った複数箇所で、前記外側部分の前記一部領域を前記第一主面側が凸となるように折り曲げるように構成されていることを特徴とするガラス板の切断装置。
11. 前記折曲手段が、前記スクライブ線から厚み方向に下した仮想直線と前記第二主面との交点を支点として前記外側部分の前記一部領域を折り曲げるように構成されていることを特徴とする請求項１０に記載のガラス板の切断装置。
12. 前記支持手段が、前記内側部分の前記第二主面を吸着保持する平面部を有することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のガラス板の切断装置。
13. 前記内側部分の前記第一主面を前記支持手段側に押圧する押え手段を備えていることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のガラス板の切断装置。

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