JP2021515232A - 荷電粒子ビーム計測システムの帯電効果と放射線損傷を最小化する走査戦略 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2018年3月7日に出願されたHong Xiaoによる米国仮特許出願第62/639,603号の利益を主張し、同出願はあらゆる目的で参照によりその全体を本明細書に援用する。
第1の技術では、オペレーション364で、後続のプロセスを調整して仕様外であるプロセスを補償してもよい。例えば、フォトレジストパターンのいずれかの部分が位置ずれしていると判断された場合、フォトレジストは剥離されて、位置ずれを排除するために修正済みパターンで再塗布されてよい。次に、オペレーション366で、同じウェハの製造を続けるために後続プロセスが実行される。例えば、ウェハはパターニングされてよい。第2の技術では、オペレーション368でウェハの処理が停止されて、次にウェハは廃棄されてよい。次に、オペレーション369で、仕様外であるプロセスが、後続のウェハに関して調整されてよい。
Claims (20)
- 上に形成された少なくとも2つのレイヤを有するターゲット上にオーバーレイ計測を実行する方法であって、
少なくとも2つのオーバーレイ方向におけるオーバーレイを測定するための複数の周期構造を有するターゲットを配設し、
荷電粒子ビームを、ターゲットの複数の走査スワスにわたり、ターゲットに対して第1のチルトで第1の方向に走査して、その結果、前記周期構造の各エッジが傾斜して走査されるようにし、
前記荷電粒子ビームを、前記複数の走査スワスにわたり、前記第1の方向と反対の第2の方向に、前記第1のチルトから180°である第2のチルトで走査し、
第1と第2の方向の走査オペレーションを、異なる第1と第2のチルトで、また前記ターゲットの異なる複数の走査スワスで繰り返して、その結果、前記ターゲットが対称に走査されるようにし、
前記第1と第2の方向の走査オペレーションによって生成されたイメージを合成して合成イメージを形成し、
前記合成イメージを分析することに基づいて前記ターゲットのオーバーレイエラーを決定し報告する、
ことを含む方法。 - 前記第2の方向の走査オペレーションによって引き起こされる前記周期構造への帯電効果は、前記第1の方向の走査オペレーションによって引き起こされる帯電効果に対して対称である、請求項1に記載の方法。
- 前記ターゲットは、XおよびYオーバーレイ両方の周期構造を含み、前記第1と第2の方向の走査オペレーションを繰り返すことは、前記ターゲットが45°、135°、225°および315°の角度で走査されることをもたらす、請求項1に記載の方法。
- 45°、135°、225°および315°の前記角度は、前記荷電粒子ビームを前記第1と第2の両方向に走査し、前記走査対象ターゲットをラスタパターンで回転させ並進させることによって達成される、請求項3に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを単一の並進方向に走査し、前記ターゲットを、それぞれ45°、135°、225°および315°の角度で回転させることによって45°、135°、225°および315°の角度が達成される、請求項3に記載の方法。
- 前記合成イメージは、前記第1と第2の方向の走査オペレーション故に対称な帯電効果を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1と第2の走査オペレーションは、走査スワスの各連続ペア間の周期構造の複数のスキップされるラインをスキップすることを含み、前記合成イメージはそのようなスキップされるラインのイメージ部分を除外し、前記スキップされるラインの総数は8以上である、請求項1に記載の方法。
- 前記スキップされるラインの総数は100以上である、請求項7に記載の方法。
- 前記周期構造はXおよびYライングレーティングを含み、前記走査スワスはそのようなXおよびYライングレーティングのいずれの長軸にも平行にならないように保たれる、請求項1に記載の方法。
- 前記周期構造は、第1の方向に長軸を有する第1のライングレーティングと、前記第1の方向とは異なり前記第1の方向に対して垂直でない第2の方向に第2のグレーティングを含み、前記走査スワスはそのような第1と第2のライングレーティングのいずれの長軸にも平行にならないように保たれる、請求項1に記載の方法。
- 上に形成された少なくとも2つのレイヤを有するターゲット上にオーバーレイ計測を実行するための荷電粒子ビームシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するためのビーム源と、
少なくとも2つのオーバーレイ方向におけるオーバーレイを測定するための複数の周期構造を有するターゲットに粒子ビームを指向させ走査するための光学素子と、
上に配置されたターゲットを保持し、前記荷電粒子ビームに対して移動させるためのステージと、
前記ターゲットにわたる前記荷電粒子ビームの走査に応答して前記ターゲットからの信号を受信するための検出器アセンブリと、
コントローラを備え、前記コントローラは、ビーム源、光学素子、ステージおよび検出器アセンブリと連携して、
荷電粒子ビームを、前記ターゲットの複数の走査スワスにわたり、前記ターゲットに対して第1のチルトで第1の方向に走査して、その結果、前記周期構造の各エッジが傾斜して走査されるようにし、
前記荷電粒子ビームを、前記複数の走査スワスにわたり、前記第1の方向と反対の第2の方向に、前記第1のチルトから180°である第2のチルトで走査し、
第1と第2の方向の走査オペレーションを、異なる第1と第2のチルトで、また前記ターゲットの異なる複数の走査スワスで繰り返して、その結果、前記ターゲットが対称に走査されるようにし、
前記第1と第2の方向の走査オペレーションによって生成されたイメージを合成して合成イメージを形成し、
前記合成イメージを分析することに基づいて、前記ターゲットのオーバーレイエラーを決定し報告する、
オペレーションを実行するように構成されているシステム。 - 前記第2の方向の走査オペレーションによって引き起こされる周期構造への帯電効果は、前記第1の方向の走査オペレーションによって引き起こされる帯電効果に対して対称である、請求項11に記載のシステム。
- 前記ターゲットは、XおよびYオーバーレイ両方の周期構造を含み、前記第1と第2の方向の走査オペレーションを繰り返すことは、前記ターゲットが45°、135°、225°および315°の角度で走査されることをもたらす、請求項11に記載のシステム。
- 45°、135°、225°および315°の前記角度は、前記荷電粒子ビームを前記第1と第2の両方向に走査し、前記走査対象ターゲットをラスタパターンで回転させ並進させることによって達成される請求項13に記載のシステム。
- 45°、135°、225°および315°の前記角度は、前記荷電粒子ビームを単一の並進方向に走査し、前記ターゲットを45°、135°、225°および315°の各角度に回転させることによって達成される請求項13に記載のシステム。
- 前記合成イメージは、前記第1と第2の方向の走査オペレーション故に対称な帯電効果を有する、請求項11に記載のシステム。
- 前記第1と第2の走査オペレーションは、走査スワスの各連続ペア間の周期構造の複数のスキップされるラインをスキップすることを含み、前記合成イメージはそのようなスキップされるラインのイメージ部分を除外し、前記スキップされるラインの総数は8以上である、請求項11に記載のシステム。
- 前記スキップされるラインの総数は100以上である、請求項17に記載のシステム。
- 前記周期構造はXおよびYライングレーティングを含み、前記走査スワスはそのようなXおよびYライングレーティングのいずれの長軸にも平行にならないように保たれる、請求項11に記載のシステム。
- 前記周期構造は、第1の方向に長軸を有する第1のライングレーティングと、前記第1の方向とは異なり前記第1の方向に対して垂直でない第2の方向に第2のグレーティングを含み、前記走査スワスはそのような第1と第2のライングレーティングのいずれの長軸にも平行にならないように保たれる、請求項11に記載のシステム。
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