JP2022090339A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエータにおいて、圧電層の表面に配置される電極の、配線部材との接続を行うための接続部を、当該電極の他の部分よりも突出したものとしつつも、圧電層の焼成時の反りを抑える。【解決手段】振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３がＺ方向に積層されている。第１圧電層４３の上面に、圧力室１０とＺ方向に重なる主部５１ａと、主部５１ａからＹ方向に突出した、ＣＯＦ８７との接続を行うための接続部５１ｂとを有する。振動板４１の上面に配置された低電位電極５３は、その全体にわたって延びた第１部分８１と、第１部分８１の上面の接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分に配置された第２部分８２とを有する。第１部分８１と第２部分８２とが重なることで形成される凸部８０が設けられていることで、第１圧電層４３の上面は、接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分が、主部５１ａとＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。【選択図】図７

Description

本発明は、圧電アクチュエータに関する。

圧電アクチュエータの一例として、特許文献１には、液体吐出ヘッドにおいてノズルに連通する圧力室内の液体に圧力を付与してノズルから液体を吐出させる圧電アクチュエータが記載されている。特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、最も上側の圧電層の上面の圧力室と重なる部分に、個別電極が配置されている。個別電極は、圧力室と重ならない位置まで延び、その先端部に、個別電極の他の部分よりも厚みの大きいランドが設けられている。これにより、ランドが個別電極の他の部分よりも上方に突出している。また、個別電極が配置された圧電層の上面に、圧電層、及び、個別電極のランド以外の部分を覆う低誘電層が配置されている。ランドは、低誘電層から露出している。また、ランドの上面には、バンプが形成されている。そして、ランドはバンプを介してＦＰＣの端子と接続されている。

特開2012-25089号公報

ここで、特許文献１では、上述したように、ランドが個別電極の他の部分よりも上方に突出しているため、低誘電層を、圧電層、及び、個別電極のランドが設けられた部分以外の部分を覆うものとし、ランドを低誘電層から露出させることができる。

一方で、特許文献１では、最も上側の圧電層の上面が、圧電アクチュエータの中立面よりも上方に位置する。そのため、この面に厚みの大きいランドを有する個別電極が配置されていると、圧電アクチュエータを製造するときの圧電層の焼成時に、個別電極と圧電層との線膨張係数の差によって、圧電アクチュエータに生じる反りが大きくなってしまう。

本発明の目的は、圧電層の表面に配置される電極の、配線部材との接続を行うための接続部を、当該電極の他の部分よりも突出したものとしつつも、圧電層の焼成時の反りを抑えることが可能な圧電アクチュエータを提供することである。

本発明の圧電アクチュエータは、第１圧電層を含む複数の層が積層された積層体と、前記複数の層の積層方向における、前記第１圧電層の一方側の面に配置され、前記積層方向の長さが一定の第１電極と、前記第１電極が配置された前記第１圧電層の前記一方側の面に配置され、前記第１圧電層及び前記第１電極を覆う保護膜と、を備え、前記第１電極は、配線部材との接続を行うための接続部、を有し、前記複数の層のうち前記第１圧電層よりも前記積層方向における他方側に位置するいずれかの層の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分に、前記積層方向の前記一方側に突出した凸部が設けられていることによって、前記第１圧電層の前記積層方向における前記一方側の面の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分が、前記第１電極の前記接続部以外の部分と前記積層方向に重なる部分よりも、前記積層方向の前記一方側に位置し、前記接続部の少なくとも一部分が、前記保護膜から露出している。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。 図１のヘッド３の平面図である。 第１圧電層４３の上面を示す平面図である。 第２圧電層４２の上面を示す平面図である。 振動板４２の上面を示す平面図である。 図５のVI部拡大図である。 ヘッド３の図６のVII－VII線での断面図である。 アクチュエータ部９０を説明するための図である。 変形例１の図６に対応する平面図である。 変形例２の第２圧電層４２の上面を示す平面図である。 変形例２の振動板４１の上面を示す断面図である。 図１１のXII部拡大図である。 変形例２のヘッドの、図１２のXIII－XIII線での断面図である。 変形例３の第２圧電層４２の上面を示す平面図である。 変形例３の振動板４１の上面を示す平面図である。図５に対応する平面図である。 図１５のXVI部拡大図である。 変形例３のヘッドの、図１６のXVII-XVII線での断面図である。 変形例４のヘッド２００の平面図である。 変形例４の図７に対応する断面図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。以下の説明において、Ｘ方向及びＹ方向は、Ｚ方向と直交し、Ｘ方向とＹ方向とは直交する。例えば、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。なお、Ｚ方向が本発明の「積層方向」に該当し、Ｚ方向における上側が本発明の「積層方向の一方側」に該当し、Ｚ方向における下側が本発明の「積層方向の他方側」に該当する。

＜プリンタ１の全体構成＞
図１に示すように、本実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２と、ヘッド３と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式のものであって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面には、複数のノズル１５（図７参照）が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、ヘッド３を搭載するキャリッジ２をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッド３の構成＞
図２に示すように、ヘッド３は、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。

＜流路ユニット２１＞
図２～図７に示すように、流路ユニット２１は、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１～３４で構成されている。なお、図６では、個別電極５１の位置を二点鎖線で示している。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端部及び他端部とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている。各インク供給口８は、チューブ（図示略）などを介してインクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。

＜圧電アクチュエータ２２＞
図２～図７に示すように、圧電アクチュエータ２２は、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、それぞれＺ方向を厚み方向としてＺ方向に積層された振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３と、複数の個別電極５１（本発明の「第１電極」）と、高電位電極５２（本発明の「第３電極」）と、低電位電極５３（本発明の「第２電極」）とを有する。なお、本実施形態では、振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３が、それぞれ、本発明の「層」に相当し、振動板４１と第２圧電層４２と第１圧電層４３との積層体が、本発明の「積層体」に相当する。

振動板４１は、流路ユニット２１（プレート３１）の上面に配置されている。第２圧電層４２は、振動板４１の上面に配置されている。第１圧電層４３は、第２圧電層４２の上面に配置されている。

振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３は、チタン酸とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。ただし、振動板４１は、圧電材料以外の絶縁材料からなるものであってもよい。また、振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３は、厚み（Ｚ方向の長さ）が例えば１０～３０μｍ程度である。

図３に示すように、複数の個別電極５１は、第１圧電層４３の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各個別電極５１は、主部５１ａと、接続部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。接続部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。接続部５１ｂは、後述するように、ＣＯＦ（Chip On Film）８７（本発明の「配線部材」）との接続を行うための部分である。ＣＯＦ８７に実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦ８７の配線を介して各個別電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。また、個別電極５１の厚みは、ほぼ一定であり、例えば１～２μｍ程度である。

図３に示すように、複数の個別電極５１は、第１圧電層４３の上面の、第１圧電層４３におけるＸ方向の両端部及びＹ方向の両端部を除く領域において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、１２個の個別電極列５１Ｒを形成している。１２個の個別電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各個別電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方側（図３の上側）及び他方側（図３の下側）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する個別電極列５１Ｒに属する個別電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該個別電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦ８７と電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、個別電極５１の厚みには影響が出ず、個別電極５１を適切に形成できる。また、各個別電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある個別電極５１とＸ方向の端部にある個別電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各個別電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

第１圧電層４３の上面には、個別電極５１及びダミー電極５９に加え、第１表面電極５４ａ、５４ｂ、第２表面電極５５ａ、５５ｂ、及び、複数の非導通電極６３が配置されている。

図３に示すように、第１表面電極５４ａは、第１圧電層４３の上面のＹ方向における一端部（図３の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図３の左下端部）に配置されている。第１表面電極５４ｂは、第１圧電層４３の上面のＹ方向における他端部（図３の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図３の右上端部）に配置されている。第１表面電極５４ａ、５４ｂは、Ｘ方向に延びている。

第２表面電極５５ａは、第１圧電層４３の上面のＹ方向における一端部（図３の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図３の左上端部）に配置されている。第２表面電極５５ｂは、第１圧電層４３の上面のＹ方向における他端部（図３の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図３の右下端部）に配置されている。第２表面電極５５ａ、５５ｂは、Ｘ方向に延びている。

また、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。

図３に示すように、複数の非導通電極６３は、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間にそれぞれ配置され、Ｘ方向に並んでいる。

第１表面電極５４ａ，５４ｂ及び第２表面電極５５ａ，５５ｂは、ＣＯＦ８７と電気的に接続されている。ドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦ８７の配線を介して、第１表面電極５４ａ，５４ｂに高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、かつ、第２表面電極５５ａ，５５ｂに低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。一方、非導通電極６３は、ＣＯＦ８７と電気的に接続されていない。また、非導通電極６３は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

また、第１表面電極５４ａ，５４ｂ、第２表面電極５５ａ，５５ｂ、及び、非導通電極６３の厚みは、個別電極５１と同様、例えば、１～２μｍ程度である。

図４、図７に示すように、高電位電極５２は、第２圧電層４２の上面に配置されている。高電位電極５２は厚みがほぼ一定であり、例えば１～２μｍ程度である。また、高電位電極５２は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１，５２２と、各幹部５２１，５２２から分岐してＸ方向に延びる７つの枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、第２表面電極５５ａ，５５ｂとＺ方向に重なる接続部５２４，５２５とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている。各幹部５２１，５２２は、複数の枝部５２３を連結している。

第２圧電層４２の、Ｘ方向における一端部（図４の上端部）の、Ｙ方向における他方側（図４の右側）の部分に、幹部５２１が配置され、第２圧電層４２の、Ｘ方向における他端部（図４の下端部）の、Ｙ方向における一方側（図４の左側）の部分に、幹部５２２が配置されている。幹部５２１，５２２は、Ｙ方向に延びている。

幹部５２１から、４つの枝部５２３が、第２圧電層４２のＸ方向の一端（図４の上端）から他端（図４の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２２から、３つの枝部５２３が、第２圧電層４２のＸ方向の他端（図４の下端）から一端（図４の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。各幹部５２１，５２２から分岐した枝部５２３が、Ｙ方向に並んでいる。

Ｙ方向の最も一方側（図４の左側）の枝部５２３は、Ｙ方向の最も一方側の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａと接続されている。Ｙ方向の最も他方側（図４の右側）の枝部５２３は、Ｙ方向の最も他方側の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａと接続されている。Ｙ方向の一方側から数えて２～６番目の枝部５２３は、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて２，３番目、４，５番目、６，７番目、８，９番目及び１０，１１番目の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａと接続されている。

接続部５２４は、Ｘ方向に延び、第２表面電極５４ｂとＺ方向に重なっている。また、接続部５２４は、幹部５２１におけるＹ方向の他端（図４の右端）に接続し、かつ、幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の他方（図４の右方）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２５は、Ｘ方向に延び、第２表面電極５４ａとＺ方向に重なっている。また、接続部５２４は、幹部５２２におけるＹ方向の一端（図４の左端）に接続し、かつ、幹部５２２から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の一方（図４の左方）に位置する枝部５２３に接続している。

接続部５２４，５２５は、それぞれ、第１圧電層４３に形成された貫通孔４３ｘを介して、第１表面電極５４ｂ，５４ａと導通している。

第２圧電層４２の上面には、高電位電極５２に加え、接続電極５６Ａ，５６Ｂ及び複数の非導通電極６４が配置されている。

図４に示すように、接続電極５６Ａ，５６Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５６１と、Ｘ方向に延びる部分５６２とを有する。接続電極５６Ａは、第２圧電層４２のＸ方向の一方側（図４の上側）かつＹ方向の一方側（図４の左側）の角部に配置されている。接続電極５６Ｂは、第２圧電層４２のＸ方向の他方側（図４の下側）かつＹ方向の他方側（図４の右側）の角部に配置されている。

接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、それぞれ、第１圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第２表面電極５５ａ，５５ｂと導通している。

複数の非導通電極６４は、接続部５２４と、接続電極５６Ｂの部分５６２との間、及び、接続部５２５と、接続電極５６Ａの部分５６２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。複数の非導通電極６４は、複数の非導通電極６３に対して個別に設けられており、対応する非導通電極６３とＺ方向に重なる。非導通電極６４は、非導通電極６３とサイズ及び形状が同じ電極である。

非導通電極６４は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

また、接続電極５６Ａ，５６Ｂ及び非導通電極６４の厚みは、高電位電極５２と同様、例えば１～２μｍ程度である。

図５～図７に示すように、低電位電極５３は、振動板４１の上面に配置されている。

低電位電極５３は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１，５３２と、各幹部５３１，５３２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、第２表面電極５５ａ，５５ｂ（図３参照）とそれぞれＺ方向に重なる接続部５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する。上記Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１，５３２は、複数の枝部５３３を連結している。

振動板４１の、Ｘ方向における一端部（図５の上端部）の、Ｙ方向における一方側（図５の左側）の部分に、幹部５３１が配置され、振動板４１の、Ｘ方向における他端部（図５の下端部）の、Ｙ方向における他方側（図５の右側）の部分に、幹部５３２が配置されている。幹部５３１，５３２は、Ｙ方向に延びている。

幹部５３１から、３つの枝部５３３が、第１圧電層４３のＸ方向の一端（図５の上端）から他端（図５の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３２から、３つの枝部５３３が、第１圧電層４３のＸ方向の他端（図５の下端）から一端（図５の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。これにより、各幹部５３１，５３２から分岐した枝部５３３が、Ｙ方向に並んでいる。

Ｙ方向の一方側（図５の左側）から数えて１～６番目の枝部５２３は、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて１，２番目、３，４番目、５，６番目、7，８番、目９，１０番目及び１１，１２番目の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５３ａと接続されている。また、Ｙ方向の一方側から数えて１～６番目の枝部５２３は、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて１，２番目、３，４番目、５，６番目、7，８番、目９，１０番目及び１１，１２番目の個別電極列５１Ｒを構成する複数の個別電極５１の接続部５１ｂとＺ方向に重なっている。

接続部５３４は、第１圧電層４３のＹ方向の一端部（図５の左端部）において、Ｘ方向に延びている。接続部５３４は、幹部５３１におけるＹ方向の一端（図５の左端）に接続している。接続部５３５は、第１圧電層４３のＹ方向の他端部（図５の右端部）において、Ｘ方向に延びている。接続部５３５は、幹部５３２におけるＹ方向の他端（図５の右端）に接続している。

接続部５３４，５３５は、それぞれ、第２圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙを介して、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２と導通している。接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、上述のように、第１圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第２表面電極５５ａ、５５ｂ、さらにＣＯＦ８７と導通している。したがって、接続部５３４，５３５は、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２を介して第２表面電極５５ａ，５５ｂ、さらにＣＯＦ８７と導通している。

また、上述したような低電位電極５３は、第１部分８１と、第２部分８２とによって形成されている。第１部分８１は、低電位電極５３の全体（幹部５３１，５３２、複数の枝部５３３、複数の個別部５３ａ、及び、接続部５３４，５３５）にわたって延びている。第２部分８２は、第１部分８１の各枝部５３３の上面のうち、Ｙ方向の両側の端部除いた部分に配置されており、対応する２列の個別電極列５１Ｒを構成する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたってＸ方向に延びている。

これにより、低電位電極５３は、第１部分８１と第２部分８２とがＺ方向に重なる部分の厚み（Ｚ方向の長さが）が、第１部分８１によってのみ形成されている部分の厚みよりも大きくなっている。例えば、低電位電極５３は、第１部分８１によってのみ形成されている部分の厚みが１～２μｍ程度であり、第１部分８１と第２部分８２とがＺ方向に重なる部分の厚みが、２～４μｍ程度である。そして、本実施形態では、低電位電極５３の第１部分８１と第２部分８２とがＺ方向に重なっている部分によって、振動板４１の上面に、上方に突出した凸部８０が形成されている。

ここで、このような第１部分８１と第２部分８２とを有する低電位電極５３は、例えば、振動板４１の上面にスクリーン印刷によって第１部分８１を形成し、その後、第１部分８１が形成された振動板４１の上面に、スクリーン印刷によって第２部分８２を形成することによって形成することができる。

また、圧電アクチュエータ２２では、振動板４１の上面に凸部８０が形成されていることにより、図７に示すように、第１圧電層４３の上面のうち、個別電極５１の接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分が、個別電極５１の主部５１ａ（接続部５１ｂ以外の部分）とＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。これにより、第１圧電層４３の上面に配置された個別電極５１は、接続部５１ｂにおいて主部５１ａよりも上方に位置している。

また、図７に示すように、複数の個別電極５１が配置された第１圧電層４３の上面には、複数の個別電極５１及び第１圧電層４３を覆う保護膜４４が配置されている。保護膜４４は、例えば、炭化水素系溶剤に防錆油を混合した揮発性の処理剤によって形成されている。ここで、保護膜４４は、後述する圧電アクチュエータ２２の変形を阻害しないようにするために、厚みが薄く（例えば、０．０２～０．１μｍ程度）なっている。また、上述したように、接続部５１ｂが、主部５１ａよりも上方に位置している。これらのことから、個別電極５１は、保護膜４４によって完全には覆われておらず、少なくとも接続部５１ｂの一部分が露出している。

例えば、個別電極５１は、主部５１ａがほぼ完全に保護膜４４に覆われ、接続部５１ｂの少なくとも一部分が保護膜４４から露出している。あるいは、個別電極５１は、主部５１ａ及び接続部５１ｂの両方においてその一部分が保護膜４４から露出しているが、接続部５１ｂにおいて、主部５１ａよりも、全体の面積に対する保護膜４４から露出している部分の面積の割合（以下、露出率とする）が大きくなっていてもよい。例えば、主部５１ａの露出率が１０％以下であり、接続部５１ｂの露出率が５０％以上である。また、接続部５１ｂの上面にはバンプ８６が配置されており、接続部５１ｂがバンプ８６を介してＣＯＦ８７と接続されている。

振動板４１の上面には、低電位電極５３に加え、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び複数の非導通電極６５，６６が配置されている。

接続電極５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５７１と、Ｘ方向に延びる部分５７２とを有する。接続電極５７Ａは、振動板４１のＸ方向の一方側（図５の上側）かつＹ方向の他方側（図５の右側）の角部に配置されている。接続電極５７Ｂは、振動板４１のＸ方向の他方側（図５の下側）かつＹ方向の一方側（図５の左側）の角部に配置されている。

接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７２は、それぞれ、第２圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘを介して、高電位電極５２の接続部５２４，５２５と導通している。高電位電極５２の接続部５２４，５２５は、上述のように、第１圧電層４３に形成された貫通孔４３ｘを介して、第１表面電極５４ｂ，５４ａと導通している。したがって、接続電極５７Ａ，５７Ｂは、高電位電極５２の接続部５２４，５２５を介して第１表面電極５４ｂ，５４ａと導通している。

接続電極５７Ａの部分５７１は、図５の右左から１つ目及び２つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の個別電極列５１Ｒのうち図５の左側の３つの個別電極列５１ＲとＸ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５７１は、図５の左から１つ目及び２つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の個別電極列５１Ｒのうち図５の右側の３つの列とＸ方向に重なっている。

接続電極５７Ａの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２１（図４参照）とＺ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２２（図４参照）とＺ方向に重なっている。

複数の非導通電極６５は、接続部５３４と接続電極５７Ｂの部分５７２との間、及び、接続部５３５と接続電極５７Ａの部分５７２との間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。複数の非導通電極６５は、複数の非導通電極６４に対して個別に設けられており、対応する非導通電極６４とＺ方向に重なる。非導通電極６５は、非導通電極６４とサイズ及び形状が同じ電極である。

複数の非導通電極６６は、幹部５３１と接続電極５７Ａの部分５７１との間、及び、幹部５３２と接続電極５７Ｂの部分５７１との間に、それぞれ配置され、Ｙ方向に並んでいる。

非導通電極６５，６６は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。また、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び非導通電極６５，６６の厚みは、低電位電極５３の第１部分８１と同様、例えば１～２μｍ程度である。

また、以上に説明した、第１圧電層４３、第２圧電層４２及び振動板４１の上面に配置された各電極は、例えば、銀が７０％程度でパラジウムが３０％程度の合金によって形成されている。

＜アクチュエータ部＞
圧電アクチュエータ２２では、図８に示すように、第１圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分が、主に上向きに分極された第１活性部９１となっている。また、第２圧電層４２及び第１圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分が、主に下向きに分極された第２活性部９２となっている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

ヘッド３においてノズル１５からのインクの吐出が行われる前には、各個別電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、第２圧電層４２及び第１圧電層４３がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が、低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り換えられる。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、個別電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制するためのものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき第２圧電層４２及び第１圧電層４３は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積が大きくなる。

その後、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り換えられる。すると、上述したのと同様に、第２圧電層４２及び第１圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

＜効果＞
本実施形態では、第１圧電層４３の上面のうち、接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分が、個別電極５１の主部５１ａとＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。これにより、個別電極５１において、接続部５１ｂを主部５１ａよりも上方に突出したものとすることができる。したがって、個別電極５１が形成された第１圧電層４３の上面に、上記処理剤を塗布して保護膜４４を形成する際に、接続部５１ｂの上面に付着した処理剤が重力によって下方に流れ、上述したように、接続部５１ｂの少なくとも一部分を露出したものとすることができる。その結果、接続部５１ｂを、バンプ８６を介して確実に、ＣＯＦ８７の配線と接続させることができる。

ここで、振動板４１及び圧電層４２，４３の積層体では、個別電極５１及び高電位電極５２が、中立面よりも上方に位置し、低電位電極５２が中立面よりも下方に位置している。そのため、圧電層４２，４３の焼成時には、この積層体に、複数の個別電極５１と第２圧電層４３との線膨張係数の差、及び、高電位電極５２と圧電層４２，４３との線膨張係数の差によって下側に凸となるように反ろうとする力が生じる。また、圧電層４２，４３の焼成時には、この積層体に、低電位電極５３と振動板４１及び第２圧電層４２との線膨張係数の差によって上側に凸となるように反ろうとする力が生じる。

また、本実施形態と異なり、個別電極５１を、接続部５１ｂにおいて主部５１ａよりも厚みの大きいものとすることによって、個別電極５１において、接続部５１ｂを主部５１ａよりも上方に突出したものとする場合を考える。この構成では、振動板４１と第２圧電層４２と第１圧電層４３との積層体の中立面が、例えば第２圧電層４２のＺ方向の中央部に位置するのに対して、この中立面から上方に離れた部分に、厚みの大きい接続部５１ｂが配置されることになる。そのため、この場合には、圧電アクチュエータ２２の製造時の圧電層４２，４３の焼成時に、上述の、個別電極５１（接続部５１ｂ）と第１圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる下側に凸となるように反ろうとする力が大きくなり、圧電アクチュエータ２２に生じる反りが大きくなってしまう。

これに対して、本実施形態では、個別電極５１の厚みが一定であり、第１圧電層４３よりも下方に位置する振動板４１の上面に凸部８０を設けることによって、個別電極５１において、接続部５１ｂを主部５１ａよりも上方に突出したものとしている。これにより、上述の上側に凸となるように反ろうとする力が大きくなり、上述の下側に凸となるように反ろうとする力を効果的に相殺することができる。その結果、本実施形態では、上述の個別電極５１において接続部５１ｂの厚みを大きくする場合と比較して、圧電層４２，４３の焼成時に個別電極５１と第１圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる反りを抑えることができる。

また、本実施形態では、低電位電極５３を、その全域にわたって延びた第１部分８１と、第１部分８１の各枝部５３３となる部分の上面に、対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたって延びた第２部分８２とを有するものとすることにより、低電位電極５３を利用して凸部８０を形成することができる。

また、本実施形態では、凸部８０が、対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたって延びている。これにより、複数の個別電極５１の接続部５１ｂに対応する凸部を簡単に形成することができる。

また、本実施形態では、振動板４１、第２圧電層４２及び第１圧電層４３の積層体の中立面よりも下方に位置する振動板４１の上面に配置される低電位電極５３を、第１部分８１と第２部分８２とがＺ方向に重なることで部分的に厚みの大きくなったものとすることによって凸部８０を形成している。これにより、低電位電極５３によって凸部８０を形成することによる、圧電層４２，４３の焼成時の反りを抑えることができる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態には限られず、特許請求の範囲に記載の限りにおいて様々な変更が可能である。

上述の実施形態では、低電位電極５３の第２部分８２が、各枝部５３３に対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたってＸ方向に延びたものであったが、これには限られない。

変形例１では、図９に示すように、第２部分１０１が、各枝部５３３の上面のうち、複数の個別電極５１の接続部５１ｂの各々とＺ方向に重なる部分にのみ設けられている。

変形例１では、第１圧電層４３の上面を、各接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分においてのみ上方に突出させることができる。

なお、変形例１では、第２部分１０１を、接続部５１ｂの外形に沿った形状としたが、これには限られない。第２部分１０１を、例えば、円形や多角形等別の形状としてもよい。

また、上述の実施形態では、低電位電極５３を、Ｚ方向に重なる第１部分８１と第２部分８２とを有するものとすることによって凸部８０を形成し、凸部８０を設けることによって、第１圧電層４３の上面を、接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分において、主部５１ａとＺ方向に重なる部分よりも上方に位置するものとしたが、これには限られない。

変形例２では、図１０～図１３に示すように、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれもが、厚みが一定のものであり、第２圧電層４２の上面の、各枝部５３３とＺ方向に重なる部分に、対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたってＸ方向に延びた浮き電極１１１が配置されている。浮き電極１１１は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通していない。また、浮き電極１１１の厚みは、高電位電極５２と同様、例えば１～２μｍ程度である。

なお、図１２では、浮き電極１１１及び個別電極５１の位置を二点鎖線で示すとともに、枝部５３３と浮き電極１１１とが重なっている部分をわかりやすくするために、浮き電極１１１が配置される領域にもハッチングを付している。

そして、この場合には、低電位電極５３が配置された振動板４１と、高電位電極５２及び浮き電極１１１が配置された第２圧電層４２との積層体において、枝部５３３と浮き電極１１１とがＺ方向に重なる部分の厚みが、他の部分の厚みよりも大きい。これにより、図１３に示すように、第２圧電層４２の上面に配置された第１圧電層４３の上面は、枝部５３３及び浮き電極１１１の両方とＺ方向に重なる部分、すなわち、複数の接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分において、主部５１ａとＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。なお、この場合には、枝部５３３の浮き電極１１１とＺ方向に重なる部分、及び、浮き電極１１１が、それぞれ、本発明の凸部となっている。

上述の実施形態のように、低電位電極５３を第１部分８１と第２部分８２とを有するものとする場合、低電位電極５３を形成するには、第１部分８１を形成する工程と、第２部分８２を形成する工程の２つ工程が必要となる。これに対して、変形例２では、低電位電極５３の接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分、及び、浮き電極１１１が、それぞれ、凸部となっている。そして、この場合には、振動板４１の上面に１つの工程で低電位電極５３を形成することができ、第２圧電層４２の上面に１つの工程で、高電位電極５２と浮き電極１１１とを形成することができる。その結果、電極を簡単に形成することができる。

変形例３では、図１４～図１７に示すように、高電位電極１２１及び低電位電極１３１のいずれもが、厚みが一定のものである。また、変形例３では、上述の実施形態と異なり、高電位電極１２１がＹ方向に並ぶ６つの枝部１２２を有し、Ｙ方向の一方側から数えて１～６番目の枝部１２２が、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて１，２番目、３，４番目、５，６番目、７，８番目、９，１０番目及び１１，１２番目の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａと接続されている。また、Ｙ方向の一方側から数えて１～６番目の枝部１２２が、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて１，２番目、３，４番目、５，６番目、７，８番目、９，１０番目及び１１，１２番目の個別電極列５１Ｒを構成する複数の個別電極５１の接続部５１ｂとＺ方向に重なっている。

また、低電位電極１３１が、Ｙ方向に並んだ７つの枝部１３２を有する。Ｙ方向において最も一方側（図１５の左側）の枝部１３２は、Ｙ方向において最も一方側の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａの、Ｙ方向における一方側の端部と接続されている。Ｙ方向において最も他方側（図１５の右側）の枝部１３２は、Ｙ方向において最も他方側の個別電極列５１Ｒに対応する複数の個別部５２ａの、Ｙ方向における他方側の端部と接続されている。Ｙ方向の一方側から数えて２～６番目の枝部１３２は、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて２，３番目、４，５番目、６，７番目、８，９番目、及び１０，１１番目の個別電極列５１Ｒに対応する個別部５２ａと接続されている。なお、枝部１３２は、個別電極５１の接続部５１ｂとはＺ方向に重なっていない。

また、振動板４１の上面には、高電位電極１２１の各枝部１２２とＺ方向に重なる部分に、それぞれ、対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂにわたってＸ方向に延びた浮き電極１３３が配置されている。浮き電極１３３は、個別電極５１、高電位電極１２１及び低電位電極１３１のいずれとも導通していない。

なお、図１６では、浮き電極１３３及び個別電極５１の位置を二点鎖線で示すとともに、枝部１３２と浮き電極１３３とが重なっている部分をわかりやすくするために、浮き電極１３３が配置される領域にもハッチングを付している。

そして、この場合には、低電位電極１３１及び浮き電極１３３が配置された振動板４１と、高電位電極１２１が配置された第２圧電層４２との積層体において、枝部１２２と浮き電極１３３とがＺ方向に重なる部分の厚みが、他の部分の厚みよりも大きい。これにより、図１７に示すように、第２圧電層４２の上面に配置された第１圧電層４３の上面は、枝部５３３及び浮き電極１１１の両方とＺ方向に重なる部分、すなわち、複数の接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分において、主部５１ａとＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。なお、この場合には、枝部１２２の浮き電極１３３とＺ方向に重なる部分、及び、浮き電極１３３が、それぞれ、本発明の凸部となっている。

変形例３では、低電位電極１３１の枝部１３２の、接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分、及び、浮き電極１３３が、それぞれ、凸部となっている。そして、この場合には、振動板４１の上面に低電位電極１３１と浮き電極１３３とを１つの工程で形成することができ、第２圧電層４２の上面に、高電位電極１２１を１つの工程で形成することができる。その結果、電極を簡単に形成することができる。

また、変形例３のように、高電位電極１２１の枝部１２２が対応する複数の個別電極５１の接続部５１ｂとＺ方向に重なる場合には、高電位電極１２１を、高電位電極１２１の全域にわたって延びた第１部分と、第１部分の上面の各枝部１２２の上面に配置され、個別電極５１の接続部５１ｂとＺ方向に重なる第２部分とを有するものとしてもよい。この場合、第２部分は、上述の実施形態の第２部分８２や、変形例１の第２部分１０１と同様の形状のものとしてもよい。

また、以上の例では、圧電アクチュエータ２２が、振動板４１と第２圧電層４２と第１圧電層４３とが積層され、第１圧電層４３、第２圧電層４２及び振動板４１の上面にそれぞれ、複数の個別電極、高電位電極及び低電位電極が配置されたものであったが、これには限られない。

変形例４では、図１８、図１９に示すように、インクジェットヘッド２００が、流路ユニット２０１と圧電アクチュエータ２０２とを備えている。流路ユニット２０１は、上述の実施形態の流路ユニット２１と同様のものである。

圧電アクチュエータ２０２は、振動板２１１と圧電層２１２（本発明の「第１圧電層」）とを備えている。振動板２１１は、振動板４１と同様、流路ユニット２０１（プレート３１）の上面に配置され、複数の圧力室１０を覆う。圧電層２１２は、振動板２１１の上面に配置されている。

圧電層２１２の上面には、複数の個別電極２１３が配置されている。複数の個別電極２１３は、複数の圧力室１０に対して個別に設けられており、主部２１３ａと接続部２１３ｂとを有する。主部２１３ａは、対応する圧力室１０のＸ方向の中央部とＺ方向に重なっている。接続部２１３ｂは、主部２１３ａからＹ方向に突出しており、圧力室１０とＺ方向に重ならない。また、接続部２１３ｂの上面にはバンプ２１７が配置され、接続部２１３ｂは、バンプ２１７を介してＣＯＦ２１８の配線と接続されている。

また、複数の個別電極２１３は、上述の実施形態と同様、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒのそれぞれに対応する、１２個の個別電極列２１３Ｒを形成している。１２個の個別電極列２１３Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

振動板２１１の上面には、複数の個別電極２１３にわたって連続的に延びた共通電極２１４が配置されている。また、共通電極２１４は、第１部分２１４ａと６つの第２部分２１４ｂとによって形成されている。

第１部分２１４ａは、共通電極２１４の全域にわたって延びている。６つの第２部分２１４ｂは、第１部分２１４ａの上面に配置されており、Ｙ方向に並んでいる。また、６つの第２部分２１４ｂは、Ｙ方向の一方側（図１８の左側）に配置されたものから、それぞれ、Ｙ方向の一方側から数えて１，２番目、３，４番目、５，６番目、７，８番目、９，１０番目、１１，１２番目の個別電極列２１３Ｒを構成する複数の個別電極２１３の接続部２１３ｂにわたってＸ方向に延び、これらの接続部２１３ｂとＺ方向に重なっている。これにより、振動板４１の上面には、共通電極２１４のうち、第１部分２１４ａと第２部分２１４ｂとがＺ方向に重なる部分によって、上側に突出した凸部２１５が形成されている。

これにより、変形例４では、圧電層２１２の上面のうち、個別電極２１３の接続部２１３ｂとＺ方向に重なる部分が、個別電極２１３の主部２１３ａ（接続部２１３ｂ以外の部分）とＺ方向に重なる部分よりも上方に位置している。その結果、第１圧電層４３の上面に配置された個別電極２１３は、接続部２１３ｂにおいて主部２１３ａよりも上方に位置している。

また、図１９に示すように、複数の個別電極２１３が配置された圧電層２１２の上面には、複数の個別電極２１３及び圧電層２１２を覆う保護膜２１６が配置されている。また、上述したように、接続部２１３ｂが、主部２１３ａよりも上方に位置している。これにより、上述の実施形態で説明したのと同様、個別電極２１３は、保護膜２１６によって完全には覆われておらず、少なくとも接続部２１３ｂの一部分が露出している。

また、変形例４では、共通電極２１４の第２部分２１４ｂが複数の接続部２１３ｂにわたって延びていたが、これには限られない。例えば、変形例４でも、変形例１で説明したのと同様に、複数の第２部分が複数の接続部２１３ｂに対して個別に設けられていてもよい。

また、以上の例では、第１圧電層よりも下側の層の上面に配置された、圧電アクチュエータの駆動のための電極や、浮き電極によって凸部を形成したが、これには限られない。例えば、上述の実施形態の振動板４１や第２圧電層４２、変形例４の振動板２１１など、第１圧電層よりも下側の層の、接続部５１ｂとＺ方向に重なる部分の厚みを他の部分の厚みよりも大きくすることによって凸部を形成してもよい。

また、以上では、ノズルから液体を吐出するヘッドにおいて、圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。例えば、ヘッド以外の装置を構成する圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。

２２ 圧電アクチュエータ
４１ 振動板
４２ 第２圧電層
４３ 第１圧電層
４４ 保護膜
５１ 個別電極
５１ｂ 接続部
８０ 凸部
８１ 第１部分
８２ 第２部分
８７ ＣＯＦ
１０１ 第２部分
１１１ 浮き電極
１２１ 高電位電極
１２２ 枝部
１３１ 低電位電極
１３２ 枝部
１３３ 浮き電極
２０２ 圧電アクチュエータ
２１１ 振動板
２１２ 圧電層
２１３ 個別電極
２１３ａ 主部
２１３ｂ 接続部
２１４ 共通電極
２１４ａ 第１部分
２１４ｂ 第２部分
２１５ 凸部
２１６ 保護膜
２１８ ＣＯＦ

Claims (8)

1. 第１圧電層を含む複数の層が積層された積層体と、
   前記複数の層の積層方向における、前記第１圧電層の一方側の面に配置され、前記積層方向の長さが一定の第１電極と、
   前記第１電極が配置された前記第１圧電層の前記一方側の面に配置され、前記第１圧電層及び前記第１電極を覆う保護膜と、を備え、
   前記第１電極は、配線部材との接続を行うための接続部、を有し、
   前記複数の層のうち前記第１圧電層よりも前記積層方向における他方側に位置するいずれかの層の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分に、前記積層方向の前記一方側に突出した凸部が設けられていることによって、
   前記第１圧電層の前記積層方向における前記一方側の面の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分が、前記第１電極の前記接続部以外の部分と前記積層方向に重なる部分よりも、前記積層方向の前記一方側に位置し、
   前記接続部の少なくとも一部分が、前記保護膜から露出していることを特徴とする圧電アクチュエータ。
2. 前記複数の層のうち前記第１圧電層よりも前記積層方向における前記他方側に位置するいずれかの層の、前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極の前記接続部を含む部分と前記積層方向に重なる第２電極、を備え、
   前記第２電極の前記接続部と前記積層方向に重なる部分によって、前記凸部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第２電極は、
   前記第２電極の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分と、前記接続部と前記積層方向に重ならない部分とにわたって延びた第１部分と、
   前記第１部分の前記積層方向における前記一方側の面の、前記接続部と前記積層方向に重なる部分に配置された第２部分と、を有し、
   前記第２電極の前記第１部分と前記第２部分とが前記積層方向に重なった部分が前記凸部となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第２部分が、前記第１部分のうち、前記接続部と前記鉛直方向に重なる部分にのみ配置されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 複数の前記第１電極と、
   これら複数の前記第１電極にわたって延びた前記第２電極と、を備え、
   前記第２部分が、複数の前記第１電極の前記接続部にわたって延びていることを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記積層体が、
   前記第１圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された第２圧電層と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された振動板と、を有し、
   前記振動板の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極と前記積層方向に重なる前記第２電極と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極と前記積層方向に重なり、前記積層方向の長さが一定の第３電極と、を備えていることを特徴とする請求項３～５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記積層体が、
   前記第１圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された第２圧電層と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された振動板と、を有し、
   前記振動板の前記積層方向における前記一方側の面に配置された前記第２電極と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極のうち前記接続部以外の部分のみと前記積層方向に重なる第３電極と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記接続部と前記鉛直方向に重なり、且つ、前記第３電極と接続されていない浮き電極と、を備え、
   前記第２電極の前記接続部と前記積層方向に重なる部分、及び、前記浮き電極が、前記凸部となっていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記積層体が、
   前記第１圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された第２圧電層と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記他方側の面に配置された振動板と、を有し、
   前記振動板の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極の前記接続部以外の部分のみと前記積層方向に重なる第２電極と、
   前記第２圧電層の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記第１電極の前記接続部を含む部分と前記積層方向に重なる第３電極と、
   前記振動板の前記積層方向における前記一方側の面に配置され、前記接続部と前記鉛直方向に重なり、且つ、前記第２電極と接続されていない浮き電極と、を備え、
   前記第３電極の前記接続部と前記積層方向に重なる部分、及び、前記浮き電極が、前記凸部となっていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。

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