JP2021528851A - 高温において安定した電気特性を有する固体電解キャパシタ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
当業者に向けられた本発明のベストモードを含む本発明の完全かつ実施可能な開示を、添付の図面を参照する本明細書の残りにおいてより詳しく示す。
本議論は代表的な実施形態のみの説明であり、本発明のより広い形態を限定することは意図しておらず、より広い形態は代表的な構成において具現化されることが当業者によって理解される。
回復率=(乾燥キャパシタンス/湿潤キャパシタンス)×100
によって求められる「キャパシタンス回復率」によって定量化される。
I.キャパシタ素子:
A.陽極体:
キャパシタ素子は、焼結多孔質体上に形成された誘電体を含む陽極を含む。多孔質陽極体は、バルブメタル(すなわち酸化することができる金属)又はバルブメタル系化合物、例えば、タンタル、ニオブ、アルミニウム、ハフニウム、チタン、それらの合金、それらの酸化物、それらの窒化物などを含む粉末から形成することができる。粉末は、通常は、タンタル塩(例えば、フルオロタンタル酸カリウム(K2TaF7)、フルオロタンタル酸ナトリウム(Na2TaF7)、五塩化タンタル(TaCl5)等)を還元剤と反応させる還元プロセスから形成される。還元剤は、液体、気体(例えば水素)、又は固体、例えば金属(例えばナトリウム)、金属合金、又は金属塩の形態で提供することができる。例えば一実施形態においては、タンタル塩(例えばTaCl5)を約900℃〜約2,000℃、幾つかの実施形態においては約1,000℃〜約1,800℃、幾つかの実施形態においては約1,100℃〜約1,600℃の温度で加熱して蒸気を形成することができ、それを気体還元剤(例えば水素)の存在下で還元することができる。かかる還元反応の更なる詳細は、MaeshimaらのWO−2014/199480に記載されている。還元後、生成物を冷却、粉砕、及び洗浄して粉末を形成することができる。
陽極はまた誘電体によって被覆される。誘電体は、焼結した陽極を陽極酸化して、誘電体層が陽極の上及び/又はその中に形成されるようにすることによって形成することができる。例えば、タンタル(Ta)陽極を陽極酸化して五酸化タンタル(Ta2O5)にすることができる。通常は、陽極酸化は、まず、陽極を電解液中に浸漬することなどによって溶液を陽極に施すことによって行われる。水(例えば脱イオン水)のような溶媒が一般的に使用される。イオン伝導度を増大させるために、溶媒中で解離してイオンを形成することができる化合物を使用することができる。かかる化合物の例としては、例えば、電解質に関して下記に記載するような酸が挙げられる。例えば、酸(例えばリン酸)が、陽極酸化溶液の約0.01重量%〜約5重量%、幾つかの実施形態においては約0.05重量%〜約0.8重量%、幾つかの実施形態においては約0.1重量%〜約0.5重量%を構成することができる。所望の場合には、複数の酸のブレンドを使用することもできる。
固体電解質は誘電体の上に配され、一般にキャパシタのための陰極として機能する。固体電解質としては、導電性ポリマー(例えば、ポリピロール類、ポリチオフェン類、ポリアニリン類等)、二酸化マンガンなどのような当該技術において公知の材料を挙げることができる。一実施形態においては、例えば、固体電解質は外因性導電性(extrinsically conductive)及び/又は固有導電性(intrinsically conductive)のポリマー粒子を含む1以上の層を含む。かかる粒子を使用する1つの利益は、これらによって、従来のin-situ重合プロセス中に生成する、イオン移動のために高電界下で絶縁破壊を引き起こす可能性があるイオン種(例えばFe2+又はFe3+)の存在を最小にすることができることである。而して、導電性ポリマーをin-situ重合によるのではなく予め重合された(pre-polymerized)粒子として施すことによって、得られるキャパシタは比較的高い「絶縁破壊電圧」を示すことができる。所望の場合には、固体電解質は1以上の層から形成することができる。複数の層を使用する場合には、1以上の層にin-situ重合によって形成された導電性ポリマーを含ませることができる。しかしながら、非常に高い絶縁破壊電圧を達成することが望ましい場合には、固体電解質を主として上記に記載の導電性粒子から形成し、一般にin-situ重合によって形成された導電性ポリマーは含めないようにすることが望ましい可能性がある。使用する層の数に関係なく、得られる固体電解質は、通常は、約1マイクロメートル(μm)〜約200μm、幾つかの実施形態においては約2μm〜約50μm、幾つかの実施形態においては約5μm〜約30μmの全厚さを有する。
R7は、線状又は分岐の、C1〜C18アルキル基(例えば、メチル、エチル、n−若しくはイソプロピル、n−、イソ−、sec−、又はtert−ブチル、n−ペンチル、1−メチルブチル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1−エチルプロピル、1,1−ジメチルプロピル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、n−ヘキシル、n−ヘプチル、n−オクチル、2−エチルヘキシル、n−ノニル、n−デシル、n−ウンデシル、n−ドデシル、n−トリデシル、n−テトラデシル、n−ヘキサデシル、n−オクタデシル等);C5〜C12シクロアルキル基(例えば、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル等);C6〜C14アリール基(例えば、フェニル、ナフチル等);C7〜C18アラルキル基(例えば、ベンジル、o−、m−、p−トリル、2,3−、2,4−、2,5−、2,6−、3,4−、3,5−キシリル、メシチル等)であり;
qは、0〜8、幾つかの実施形態においては0〜2、一実施形態においては0の整数である)
の繰り返し単位を有する「外因性」導電性チオフェンポリマーを、固体電解質において使用することができる。1つの特定の実施形態においては、「q」は0であり、ポリマーはポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)である。かかるポリマーを形成するのに好適なモノマーの1つの商業的に好適な例は、HeraeusからClevios(登録商標)Mの名称で入手できる3,4−エチレンジオキシチオフェンである。
Rは(CH2)a−O−(CH2)b−L(式中、Lは結合又はHC([CH2]cH)である)であり;
aは、0〜10、幾つかの実施形態においては0〜6、幾つかの実施形態においては1〜4(例えば1)であり;
bは、1〜18、幾つかの実施形態においては1〜10、幾つかの実施形態においては2〜6(例えば、2、3、4、又は5)であり;
cは、0〜10、幾つかの実施形態においては0〜6、幾つかの実施形態においては1〜4(例えば1)であり;
Zは、SO3 −、C(O)O−、BF4 −、CF3SO3 −、SbF6 −、N(SO2CF3)2 −、C4H3O4 −、ClO4 −等のようなアニオンであり;
Xは、水素、アルカリ金属(例えば、リチウム、ナトリウム、ルビジウム、セシウム、又はカリウム)、アンモニウム等のようなカチオンである)
の繰り返し単位を有していてよい。
の繰り返し単位を含む。式(II)又は(III)において、aは好ましくは1であり、bは好ましくは3又は4である。更に、Xは好ましくはナトリウム又はカリウムである。
固体電解質は、一般に1以上の「内側」導電性ポリマー層から形成される。この文脈における「内側」という用語は、誘電体の上に直接か又は他の層(例えばプレコート層)を介して配されている1以上の層を指す。1つ又は複数の内側層を使用することができる。例えば、固体電解質は、通常は2〜30、幾つかの実施形態においては4〜20、幾つかの実施形態においては約5〜15の内側層(例えば10の層)を含む。1つ又は複数の内側層には、例えば、上記に記載したような固有導電性及び/又は外因性導電性のポリマー粒子を含ませることができる。例えば、かかる粒子は、1つ又は複数の内側層の約50重量%以上、幾つかの実施形態においては約70重量%以上、幾つかの実施形態においては約90重量%以上(例えば約100重量%)を構成することができる。別の実施形態においては、1つ又は複数の内側層にin-situ重合された導電性ポリマーを含ませることができる。かかる実施形態においては、in-situ重合されたポリマーは、1つ又は複数の内側層の約50重量%以上、幾つかの実施形態においては約70重量%以上、幾つかの実施形態においては約90重量%以上(例えば約100重量%)を構成することができる。
固体電解質にはまた、1つ又は複数の内側層の上に配されて、異なる材料から形成される1以上の随意的な「外側」導電性ポリマー層を含ませることもできる。例えば、1つ又は複数の外側層に外因性導電性ポリマー粒子を含ませることができる。1つの特定の実施形態においては、1つ又は複数の外側層は、外因性導電性ポリマー粒子がそれぞれの外側層の約50重量%以上、幾つかの実施形態においては約70重量%以上、幾つかの実施形態においては約90重量%以上(例えば100重量%)を構成するという点で、主としてかかる外因性導電性ポリマー粒子から形成される。1つ又は複数の外側層を使用することができる。例えば、固体電解質には、2〜30、幾つかの実施形態においては4〜20、幾つかの実施形態においては約5〜15の外側層を含ませることができ、これらのそれぞれは、場合によっては外因性導電性ポリマー粒子の分散液から形成することができる。
また、固体電解質の上に外部ポリマー被覆を配することもできる。外部ポリマー被覆には、上記に記載のような予め重合された導電性ポリマー粒子(例えば、外因性導電性ポリマー粒子の分散液)から形成される1以上の層を含ませることができる。外部被覆は、キャパシタ体のエッジ領域中に更に浸透して、誘電体に対する接着を増加させて、より機械的に堅牢な部品を与えることができ、これにより等価直列抵抗及びリーク電流を減少させることができる。一般に、陽極体の内部に含浸させるのではなく、エッジの被覆度を向上させることを意図しているので、外部被覆において使用される粒子は、通常は固体電解質において使用されるものよりも大きな寸法を有する。例えば、固体電解質の任意の分散液において使用される粒子の平均寸法に対する、外部ポリマー被覆において使用される粒子の平均寸法の比率は、通常は約1.5〜約30、幾つかの実施形態においては約2〜約20、幾つかの実施形態においては約5〜約15である。例えば、外部被覆の分散液中で使用される粒子は、約80〜約500ナノメートル、幾つかの実施形態においては約90〜約250ナノメートル、幾つかの実施形態においては約100〜約200ナノメートルの平均寸法を有していてよい。
所望の場合には、キャパシタ素子はまた、固体電解質及び他の随意的な層(例えば外部ポリマー被覆)の上に配される陰極被覆を使用することもできる。陰極被覆には、ポリマーマトリクス内に分散されている多数の導電性金属粒子を含む金属粒子層を含ませることができる。粒子は、通常は層の約50重量%〜約99重量%、幾つかの実施形態においては約60重量%〜約98重量%、幾つかの実施形態においては約70重量%〜約95重量%を構成し、一方でポリマーマトリクスは、通常は層の約1重量%〜約50重量%、幾つかの実施形態においては約2重量%〜約40重量%、幾つかの実施形態においては約5重量%〜約30重量%を構成する。
所望の場合には、当該技術において公知の他の層をキャパシタに含ませることもできる。例えば、幾つかの実施形態においては、炭素層(例えばグラファイト)を固体電解質と銀層との間に配置して、これによって銀層と固体電解質との接触を更に制限することを助けることができる。更に、下記においてより詳細に記載するような、誘電体の上に配され、有機金属化合物を含むプレコート層を使用することもできる。
所望の層が形成されたら、上記に示すようにキャパシタに終端を与えることができる。より詳しくは、キャパシタは、それにキャパシタ素子の陽極リードが電気的に接続される陽極終端、及びそれにキャパシタの固体電解質が電気的に接続される陰極終端を含む。導電性金属(例えば、銅、ニッケル、銀、ニッケル、亜鉛、スズ、パラジウム、鉛、銅、アルミニウム、モリブデン、チタン、鉄、ジルコニウム、マグネシウム、及びこれらの合金)のような任意の導電性材料を使用して終端を形成することができる。特に好適な導電性金属としては、例えば、銅、銅合金(例えば、銅−ジルコニウム、銅−マグネシウム、銅−亜鉛、又は銅−鉄)、ニッケル、及びニッケル合金(例えばニッケル−鉄)が挙げられる。終端の厚さは、一般的にキャパシタの厚さを最小にするように選択される。例えば、終端の厚さは、約0.05〜約1ミリメートル、幾つかの実施形態においては約0.05〜約0.5ミリメートル、及び約0.07〜約0.2ミリメートルの範囲であってよい。一つの代表的な導電性材料は、Wieland(ドイツ)から入手できる銅−鉄合金の金属プレートである。所望の場合には、終端の表面は、当該技術において公知なように、最終部品を回路基板へ実装することができるのを確実にするために、ニッケル、銀、金、スズなどで電気めっきすることができる。一つの特定の実施形態においては、終端の両方の表面をそれぞれニッケル及び銀フラッシュでめっきし、一方で、実装面もスズはんだ層でめっきする。
yは1より大きい整数であり;
R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、及びR15は、独立して、通常は1〜約20個の炭素原子を含む一価の基、例えばアルキル基(例えば、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、オクタデシルなど);アルコキシ基(例えば、メトキシ、エトキシ、プロポキシなど);カルボキシアルキル基(例えばアセチル);シクロアルキル基(例えばシクロヘキシル);アルケニル基(例えば、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニルなど);アリール基(例えば、フェニル、トリル、キシリル、ベンジル、2−フェニルエチルなど);及びハロゲン化炭化水素基(例えば、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、ジクロロフェニルなど)である)
を有するもののようなポリオルガノシロキサンから誘導される。かかるポリオルガノシロキサンの例としては、例えば、ポリジメチルシロキサン(PDMS)、ポリメチルハイドロジェンシロキサン、ジメチルジフェニルポリシロキサン、ジメチル/メチルフェニルポリシロキサン、ポリメチルフェニルシロキサン、メチルフェニル/ジメチルシロキサン、ビニルジメチル末端ポリジメチルシロキサン、ビニルメチル/ジメチルポリシロキサン、ビニルジメチル末端ビニルメチル/ジメチルポリシロキサン、ジビニルメチル末端ポリジメチルシロキサン、ビニルフェニルメチル末端ポリジメチルシロキサン、ジメチルヒドロ末端ポリジメチルシロキサン、メチルヒドロ/ジメチルポリシロキサン、メチルヒドロ末端メチルオクチルポリシロキサン、メチルヒドロ/フェニルメチルポリシロキサン、フルオロ変性ポリシロキサンなどを挙げることができる。疎水性材料を形成するために、例えば触媒硬化(例えば白金触媒)、室温加硫、湿分硬化などによる任意の種々の公知の技術を用いてポリオルガノシロキサンを架橋させることができる。式:Si−OR(式中、Rは、H、アルキル(例えばメチル)、アルケニル、カルボキシアルキル(例えばアセチル)である)を有するアルコキシシランなどのような架橋剤を用いることができる。
Mは、ケイ素、チタンなどのような有機金属原子であり;
R16、R17、及びR18は、独立して、アルキル(例えば、メチル、エチル、プロピルなど)、又はヒドロキシアルキル(例えば、ヒドロキシメチル、ヒドロキシエチル、ヒドロキシプロピルなど)であり、R16、R17、及びR18の少なくとも1つはヒドロキシアルキルであり;
nは、0〜8、幾つかの実施形態においては1〜6、幾つかの実施形態においては2〜4(例えば3)の整数であり;そして
Xは、グリシジル、グリシジルオキシ、メルカプト、アミノ、ビニルなどのような有機又は無機官能基である)
を有するもののような有機金属化合物を挙げることができる。
(R1−O)x−R2 (VI)
(式中、
xは1又は2であり;
R1及びR2の1つは、ペルフルオロ脂肪族又はペルフルオロ環式基であり、他方は脂肪族又は環式炭化水素基である)
を有するヒドロフルオロエーテルを含ませることができる。例えば、R1及び/又はR2としては、置換及び非置換アルキル、アリール、及びアルキルアリール基、並びにそれらの誘導体を挙げることができる。好適なヒドロフルオロエーテルの代表例としては、次の化合物:C5F11OC2H5、C3F7OCH3、C4F9OCH3、C4F9OC2H5、C3F7OCF(CF3)CF2OCH3、C4F9OC2F4OC2F4OC2H5、C4F9O(CF2)3OCH3、C3F7CF(OC2H5)CF(CF3)2、C2F5CF(OCH3)CF(CF3)2、C4F9OC2H4OC4F9などが挙げられる。エチルノナフルオロイソブチルエーテル及びエチルノナフルオロブチルエーテル(これらは両方とも構造:C4F9OC2H5によって表される)が特に好適である。
示されるように、キャパシタ素子及び陽極リードは、一般に、陽極終端及び陰極終端の少なくとも一部が回路基板上へ実装するために露出されるようにケーシング材料で封入する。再び図1を参照すると、例えば、キャパシタ素子33及び陽極リード16を、陽極終端62の一部及び陰極終端72の一部が露出した状態に保持されるようにケーシング材料28内に封入することができる。上記に示すように、ケーシング材料を形成するために使用される樹脂状マトリクスは比較的低い熱膨張係数を有し、これは、高温に曝露された際にそれがキャパシタ素子から層間剥離する可能性を減少させることを助ける。樹脂状マトリクスはまた、一般に、実質的に疎水性である。
試験手順:
キャパシタンス:
キャパシタンスは、Kelvinリードを備えたKeithley 3330精密LCZメーターを用い、2.2ボルトのDCバイアス及び0.5ボルトのピーク・ピーク正弦波信号を用いて測定することができる。動作周波数は120Hzであってよく、温度は23℃±2℃であってよい。幾つかの場合においては、「湿潤対乾燥(wet-to-dry)」キャパシタンスを求めることができる。「乾燥キャパシタンス」は、固体電解質、グラファイト、及び銀層を施す前の部品のキャパシタンスを指し、一方で「湿潤キャパシタンス」は、誘電体形成後の部品のキャパシタンスを指し、14%硝酸中において、1mFのタンタル陰極を参照とし、10ボルトのDCバイアス及び0.5ボルトのピーク・ピーク正弦波信号を用いて、30秒の電解液浸漬後に測定される。
等価直列抵抗は、Kelvinリードを備えたKeithley 3330精密LCZメーターを用い、2.2ボルトのDCバイアス及び0.5ボルトのピーク・ピーク正弦波信号を用いて測定することができる。動作周波数は100kHzであってよく、温度は23℃±2℃であってよい。
損失係数は、Kelvinリードを備えたKeithley 3330精密LCZメーターを用い、2.2ボルトのDCバイアス及び0.5ボルトのピーク・ピーク正弦波信号を用いて測定することができる。動作周波数は120kHzであってよく、温度は23℃±2℃であってよい。
漏れ電流は、漏れ試験メーターを用い、23℃±2℃の温度及び定格電圧において、最小で60秒後に測定することができる。
高温貯蔵試験は、IEC−60068−2−2:2007(条件Bb、温度125℃)に基づく。ESRの測定は全て、試験条件から1〜2時間回復した後に温度23℃+2℃において行う。試料は基板上に実装しない。種々の試料(例えば25の試料)について、初期ESR(平均)に対する全ての試験されたユニットの実際のESR(平均)の比を求める。
50,000μFV/gのタンタル粉末を用いて陽極試料を形成した。それぞれの陽極試料にタンタル線を埋め込み、1350℃で焼結し、プレスして5.8g/cm3の密度にした。得られたペレットは1.7×2.4×1.0mmの寸法を有していた。ペレットを、85℃の温度において8.6mS/cmの導電率を有する水/リン酸電解液中で23.5ボルトに陽極酸化して、誘電体層を形成した。このペレットを、30℃の温度において2.0mS/cmの導電率を有する水/ホウ酸/四ホウ酸二ナトリウム中で25秒間、再び80ボルトに陽極酸化して、外側の上に堆積しているより厚い酸化物層を形成した。
得られた部品をここに記載する樹脂状マトリクス中に封入したことを除いて、実施例1に記載した方法でキャパシタを形成した。47μF/10Vキャパシタの25の部品を形成した後、上記に示す高温貯蔵試験にかけた。結果を下表1に示す。
Claims (26)
- 固体電解キャパシタであって、
焼結多孔質陽極体、前記陽極体の上に配されている誘電体、及び前記誘電体の上に配されている固体電解質を含むキャパシタ素子;
前記キャパシタ素子の表面から延在する陽極リード;
前記陽極リードと電気的に接続されている陽極終端、及び前記固体電解質と電気的に接続されている陰極終端;並びに
前記キャパシタ素子及び前記陽極リードを封入しているケーシング材料であって、前記ケーシング材料は、樹脂状マトリクスのガラス転移温度より高い温度において約42ppm/℃以下の熱膨張係数を有する硬化性樹脂状マトリクスから形成されている上記ケーシング材料;
を含み;
前記キャパシタは、100kHzの動作周波数及び23℃の温度において求めて約200ミリオーム以下の初期等価直列抵抗を示し、前記キャパシタの初期等価直列抵抗に対する、125℃の温度に560時間曝露した後の前記キャパシタの等価直列抵抗の比は約2.0以下である、上記固体電解キャパシタ。 - 前記樹脂状マトリクスが、前記樹脂状マトリクスのガラス転移温度より低い温度において約11ppm/℃以下の熱膨張係数を有する、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記樹脂状マトリクスが、約50℃〜約180℃のガラス転移温度を有する、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記キャパシタの初期等価直列抵抗に対する、125℃の温度に750時間曝露した後の前記キャパシタの等価直列抵抗の比が約2.0以下である、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記キャパシタの初期等価直列抵抗に対する、125℃の温度に1,000時間曝露した後の前記キャパシタの等価直列抵抗の比が約2.0以下である、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記キャパシタの初期等価直列抵抗に対する、125℃の温度に1,250時間曝露した後の前記キャパシタの等価直列抵抗の比が約2.0以下である、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 界面被覆が前記陽極終端の少なくとも一部を被覆している、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記界面被覆がまた、前記陽極リードの少なくとも一部も被覆している、請求項7に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記界面被覆が、フルオロポリマー、シリコーンポリマー、有機金属化合物、又はそれらの組み合わせを含む、請求項7に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記樹脂状マトリクスが、少なくとも2つのシアネートエステル基を含むポリシアネートを含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記ポリシアネートが、2以上の環式環を含む多環式脂肪族基を含む、請求項10に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記多環式脂肪族基が、シクロペンタジエン、ノルボルナン、ボルナン、ノルボルナジエン、テトラヒドロインデン、メチルテトラヒドロインデン、ジシクロペンタジエン、ビシクロ−(2,2,1)−ヘプタ−2,5−ジエン、5−メチレン−2−ノルボルネン、5−エチリデン−2−ノルボルネン、5−プロペニル−2−ノルボルネン、5−(4−シクロペンテニル)−2−ノルボルネン、5−シクロヘキシリデン−2−ノルボルネン、5−ビニル−2−ノルボルネン、又はそれらの組み合わせを含む、請求項11に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記ポリシアネートがジシクロペンタジエンビスフェノールシアネートエステルである、請求項12に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記樹脂状マトリクスがエポキシ樹脂を含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記エポキシ樹脂がフェノールノボラックエポキシ樹脂である、請求項14に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記フェノールノボラックエポキシ樹脂が、フェノール−ノボラックエポキシ樹脂、クレゾール−ノボラックエポキシ樹脂、ナフトール−ノボラックエポキシ樹脂、ナフトール−フェノール共縮合ノボラックエポキシ樹脂、ナフトール−クレゾール共縮合ノボラックエポキシ樹脂、臭素化フェノール−ノボラックエポキシ樹脂、又はそれらの組み合わせである、請求項15に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記樹脂状マトリクスが、前記マトリクスの約75重量%〜約99.5重量%の量の無機酸化物フィラーを更に含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記無機酸化物フィラーがシリカを含む、請求項17に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記キャパシタ素子が前記固体電解質の上に配されている金属粒子層を含む陰極被膜を更に含み、前記金属粒子層は複数の導電性金属粒子を含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記金属粒子が銀を含む、請求項19に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記陽極体がタンタルを含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記固体電解質が導電性ポリマーを含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
- 外因性導電性ポリマーがポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)又はその誘導体である、請求項23に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記固体電解質がまた、ポリマー対イオンも含む、請求項22に記載の固体電解キャパシタ。
- 前記固体電解質の上に配されており、予め重合された導電性ポリマー粒子及び架橋剤を含む外部ポリマー被覆を更に含む、請求項1に記載の固体電解キャパシタ。
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