JP2021184257A - ガス流制御のための方法および装置 - Google Patents
ガス流制御のための方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021184257A JP2021184257A JP2021109827A JP2021109827A JP2021184257A JP 2021184257 A JP2021184257 A JP 2021184257A JP 2021109827 A JP2021109827 A JP 2021109827A JP 2021109827 A JP2021109827 A JP 2021109827A JP 2021184257 A JP2021184257 A JP 2021184257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow
- limiter
- gas
- control valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
Abstract
Description
本願は、2015年7月10日に出願の米国仮特許出願第62/191,272号の優先権を主張し、その内容全体が本明細書に組み込まれる。
本願は、半導体処理においてなど、特に正確な測定が必要とされるときの、ガス流の制御に関する。
1.流量制限部の2つの対向する面の一軸の動作において、他の2つの軸における横方向動作および/または回転動作が約1nm未満に限られること、
2.その一軸次元の動作の測定は約1nmの精度であること、
3.動作のアクチュエーションは約0.1nmの分解能を有すること、
を取り入れることで、このレベルの精度が得られる。
1.ステップ500において、流量の所望の設定値がコントローラ120に送信される。505において設定値が0である場合、処理が完了していると推定され、510においてコントローラはバルブを閉鎖する信号を送信し、515においてプロセスは停止する。
2.505において設定値が0でない場合、プロセスはステップ520に進み、コントローラは、圧力変換器P2 112によって示される測定圧力とともに制御バルブ108のための検索表を用いて、制御バルブの必要な位置を検索表から決定する。
3.コントローラは、バルブの決定位置を第1検索表から設定するために必要な駆動信号を決定する。これは閉ループ制御システムを用いて行われ、これにより、第1検索表から決定された位置が525にて定められたと制御バルブの位置センサが判定するまで、駆動信号を変化させる。
4.コントローラは、圧力変換器P1 106およびP2 112と、温度センサT114との値を読み取る。このデータを用いて、コントローラは、流量制限器110のための第2検索表から流量を決定する。
5.535では、コントローラは、流量制限器の第2検索表によって決定された流量と、制御バルブの第1検索表によって決定された流量とを比較する。535において値が合致すると、プロセスはステップ505に戻る。
6.535において、流量制限器の第2検索表によって決定された流量が、制御バルブの第1検索表によって決定された流量と異なるとき、540では、コントローラが、流量制限器の第2検索表によって決定された流量に合致させるように、制御バルブの第1検索表を更新する。
7.さらに、ステップ540の比較において、流量制限器の検索表によって決定された流量と、制御バルブの検索表によって決定された流量との差が、所定のしきい値より大きいことを示す場合、550において、コントローラはアラームを送信する。
8.設定値がゼロでない任意の値である期間、一定の間隔でステップ2〜7が繰り返される。
1.600において、流量の所望の設定値をコントローラに送信する。605において設定値がゼロである場合、処理が完了していると推定され、610においてコントローラはバルブを閉鎖する信号を送信し、プロセスは停止する。
2.605において値が0でない場合、コントローラは、圧力変換器P1およびP2と、温度センサTとの値を読み取る。615において、流量制限器のための第2検索表とともにこのデータを用いて、コントローラは現在の流量を判定し、これにより、設定値の流量を得るために流量にどのくらいの変化が必要かの計算が可能になる。
3.620においてコントローラは制御バルブのための第1検索表を用い、ステップ615において判定された流量の変化を得るためにバルブがどのくらい移動する必要があるかを判定する。
4.コントローラは、625において必要な量の移動をするように制御バルブに命令する。
5.設定値がゼロでない任意の値である期間、一定の間隔で上述のステップ2、3および4が繰り返される。
6.命令、または設定値の各変更、または他の都合のよいときに、630において、流量の正確性が判定毎に確認されることがある。これは、635において、流量制限器の検索表によって決定された流量と、制御バルブの検索表によって決定された流量とを比較することで行われる。640においてこれらの2つの値が所定のしきい値を超えて異なる場合、645において警告またはアラームが送信され、流量の正確性が検証できなかったことを操作者に警告する。
Claims (6)
- ガス流制御バルブによってガス流量を制御する方法であって、
a. 前記ガス流制御バルブの上流の圧力、バルブの測定位置、および流量を相関させる第1検索表を作成するステップと、
b. 前記制御バルブの上流に配置された流量制限器によってガス流量を決定し、前記ガス流量は、第2検索表と、前記流量制限器の上流の圧力、前記流量制限器の下流の圧力、および前記流量制限器の温度を測定した値とを用いて決定されるステップと、
c. 所望の流量を得るために制御バルブ位置の必要な変更を前記第1検索表から決めるステップと、
d. 前記制御バルブの位置を変更させるステップと、
e. 前記所望の流量と前記流量制限器を通過した流量との差を計算するステップと、
f. 前記差を用いて前記第1検索表を更新し、前記所望の流量を得るように連続的に前記圧力を測定して前記ガス流制御バルブを調整するステップと、
g. 前記差が所定の値を超える場合にアラームを送信するステップと、
h. 前記所望の流量がゼロでない値である期間、上記のステップb〜gを反復するステップと、を含む方法。 - ガスの流量を制御するための装置であって、バルブの位置および前記バルブの上流のガス圧力が測定されるとともに、前記バルブを通過するガス流量を決定するために第1検索表とともに使用される制御可能なバルブと、流量制限器の温度と前記流量制限器の上流および下流のガス圧力とが測定されるとともに、前記ガスの流量を決定するために第2検索表とともに用いられる制御可能なバルブの上流の流量制限器と、所望の流量と前記流量制限器を通過した流量との間の差を計算し、その差を用いて前記第1検索表を更新するコントローラとを含む、装置。
- 前記流量の正確性を検証するために、前記第1検索表から決定された前記流量と前記第2検索表から決定された前記流量との比較が用いられる、請求項2に記載の装置。
- 前記流量制限器は管を含む、請求項2に記載の装置。
- 前記流量制限器は機械加工された金属ブロックに形成されたチャネルを含む、請求項2に記載の装置。
- ガスの流量を制御するための装置であって、
制御バルブと、
前記制御バルブの上流に配置された流量制限器と、
前記流量制限器の上流に配置された第1圧力変換器と、
前記流量制限器の下流かつ前記制御バルブの上流に配置された第2圧力変換器と、
前記流量制限器において温度を測定するように配置された温度センサと、
プロセッサおよび記憶媒体を含むコントローラと、を含み、
前記記憶媒体は、前記制御バルブの上流で測定される前記第2圧力変換器の圧力、測定された前記制御バルブの位置、および前記制御バルブを通る流量を相関させる第1検索表と、前記流量制限器の上流の圧力、前記流量制限器の下流の圧力、前記温度センサの温度、および前記流量制限器を通る質量流量を相関させる第2検索表とを含み、
前記コントローラは、所望の流量と前記流量制限器を通る流量との間の差を計算し、その差を用いて前記第1検索表を更新するステップとを含む、装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562191272P | 2015-07-10 | 2015-07-10 | |
US62/191,272 | 2015-07-10 | ||
JP2018500675A JP6938460B2 (ja) | 2015-07-10 | 2016-07-08 | ガス流制御のための方法および装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018500675A Division JP6938460B2 (ja) | 2015-07-10 | 2016-07-08 | ガス流制御のための方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021184257A true JP2021184257A (ja) | 2021-12-02 |
JP7291176B2 JP7291176B2 (ja) | 2023-06-14 |
Family
ID=57730874
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018500675A Active JP6938460B2 (ja) | 2015-07-10 | 2016-07-08 | ガス流制御のための方法および装置 |
JP2021109827A Active JP7291176B2 (ja) | 2015-07-10 | 2021-07-01 | ガス流制御のための方法および装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018500675A Active JP6938460B2 (ja) | 2015-07-10 | 2016-07-08 | ガス流制御のための方法および装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10401202B2 (ja) |
EP (1) | EP3320408A1 (ja) |
JP (2) | JP6938460B2 (ja) |
KR (1) | KR102371907B1 (ja) |
CN (1) | CN107924199A (ja) |
TW (1) | TWI604291B (ja) |
WO (1) | WO2017011325A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2557670B (en) | 2016-12-15 | 2020-04-15 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Improved gas flow control |
US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
US11105664B2 (en) | 2017-03-23 | 2021-08-31 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for creating inferential process flow measurements using flow restrictor and upstream and downstream pressure measurements |
JP6670791B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-03-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 流量制御器を検査する方法及び被処理体を処理する方法 |
RU2655649C1 (ru) * | 2017-07-04 | 2018-05-29 | Акционерное общество "Государственный ракетный центр имени академика В.П. Макеева" | Способ измерения расхода жидкости и устройство для его осуществления |
JP7164938B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2022-11-02 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム |
US10558227B2 (en) * | 2018-02-15 | 2020-02-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors using pulse width modulation |
US11002461B2 (en) * | 2018-02-15 | 2021-05-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors |
KR20200130473A (ko) * | 2018-04-03 | 2020-11-18 | 램 리써치 코포레이션 | Mems 코리올리 가스 유량 제어기 |
JP2020021176A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
WO2020154197A1 (en) * | 2019-01-25 | 2020-07-30 | Lam Research Corporation | Differential-pressure-based flow meters |
EP3838411A1 (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-23 | TECAN Trading AG | Pipetting device and method |
CN112696520A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-23 | 江苏中电创新环境科技有限公司 | 一种气动调节阀的控制系统及其方法 |
CN112786223B (zh) * | 2021-01-14 | 2023-10-31 | 中广核研究院有限公司 | 余热排出系统及流量稳定方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5332764U (ja) * | 1976-08-27 | 1978-03-22 | ||
JPH075022U (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-24 | 東ソー株式会社 | オリフィス流量検出端 |
JP2005024421A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Tadahiro Omi | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
JP2010186234A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Surpass Kogyo Kk | 流量コントローラ |
JP2011510404A (ja) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | ピヴォタル システムズ コーポレーション | ガスの流量を決定する方法、ガス・フロー・コントローラの動作を決定する方法、ガスフローコントロールシステムの一部の容量を決定する方法、及びガス搬送システム |
Family Cites Families (130)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4114419A (en) | 1977-06-06 | 1978-09-19 | Kimbell Charles L | Method of testing an analyzer to determine the accuracy thereof and a volumetric primary standard apparatus for doing same |
US4285245A (en) | 1979-12-06 | 1981-08-25 | Precision Machine Products, Inc. | Method and apparatus for measuring and controlling volumetric flow rate of gases in a line |
JPS6062118A (ja) | 1983-09-16 | 1985-04-10 | Canon Inc | 位置検出装置 |
US4560871A (en) | 1983-12-22 | 1985-12-24 | Marquest Medical Products, Inc. | Actuator for control valves and related systems |
US4617952A (en) | 1984-07-31 | 1986-10-21 | Yamatake-Honeywell Co. Limited | Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same |
US4695034A (en) | 1984-11-27 | 1987-09-22 | Stec Inc. | Fluid control device |
JPS62141381A (ja) | 1985-12-16 | 1987-06-24 | Hitachi Metals Ltd | 圧電駆動式弁 |
US5154206A (en) | 1988-12-01 | 1992-10-13 | United Technologies Corporation | Vibration damper |
JPH0694909B2 (ja) | 1988-12-15 | 1994-11-24 | 工業技術院長 | 圧電素子を用いた流体制御バルブ |
ES2061042T3 (es) | 1989-06-14 | 1994-12-01 | Westonbridge Int Ltd | Microbomba perfeccionada. |
DE3919876A1 (de) | 1989-06-19 | 1990-12-20 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil |
DE3926647A1 (de) | 1989-08-11 | 1991-02-14 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur herstellung eines mikroventils |
US5238223A (en) | 1989-08-11 | 1993-08-24 | Robert Bosch Gmbh | Method of making a microvalve |
US5092360A (en) | 1989-11-14 | 1992-03-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Flow rated control valve using a high-temperature stacked-type displacement device |
JPH0434275A (ja) | 1990-05-26 | 1992-02-05 | Stec Kk | 常閉型流体制御バルブ |
US5062446A (en) | 1991-01-07 | 1991-11-05 | Sematech, Inc. | Intelligent mass flow controller |
US5094430A (en) | 1991-03-04 | 1992-03-10 | Stec, Inc. | Control valve |
US5146941A (en) * | 1991-09-12 | 1992-09-15 | Unitech Development Corp. | High turndown mass flow control system for regulating gas flow to a variable pressure system |
FR2685752B1 (fr) | 1991-12-31 | 1995-03-17 | Gaz De France | Procede de modulation en continu d'un debit de fluide, a l'aide d'un clapet sequentiel commande electriquement. |
DE4221089A1 (de) | 1992-06-26 | 1994-01-05 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil |
DE69431994T2 (de) | 1993-10-04 | 2003-10-30 | Res Int Inc | Mikro-bearbeitetes fluidbehandlungsvorrichtung mit filter und regelventiler |
WO1995019549A1 (en) | 1994-01-14 | 1995-07-20 | Unit Instruments, Inc. | Flow meter |
US5624409A (en) | 1994-06-10 | 1997-04-29 | Fluidsense Corporation | Variable-pulse dynamic fluid flow controller |
US5497804A (en) | 1994-06-27 | 1996-03-12 | Caterpillar Inc. | Integral position sensing apparatus for a hydraulic directional valve |
US5566710A (en) | 1994-09-29 | 1996-10-22 | Dana Corporation | Pre-detent tactile feedback assembly for a fluid control valve |
US5532922A (en) * | 1994-09-30 | 1996-07-02 | Honeywell Inc. | Non-linear control system for a single input single output process |
US5593134A (en) | 1995-02-21 | 1997-01-14 | Applied Power Inc. | Magnetically assisted piezo-electric valve actuator |
JP3291161B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2002-06-10 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
DE19526897A1 (de) | 1995-07-22 | 1997-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil mit verbundenen Schichten und Verfahren zur Herstellung eines Mikroventils |
US5684245A (en) | 1995-11-17 | 1997-11-04 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus for mass flow measurement of a gas |
JP3260279B2 (ja) | 1996-04-03 | 2002-02-25 | 株式会社荏原製作所 | 水圧電磁比例制御弁 |
US5730861A (en) | 1996-05-06 | 1998-03-24 | Sterghos; Peter M. | Swimming pool control system |
US5868159A (en) | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
US5865417A (en) | 1996-09-27 | 1999-02-02 | Redwood Microsystems, Inc. | Integrated electrically operable normally closed valve |
DE19648730C2 (de) | 1996-11-25 | 1998-11-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil |
DE19735156C1 (de) | 1996-11-25 | 1999-04-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil |
US5787915A (en) | 1997-01-21 | 1998-08-04 | J. Otto Byers & Associates | Servo positioning system |
US6062256A (en) | 1997-02-11 | 2000-05-16 | Engineering Measurements Company | Micro mass flow control apparatus and method |
US5856743A (en) | 1997-03-31 | 1999-01-05 | Honeywell Inc. | Position-determining apparatus |
JPH1133471A (ja) | 1997-07-23 | 1999-02-09 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
US5942892A (en) | 1997-10-06 | 1999-08-24 | Husco International, Inc. | Method and apparatus for sensing armature position in direct current solenoid actuators |
US5997280A (en) | 1997-11-07 | 1999-12-07 | Maxon Corporation | Intelligent burner control system |
TW392048B (en) | 1997-12-12 | 2000-06-01 | Smc Kk | Piezoelectric valve |
JP3557087B2 (ja) | 1998-02-06 | 2004-08-25 | シーケーディ株式会社 | マスフローコントローラ流量検定システム |
DE19849700C2 (de) | 1998-10-28 | 2001-06-28 | Festo Ag & Co | Mikroventilanordnung |
EP1144890A2 (en) | 1998-11-16 | 2001-10-17 | California Institute of Technology | Parylene micro check valve and fabrication method thereof |
US6244296B1 (en) | 1999-02-23 | 2001-06-12 | Spx Corporation | Position detection for rotary control valves |
DE19914372B4 (de) | 1999-03-30 | 2007-05-16 | Pierburg Gmbh | Vorrichtung zur Überwachung des Ventilhubes eines elektromagnetisch angetriebenen Ventils |
JP3635982B2 (ja) | 1999-04-19 | 2005-04-06 | 横河電機株式会社 | バルブポジショナ及び電空変換器 |
JP2001012632A (ja) | 1999-04-30 | 2001-01-16 | Tokyo Keiso Co Ltd | 流量調節弁及び流量調節システム |
US6363958B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-04-02 | Parker-Hannifin Corporation | Flow control of process gas in semiconductor manufacturing |
JP4390231B2 (ja) | 1999-05-14 | 2009-12-24 | 油研工業株式会社 | 電磁操作装置 |
US6119710A (en) | 1999-05-26 | 2000-09-19 | Cyber Instrument Technologies Llc | Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction |
US6581623B1 (en) | 1999-07-16 | 2003-06-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels |
US6138708A (en) | 1999-07-28 | 2000-10-31 | Controls Corporation Of America | Mass flow controller having automatic pressure compensator |
JP2001141091A (ja) | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Smc Corp | 流量制御弁 |
US6460567B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-10-08 | Hansen Technologies Corpporation | Sealed motor driven valve |
US6247493B1 (en) | 2000-03-09 | 2001-06-19 | Richard C. Henderson | Miniature pulsatile flow controller |
JP2001317646A (ja) | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Smc Corp | 圧電式流体制御弁 |
US6276385B1 (en) | 2000-06-09 | 2001-08-21 | Fisher Controls International, Inc. | Plug and seat positioning system for control applications |
US6412444B1 (en) | 2000-06-21 | 2002-07-02 | Vaughn P. Esham | Animal anchor and tether system |
US6539968B1 (en) * | 2000-09-20 | 2003-04-01 | Fugasity Corporation | Fluid flow controller and method of operation |
JP2002099330A (ja) | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Aera Japan Ltd | 流量制御装置 |
WO2002037199A2 (en) | 2000-11-06 | 2002-05-10 | Brooks Automation Inc. | Method and apparatus for a flow regulator having an integral hinge |
US6648019B2 (en) | 2000-12-15 | 2003-11-18 | Siemens Automotive Inc. | Air mass flow controller |
US6782906B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-08-31 | Young-Chul Chang | Time based mass flow controller and method for controlling flow rate using it |
JP2002200597A (ja) | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロアクチュエータ及びこれを用いた半導体マイクロバルブ |
JP3801446B2 (ja) | 2001-01-15 | 2006-07-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
US6382226B1 (en) | 2001-04-17 | 2002-05-07 | Fisher Controls International, Inc. | Method for detecting broken valve stem |
US6761063B2 (en) | 2001-07-02 | 2004-07-13 | Tobi Mengle | True position sensor for diaphragm valves |
JP3756429B2 (ja) | 2001-07-12 | 2006-03-15 | Smc株式会社 | 流量制御弁 |
US6627465B2 (en) | 2001-08-30 | 2003-09-30 | Micron Technology, Inc. | System and method for detecting flow in a mass flow controller |
JP4102564B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-06-18 | 忠弘 大見 | 改良型圧力式流量制御装置 |
FR2836536B1 (fr) | 2002-02-26 | 2004-05-14 | Cedrat Technologies | Vanne piezoelectrique |
US6981518B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-01-03 | Cytonome, Inc. | Latching micro-regulator |
DK1367307T3 (da) | 2002-05-31 | 2004-08-30 | Festo Ag & Co | Piezoventil |
US7809473B2 (en) | 2002-06-24 | 2010-10-05 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control |
US7136767B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-11-14 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for calibration of mass flow controller |
US6948508B2 (en) | 2002-06-24 | 2005-09-27 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for self-calibration of mass flow controller |
CN100422616C (zh) * | 2002-08-28 | 2008-10-01 | 霍里巴斯特克公司 | 高精度基于压力的流量控制器 |
US7559926B1 (en) | 2003-01-13 | 2009-07-14 | Advanced Neuromodulation Systems, Inc. | Actuation system and method for an implantable infusion pump |
US7089134B2 (en) | 2003-01-17 | 2006-08-08 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for analyzing gas flow in a gas panel |
DE10314386A1 (de) | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Abb Research Ltd. | Durchflussregeleinrichtung |
EP1564464B1 (de) | 2004-02-11 | 2006-04-19 | FESTO AG & Co | Piezoventil |
US7790325B2 (en) | 2004-03-31 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Valve having valve element displaced by at least one of a movement of a diaphragm and a movement of an actuator, and fuel cell using the valve |
US7882852B2 (en) | 2004-05-04 | 2011-02-08 | Woodward Hrt, Inc. | Direct drive servovalve device with redundant position sensing and methods for making the same |
ES2245239B1 (es) | 2004-06-03 | 2007-03-01 | Consejo Sup. Investig. Cientificas | Servoposicionador para valvula de microrregulacion. |
JP4086057B2 (ja) | 2004-06-21 | 2008-05-14 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御装置及びこの検定方法 |
JP2008089607A (ja) | 2004-06-21 | 2008-04-17 | Hitachi Metals Ltd | 質量流量制御装置及びこの調整方法 |
CN100483286C (zh) | 2004-06-21 | 2009-04-29 | 日立金属株式会社 | 流量控制装置及其调整方法 |
US20060006484A1 (en) | 2004-07-06 | 2006-01-12 | Dilan Seneviratne | Functional material for micro-mechanical systems |
WO2006014508A2 (en) | 2004-07-07 | 2006-02-09 | Parker Hannifin Corporation | Flow control apparatus and method with internally isothermal control volume for flow verification |
US7412986B2 (en) | 2004-07-09 | 2008-08-19 | Celerity, Inc. | Method and system for flow measurement and validation of a mass flow controller |
JP4977947B2 (ja) | 2004-07-16 | 2012-07-18 | 日産自動車株式会社 | 燃料電池システム |
JP2008530423A (ja) | 2005-02-07 | 2008-08-07 | ボーグワーナー・インコーポレーテッド | ディーゼルエンジン用の排気スロットルegr弁モジュール |
US7992395B2 (en) | 2006-01-17 | 2011-08-09 | Hussmann Corporation | Expansion valve with piezo material |
US7283894B2 (en) | 2006-02-10 | 2007-10-16 | Dresser, Inc. | System and method for fluid regulation |
US7409871B2 (en) * | 2006-03-16 | 2008-08-12 | Celerity, Inc. | Mass flow meter or controller with inclination sensor |
JP5123175B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2013-01-16 | 株式会社堀場エステック | サーマル式質量流量計及びサーマル式質量流量制御装置 |
US7631492B2 (en) | 2006-12-20 | 2009-12-15 | Suresh Arvind S | System and method for inhibiting uncontrolled regeneration of a particulate filter for an internal combustion engine |
DE102007004595A1 (de) | 2007-01-30 | 2008-08-07 | Samson Ag | Verfahren und Einrichtung zum Übertragen von elektrischen Stellungsinformationen eines Stellglieds |
JP4933936B2 (ja) | 2007-03-30 | 2012-05-16 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式制御弁 |
US8205629B2 (en) | 2008-04-25 | 2012-06-26 | Applied Materials, Inc. | Real time lead-line characterization for MFC flow verification |
CN101299767A (zh) * | 2008-05-07 | 2008-11-05 | 珠海欧比特控制工程股份有限公司 | 流量计算系统及流量计算方法 |
JP5177864B2 (ja) | 2008-06-04 | 2013-04-10 | 株式会社フジキン | 熱式質量流量調整器用自動圧力調整器 |
US7826986B2 (en) * | 2008-09-26 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and system for operating a mass flow controller |
US8844901B2 (en) | 2009-03-27 | 2014-09-30 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow control valve |
US8160833B2 (en) * | 2009-07-14 | 2012-04-17 | Hitachi Metals, Ltd | Thermal mass flow sensor with improved response across fluid types |
TWI435196B (zh) | 2009-10-15 | 2014-04-21 | Pivotal Systems Corp | 氣體流量控制方法及裝置 |
CN101696742B (zh) | 2009-10-21 | 2010-12-08 | 潘兆铿 | 多通道阶跃式电动燃气调节阀 |
US8271210B2 (en) | 2009-12-09 | 2012-09-18 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for enhancing in-situ gas flow measurement performance |
US8271211B2 (en) * | 2009-12-09 | 2012-09-18 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for enhancing in-situ gas flow measurement performance |
US8265888B2 (en) | 2009-12-09 | 2012-09-11 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for enhancing in-situ gas flow measurement performance |
US8504311B2 (en) * | 2010-04-09 | 2013-08-06 | Hitachi Metals, Ltd. | Method and mass flow controller for enhanced operating range |
US9400004B2 (en) * | 2010-11-29 | 2016-07-26 | Pivotal Systems Corporation | Transient measurements of mass flow controllers |
US20120197446A1 (en) * | 2010-12-01 | 2012-08-02 | Glaudel Stephen P | Advanced feed-forward valve-control for a mass flow controller |
US9690301B2 (en) * | 2012-09-10 | 2017-06-27 | Reno Technologies, Inc. | Pressure based mass flow controller |
JP5809012B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-11-10 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量測定機構、又は、当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラム |
US9557744B2 (en) * | 2012-01-20 | 2017-01-31 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
JP5833475B2 (ja) * | 2012-03-02 | 2015-12-16 | アズビル株式会社 | ガス流量測定装置および流量制御バルブ |
JP5887188B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2016-03-16 | 株式会社堀場エステック | 流体制御用機器 |
JP5868796B2 (ja) * | 2012-07-03 | 2016-02-24 | 株式会社堀場エステック | 圧力制御装置、流量制御装置、及び、圧力制御装置用プログラム、流量制御装置用プログラム |
CN102841178B (zh) * | 2012-08-24 | 2014-11-19 | 东莞市升微机电设备科技有限公司 | 具有进气流量补偿控制系统的voc释放舱及控制方法 |
JP6002029B2 (ja) * | 2012-12-26 | 2016-10-05 | アズビル株式会社 | 流量演算装置および流量制御装置 |
US9488516B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-11-08 | Hitachi Metals, Ltd. | On-tool mass flow controller diagnostic systems and methods |
US9454158B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
JP6264152B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-01-24 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
JP2016192039A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | アズビル株式会社 | 流量制御弁 |
JP6512959B2 (ja) * | 2015-06-19 | 2019-05-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系、ガス供給制御方法、及びガス置換方法 |
KR102579543B1 (ko) * | 2015-08-31 | 2023-09-18 | 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드 | 비임계적 흐름 조건에서 압력 기반의 흐름 측정을 위한 방법 및 장치 |
-
2016
- 2016-07-08 CN CN201680048194.XA patent/CN107924199A/zh active Pending
- 2016-07-08 US US15/206,180 patent/US10401202B2/en active Active
- 2016-07-08 WO PCT/US2016/041581 patent/WO2017011325A1/en active Application Filing
- 2016-07-08 EP EP16824948.0A patent/EP3320408A1/en not_active Withdrawn
- 2016-07-08 JP JP2018500675A patent/JP6938460B2/ja active Active
- 2016-07-08 KR KR1020187003812A patent/KR102371907B1/ko active IP Right Grant
- 2016-07-11 TW TW105121691A patent/TWI604291B/zh active
-
2021
- 2021-07-01 JP JP2021109827A patent/JP7291176B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5332764U (ja) * | 1976-08-27 | 1978-03-22 | ||
JPH075022U (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-24 | 東ソー株式会社 | オリフィス流量検出端 |
JP2005024421A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Tadahiro Omi | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
JP2011510404A (ja) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | ピヴォタル システムズ コーポレーション | ガスの流量を決定する方法、ガス・フロー・コントローラの動作を決定する方法、ガスフローコントロールシステムの一部の容量を決定する方法、及びガス搬送システム |
JP2010186234A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Surpass Kogyo Kk | 流量コントローラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018520441A (ja) | 2018-07-26 |
WO2017011325A1 (en) | 2017-01-19 |
TW201702781A (zh) | 2017-01-16 |
KR102371907B1 (ko) | 2022-03-08 |
KR20180030089A (ko) | 2018-03-21 |
JP6938460B2 (ja) | 2021-09-22 |
US10401202B2 (en) | 2019-09-03 |
JP7291176B2 (ja) | 2023-06-14 |
CN107924199A (zh) | 2018-04-17 |
TWI604291B (zh) | 2017-11-01 |
EP3320408A1 (en) | 2018-05-16 |
US20170010625A1 (en) | 2017-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2021184257A (ja) | ガス流制御のための方法および装置 | |
KR101423062B1 (ko) | 상류의 질량 유량 검증 시스템 및 질량 유량 측정 장치의 성능 검증 방법 | |
US9983595B2 (en) | Method and apparatus for gas flow control | |
JP4395186B2 (ja) | 流量制御装置および体積の内部等温制御により流量検証を行うための方法 | |
JP6093019B2 (ja) | 質量流量制御システム | |
JP4788920B2 (ja) | 質量流量制御装置、その検定方法及び半導体製造装置 | |
US10048105B2 (en) | System and method for providing a self validating mass flow controller and mass flow meter | |
TWI642910B (zh) | 流量控制機器、流量控制機器的流量校正方法、流量測定機器及使用流量測定機器的流量測定方法 | |
US10437264B2 (en) | System and method for improving the accuracy of a rate of decay measurement for real time correction in a mass flow controller or mass flow meter by using a thermal model to minimize thermally induced error in the rod measurement | |
US9739655B2 (en) | System and method for using a rate of decay measurement for real time measurement and correction of zero offset and zero drift of a mass flow controller or mass flow meter | |
JP2018010696A (ja) | 質量流量コントローラ | |
KR20190079564A (ko) | 교정 데이터 작성 장치 및 교정 데이터 작성 방법, 및 유량 제어 장치 | |
US20170336810A1 (en) | Wireless flow restrictor of a flowmeter | |
Wright et al. | Errors in rate-of-rise gas flow measurements from flow work | |
JP7249030B2 (ja) | 流量測定装置内の容積測定方法および流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220802 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221026 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7291176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |