JP2022009633A - クリティカル環境での制御希釈フロー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御希釈流体フローパターンが記載される。実施形態では、流体供給装置は、クリティカルな部屋内の流体の流れのパターンを制御するように構成される。クリティカルな部屋は、汚染を被るクリティカル領域を含む。第1の流体供給ノズルは、クリティカル領域の実質的中心の方へ流体の第1の流れを提供するように第1の流体供給噴射を提供するように構成される。第2の流体ノズルは、部屋の周辺の方へ流体の第2の流れを提供するように第2の流体供給噴射を提供するように構成される。第1の流体供給噴射の推進力および第2の流体供給噴射の推進力は、クリティカル領域の実質的中心が第1の流れによって流され、クリティカル領域の実質的中心への第2の流れの侵入が概ね阻止されるように、調整される。
【選択図】図1
Description
Claims (16)
- 流体供給装置であって、クリティカルな部屋内の流体の流れのパターンを制御するように構成され、前記クリティカルな部屋は、汚染を被るクリティカル領域を含み、前記流体供給装置は、第1の流体供給ノズルと、第2の流体供給ノズルと、を備え、
前記第1の流体供給ノズルは、前記クリティカル領域の実質的中心に向かう流体の第1の流れを提供するように第1の流体供給噴射を提供するように構成され、
前記第2の流体ノズルは、前記部屋の周辺に向かう流体の第2の流れを提供するように第2の流体供給噴射を提供するように構成され、
第1の流体供給噴射の推進力および第2の流体供給噴射の推進力は、前記クリティカル領域の実質的中心が第1の流れによって流され、前記クリティカル領域の実質的中心への第2の流れの浸透が概ね阻止されるように、調整される、流体供給装置。 - 請求項1の流体供給装置であって、前記流体供給装置は、中心を避ける環状外形で構成されている、流体供給装置。
- 請求項1の流体供給装置であって、第1の流れおよび第2の流れは、前記第1の流体供給ノズルおよび前記第2の流体供給ノズルの場所で反対方向を有するように構成されている、流体供給装置。
- 請求項1~3のいずれか1項の流体供給装置であって、別の第1の流体供給ノズルを含み、前記別の第1の流体供給ノズルは、前記クリティカル領域の実質的中心に向かう流体の別の第1の流れを提供するように別の第1の流体供給噴射を提供するように構成され、前記第1の流体供給ノズルは、前記装置の第1のセクションユニットになるように構成されており、前記別の第1の流体供給ノズルは、前記装置の第2のセクションユニットになるように構成されている、流体供給装置。
- 請求項4の流体供給装置であって、第1の流れおよび別の第1の流れは、前記クリティカル領域の実質的中心でインパクトを与えるように構成され、前記クリティカルな部屋の天井およびインパクトは、第1の流れおよび別の第1の流れを、前記クリティカルな部屋の床に向ける、流体供給装置。
- 請求項5の流体供給装置であって、前記クリティカルな部屋の作業領域およびインパクトは、第1の流れおよび別の第1の流れを、周辺に向けるようになっている、流体供給装置。
- 請求項1~6のいずれか1項の流体供給装置であって、前記部屋の壁および天井は、第2の流れを前記部屋の床に向けるように構成されており、壁および床は、第2の流れを前記中心に向けるように構成されており、第1の流れへのインパクトは、第2の流れを、前記クリティカル領域から離れるように再び向けるようになっている、流体供給装置。
- 請求項1~7のいずれか1項の流体供給装置であって、流体は空気を含む、流体供給装置。
- 請求項1~8のいずれか1項の流体供給装置であって、開口と、流体の流れを導くように構成されている羽根と、を有する複数のノズルを含む、流体供給装置。
- 請求項1の流体供給装置であって、第1の噴射と第2の噴射との間に構成される第3の流体供給噴射を含む、流体供給装置。
- 請求項10の流体供給装置であって、第3の流体供給噴射は、第1の噴射および第2の噴射によって作られる空気流パターンを大きく変えないように、導入される、空気流パターン
- 請求項1~11のいずれか1項の流体供給装置であって、前記装置は、前記クリティカルな部屋の天井の中で、または、前記クリティカルな部屋の天井で、構成されている、流体供給装置。
- 請求項1の流体供給装置を備えるHVACシステムであって、前記HVACシステムは、前記クリティカルな部屋の、暖房と、換気と、空調と、を制御するように構成されている、HVACシステム。
- 請求項13のHVACシステムであって、前記部屋の周辺領域に位置する排出流体出口を含み、前記排出流体出口は、第2の流体と、第2の流体で希釈された第1の流体と、を排出するように構成されている、HVACシステム。
- クリティカルな部屋内の流体の流れのパターンを制御する方法であって、前記クリティカルな部屋は、汚染を被るクリティカル領域を含み、前記方法は、
前記クリティカル領域の実質的中心に向かう流体の第1の流れを提供するように第1の流体供給噴射を吹くことと、
前記部屋の周辺に向かう流体の第2の流れを提供するように第2の流体供給噴射を吹くことと、
を含み、
第1の流体供給噴射の推進力および第2の流体供給噴射の推進力は、前記クリティカル領域の実質的中心が第1の流れによって流され、前記クリティカル領域の実質的中心への第2の流れの浸透が概ね阻止されるように、調整される、方法。 - 請求項16の方法であって、第1の噴射と第2の噴射との間に構成される第3の流体供給噴射を吹くことを含む、方法。
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