JP2021500702A5 - - Google Patents

Description

図６Ｂは、別の例における回転式アノードアセンブリ１５０を示す。図６Ｂに示す例において、回転式アノードアセンブリ１５０の角速度は、一定値ωである。この例において、液体金属アノード材料１５３に作用する重力に加えて、遠心力が、液体金属アノード材料１５３に作用する。その結果として、液体金属アノード材料１５３は、また、回転軸線Ａに平行な方向において、回転式アノード支持構造１５１の形状に適合する。回転式アノード支持構造１５１は、液体金属アノード材料１５３が、角速度がゼロでないときに回転式アノード支持構造１５１と接触した状態のままに拘束されるように成形されている。言い換えると、角速度がゼロでないとき、回転式アノード支持構造１５１は、液体金属アノード材料１５３が、溢れず、失われないように成形されている。

一例では、測定データ１２４は、試料の測定されたＸ線応答についての表示を含む。検出器１２３の表面で測定されたＸ線応答の分布に基づいて、試料１０１でのＸ線ビーム１０８の入射位置及び領域が、計算システム１３０によって決定される。一例では、パターン認識技術が、計算システム１３０によって適用されて、測定データ１２４に基づいて、試料１０１上でのＸ線ビーム１０８の入射位置及び領域を決定する。それに応じて、計算システム１３０は、電子光学部品１０４及びＸ線光学部品１０６のうちの任意のものへのコマンド信号を発生させることにより、入射Ｘ線照明ビーム１０８の向き及び形状を変える。