JP2022081622A - 透明基板、薄膜支持基板 - Google Patents
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Abstract
Description
透明なガラス基板上に薄膜を積層した薄膜透明基板であって、前記ガラス基板は、表面と裏面の一方又は両方に凹凸賦形を有し、紫外線吸収成分が含有されており、前記ガラス基板は、ガラス繊維を含有せず、前記薄膜は、パターン形成がなされていることを特徴とする薄膜透明基板。
に、好適な紫外線吸収成分としては、酸化セリウム(CeO2)や酸化バナジウム(V2O5)を例示することができる。
(態様1) フォトリソグラフィー工程にてパターン形成がなされる透明基板であって、表面と裏面の一方又は両方に凹凸賦形が設けられ、前記フォトリソグラフィー工程で使用される紫外線の透過率が50%以下であることを特徴とする透明基板。
(態様2) 前記紫外線の波長は、365nmであることを特徴とする態様1の透明基板。
(態様3) 前記透明基板は、紫外線吸収成分が含有されたガラス基板であることを特徴とする態様1又は2の透明基板。
(態様4) 前記紫外線吸収成分は、酸化セリウム又は酸化バナジウムであることを特徴とする態様3の透明基板。
(態様5) 積層された薄膜を支持する透明基板であって、前記薄膜の少なくとも一層は、フォトリソグラフィー工程によってパターン形成された層であり、前記透明基板の表面と裏面の一方又は両方には凹凸賦形が設けられ、前記透明基板は、前記フォトリソグラフィー工程で使用される紫外線の透過率が50%以下であることを特徴とする薄膜支持基板。
4:絶縁層,5:発光機能層,6:金属電極層
Claims (2)
- 透明なガラス基板上に薄膜を積層した薄膜透明基板であって、
前記ガラス基板は、表面と裏面の一方又は両方に凹凸賦形を有し、
紫外線吸収成分が含有されており、
前記ガラス基板は、ガラス繊維を含有せず、
前記薄膜は、パターン形成がなされていることを特徴とする薄膜透明基板。
- 前記紫外線吸収成分が、酸化セリウムまたは酸化バナジウムである請求項2記載の透明基板。
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