JP2022054645A - 圧電アクチュエータ、及び、液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエータの端部に絶縁性接着剤が介在しない部分が生じた場合でも絶縁破壊を抑制する。【解決手段】Ｌ字電極５７の部分５７ｂは、第１部分５７１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分５７１を挟む第２部分５７２と、に分割されている。また、浮き電極６６の電極６６ａは、第１部分６６１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分６６１を挟む第２部分６６２と、に分割されている。第１部分５７１，６６１は、いずれも、電位が付与されない浮き電極である。【選択図】図１１

Description

本発明は、複数の圧電層及び複数の電極層で構成される圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１には、第１圧電層の表面に個別電極（駆動電極）、第２圧電層の表面に第１導電部（高電位電極）、絶縁層（第３圧電層）の表面に第２導電部（低電位電極）がそれぞれ配置された圧電アクチュエータが示されている。さらに、特許文献１の変形例２では、絶縁層（第３圧電層）の表面に配置された補助電極（第２補助電極）が、第１圧電層の表面に配置された表面電極（第１補助電極）と、圧電層の走査方向又は搬送方向（第２方向）の端部において、各圧電層の厚み方向に沿った方向（第１方向）に重なっている。

特開２０１８－１５７０７９号公報（図１５）

特許文献１において、圧電アクチュエータと流路ユニットとを、絶縁性接着剤を介して互いに接着することが考えられる。これは、流路ユニットにおいて圧電アクチュエータと接着されるプレートが低電位（ＧＮＤ電位等）に保持された場合に、当該プレートと、圧電アクチュエータの高電位に保持される電極（高電位電極、第１補助電極、第２補助電極等）との間で電界が生じ、絶縁破壊が生じるという問題を抑制するためである。

しかしながら、接着剤を均一に塗布するのは困難であり、例えば、第３圧電層の裏面の中央に接着剤を滴下して接着工程を行った場合には、圧電アクチュエータの端部にまで接着剤が拡がらず、当該端部に接着剤がない状態となり得る。また、圧電アクチュエータと流路ユニットとを接着する際に、圧電アクチュエータの端部に応力が集中すると、圧電アクチュエータの端部の接着剤が薄くなり、ひいては当該端部に接着剤がない状態となり得る。

このように圧電アクチュエータの端部に絶縁性接着剤がない状態では、上記変形例２の圧電アクチュエータにおける、絶縁層（第３圧電層）の表面に配置された補助電極（第２補助電極）と、流路ユニットの上記プレートとの間に、絶縁性接着剤が介在しない部分が生じ得る。この場合、第３圧電層における上記絶縁性接着剤が介在しない部分に電界が生じ、絶縁破壊が生じてしまう。

本発明の目的は、圧電アクチュエータの端部に絶縁性接着剤が介在しない部分が生じた場合でも絶縁破壊を抑制できる、圧電アクチュエータ及び液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の第１観点に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、前記第２補助電極は、第１部分と、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記第１部分を挟む第２部分とに、分割されており、前記第１部分は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする。

本発明の第２観点に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、前記第１補助電極は、前記第２方向の一端部と、前記第２方向の他端部であって、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記一端部を挟む他端部と、を有し、前記第２補助電極は、前記第１補助電極の前記一端部と前記第１方向に重ならないことを特徴とする。

本発明の第３観点に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、前記第２電極層の前記高電位電極は、前記第１補助電極と前記第１方向に重なる重複部を有し、前記第１補助電極及び前記重複部は、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において、互いに前記第１方向に重なり、かつ、前記第１圧電層に形成された前記第２方向に並ぶ複数の貫通孔を介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含む、圧電アクチュエータと、前記第１方向において前記第３圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された前記低電位に保持されるプレートを有し、複数のノズルが形成された流路ユニットと、を備えた液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータと前記流路ユニットとは、前記プレートと前記第３圧電層との間に配置された絶縁性接着剤により互いに接着され、前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、前記第２補助電極は、第１部分と、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記第１部分を挟む第２部分とに、分割されており、前記第１部分は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ及びヘッド３を含むプリンタ１の全体構成図である。 ヘッド３の平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 図５の断面におけるアクチュエータ部９０の動作を示す図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、最も上方の圧電層４１の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、中間の圧電層４２の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、最も下方の圧電層４３の上面を示す平面図である。 図９に示す領域Ｘの拡大図である。 （ａ）は、図１０のＸＩＡ－ＸＩＡ線に沿った断面図である。（ｂ）は、図１０のＸＩＢ－ＸＩＢ線に沿った断面図である。 （ａ），（ｂ）は、それぞれ、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２を示す図１１（ａ），（ｂ）相当の図である。 本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３２２を示す図１１（ａ）相当の図である。 本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエータ４２２を示す図１１（ａ）相当の図である。 本発明の第５実施形態に係る圧電アクチュエータ５２２を示す図９相当の図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｙ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第３方向」に該当する。

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ及びヘッド３を含むプリンタ１の全体構成について説明する。

プリンタ１は、本発明の「液体吐出ヘッド」の第１実施形態に係るヘッド３と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面（Ｚ方向において下方を向く面）には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。流路ユニット２１及び圧電アクチュエータ２２は、共に、Ｚ方向から見て、Ｘ方向の長さがＹ方向の長さよりも長い、矩形状である。

＜流路ユニットの構成＞
流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された金属製の４枚のプレート３１～３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている（図２参照）。各インク供給口８は、インクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

＜圧電アクチュエータの構成＞
圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、３つの圧電層４１～４３と、複数の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とを有する。

３つの圧電層４１～４３は、それぞれＺ方向を厚み方向として、Ｚ方向に積層されている。圧電層４２は、圧電層４１に対してＺ方向に積層されている。圧電層４３は、圧電層４１及び圧電層４２に対してＺ方向に積層され、圧電層４１との間に圧電層４２を挟む。圧電層４１が本発明の「第１圧電層」に該当し、圧電層４２が本発明の「第２圧電層」に該当し、圧電層４３が本発明の「第３圧電層」に該当する。

各圧電層４１～４３の厚みは互いに同じ（略４μｍ）であり、圧電層４１～４３全体の厚みは略１３μｍである。

各圧電層４１～４３は、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。

圧電層４３は、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。プレート３１は、Ｚ方向において圧電層４３の圧電層４２と反対側の面に配置されており、低電位（ＧＮＤ電位）に保持される。

圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１とは、圧電層４３とプレート３１との間に配置された絶縁性接着剤Ａ（図４及び図５参照）により、互いに接着されている。絶縁性接着剤Ａは、例えば、エポキシ樹脂系接着剤であってよい。

複数の駆動電極５１は、図３に示すように、圧電層４１の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

複数の駆動電極５１は、図７に示すように、圧電層４１の上面の中央領域（圧電層４１におけるＸ方向の両端及びＹ方向の両端を除く領域）において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方（図７の上方）及び他方（図７の下方）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する駆動電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該駆動電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、駆動電極５１の厚みには影響が出ず、駆動電極５１を適切に形成できる。また、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある駆動電極５１とＸ方向の端部にある駆動電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

圧電層４１の上面には、駆動電極５１及びダミー電極５９に加え、接続電極５４，５５が配置されている。接続電極５４，５５は、ＣＯＦ２３と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、制御部の制御により、ＣＯＦ２３の配線を介して、接続電極５４に高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、かつ、接続電極５５に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。

接続電極５４，５５は、駆動電極５１の配置領域外である圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に並んでいる。

圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置されている。

圧電層４１のＹ方向の他端（図７の右端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置されている。

接続電極５４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された８つの電極５４ａで構成されている。接続電極５５は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された８つの電極５５ａで構成されている。電極５４ａ，５５ａは、サイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。

高電位電極５２は、図４に示すように、圧電層４２の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。

高電位電極５２は、図８に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１と、各幹部５２１から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、それぞれ接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）とＺ方向に重なる２つの重複部５２４とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。各幹部５２１は、複数の枝部５２３を連結している。

２つの幹部５２１のうち、一方は、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）かつＹ方向の一方側（図８の左側）に配置され、他方は、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）かつＹ方向の他方側（図８の右側）に配置されている。一方の幹部５２１からは、３つの枝部５２３が、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から他端（図８の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。他方の幹部５２１からは、４つの枝部５２３が、圧電層４１のＸ方向の他端（図８の下端）から一端（図８の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。つまり、２つの幹部５２１において、枝部５２３が延びる方向は互いに逆である。

２つの重複部５２４のうち、一方は、圧電層４２のＸ方向の一方側（図８の上側）かつＹ方向の一端（図８の左端）に配置され、他方は、圧電層４２のＸ方向の他方側（図８の下側）かつＹ方向の他端（図８の右端）に配置されている。一方の重複部５２４は、一方の幹部５２１に接続し、かつ、一方の幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち圧電層４２においてＹ方向の最も外側（図８の左側）に位置する枝部５２３に接続している。他方の重複部５２４は、他方の幹部５２１に接続し、かつ、他方の幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち圧電層４２においてＹ方向の最も外側（図８の右側）に位置する枝部５２３に接続している。

各重複部５２４は、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と電気的に接続されている。

圧電層４２の上面には、高電位電極５２に加え、接続電極５６と、浮き電極６４，６５とが配置されている。これらのうち、接続電極５６は、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５５の３つの電極５５ａ（図７参照）と電気的に接続されている。一方、浮き電極６４，６５は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

接続電極５６及び浮き電極６４は、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、重複部５２４と共に、Ｘ方向に並んでいる。

圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）において、接続電極５６は、圧電層４２におけるＸ方向の他方側（図８の下側）に配置され、浮き電極６４は、Ｘ方向において重複部５２４と接続電極５６との間に配置されている。

圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）において、接続電極５６は、圧電層４２におけるＸ方向の一方側（図８の上側）に配置され、浮き電極６４は、Ｘ方向において接続電極５６と重複部５２４との間に配置されている。

接続電極５６は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、３つの電極５６ａで構成されている。浮き電極６４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された１０個の電極６４ａで構成されている。１０個の電極６４ａのうち、重複部５２４に近い５個の電極６４ａは、接続電極５４の電極５４ａ（図７参照）とＺ方向に重なり、残り５個の電極６４ａは、接続電極５５の電極５５ａ（図７参照）とＺ方向に重なる。電極５６ａ，６４ａは、サイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。

浮き電極６５は、Ｙ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６５ａで構成されている。電極６５ａは、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）及び他端（図８の下端）のそれぞれにおいて、幹部５２１とＹ方向に並び、Ｙ方向に等間隔で配置されている。

低電位電極５３は、図４に示すように、圧電層４３の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間に配置されている。

低電位電極５３は、図９に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１と、各幹部５３１から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、それぞれ接続電極５５の３つの電極５５ａ（図７参照）とＺ方向に重なる２つの重複部５３４とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１は、複数の枝部５３３を連結している。

２つの幹部５３１のうち、一方は、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の他方側（図９の右側）に配置され、他方は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の一方側（図９の左側）に配置されている。一方の幹部５３１からは、４つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から他端（図９の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。他方の幹部５３１からは、３つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から一端（図９の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。つまり、２つの幹部５３１において、枝部５３３が延びる方向は互いに逆である。

なお、一方の幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３は、他方の幹部５３１に接続している。換言すると、一方の幹部５３１から分岐した４つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３と、他方の幹部５３１から分岐した３つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の他方側（図９の右側）に位置する枝部５３３とは、同じである。当該枝部５３３は、Ｘ方向の一端が一方の幹部５３１に接続し、Ｘ方向の他端が他方の幹部５３１に接続している。

２つの重複部５３４のうち、一方は、圧電層４３のＸ方向の一方側（図９の上側）かつＹ方向の他端（図９の右端）に配置され、他方は、圧電層４３のＸ方向の他方側（図９の下側）かつＹ方向の一端（図９の左端）に配置されている。一方の重複部５３４は、一方の幹部５３１に接続している。他方の重複部５３４は、他方の幹部５３１に接続している。

各重複部５３４は、圧電層４２に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５６の３つの電極５６ａ（図８参照）と電気的に接続されている。接続電極５６は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５５の３つの電極５５ａ（図７参照）と電気的に接続されている。したがって、各重複部５３４は、接続電極５６（図８参照）を介して、接続電極５５の３つの電極５５ａ（図７参照）と電気的に接続されている。

圧電層４３の上面には、低電位電極５３に加え、２つのＬ字電極５７と、浮き電極６６とが配置されている。これらのうち、２つのＬ字電極５７は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘ（図１１（ａ）参照）を介して、高電位電極５２の重複部５２４（図８参照）と電気的に接続されている。重複部５２４は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図１１（ａ）参照）を介して、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と電気的に接続されている。したがって、２つのＬ字電極５７は、それぞれ、重複部５２４を介して、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と電気的に接続されている。一方、浮き電極６６は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

２つのＬ字電極５７のうち、一方は、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の一端（図９の左端）の角部に配置され、他方は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の他端（図９の右端）の角部に配置されている。２つのＬ字電極５７は、それぞれ、Ｙ方向に延びる部分５７ａと、Ｘ方向に延びる部分５７ｂとを有する。

浮き電極６６は、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）のそれぞれにおいて、Ｌ字電極５７の部分５７ｂと重複部５３４との間に配置されている。浮き電極６６は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された１０個の電極６６ａ，６６ｂで構成されている。１０個の電極６６ａ，６６ｂのうち、５個の電極６６ａは、接続電極５４の電極５４ａ（図７参照）及び浮き電極６４の電極６４ａ（図８参照）とＺ方向に重なり、５個の電極６６ｂは、接続電極５５の電極５５ａ（図７参照）及び浮き電極６４の電極６４ａ（図８参照）とＺ方向に重なる。電極６６ａ，６６ｂは、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。

圧電層４１の上面（Ｚ方向において圧電層４１の圧電層４２と反対側の面）に配置された、駆動電極５１、ダミー電極５９、接続電極５４，５５が、第１電極層７１を構成する（図７参照）。圧電層４２の上面（Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間）に配置された、高電位電極５２、接続電極５６及び浮き電極６４，６５が、第２電極層７２を構成する（図８参照）。圧電層４３の上面（Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間）に配置された、低電位電極５３、Ｌ字電極５７及び浮き電極６６が、第３電極層７３を構成する（図９参照）。第１電極層７１、第２電極層７２及び第３電極層７３を構成する各電極のＺ方向の厚みは、０．５～１．５μｍである。

接続電極５４（図７参照）は、高電位（ＶＤＤ電位）に保持され、本発明の「第１補助電極」に該当する。Ｌ字電極５７の部分５７ｂ、及び、浮き電極６６の電極６６ａ（図９参照）は、それぞれ、圧電層４３におけるＹ方向の端部において接続電極５４（図７参照）と重なり、本発明の「第２補助電極」に該当する。圧電層４３の上面においてＬ字電極５７よりもＹ方向の外側には、電極が存在しない。圧電層４３の上面において浮き電極６６よりもＹ方向の外側には、電極が存在しない。

Ｌ字電極５７の部分５７ｂは、図１０及び図１１（ａ）に示すように、第１部分５７１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分５７１を挟む第２部分５７２と、に分割されている。第１部分５７１の幅（Ｙ方向の長さ）は、第２部分５７２の幅よりも小さく、略３００μｍである。第１部分５７１と第２部分５７２とのＹ方向の間隔Ｄは、略１０μｍである。

第２部分５７２は、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘ（図１１（ａ）参照）を介して、高電位電極５２の重複部５２４と電気的に接続されている。一方、第１部分５７１は、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない浮き電極である。

浮き電極６６の電極６６ａは、図１０及び図１１（ｂ）に示すように、第１部分６６１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分６６１を挟む第２部分６６２と、に分割されている。第１部分６６１の幅（Ｙ方向の長さ）は、第２部分６６２の幅よりも小さく、略３００μｍである。第１部分６６１と第２部分６６２とのＹ方向の間隔Ｄは、略１０μｍである。

第１部分６６１及び第２部分６６２は、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない浮き電極である。

第１部分６６１は、さらに、図１０に示すように、互いに分離した２つの電極部６６１ａ，６６１ｂで構成される。２つの電極部６６１ａ，６６１ｂは、互いに同じサイズ及び形状を有し、Ｘ方向に互いに離隔している。

圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部において、図１１（ａ）に示すように、接続電極５４、重複部５２４、及び、Ｌ字電極５７の部分５７ｂがＺ方向に積層されており、また図１１（ｂ）に示すように、接続電極５４及び電極６４ａ，６６ａがＺ方向に積層されている。つまり、重複部５２４は、接続電極５４及び部分５７ｂとＺ方向に重なっている。電極６４ａは、接続電極５４及び電極６６ａとＺ方向に重なっている。重複部５２４及び電極６４ａは、本発明の「重複部」に該当する。

＜アクチュエータ部＞
図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１～４３からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、Ｌ字電極５７の部分５７ｂは、図１０及び図１１（ａ）に示すように、第１部分５７１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分５７１を挟む第２部分５７２と、に分割されている。また、浮き電極６６の電極６６ａは、図１０及び図１１（ｂ）に示すように、第１部分６６１と、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に第１部分６６１を挟む第２部分６６２と、に分割されている。第１部分５７１，６６１は、いずれも、電位が付与されない浮き電極である。この場合、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ２２の端部に絶縁性接着剤Ａが介在しない部分Ｒが生じたとしても、圧電層４３の上面における部分ＲとＺ方向に重なる領域に浮き電極（第１部分５７１，６６１）が配置されているため、当該領域に高電位に保持される電極が配置されている場合に比べ、部分Ｒの電界強度が弱まり、絶縁破壊を抑制できる。

また、本実施形態では、後述の第２実施形態（第１部分５７１，６６１がない構成：図１２参照）に比べ、第１部分５７１，６６１があることで、圧電アクチュエータ２２の端部の剛性が向上し、圧電アクチュエータ２２の端部の反りを抑制できる。

接続電極５４、及び、Ｌ字電極５７の第２部分５７２は、高電位電極５２と電気的に接続されている（図１１（ａ）参照）。この場合、高電位電極５２（図８参照）に大電圧が付与された場合に、高電位電極５２において接続電極５４（図７参照）に近い個別部（Ｙ方向両端にある個別部）５２ａと遠い個別部（Ｙ方向中央にある個別部）５２ａとの間で起こる電圧降下を抑制することができる。

電極６６ａの第１部分６６１及び第２部分６６２は、いずれも、電位が付与されない浮き電極である（図１１（ｂ）参照）。この場合、圧電アクチュエータ２２の端部に浮き電極である電極６６ａが配置されたことで、圧電アクチュエータ２２の端部の剛性が向上し、圧電アクチュエータ２２の端部の反りを抑制できる。

電極６６ａの第１部分６６１は、互いに分離した２つの電極部６６１ａ，６６１ｂで構成される（図１０参照）。この場合、第１部分６６１を分割したことで、部分Ｒ（図１１（ｂ）参照）の電界強度がさらに弱まり、絶縁破壊をより確実に抑制できる。

電極部６６１ａ，６６１ｂは、Ｘ方向に互いに離隔している（図１０参照）。第１部分６６１と第２部分６６２とのＹ方向の分離により、第１部分６６１のＹ方向の長さは短くなる（図１０及び図１１（ｂ）参照）。そのため、第１部分６６１をさらにＹ方向に複数に分離すると、各電極部６６１ａ，６１１ｂの幅（Ｙ方向の長さ）が短くなってしまう。一方、第１部分６６１のＸ方向の長さは、第１部分６６１と第２部分６６２との分離の影響を受けないため、第１部分６６１をＸ方向に分離しても、各電極部６６１ａ，６６１ｂの幅を確保することができる（図１０参照）。ひいては、各電極部６６１ａ，６６１ｂの幅を確保することで、各電極部６６１ａ，６６１ｂによる剛性向上効果を実現できる。

第２電極層７２（図８参照）は、接続電極５４及びＬ字電極５７の部分５７ｂとＺ方向に重なる重複部５２４を有する（図１１（ａ）参照）。また、第２電極層７２（図８参照）は、接続電極５４及び浮き電極６６の電極６６ａとＺ方向に重なる電極６４ａを有する（図１１（ｂ）参照）。つまり、圧電アクチュエータ２２の端部において、図１１（ａ）に示すように、接続電極５４、重複部５２４、及び、Ｌ字電極５７の部分５７ｂがＺ方向に積層されており、また図１１（ｂ）に示すように、接続電極５４及び電極６４ａ，６６ａがＺ方向に積層されている。当該構成により、圧電アクチュエータ２２の端部の剛性が向上し、圧電アクチュエータ２２の端部の反りを抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図１２を参照し、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２について説明する。

本実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２は、本発明の「第２補助電極」に該当するＬ字電極の部分５７ｂ及び浮き電極の電極６６ａの構成が第１実施形態と異なり、それ以外の構成は第１実施形態と同じである。

本実施形態において、Ｌ字電極の部分５７ｂは、第１実施形態（図１１（ａ）参照）の第１部分５７１を有さず、第１実施形態の第２部分５７２のみで構成されている（図１２（ａ）参照）。同様に、本実施形態において、浮き電極の電極６６ａは、第１実施形態（図１１（ｂ）参照）の第１部分６６１を有さず、第１実施形態の第２部分６６２のみで構成されている（図１２（ｂ）参照）。

接続電極５４の各電極５４ａは、Ｙ方向の一端部５４ａｘと、Ｙ方向において圧電層４３の端部の縁４３ａとの間に上記一端部を挟む、Ｙ方向の他端部５４ａｙとを有する。Ｌ字電極の部分５７ｂ（第２部分５７２）、及び、浮き電極の電極６６ａ（第２部分６６２）は、それぞれ、上記一端部５４ａｘとＺ方向に重ならない。換言すると、Ｌ字電極の部分５７ｂ（第２部分５７２）の縁４３ａからのＹ方向の距離は、接続電極５４の各電極５４ａ（図７参照）の縁４３ａからのＹ方向の距離よりも大きい。浮き電極の電極６６ａ（第２部分６６２）の縁４３ａからのＹ方向の距離は、接続電極５４の電極５４ａの縁４３ａからのＹ方向の距離よりも大きい。

以上に述べたように、本実施形態によれば、Ｌ字電極の部分５７ｂは、図１２（ａ）に示すように、電極５４ａの一端部５４ａｘとＺ方向に重ならない。また、浮き電極の電極６６ａは、図１２（ｂ）に示すように、電極５４ａの一端部５４ａｘとＺ方向に重ならない。この場合、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ２２２の端部に絶縁性接着剤Ａが介在しない部分Ｒが生じたとしても、圧電層４３の上面における部分ＲとＺ方向に重なる領域に電極が存在しないため、当該領域に高電位に保持される電極が配置されている場合に比べ、部分Ｒの電界強度が弱まり、絶縁破壊を抑制できる。

また、上述の第１実施形態（第１部分５７１，６６１がある構成：図１１参照）では、第１部分５７１，６６１は、浮き電極であるものの、その上方に高電位に保持される接続電極５４が配置されているため、低電位（ＧＮＤ電位）よりも若干高い電位を持つ。そのため、絶縁性接着剤Ａが介在しない部分Ｒにおいて、低電位（ＧＮＤ電位）に保持されたプレート３１と第１部分５７１，６６１との間で、ある程度の電界が生じ得る。本実施形態（第１部分５７１，６６１がない構成：図１２参照）では、プレート３１と、圧電アクチュエータ２２２においてＧＮＤ電位よりも若干高い電位を持つ電極（図１２（ａ）に示す高電位電極５２や、図１２（ｂ）に示す、その上方に高電位に保持される接続電極５４が配置されているために低電位（ＧＮＤ電位）よりも若干高い電位を持つ電極６４ａ）との、Ｚ方向の距離を大きくできるため、部分Ｒの電界強度をより一層弱めることができ、絶縁破壊をより確実に抑制できる。

接続電極５４、及び、Ｌ字電極の部分５７ｂは、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ、及び、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘをそれぞれ介して、高電位電極５２と電気的に接続されている（図１２（ａ）参照）。この場合、高電位電極５２（図８参照）に大電圧が付与された場合に、高電位電極５２において接続電極５４（図７参照）に近い個別部（Ｙ方向両端にある個別部）５２ａと遠い個別部（Ｙ方向中央にある個別部）５２ａとの間で起こる電圧降下を抑制することができる。

電極６６ａは、電位が付与されない浮き電極である（図１２（ｂ）参照）。この場合、圧電アクチュエータ２２の端部に浮き電極である電極６６ａが配置されたことで、圧電アクチュエータ２２の端部の剛性が向上し、圧電アクチュエータ２２の端部の反りを抑制できる。

＜第３実施形態＞
続いて、図１３を参照し、本発明の第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３２２について説明する。

本実施形態に係る圧電アクチュエータ３２２は、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と、高電位電極５２の重複部５２４とが、圧電層４１に形成されたＹ方向に並ぶ複数の貫通孔４１ｘを介して互いに電気的に接続されている点、及び、圧電層４３の上面における接続電極５４の３つの電極５４ａ及び高電位電極５２の重複部５２４とＺ方向に重なる領域に、電極が配置されていない点において、第１実施形態と異なり、それ以外の構成は第１実施形態と同じである。

本実施形態によれば、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と、高電位電極５２の重複部５２４とが、圧電層４３におけるＹ方向の端部において、互いにＺ方向に重なり、かつ、圧電層４１に形成されたＹ方向に並ぶ複数の貫通孔４１ｘを介して互いに電気的に接続されている（図１３参照）。この場合、圧電アクチュエータ３２２の端部に絶縁性接着剤Ａが介在しない部分Ｒが生じたとしても、圧電層４３の上面における部分ＲとＺ方向に重なる領域に電極が存在しないため、当該領域に高電位に保持される電極が配置されている場合に比べ、部分Ｒの電界強度が弱まり、絶縁破壊を抑制できる。

また、本実施形態では、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と、高電位電極５２の重複部５２４との、Ｙ方向に並ぶ複数の貫通孔４１ｘを介した電気的接続により、高電位電極５２の電気抵抗を下げることができる。これにより、高電位電極５２に大電圧が付与された場合に生じ得る電圧降下の抑制効果を維持できる。

＜第４実施形態＞
続いて、図１４を参照し、本発明の第４実施形態に係る圧電アクチュエータ４２２について説明する。

本実施形態に係る圧電アクチュエータ４２２（図１４）は、第３実施形態に係る圧電アクチュエータ３２２（図１３）において、圧電層４３の上面における接続電極５４の３つの電極５４ａ及び高電位電極５２の重複部５２４とＺ方向に重なる領域に、電位が付与されない浮き電極５８を配置したものである。

本実施形態（図１４）によれば、第３実施形態（図１３）に比べ、浮き電極５８があることで部分Ｒの電界強度が大きくなり得るが、浮き電極５８は高電位に保持される電極ではないため、部分Ｒの電界強度を抑えることができ、絶縁破壊を抑制できる。また、第３実施形態（図１３）と同様、接続電極５４の３つの電極５４ａ（図７参照）と、高電位電極５２の重複部５２４との、Ｙ方向に並ぶ複数の貫通孔４１ｘを介した電気的接続により、高電位電極５２の電気抵抗を下げることができ、高電位電極５２に大電圧が付与された場合に生じ得る電圧降下の抑制効果を維持できる。さらに、本実施形態では、圧電アクチュエータ２２の端部に浮き電極５８を配置したことで、圧電アクチュエータ２２の端部の剛性が向上し、圧電アクチュエータ２２の端部の反りを抑制できる。

＜第５実施形態＞
続いて、図１５を参照し、本発明の第５実施形態に係る圧電アクチュエータ５２２について説明する。

本実施形態に係る圧電アクチュエータ５２２（図１５）は、Ｌ字電極５７の構成が第１実施形態（図９）と異なり、それ以外の構成は第１実施形態と同じである。

Ｌ字電極５７は、図１５に示すように、Ｙ方向に延びる部分５７ａと、Ｘ方向に延びる部分５７ｂとを有する。部分５７ｂは、第１実施形態（図９）と同様、第１部分５７１と第２部分５７２とに分割されている。さらに本実施形態では、第１部分５７１が、Ｘ方向に互いに離隔した複数の電極で構成される。また、部分５７ａは、第１実施形態（図９）では分割されていないが、本実施形態では、第１部分５７３と、Ｘ方向において圧電層の端部の縁４３ｂとの間に第１部分５７３を挟む第２部分５７４とに分割されている。第２部分５７４は、部分５７ｂの第２部分５７２と接続し、高電位電極５２と電気的に接続されている。一方、第１部分５７３は、部分５７ｂの第１部分５７１と同様、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない浮き電極である。

Ｌ字電極５７は、さらに、Ｚ方向と直交する平面において三角形状の、電位が付与されない浮き電極５７ｃを有する。浮き電極５７ｃは、圧電層４３におけるＺ方向と直交する平面の角部（図１５において左上の角部及び右下の角部）において、部分５７ｂの第１部分５７１と第２部分５７２との間、かつ、部分５７ａの第１部分５７３と第２部分５７４との間に配置されている。浮き電極５７ｃは、本発明の「第３補助電極」に該当する。

本実施形態によれば、接着剤が特に行き渡り難い圧電アクチュエータ５２２の角部において、Ｌ字電極５７をさらに分離し、浮き電極５７ｃを含む構成とすることで、電界強度を弱めることができ、絶縁破壊を抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

圧電アクチュエータを構成する圧電層の数は、上述の実施形態（図１１参照）では３つであるが、４つ以上であってもよい。また、第３圧電層（上述の実施形態の圧電層４３）と、流路ユニットのプレート（上述の実施形態のプレート３１）との間に、別の圧電層が配置されてもよい。

第１補助電極は、上述の実施形態（図７参照）では複数の電極５４ａで構成されるが、これに限定されない。例えば、第１補助電極（図７の接続電極５４参照）は、Ｘ方向に延びる１つの電極で構成されてもよい。

第２補助電極は、上述の実施形態（図９参照）では第１部分５７１，６６１の幅が第２部分５７２，６６２の幅よりも小さいが、これに限定されない。例えば、第１部分５７１，６６１の幅が第２部分５７２，６６２の幅以上であってもよい。

第２補助電極の第１部分を構成する複数の電極部（図１０の電極部６６１ａ，６６１ｂ）は、Ｘ方向に互いに離隔しているが、これに限定されず、Ｙ方向に互いに離隔してもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

３ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１５ ノズル
２１ 流路ユニット
２２；２２２；３２２；４２２；５２２ 圧電アクチュエータ
３１ プレート
４１ 圧電層（第１圧電層）
４１ｘ 貫通孔
４２ 圧電層（第２圧電層）
４３ 圧電層（第３圧電層）
５１ 駆動電極
５２ 高電位電極
５２４ 重複部
５３ 低電位電極
５４ 接続電極（第１補助電極）
５７ｂ 部分（第２補助電極）
５７ｃ 浮き電極（第３補助電極）
５７１ 第１部分
５７２ 第２部分
５８ 浮き電極
６４ａ 電極（重複部）
６６ａ 電極（第２補助電極）
６６１ 第１部分
６６１ａ 電極部
６６１ｂ 電極部
６６２ 第２部分
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
７３ 第３電極層
Ａ 絶縁性接着剤

Claims (13)

1. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
   前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、
   前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、
   前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、
   前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、
   前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、
   前記第２補助電極は、第１部分と、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記第１部分を挟む第２部分とに、分割されており、
   前記第１部分は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１補助電極及び前記第２補助電極の前記第２部分は、前記高電位電極と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する平面の角部において、前記第２補助電極の前記第１部分と前記第２部分との間に配置された、電位が付与されない浮き電極である第３補助電極を含むことを特徴とする、請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第２補助電極の前記第２部分は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記第２補助電極の前記第１部分は、互いに分離した複数の電極部で構成されることを特徴とする、請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記複数の電極部は、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に互いに離隔していることを特徴とする、請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
7. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
   前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、
   前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、
   前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、
   前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、
   前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、
   前記第１補助電極は、前記第２方向の一端部と、前記第２方向の他端部であって、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記一端部を挟む他端部と、を有し、
   前記第２補助電極は、前記第１補助電極の前記一端部と前記第１方向に重ならないことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
8. 前記第１補助電極及び前記第２補助電極は、前記高電位電極と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記第２補助電極は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする、請求項７に記載の圧電アクチュエータ。
10. 前記第２電極層は、前記第１補助電極及び前記第２補助電極と前記第１方向に重なる重複部を有することを特徴とする、請求項１～９のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
11. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
    前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、
    前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、
    前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含み、
    前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、
    前記第２電極層の前記高電位電極は、前記第１補助電極と前記第１方向に重なる重複部を有し、
    前記第１補助電極及び前記重複部は、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において、互いに前記第１方向に重なり、かつ、前記第１圧電層に形成された前記第２方向に並ぶ複数の貫通孔を介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
12. 前記第３電極層は、さらに、前記第１補助電極及び前記重複部と前記第１方向に重なり、電位が付与されない浮き電極をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載の圧電アクチュエータ。
13. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、それぞれ高電位及び前記高電位よりも低い電位である低電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記高電位に保持される高電位電極を含み、前記第３電極層は、前記低電位に保持される低電位電極を含む、圧電アクチュエータと、
    前記第１方向において前記第３圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された前記低電位に保持されるプレートを有し、複数のノズルが形成された流路ユニットと、を備えた液体吐出ヘッドであって、
    前記圧電アクチュエータと前記流路ユニットとは、前記プレートと前記第３圧電層との間に配置された絶縁性接着剤により互いに接着され、
    前記第１電極層は、さらに、前記高電位に保持される第１補助電極を含み、
    前記第３電極層は、さらに、前記第３圧電層における前記第１方向と直交する第２方向の端部において前記第１補助電極と前記第１方向に重なる第２補助電極を含み、
    前記第２補助電極は、第１部分と、前記第２方向において前記第３圧電層の前記端部の縁との間に前記第１部分を挟む第２部分とに、分割されており、
    前記第１部分は、電位が付与されない浮き電極であることを特徴とする、液体吐出ヘッド。

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