JP2022075550A - 積層型キャパシター - Google Patents
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Abstract
【課題】積層型キャパシターを提供する。【解決手段】本発明の一実施形態は、複数の誘電体層、及び上記誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成され、上記内部電極と接続された外部電極とを含み、上記本体は、上記複数の内部電極が位置して静電容量を形成するアクティブ部、上記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面のうち少なくとも一つの面をカバーするサイドマージン部、及び上記第１方向に上記アクティブ部をカバーするカバー部を含み、上記複数の誘電体層はチタン酸バリウム系組成物を含み、上記サイドマージン部の誘電体層は、Ｓｎ成分を含み、上記アクティブ部の誘電体層とはＳｎ含量が互いに異なり、上記サイドマージン部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む積層型キャパシターを提供する。【選択図】図３
Description
本発明は、積層型キャパシターに関する。
キャパシターは、電気を貯蔵することができる素子であって、一般的に２つの電極を対向させて電圧をかけると各電極に電気が蓄積されるものである。直流電圧を印加した場合には、電気が蓄電されながらキャパシター内部に電流が流れるが、蓄積が完了すると、電流が流れなくなる。一方、交流電圧を印加した場合、電極の極性が交番しながら交流電流が流れるようになる。
かかるキャパシターは、電極の間に備えられる絶縁体の種類によって、アルミニウムで電極を構成し、上記アルミニウム電極の間に薄い酸化膜を備えるアルミニウム電解キャパシター、電極材料としてタンタルを用いるタンタルキャパシター、電極の間にチタン酸バリウムなどの高誘電率の誘電体を用いるセラミックキャパシター、電極の間に備えられる誘電体として高誘電率系セラミックを多層構造で用いる積層セラミックキャパシター（Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ）、電極の間の誘電体としてポリスチレンフィルムを用いるフィルムキャパシターなど、様々な種類に区分され得る。
中でも、積層セラミックキャパシターは、温度特性及び周波数特性に優れており、小型で実現可能であるという長所を有することから、近年、高周波回路などの様々な分野で多く応用されている。近年、積層セラミックキャパシターをさらに小さく実現するために、誘電体層と内部電極を薄く形成する試みが続けられている。
積層型キャパシターを小型化しながら容量を増加させるための方法として、内部電極が本体の幅方向に露出するようにすることで、マージンのない設計により内部電極の幅方向の面積を極大化し、かかるチップの製作後に焼成前段階でチップの幅方向の電極露出面にサイドマージン部を別途付着して完成する工程が適用されている。しかし、上記方法の場合、サイドマージン部の厚さと面積が小さくなり、これにより外部衝撃による割れ及びクラックの危険性が高まっている。従って、超小型及び高容量製品でサイドマージン部の耐衝撃性及び耐クラック性を向上させることができる誘電体材料の適用が必要な実情である。
本発明の一目的は、高い信頼性を有する誘電体材料を使用することで、電気的、機械的特性が向上した積層型キャパシターを提供することにある。
上述の課題を解決するための方法であって、本発明は、一例によって積層型キャパシターの新たな構造を提案する。具体的に、複数の誘電体層、及び上記誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成され、上記内部電極と接続された外部電極と、を含み、上記本体は、上記複数の内部電極が位置して静電容量を形成するアクティブ部、上記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面のうち少なくとも一つの面をカバーするサイドマージン部、及び上記第１方向に上記アクティブ部をカバーするカバー部を含み、上記複数の誘電体層はチタン酸バリウム系組成物を含み、上記サイドマージン部の誘電体層は、Ｓｎ成分を含み、上記アクティブ部の誘電体層とはＳｎ含量が互いに異なり、上記サイドマージン部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む。
一実施形態において、上記コア－シェル構造における上記シェル部は、Ｓｎの含量が上記コアより多いことができる。
一実施形態において、上記コア－シェル構造における上記シェル部は、Ｔｉの一部がＳｎに置換されることができる。
一実施形態において、上記サイドマージン部の誘電体層に含まれたＳｎの含量は、上記アクティブ部の誘電体層に含まれたＳｎの含量より多いことができる。
一実施形態において、上記シェル部は、上記コアの表面の３０％以上をカバーすることができる。
一実施形態において、上記サイドマージン部の誘電体層における上記シェル部が上記コア表面の３０％以上をカバーするグレインは、全体グレインに対して１０％以上であることができる。
一実施形態において、上記サイドマージン部の誘電体層は、チタン酸バリウム１００モルに対してＳｎを０．１から１０モル含有することができる。
一実施形態において、上記サイドマージン部の誘電体層は、上記アクティブ部の誘電体層より平均グレインサイズが小さいことができる。
一実施形態において、上記カバー部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含み、上記コア－シェル構造における上記シェル部は、Ｓｎの含量が上記コアより多いことができる。
本発明の他の側面は、複数の誘電体層、及び上記誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、上記本体の外部に形成され、上記内部電極と接続された外部電極と、を含み、上記本体は、上記複数の内部電極が位置して静電容量を形成するアクティブ部、上記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面をカバーするサイドマージン部、及び上記第１方向に上記アクティブ部をカバーするカバー部を含み、上記複数の誘電体層はチタン酸バリウム系組成物を含み、上記カバー部の誘電体層は、Ｓｎ成分を含み、上記アクティブ部の誘電体層とはＳｎ含量が互いに異なり、上記カバー部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む積層型キャパシターを提供する。
本発明の一例による積層型キャパシターの場合、電気的、機械的特性が向上することができる。
以下、具体的な実施形態及び添付された図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下で説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。
尚、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係ない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示しており、同一の思想の範囲内の機能が同一の構成要素は、同一の参照符号を用いて説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
図１は本発明の一実施形態による積層型キャパシターの外観を概略的に示す斜視図である。図２は図１の積層型キャパシターにおいて、Ｉ－Ｉ'断面図である。図３は図１の積層型キャパシターにおいて、ＩＩ－ＩＩ'断面図であるそして、図４は誘電体層のグレインを拡大して示す模式図であり、図５は図３における本体領域を細分化して示すものである。
図１から図３を参照すると、本発明の一実施形態による積層型キャパシター１００は、誘電体層１１１及びこれを挟んで第１方向（Ｘ方向）に積層された複数の内部電極１２１、１２２を含む本体１１０と、外部電極１３１、１３２とを含み、本体１１０は、アクティブ部１１２、サイドマージン部１１３、カバー部１１４を含む。ここで、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、Ｓｎ成分を含み、アクティブ部１１２の誘電体層１１２とはＳｎ含量が互いに異なる。また、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む。
本体１１０は、複数の誘電体層１１１が第１方向（Ｘ方向）に積層された積層構造を含み、例えば複数のグリーンシートを積層した後、焼結して得られることができる。かかる焼結工程により複数の誘電体層１１１は一体化した形態を有することができる。図１に示す形態のように、本体１１０は、直方体と類似した形状を有することができる。本体１１０に含まれた誘電体層１１１は高誘電率を有するセラミック材料を含むことができ、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）系組成物を含む。具体的に、誘電体層１１１はＢａ及びＴｉを含む母材主成分を含むことができ、ここで、上記母材主成分は、ＢａＴｉＯ３またはＣａ、Ｚｒ、Ｓｎなどが一部固溶された（Ｂａ，Ｃａ）（Ｔｉ，Ｃａ）Ｏ３、（Ｂａ，Ｃａ）（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ３、Ｂａ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ３、（Ｂａ，Ｃａ）（Ｔｉ，Ｓｎ）Ｏ３で表現される主成分を含むことができる。また、誘電体層１１１には、主成分であるかかるセラミック材料と共に、必要な場合、添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤及び分散剤などがさらに含まれることができる。ここで、添加剤の場合、金属成分を含み、これらは製造過程で金属酸化物の形態で添加されることができる。かかる金属酸化物添加剤の例として、ＭｎＯ２、Ｄｙ２Ｏ３、ＢａＯ、ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３及びＣａＣＯ３のうち少なくともいずれか一つの物質を含むことができる。
複数の内部電極１２１、１２２は、セラミックグリーンシートの一面に所定の厚さで導電性金属を含むペーストを印刷した後、これを焼結して得られることができる。この場合、複数の内部電極１２１、１２２は、図２に示す形態のように、本体１１０の互いに対向する第３方向（Ｚ方向）に露出した第１及び第２内部電極１２１、１２２を含むことができる。ここで、第３方向（Ｚ方向）は、本体１１０のアクティブ部１１２の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２が互いに対向する方向を第２方向（Ｙ方向）とする時、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（Ｙ方向）に垂直な方向であることができる。第１及び第２内部電極１２１、１２２は、互いに異なる外部電極１３１、１３２と連結されて駆動時に互いに異なる極性を有することができ、これらの間に配置された誘電体層１１１により互いに電気的に分離することができる。但し、外部電極１３１、１３２の個数や内部電極１２１、１２２との連結方式は、実施形態によって変わることができる。内部電極１２１、１２２をなす主要構成物質は、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）などが例として挙げられ、これらの合金も使用することができる。
外部電極１３１、１３２は本体１１０の外部に形成され、第１及び第２内部電極１２１、１２２とそれぞれ接続された第１及び第２外部電極１３１、１３２を含むことができる。外部電極１３１、１３２は、導電性金属を含む物質をペーストで製造した後、これを本体１１０に塗布する方法などで形成されることができ、導電性金属の例として、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、またはこれらの合金を有することができる。ここで外部電極１３１、１３２は、さらにＮｉ、Ｓｎなどを含むメッキ層を含むことができる。
図３を参照すると、アクティブ部１１２は、複数の内部電極１２１、１２２が位置して静電容量を形成する。サイドマージン部１１３は、アクティブ部１１２の第２方向（Ｙ方向）に対向する第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２のうち少なくとも一つの面をカバーし、本実施形態では第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を全てカバーする形態を示した。この場合、第２方向（Ｙ方向）は第１方向（Ｘ方向）と垂直であることができる。カバー部１１４は、第１方向（Ｘ方向）にアクティブ部１１２をカバーし、本実施形態ではカバー部１１４が第１方向（Ｘ方向）にアクティブ部１１２の上部と下部の全てに配置されている。
本実施形態の場合、積層型キャパシター１００の信頼性に大きな影響を及ぼすサイドマージン部１１３において、誘電体層１１１の成分とグレインサイズなどを調節して耐湿特性、靭性（ｔｏｕｇｈｎｅｓｓ）などが向上するようにした。以下の説明は、サイドマージン部１１３を基準としたが、信頼性に優れた誘電体層１１１はカバー部１１４に適用されることができ、特性の向上を極大化するために、サイドマージン部１１３とカバー部１１４に同時に適用されることもできる。
本実施形態の場合、アクティブ部１１２とサイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、Ｓｎ成分を含み、Ｓｎ含量は互いに異なる。本発明者らの研究によると、チタン酸バリウム組成物を含む誘電体層１１１において、Ｓｎの含量によって粒成長特性、靭性などが変わり、本体１１０を構成する領域別にＳｎの含量を異ならせることで、電気的、機械的特性などが向上した結果を示した。一例として、サイドマージン部１１２の誘電体層１１１に含まれたＳｎの含量は、アクティブ部１１３の誘電体層１１１に含まれたＳｎの含量より多くてよく、これから本体１１０の耐湿信頼性、靭性などが向上することができる。
サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、耐湿信頼性を向上させ、耐衝撃性及び耐クラック性を有するようにするためにＳｎ成分を含み、Ｓｎの含量はアクティブ部１１２の誘電体層１１１より多いように調節される。この場合、アクティブ部１１２の誘電体層１１１は、Ｓｎを含まないか、含んでも極少量だけを含むことができる。サイドマージン部１１３が含むＳｎの含量がアクティブ部１１２の誘電体層１１１が含むＳｎの含量より多い場合、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、グレインの粒成長が相対的に大きくなく、これに含まれたグレインの平均サイズがアクティブ部１１２の誘電体層１１１に含まれたグレインの平均サイズより小さく調節することができ、これからサイドマージン部１１３は、アクティブ部１１２より高い耐湿特性と靭性を有することができる。従って、積層型キャパシター１００を基板などに実装する時に本体１１０、特に、サイドマージン部１１３のクラックを改善することができる。
サイドマージン部１１３で十分な水準の向上した特性が発現されるために、Ｓｎの含量は調節されることができ、この場合、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、Ｓｎをチタン酸バリウム１００モルに対して０．１から１０モル含有することができる。Ｓｎ含量が０．１モル未満の場合、Ｓｎの添加による実質的な効果が表れにくく、Ｓｎ含量が１０モルを超える場合は、Ｓｎ間のネットワーク形成により耐衝撃性の劣化が問題になるおそれがある。
本実施形態の場合、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１は、図４に示すコア－シェル形態のようにシェル構造を有するグレイン１１を含む。この場合、上記コア－シェル構造におけるシェル部１１ｂは、Ｓｎの含量がコア１１ａより多いことができ、また、シェル部１１ｂは、Ｔｉの一部がＳｎに置換された形態であることができる。シェル部１１ｂは、コア１１ａの表面の３０％以上をカバーすることができる。そして、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１においてシェル部１１ｂがコア１１ａの表面の３０％以上をカバーするグレイン１２は、全体グレイン１１、１２に対して１０％以上であることができる。また、シェル部１１ｂの厚さは特に制限されないが、例えば２から５０ｎｍであることができる。
Ｓｎは、Ｔｉと酸化数は同一であるがイオン半径が異なる元素であり、シェル部１１ｂにおいてＴｉの一部をＳｎが置換する場合、一般的にキュービック（Ｃｕｂｉｃ）相を有する構造を格子構造に変形して、双極子モーメントがある相に切り替えることで、自体誘電率を高めて高誘電率を確保することができる。そして、シェル部１１ｂにおいてＴｉの一部がＳｎに置換される場合、Ｔｉに対するＢａの割合（Ｂａ／Ｔｉ）を高めることができ、誘電体グレインの粒成長を抑制することができる。この場合、Ｔｉに対するＢａの割合（Ｂａ／Ｔｉ）は、１．０１５０以上であることができる。Ｔｉに対するＢａの割合（Ｂａ／Ｔｉ）が１．０１５０以上として高いモル比を有する場合、誘電体グレインは、焼結時に粒成長が抑制されて緻密化されることができ、これから電気的特性（耐電圧特性）、耐湿信頼性などが向上することができる。
上述したように、Ｓｎ含量が相対的により多いサイドマージン部１１３の誘電体層１１１に含まれたグレイン（図７でＧ２）は、平均グレインサイズがアクティブ部１１２の誘電体層１１１に含まれたグレイン（図６でＧ１）の平均グレインサイズより小さくてよい。例えば、サイドマージン部１１２の誘電体層１１１は、平均グレインサイズが１００～７００ｎｍであることができる。また、アクティブ部１１３の誘電体層１１１は、ＭＬＣＣ分野で通常使用される組成を用いることができ、この場合、平均グレインサイズが３００～９００ｎｍであることができる。この場合、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１に含まれるＳｎの含量が増加するにつれて、サイドマージン部１１３の外側境界面からアクティブ部１１２に隣接した内部領域にいくほどグレインサイズが減少し得る。即ち、サイドマージン部１１３内におけるＳｎは誘電体グレインの粒径を減少させ、アクティブ部１１２に隣接した内側は誘電体グレインの粒径がさらに減少するため、サイドマージン部１１３が高い靭性を有するようにすることができる。
誘電体層１１１に含まれたグレインの平均サイズは、それぞれ当該領域で抽出された誘電体グレインの円相当直径を計算する方法、長軸と短縮長さを測定してその平均サイズを計算する方法などで求めることができる。図５と併せて図６及び図７を参照すると、グレインサイズの測定方法の一例として、誘電体層１１１の平均グレインサイズは、第１方向（Ｘ方向）及び第２方向（Ｙ方向）に切断した切断面を基準として測定されることができ、この場合、第３方向（Ｚ方向）には本体１１０の長さ方向の中間で切断した面を用いることができる。
本体１１０の第１方向（Ｘ方向）長さをＴとし、アクティブ部１１２の第２方向（Ｙ方向）長さをＷＡとする時、アクティブ部１１２の誘電体層１１１における平均グレインサイズは、図５の切断面で第１直四角形Ｒ１内に存在するグレインＧ１のサイズから測定されることができる。第１直四角形Ｒ１はアクティブ部１１２の中心領域ＣＡを含み、横の長さがＷＡ／３、縦の長さがＴ／３である。そして、アクティブ部１１２において、第１方向及び第２方向の中心ラインＬ１、Ｌ２を基準として対称である。サイドマージン部１１３の誘電体層１１１における平均グレインサイズは、中心領域ＣＭを含む第２直四角形Ｒ２に存在するグレインＧ２のサイズから測定されることができる。第２直四角形Ｒ２は、サイドマージン部１１３の第２方向（Ｙ方向）長さをＷＭとする時、横の長さがＷＭ／３、縦の長さがＴ／３であり、サイドマージン部１１３において、第１方向中心ラインＬ３及び第２方向の中心ラインＬ２を基準として対称である。これと類似した方式により、カバー部１１４の誘電体層１１１における平均グレインサイズは、中心領域ＣＣを含む第３直四角形Ｒ３内に存在するグレインのサイズを測定して求めることができるが、ここでグレインは図７と同様の形態であることができる。第３直四角形Ｒ３は、横の長さがＷＡ／３、縦の長さがｔ／２（ここで、ｔはカバー部１１４の厚さ）であり、カバー部１１４において、第１方向及び第２方向の中心ラインを基準として対称である。
上述したように、グレインＧ１、Ｇ２のサイズを測定する場合、グレインＧ１、Ｇ２の面積を測定し、これを円相当直径に換算する方法、長軸と短縮長さを測定して平均を出す方法などを用いることができる。また、測定の正確性を高めるために、上記基準直四角形Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３に全体領域がグレインバウンダリーで取り囲まれたグレインＧ１、Ｇ２のみを選択することができる。
また、上述したように、サイドマージン部１１３の誘電体層１１１に関する説明は、カバー部１１４にもそのまま適用されることができ、サイドマージン部１１３ではなくカバー部１１４のみに、上述した誘電体層１１１のＳｎ含量特性、コア－シェル構造が適用されることもできる。そして、サイドマージン部１１３とカバー部１１４の両方に上述した誘電体層１１１のＳｎ含量特性、コア－シェル構造が適用されることもできる。
本発明は、上述した実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。従って、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能であるということは当技術分野の通常の知識を有する者には自明なことであり、これも添付の特許請求の範囲に記載された技術的思想に属するといえる。
１００：積層型キャパシター
１１０：本体
１１１：誘電体層
１１２：アクティブ部
１１３：サイドマージン部
１１４：カバー部
１２１、１２２：内部電極
１３１、１３２：外部電極
１１、１２：グレイン
１１ａ：コア
１１ｂ：シェル部
１１０：本体
１１１：誘電体層
１１２：アクティブ部
１１３：サイドマージン部
１１４：カバー部
１２１、１２２：内部電極
１３１、１３２：外部電極
１１、１２：グレイン
１１ａ：コア
１１ｂ：シェル部
Claims (17)
- 複数の誘電体層、及び前記複数の誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、
前記本体の外部に形成され、前記複数の内部電極と接続された外部電極と、を含み、
前記本体は、前記複数の内部電極が位置して静電容量を形成するアクティブ部、前記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面のうち少なくとも一つの面をカバーするサイドマージン部、及び前記第１方向に前記アクティブ部をカバーするカバー部を含み、
前記複数の誘電体層はチタン酸バリウム系組成物を含み、
前記サイドマージン部の誘電体層は、Ｓｎ成分を含み、前記アクティブ部の誘電体層とはＳｎ含量が互いに異なり、
前記サイドマージン部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む、積層型キャパシター。 - 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、Ｓｎの含量が前記コアより多い、請求項１に記載の積層型キャパシター。
- 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、Ｔｉの一部がＳｎに置換された、請求項１又は２に記載の積層型キャパシター。
- 前記サイドマージン部の誘電体層に含まれたＳｎの含量は、前記アクティブ部の誘電体層に含まれたＳｎの含量より多い、請求項１から３のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、前記コアの表面の３０％以上をカバーする、請求項１から４のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記サイドマージン部の誘電体層における前記コア－シェル構造におけるシェル部がコア表面の３０％以上をカバーするグレインは、全体グレインに対して１０％以上である、請求項１から５のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記サイドマージン部の誘電体層は、チタン酸バリウム１００モルに対してＳｎを０．１から１０モル含有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記サイドマージン部の誘電体層は、前記アクティブ部の誘電体層より平均グレインサイズが小さい、請求項１から７のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記カバー部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含み、前記コア－シェル構造におけるシェル部は、Ｓｎの含量が前記コアより多い、請求項１から８のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 複数の誘電体層、及び前記複数の誘電体層を挟んで第１方向に積層された複数の内部電極を含む本体と、
前記本体の外部に形成され、前記複数の内部電極と接続された外部電極と、を含み、
前記本体は、前記複数の内部電極が位置して静電容量を形成するアクティブ部、前記アクティブ部の第２方向に対向する第１面及び第２面をカバーするサイドマージン部、及び前記第１方向に前記アクティブ部をカバーするカバー部を含み、
前記複数の誘電体層はチタン酸バリウム系組成物を含み、
前記カバー部の誘電体層は、Ｓｎ成分を含み、前記アクティブ部の誘電体層とはＳｎ含量が互いに異なり、
前記カバー部の誘電体層は、コア－シェル構造を有するグレインを少なくとも一部含む、積層型キャパシター。 - 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、Ｓｎの含量が前記コアより多い、請求項１０に記載の積層型キャパシター。
- 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、Ｔｉの一部がＳｎに置換された、請求項１０又は１１に記載の積層型キャパシター。
- 前記カバー部の誘電体層に含まれたＳｎの含量は、前記アクティブ部の誘電体層に含まれたＳｎの含量より多い、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記コア－シェル構造におけるシェル部は、前記コアの表面３０％以上をカバーする、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記カバー部の誘電体層における前記コア－シェル構造におけるシェル部が前記コアの表面の３０％以上をカバーするグレインは、全体グレインに対して１０％以上である、請求項１０から１４のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記カバー部の誘電体層は、チタン酸バリウム１００モルに対してＳｎを０．１から１０モル含有する、請求項１０から１５のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
- 前記カバー部の誘電体層は、前記アクティブ部の誘電体層より平均グレインサイズが小さい、請求項１０から１６のいずれか一項に記載の積層型キャパシター。
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