JP2022054617A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエータにおいて圧電層にクラックを発生しにくくする。【解決手段】圧電アクチュエータ２２のＹ方向の一方側の端部には、アクチュエータ表面Ｋ３に配置された第１、第２表面電極５４ａ，５５ａ、第２境界面Ｋ２に配置された接続部５２４及び接続電極５６Ｂの部分５６２、並びに、第１境界面Ｋ１に配置された接続電極５７Ａの部分５７２及び接続部５３５が配置されている。さらに、アクチュエータ表面Ｋ３、第２境界面Ｋ２及び第１境界面Ｋ１に、Ｙ方向における一方側の端部に、それぞれ、複数の非導通電極６３ａ、複数の非導通電極６４ａ及び複数の非導通電極６６ａが配置されている。これにより、圧電アクチュエータのＹ方向における一方側の端部の、Ｘ方向において複数の個別電極が配置される範囲内に位置する部分には、Ｙ方向の位置によらず少なくとも１つの電極が配置される。【選択図】図１０

Description

本発明は、圧電アクチュエータに関する。

圧電アクチュエータの一例として、特許文献１には、インクジェットヘッドにおいて圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータが記載されている。特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、３つの圧電層が積層されることによって圧電体が形成されている。また、上側の圧電層の上面に、複数の圧力室に個別の複数の個別電極が配置されている。また、下側の圧電層と中央の圧電層との間の面に、複数の個別電極に共通の第１共通電極が配置されている。また、中央の圧電層と上側の圧電層との間の面に、複数の個別電極に共通の第２共通電極が配置されている。また、第１共通電極は、中央の圧電層及び上側の圧電層に形成されたスルーホールを介して、上側の圧電層の上面の、走査方向の端部に配置された第１接続電極に接続されている。また、第２共通電極は、上側の圧電層に形成されたスルーホールを介して、上側の圧電層の上面の、走査方向の端部に配置された第２接続電極に接続されている。

特開2014-189017号公報

ここで、特許文献１の圧電アクチュエータでは、圧電体の走査方向の端部の、搬送方向における第１接続電極と第２接続電極との間の部分に電極が存在しておらず、圧電体のこの部分は、圧電体の第１接続電極及び第２接続電極と重なる部分よりも剛性が低い。そのため、圧電体のこの部分においては、圧電アクチュエータを流路部材に接合するために圧電アクチュエータを押圧したときに圧電層にクラックが発生しやすい。

本発明の目的は、圧電層にクラックが発生しにくい圧電アクチュエータを提供することである。

本発明の圧電アクチュエータは、少なくとも第１方向における一方側の面において絶縁性を有する振動板と、前記振動板の、前記第１方向における前記一方側の面に配置された第１圧電層と、前記第１圧電層の、前記第１方向における前記一方側の面に配置された第２圧電層と、前記第２圧電層の、前記第１方向における前記一方側の面であるアクチュエータ表面に配置された複数の個別電極と、前記振動板と前記第１圧電層との間の面である第１境界面に配置された、前記複数の個別電極に対して共通の第１共通電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の面である第２境界面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第２共通電極と、前記アクチュエータ表面の、前記第１方向と直交する第２方向における端部に配置され、前記第１共通電極と導通する第１表面電極と、前記アクチュエータ表面の、前記第２方向における端部に配置され、前記第２共通電極と導通する第２表面電極と、前記アクチュエータ表面、前記第１境界面及び前記第２境界面のうち少なくとも２つの面の、前記第２方向における端部に配置され、前記複数の個別電極、前記第１共通電極、及び、前記第２共通電極のいずれとも導通していない複数の非導通電極と、を備え、前記非導通電極が、前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層の積層体の、前記第２方向における端部のうち、少なくとも、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向において、前記複数の個別電極が配置されている範囲内に位置し、且つ、他の電極が配置されていない部分に配置されている。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。 図１のヘッド３の平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 アクチュエータ表面Ｋ０を示す平面図である。 第１圧電層４２の上面を示す平面図である。 振動板４１の上面を示す平面図である。 （ａ）は圧電アクチュエータ２２のＹ方向における一方側の端部における、Ｚ方向に投影したときの電極の位置関係を説明するための図であり、（ｂ）は圧電アクチュエータ２２のＹ方向における他方側の端部における、Ｚ方向に投影したときの電極の位置関係を説明するための図である。 （ａ）は、図６、図７、図８のＸＡ－ＸＡ線断面図であり、（ｂ）は、図６、図７、図８のＸＢ－ＸＢ線断面図である。 （ａ）は、個別電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されているときの図５の断面におけるアクチュエータ部９０の状態を示す図であり、（ｂ）は、個別電極５１に高電位（ＶＤＤ電位）が付与されているときの図５の断面におけるアクチュエータ部９０の状態を示す図である。 （ａ）は、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１００の、図９（ａ）に対応する図であり、（ｂ）は、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１００の、図９（ｂ）に対応する図である。 ａ）は、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１００の、図１０（ａ）に対応する図であり、（ｂ）は、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１００の、図１０（ｂ）に対応する図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。以下の説明において、Ｘ方向及びＹ方向は、Ｚ方向と直交し、Ｘ方向とＹ方向とは直交する。例えば、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。なお、Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｙ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第３方向」に該当する。また、Ｚ方向における上側が本発明の「第１方向の一方側」に該当し、Ｚ方向における下側が本発明の「第１方向の他方側」に該当する。

＜プリンタ１の全体構成＞
図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２と、ヘッド３と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式のものであって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッド３の構成＞
図２に示すように、ヘッド３は、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。

＜流路ユニット２１＞
図２～図４に示すように、流路ユニット２１は、Ｚ方向に投影した形状が矩形であり、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１～３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端部及び他端部とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている。各インク供給口８は、チューブ（図示略）などを介してインクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。

＜圧電アクチュエータ２２＞
図２～図５に示すように、圧電アクチュエータ２２は、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、それぞれＺ方向を厚み方向としてＺ方向に積層された振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３と、複数の個別電極５１と、高電位電極５２（本発明の「第２共通電極」）と、低電位電極５３（本発明の「第１共通電極」）とを有する。

振動板４１は、流路ユニット２１（プレート３１）の上面に配置されている。第１圧電層４２は、振動板４１の上面に配置されている。第２圧電層４３は、第１圧電層４２の上面に配置されている。

振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、チタン酸とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。ただし、振動板４１は、圧電材料以外の絶縁材料からなるものであってもよい。あるいは、振動板４１は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、合成樹脂材料等からなり、流路ユニット２１の上面に配置されたインク分離層と、圧電材料等の絶縁材料からなり、インク分離層の上面に配置された絶縁層と、によって形成されていてもよい。すなわち、振動板４１は、少なくともその上面を形成する部分が絶縁性を有していればよい。

振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、厚み（Ｚ方向の長さ）が例えば５μｍ程度であり同じである。また、圧電アクチュエータ２２では、後述するように、振動板４１と第１圧電層４２との間の面である第１境界面Ｋ１、第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面である第２境界面Ｋ２、及び、第２圧電層４３の上面であるアクチュエータ表面Ｋ３に電極が配置されているのに対して、振動板４１の下面には電極が配置されていない。すなわち、圧電アクチュエータ２２では、電極が上側に偏って配置されている。これらのことから、圧電アクチュエータ２２の中立面Ｃ１が、第１圧電層４２のＺ方向における中央部よりも若干上方に位置している。ここで、中立面Ｃ１とは、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３と後述する電極との積層体の厚み方向の中心の位置である。これにより、第２境界面Ｋ２は、第１境界面Ｋ１よりも中立面Ｃ１から近い。

また、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、Ｙ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短い。例えば、Ｌｙが３０～３５ｍｍ程度であり、Ｌｘが３５～４０ｍｍ程度である。これにより、圧電アクチュエータ２２は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも短い。

図３に示すように、複数の個別電極５１は、アクチュエータ表面Ｋ３に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各個別電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各個別電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

図６に示すように、複数の個別電極５１は、アクチュエータ表面Ｋ３の、Ｘ方向における両端部及びＹ方向の両端部を除く領域において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方側（図６の上側）及び他方側（図６の下側）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する個別電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該個別電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、個別電極５１の厚みには影響が出ず、個別電極５１を適切に形成できる。また、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある個別電極５１とＸ方向の端部にある個別電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

アクチュエータ表面Ｋ３には、個別電極５１及びダミー電極５９に加え、第１表面電極５４ａ、５４ｂ、第２表面電極５５ａ、５５ｂ、及び、複数の非導通電極６３ａ，６３ｂ、（本発明の「第１非導通電極」）が配置されている。

図６、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第１表面電極５４ａは、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向における一端部（図６の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図６の左下端部）に配置されている。図６、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように第１表面電極５４ｂは、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向における他端部（図６の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図６の右上端部）に配置されている。第１表面電極５４ａ、５４ｂは、Ｘ方向に延びている。

図６、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第２表面電極５５ａは、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向における一端部（図６の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図６の左上端部）に配置されている。図６、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように第２表面電極５５ｂは、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向における他端部（図６の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図６の右下端部）に配置されている。第２表面電極５５ａ、５５ｂは、Ｘ方向に延びている。

また、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。

図６、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、複数の非導通電極６３ａは、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。これにより、Ｘ方向において、第１表面電極５４ａと最も他方側（図６の下側）の非導通電極６３ａとの間、第２表面電極５５ａと最も一方側（図６の上側）の非導通電極６３ａとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６３ａの間には、それぞれ、隙間７１ａ（本発明の「第１隙間」）が形成されている。

図６、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、複数の非導通電極６３ｂは、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。これにより、Ｘ方向において、第１表面電極５４ｂと最も一方側（図６の上側）の非導通電極６３ｂとの間、第２表面電極５５ｂと最も他方側（図６の下側）の非導通電極６３ｂとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６３ｂの間には、それぞれ、隙間７１ｂ（本発明の「第１隙間」）が形成されている。

また、各非導通電極６３ａは、Ｘ方向に並ぶ２つの電極部分６３ａ１に分割されている。また、各非導通電極６３ｂは、Ｘ方向に並ぶ２つの電極部分６３ｂ１に分割されている。電極部分６３ａ１，６３ｂ１のＺ方向に投影した形状は、Ｙ方向を長手方向とする長方形である。また、電極部分６３ａ１，６３ｂ１のＹ方向の長さは、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａのＹ方向の長さとほぼ同じである。そして、電極部分６３ａ１は、Ｙ方向において、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａが配置されているのと同じ範囲に配置されている。また、電極部分６３ｂ１は、Ｙ方向において、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂが配置されているのと同じ範囲に配置されている。

また、Ｘ方向において、各非導通電極６３ａにおける２つの電極部分６３ａ１の間の隙間７０ａのＸ方向の長さは、隙間７１ａのＸ方向の長さよりも短い。また、各非導通電極６３ｂにおける２つの電極部分６３ｂ１の間の隙間７０ｂのＸ方向の長さは、隙間７１ｂのＸ方向の長さよりも短い。

ここで、非導通電極６３ａ，６３ｂを、それぞれ、２つの電極部分６３ａ１及び２つの電極部分６３ｂ１に分割されたものとしているのは、圧電アクチュエータ２２の製造時の加熱の際に、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りを生じにくくするためである。ただし、各非導通電極６３ａ，６３ｂは、それぞれ、上記とは異なり分割されていない１つの電極であってもよい。

第１表面電極５４ａ，５４ｂ及び第２表面電極５５ａ，５５ｂは、ＣＯＦ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して、第１表面電極５４ａ，５４ｂに低電位（ＧＮＤ電位）を付与し、かつ、第２表面電極５５ａ，５５ｂに高電位（ＶＤＤ電位）を付与する。一方、非導通電極６３ａ，６３ｂは、ＣＯＦと電気的に接続されていない。また、非導通電極６３ａ，６３ｂは、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

図４、図５に示すように、高電位電極５２は第２境界面Ｋ２に配置されている。

また、図７、図９（ａ）、（ｂ）、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、高電位電極５２は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１，５２２と、各幹部５２１，５２２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、第２表面電極５５ａ，５５ｂとＺ方向に重なる接続部５２４，５２５とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。各幹部５２１，５２２は、複数の枝部５２３を連結している。

第２境界面Ｋ２の、Ｘ方向における一端部（図７の上端部）の、Ｙ方向における一方側（図７の左側）の部分に、幹部５２１が配置され、第２境界面Ｋ２の、Ｘ方向における他端部（図７の下端部）の、Ｙ方向における他方側（図７の右側）の部分に、幹部５２２が配置されている。幹部５２１，５２２は、Ｙ方向に延びている。

幹部５２１から、３つの枝部５２３が、第２境界面Ｋ２のＸ方向の一端（図７の上端）から他端（図７の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２２から、４つの枝部５２３が、第２境界面Ｋ２のＸ方向の他端（図７の下端）から一端（図７の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。各幹部５２１，５２２から分岐した枝部５２３が、Ｙ方向に並んでいる。

接続部５２４は、図７、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第２境界面Ｋ２のＹ方向の一端部（図７の左端部）においてＸ方向に延び、第２表面電極５５ａ、Ｘ方向において最も一方側の非導通電極６３ａのＸ方向における一方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７１ａと、Ｚ方向に重なっている。また、接続部５２４は、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続部５２４は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも外側まで延びている。また、接続部５２４は、幹部５２１におけるＹ方向の一端（図７の左端）に接続し、かつ、幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の一方側（図７の左側）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２５は、図７、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、第１圧電層４２のＹ方向の他端部（図７の右端部）においてＸ方向に延び、第２表面電極５５ｂ、Ｘ方向において最も他方側の非導通電極６３ｂのＸ方向における他方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７１ｂと、Ｚ方向に重なっている。また、接続部５２５は、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続部５２５は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも外側まで延びている。また、接続部５２５は、幹部５２２におけるＹ方向の他端（図７の右端）に接続し、かつ、幹部５２２から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の他方側（図７の右側）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２４，５２５は、それぞれ、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｘを介して、第２表面電極５５ａ，５５ｂと導通している。

第２境界面Ｋ２には、高電位電極５２に加え、接続電極５６Ａ，５６Ｂ、複数の非導通電極６４ａ，６４ｂ（本発明の「第３非導通電極」）、及び、複数の非導通電極６５が配置されている。

図７に示すように、接続電極５６Ａ，５６Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５６１と、Ｘ方向に延びる部分５６２とを有する。接続電極５６Ａは、第２境界面Ｋ２の、Ｘ方向の一方側（図７の上側）かつＹ方向の他方側（図７の右側）の角部に配置されている。接続電極５６Ｂは、第２境界面Ｋ２の、Ｘ方向の他方側（図７の下側）かつＹ方向の一方側（図７の左側）の角部に配置されている。

図７、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、接続電極５６Ａの部分５６２は、第１表面電極５４ｂ、Ｘ方向において最も一方側の非導通電極６３ｂのＸ方向における他方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７１ｂと、Ｚ方向に重なっている。また、接続電極５６Ａの部分５６２は、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続電極５６Ａの部分５６２は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも外側まで延びている。また、接続電極５６Ａの部分５６２は、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第１表面電極５４ｂと導通している。

図７、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、接続電極５６Ｂの部分５６２は、第１表面電極５４ａ、Ｘ方向において最も他方側の非導通電極６３ａのＸ方向における一方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７１ａと、Ｚ方向に重なっている。また、接続電極５６Ｂの部分５６２は、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続電極５６Ｂの部分５６２は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも外側まで延びている。また、接続電極５６Ｂの部分５６２は、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第１表面電極５４ａと導通している。

接続電極５６Ａの部分５６１は、図７の右から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の右側の３つの列とＸ方向に重なっている。接続電極５６Ｂの部分５６１は、図７の左から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の左側の３つの列とＸ方向に重なっている。

図７、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、複数の非導通電極６４ａは、接続部５２４と、接続電極５６Ｂの部分５６２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。また、各非導通電極６４ａは、Ｘ方向において、隣接する２つの非導通電極６３ａにわたって延びている。そして、各非導通電極６４ａは、これら２つの非導通電極６３ａのうち、Ｘ方向における一方側の非導通電極６３ａの他方側の端部、及び、Ｘ方向における他方側の非導通電極６３ａの一方側の端部、並びに、これら２つの非導通電極６３ａの間の隙間７１ａとＺ方向に重なっている。

また、複数の非導通電極６４ａがこのように配置されていることにより、接続部５２４とＸ方向における最も一方側の非導通電極６４ａとの間、接続電極５６Ｂの部分５６２とＸ方向における最も他方側の非導通電極６４ａとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６４ａとの間に、それぞれ、非導通電極６３ａのＸ方向における中央部とＺ方向に重なる隙間７２ａが形成されている。

また、非導通電極６４ａのＸ方向の長さＬ２ａｘは、非導通電極６３ａのＸ方向の長さ（Ｘ方向における、一方側の電極部分６３ａ１の一方側の端と、他方側の電極部分６３ａ１の他方側の端との間の長さ）Ｌ１ａｘよりも長い。また、非導通電極６４ａのＹ方向の長さＬ２ａｙは、非導通電極６３ａのＹ方向の長さＬ１ａｙよりも長く、非導通電極６４ａは、Ｙ方向の両側に非導通電極６３ａよりも外側まで延びている。これにより、非導通電極６４ａの面積が、非導通電極６３ａの面積よりも大きい。

図７、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、複数の非導通電極６４ｂは、接続部５２５と、接続電極５６Ａの部分５６２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。また、各非導通電極６４ｂは、Ｘ方向において、隣接する２つの非導通電極６３ｂにわたって延びている。そして、各非導通電極６４ｂは、これら２つの非導通電極６３ｂのうち、Ｘ方向における一方側の非導通電極６３ｂの他方側の端部、及び、Ｘ方向における他方側の非導通電極６３ｂの一方側の端部、並びに、これら２つの非導通電極６３ｂの間の隙間７１ｂと、Ｚ方向に重なっている。

そして、複数の非導通電極６４ｂがこのように配置されていることにより、接続部５２５とＸ方向における最も他方側の非導通電極６４ｂとの間、接続電極５６Ａの部分５６２とＸ方向における最も一方側の非導通電極６４ｂとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６４ｂとの間に、それぞれ、非導通電極６３ｂのＸ方向の中央部とＺ方向に重なる隙間７２ｂが形成されている。

また、非導通電極６４ｂのＸ方向の長さＬ２ｂｘは、非導通電極６３ｂのＸ方向の長さ（Ｘ方向における、一方側の電極部分６３ｂ１の一方側の端と、他方側の電極部分６３ｂ１の他方側の端との間の長さ）Ｌ１ｂｘよりも長い。また、非導通電極６４ｂのＹ方向の長さＬ２ｂｙは、非導通電極６３ｂのＹ方向の長さＬ１ｂｙよりも長く、非導通電極６４ｂは、Ｙ方向の両側に非導通電極６３ｂよりも外側まで延びている。これにより、非導通電極６４ｂの面積が、非導通電極６３ｂの面積よりも大きい。

複数の非導通電極６５は、接続電極５６Ａの部分５６１と幹部５２１との間、及び、接続電極５６Ｂの部分５６１と幹部５２２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。

非導通電極６４ａ，６４ｂ，６５は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

低電位電極５３は、図４、図５に示すように、第１境界面Ｋ１に配置されている。

図８、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、低電位電極５３は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１，５３２と、各幹部５３１，５３２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、第１表面電極５４ａ，５４ｂ（図６参照）とそれぞれＺ方向に重なる接続部５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１，５３２は、複数の枝部５３３を連結している。

第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向における一端部（図８の上端部）の、Ｙ方向における他方側（図８の右側）の部分に、幹部５３１が配置され、第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向における他端部（図８の下端部）の、Ｙ方向における一方側（図８の右側）の部分に、幹部５３２が配置されている。幹部５３１，５３２は、Ｙ方向に延びている。

幹部５３１から、４つの枝部５３３が、第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向の一端（図８の上端）から他端（図８の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３２から、３つの枝部５３３が、第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向の他端（図８の下端）から一端（図８の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。

各幹部５３１，５３２から分岐した枝部５３３が、Ｙ方向に並んでいる。ここで、幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図８の左側）に位置する枝部５３３Ｘは、幹部５３２に接続している。換言すると、幹部５３１から分岐した４つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図８の左側）に位置する枝部５３３Ｘと、幹部５３２から分岐した３つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の他方側（図８の右側）に位置する枝部５３３Ｘとは、同じである。当該枝部５３３Ｘは、Ｘ方向の一端が幹部５３１に接続し、Ｘ方向の他端が幹部５３２に接続している。

接続部５３４は、第１境界面Ｋ１の、Ｙ方向の他端部（図８の右端部）においてＸ方向に延びている。接続部５３４は、幹部５３１におけるＹ方向の他端（図８の右端）に接続している。

また、図８、図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、接続部５３４は、接続電極５６Ａの部分５６２とＺ方向に重なっている。また、接続部５３４は、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続部５３４は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも外側まで延びている。また、接続部５３４は、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙを介して、接続電極５６Ａの部分５６２と導通している。

図８に示すように、接続部５３５は、第１境界面Ｋ１の、Ｙ方向の一端部（図８の左端部）において、Ｘ方向に延びている。接続部５３５は、幹部５３２におけるＹ方向の一端（図８の左端）に接続している。

また、図８、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、接続部５３５は、接続電極５６Ｂの部分５６２とＺ方向に重なっている。また、接続部５３５は、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも、Ｙ方向の長さが長い。そして、接続部５３５は、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも外側まで延びている。また、接続部５３５は、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙを介して、接続電極５６Ｂの部分５６２と導通している。

第１境界面Ｋ１には、低電位電極５３に加え、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び複数の非導通電極６６ａ，６６ｂ（本発明の「第２非導通電極」）が配置されている。

接続電極５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５７１と、Ｘ方向に延びる部分５７２とを有する。接続電極５７Ａは、第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向の一方側（図９の上側）かつＹ方向の一方側（図９の左側）の角部に配置されている。接続電極５７Ｂは、第１境界面Ｋ１の、Ｘ方向の他方側（図９の下側）かつＹ方向の他方側（図９の右側）の角部に配置されている。

図９（ａ）、図１０（ａ）に示すように、接続電極５７Ａの部分５７２は、接続部５２４、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６４ａの一方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７２ａと、Ｚ方向に重なっている。また、接続電極５７Ａの部分５７２は、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりもＹ方向の長さが長く、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも外側まで延びている。また、接続電極５７Ａの部分５７２は、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘを介して、接続部５２４と導通している。

接続電極５７Ａの部分５７１は、図８の左から１つ目及び２つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の左側の５つの列とＸ方向に重なっている。また、接続電極５７Ａの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２１（図７参照）とＺ方向に重なっている。

図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、接続電極５７Ｂの部分５７２は、接続部５２５、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６４ｂの他方側の端部、及び、これらの電極の間の隙間７２ｂと、Ｚ方向に重なっている。また、接続電極５７Ｂの部分５７２は、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりもＹ方向の長さが長く、Ｙ方向の両側に、第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも外側まで延びている。また、接続電極５７Ｂの部分５７２は、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘを介して、接続部５２５と導通している。

接続電極５７Ｂの部分５７１は、図８の右から１つ目～３つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の右側の７つの列とＸ方向に重なっている。また、接続電極５７Ｂの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２２（図７参照）とＺ方向に重なっている。

複数の非導通電極６６ａは、接続部５３５と、接続電極５７Ａの部分５７２との間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。また、複数の非導通電極６６ａのうち、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６６ａ以外の非導通電極６６ａは、Ｘ方向において、隣接する２つの非導通電極６４ａにわたって延びている。そして、これらの非導通電極６６ａは、これら２つの非導通電極６４ａのうち、一方側の非導通電極６４ａの他方側の端部、及び、他方側の非導通電極６４ａの一方側の端部、並びに、これら２つの非導通電極６４ａの間の隙間７２ａとＺ方向に重なっている。

また、複数の非導通電極６６ａのうち、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６６ａは、Ｘ方向において、接続電極５６Ｂの部分５６２、及び、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６４ａにわたって延びている。そして、この非導通電極６６ａは、接続電極５６Ｂの部分５６２のＸ方向における一方側の端部、上記非導通電極６４ａのＸ方向における他方側の端部、及び、これらの間の隙間７２ａとＺ方向に重なっている。

そして、複数の非導通電極６６ａがこのように配置されていることにより、接続電極５７Ａの部分５７２とＸ方向における最も一方側の非導通電極６６ａとの間、接続部５３５とＸ方向における最も他方側の非導通電極６６ａとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６６ａとの間に、それぞれ、隙間７１ａとＺ方向に重なる隙間７３ａ（本発明の「第２隙間」）が形成されている。また、これにより、上述の非導通電極６４ａは、隙間７１ａに加えて隙間７３ａともＺ方向に重なっている。

また、非導通電極６６ａのＸ方向の長さＬ３ａｘは、非導通電極６４ａのＸ方向の長Ｌ２ａｘよりも長い。また、非導通電極６６ａのＹ方向の長さＬ３ａｙは、非導通電極６４ａのＹ方向の長さＬ２ａｙよりも長く、非導通電極６６ａは、Ｙ方向の両側に非導通電極６４ａよりも外側まで延びている。これにより、非導通電極６６ａの面積が、非導通電極６４ａの面積よりも大きい。

複数の非導通電極６６ｂは、接続部５３４と接続電極５７Ｂの部分５７２との間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。また、複数の非導通電極６６ｂのうち、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６６ｂ以外の非導通電極６６ｂは、Ｘ方向において、隣接する２つの非導通電極６４ｂにわたって延びている。そして、これらの非導通電極６６ｂは、これら２つの非導通電極６４ｂのうち、一方側の非導通電極６４ｂの他方側の端部、及び、他方側の非導通電極６４ｂの一方側の端部、並びに、これら２つの非導通電極６４ｂの間の隙間７２ｂとＺ方向に重なっている。

また、複数の非導通電極６６ｂのうち、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６６ｂは、Ｘ方向において、接続電極５６Ａの部分５６２、及び、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６４ｂにわたって延びている。そして、この非導通電極６６ｂは、接続電極５６Ａの部分５６２のＸ方向における他方側の端部、上記非導通電極６４ｂのＸ方向における一方側の端部、及び、これらの間の隙間７２ｂとＺ方向に重なっている。

そして、複数の非導通電極６６ｂがこのように配置されていることにより、接続電極５７Ｂの部分５７２とＸ方向における最も一方側の非導通電極６６ｂとの間、接続部５３５とＸ方向における最も他方側の非導通電極６６ｂとの間、及び、隣接する２つの非導通電極６６ｂとの間に、それぞれ、隙間７２ｂとＺ方向に重なる隙間７３ｂ（本発明の「第２隙間」）が形成されている。また、これにより、上述の非導通電極６４ｂは、隙間７１ｂに加えて隙間７３ｂともＺ方向に重なっている。

また、非導通電極６６ｂのＸ方向の長さＬ３ｂｘは、非導通電極６４ｂのＸ方向の長Ｌ２ｂｘよりも長い。また、非導通電極６６ｂのＹ方向の長さＬ３ｂｙは、非導通電極６４ｂのＹ方向さＬ２ｂｙよりも長く、非導通電極６６ｂは、Ｙ方向の両側に非導通電極６４ｂよりも外側まで延びている。これにより、非導通電極６６ｂの面積が、非導通電極６４ｂの面積よりも大きい。

また、非導通電極６６ａ，６６ｂは、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

また、アクチュエータ表面Ｋ３の端部に配置された、第１表面電極５４ａ，５４ｂ、第２表面電極５５ａ，５５ｂ、及び、非導通電極６３ａ，６３ｂは、いずれもアクチュエータ表面Ｋ３の縁（第２圧電層４３の縁）までは延びていない。また、第２境界面Ｋ２の端部に配置された、高電位電極５２の幹部５２１，５２２、接続部５２４，５２５、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１，５６２、及び、非導通電極６４ａ，６４ｂは、いずれも第２境界面Ｋ２の縁（第１圧電層４２及び第２圧電層４３の縁）までは延びていない。また、第１境界面Ｋ１の端部に配置された、低電位電極５３の幹部５３１，５３２、接続部５３４，５３５、接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１，５７２、及び、非導通電極６６ａ，６６ｂは、いずれも第１境界面Ｋ１の縁（振動板４１及び第１圧電層４２の縁）までは延びていない。

また、第１境界面Ｋ１、第２境界面Ｋ２及びアクチュエータ表面Ｋ３に配置された上述の各電極の厚みは、例えば０．５～１．５μｍ程度である。

そして、第１実施形態では、圧電アクチュエータ２２において、各電極が上述したような位置関係で配置されていることにより、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の積層体のＹ方向における一方側の端部の、Ｙ方向において第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａが配置された範囲で、且つ、Ｘ方向において少なくとも複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置する部分に、Ｘ方向の位置によらず、第１表面電極５４ａ、第２表面電極５５ａ、複数の非導通電極６３ａ、接続部５２４、接続電極５６Ｂの部分５６２、複数の非導通電極６４ａ、接続部５３５、接続電極５７Ａの部分５７２、及び、複数の非導通電極６６ａのうち、少なくとも１つの電極が配置されている。

また、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の積層体のＹ方向における他方側の端部の、Ｙ方向において第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂが配置された範囲で、且つ、Ｘ方向において少なくとも複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置する部分に、Ｘ方向の位置によらず、第１表面電極５４ｂ、第２表面電極５５ｂ、複数の非導通電極６３ｂ、接続部５２５、接続電極５６Ａの部分５６２、複数の非導通電極６４ｂ、接続部５３４、接続電極５７Ｂの部分５７２、及び、複数の非導通電極６６ｂのうち、少なくとも１つの電極が配置されている。

＜アクチュエータ部＞
圧電アクチュエータ２２では、図５に示すように、第２圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分が、主に上向きに分極された第１活性部９１となっている。また、第１圧電層４２及び第２圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分が、主に下向きに分極された第２活性部９２となっている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

ヘッド３においてノズル１５からのインクの吐出が行われる前には、図１１（ａ）に示すように、各個別電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、第１圧電層４２及び第２圧電層４３がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図１１（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が、低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り換えられる。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、個別電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制するためのものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図１１（ａ）の状態に比べて大きくなる。

その後、図１１（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り換えられる。すると、上述したのと同様に、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

＜効果＞
ここで、圧電アクチュエータ２２は、例えば、スクリーン印刷によって表面に電極を形成した、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３となる圧電材料のシートを積層させて形成した積層体を焼成することによって製造することができる。

上記積層体の焼成時の加熱の際に、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３を構成する圧電材料と、電極を構成する金属材料との線膨張係数の差により、圧電アクチュエータ２２に反りが発生することがある。

このとき、圧電アクチュエータ２２の中央部は、その周囲の全周に圧電アクチュエータ２２の他の部分が存在するため、当該他の部分によって反りが抑えられる。これに対して、圧電アクチュエータ２２の端部は、これよりも外側に圧電アクチュエータ２２の他の部分が存在しないため、当該他の部分によって反りが抑えられにくい。また、圧電アクチュエータの焼成時には、圧電アクチュエータ２２の中央部と端部とに雰囲気（温度等）に違いが生じる。これらのことから、圧電アクチュエータ２２の端部において、圧電アクチュエータ２２の中央部よりも反りが発生しやすい。また、第１実施形態では、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、Ｙ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短い。そのため、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部には、特に反りが生じやすい。

Ｙ方向の端部の反りが大きい圧電アクチュエータ２２を用いてヘッド３を製造してしまうと、圧電アクチュエータ２２を流路ユニット２１に接合するときや、圧電アクチュエータ２２にＣＯＦを接合する際に圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に加えられる力によって振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックが発生してしまう虞がある。また、製造されたヘッド３において、Ｙ方向の中央部と端部とで、ノズル１５からのインクの吐出特性が異なってしまう虞がある。

そこで、第１実施形態では、上述したように、アクチュエータ表面Ｋ３、第２境界面Ｋ２及び第１境界面Ｋ１に、それぞれ、複数の非導通電極６３ａ，６３ｂ、複数の非導通電極６４ａ，６４ｂ、及び複数の非導通電極６６ａ，６６ｂを配置している。これにより、図９（ａ）、（ｂ）、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、非導通電極６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ，６６ａ，６６ｂのいずれかが、圧電アクチュエータ２２（振動板４１及び第１、第２圧電層４２，４３の積層体）のＹ方向における一方側及び他方側の端部のうち、少なくとも、Ｘ方向において、複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置し、且つ、他の電極が配置されていない部分に配置される。その結果、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における一方側及び他方側の端部の、Ｘ方向において少なくとも複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置する部分においては、Ｘ方向の位置によらず、非導通電極６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ，６６ａ，６６ｂ、第１表面電極５４ａ，５４ｂ、第２表面電極５５ａ，５５ｂ、接続部５２４，５２５，５３４，５３５及び部分５６２，５７２のうち、いずれか電極が配置されている。これにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部の剛性を確保して、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックを発生しにくくすることができる。

また、第１実施形態では、図６～図８に示すように、非導通電極６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ，６６ａ，６６ｂが、高電位電極５２及び低電位電極５３の、各非導通電極６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ，６６ａ，６６ｂとＸ方向の位置が同じである部分よりも、Ｙ方向の外側に位置している。これにより、圧電アクチュエータ２２の、Ｙ方向において高電位電極５２及び低電位電極５３の各部分よりも外側の部分の剛性を確保することができる。

また、第１実施形態では、図６～図８に示すように、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａのＹ方向の位置が同じであり、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとがＸ方向に間隔をあけて配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂのＹ方向の位置が同じであり、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとがＸ方向に間隔をあけて配置されている。これに対して、Ｘ方向における第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に非導通電極６３ａ，６４ａ，６６ａが配置され、Ｘ方向における第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に非導通電極６３ｂ，６４ｂ，６６ｂが配置されている。これにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部の、Ｙ方向において第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間の部分、及び、Ｙ方向において第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間の部分の剛性を確保することができる。

また、第１実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３及び第２境界面Ｋ２が中立面Ｃ１よりも上方に位置する。そのため、上記積層体の焼成時に、上記積層体は、非導通電極６３ａ，６３ｂが配置された部分、及び、非導通電極６４ａ，６４ｂが配置された部分において、下側に凸となるように反ろうとする。

また、このとき、アクチュエータ表面Ｋ３が中立面Ｃ１から遠いため、圧電アクチュエータ２２の、Ｘ方向において非導通電極６３ａ，６３ｂの中央部が位置する部分が大きく反ろうとする。一方で、第２境界面Ｋ２が中立面Ｃ１に近いため、圧電アクチュエータ２２の、Ｘ方向において非導通電極６４ａ，６４ｂの中央部が位置する部分は、それほど大きく反ろうとはしない。

第１実施形態では、非導通電極６４ａ，６４ｂを、それぞれ、非導通電極６３ａ，６３ｂの間の隙間７１ａとＺ方向に重なるように配置している。これにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部では、大きく反った部分（非導通電極６３ａ，６３ｂの中央部が位置する部分）と、それほど大きく反っていない部分（非導通電極６４ａ，６４ｂの中央部が位置する部分）とが交互に並ぶことになる。この場合、大きく反る部分がＸ方向に連続して並ぶ場合と比較して、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３を押圧して平坦にしやすく、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックを発生しにくくすることができる。

また、第１実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３が、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２よりも中立面Ｃ１から遠い。そのため、アクチュエータ表面Ｋ３に配置される非導通電極６３ａ，６３ｂは、第２境界面Ｋ２に配置される非導通電極６４ａ，６４ｂ、及び、第１境界面Ｋ１に配置される非導通電極６６ａ，６６ｂよりも、圧電アクチュエータ２２の反りに影響を与えやすい。そこで、第１実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３に配置される非導通電極６３ａの面積を、第２境界面Ｋ２に配置される非導通電極６４ａ及び第１境界面Ｋ１に配置される非導通電極６６ａの面積よりも小さくする。また、アクチュエータ表面Ｋ３に配置される非導通電極６３ｂの面積を、第２境界面Ｋ２に配置される非導通電極６４ｂ及び第１境界面Ｋ１に配置される非導通電極６６ｂの面積よりも小さくする。これにより、非導通電極６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ，６６ａ,６６ｂによる上記積層体の焼成時の、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の反りに影響を小さくすることができる。

また、第１実施形態では、上記の通り、アクチュエータ表面Ｋ３、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２のうち、アクチュエータ表面Ｋ３が中立面Ｃ１から最も遠い。また、Ｚ方向において、アクチュエータ表面Ｋ３、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２のうち、アクチュエータ表面Ｋ３が最も一方側に位置し、第１境界面Ｋ１が最も他方側に位置する。したがって、アクチュエータ表面Ｋ３に非導通電極６３ａ，６３ｂが配置されているのに対して、第１境界面Ｋ１に配置される非導通電極６６ａ，６６ｂの面積を大きくすることにより、アクチュエータ表面Ｋ３に配置された非導通電極６３ａ，６３ｂによる、上記積層体の焼成時の振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の反りの影響を極力抑えることができる。

また、第１実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２の端部に配置された各電極が、自身が配置された面の縁までは延びていない。これにより、アクチュエータ表面Ｋ３、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２の端部に配置された各電極が、圧電アクチュエータ２２のＸ方向及びＹ方向の端面を介して、圧電アクチュエータ２２の別の面に配置された電極や、流路ユニット２１等と導通してしまうのを防止することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について説明する。

図１２（ａ）、（ｂ）、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、第２実施形態に係る圧電アクチュエータ１００は、振動板１０１の厚み（Ｚ方向の長さ）が第１圧電層４２の厚み及び第２圧電層４３の厚みよりも大きい。例えば、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の厚みが５μｍ程度であるのに対して、振動板１０１の厚みが１０μｍ程度である。これにより、振動板１０１、第１圧電層４２と及び第２圧電層の積層体の中立面Ｃ２が、振動板１０１と第１圧電層４２との間の面である第１境界面Ｋ１近傍に位置している。

また、圧電アクチュエータ１００では、第２境界面Ｋ２において、第１実施形態における接続部５２４に対応する接続部８２４と、第１実施形態における接続電極５６Ｂの部分５６２に対応する部分８６２ａとの間に、複数の非導通電極１１２ａ（本発明の「第２非導通電極」）がＸ方向に間隔をあけて並んでいる。

接続部８２４は、第２表面電極５５ａとＺ方向に重なっているが、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６３ａとＺ方向に重なる位置までは延びていない。部分８６２ａは、第１表面電極５４ａとＺ方向に重なっているが、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６３ａとＺ方向に重なる位置までは延びていない。

複数の非導通電極１１２ａは、複数の非導通電極６３ａに対して個別に設けられている。各非導通電極１１２ａは、対応する非導通電極６３ａとＺ方向に重なっている。また、Ｘ方向において、非導通電極６３ａの中心（隙間７０ａの中心）の位置と、非導通電極１１２ａの中心の位置とが同じとなっている。

また、接続部８２４、部分８６２ａ及び複数の非導通電極１１２ａがこのように配置されていることにより、隣接する２つの非導通電極１１２ａの間、接続部８２４とＸ方向における最も一方側の非導通電極１１２ａとの間、及び、部分８６２ａとＸ方向における最も他方側の非導通電極１１２ａとの間に、隙間７１ａとＺ方向に重なる隙間１１６ａ（本発明の「第２隙間」）が形成されている。

また、圧電アクチュエータ１００では、第２境界面Ｋ２において、第１実施形態における接続部５２５に対応する接続部８２５と、第１実施形態における接続電極５６Ａの部分５６２に対応する部分８６２ｂとの間に、複数の非導通電極１１２ｂ（本発明の「第２非導通電極」）がＸ方向に間隔をあけて並んでいる。

接続部８２５は、第１表面電極５４ａとＺ方向に重なっているが、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極６３ｂとＺ方向に重なる位置までは延びていない。部分８６２ｂは、第１表面電極５４ａとＺ方向に重なっているが、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極６３ｂとＺ方向に重なる位置までは延びていない。

複数の非導通電極１１２ｂは、複数の非導通電極６３ｂに対して個別に設けられている。各非導通電極１１２ｂは、対応する非導通電極６３ｂとＺ方向に重なっている。また、Ｘ方向において、非導通電極６３ｂの中心（隙間７０ｂの中心）の位置と、非導通電極１１２ｂの中心の位置とが同じとなっている。

また、接続部８２５、部分８６２ｂ及び複数の非導通電極１１２ｂがこのように配置されていることにより、隣接する２つの非導通電極１１２ｂの間、部分８６２ｂとＸ方向における最も一方側の非導通電極１１２ｂとの間、及び、接続部８２５とＸ方向における最も他方側の非導通電極１１２ｂとの間に、隙間７１ａとＺ方向に重なる隙間１１６ｂ（本発明の「第２隙間」）が形成されている。

また、圧電アクチュエータ１００では、第１境界面Ｋ１において、第１実施形態における接続部５３５に対応する接続部８３５と、第１実施形態における接続電極５７Ａの部分５７２に対応する部分８７２ａとの間に、複数の非導通電極１１３ａ（本発明の「第３非導通電極」）がＸ方向に間隔をあけて並んでいる。また、これにより、接続部８３５とＸ方向における最も他方側の非導通電極１１３ａとの間、部分８７２ａとＸ方向における最も一方側の非導通電極１１３ａとの間、及び、隣接する２つの非導通電極１１３ａの間に、隙間１１７ａが形成されている。

接続部８３５は、部分８６２ａ、及び、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極１１２ａの他方側の部分とＺ方向に重なっている。部分８７２ａは、接続部８２４、及び、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極１１２ａの一方側の部分とＺ方向に重なっている。

各非導通電極１１３ａは、隣接する２つの非導通電極１１２ａにわたってＸ方向に延びている。そして、各非導通電極１１３ａは、これら２つの非導通電極１１２ａのうち、Ｘ方向における一方側の非導通電極１１２ａの一方側の部分、及び、Ｘ方向における他方側の非導通電極１１２ａの他方側の部分と、Ｚ方向に重なっている。

また、接続部８３５、部分８７２ａ及び複数の非導通電極１１３ａがこのように配置されていることにより、接続部８３５は、Ｘ方向における最も他方側の隙間７１ａ，１１６ａとＺ方向に重なっている。また、部分８６２ａは、Ｘ方向における最も一方側の隙間７１ａ，１１６ａとＺ方向に重なっている。また、非導通電極１１３ａは、隣接する２つの非導通電極６３ａの間の隙間７１ａ、及び、隣接する２つの非導通電極１１２ａの間の隙間１１６ａとＺ方向に重なっている。

また、圧電アクチュエータ１００では、第１境界面Ｋ１において、第１実施形態における接続部５３４に対応する接続部８３４と、第１実施形態における接続電極５７Ｂの部分５７２に対応する部分８７２ｂとの間に、複数の非導通電極１１３ｂ（本発明の「第３非導通電極」）が配置されている。また、これにより、接続部８３４とＸ方向における最も一方側の非導通電極１１３ｂとの間、部分８７２ｂとＸ方向における最も他方側の非導通電極１１３ｂとの間、及び、隣接する２つの非導通電極１１３ｂの間に、隙間１１７ｂが形成されている。

接続部８３４は、部分８６２ｂ、及び、Ｘ方向における最も一方側の非導通電極１１２ｂの一方側の部分とＺ方向に重なっている。部分８７２ｂは、接続部８２５、及び、Ｘ方向における最も他方側の非導通電極１１２ｂの他方側の部分とＺ方向に重なっている。

各非導通電極１１３ｂは、隣接する２つの非導通電極１１２ｂにわたってＸ方向に延びている。そして、各非導通電極１１３ｂは、これら２つの非導通電極１１２ｂのうち、Ｘ方向における一方側の非導通電極１１２ｂの一方側の部分、及び、Ｘ方向における他方側の非導通電極１１２ｂの他方側の部分と、Ｚ方向に重なっている。

また、接続部８３４、部分８６２ｂ及び複数の非導通電極１１３ｂがこのように配置されていることにより、接続部８３４は、Ｘ方向における最も一方側の隙間７１ｂ，１１６ｂとＺ方向に重なっている。また、部分８６２ｂは、Ｘ方向における最も他方側の隙間７１ｂ，１１６ｂとＺ方向に重なっている。また、非導通電極１１３ｂは、隣接する２つの非導通電極６３ｂの間の隙間７１ｂ、及び、隣接する２つの非導通電極１１２ｂの間の隙間１１６ｂとＺ方向に重なっている。

＜効果＞
第２実施形態では、図１２（ａ）、（ｂ）、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、非導通電極６３ａ，６３ｂ，１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂのいずれかが、圧電アクチュエータ１００（振動板１０１及び第１、第２圧電層４２，４３の積層体）のＹ方向における一方側及び他方側の端部のうち、少なくとも、Ｘ方向において、複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置し、且つ、他の電極が配置されていない部分に配置される。その結果、圧電アクチュエータ１００のＹ方向における一方側及び他方側の端部の、Ｘ方向において少なくとも複数の個別電極５１が配置されている範囲内に位置する部分においては、Ｘ方向の位置によらず、非導通電極６３ａ，６３ｂ，１１２ａ，１１２ｂ，１１３ａ，１１３ｂ、第１表面電極５４ａ，５４ｂ、第２表面電極５５ａ，５５ｂ、接続部８２４，８２５，８３４，８３５及び部分５６２ａ，５６２ｂ，５７２ａ，５７２ｂのうち、いずれかの電極が配置されている。これにより、圧電アクチュエータ１００のＹ方向における端部の剛性を確保して、振動板１０１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックを発生しにくくすることができる。

第２実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３及び第２境界面Ｋ２が中立面Ｃ２から遠いのに対して、第１境界面Ｋ１が中立面Ｃ２に近い。これに対して、第２実施形態では、非導通電極１１２ａ，１１２ｂの間の隙間１１６ａ，１１６ｂが、それぞれ、非導通電極６３ａ，６３ｂの間の隙間７１ａ，７１ｂとＺ方向に重なっていることにより、非導通電極６３ａ，６３ｂのＸ方向の中央部が、それぞれ、非導通電極１１６ａ，１１６ｂのＸ方向の中央部とＺ方向に重なっている。したがって、振動板１０１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の積層体の焼成時に、当該積層体の、Ｘ方向において非導通電極６３ａ，６３ｂ，１１２ａ，１１２ｂの中央部が位置する部分が大きく反ろうとする。

一方で、第２実施形態では、非導通電極１１３ａのＸ方向の中央部が、非導通電極６３ａの間の隙間７１ａ及び非導通電極１１２ａの間の隙間１１６ａとＺ方向に重なっており、非導通電極１１３ｂのＸ方向の中央部が、非導通電極６３ｂの間の隙間７１ｂ及び非導通電極１１２ｂの間の隙間１１６ｂとＺ方向に重なっている。したがって、上記積層体の焼成時に、上記積層体の、Ｘ方向において非導通電極１１３ａ，１１３ｂの中央部が位置する部分はそれほど大きく反ろうとはしない。

これらのことから、圧電アクチュエータ１００においては、大きく反った部分（非導通電極６３ａ，６３ｂ，１１２ａ，１１２ｂの中央部が位置する部分）と、それほど大きく反っていない部分（非導通電極１１３ａ，１１３ｂの中央部が位置する部分）とが、Ｘ方向に交互に並ぶことになる。この場合、大きく反る部分がＸ方向に連続して並ぶ場合と比較して、振動板１０１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３を押圧して平坦にしやすく、振動板１０１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックを発生しにくくすることができる。

以上、本発明の好適な第１、第２実施形態について説明したが、本発明は第１、第２実施形態には限られず、特許請求の範囲に記載の限りにおいて様々な変更が可能である。

第１、第２実施形態では、圧電アクチュエータの各面の端部に配置された電極が、当該電極が配置された面の縁（振動板、第１、第２圧電層のいずれかの縁）までは延びていなかったが、これには限られない。圧電アクチュエータの各面の端部に配置された電極のうち少なくとも一部の電極が、当該電極が配置された面の縁まで延びていてもよい。

また、第１実施形態では、アクチュエータ表面Ｋ３に配置された非導通電極６３ａ，６３ｂの面積が、それぞれ、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ａ，６４ｂの面積よりも小さい。また、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ａ，６４ｂの面積が、第１境界面Ｋ１に配置された非導通電極６６ａ，６６ｂの面積よりも小さい。しかしながらこれには限られない。

例えば、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ａの面積が、第１境界面Ｋ１に配置された非導通電極６６ａの面積以上であってもよいし、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ｂの面積が、第１境界面Ｋ１に配置された非導通電極６６ｂの面積以上であってもよい。また、アクチュエータ表面Ｋ３に配置された非導通電極６３ａの面積が、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ａの面積以上であってもよいし、アクチュエータ表面Ｋ３に配置された非導通電極６３ｂの面積が、第２境界面Ｋ２に配置された非導通電極６４ｂの面積以上であってもよい。

第２実施形態における非導通電極６３ａ、非導通電極１１２ａ及び非導通電極１１３ａの面積の大小関係、並びに、非導通電極６３ｂ、非導通電極１１２ｂ及び非導通電極１１３ｂの面積の大小関係についても同様である。

また、振動板、第１、第２圧電層の厚み（Ｚ方向の長さ）の大小関係は、第１、第２実施形態に説明したものと異なっていてもよい。そして、この場合にも、第１境界面及び第２境界面のうち、中立面から遠い方の面に配置される非導通電極（本発明の「第２非導通電極」）の間の隙間（本発明の「第２隙間」）と、アクチュエータ表面に配置された非導通電極（本発明の「第１非導通電極」）の間の隙間（本発明の「第１隙間」）とがＺ方向に重なり、中立面から近い方の面に配置される非導通電極（本発明の「第３非導通電極」）が、アクチュエータ表面に配置された非導通電極の間の隙間、及び、中立面から遠い方の面に配置される非導通電極の間の隙間と、Ｚ方向に重なるようにすることが好ましい。このようにすれば、第１、第２実施形態で説明したのと同様、振動板、第１圧電層及び第２圧電層を押圧して平坦にしやすく、振動板、第１圧電層及び第２圧電層にクラックを発生しにくくすることができる。

また、振動板、第１、第２圧電層の厚み（Ｚ方向の長さ）の大小関係によらず、中立面から近い方の面に配置される非導通電極の間の隙間と、アクチュエータ表面に配置された非導通電極の間の隙間とがＺ方向に重なり、中立面から遠い方の面に配置される、非導通電極が、アクチュエータ表面に配置された非導通電極の間の隙間、及び、中立面から近い方の面に配置される非導通電極の間の隙間と、Ｚ方向に重なっていてもよい。

また、第１、第２実施形態では、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａ、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂの、Ｙ方向の位置が同じであり、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａ、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂが、それぞれ、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。そして、Ｘ方向において、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に、非導通電極が配置されている。しかしながら、これには限られない。

例えば、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとが、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向の端部のうち、Ｘ方向における中央部に隣接して配置されていてもよい。これに対応して、貫通孔を介して第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａと導通する接続部及び接続電極も、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２のＹ方向の端部のうち、Ｘ方向における中央部に配置されていてもよい。そして、非導通電極が、Ｘ方向において第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａよりも外側に配置されていてもよい。

同様に、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとが、アクチュエータ表面Ｋ３のＹ方向の端部のうち、Ｘ方向における中央部に隣接して配置されていてもよい。これに対応して、貫通孔を介して第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂと導通する接続部及び接続電極も、第１境界面Ｋ１及び第２境界面Ｋ２のＹ方向の端部のうち、Ｘ方向における中央部に配置されていてもよい。そして、非導通電極が、Ｘ方向において第１表面電極５４ｂ及び第２表面電極５５ｂよりも外側に配置されていてもよい。

また、第１、第２実施形態では、圧電アクチュエータのＹ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短くなっていたが、これには限られない。長さＬｙは、長さＬｘ以上であってもよい。

また、第１、第２実施形態では、アクチュエータ表面、第１境界面及び第２境界面のいずれにも非導通電極が配置されていたが、これには限られない。アクチュエータ表面、第１境界面及び第２境界面のうち２つの面にのみ非導通電極が配置されていてもよい。

また、以上では、ノズルからインクを吐出するヘッドを構成する圧電アクチュエータ及びその検査に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ヘッド以外の装置を構成する圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。

２２ 圧電アクチュエータ
４１ 振動板
４２ 第１圧電層
４３ 第２圧電層
５１ 個別電極
５２ 高電位電極
５３ 低電位電極
５４ａ，５４ｂ 第１表面電極
５５ａ，５５ｂ 第２表面電極
６３ａ，６３ｂ 非導通電極
６４ａ，６４ｂ 非導通電極
６６ａ，６６ｂ 非導通電極
７１ａ，７１ｂ 隙間
７２ａ，７２ｂ 隙間
１００ 圧電アクチュエータ
１１２ａ，１１２ｂ 非導通電極
１１３ａ，１１３ｂ 非導通電極
１１６ａ，１１６ｂ 隙間

Claims (10)

1. 少なくとも第１方向における一方側の面において絶縁性を有する振動板と、
   前記振動板の、前記第１方向における前記一方側の面に配置された第１圧電層と、
   前記第１圧電層の、前記第１方向における前記一方側の面に配置された第２圧電層と、
   前記第２圧電層の、前記第１方向における前記一方側の面であるアクチュエータ表面に配置された複数の個別電極と、
   前記振動板と前記第１圧電層との間の面である第１境界面に配置された、前記複数の個別電極に対して共通の第１共通電極と、
   前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の面である第２境界面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第２共通電極と、
   前記アクチュエータ表面の、前記第１方向と直交する第２方向における端部に配置され、前記第１共通電極と導通する第１表面電極と、
   前記アクチュエータ表面の、前記第２方向における端部に配置され、前記第２共通電極と導通する第２表面電極と、
   前記アクチュエータ表面、前記第１境界面及び前記第２境界面のうち少なくとも２つの面の、前記第２方向における端部に配置され、前記複数の個別電極、前記第１共通電極、及び、前記第２共通電極のいずれとも導通していない複数の非導通電極と、を備え、
   前記非導通電極が、
   前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層の積層体の、前記第２方向における端部のうち、少なくとも、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向において、前記複数の個別電極が配置されている範囲内に位置し、且つ、他の電極が配置されていない部分に配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
2. 前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、前記第３方向の長さが前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 各非導通電極は、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の、当該非導通電極と前記第３方向の位置が同じである部分よりも、前記第２方向の外側に位置していることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第１表面電極と前記第２表面電極とは、前記第２方向の位置が同じであり、前記第３方向に間隔をあけて配置され、
   前記複数の非導通電極が、前記少なくとも２つの面の、前記第３方向において前記第１表面電極と前記第２表面電極との間の部分に配置されていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記複数の非導通電極は、
   前記アクチュエータ表面に配置され、前記第３方向に第１隙間をあけて配列された複数の第１非導通電極と、
   前記第１境界面及び前記第２境界面のうち、前記振動板と前記第１圧電層と前記第２圧電層との積層体の中立面から遠い方の面に配置され、前記第１隙間と前記第１方向に重なる第２隙間をあけて前記第３方向に配列された複数の第２非導通電極と、
   前記第１境界面及び前記第２境界面のうち、前記中立面から近い方の面に配置され、前記第１隙間及び前記第２隙間と前記第１方向に重なるように配置された第３非導通電極と、を有することを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層の、前記第１方向の長さが同じであることによって、前記第２境界面が前記第１境界面よりも前記中立面から近くなっており、
   前記複数の第２非導通電極が、前記第１境界面に配置され、
   前記第３非導通電極が、前記第２境界面に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記振動板の前記第１方向の長さが、前記第１圧電層及び前記第２圧電層の前記第１方向の長さよりも長くなっていることによって、前記第１境界面が前記第２境界面よりも前記中立面から近くなっており、
   前記複数の第２非導通電極が、前記第２境界面に配置され、
   前記第３非導通電極が、前記第１境界面に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記非導通電極は、
   前記アクチュエータ表面、前記第１境界面及び前記第２境界面のいずれにも配置され、
   前記アクチュエータ表面に配置された前記非導通電極の面積が、前記第１境界面に配置された前記非導通電極の面積、及び、前記第２境界面に配置された前記非導通電極の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記第２境界面に配置された前記非導通電極の面積が、前記第１境界面に配置された前記非導通電極の面積よりも小さいことを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータ。
10. 前記非導通電極は、前記第２方向における、前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層の縁までは延びていないことを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。

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