JP2021187021A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】反りによる複数のアクチュエータ部間における変形特性のばらつきを抑制できるようにする。【解決手段】第３電極層７３は、圧電層４１の端部を除く領域に配置された複数の駆動電極５１と、圧電層４１のＸ方向（圧電アクチュエータ２２の長手方向）の端部に配置された、電位が付与されない浮き電極６１とを含む。浮き電極６１のＹ方向の長さＬ１は、長さＬ２（Ｙ方向に互いに隣接する２つの駆動電極列５１Ｒを含む領域のＹ方向の長さ）以上である。【選択図】図７

Description

本発明は、第３電極毎に第１〜第３活性部を含むアクチュエータ部が設けられた圧電アクチュエータに関する。

特許文献１には、個別電極（第３電極）毎に１つの活性部Ｒ１と２つの活性部Ｒ２とを含むアクチュエータ部が設けられた圧電アクチュエータが示されている。このような構成の圧電アクチュエータを流路部材に固定し駆動させることで、所謂クロストークを抑制しつつ、安定した吐出を実現できる。

特開２０１８−１５７０７９号公報（図６、段落００２９）

上記構成の圧電アクチュエータにおいて、変形効率を高めるために圧電層の厚みを小さくすると、電極層の厚みが一定という条件では、圧電層の厚みに対する電極層の厚みの比率が大きくなる。この場合、圧電アクチュエータの焼成工程で生じる電極層の熱収縮量が大きくなり、圧電アクチュエータに反りが生じ易くなる。圧電アクチュエータに反りが生じると、反りがある部分とない部分とでアクチュエータ部の変形特性が異なり、複数のアクチュエータ部間において変形特性にばらつきが生じ得る。

本発明の目的は、反りによる複数のアクチュエータ部間における変形特性のばらつきを抑制できる圧電アクチュエータを提供することにある。

本発明に係る圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、前記圧電アクチュエータは、前記第１方向と直交する第２方向の長さが、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向の長さよりも長く、前記複数の第３電極は、前記第１圧電層における前記第２方向の端部を除く領域において、前記第２方向に配列され、かつ、前記第３方向に並ぶ複数の第３電極列を構成し、前記第１電極層は、前記第３圧電層の前記端部に配置され、かつ、前記第３方向の長さが、前記複数の第３電極列のうちの前記第３方向に互いに隣接する２つを含む領域の前記第３方向の長さ以上である、電位が付与されない浮き電極をさらに含むことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。 図１のヘッド３の平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 図５の断面におけるアクチュエータ部９０の動作を示す図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、最も上方の圧電層４１の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、中間の圧電層４２の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１〜４３のうち、最も下方の圧電層４３の上面を示す平面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２を示す図７相当の図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｙ方向が本発明の「第３方向」に該当する。

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成について説明する。

プリンタ１は、ヘッド３と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面（Ｚ方向において下方を向く面）には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。流路ユニット２１及び圧電アクチュエータ２２は、共に、Ｚ方向から見て、Ｘ方向の長さがＹ方向の長さよりも長い、矩形状である。

＜流路ユニットの構成＞
流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１〜３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている（図２参照）。各インク供給口８は、インクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

＜圧電アクチュエータの構成＞
圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、それぞれＺ方向を厚み方向としてＺ方向に積層された３つの圧電層４１〜４３及びインク分離層４４と、複数の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とを有する。

インク分離層４４は、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。インク分離層４４は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料、又は、合成樹脂材料からなる。

圧電層４３は、インク分離層４４の上面に配置されている。圧電層４２は、圧電層４３の上面に配置されている。圧電層４１は、圧電層４２の上面に配置されている。圧電層４１〜４３は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。

３つの圧電層４１〜４３及びインク分離層４４は、それぞれ、Ｚ方向の厚みが１５μｍ以下である。

圧電層４１が本発明の「第１圧電層」に該当し、圧電層４２が本発明の「第２圧電層」に該当する。

複数の駆動電極５１は、図３に示すように、圧電層４１の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

複数の駆動電極５１は、図７に示すように、圧電層４１の上面の中央領域（圧電層４１におけるＸ方向の両端及びＹ方向の両端を除く領域）において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方（図７の上方）及び他方（図７の下方）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する駆動電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該駆動電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、駆動電極５１の厚みには影響が出ず、駆動電極５１を適切に形成できる。また、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある駆動電極５１とＸ方向の端部にある駆動電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

圧電層４１の上面には、駆動電極５１及びダミー電極５９に加え、浮き電極６１、寸法測定用パターン６２、接続電極５４，５５及び補強電極６３が配置されている。これらのうち、接続電極５４，５５は、ＣＯＦ２３と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、制御部の制御により、ＣＯＦ２３の配線を介して、接続電極５４に高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、かつ、接続電極５５に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。一方、浮き電極６１、寸法測定用パターン６２及び補強電極６３は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。寸法測定用パターン６２は、例えば、圧電アクチュエータ２２の製造後に寸法精度を確認するのに用いられる。

浮き電極６１及び寸法測定用パターン６２は、駆動電極５１の配置領域外である圧電層４１のＸ方向の一端（図７の上端）及び他端（図７の下端）のそれぞれにおいて、Ｙ方向に並んでいる。

圧電層４１のＸ方向の一端（図７の上端）及び他端（図７の下端）のそれぞれにおいて、４つの浮き電極６１と、３つの寸法測定用パターン６２とが、Ｙ方向に重なり、かつ、Ｘ方向に互いに離隔して配置されている。寸法測定用パターン６２は、圧電層４１のＹ方向の中央と、圧電層４１のＹ方向の一方側（図７の左側）と、圧電層４１のＹ方向の他方側（図７の右側）とに配置されている。Ｙ方向において、上記中央の寸法測定用パターン６２と一方側の寸法測定用パターン６２との間に、２つの浮き電極６１が配置され、かつ、上記中央の寸法測定用パターン６２と他方側の寸法測定用パターン６２との間に、２つの浮き電極６１が配置されている。上記中央の寸法測定用パターン６２は、Ｙ方向において、圧電層４１のＹ方向の一方側（図７の左側）にある２つの浮き電極６１と、圧電層４１のＹ方向の他方側（図７の右側）にある２つの浮き電極６１との間に配置されている。

各浮き電極６１は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い、矩形状である。各浮き電極６１のＹ方向の長さＬ１は、長さＬ２（Ｙ方向に互いに隣接する２つの駆動電極列５１Ｒを含む領域のＹ方向の長さ）以上である。本実施形態において、長さＬ１は、長さＬ２よりも若干長く、長さＬ３（Ｙ方向に互いに隣接する３つの駆動電極列５１Ｒを含む領域のＹ方向の長さ）よりも短い。

各寸法測定用パターン６２は、各浮き電極６１の幅（Ｘ方向の長さ）よりも若干長い直径を有する円形である。

浮き電極６１及び寸法測定用パターン６２は、駆動電極５１の配置領域から、Ｘ方向に離隔して配置されている。具体的には、各浮き電極６１と、複数の駆動電極５１のうちＸ方向に当該浮き電極６１の最も近くに位置する駆動電極５１との、Ｘ方向の間隔Ｄは、長さＬ４（Ｘ方向に互いに隣接する２つの駆動電極５１を含む領域のＸ方向の長さ）以上である。間隔Ｄが小さいと、浮き電極６１により生じる反りが駆動電極５１の配置領域に影響し、アクチュエータ部９０の変形特性が、反りがない場合に比べて変化し得る。これに対し、本実施形態では、間隔Ｄがある程度長いため、上記問題を抑制できる。なお、各浮き電極６１とダミー電極５９とのＸ方向の間隔は、間隔Ｄよりも小さいが、ダミー電極５９は電位が付与されず、アクチュエータ部９０（図６参照）の変形に寄与しないため、上記の効果には影響しない。

接続電極５４，５５及び補強電極６３は、駆動電極５１の配置領域外である圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に並んでいる。

圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置され、補強電極６３は、Ｘ方向において接続電極５４と接続電極５５との間に配置されている。

圧電層４１のＹ方向の他端（図７の右端）において、接続電極５４は、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置され、接続電極５５は、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置され、補強電極６３は、Ｘ方向において接続電極５４と接続電極５５との間に配置されている。

接続電極５４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５４ａで構成されている。接続電極５５は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５５ａで構成されている。補強電極６３は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６３ａで構成されている。電極５４ａ，５５ａ，６３ａは、サイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。各電極５４ａ，５５ａ，６３ａのＸ方向の長さは、上記長さＬ４以下である。

高電位電極５２は、図４に示すように、圧電層４２の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。

高電位電極５２は、図８に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１，５２２と、各幹部５２１，５２２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、それぞれ接続電極５４（図７参照）とＺ方向に重なる重複部５２４，５２５とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。各幹部５２１，５２２は、複数の枝部５２３を連結している。

圧電層４２の、Ｘ方向の一端（図８の上端）かつＹ方向の一方側（図８の左側）に、幹部５２１が配置され、圧電層４２の、Ｘ方向の他端（図８の下端）かつＹ方向の他方側（図８の右側）に、幹部５２２が配置されている。

幹部５２１は、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）において、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。幹部５２２は、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）において、圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。

幹部５２１から、３つの枝部５２３が、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から他端（図８の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２２から、４つの枝部５２３が、圧電層４１のＸ方向の他端（図８の下端）から一端（図８の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２１から枝部５２３が延びる方向と、幹部５２２から枝部５２３が延びる方向とは、互いに逆である。

重複部５２４は、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）において、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。重複部５２４は、幹部５２１におけるＹ方向の一端（図８の左端）に接続し、かつ、幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の一方（図８の左方）に位置する枝部５２３に接続している。

重複部５２５は、圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）において、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。重複部５２５は、幹部５２２におけるＹ方向の他端（図８の右端）に接続し、かつ、幹部５２２から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の他方（図８の右方）に位置する枝部５２３に接続している。

重複部５２４，５２５は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５４の各電極５４ａ（図７参照）と電気的に接続されている。

圧電層４２の上面には、高電位電極５２に加え、接続電極５６及び補強電極６４，６５が配置されている。これらのうち、接続電極５６は、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５５（図７参照）と電気的に接続されている。一方、補強電極６４，６５は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

接続電極５６及び補強電極６４は、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、重複部５２４，５２５と共に、Ｘ方向に並んでいる。

圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）において、接続電極５６は、圧電層４２におけるＸ方向の他方側（図８の下側）に配置され、補強電極６４は、Ｘ方向において重複部５２４と接続電極５６との間に配置されている。

圧電層４２のＹ方向の他端（図８の右端）において、接続電極５６は、圧電層４２におけるＸ方向の一方側（図８の上側）に配置され、補強電極６４は、Ｘ方向において接続電極５６と重複部５２５との間に配置されている。

接続電極５６は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５６ａで構成されている。補強電極６４は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６４ａで構成されている。電極５６ａ，６４ａは、サイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔で並んでいる。

補強電極６５は、Ｙ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６５ａで構成されている。電極６５ａは、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）及び他端（図８の下端）のそれぞれにおいて、幹部５２１，５２２とＹ方向に並び、Ｙ方向に等間隔で配置されている。

低電位電極５３は、図４に示すように、圧電層４３の上面に配置され、Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間に配置されている。

低電位電極５３は、図９に示すように、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１，５３２と、各幹部５３１，５３２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、それぞれ接続電極５５（図７参照）とＺ方向に重なる重複部５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１，５３２は、複数の枝部５３３を連結している。

圧電層４３の、Ｘ方向の一端（図９の上端）かつＹ方向の他方側（図９の右側）に、幹部５３１が配置され、圧電層４３の、Ｘ方向の他端（図９の下端）かつＹ方向の一方側（図８の右側）に、幹部５３２が配置されている。

幹部５３１は、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）において、圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。幹部５３２は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）において、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）から中央に向かって、Ｙ方向に延びている。

幹部５３１から、４つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から他端（図９の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３２から、３つの枝部５３３が、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から一端（図９の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３１から枝部５３３が延びる方向と、幹部５３２から枝部５３３が延びる方向とは、互いに逆である。

なお、幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３は、幹部５３２に接続している。換言すると、幹部５３１から分岐した４つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３と、幹部５３２から分岐した３つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の他方側（図９の右側）に位置する枝部５３３とは、同じである。当該枝部５３３は、Ｘ方向の一端が幹部５３１に接続し、Ｘ方向の他端が幹部５３２に接続している。

重複部５３４は、圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）において、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。重複部５３４は、幹部５３１におけるＹ方向の他端（図９の右端）に接続している。

重複部５３５は、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）において、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から中央に向かって、Ｘ方向に延びている。重複部５３５は、幹部５３２におけるＹ方向の一端（図９の左端）に接続している。

重複部５３４，５３５は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５６の各電極５６ａ（図８参照）と電気的に接続されている。接続電極５６は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５５（図７参照）と電気的に接続されている。したがって、重複部５３４，５３５は、接続電極５６（図８参照）を介して接続電極５５（図７参照）と電気的に接続されている。

圧電層４３の上面には、低電位電極５３に加え、Ｌ字電極５７，５８及び補強電極６６が配置されている。これらのうち、Ｌ字電極５７，５８は、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔（図示略）を介して、高電位電極５２の重複部５２４，５２５（図８参照）と電気的に接続されている。重複部５２４，５２５は、上述のように、圧電層４１に形成された貫通孔（図示略）を介して、接続電極５４（図７参照）と電気的に接続されている。したがって、Ｌ字電極５７，５８は、重複部５２４，５２５を介して接続電極５４（図７参照）と電気的に接続されている。一方、補強電極６６は、接続電極５４，５５（図７参照）のいずれとも電気的に接続されず、電位が付与されない。

高電位電極５２の下方に高電位電極５２と電気的に接続されるＬ字電極５７，５８を設けたことで、高電位電極５２に大電圧が付与された場合に接続電極５４（図７参照）に対してＹ方向に近い個別部５２aと遠い個別部５２aとの間で起こる電圧降下を抑制することができる。

Ｌ字電極５７は、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）において圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）から中央に向かってＹ方向に延びる部分５７ａと、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）において圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から中央に向かってＸ方向に延びる部分５７ｂとを有する。Ｌ字電極５８は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）において圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）から中央に向かってＹ方向に延びる部分５８ａと、圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）において圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から中央に向かってＸ方向に延びる部分５８ｂとを有する。

補強電極６６は、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）のそれぞれにおいて、重複部５３４，５３５とＸ方向に並んでいる。

圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）において、補強電極６６は、Ｘ方向においてＬ字電極５７の部分５７ｂと重複部５３５との間に配置されている。圧電層４３のＹ方向の他端（図９の右端）において、補強電極６６は、Ｘ方向においてＬ字電極５８の部分５８ｂと重複部５３４との間に配置されている。補強電極６６は、Ｘ方向に互いに等間隔で離隔して配置された、複数の電極６６ａで構成されている。

圧電層４２の上面（Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間）に配置された、高電位電極５２、接続電極５６及び補強電極６４，６５が、第１電極層７１を構成する（図８参照）。圧電層４３の上面（Ｚ方向において圧電層４２の圧電層４１と反対側の面）に配置された、低電位電極５３、Ｌ字電極５７，５８及び補強電極６６が、第２電極層７２を構成する（図９参照）。圧電層４１の上面（Ｚ方向において圧電層４１の圧電層４２と反対側の面）に配置された、駆動電極５１、ダミー電極５９、接続電極５４，５５、補強電極６３、浮き電極６１及び寸法測定用パターン６２が、第３電極層７３を構成する（図７参照）。第１電極層７１、第２電極層７２及び第３電極層７３を構成する各電極のＺ方向の厚みは、０．５〜１．５μｍである。

高電位が本発明の「第１電位」に該当し、高電位電極５２が本発明の「第１電極」に該当する。幹部５２１，５２２が本発明の「第１幹部」に該当し、枝部５２３が本発明の「第１枝部」に該当し、重複部５２４，５２５が本発明の「第１重複部」に該当する。

低電位が本発明の「第２電位」に該当し、低電位電極５３が本発明の「第２電極」に該当する。幹部５３１，５３２が本発明の「第２幹部」に該当し、枝部５３３が本発明の「第２枝部」に該当し、重複部５３４，５３５が本発明の「第２重複部」に該当する。

駆動電極５１が本発明の「第３電極」該当し、駆動電極列５１Ｒが本発明の「第３電極列」に該当する。

各浮き電極６１（図７参照）は、高電位電極５２の幹部５２１，５２２（図８参照）及び低電位電極５３の幹部５３１，５３２（図９参照）のいずれかと、Ｚ方向に重なっている。

接続電極５４が本発明の「第１接続電極」に該当し、接続電極５５が本発明の「第２接続電極」に該当する。

補強電極６３が本発明の「第１補強電極」に該当し、補強電極６４が本発明の「第２補強電極」に該当し、補強電極６６が本発明の「第３補強電極」に該当する。

＜アクチュエータ部＞
図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１〜４３及びインク分離層４４からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第３電極層７３は、圧電層４１のＸ方向（圧電アクチュエータ２２の長手方向）の端部に配置された、電位が付与されない浮き電極６１を含む（図７参照）。浮き電極６１のＹ方向の長さＬ１は、長さＬ２（Ｙ方向に互いに隣接する２つの駆動電極列５１Ｒを含む領域のＹ方向の長さ）以上である。第３電極層７３が設けられた面は、中立面（圧電アクチュエータ２２内で引張も圧縮も生じない面）に対してＺ方向の一方（上方）にある。当該面に、Ｙ方向に比較的長い浮き電極６１を配置し、浮き電極６１によりＹ方向の熱収縮を生じさせることで、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の端部が、Ｚ方向の一方（上方）に反る構成となる。この場合、電極層７１〜７３の熱収縮による反りをＸ方向の端部に集中させることで、当該端部以外にある駆動電極５１の配置領域の反りを抑制でき、ひいては、反りによる複数のアクチュエータ部９０における変形特性のばらつきを抑制できる。

また、圧電層４１〜４３を互いに接着する接着剤が、圧電層４１〜４３の縁からはみ出て圧電層４１の上面に流れ込み、駆動電極５１に付着することが考えられる。この点、本実施形態では、圧電層４１のＸ方向の端部から侵入した接着剤を、浮き電極６１により堰き止めることができ、接着剤が駆動電極５１に付着する問題を抑制できる。

また、圧電層４１のＸ方向の端部に、電位が付与される電極を配置すると、位置ズレにより電極が圧電層４１からはみ出た場合に、圧電層４２，４３上に配置された電極層７１，７２を構成する電極と接触し、短絡が生じることが考えられる。この点、本実施形態では、浮き電極６１は電位が付与されない電極であり、位置ズレにより浮き電極６１が圧電層４１からはみ出た場合でも、上記のような短絡が生じない。

圧電層のＸ方向の端部において、複数の浮き電極６１が、Ｙ方向に互いに離隔して配置されている（図７参照）。浮き電極６１がＹ方向に長すぎると、Ｙ方向の反りが生じ易くなる。これに対し、本実施形態では、Ｙ方向に長い１つの浮き電極６１が配置されるのではなく、複数の浮き電極６１がＹ方向に互いに離隔して配置されているため、各浮き電極６１がＹ方向に長くなりすぎず、Ｙ方向の反りが生じ難い。

浮き電極６１と、複数の駆動電極５１のうちＸ方向に当該浮き電極６１の最も近くに位置する駆動電極５１との、Ｘ方向の間隔Ｄは、長さＬ４（Ｘ方向に互いに隣接する２つの駆動電極５１を含む領域のＸ方向の長さ）以上である（図７参照）。間隔Ｄが小さいと、浮き電極６１により生じる反りが駆動電極５１の配置領域に影響し、アクチュエータ部９０の変形特性が、反りがない場合に比べて変化し得る。これに対し、本実施形態では、間隔Ｄがある程度長いため、上記問題を抑制できる。

浮き電極６１は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い、矩形状である（図７参照）。この場合、浮き電極６１の形状が簡素であるため電極形成が容易であると共に、浮き電極６１のＸ方向の長さが短いため圧電アクチュエータ２２のＸ方向の小型化を実現できる。

寸法測定用パターン６２は、浮き電極６１とＹ方向に重なっている（図７参照）。寸法測定用パターン６２が浮き電極６１とＹ方向に重ならない場合、圧電アクチュエータ２２がＸ方向に大型化し得る。これに対し、本実施形態では、寸法測定用パターン６２が浮き電極６１とＹ方向に重なっているため、圧電アクチュエータ２２のＸ方向の大型化を抑制できる。

複数の寸法測定用パターン６２の少なくとも１つ（図７においてＹ方向の中央の寸法測定用パターン６２）が、Ｙ方向において複数の浮き電極６１の間に配置されている。このように浮き電極６１及び寸法測定用パターン６２を配置することで、Ｙ方向のスペースの有効化、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の小型化を実現できる。

浮き電極６１が、Ｙ方向において複数の寸法測定用パターン６２の間に配置されている（図７参照）。このように浮き電極６１及び寸法測定用パターン６２を配置することで、Ｙ方向のスペースの有効化、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の小型化を実現できる。

浮き電極６１（図７参照）は、高電位電極５２の幹部５２１，５２２（図８参照）及び低電位電極５３の幹部５３１，５３２（図９参照）のいずれかと、Ｚ方向に重なっている。このように、浮き電極６１専用のスペースを設けるのではなく、幹部５２１，５２２，５３１，５３２の配置に必要なスペースに浮き電極６１を設けたことで、圧電アクチュエータ２２の大型化を回避できる。

接続電極５４，５５は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極５４ａ，５５ａで構成されている（図７参照）。接続電極５４，５５がそれぞれＸ方向に長い１つの電極で構成された場合、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りが生じ、駆動電極５１の配置領域に、当該反りの影響が生じ得る。これに対し、本実施形態では、接続電極５４，５５がそれぞれＸ方向に互いに離隔して配置された複数の電極５４ａ，５５ａで構成されているため、上記問題を抑制できる。

接続電極５４，５５を構成する各電極５４ａ，５５ａのＸ方向の長さは、長さＬ４（Ｘ方向に互いに隣接する２つの駆動電極５１を含む領域のＸ方向の長さ）以下である（図７参照）。各電極５４ａ，５５ａがＸ方向に長すぎると、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りが生じ易くなる。これに対し、本実施形態では、各電極５４ａ，５５ａがＸ方向にある程度短いことで、上記問題を抑制できる。

第３電極層７３は、圧電層４１におけるＹ方向の端部において、Ｘ方向において接続電極５４と接続電極５５との間に配置された、補強電極６３をさらに含む（図７参照）。補強電極６３がない場合、ＣＯＦと圧電アクチュエータ２２との接合時に、圧電層４１におけるＹ方向の端部において、接続電極５４，５５が設けられたＸ方向の一方側及び他方側に外力が作用し、Ｘ方向の中央部分が曲げ応力によって破損し得る。これに対し、本実施形態では、ＣＯＦと圧電アクチュエータ２２との接合時に、圧電層４１におけるＹ方向の端部において、接続電極５４，５５が設けられたＸ方向の一方側及び他方側だけでなく、補強電極６３が設けられたＸ方向の中央にも外力が作用する。これにより、Ｘ方向の中央部分に曲げ応力が集中せず、当該部分の破損を抑制できる。

補強電極６３は、Ｘ方向に互いに離隔して配置された、複数の電極６３ａで構成されている。補強電極６３がＸ方向に長い１つの電極で構成された場合、Ｘ方向の反りが生じ易くなる。これに対し、本実施形態では、補強電極６３がＸ方向に互いに離隔して配置された複数の電極６３ａで構成されているため、上記問題を抑制できる。

第１電極層７１は、圧電層４２におけるＹ方向の端部において、Ｘ方向に重複部５２４，５２５と並ぶ、複数の電極６４ａで構成される補強電極６４をさらに含む（図８参照）。当該補強電極６４を設けたことで、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りが生じるのを抑制できる。また、ＣＯＦと圧電アクチュエータ２２との接合時に作用する外力を分散でき、圧電アクチュエータ２２の破損を抑制できる。

第２電極層７２は、圧電層４３（圧電層４２の下面）におけるＹ方向の端部において、Ｘ方向に重複部５３４，５３５と並ぶ、複数の電極６６ａで構成される補強電極６６をさらに含む（図９参照）。当該補強電極６６を設けたことで、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りが生じるのを抑制できる。また、ＣＯＦと圧電アクチュエータ２２との接合時に作用する外力を分散でき、圧電アクチュエータ２２の破損を抑制できる。

圧電層４１，４２は、それぞれ、Ｚ方向の厚みが１５μｍ以下である。この場合、アクチュエータ部９０の変形効率を高めるのに有効である。また、圧電層４１，４２の厚みが１５μｍ以下と小さいと、圧電層４１，４２の厚みに対する電極層７１〜７３の厚みの比率が大きくなり、圧電アクチュエータ２２に反りが生じ易くなり得るが、本実施形態では当該問題を抑制できる。

第１電極層７１、第２電極層７２及び第３電極層７３は、それぞれ、Ｚ方向の厚みが０．５〜１．５μｍである。電極層７１〜７３の厚みが０．５μｍ未満であると、電流が流れ難く、電位を適切に付与できない問題が生じ得る。また、電極層７１〜７３の厚みが１．５μｍを超えると、剛性が高くなり、アクチュエータ部９０の変形が阻害され得る。本実施形態では、これらの問題を抑制できる。

圧電層４１におけるＸ方向の両端に、浮き電極６１が設けられている（図７参照）。圧電アクチュエータ２２のＸ方向の一端のみでなく両端に反りを生じさせることで、これら両端の間にある駆動電極５１の配置領域の平坦性が向上し、複数のアクチュエータ部９０における変形特性のばらつきをより確実に抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図１０を参照し、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２について説明する。

本実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２は、浮き電極の形状が、第１実施形態に係る圧電アクチュエータ２２と異なる。具体的には、第１実施形態（図７）では、浮き電極６１がＹ方向に長い矩形状であるが、第２実施形態（図１０）では、浮き電極２６１がＸ方向の長さが異なる２つの矩形状の部分２６１ａ，２６１ｂを結合した形状を有する。

第１部分２６１ａのＸ方向の長さは、第１実施形態の浮き電極６１のＸ方向の長さと略同じである。第２部分２６１ｂのＸ方向の長さは、第１部分２６１ａのＸ方向の長さよりも長い。第１部分２６１ａは、１つの駆動電極列５１Ｒに属する駆動電極５１と、Ｘ方向に重なっている。第２部分２６１ｂは、別の１つの駆動電極列５１Ｒ（第１部分２６１ａに対応する駆動電極列とＹ方向に隣接する駆動電極列）に属する駆動電極５１と、Ｘ方向に重なっている。

圧電層４１のＸ方向の一端（図１０の上端）に配置された各浮き電極２６１において、第１部分２６１ａに対応する駆動電極列５１Ｒを「第１列Ｒ１」、第２部分２６１ｂに対応する駆動電極列５１Ｒを「第２列Ｒ２」と称す。当該各浮き電極２６１は、列Ｒ１，Ｒ２に属する複数の駆動電極５１に対し、Ｘ方向の一方（図１０の上方）に位置する。第１列Ｒ１は、第２列Ｒ２に対し、Ｘ方向の一方（図１０の上方）にずれて配置されている。第１列Ｒ１に属する複数の駆動電極５１のうち、Ｘ方向に浮き電極２６１の最も近くに位置する駆動電極５１（最近接電極Ｅ１）は、第２列Ｒ２に属する複数の駆動電極５１のうち、Ｘ方向に浮き電極２６１の最も近くに位置する駆動電極５１（最近接電極Ｅ２）に対し、Ｘ方向の一方（図１０の上方）に位置する。第１部分２６１ａと第１列Ｒ１の最近接電極Ｅ１とのＸ方向の間隔Ｄと、第２部分２６１ｂと第２列Ｒ２の最近接電極Ｅ２とのＸ方向の間隔Ｄとは、互いに同じである。当該間隔Ｄは、第１実施形態と同様、長さＬ４（Ｘ方向に互いに隣接する２つの駆動電極５１を含む領域のＸ方向の長さ）以上である。

圧電層４１のＸ方向の他端（図１０の下端）に配置された各浮き電極２６１は、駆動電極５１との間隔Ｄが上記と同様となるよう、圧電層４１のＸ方向の一端（図１０の上端）に配置された浮き電極２６１と、圧電層４１の原点対称（ＸＹ平面の中心に対して対称）に配置されている。

以上に述べたように、本実施形態によれば、浮き電極２６１の少なくとも一部（第２部分２６１ｂ）においてＸ方向の長さを長くすることで、圧電アクチュエータ２２２のＸ方向の端部を、Ｚ方向の一方（上方）により反らせることができる。したがって、電極層７１〜７３の熱収縮による反りをＸ方向の端部により一層集中させることで、当該端部以外にある駆動電極５１の配置領域の反りをより確実に抑制でき、ひいては、反りによる複数のアクチュエータ部９０における変形特性のばらつきをより一層抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

浮き電極の形状は、矩形状（図７参照）等に限定されず、例えば台形状、楕円状等であってもよい。例えば、第２実施形態（図１０）において、浮き電極２６１は、第１部分２６１ａから第２部分２６１ｂに向かってＸ方向の長さが漸進的に大きくなるような台形状であってもよい。

浮き電極と駆動電極との間隔Ｄ（図７参照）は、複数の浮き電極において互いに異なってもよい。また、第２実施形態（図１０）において、浮き電極２６１の第１部分２６１ａと第２部分２６１ｂとにおいて、間隔Ｄが互いに異なってもよい。

圧電層４１のＸ方向の両端ではなく一端（図７の上端）又は他端（図７の下端）のみに、浮き電極６１を設けてもよい。

複数の浮き電極６１をＹ方向に互いに離隔して配置するのではなく、Ｙ方向に長い１つの浮き電極６１を配置してもよい。

寸法測定用パターン６２（図７参照）の数や配置を任意に変更してもよい。また、寸法測定用パターン６２を省略してもよい。

接続電極５４，５５や補強電極６３〜６６を、Ｘ方向に長い１つの電極で構成してもよい。また、補強電極６３〜６６を省略してもよい。

上述の実施形態（図８参照）では、高電位電極５２が２つの幹部５２１，５２２を有し、各幹部５２１，５２２から枝部５２３が延びているが、これに限定されない。例えば、高電位電極５２が１つの幹部を有し、当該幹部から複数の枝部が延びてもよい。或いは、高電位電極５２が３つ以上の幹部を有し、各幹部から複数の枝部が延びてもよい。

上述の実施形態（図９参照）では、低電位電極５３が２つの幹部５３１，５３２を有し、各幹部５３１，５３２から枝部５３３が延びているが、これに限定されない。例えば、低電位電極５３が１つの幹部を有し、当該幹部から複数の枝部が延びてもよい。或いは、低電位電極５３が３つ以上の幹部を有し、各幹部から複数の枝部が延びてもよい。

また、複数の幹部がある場合において、各幹部から枝部が延びる方向は、当該幹部にＹ方向に隣接する幹部から枝部が延びる方向と、逆であることに限定されず、同じであってもよい。

圧電アクチュエータを構成する圧電層の数は、上述の実施形態では３つであるが、２以上であればよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

２２；２２２ 圧電アクチュエータ
４１ 圧電層（第１圧電層）
４２ 圧電層（第２圧電層）
５１ 駆動電極（第３電極）
５１Ｒ 駆動電極列（第３電極列）
５２ 高電位電極（第１電極）
５２１，５２２ 幹部（第１幹部）
５２３ 枝部（第１枝部）
５２４，５２５ 重複部（第１重複部）
５３ 低電位電極（第２電極）
５３１，５３２ 幹部（第２幹部）
５３３ 枝部（第２枝部）
５３４，５３５ 重複部（第２重複部）
５４ 接続電極（第１接続電極）
５５ 接続電極（第２接続電極）
５４ａ，５５ａ 電極
６１ 浮き電極
６２ 寸法測定用パターン
６３ 補強電極（第１補強電極）
６３ａ 電極
６４ 補強電極（第２補強電極）
６６ 補強電極（第３補強電極）
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
７３ 第３電極層
２６１ 浮き電極
２６１ａ 第１部分
２６１ｂ 第２部分
Ｅ１，Ｅ２ 最近接電極
Ｒ１ 第１列
Ｒ２ 第２列

Claims (19)

1. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第３電極層と、を備えた圧電アクチュエータであって、
   前記第１電極層は、第１電位に保持される第１電極を含み、
   前記第２電極層は、前記第１電位と異なる第２電位に保持される第２電極を含み、
   前記第３電極層は、それぞれ前記第１電位及び前記第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の第３電極を含み、
   前記圧電アクチュエータは、前記第１方向と直交する第２方向の長さが、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向の長さよりも長く、
   前記複数の第３電極は、前記第１圧電層における前記第２方向の端部を除く領域において、前記第２方向に配列され、かつ、前記第３方向に並ぶ複数の第３電極列を構成し、
   前記第３電極層は、前記第１圧電層の前記端部に配置され、かつ、前記第３方向の長さが、前記複数の第３電極列のうちの前記第３方向に互いに隣接する２つを含む領域の前記第３方向の長さ以上である、電位が付与されない浮き電極をさらに含むことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１圧電層の前記端部において、複数の前記浮き電極が、前記第３方向に互いに離隔して配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記浮き電極と、前記複数の第３電極のうち前記第２方向に前記浮き電極の最も近くに位置する第３電極との、前記第２方向の間隔は、前記複数の第３電極のうちの前記第２方向に互いに隣接する２つを含む領域の前記第２方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項１項に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記浮き電極は、前記第３方向の長さが前記第２方向の長さよりも長い、矩形状であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記複数の第３電極列は、第１列と、前記第１列と前記第３方向に隣接する第２列と、を含み、
   前記浮き電極は、前記第１列に属する前記複数の第３電極、及び、前記第２列に属する前記複数の第３電極に対し、前記第２方向の一方に位置し、
   前記第１列に属する前記複数の第３電極のうち、前記第２方向に前記浮き電極の最も近くに位置する最近接電極は、前記第２列に属する前記複数の第３電極のうち、前記第２方向に前記浮き電極の最も近くに位置する最近接電極に対し、前記第２方向の一方に位置し、
   前記浮き電極は、前記第１列の前記最近接電極と前記第２方向に重なる第１部分と、前記第２列の前記最近接電極と前記第２方向に重なる第２部分であって、前記第１部分よりも前記第２方向の長さが長い第２部分と、を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記第３電極層は、前記第１圧電層の前記端部に配置された、複数の寸法測定用パターンをさらに含み、
   前記複数の寸法測定用パターンは、前記浮き電極と前記第３方向に重なっていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記複数の寸法測定用パターンの少なくとも１つが、前記第３方向において複数の前記浮き電極の間に配置されていることを特徴とする、請求項６に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記浮き電極が、前記第３方向において前記複数の寸法測定用パターンの間に配置されていることを特徴とする、請求項６又は７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記第１電極は、前記第２圧電層における前記第２方向の端部において前記第３方向に延びる第１幹部と、前記第１幹部から分岐し、前記第２方向に延びる複数の第１枝部と、を含み、
   前記浮き電極は、前記第１幹部と前記第１方向に重なっていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
10. 前記第２電極は、前記第２圧電層における前記第２方向の端部において前記第３方向に延びる第２幹部と、前記第２幹部から分岐し、前記第２方向に延びる複数の第２枝部と、を含み、
    前記浮き電極は、前記第２幹部と前記第１方向に重なっていることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
11. 前記第３電極層は、前記第１圧電層における前記第３方向の端部であって、前記複数の第３電極の配置領域外に配置された、前記第１電極及び前記第２電極のいずれかと電気的に接続される接続電極をさらに含み、
    前記接続電極は、前記第２方向に互いに離隔して配置された、複数の電極で構成されていることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
12. 前記接続電極を構成する前記複数の電極それぞれの前記第２方向の長さは、前記複数の第３電極のうちの前記第２方向に互いに隣接する２つを含む領域の前記第２方向の長さ以下であることを特徴とする、請求項１１に記載の圧電アクチュエータ。
13. 前記接続電極は、前記第１電極及び前記第２電極の一方と電気的に接続される第１接続電極と、前記第１電極及び前記第２電極の他方と電気的に接続される第２接続電極とを含み、
    前記第１接続電極は、前記第１圧電層における前記第２方向の一方側に配置され、
    前記第２接続電極は、前記第１圧電層における前記第２方向の他方側に配置され、
    前記第３電極層は、前記第１圧電層における前記第３方向の端部において、前記第２方向において前記第１接続電極と前記第２接続電極との間に配置された、第１補強電極をさらに含むことを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の圧電アクチュエータ。
14. 前記第１補強電極は、前記第２方向に互いに離隔して配置された、複数の電極で構成されていることを特徴とする、請求項１３に記載の圧電アクチュエータ。
15. 前記第１電極は、前記接続電極と電気的に接続されかつ前記接続電極と前記第１方向に重なる第１重複部を含み、
    前記第１電極層は、前記第２圧電層における前記第３方向の端部において、前記第２方向に前記第１重複部と並ぶ、複数の電極で構成される第２補強電極をさらに含むことを特徴とする、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
16. 前記第２電極は、前記接続電極と電気的に接続されかつ前記接続電極と前記第１方向に重なる第２重複部を含み、
    前記第２電極層は、前記第２圧電層における前記第３方向の端部において、前記第２方向に前記第２重複部と並ぶ、複数の電極で構成される第３補強電極をさらに含むことを特徴とする、請求項１１〜１５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
17. 前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、それぞれ、前記第１方向の厚みが１５μｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
18. 前記第１電極層、前記第２電極層及び前記第３電極層は、それぞれ、前記第１方向の厚みが０．５〜１．５μｍであることを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
19. 前記第１圧電層における前記第２方向の両端に、前記浮き電極が設けられていることを特徴とする、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

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