JP2021187022A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】反り上がりを抑制しつつアクチュエータ部に対し十分な電荷供給を行えるようにする。【解決手段】高電位電極は、複数の駆動電極のそれぞれに対応する複数の個別部と、Ｘ方向に延び、複数の個別部を連結する複数の枝部と、Ｙ方向に延び、複数の枝部を連結する幹部５３１，５３２とを含む。高電位電極を含む第１電極層の下側に、第２電極層７２が配置されている。第２電極層７２は、低電位電極５３と、高電位電極と電気的に接続される接続電極５７Ａ，５７Ｂとを含む。接続電極５７Ａ，５７Ｂは、高電位電極の幹部とＺ方向に重なる部分５７１を有する。部分５７１の幅Ｗ４は、高電位電極の幹部の幅よりも長い。【選択図】図９

Description

本発明は、第３電極毎に第１〜第３活性部を含むアクチュエータ部が設けられ、かつ、第１電極又は第２電極と電気的に接続される接続電極を備えた、圧電アクチュエータに関する。

特許文献１には、個別電極（第３電極）毎に１つの活性部Ｒ１と２つの活性部Ｒ２とを含むアクチュエータ部が設けられた圧電アクチュエータが示されている。このような構成の圧電アクチュエータを流路部材に固定し駆動させることで、所謂クロストークを抑制しつつ、安定した吐出を実現できる。また、特許文献１では、所定の第１電位に保持される第１導電部（第１電極）と電気的に接続される補助電極（接続電極）を、第１導電部が設けられた層とは別の層に設けることで、補助電極からも第１導電部に電荷を供給し、アクチュエータ部の駆動時に電荷の供給が遅れないようにすることが示されている。さらに、特許文献１の図１６には、十分な電荷を供給するため、補助電極１２６（接続電極）のうち、第１導電部５５（第１電極）の第１接続部５５ｂ（第１枝部）に対応する部分１２６ａの幅を、第１接続部５５ｂの幅よりも大きくすることが示されている。

特開２０１８−１５７０７９号公報

特許文献１の図１６には、上記のとおり、補助電極１２６（接続電極）のうち、第１導電部５５（第１電極）の第１接続部５５ｂ（第１枝部）に対応する部分１２６ａの幅を、第１接続部５５ｂの幅よりも大きくすることが示されているが、補助電極１２６（接続電極）のうち、第１導電部５５（第１電極）の第２接続部５５ｃ（第１幹部）に対応する部分の幅は、第２接続部５５ｃの幅と同じである。

この点、本願発明者等は、種々の実験と鋭意研究とを重ねた結果、電荷の供給には、枝部よりもむしろ幹部の幅を大きくするのが有効であることを見出した。ただし、幹部の幅を何らの創意工夫なく大きくすると、以下の問題が生じ得る。例えば、特許文献１の図１６において、第１導電部５５（第１電極）の第２接続部５５ｃ（第１幹部）の幅を、補助電極１２６（接続電極）のうち第２接続部５５ｃ（第１幹部）に対応する部分の幅よりも大きくすることが考えられる。この場合、第１導電部５５は中立面（部材内で引張も圧縮も生じない面）よりも上方にあるため、圧電アクチュエータの焼成工程で生じる電極層の熱収縮により、圧電アクチュエータが上向きに反り易くなる。圧電アクチュエータが上向きに反ると、流路部材への接着時に、反り上がった部分に局所的に力が加わり、圧電アクチュエータが破損し得る。

本発明の目的は、反り上がりを抑制しつつアクチュエータ部に対し十分な電荷供給を行うことができる圧電アクチュエータを提供することにある。

本発明の第１観点に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、前記第１電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第１個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第１個別部を連結する複数の第１枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第１枝部を連結する第１幹部と、を含み、前記第２電極層は、前記第１電極と電気的に接続される第１接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第１幹部と前記第１方向に重なる第１重複部を有する第１接続電極をさらに含み、前記第１重複部の前記第２方向の長さは、前記第１幹部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする。

本発明の第２観点に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、前記第２電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第２個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第２個別部を連結する複数の第２枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第２枝部を連結する第２幹部と、を含み、前記第１電極層は、前記第２電極と電気的に接続される第２接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第２幹部と前記第１方向に重なる第２重複部を有する第２接続電極をさらに含み、前記第２幹部の前記第２方向の長さは、前記第２重複部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。 図１のヘッド３の平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 図５の断面におけるアクチュエータ部９０の動作を示す図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、最も上方の圧電層４１の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、中間の圧電層４２の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、最も下方の圧電層４３の上面を示す平面図である。 （ａ）は、図９の構成における、２つの幹部５３１，５３２のそれぞれから２つの幹部５３１，５３２に共通の枝部５３３Ｘへの電荷の供給経路Ｒ１，Ｒ２を示す模式図である。（ｂ）は、幹部５３１’が１つのみの場合における、幹部５３１’から枝部５３３Ｘへの電荷の供給経路Ｒ１’，Ｒ２’を示す模式図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｙ方向が本発明の「第３方向」に該当する。

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成について説明する。

プリンタ１は、ヘッド３と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面（Ｚ方向において下方を向く面）には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。流路ユニット２１及び圧電アクチュエータ２２は、共に、Ｚ方向から見て、Ｘ方向の長さがＹ方向の長さよりも長い、矩形状である。

＜流路ユニットの構成＞
流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１〜３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている（図２参照）。各インク供給口８は、インクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

＜圧電アクチュエータの構成＞
圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、それぞれＺ方向を厚み方向としてＺ方向に積層された３つの圧電層４１〜４３及びインク分離層４４と、複数の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とを有する。

インク分離層４４は、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。インク分離層４４は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料、又は、合成樹脂材料からなる。

圧電層４３は、インク分離層４４の上面に配置されている。圧電層４２は、圧電層４３の上面に配置されている。圧電層４１は、圧電層４２の上面に配置されている。圧電層４１〜４３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。

３つの圧電層４１〜４３及びインク分離層４４は、それぞれ、Ｚ方向の厚みが１５μｍ以下である。

圧電層４１が本発明の「第１圧電層」に該当し、圧電層４２が本発明の「第２圧電層」に該当する。

複数の駆動電極５１は、図３に示すように、圧電層４１の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

複数の駆動電極５１は、図７に示すように、圧電層４１の上面の中央領域（圧電層４１におけるＸ方向の両端及びＹ方向の両端を除く領域）において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方（図７の上方）及び他方（図７の下方）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する駆動電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該駆動電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、駆動電極５１の厚みには影響が出ず、駆動電極５１を適切に形成できる。また、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある駆動電極５１とＸ方向の端部にある駆動電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

圧電層４１の上面には、駆動電極５１及びダミー電極５９に加え、接続電極５４，５５及び補強電極６３が配置されている。

接続電極５４，５５及び補強電極６３は、駆動電極５１の配置領域外である圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に並んでいる。

圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置され、補強電極６３は、Ｘ方向において接続電極５４と接続電極５５との間に配置されている。

圧電層４１のＹ方向の他端（図７の右端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置され、補強電極６３は、Ｘ方向において接続電極５４と接続電極５５との間に配置されている。

接続電極５４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５４ａで構成されている。接続電極５５は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５５ａで構成されている。補強電極６３は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６３ａで構成されている。電極５４ａ，５５ａ，６３ａは、サイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。

接続電極５４，５５は、ＣＯＦ２３と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、制御部の制御により、ＣＯＦ２３の配線を介して、接続電極５４に高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、かつ、接続電極５５に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。一方、補強電極６３は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。

このように、複数の駆動電極５１に対してＹ方向の一方及び他方に、ＣＯＦ（給電部）との接点となる接続電極５４，５５が設けられている。

高電位電極５２は、図４に示すように、圧電層４２の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。

高電位電極５２は、図８に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１，５２２と、各幹部５２１，５２２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、それぞれ接続電極５４（図７参照）とＺ方向に重なる接続部５２４，５２５とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。各幹部５２１，５２２は、複数の枝部５２３を連結している。

圧電層４２の、Ｘ方向の一端（図８の上端）かつＹ方向の一方側（図８の左側）に、幹部５２１が配置され、圧電層４２の、Ｘ方向の他端（図８の下端）かつＹ方向の他方側（図８の右側）に、幹部５２２が配置されている。

幹部５２１は、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）において、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。幹部５２２は、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）において、圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。

幹部５２１から、３つの枝部５２３が、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から他端（図８の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２２から、４つの枝部５２３が、圧電層４１のＸ方向の他端（図８の下端）から一端（図８の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２１から枝部５２３が延びる方向と、幹部５２２から枝部５２３が延びる方向とは、互いに逆である。各幹部５２１，５２２から分岐した枝部５２３が、Ｙ方向に並んでいる。

接続部５２４は、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）において、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部５２４は、幹部５２１におけるＹ方向の一端（図８の左端）に接続し、かつ、幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の一方（図８の左方）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２５は、圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）において、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部５２４は、幹部５２２におけるＹ方向の他端（図８の右端）に接続し、かつ、幹部５２２から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の他方（図８の右方）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２４，５２５は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図７参照）を介して、接続電極５４の各電極５４ａと電気的に接続されている。

圧電層４２の上面には、高電位電極５２に加え、接続電極５６Ａ，５６Ｂ及び補強電極６４，６５が配置されている。

接続電極５６Ａ，５６Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５６１と、Ｘ方向に延びる部分５６２とを有する。接続電極５６Ａは、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）かつＹ方向の他端（図８の右端）の角部に配置されている。接続電極５６Ｂは、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）かつＹ方向の一端（図８の左端）の角部に配置されている。

接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図７参照）を介して、接続電極５５と電気的に接続されている。

接続電極５６Ａの部分５６１は、図８の右から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の右側の３つの列（Ｙ方向において、接続電極５６Ａと電気的に接続される接続電極５５に近い３つの列）とＸ方向に重なっている。接続電極５６Ｂの部分５６１は、図８の左から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の３つの列（Ｙ方向において、接続電極５６Ｂと電気的に接続される接続電極５５に近い３つの列）とＸ方向に重なっている。

補強電極６４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６４ａで構成されている。電極６４ａは、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）において、Ｘ方向において高電位電極５２の接続部５２４と接続電極５６Ｂの部分５６２との間に、補強電極６４が配置されている。圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）において、Ｘ方向において高電位電極５２の接続部５２５と接続電極５６Ａの部分５６２との間に、補強電極６４が配置されている。

補強電極６５は、Ｙ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６５ａで構成されている。電極６５ａは、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）及び他端（図８の下端）のそれぞれにおける、Ｙ方向における幹部５２１，５２２と接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１との間の領域において、Ｙ方向に等間隔で配置されている。

補強電極６４，６５は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

低電位電極５３は、図４に示すように、圧電層４３の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間に配置されている。

低電位電極５３は、図９に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１，５３２と、各幹部５３１，５３２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、それぞれ接続電極５５（図７参照）とＺ方向に重なる接続部５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１，５３２は、複数の枝部５３３を連結している。

圧電層４３の、Ｘ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の他方側（図９の右側）に、幹部５３１が配置され、圧電層４３の、Ｘ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の一方側（図８の右側）に、幹部５３２が配置されている。

幹部５３１は、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）において、圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。幹部５３２は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）において、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。

幹部５３１から、４つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から他端（図９の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３２から、３つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から一端（図９の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３１から枝部５３３が延びる方向と、幹部５３２から枝部５３３が延びる方向とは、互いに逆である。

各幹部５３１，５３２から分岐した枝部５３３が、Ｙ方向に並んでいる。ここで、幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３Ｘは、幹部５３２に接続している。換言すると、幹部５３１から分岐した４つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３Ｘと、幹部５３２から分岐した３つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の他方側（図９の右側）に位置する枝部５３３Ｘとは、同じである。当該枝部５３３Ｘは、Ｘ方向の一端が幹部５３１に接続し、Ｘ方向の他端が幹部５３２に接続している。

接続部５３４は、圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）において、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部５３４は、幹部５３１におけるＹ方向の他端（図９の右端）に接続している。

接続部５３５は、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）において、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。接続部５３５は、幹部５３２におけるＹ方向の一端（図９の左端）に接続している。

接続部５３４，５３５は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙ（図８参照）を介して、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２と電気的に接続されている。接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図７参照）を介して、接続電極５５、さらにＣＯＦと電気的に接続されている。したがって、接続部５３４，５３５は、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２（図８参照）を介して接続電極５５（図７参照）、さらにＣＯＦと電気的に接続されている。

このように、幹部５３１に対してＹ方向の他方（図９の右方）に、ＣＯＦ（給電部）との接点（第１接点）となる接続部５３４が設けられている。幹部５３２に対してＹ方向の一方（図９の左方）に、ＣＯＦ（給電部）との接点（第２接点）となる接続電極５３５が設けられている。

幹部５３１は、Ｘ方向の長さ（幅）が互いに異なる４つの部分５３１ａ〜５３１ｄで構成されている。図９において左から順に、４つの部分５３１ａ〜５３１ｄが配置されている。部分５３１ａは、Ｙ方向において接続部５３４から最も離れた部分である。部分５３１ｄは、Ｙ方向において接続部５３４に最も近い部分である。部分５３１ｂは、Ｙ方向において部分５３１ａと部分５３１ｄとの間に配置されている。部分５３１ｃは、Ｙ方向において部分５３１ｂと部分５３１ｄとの間に配置されている。４つの部分５３１ａ〜５３１ｄのうち、部分５３１ａの幅Ｗ１ａが最も小さく、部分５３１ｄの幅Ｗ１ｄが最も大きい。部分５３１ｂの幅Ｗ１ｂは、幅Ｗ１ａよりも大きく、幅Ｗ１ｄよりも小さい。部分５３１ｃの幅Ｗ１ｃは、幅Ｗ１ｂよりも大きく、幅Ｗ１ｄよりも小さい。例えば、幅Ｗ１ａは１ｍｍ未満であり、幅Ｗ１ｂ〜Ｗ１ｄは１ｍｍ以上である。

幹部５３１は、接続電極５６Ａの部分５６１（図８参照）とＺ方向に重なっている。幹部５３１の部分５３１ａ〜５３１ｄの幅Ｗ１ａ〜Ｗ１ｄは、いずれも、接続電極５６Ａの部分５６１の幅Ｗ３（図８参照）よりも長い。

幹部５３１の４つの部分５３１ａ〜５３１ｄのうち、部分５３１ａを除く３つの部分５３１ｂ〜５３１ｄは、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の右側の５つの列に対してＸ方向の一方（図７の上方）に位置する５つのダミー電極５９と、Ｚ方向に重なっている。

幹部５３２は、Ｘ方向の長さ（幅）が互いに異なる３つの部分５３２ａ〜５３２ｃで構成されている。図９において右から順に、３つの部分５３２ａ〜５３２ｃが配置されている。部分５３２ａは、Ｙ方向において接続部５３５から最も離れた部分である。部分５３２ｃは、Ｙ方向において接続部５３５に最も近い部分である。部分５３２ｂは、Ｙ方向において部分５３２ａと部分５３２ｃとの間に配置されている。３つの部分５３２ａ〜５３２ｃのうち、部分５３２ａの幅Ｗ２ａが最も小さく、部分５３２ｃの幅Ｗ２ｃが最も大きい。部分５３２ｂの幅Ｗ２ｂは、幅Ｗ２ａよりも大きく、幅Ｗ２ｃよりも小さい。

幹部５３２は、接続電極５６Ｂの部分５６１（図８参照）とＺ方向に重なっている。幹部５３２の部分５３２ａ〜５３２ｃの幅Ｗ２ａ〜Ｗ２ｃは、いずれも、接続電極５６Ｂの部分５６１の幅Ｗ３（図８参照）よりも長い。

なお、接続電極５６Ａの部分５６１の幅と、接続電極５６Ｂの部分５６１の幅とは、互いに同じ（幅Ｗ３）である。

幹部５３２の３つの部分５３２ａ〜５３２ｃのうち、部分５３２ａを除く２つの部分５３２ｂ，５３２ｃは、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の３つの列に対してＸ方向の他方（図７の下方）に位置する３つのダミー電極５９と、Ｚ方向に重なっている。

圧電層４３の上面には、低電位電極５３に加え、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び補強電極６６が配置されている。

接続電極５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５７１と、Ｘ方向に延びる部分５７２とを有する。接続電極５７Ａは、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の一端（図９の左端）の角部に配置されている。接続電極５７Ｂは、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の他端（図９の右端）の角部に配置されている。

接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７２は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘ（図８参照）を介して、高電位電極５２の接続部５２４，５２５と電気的に接続されている。高電位電極５２の接続部５２４，５２５は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図７参照）を介して、接続電極５４と電気的に接続されている。したがって、接続電極５７Ａ，５７Ｂは、高電位電極５２の接続部５２４，５２５を介して接続電極５４（図７参照）と電気的に接続されている。

接続電極５７Ａの部分５７１は、図９の左から１つ目及び２つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の５つの列（Ｙ方向において、接続電極５７Ａと電気的に接続される接続電極５４に近い５つの列）とＸ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５６１は、図９の右から１つ目〜３つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の右側の７つの列（Ｙ方向において、接続電極５７Ｂと電気的に接続される接続電極５４に近い７つの列）とＸ方向に重なっている。

接続電極５７Ａの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２１（図８参照）とＺ方向に重なっている。接続電極５７Ａの部分５７１の幅Ｗ４は、高電位電極５２の幹部５２１の幅Ｗ５（図８参照）よりも長い。

接続電極５７Ｂの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２２（図８参照）とＺ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５７１の幅Ｗ４は、高電位電極５２の幹部５２２の幅Ｗ５（図８参照）よりも長い。

なお、接続電極５７Ａの部分５７１の幅と、接続電極５７Ｂの部分５７１の幅とは、互いに同じ（幅Ｗ４）である。高電位電極５２の幹部５２１の幅と、高電位電極５２の幹部５２２の幅とは、互いに同じ（幅Ｗ５）である。

また、各接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１の幅Ｗ４は、高電位電極５２の各枝部５２３（図８参照）の幅（Ｙ方向の長さ）Ｗ６よりも長い。

補強電極６６は、Ｘ方向に互いに等間隔で離隔して配置された、複数の電極６６ａで構成されている。電極６６ａは、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）において、Ｘ方向において接続電極５７Ａの部分５７２と低電位電極５３の接続部５３５との間に、補強電極６６が配置されている。圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）において、Ｘ方向において低電位電極５３の接続部５３４と接続電極５７Ｂの部分５７２との間に、補強電極６６が配置されている。

補強電極６６は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

圧電層４２の上面（Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間）に配置された、高電位電極５２、接続電極５６Ａ，５６Ｂ及び補強電極６４，６５が、第１電極層７１を構成する（図８参照）。圧電層４３の上面（Ｚ方向において圧電層４２の圧電層４１と反対側の面）に配置された、低電位電極５３、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び補強電極６６が、第２電極層７２を構成する（図９参照）。圧電層４１の上面（Ｚ方向において圧電層４１の圧電層４２と反対側の面）に配置された、駆動電極５１、ダミー電極５９、接続電極５４，５５及び補強電極６３が、第３電極層７３を構成する（図７参照）。第１電極層７１、第２電極層７２及び第３電極層７３を構成する各電極のＺ方向の厚みは、０．５〜１．５μｍである。

高電位が本発明の「第１電位」に該当し、高電位電極５２が本発明の「第１電極」に該当する。個別部５２ａが本発明の「第１個別部」に該当し、枝部５２３が本発明の「第１枝部」に該当し、幹部５２１，５２２が本発明の「第１幹部」に該当する。

低電位が本発明の「第２電位」に該当し、低電位電極５３が本発明の「第２電極」に該当する。個別部５３ａが本発明の「第２個別部」に該当し、枝部５３３が本発明の「第２枝部」に該当し、幹部５３１，５３２が本発明の「第２幹部」に該当する。また、例えば部分５３１ａ，５３２ａが本発明の「幅狭部」に該当し、部分５３１ｄ，５３２ｃが本発明の「幅広部」に該当する。

駆動電極５１が本発明の「第３電極」該当し、駆動電極列５１Ｒが本発明の「第３電極列」に該当する。

接続電極５７Ａ，５７Ｂが本発明の「第１接続電極」に該当し、接続電極５６Ａ，５６Ｂが本発明の「第２接続電極」に該当する。各接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１が本発明の「第１重複部」に該当し、各接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１が本発明の「第２重複部」に該当する。

＜アクチュエータ部＞
図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１〜４３及びインク分離層４４からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第２電極層７２に含まれる接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１の幅Ｗ４（図９参照）が、第１電極層７１に含まれる高電位電極５２の幹部５２１の幅Ｗ５（図８参照）よりも長い。第２電極層７２は、中立面（圧電アクチュエータ２２内で引張も圧縮も生じない面）に対してＺ方向の他方（下方）にある。この場合、第２電極層７２に含まれる部分５７１の幅Ｗ４が大きいことで、当該部分の熱収縮により、圧電アクチュエータ２２を下向きに反らせる方向の力が作用し、反り上がりが生じ難い。また、高電位電極５２の幹部５２１に対応する部分５７１の幅Ｗ４を大きくしたことで、アクチュエータ部９０に対し十分な電荷供給を行うことができる。

また、本実施形態によれば、第２電極層７２に含まれる低電位電極５３の幹部５３１，５３２の幅Ｗ１ａ〜Ｗ１ｄ，Ｗ２ａ〜Ｗ２ｃ（図９参照）が、第１電極層７１に含まれる接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１の幅Ｗ３よりも長い。第２電極層７２は、上記のとおり、中立面（圧電アクチュエータ２２内で引張も圧縮も生じない面）に対してＺ方向の他方（下方）にある。この場合、第２電極層７２に含まれる低電位電極５３の幹部５３１，５３２の幅Ｗ１ａ〜Ｗ１ｄが大きいことで、当該部分の熱収縮により、圧電アクチュエータ２２を下向きに反らせる方向の力が作用し、反り上がりが生じ難い。また、低電位電極５３の幹部５３１，５３２の幅Ｗ１ａ〜Ｗ１ｄ，Ｗ２ａ〜Ｗ２ｃを大きくしたことで、アクチュエータ部９０に対し十分な電荷供給を行うことができる。

接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１の幅Ｗ４（図９参照）は、高電位電極５２の各枝部５２３（図８参照）の幅Ｗ６よりも長い。これにより、接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１から、高電位電極５２の幹部５２１，５２２を介して、各枝部５２３へと、十分な電荷を供給できる。

接続電極５７Ａの部分５７１（図９参照）は、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の５つの列（Ｙ方向において、接続電極５７Ａと電気的に接続される接続電極５４に近い５つの列）とＸ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５７１（図９参照）は、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の右側の７つの列（Ｙ方向において、接続電極５７Ｂと電気的に接続される接続電極５４に近い７つの列）とＸ方向に重なっている。このように、ＣＯＦ（給電部）との接点となる接続電極５４に近い少なくとも３つの列に跨る長さの部分５７１を設けたことで、当該部分５７１の電気抵抗が下がり、当該部分５７１の発熱を抑えることができる。ひいては、局所的な発熱により、当該部分５７１近傍のアクチュエータ部９０の変形特性が変化し、アクチュエータ部９０全体の変形特性にばらつきが生じる、という問題を抑制できる。

接続電極５６Ａの部分５６１（図８参照）は、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の右側の３つの列（Ｙ方向において、接続電極５６Ａと電気的に接続される接続電極５５に近い３つの列）とＸ方向に重なっている。接続電極５６Ｂの部分５６１（図８参照）は、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の３つの列（Ｙ方向において、接続電極５６Ｂと電気的に接続される接続電極５５に近い３つの列）とＸ方向に重なっている。このように、ＣＯＦ（給電部）との接点となる接続電極５５に近い少なくとも３つの列に跨る長さの部分５６１を設けたことで、当該部分５６１の電気抵抗が下がり、当該部分５６１の発熱を抑えることができる。ひいては、局所的な発熱により、当該部分５６１近傍のアクチュエータ部９０の変形特性が変化し、アクチュエータ部９０全体の変形特性にばらつきが生じる、という問題を抑制できる。

高電位電極５２に対応する接続電極５７Ａ，５７Ｂ（図９参照）及び低電位電極５３に対応する接続電極５６Ａ，５６Ｂ（図８参照）のいずれか一方のみではなく、両方が設けられている。これにより、アクチュエータ部９０に対し、より一層十分な電荷供給を行うことができる。

圧電アクチュエータ２２は、Ｘ方向の長さが、Ｙ方向の長さよりも長い（図８及び図９参照）。この場合において、高電位電極５２の幹部５２１，５２２や低電位電極５３の幹部５３１，５３２が、圧電アクチュエータ２２の幅方向（Ｙ方向）の端部において、圧電アクチュエータ２２の長手方向（Ｘ方向）に延びていると、圧電アクチュエータ２２の長手方向（Ｘ方向）に沿った反りが生じ易くなる。この点、本実施形態では、高電位電極５２の幹部５２１，５２２及び低電位電極５３の幹部５３１，５３２は、圧電アクチュエータ２２の長手方向（Ｘ方向）の端部において、圧電アクチュエータ２２の幅方向（Ｙ方向）に延びている（図８及び図９参照）。これにより、圧電アクチュエータ２２の長手方向（Ｘ方向）に沿った反りを抑制できる。

低電位電極５３の幹部５３１，５３２は、幅狭部（部分５３１ａ，５３２ａ）と、幅広部（部分５３１ｄ，５３２ｃ）とを有する（図９参照）。幅広部（部分５３１ｄ，５３２ｃ）は、Ｙ方向において、幅狭部（部分５３１ａ，５３２ａ）よりも、接続部５３４，５３５に近い位置にある。このように、ＣＯＦ（給電部）との接点となる接続部５３４，５３５に近い側に幅広部（部分５３１ｄ，５３２ｃ）を設けたことで、当該部分５３１ｄ，５３２ｃの電気抵抗が下がり、当該部分５３１ｄ，５３２ｃの発熱を抑えることができる。ひいては、局所的な発熱により、当該部分５３１ｄ，５３２ｃ近傍のアクチュエータ部９０の変形特性が変化し、アクチュエータ部９０全体の変形特性にばらつきが生じる、という問題を抑制できる。

幅広部（部分５３１ｄ，５３２ｃ：図９参照）は、ダミー電極５９（図７参照）とＺ方向に重なる。換言すると、ダミー電極５９が設けられた領域を利用して、幅広部を設けている。これにより、幅広部を設けることによる、Ｘ方向の大型化を抑制できる。

圧電層４２において、Ｘ方向の一端（図８の上端）かつＹ方向の一方側（図８の左側）に幹部５２１が配置され、Ｘ方向の他端（図８の下端）かつＹ方向の他方側（図８の右側）に別の幹部５２２が配置されている。また、圧電層４２の下方にある圧電層４３において、Ｘ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の他方側（図９の右側）に幹部５３１が配置され、Ｘ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の一方側（図９の左側）に別の幹部５３２が配置されている。そして、幹部５２１，５２２の下側には接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１が配置され、幹部５２１，５２２の下層には接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１が配置され、幹部５３１，５３２の上層には接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１が配置されている。このように、幹部５２１，５２２と接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１との組、及び、幹部５３１，５３２と接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１との組が、圧電アクチュエータ２２の四隅に配置され、圧電アクチュエータ２２のＸＹ平面の中心に関して略対称な位置関係にある。これにより、圧電アクチュエータ２２の平坦性が向上し、かつ、アクチュエータ部９０に対し十分な電荷供給を行うことができる。

低電位電極５３は２つの幹部５３１，５３２を有し、各幹部５３１，５３２から枝部５３３が延びている（図９参照）。そして、幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３Ｘが、幹部５３２に接続している。枝部５３３Ｘは、他の枝部５３３と比較して、ＣＯＦ（給電部）との接点となる接続部５３４，５３５から遠く、電荷供給の遅延が生じ易い。しかし本実施形態によれば、図１０（ａ）に示すように、２つの幹部５３１，５３２から枝部５３３ＸのＸ方向の一端及び他端のそれぞれに電荷を供給でき、枝部５３３Ｘへの電荷の供給経路Ｒ１，Ｒ２を短くできる。これにより、枝部５３３Ｘへの電荷供給の遅延を抑制し、アクチュエータ部９０全体の安定した駆動を実現できる。一方、本実施形態とは異なり、図１０（ｂ）に示す圧電アクチュエータ２２’のように、低電位電極５３’が１つの幹部５３１’のみを有する構成では、幹部５３１’から枝部５３３ＸのＸ方向の他端（図１０（ｂ）の下端）に電荷が供給され、枝部５３３ＸのＸ方向の一端に至るまでの電荷の供給経路Ｒ１’，Ｒ２’が長くなる。これにより、枝部５３３Ｘへの電荷供給の遅延が生じ、アクチュエータ部９０全体の安定した駆動を実現できなくなり得る。

圧電層４１，４２は、それぞれ、Ｚ方向の厚みが１５μｍ以下である。この場合、アクチュエータ部９０の変形効率を高めるのに有効である。また、圧電層４１，４２の厚みが１５μｍ以下と小さいと、圧電層４１，４２の厚みに対する電極層７１〜７３の厚みの比率が大きくなり、圧電アクチュエータ２２に反りが生じ易くなり得るが、本実施形態では当該問題を抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

上述の実施形態（図８参照）では、高電位電極５２が２つの幹部５２１，５２２を有し、各幹部５２１，５２２から枝部５２３が延びているが、これに限定されない。例えば、高電位電極５２が１つの幹部を有し、当該幹部から複数の枝部が延びてもよい。或いは、高電位電極５２が３つ以上の幹部を有し、各幹部から複数の枝部が延びてもよい。

上述の実施形態（図９参照）では、低電位電極５３が２つの幹部５３１，５３２を有し、各幹部５３１，５３２から枝部５３３が延びているが、これに限定されない。例えば、低電位電極５３が１つの幹部を有し、当該幹部から複数の枝部が延びてもよい。或いは、低電位電極５３が３つ以上の幹部を有し、各幹部から複数の枝部が延びてもよい。

また、複数の幹部がある場合において、各幹部から枝部が延びる方向は、当該幹部にＹ方向に隣接する幹部から枝部が延びる方向と、逆であることに限定されず、同じであってもよい。

上述の実施形態（図９参照）では、低電位電極５３の幹部５３１，５３２が、幅が互いに異なる複数の部分で構成されているが、幅が一定であってもよい。

接続電極５４，５５や補強電極６３〜６６を、Ｘ方向に長い１つの電極で構成してもよい。また、補強電極６３〜６６を省略してもよい。

「前記第１重複部の前記第２方向の長さは、前記第１幹部の前記第２方向の長さよりも長い」（上述の実施形態において、第２電極層７２に含まれる接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７１の幅Ｗ４（図９参照）が、第１電極層７１に含まれる高電位電極５２の幹部５２１の幅Ｗ５（図８参照）よりも長い）という要件と、「前記第２幹部の前記第２方向の長さは、前記第２重複部の前記第２方向の長さよりも長い」（上述の実施形態において、第２電極層７２に含まれる低電位電極５３の幹部５３１，５３２の幅Ｗ１ａ〜Ｗ１ｄ，Ｗ２ａ〜Ｗ２ｃ（図９参照）が、第１電極層７１に含まれる接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６１の幅Ｗ３よりも長い）という要件との、いずれか一方のみを満たす構成であってもよい。

第１接続電極（高電位電極５２に対応する接続電極５７Ａ，５７Ｂ：図９参照）及び第２接続電極（低電位電極５３に対応する接続電極５６Ａ，５６Ｂ：図８参照）のいずれか一方のみが設けられてもよい。

圧電アクチュエータは、第２方向（上述の実施形態におけるＸ方向）の長さが第３方向（上述の実施形態におけるＹ方向）の長さ以下であってもよい。

圧電アクチュエータを構成する圧電層の数は、上述の実施形態では３つであるが、２以上であればよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

２２ 圧電アクチュエータ
４１ 圧電層（第１圧電層）
４２ 圧電層（第２圧電層）
５１ 駆動電極（第３電極）
５１Ｒ 駆動電極列（第３電極列）
５２ 高電位電極（第１電極）
５２ａ 個別部（第１個別部）
５２１，５２２ 幹部（第１幹部）
５２３ 枝部（第１枝部）
５３ 低電位電極（第２電極）
５３ａ 個別部（第２個別部）
５３１，５３２ 幹部（第２幹部）
５３１ａ，５３２ａ 部分（幅狭部）
５３１ｄ，５３２ｃ 部分（幅広部）
５３３ 枝部（第２枝部）
５６Ａ，５６Ｂ 接続電極（第２接続電極）
５６１ 部分（第２重複部）
５７Ａ，５７Ｂ 接続電極（第１接続電極）
５７１ 部分（第１重複部）
５９ ダミー電極
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
７３ 第３電極層

Claims (16)

1. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
   前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、
   前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、
   前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、
   前記第１電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第１個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第１個別部を連結する複数の第１枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第１枝部を連結する第１幹部と、を含み、
   前記第２電極層は、前記第１電極と電気的に接続される第１接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第１幹部と前記第１方向に重なる第１重複部を有する第１接続電極をさらに含み、
   前記第１重複部の前記第２方向の長さは、前記第１幹部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１重複部の前記第２方向の長さは、前記第１枝部の前記第３方向の長さよりも長いことを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記複数の第３電極は、前記第２方向に配列され、かつ、前記第３方向に並ぶ複数の第３電極列を構成し、
   前記複数の第３電極に対して前記第３方向の一方に、給電部との接点が設けられており、
   前記第１重複部は、前記接点と電気的に接続され、かつ、前記複数の第３電極列のうち前記第３方向において前記接点に近い少なくとも３つの列と前記第２方向に重なることを特徴とする、請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第２電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第２個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第２個別部を連結する複数の第２枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第２枝部を連結する第２幹部と、を含み、
   前記第１電極層は、前記第２電極と電気的に接続される第２接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第２幹部と前記第１方向に重なる第２重複部を有する第２接続電極をさらに含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記第２幹部の前記第２方向の長さは、前記第２重複部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする、請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記圧電アクチュエータは、前記第２方向の長さが、前記第３方向の長さよりも長く、
   前記第１幹部は、前記第２圧電層の前記第２方向の端部に配置されていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
7. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
   前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、
   前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、
   前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、
   前記第２電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第２個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第２個別部を連結する複数の第２枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第２枝部を連結する第２幹部と、を含み、
   前記第１電極層は、前記第２電極と電気的に接続される第２接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第２幹部と前記第１方向に重なる第２重複部を有する第２接続電極をさらに含み、
   前記第２幹部の前記第２方向の長さは、前記第２重複部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
8. 前記第２幹部に対して前記第３方向の一方に、給電部との接点が設けられており、
   前記第２幹部は、前記接点と電気的に接続され、かつ、幅狭部と、前記幅狭部よりも前記第３方向の一方に位置しかつ前記幅狭部よりも前記第２方向の長さが長い幅広部とを有することを特徴とする、請求項７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記複数の第３電極は、前記第２方向に配列され、かつ、前記第３方向に並ぶ複数の第３電極列を構成し、
   前記複数の第３電極列のうち少なくとも１つの列に対し、前記第２方向の一方に、ダミー電極が設けられており、
   前記幅広部は、前記ダミー電極と前記第１方向に重なることを特徴とする、請求項８に記載の圧電アクチュエータ。
10. 前記複数の第３電極は、前記第２方向に配列され、かつ、前記第３方向に並ぶ複数の第３電極列を構成し、
    前記複数の第３電極に対して前記第３方向の一方に、給電部との接点が設けられており、
    前記第２重複部は、前記接点と電気的に接続され、かつ、前記複数の第３電極列のうち前記第３方向において前記接点に近い少なくとも３つの列と前記第２方向に重なることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
11. 前記第１電極は、前記複数の第３電極のそれぞれに対応する複数の第１個別部と、前記第１方向と直交する第２方向に延び、前記複数の第１個別部を連結する複数の第１枝部と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に延び、前記複数の第１枝部を連結する第１幹部と、を含み、
    前記第２電極層は、前記第１電極と電気的に接続される第１接続電極であって、前記第３方向に延びかつ前記第１幹部と前記第１方向に重なる第１重複部を有する第１接続電極をさらに含むことを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
12. 前記第１重複部の前記第２方向の長さは、前記第１幹部の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする、請求項１１に記載の圧電アクチュエータ。
13. 前記圧電アクチュエータは、前記第２方向の長さが、前記第３方向の長さよりも長く、
    前記第２幹部は、前記第２圧電層の前記第２方向の端部に配置されていることを特徴とする、請求項７〜１２のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
14. 前記第２圧電層の、前記第２方向の一端かつ前記第３方向の一方側に、前記第１幹部が配置され、
    前記第２圧電層の、前記第２方向の他端かつ前記第３方向の他方側に、別の前記第１幹部が配置され、
    前記第２圧電層の、前記第２方向の一端かつ前記第３方向の他方側に、前記第２幹部が配置され、
    前記第２圧電層の、前記第２方向の他端かつ前記第３方向の一方側に、別の前記第２幹部が配置されていることを特徴とする、請求項５又は１２に記載の圧電アクチュエータ。
15. 前記第２圧電層の、前記第２方向の一端かつ前記第３方向の他方側に、前記第２幹部が配置され、
    前記第２幹部に対して前記第３方向の他方に、給電部との第１接点が設けられており、前記第２幹部は、前記第１接点と電気的に接続され、
    前記第２圧電層の、前記第２方向の他端かつ前記第３方向の一方側に、別の前記第２幹部が配置され、
    前記別の第２幹部に対して前記第３方向の一方に、給電部との第２接点が設けられており、前記別の第２幹部は、前記第２接点と電気的に接続され、
    前記第２幹部及び前記別の第２幹部のそれぞれから分岐した複数の前記枝部が、前記第３方向に並び、
    前記第２幹部から分岐した前記複数の第２枝部のうち最も前記第３方向の一方側に位置する第２枝部が、前記別の第２幹部に接続していることを特徴とする、請求項４、５、７〜１４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
16. 前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、それぞれ、前記第１方向の厚みが１５μｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

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