JP2022073955A - 積層型キャパシター - Google Patents

Abstract

【課題】積層型キャパシターを提供する。【解決手段】本発明の一実施形態は、複数の誘電体層が第１方向に積層された積層構造、及び上記誘電体層を挟んで積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成され、上記内部電極と接続された外部電極とを含み、上記本体は、上記複数の内部電極が位置し、静電容量を形成するアクティブ部と、上記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面をカバーするサイドマージン部とを含み、上記アクティブ部の中央領域で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＡ１とし、上記アクティブ部のうち上記サイドマージン部に隣接したアクティブ境界部で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＡ２とし、上記サイドマージン部の中央領域で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＭ１とする時、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件と、Ａ２＜Ａ１の条件とを満たす積層型キャパシターを提供する。【選択図】図３

Description

本発明は、積層型キャパシターに関する。

キャパシターは、電気を貯蔵することができる素子であって、一般的に２つの電極を対向させて電圧をかけると各電極に電気が蓄積されるものである。直流電圧を印加した場合には、電気が蓄電されながらキャパシター内部に電流が流れるが、蓄積が完了すると、電流が流れなくなる。一方、交流電圧を印加した場合、電極の極性が交番しながら交流電流が流れるようになる。

かかるキャパシターは、電極の間に備えられる絶縁体の種類によって、アルミニウムで電極を構成し、上記アルミニウム電極の間に薄い酸化膜を備えるアルミニウム電解キャパシター、電極材料としてタンタルを用いるタンタルキャパシター、電極の間にチタン酸バリウムなどの高誘電率の誘電体を用いるセラミックキャパシター、電極の間に備えられる誘電体として高誘電率系セラミックを多層構造で用いる積層セラミックキャパシター（Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ）、電極の間の誘電体としてポリスチレンフィルムを用いるフィルムキャパシターなど、様々な種類に区分され得る。

中でも、積層セラミックキャパシターは、温度特性及び周波数特性に優れており、小型で実現可能であるという長所を有することから、近年、高周波回路などの様々な分野で多く応用されている。近年、積層セラミックキャパシターをさらに小さく実現するために、誘電体層と内部電極を薄く形成する試みが続けられている。しかし、部品が小型化されるほど電気的、構造的信頼性を向上させるのに困難がある。

本発明の一目的は、誘電体層のグレインサイズを領域別に調節することにより、耐電圧特性といった信頼性が向上した積層型キャパシターを提供することにある。

上述の課題を解決するための方法として、本発明は、一例によって積層型キャパシターの新たな構造を提案する。具体的に、複数の誘電体層、上記誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成され、上記内部電極と接続された外部電極と、を含み、上記本体は、上記複数の内部電極が位置し、静電容量を形成するアクティブ部と、上記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面をカバーするサイドマージン部とを含み、上記アクティブ部の中央領域で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＡ１とし、上記アクティブ部のうち上記サイドマージン部に隣接したアクティブ境界部で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＡ２とし、上記サイドマージン部の中央領域で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＭ１とする時、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件と、Ａ２＜Ａ１の条件とを満たす。

一実施形態において、Ａ２／Ａ１≧０．７の条件を満たすことができる。

一実施形態において、上記サイドマージン部のうち上記アクティブ部に隣接したサイドマージン境界部で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＭ２とする時、Ｍ２＞Ｍ１の条件を満たすことができる。

一実施形態において、Ｍ１／Ｍ２≧０．７の条件を満たすことができる。

一実施形態において、上記第１及び第２方向に切断した切断面を基準として、上記本体の上記第１方向の長さをＴとし、上記アクティブ部の上記第２方向の長さをＷＡとする時、Ａ１は、横の長さがＷＡ／３、縦の長さがＴ／３であり、上記アクティブ部で上記第１方向及び第２方向の中心ラインを基準として対称である第１長方形に存在するグレインの平均サイズであることができる。

一実施形態において、Ａ２は、横の長さがＷＡ／４、縦の長さがＴ／３であり、上記アクティブ部で上記第２方向の中心ラインを基準として対称である第２長方形に存在するグレインの平均サイズであることができる。

一実施形態において、上記第２長方形は上記サイドマージン部と接することができる。

一実施形態において、上記サイドマージン部の上記第２方向の長さをＷＭとする時、Ｍ１は、横の長さがＷＭ／３、縦の長さがＴ／３であり、上記サイドマージン部で上記第１方向及び第２方向の中心ラインを基準として対称である第３長方形に存在するグレインの平均サイズであることができる。

一実施形態において、上記サイドマージン部のうち上記アクティブ部に隣接したサイドマージン境界部で上記誘電体層の平均のグレインサイズをＭ２とする時、Ｍ２は、横の長さがＷＭ／４、縦の長さがＴ／３であり、上記サイドマージン部で上記第２方向の中心ラインを基準として対称である第４長方形に存在するグレインの平均サイズであることができる。

一実施形態において、上記第４長方形は上記アクティブ部と接することができる。

一実施形態において、上記誘電体層はチタン酸バリウム成分を含み、上記アクティブ部の中央領域で上記誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比は、上記サイドマージン部の中央領域で上記誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より小さいことができる。

一実施形態において、上記アクティブ部のうち上記サイドマージン部に隣接したアクティブ境界部で上記誘電体層の上記誘電体層Ｔｉに対するＢａのモル比は、上記アクティブ部の中央領域で上記誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より大きく、上記サイドマージン部の中央領域で上記誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より小さいことができる。

一実施形態において、上記内部電極は、上記第１及び第２方向に垂直な第３方向に上記本体から露出した第１及び第２内部電極を含み、上記外部電極は、上記第３方向に対向し、上記第１及び第２内部電極とそれぞれ接続された第１及び第２外部電極を含むことができる。

一実施形態において、上記本体は、上記第１方向に上記アクティブ部をカバーするカバー部をさらに含むことができる。

本発明の一例による積層型キャパシターの場合、耐電圧特性、高温信頼性などが向上することができる。

本発明の一実施形態による積層型キャパシターの外観を概略的に示す斜視図である。 図１の積層型キャパシターにおいて、Ｉ－Ｉ'線に沿った断面図である。 図１の積層型キャパシターにおいて、ＩＩ－ＩＩ'線に沿った断面図である。 図３における本体領域を細分化して示すものである。 本体の各領域別に誘電体グレインの形態を示すものである。 本体の各領域別に誘電体グレインの形態を示すものである。 本体の各領域別に誘電体グレインの形態を示すものである。 本体の各領域別に誘電体グレインの形態を示すものである。 本発明の実施例と比較例によって製造されたサンプルの高温加速寿命の実験結果を示すグラフである。 本発明の実施例と比較例によって製造されたサンプルの高温加速寿命の実験結果を示すグラフである。 本発明の実施例と比較例によって製造されたサンプルの高温加速寿命の実験結果を示すグラフである。

以下、具体的な実施形態及び添付された図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下で説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）されることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。

尚、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示しており、同一の思想の範囲内の機能が同一の構成要素は、同一の参照符号を用いて説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

図１は本発明の一実施形態による積層型キャパシターの外観を概略的に示す斜視図である。図２は図１の積層型キャパシターにおいて、Ｉ－Ｉ'線に沿った断面図である。そして、図３は図１の積層型キャパシターにおいて、ＩＩ－ＩＩ'線に沿った断面図であり、図４は図３における本体領域を細分化して示すものである。また、図５～図８は本体の各領域別に誘電体グレインの形態を示すものである。

図１から図３を参照すると、本発明の一実施形態による積層型キャパシター１００は、誘電体層１１１、及びこれを挟んで第１方向（Ｘ方向）に積層された複数の内部電極１２１、１２２を含む本体１１０と、外部電極１３１、１３２とを含み、本体１１０は領域別に誘電体層１１１の平均のグレインサイズが調節されている。

本体１１０は複数の誘電体層１１１が第１方向（Ｘ方向）に積層された積層構造を含み、例えば複数のグリーンシートを積層した後、焼結して得られることができる。かかる焼結工程により複数の誘電体層１１１は一体化した形態を有することができる。図１に示す形態のように、本体１１０は直方体と類似した形状を有することができる。本体１１０に含まれた誘電体層１１１は高誘電率を有するセラミック材料を含むことができ、例えば、ＢＴ系、即ち、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）系セラミックを含むことができるが、十分な静電容量が得られる限り、当技術分野で知られた他の物質も使用可能である。誘電体層１１１には、主成分であるこのようなセラミック材料と共に、必要な場合、添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤及び分散剤などがさらに含まれることができる。ここで、添加剤の場合、金属成分を含み、これらは製造過程で金属酸化物の形態で添加されることができる。かかる金属酸化物添加剤の例として、ＭｎＯ_２、Ｄｙ_２Ｏ_３、ＢａＯ、ＭｇＯ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３及びＣａＣＯ_３のうち少なくとも一つの物質を含むことができる。

複数の内部電極１２１、１２２は、セラミックグリーンシートの一面に所定の厚さで導電性金属を含むペーストを印刷した後、これを焼結して得られる。この場合、複数の内部電極１２１、１２２は、図２に示す形態のように、本体１１０の互いに対向する第３方向（Ｚ方向）に露出した第１及び第２内部電極１２１、１２２を含むことができる。ここで、第３方向（Ｚ方向）は、本体１１０のアクティブ部１１２の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２が互いに対向する方向を第２方向（Ｙ方向）とする時、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）に垂直な方向であることができる。第１及び第２内部電極１２１、１２２は、互いに異なる外部電極１３１、１３２と連結されて駆動する際に互いに異なる極性を有することができ、これらの間に配置された誘電体層１１１によって互いに電気的に分離されることができる。但し、外部電極１３１、１３２の個数や内部電極１２１、１２２との連結方式は、実施形態によって変わることができる。内部電極１２１、１２２をなす主要構成物質は、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）などが例として挙げられ、これらの合金も用いることができる。

外部電極１３１、１３２は本体１１０の外部に形成され、第１及び第２内部電極１２１、１２２とそれぞれ接続された第１及び第２外部電極１３１、１３２を含むことができる。外部電極１３１、１３２は導電性金属を含む物質をペーストで製造した後、これを本体１１０に塗布する方法などにより形成されることができ、導電性金属の例として、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）またはこれらの合金が挙げられる。これに外部電極１３１、１３２はＮｉ、Ｓｎなどを含むメッキ層をさらに含むことができる。

図３を参照すると、本実施形態の場合、本体１１０は、複数の内部電極１２１、１２２が位置し、静電容量を形成するアクティブ部１１２、及びアクティブ部１１２の第２方向（Ｙ方向）に対向する第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２をカバーするサイドマージン部１１３を含み、第２方向（Ｙ方向）は第１方向（Ｘ方向）と垂直であることができる。ここで、本体１１０は第１方向（Ｘ方向）にアクティブ部１１２をカバーするカバー部１１４をさらに含むことができる。ここで、カバー部１１４はアクティブ部１１２に含まれた誘電体層１１２を形成するためのセラミックグリーンシートを積層して形成することができ、必要に応じてアクティブ部１１２に含まれた誘電体層１１２を形成するためのものとは異なる組成、粒度分布を有するセラミックグリーンシートを用いることもできる。

上述したように、本体１１０は領域別に誘電体層１１１の平均のグレインサイズが異なるが、これは後述する耐電圧特性、高温信頼性などの実験結果に基づいて調節されたものである。図４を参照してこれを具体的に説明すると、図４は図３における本体を領域別に細分化して示すもので、内部電極は図示していない。本実施形態の場合、アクティブ部１１２の中央領域ＣＡで誘電体層１１１の平均のグレインサイズをＡ１とし、アクティブ部１１２のうちサイドマージン部１１３に隣接したアクティブ境界部で誘電体層１１１の平均のグレインサイズをＡ２とし、サイドマージン部１１３の中央領域ＣＭで誘電体層１１１の平均のグレインサイズをＭ１とする時、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件とＡ２＜Ａ１の条件とを満たす。

図４と共に図５から図８を共に参照すると、グレインサイズの測定方法の一例として、誘電体層１１１の平均のグレインサイズは第１方向（Ｘ方向）及び第２方向（Ｙ方向）に切断した切断面を基準として測定されることができ、この場合、第３方向（Ｚ方向）には本体１１０の長さ方向中間で切断された面を用いることができる。本体１１０の第１方向（Ｘ方向）長さをＴとし、アクティブ部１１２の第２方向（Ｙ方向）長さをＷＡとする時、Ａ１は横の長さがＷＡ／３、縦の長さがＴ／３であり、アクティブ部１１２で第１方向及び第２方向の中心ラインＬ１、Ｌ２を基準として対称である第１長方形Ｒ１に存在するグレインＧ１の平均サイズであることができる。そして、Ａ２は横の長さがＷＡ／４、縦の長さがＴ／３であり、アクティブ部１１２で第２方向の中心ラインＬ２を基準として対称である第２長方形Ｒ２に存在するグレインＧ２の平均サイズであることができる。この場合、図示された形態のように、第２長方形Ｒ２はサイドマージン部１１３と接することができる。また、サイドマージン部１１３の第２方向（Ｙ方向）長さをＷＭとする時、Ｍ１は横の長さがＷＭ／３、縦の長さがＴ／３であり、サイドマージン部１１３で第１方向中心ラインＬ３及び第２方向の中心ラインＬ２を基準として対称である第３長方形Ｒ３に存在するグレインＧ３の平均サイズであることができる。グレインＧ１、Ｇ２、Ｇ３のサイズを測定する場合、グレインＧ１、Ｇ２、Ｇ３の面積を測定して、これを円相当径に換算する方法などを用いることができる。また、測定の正確性を高めるために、上記基準長方形Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３に全体領域がグレインバウンダリーで取り囲まれたグレインＧ１、Ｇ２、Ｇ３のみを選択することができる。

本発明者らは、上述した誘電体層１１１の平均のグレインサイズの条件、即ち、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件とＡ２＜Ａ１の条件とを同時に満たす場合、耐電圧特性などの積層型キャパシターの信頼性基準になり得る特性が向上することが分かり、アクティブ部１１２の中央領域よりはサイドマージン部１１３に隣接した境界部のグレインサイズＡ２とサイドマージン部１１３の中央領域でグレインサイズＭ１の関係が重要なパラメーターであることを確認した。即ち、Ａ１＞Ａ２＞Ｍ１の条件を満たすと共に、Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件も積層型キャパシター１００の信頼性に主な影響を及ぼし、Ａ２／Ｍ１＞１．５の場合、アクティブ部１１２とサイドマージン部１１３との間にグレインサイズの偏差が大きくなり過ぎて信頼性が低下するおそれがある。上述した誘電体層１１１の平均のグレインサイズの条件に関するより詳しい事項は後述する。

さらに具体的なグレインサイズの条件として、Ａ２／Ａ１≧０．７の条件を満たす場合、信頼性の向上効果はさらに増大することができ、Ａ２／Ａ１＜０．７の場合、アクティブ部１１２内でグレインサイズの散布が大きくなり過ぎて耐電圧特性などで不利な面がある。また、サイドマージン部１１３のうちアクティブ部１１２に隣接したサイドマージン境界部で誘電体層１１１の平均のグレインサイズをＭ２とする時、Ｍ２＞Ｍ１の条件をさらに満たすことができる。これと共に、Ｍ１とＭ２との関係はＭ２／Ｍ１≧０．７の条件を満たすことができ、Ｍ２／Ｍ１＜０．７の場合、サイドマージン部１１３内でグレインサイズの散布が大きくなり過ぎて耐電圧特性などで不利な面がある。一方、上述した方式と同様に、Ｍ２の場合、横の長さがＷＭ／４、縦の長さがＴ／３であり、サイドマージン部１１３で第２方向中心ラインＬ２を基準として対称である第４長方形Ｒ４に存在するグレインＧ４の平均サイズであることができる。この場合、第４長方形Ｒ４はアクティブ部１１２と接することができる。

上述した誘電体のグレインサイズの条件を実現するために、次の方法を一例として使用することができる。即ち、本体１１０を形成するために、セラミック粉末、バインダー、溶剤などを混合してセラミックグリーンシートを製造する場合、アクティブ部１１２とサイドマージン部１１３でセラミック粒子の粒度分布、バインダー含量、Ｂａ／Ｔｉ値（即ち、Ｔｉに対するＢａのモル比）などを調節する方法を用いることができる。アクティブ部１１２の形成用シートよりサイドマージン部１１３の形成用シートでバインダーの含量割合を低くする場合、またはＢａ／Ｔｉ値を大きくする場合は、焼成する時にサイドマージン部１１３の形成用シートで先に収縮が起こる。この場合、サイドマージン部１１３の収縮速度は境界部より中央領域でさらに速く、これとは違って、アクティブ部１１２では中央領域より境界部でさらに速いことがある。これにより、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１でグレインサイズが相対的に小さくなる。焼成工程後、アクティブ部１１２とサイドマージン部１１３でバインダーはほとんど検出されないため含量は比較できないが、Ｂａ／Ｔｉ値条件は製造工程時と同様であってよい。即ち、アクティブ部１１２の中央領域ＣＡで誘電体層１１１のＴｉに対するＢａのモル比は、サイドマージン部１１３の中央領域ＣＭで誘電体層１１１のＴｉに対するＢａのモル比より小さくてよい。また、アクティブ部１１２のうちサイドマージン部１１３に隣接したアクティブ境界部で誘電体層１１１のＴｉに対するＢａのモル比は、アクティブ部１１２の中央領域ＣＡで誘電体層１１１のＴｉに対するＢａのモル比より大きく、サイドマージン部１１３の中央領域ＣＭで誘電体層１１１のＴｉに対するＢａのモル比より小さくてよい。

一方、セラミック粒子の粒度分布も焼成後のアクティブ部１１２とサイドマージン部１１３で誘電体層１１１のグレインサイズに影響を及ぼすことができるが、本発明者の研究によると、バインダー含量やＢａ／Ｔｉ値より影響を少なく与えた。したがって、本実施形態の上述したグレインサイズの条件を得るためにサイドマージン部１１３の形成用シートにアクティブ部１１２の形成用シートよりさらに小さい粒度を有するセラミック粒子を用いなければならないものではないといえる。

本発明の発明者らは、アクティブ部とサイドマージン部で平均のグレインサイズを異にしてサンプルを製作して、各領域で平均のグレインサイズ及びその割合を測定し、サンプル別にブレークダウン電圧（Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ Ｖｏｌｔａｇｅ、ＢＶ）、高温加速寿命（ＨＡＬＴ）実験をした。表１に実験結果を示し、グレインサイズの単位はｎｍである。また、ＢＶ及びＨＡＬＴ判定の表示項目の意味は、以下の通りである。
◎：優秀
○：良好
△：普通
×：不良

上記の実験結果によると、本発明の実施例（サンプル１－６）の場合、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件とＡ２＜Ａ１の条件を同時に満たし、ブレークダウン電圧と高温加速寿命の実験のいずれも優秀であるか良好な結果を示した。これと違って、比較例（サンプル７－１５）の場合、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件とＡ２＜Ａ１の条件のいずれか一つを満たせず、良好な結果が得られなかった。特に、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件から大きく外れたサンプル（サンプル１２－１５）は不良と判定された。

また、高温加速寿命の実験結果をさらに具体的にみると、図９の場合、１＜Ａ２／Ｍ１≦１．５、０．７≦Ａ２／Ａ１＜１、０．７≦Ｍ１／Ｍ２＜１の条件を満たすサンプルの信頼性テスト（経時により絶縁抵抗が低下する様相を測定）グラフである。図１０はＡ２／Ｍ１≧１．５、Ａ２／Ａ１≧１、０．７≦Ｍ１／Ｍ２≧１の条件を満たすサンプルの信頼性テストグラフである。図１１はＡ２／Ｍ１≦１、Ａ２／Ａ１≦０．７、Ｍ１／Ｍ２≦０．７の条件を満たすサンプルの信頼性テストグラフである。図９のグラフを見ると、本発明の上述したグレインサイズの条件を満たすサンプルは高温加速寿命に優れていた。本発明の上述したグレインサイズの条件を満たせないサンプルの場合、図１０のグラフのように信頼性に大きな問題を示したり、図１１のグラフのように絶縁抵抗自体が非常に低くて耐電圧特性に問題があった。

本発明は、上述した実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。従って、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能であるということは当技術分野の通常の知識を有する者には自明なことであり、これも添付の特許請求の範囲に記載された技術的思想に属するといえる。

１００：積層型キャパシター
１１０：本体
１１１：誘電体層
１１２：アクティブ部
１１３：サイドマージン部
１１４：カバー部
１２１、１２２：内部電極
１３１、１３２：外部電極

Claims (14)

1. 複数の誘電体層、及び前記複数の誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、
   前記本体の外部に形成され、前記複数の内部電極と接続された外部電極と、を含み、
   前記本体は、前記複数の内部電極が位置し、静電容量を形成するアクティブ部と、前記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面をカバーするサイドマージン部とを含み、
   前記アクティブ部の中央領域で前記複数の誘電体層の平均のグレインサイズをＡ１とし、前記アクティブ部のうち前記サイドマージン部に隣接したアクティブ境界部で前記複数の誘電体層の平均のグレインサイズをＡ２とし、前記サイドマージン部の中央領域で前記複数の誘電体層の平均のグレインサイズをＭ１とする時、
   １＜Ａ２／Ｍ１≦１．５の条件と、
   Ａ２＜Ａ１の条件とを満たす、積層型キャパシター。
2. Ａ２／Ａ１≧０．７の条件を満たす、請求項１に記載の積層型キャパシター。
3. 前記サイドマージン部のうち前記アクティブ部に隣接したサイドマージン境界部で前記複数の誘電体層の平均のグレインサイズをＭ２とする時、
   Ｍ２＞Ｍ１の条件を満たす、請求項１または２に記載の積層型キャパシター。
4. Ｍ１／Ｍ２≧０．７の条件を満たす、請求項３に記載の積層型キャパシター。
5. 前記第１及び第２方向に切断した切断面を基準として、
   前記本体の前記第１方向の長さをＴとし、
   前記アクティブ部の前記第２方向の長さをＷＡとする時、
   Ａ１は、横の長さがＷＡ／３、縦の長さがＴ／３であり、前記アクティブ部で前記第１方向及び第２方向の中心ラインを基準として対称である第１長方形に存在するグレインの平均サイズである、請求項１～４のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
6. Ａ２は、横の長さがＷＡ／４、縦の長さがＴ／３であり、前記アクティブ部で前記第２方向の中心ラインを基準として対称である第２長方形に存在するグレインの平均サイズである、請求項５に記載の積層型キャパシター。
7. 前記第２長方形は前記サイドマージン部と接する、請求項６に記載の積層型キャパシター。
8. 前記サイドマージン部の前記第２方向の長さをＷＭとする時、
   Ｍ１は、横の長さがＷＭ／３、縦の長さがＴ／３であり、前記サイドマージン部で前記第１方向及び第２方向の中心ラインを基準として対称である第３長方形に存在するグレインの平均サイズである、請求項５～７のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
9. 前記サイドマージン部のうち前記アクティブ部に隣接したサイドマージン境界部で前記複数の誘電体層の平均のグレインサイズをＭ２とする時、
   Ｍ２は、横の長さがＷＭ／４、縦の長さがＴ／３であり、前記サイドマージン部で前記第２方向の中心ラインを基準として対称である第４長方形に存在するグレインの平均サイズである、請求項８に記載の積層型キャパシター。
10. 前記第４長方形は前記アクティブ部と接する、請求項９に記載の積層型キャパシター。
11. 前記複数の誘電体層はチタン酸バリウム成分を含み、
    前記アクティブ部の中央領域で前記複数の誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比は、前記サイドマージン部の中央領域で前記複数の誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より小さい、請求項１～１０のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
12. 前記アクティブ部のうち前記サイドマージン部に隣接したアクティブ境界部で前記複数の誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比は、
    前記アクティブ部の中央領域で前記複数の誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より大きく、前記サイドマージン部の中央領域で前記複数の誘電体層のＴｉに対するＢａのモル比より小さい、請求項１１に記載の積層型キャパシター。
13. 前記複数の内部電極は、前記第１及び第２方向に垂直な第３方向に前記本体から露出した第１及び第２内部電極を含み、
    前記外部電極は、前記第３方向に対向し、前記第１及び第２内部電極とそれぞれ接続された第１及び第２外部電極を含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
14. 前記本体は、前記第１方向に前記アクティブ部をカバーするカバー部をさらに含む、請求項１～１３のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。

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