JP2015210140A - 計測システムおよび計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に第一のパターンと、第一のパターンよりも後の工程で形成された第二のパターンを有する試料の、第一および第二のパターンを含む領域に対し電子線を走査し、電子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域では、電子線の走査方向および順序が軸対称または点対称となるように電子線を走査することで、帯電の非対称性に起因した計測誤差を低減し、第一のパターンと第二のパターン間の合わせずれを高精度に計測する。
【選択図】 図9(a)
Description
Claims (12)
- 走査領域内において予め定められた任意の軸または点に基づき、走査方向または走査順序の条件を決定する条件設定部と、
第一のパターンと第一のパターンよりも後の工程で形成された第二のパターンとを有する基板に対し、前記条件設定部にて定められた前記走査方向または走査順序の条件に基づき、荷電粒子線を走査したことにより得られた画像のうち、前記走査領域内において対称性のある領域同士を加算する画像処理部と、
前記加算結果に基づき、前記基板上の前記第一のパターンと第一のパターンよりも後の工程で形成された前記第二のパターンとのオーバーレイを演算する演算部と、を有する計測システム。 - 請求項1において、
前記第一のパターンと前記第二のパターン間のXおよびY方向の相対位置を前記加算結果から計測することを特徴とする計測システム。 - 請求項1において、
前記第一のパターンと第二のパターン間のXおよびY方向の相対位置を前記加算結果から計測し、荷電粒子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域に関して、それら計測領域間では荷電粒子線の走査方向および順序が点対称となるように電子線を走査させることを特徴とする計測システム。 - 請求項1において、
前記走査条件の作成に関する操作画面を表示する表示部を有し、
前記表示部には、前記荷電粒子線の走査方向および順序に関する対称軸あるいは点対称中心を表示することを特徴とする計測システム。 - 請求項1において、
前記計測装置は計測結果を表示する出力部を有し、
前記出力部には、前記荷電粒子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域において、それぞれの領域ごとの計測結果を表示することを特徴とする計測システム。 - 請求項1において、
前記条件設定部は、前記軸または点の設定を、前記第一のパターンおよび第二のパターンのパターンレイアウト情報に基づいて決定することを特徴とする計測システム。 - 走査領域内において予め定められた任意の軸または点に基づき、走査方向または走査順序の条件を決定する条件設定ステップと、
第一のパターンと第一のパターンよりも後の工程で形成された第二のパターンとを有する基板に対し、前記条件設定部にて定められた前記走査方向または走査順序の条件に基づき、荷電粒子線を走査したことにより得られた画像のうち、前記走査領域内において対称性のある領域同士を加算する画像処理ステップと、
前記加算結果に基づき、前記基板上の前記第一のパターンと第一のパターンよりも後の工程で形成された前記第二のパターンとのオーバーレイを演算する演算ステップと、を有する計測方法。 - 請求項7において、
前記演算ステップは、前記第一のパターンと前記第二のパターン間のXおよびY方向の相対位置を前記加算結果から計測することを特徴とする計測方法。 - 請求項7において、
前記条件設定ステップは、前記第一のパターンと前記第二のパターン間のXおよびY方向の相対位置を前記加算結果から計測し、荷電粒子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域に関して、前記複数のパターン位置計測領域の間で荷電粒子線の走査方向および順序が点対称となるように電子線を走査させるよう設定するステップであることを特徴とする計測方法。 - 請求項7において、
前記走査条件の作成に関する操作画面を表示する表示ステップを有し、
前記表示ステップでは、前記荷電粒子線の走査方向および順序に関する対称軸あるいは点対称中心を表示することを特徴とする計測方法。 - 請求項7において、
前記オーバーレイの演算結果を表示する出力ステップを有し、
前記出力ステップでは、前記荷電粒子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域において、それぞれの領域ごとの計測結果を表示することを特徴とする計測方法。 - 請求項7において、
前記条件設定ステップは、前記軸または点の設定を、前記第一のパターンおよび第二のパターンのパターンレイアウト情報に基づいて決定することを特徴とする計測方法。
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