JP2021181505A - 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- -1 maleimide compound Chemical class 0.000 claims abstract description 35
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 claims abstract description 19
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims abstract description 10
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 66
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 34
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 25
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 125000005708 carbonyloxy group Chemical group [*:2]OC([*:1])=O 0.000 claims description 15
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000000468 ketone group Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 claims description 15
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000001118 alkylidene group Chemical group 0.000 claims description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 125000000654 isopropylidene group Chemical group C(C)(C)=* 0.000 claims description 9
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000005567 fluorenylene group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 3
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 8
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 16
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 12
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 10
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 7
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 7
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 150000003923 2,5-pyrrolediones Chemical class 0.000 description 4
- HESXPOICBNWMPI-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[4-[2-(4-aminophenyl)propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]aniline Chemical compound C=1C=C(C(C)(C)C=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 HESXPOICBNWMPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAZPKEBWNIUCKF-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[4-[2-[4-[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenoxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound C=1C=C(OC=2C=CC(=CC=2)N2C(C=CC2=O)=O)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1N1C(=O)C=CC1=O XAZPKEBWNIUCKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1,3,5-triazine Chemical compound CCC1=NC=NC=N1 QCBSYPYHCJMQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 4,4'-diaminodiphenylmethane Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C=C1 YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CBEVWPCAHIAUOD-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-amino-3-ethylphenyl)methyl]-2-ethylaniline Chemical compound C1=C(N)C(CC)=CC(CC=2C=C(CC)C(N)=CC=2)=C1 CBEVWPCAHIAUOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWOIWTRRPFHBSI-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[3-[2-(4-aminophenyl)propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]aniline Chemical compound C=1C=CC(C(C)(C)C=2C=CC(N)=CC=2)=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 KWOIWTRRPFHBSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(OC=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 3
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 3
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N methylimidazole Natural products CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 3
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WVGXBYVKFQJQGN-UHFFFAOYSA-N 1-tert-butylperoxy-2-propan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)C1=CC=CC=C1OOC(C)(C)C WVGXBYVKFQJQGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WECDUOXQLAIPQW-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Methylene bis(2-methylaniline) Chemical compound C1=C(N)C(C)=CC(CC=2C=C(C)C(N)=CC=2)=C1 WECDUOXQLAIPQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006845 Michael addition reaction Methods 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005037 alkyl phenyl group Chemical group 0.000 description 2
- OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N aluminum;borate Chemical compound [Al+3].[O-]B([O-])[O-] OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 2
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPQREHKVAOVYBT-UHFFFAOYSA-H dialuminum;tricarbonate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O PPQREHKVAOVYBT-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 125000005439 maleimidyl group Chemical group C1(C=CC(N1*)=O)=O 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy propan-2-yl carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(C)(C)C KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N (5-methyl-2-phenyl-1h-imidazol-4-yl)methanol Chemical compound OCC1=C(C)NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMYCVFRTNVMHAD-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(2-methylbutan-2-ylperoxy)cyclohexane Chemical compound CCC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)CC)CCCCC1 IMYCVFRTNVMHAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)cyclohexane Chemical compound CC(C)(C)OOC1(OOC(C)(C)C)CCCCC1 HSLFISVKRDQEBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 1-[3-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical group O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-methylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1CC1=CC=CC=C1 FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEULWJSKCVACTH-UHFFFAOYSA-N 1-phenylimidazole Chemical compound C1=NC=CN1C1=CC=CC=C1 SEULWJSKCVACTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(tert-butylperoxy)butane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(CC)OOC(C)(C)C HQOVXPHOJANJBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1h-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2N(CCC3)C3=NC2=C1 RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHIDYCYNRPVZCK-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-[2-(3-amino-4-hydroxyphenyl)propan-2-yl]phenol Chemical compound C=1C=C(O)C(N)=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C(N)=C1 UHIDYCYNRPVZCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGDMDBHLKNQPSD-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-(4-amino-3-hydroxyphenyl)phenol Chemical compound C1=C(O)C(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C(O)=C1 ZGDMDBHLKNQPSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYNVLWLRSACENL-UHFFFAOYSA-N 2-decyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LYNVLWLRSACENL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound CC1=NC=CN1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 QXSNXUCNBZLVFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAQDPWONDFRAHF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-2-(2-methylpentan-2-ylperoxy)pentane Chemical compound CCCC(C)(C)OOC(C)(C)CCC YAQDPWONDFRAHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDCMRFUDMYGBFU-UHFFFAOYSA-N 2-methylbutan-2-yl 7-methyloctaneperoxoate Chemical compound CCC(C)(C)OOC(=O)CCCCCC(C)C HDCMRFUDMYGBFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1NC(=O)NC(=O)N1.C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQARUDWASOOSRH-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxypropan-2-yl hydrogen carbonate Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)OC(O)=O BQARUDWASOOSRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxypropan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUIURNJTPRWVAP-UHFFFAOYSA-N 3,3'-Dimethylbenzidine Chemical group C1=C(N)C(C)=CC(C=2C=C(C)C(N)=CC=2)=C1 NUIURNJTPRWVAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CC1=NC=CN1CCC#N SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 3-(2-undecylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1CCC#N SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenyl)sulfonylaniline Chemical compound NC1=CC=CC(S(=O)(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MOSSLXZUUKTULI-UHFFFAOYSA-N 3-[3-(2,5-dioxopyrrol-3-yl)-4-methylphenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound CC1=CC=C(C=2C(NC(=O)C=2)=O)C=C1C1=CC(=O)NC1=O MOSSLXZUUKTULI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 3-[3-(3-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(OC=3C=C(N)C=CC=3)C=CC=2)=C1 DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCXGOVYROJJXHA-UHFFFAOYSA-N 3-[4-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfonylphenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=CC(=CC=2)S(=O)(=O)C=2C=CC(OC=3C=C(N)C=CC=3)=CC=2)=C1 WCXGOVYROJJXHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 4-(4-amino-2-methylphenyl)-3-methylaniline Chemical group CC1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLLSOEKIMZEGFV-UHFFFAOYSA-N 4-(dibutylsulfamoyl)benzoic acid Chemical compound CCCCN(CCCC)S(=O)(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 HLLSOEKIMZEGFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYEDGEXYGKWJPB-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-aminophenyl)propan-2-yl]aniline Chemical compound C=1C=C(N)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 ZYEDGEXYGKWJPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUPRYUDHUFLKFL-UHFFFAOYSA-N 4-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=CC(OC=2C=CC(N)=CC=2)=C1 WUPRYUDHUFLKFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCRRFJIVUPSNTA-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 JCRRFJIVUPSNTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRIJFNDXIUWXDY-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[3-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=CC(C(C)(C)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 CRIJFNDXIUWXDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSXVBZHFXLKHJU-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(C(C)(C)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 DSXVBZHFXLKHJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UTDAGHZGKXPRQI-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfonylphenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(S(=O)(=O)C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=C1 UTDAGHZGKXPRQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIFDSGGWDIVQGN-UHFFFAOYSA-N 4-[9-(4-aminophenyl)fluoren-9-yl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C1(C=2C=CC(N)=CC=2)C2=CC=CC=C2C2=CC=CC=C21 KIFDSGGWDIVQGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKCCXOHQOVXCIG-UHFFFAOYSA-N 5-(1-cyanoethyl)-2-(2-phenylethoxymethyl)imidazole-1,4-dicarbonitrile Chemical compound C(#N)C(C)C=1N(C(=NC=1C#N)COCCC1=CC=CC=C1)C#N YKCCXOHQOVXCIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YATKABCHSRLDGQ-UHFFFAOYSA-N 5-benzyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C=1C=CC=CC=1CC(N=1)=CNC=1C1=CC=CC=C1 YATKABCHSRLDGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C(C)=CN=C1C1=CC=CC=C1 TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDZXJOMXPRWGFG-UHFFFAOYSA-N CCC1=NC=NC=N1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 Chemical compound CCC1=NC=NC=N1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 QDZXJOMXPRWGFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKIGCIPCGYDJGO-UHFFFAOYSA-N COC1=C[I]=CC=C1 Chemical compound COC1=C[I]=CC=C1 XKIGCIPCGYDJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N COc1ccccc1 Chemical compound COc1ccccc1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SQSPRWMERUQXNE-UHFFFAOYSA-N Guanylurea Chemical compound NC(=N)NC(N)=O SQSPRWMERUQXNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFDXZGUFUMAREO-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)-2-phenylimidazol-4-yl]methanol Chemical compound OCC1=CN(CO)C(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZFDXZGUFUMAREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000005036 alkoxyphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940118662 aluminum carbonate Drugs 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000003708 ampul Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N benzidine Chemical group C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1 HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- UPIWXMRIPODGLE-UHFFFAOYSA-N butyl benzenecarboperoxoate Chemical compound CCCCOOC(=O)C1=CC=CC=C1 UPIWXMRIPODGLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUZMQPZYCDIHQL-VCTVXEGHSA-L calcium;(2s)-1-[(2s)-3-[(2r)-2-(cyclohexanecarbonylamino)propanoyl]sulfanyl-2-methylpropanoyl]pyrrolidine-2-carboxylate Chemical compound [Ca+2].N([C@H](C)C(=O)SC[C@@H](C)C(=O)N1[C@@H](CCC1)C([O-])=O)C(=O)C1CCCCC1.N([C@H](C)C(=O)SC[C@@H](C)C(=O)N1[C@@H](CCC1)C([O-])=O)C(=O)C1CCCCC1 CUZMQPZYCDIHQL-VCTVXEGHSA-L 0.000 description 1
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N dipotassium dioxido(oxo)titanium Chemical compound [K+].[K+].[O-][Ti]([O-])=O NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000000219 ethylidene group Chemical group [H]C(=[*])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012760 heat stabilizer Substances 0.000 description 1
- 150000002432 hydroperoxides Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004978 peroxycarbonates Chemical class 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- SWAXTRYEYUTSAP-UHFFFAOYSA-N tert-butyl ethaneperoxoate Chemical compound CC(=O)OOC(C)(C)C SWAXTRYEYUTSAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOEYNURYLFDCEV-UHFFFAOYSA-N tert-butyl hydroxy carbonate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)OO YOEYNURYLFDCEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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Abstract
【課題】低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な耐熱性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたプリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】(A)マレイミド化合物と、(B)有機過酸化物と、(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤と、を含有する、樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたプリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法である。【選択図】なし
Description
本発明は、樹脂組成物、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法に関する。
近年の電子機器の小型化及び高性能化の流れに伴い、プリント配線板では配線密度の高度化及び高集積化が進展しており、これに伴って、プリント配線板用の積層板には、耐熱性の向上等による信頼性向上の要求が強まっている。このような用途、特に半導体パッケージ基板用途においては、優れた耐熱性及び低熱膨張性を兼備することが要求される。また、ネットワークインフラ機器、大型コンピュータ等における情報通信量、速度の著しい向上に伴い、これらの電子機器に搭載される半導体パッケージには高周波化対応が必要となり、伝送損失の低減を可能とする低誘電率及び低誘電正接を有する基板材料が求められている。
マレイミド化合物をアミン化合物で変性した変性マレイミド樹脂が、優れた耐熱性及び低熱膨張性を有することが知られている(例えば、特許文献1参照)。また、マレイミド化合物をアミン化合物で変性した変性マレイミド樹脂と、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂と、トリアジン環を有する変性イミダゾール化合物とを含有する樹脂組成物が、プリプレグ積層時に高温及び長時間の処理を必要とせず、且つワニス及びプリプレグの硬化性及び保存安定性が良好であり、耐薬品性、耐熱性、導体との接着性及び低そり性に優れることが知られている(例えば、特許文献2参照)。
特許文献1に記載された変性マレイミド樹脂等のポリイミド樹脂は、一般的に、エポキシ樹脂と比べて高いガラス転移温度(Tg)を有する傾向にあるため、耐熱性及び低熱膨張性に優れている。しかしながら、エポキシ樹脂の場合は、通常、180〜200℃程度で硬化可能であるが、変性マレイミド樹脂等のポリイミド樹脂の場合は、例えば、220℃以上の高温、且つ長時間の硬化処理が必要であり、生産性が悪いという問題があった。そこで、プリプレグ積層時の温度、つまりプレス温度を上げ過ぎることなく、且つ、耐熱性及び低熱膨張性に優れる材料が求められている。
さらに、本発明者らの検討によると、低いプレス温度でプリプレグを積層成形して得られた積層板又はプリント配線板は、高湿度下に晒された後にはんだ温度程度へ加熱されると、吸湿した水が基板内にて膨張して基板の膨れが発生し、積層板及び回路の変形を招くことがあることが判明している。したがって、吸水はんだ耐熱性を向上させることも求められる。
本発明は、こうした現状に鑑み、低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な耐熱性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたプリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法を提供することを課題とする。
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究した結果、下記の本発明によって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、下記[1]〜[12]に関するものである。
[1](A)マレイミド化合物と、
(B)有機過酸化物と、
(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤と、
を含有する、樹脂組成物。
[2]前記(C)成分に含まれるヘテロ原子が、窒素原子又はリン原子である、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3]前記(B)成分の1分間半減期温度が100〜200℃である、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4]前記(B)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部である、上記[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5]前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部質量部である、上記[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6]前記(B)成分と前記(C)成分の含有量比〔(B)成分/(C)成分〕が、質量基準で、0.2〜10である、上記[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7]前記(A)成分が、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するポリマレイミド化合物(a)、及び下記一般式(A−1)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物(c)からなる群から選ばれる1種以上である、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
(式中、A1は、下記一般式(A−2)、(A−3)、(A−4)又は(A−5)で表される基である。A2は下記一般式(A−6)で表される基である。)
(式中、R1は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。pは0〜4の整数である。)
(式中、R2及びR3は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A3は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、単結合、又は下記一般式(A−3−1)で表される基である。q及びrは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R4及びR5は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A4は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s及びtは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、nは0〜10の整数である。)
(式中、R6及びR7は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基である。uは1〜8の整数である。)
(式中、R8及びR9は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜5のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子である。A5は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、フルオレニレン基、単結合、又は下記一般式(A−7)もしくは(A−8)で表される基である。q’及びr’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R10及びR11は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A6は炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、m−フェニレンジイソプロピリデン基、p−フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s’及びt’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R12は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A7及びA8は、各々独立に、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。wは0〜4の整数である。)
[8]上記[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを含有してなるプリプレグ。
[9]上記[8]に記載のプリプレグと金属箔とを含有してなる積層板。
[10]上記[8]に記載のプリプレグ又は上記[9]に記載の積層板を含有してなる多層プリント配線板。
[11]上記[10]に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。
[12]上記[8]に記載にプリプレグを、120〜210℃に加熱して硬化させる工程を有する、多層プリント配線板の製造方法。
すなわち、本発明は、下記[1]〜[12]に関するものである。
[1](A)マレイミド化合物と、
(B)有機過酸化物と、
(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤と、
を含有する、樹脂組成物。
[2]前記(C)成分に含まれるヘテロ原子が、窒素原子又はリン原子である、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3]前記(B)成分の1分間半減期温度が100〜200℃である、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4]前記(B)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部である、上記[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5]前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部質量部である、上記[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6]前記(B)成分と前記(C)成分の含有量比〔(B)成分/(C)成分〕が、質量基準で、0.2〜10である、上記[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7]前記(A)成分が、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するポリマレイミド化合物(a)、及び下記一般式(A−1)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物(c)からなる群から選ばれる1種以上である、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
(式中、A1は、下記一般式(A−2)、(A−3)、(A−4)又は(A−5)で表される基である。A2は下記一般式(A−6)で表される基である。)
(式中、R1は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。pは0〜4の整数である。)
(式中、R2及びR3は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A3は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、単結合、又は下記一般式(A−3−1)で表される基である。q及びrは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R4及びR5は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A4は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s及びtは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、nは0〜10の整数である。)
(式中、R6及びR7は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基である。uは1〜8の整数である。)
(式中、R8及びR9は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜5のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子である。A5は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、フルオレニレン基、単結合、又は下記一般式(A−7)もしくは(A−8)で表される基である。q’及びr’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R10及びR11は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A6は炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、m−フェニレンジイソプロピリデン基、p−フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s’及びt’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R12は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A7及びA8は、各々独立に、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。wは0〜4の整数である。)
[8]上記[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを含有してなるプリプレグ。
[9]上記[8]に記載のプリプレグと金属箔とを含有してなる積層板。
[10]上記[8]に記載のプリプレグ又は上記[9]に記載の積層板を含有してなる多層プリント配線板。
[11]上記[10]に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。
[12]上記[8]に記載にプリプレグを、120〜210℃に加熱して硬化させる工程を有する、多層プリント配線板の製造方法。
本発明によると、低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な耐熱性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたプリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書においてはX以上でありY以下である数値範囲(X、Yは実数)を「X〜Y」と表すことがある。例えば、「0.1〜2」という記載は0.1以上であり2以下である数値範囲を示し、当該数値範囲には0.1、0.34、1.03、2等が含まれる。
本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。また、数値範囲の下限値および上限値は、それぞれ他の数値範囲の下限値および上限値と任意に組み合わせられる。
本明細書における記載事項を任意に組み合わせた態様も本発明に含まれる。
本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。また、数値範囲の下限値および上限値は、それぞれ他の数値範囲の下限値および上限値と任意に組み合わせられる。
本明細書における記載事項を任意に組み合わせた態様も本発明に含まれる。
[樹脂組成物]
本実施形態の樹脂組成物は、(A)マレイミド化合物(以下、「(A)成分」ともいう)と、(B)有機過酸化物(以下、「(B)成分」ともいう)と、(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤(以下、「(C)成分」ともいう)と、を含有する、樹脂組成物である。
本実施形態の樹脂組成物は、上記各成分を含有することによって、低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な誘電特性、導体との接着性、高ガラス転移温度及び低熱膨張性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れるものとなる。
以下、本実施形態の樹脂組成物が含有する各成分について説明する。
本実施形態の樹脂組成物は、(A)マレイミド化合物(以下、「(A)成分」ともいう)と、(B)有機過酸化物(以下、「(B)成分」ともいう)と、(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤(以下、「(C)成分」ともいう)と、を含有する、樹脂組成物である。
本実施形態の樹脂組成物は、上記各成分を含有することによって、低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な誘電特性、導体との接着性、高ガラス転移温度及び低熱膨張性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れるものとなる。
以下、本実施形態の樹脂組成物が含有する各成分について説明する。
<(A)マレイミド化合物>
(A)マレイミド化合物は、特に限定されないが、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するポリマレイミド化合物(a)(以下、「(a)成分」ともいう)、及び下記一般式(A−1)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物(c)(以下、「(c)成分」ともいう)からなる群から選ばれる1種以上が好ましく、誘電特性、導体との接着性、高ガラス転移温度及び低熱膨張性の観点から、ポリアミノビスマレイミド化合物(c)がより好ましい。なお、(A)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(A)マレイミド化合物は、特に限定されないが、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するポリマレイミド化合物(a)(以下、「(a)成分」ともいう)、及び下記一般式(A−1)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物(c)(以下、「(c)成分」ともいう)からなる群から選ばれる1種以上が好ましく、誘電特性、導体との接着性、高ガラス転移温度及び低熱膨張性の観点から、ポリアミノビスマレイミド化合物(c)がより好ましい。なお、(A)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
R1が表す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基等が挙げられる。また、ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。
pは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、0〜2の整数が好ましく、0がより好ましい。
pは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、0〜2の整数が好ましく、0がより好ましい。
(式中、R2及びR3は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A3は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、単結合、又は下記一般式(A−3−1)で表される基である。q及びrは、各々独立に、0〜4の整数である。)
R2及びR3が表す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、ハロゲン原子としては、R1の場合と同じものが挙げられる。該脂肪族炭化水素基としては、炭素数1〜3の脂肪族炭化水素基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。
A3が表す炭素数1〜5のアルキレン基としては、メチレン基、1,2−ジメチレン基、1,3−トリメチレン基、1,4−テトラメチレン基、1,5−ペンタメチレン基等が挙げられる。これらの中でも、炭素数1〜3のアルキレン基が好ましく、メチレン基がより好ましい。
A3が表す炭素数2〜5のアルキリデン基としては、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、イソブチリデン基、ペンチリデン基、イソペンチリデン基等が挙げられる。これらの中でも、イソプロピリデン基が好ましい。
q及びrは、各々独立に、0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましく、0又は2がより好ましい。q又はrが2以上の整数である場合、複数のR2同士又はR3同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
A3が表す炭素数1〜5のアルキレン基としては、メチレン基、1,2−ジメチレン基、1,3−トリメチレン基、1,4−テトラメチレン基、1,5−ペンタメチレン基等が挙げられる。これらの中でも、炭素数1〜3のアルキレン基が好ましく、メチレン基がより好ましい。
A3が表す炭素数2〜5のアルキリデン基としては、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、イソブチリデン基、ペンチリデン基、イソペンチリデン基等が挙げられる。これらの中でも、イソプロピリデン基が好ましい。
q及びrは、各々独立に、0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましく、0又は2がより好ましい。q又はrが2以上の整数である場合、複数のR2同士又はR3同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
(式中、R4及びR5は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A4は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s及びtは、各々独立に、0〜4の整数である。)
R4及びR5が表す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、ハロゲン原子としては、R1の場合と同様に説明される。
A4が表す炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基としては、A3の場合と同様に説明される。これらの中でも、A4としては、炭素数2〜5のアルキリデン基が好ましく、イソプロピリデン基がより好ましい。
s及びtは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましく、0がより好ましい。s又はtが2以上の整数である場合、複数のR4同士又はR5同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
A4が表す炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基としては、A3の場合と同様に説明される。これらの中でも、A4としては、炭素数2〜5のアルキリデン基が好ましく、イソプロピリデン基がより好ましい。
s及びtは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましく、0がより好ましい。s又はtが2以上の整数である場合、複数のR4同士又はR5同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
R6及びR7が表す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基としては、R1の場合と同様に説明される。uは1〜8の整数であり、4〜7の整数が好ましい。
上記一般式(A−5)で表される基としては、ヘキサン−1,6−ジイル基、2,2−ジメチル−4−メチルヘキサン−1,6−ジイル基が好ましい。
上記一般式(A−5)で表される基としては、ヘキサン−1,6−ジイル基、2,2−ジメチル−4−メチルヘキサン−1,6−ジイル基が好ましい。
(式中、R8及びR9は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜5のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子である。A5は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、フルオレニレン基、単結合、又は下記一般式(A−7)もしくは(A−8)で表される基である。q’及びr’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R10及びR11は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A6は炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、m−フェニレンジイソプロピリデン基、p−フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s’及びt’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R12は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A7及びA8は、各々独立に、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。wは0〜4の整数である。)
上記一般式(A−6)、(A−7)又は(A−8)中のR8〜R12が表す炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子としては、上記一般式(A−1)中のR1の場合と同様に説明される。
上記一般式(A−6)、(A−7)又は(A−8)中のA5、A6、A7及びA8が表す炭素数1〜5のアルキレン基、A6が表す炭素数2〜5のアルキリデン基としては、上記一般式(A−3)中のA3の場合と同様に説明される。
q’及びr’は0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましい。q’及びr’が2以上の整数である場合、複数のR8同士又はR9同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
s’及びt’は0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましい。s’及びt’が2以上の整数である場合、複数のR10同士又はR11同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
wは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、0〜2の整数が好ましい。
上記一般式(A−6)、(A−7)又は(A−8)中のA5、A6、A7及びA8が表す炭素数1〜5のアルキレン基、A6が表す炭素数2〜5のアルキリデン基としては、上記一般式(A−3)中のA3の場合と同様に説明される。
q’及びr’は0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましい。q’及びr’が2以上の整数である場合、複数のR8同士又はR9同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
s’及びt’は0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、いずれも、0〜2の整数が好ましい。s’及びt’が2以上の整数である場合、複数のR10同士又はR11同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
wは0〜4の整数であり、入手容易性の観点から、0〜2の整数が好ましい。
(c)成分は、例えば、(a)成分と、1分子中に2個の第一級アミノ基を有する芳香族ジアミン化合物(b)(以下、「(b)成分」ともいう)と、を有機溶媒中でマイケル付加反応させることにより得られる。
(a)成分としては、特に限定されないが、下記一般式(a−1)で表される化合物が挙げられる。なお、(a)成分は、上記の通り、(A)成分としても用いることができる。
(a)成分の具体例としては、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)エーテル、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)ケトン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホン、4,4’−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ビフェニル、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン等が挙げられる。(a)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
これらの中でも、安価であるという観点から、ビス(4−マレイミドフェニル)メタンが好ましく、また、誘電特性に優れ、低吸水性であるという観点から、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミドが好ましく、導体との高接着性及び機械特性(伸び、破断強度等)に優れるという観点から、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパンが好ましい。
これらの中でも、安価であるという観点から、ビス(4−マレイミドフェニル)メタンが好ましく、また、誘電特性に優れ、低吸水性であるという観点から、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミドが好ましく、導体との高接着性及び機械特性(伸び、破断強度等)に優れるという観点から、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパンが好ましい。
(b)成分としては、特に限定されないが、下記一般式(b−1)で表される化合物が挙げられる。
(b)成分の具体例としては、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルケトン、4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジヒドロキシベンジジン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンジアミン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス〔1−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1−メチルエチル〕ベンゼン、1,4−ビス〔1−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1−メチルエチル〕ベンゼン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、3,3’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン等が挙げられる。(b)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
これらの(b)成分の中でも、有機溶媒への溶解性が高く、合成時の反応率が高く、かつ耐熱性を高くできるという観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−ジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
また、溶解性、反応率及び耐熱性が優れることに加えて、安価であるという観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−ジフェニルメタンが好ましい。
また、溶解性、反応率及び耐熱性に優れることに加えて、導体との高接着性を発現できるという観点から、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
更に、溶解性、反応率、耐熱性及び導体との接着性に優れることに加えて、誘電特性及び耐吸湿性の観点からは、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
また、溶解性、反応率及び耐熱性が優れることに加えて、安価であるという観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチル−ジフェニルメタンが好ましい。
また、溶解性、反応率及び耐熱性に優れることに加えて、導体との高接着性を発現できるという観点から、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
更に、溶解性、反応率、耐熱性及び導体との接着性に優れることに加えて、誘電特性及び耐吸湿性の観点からは、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
(c)成分を製造する際に使用される有機溶媒としては、特に限定されないが、メタノール、エタノール、ブタノール、ブチルセロソルブ、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素;メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、ブトキシエチルアセテート、酢酸エチル等のエステル;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の含窒素化合物などが挙げられる。有機溶媒は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(c)成分を製造する際の(a)成分と(b)成分の使用量は、特に限定されないが、(b)成分の−NH2基当量(Ta2)と、(a)成分のマレイミド基当量(Tb2)との当量比(Tb2/Ta2)が、1〜10の範囲が好ましく、2〜10の範囲がより好ましい。上記範囲内で(a)成分と(b)成分を使用することにより、優れた誘電特性、導体との高接着性、優れた耐熱性、高ガラス転移温度及び高難燃性が得られる。
(c)成分を製造する際のマイケル付加反応には反応触媒を使用しなくてもよいが、必要に応じて使用することもできる。反応触媒としては、特に限定されないが、p−トルエンスルホン酸等の酸性触媒;トリエチルアミン、ピリジン、トリブチルアミン等のアミン;メチルイミダゾール、フェニルイミダゾール等のイミダゾール化合物;トリフェニルホスフィン等のリン系触媒などが挙げられる。反応触媒は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(A)成分の含有量は、特に限定されないが、誘電特性、導体との接着性及び低熱膨張性の観点から、樹脂成分の総量100質量部に対して、20質量部以上が好ましく、50質量部以上がより好ましく、70質量部以上がさらに好ましく、90質量部以上がよりさらに好ましく、95質量部以上が特に好ましい。(A)成分の含有量は、所望する特性に応じて、樹脂成分の総量100質量部に対して、100質量部以下であってもよい。なお、本明細書において、「樹脂成分」とは、後述する必要に応じて含有させてもよい無機充填材及び有機溶媒を含まない成分の総量を意味する。
<(B)有機過酸化物>
(B)有機過酸化物は、(A)成分の重合開始剤として作用するものであり、光、熱等のエネルギーに暴露されたときに、不対電子を有するものに分解するものである。
(B)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(B)有機過酸化物は、(A)成分の重合開始剤として作用するものであり、光、熱等のエネルギーに暴露されたときに、不対電子を有するものに分解するものである。
(B)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(B)有機過酸化物の1分間半減期温度は、低温で良好な硬化性を得る観点及び優れた吸水はんだ耐熱性を得る観点から、100〜200℃が好ましく、150〜190℃がより好ましく、170〜180℃がさらに好ましい。
なお、(B)有機過酸化物の1分間半減期温度とは、(B)有機過酸化物が分解して、その残存量が1分間で1/2となる温度を意味する。1分間半減期温度は、以下の方法により測定することができる。[1分間半減期温度の測定方法]
ベンゼンを使用し0.1mol/Lの有機過酸化物溶液を調製し、窒素置換を行ったガラスアンプル中に封入する。これを所定の温度(10時間半減期温度付近を3点測定)にセットしたオイルバスに浸し、前記溶液中の有機過酸化物を熱分解させる。一般的に希釈溶液中の有機過酸化物の分解は近似的に一次反応として取り扱うことができるので、分解有機過酸化物量(x)、分解速度定数(k)、時間(t)、有機過酸化物初期濃度(a)とすると、下記の(1)、(2)の式が成り立つ。dx/dt=k(a−x)・・・・・(1)ln a/(a−x)=kt・・・・・(2)
また、半減期は、分解により有機過酸化物濃度が初期の半分に減少するまでの時間なので、半減期を(t1/2)で示し(2)式の(x)に(a/2)を代入して、下記(3)の式で表すことができる。kt1/2=ln(2)・・・・・(3)
したがって、ある一定温度で有機過酸化物を熱分解させ、時間(t)とln〔(a)/(a−x)〕の関係をプロットし、得られた直線の傾きから分解速度定数(k)を求めれば、(3)式からその温度における半減期(t1/2)を得ることができる。
そして、数点の温度で前記の熱分解を実施し、それぞれの温度での半減期(t1/2)を測定し、ln(t1/2)と(1/T)との関係をプロットし、得られた直線から一分間半減期となる温度を求めることができる。
なお、(B)有機過酸化物の1分間半減期温度とは、(B)有機過酸化物が分解して、その残存量が1分間で1/2となる温度を意味する。1分間半減期温度は、以下の方法により測定することができる。[1分間半減期温度の測定方法]
ベンゼンを使用し0.1mol/Lの有機過酸化物溶液を調製し、窒素置換を行ったガラスアンプル中に封入する。これを所定の温度(10時間半減期温度付近を3点測定)にセットしたオイルバスに浸し、前記溶液中の有機過酸化物を熱分解させる。一般的に希釈溶液中の有機過酸化物の分解は近似的に一次反応として取り扱うことができるので、分解有機過酸化物量(x)、分解速度定数(k)、時間(t)、有機過酸化物初期濃度(a)とすると、下記の(1)、(2)の式が成り立つ。dx/dt=k(a−x)・・・・・(1)ln a/(a−x)=kt・・・・・(2)
また、半減期は、分解により有機過酸化物濃度が初期の半分に減少するまでの時間なので、半減期を(t1/2)で示し(2)式の(x)に(a/2)を代入して、下記(3)の式で表すことができる。kt1/2=ln(2)・・・・・(3)
したがって、ある一定温度で有機過酸化物を熱分解させ、時間(t)とln〔(a)/(a−x)〕の関係をプロットし、得られた直線の傾きから分解速度定数(k)を求めれば、(3)式からその温度における半減期(t1/2)を得ることができる。
そして、数点の温度で前記の熱分解を実施し、それぞれの温度での半減期(t1/2)を測定し、ln(t1/2)と(1/T)との関係をプロットし、得られた直線から一分間半減期となる温度を求めることができる。
(B)有機過酸化物としては、1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ジ(t−ブチルパーオキシ)ブタン、2,2−ジ(4,4−ジ−t−ブチルパーオキシシクロヘキシル)プロパン、1,1−ジ(t−アミルパーオキシ)シクロヘキサン等のパーオキシケタール類;クメンハイドロパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド等のハイドロパーオキサイド類;t−ブチルパーオキシアセテート、t−アミルパーオキシイソノナノエート等のアルキルパーオキサイド類;t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ジ−t−ヘキシルパーオキサイド、1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3等のジアルキルパーオキサイド類;t−ブチルパーオキシアセテート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート等のパーオキシエステル類;t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ポリエーテルテトラキス(t−ブチルパーオキシカーボネート)等のパーオキシカーボネート類;ジベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類などが挙げられる。
本実施形態の樹脂組成物中における(B)有機過酸化物の含有量は、特に限定されないが、低温で良好な硬化性を得る観点及び優れた吸水はんだ耐熱性を得る観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜10質量部が好ましく、0.3〜5.0質量部がより好ましく、0.5〜3.0質量部がさらに好ましく、0.8〜1.5質量部が特に好ましい。
<(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤>
(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤としては、特に限定されないが、ヘテロ原子として、非共有電子対を有する窒素原子を含む硬化促進剤(以下、「窒素系硬化促進剤」ともいう)、又は非共有電子対を有するリン原子を含む硬化促進剤(以下、「リン系硬化促進剤」ともいう)が好ましく、非共有電子対を有する窒素原子を含む硬化促進剤がより好ましい。
(C)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤としては、特に限定されないが、ヘテロ原子として、非共有電子対を有する窒素原子を含む硬化促進剤(以下、「窒素系硬化促進剤」ともいう)、又は非共有電子対を有するリン原子を含む硬化促進剤(以下、「リン系硬化促進剤」ともいう)が好ましく、非共有電子対を有する窒素原子を含む硬化促進剤がより好ましい。
(C)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
上記窒素系硬化促進剤としては、イミダゾール系硬化促進剤、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、グアニル尿素等が挙げられる。これらの中でも、イミダゾール系硬化促進剤が好ましい。
イミダゾール系硬化促進剤としては、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ−〔1,2−a〕ベンズイミダゾール、2,4−ジアミノ−6(2’−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−ウンデシルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−エチル,4−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−3,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニル−3,5−ジシアノエトキシメチルイミダゾール、イソシアネートマスクイミダゾール等が挙げられる。
イミダゾール系硬化促進剤としては、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ−〔1,2−a〕ベンズイミダゾール、2,4−ジアミノ−6(2’−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−ウンデシルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−エチル,4−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−メチルイミダゾール(1’))エチル−s−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−3,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニル−3,5−ジシアノエトキシメチルイミダゾール、イソシアネートマスクイミダゾール等が挙げられる。
上記リン系硬化促進剤としては、トリフェニルホスフィン、ジフェニル(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルコキシフェニル)ホスフィン、トリアルキルホスフィン、ジアルキルアリールホスフィン、アルキルジアリールホスフィン等が挙げられる。
本実施形態の樹脂組成物中における(C)成分の含有量は、特に限定されないが、低温で良好な硬化性を得る観点及び優れた吸水はんだ耐熱性を得る観点から、(A)成分100質量部に対して、0.1〜10質量部が好ましく、0.3〜5.0質量部がより好ましく、0.5〜3.0質量部がさらに好ましく、0.7〜1.5質量部が特に好ましい。
本実施形態の樹脂組成物中における(B)成分と(C)成分の合計含有量は、特に限定されないが、低温で良好な硬化性を得る観点及び優れた吸水はんだ耐熱性を得る観点から、(A)成分100質量部に対して、0.2〜10質量部が好ましく、0.5〜5質量部がより好ましく、1〜3質量部がさらに好ましい。
本実施形態の樹脂組成物中における(B)成分と(C)成分の含有量比〔(B)成分/(C)成分〕は、特に限定されないが、低温で良好な硬化性を得る観点及び優れた吸水はんだ耐熱性を得る観点から、質量基準で、0.2〜10が好ましく、0.5〜3がより好ましく、0.7〜1.5がさらに好ましく、0.9〜1.2が特に好ましい。
<(D)ポリフェニレンエーテル誘導体>
本実施形態の樹脂組成物は、任意に必要に応じて、(D)ポリフェニレンエーテル誘導体(以下、「(D)成分」ともいう)を含有することが好ましい。
(D)成分は、(D1)1分子中にN−置換マレイミド構造含有基及び下記一般式(d−1)で表される構造単位を有するポリフェニレンエーテル誘導体(以下、「(D1)成分」ともいう)であることが好ましい。なお、(D)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
本実施形態の樹脂組成物は、任意に必要に応じて、(D)ポリフェニレンエーテル誘導体(以下、「(D)成分」ともいう)を含有することが好ましい。
(D)成分は、(D1)1分子中にN−置換マレイミド構造含有基及び下記一般式(d−1)で表される構造単位を有するポリフェニレンエーテル誘導体(以下、「(D1)成分」ともいう)であることが好ましい。なお、(D)成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
(式中、R13は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。xは0〜4の整数である。)
R13が示す脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基等が挙げられる。該脂肪族炭化水素基としては、炭素数1〜3の脂肪族炭化水素基が好ましく、メチル基がより好ましい。また、ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。これらの中でも、R13としては炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基が好ましい。
xは0〜4の整数であり、0〜2の整数が好ましく、2がより好ましい。なお、xが1又は2である場合、R13はベンゼン環上のオルト位(但し、酸素原子の置換位置を基準とする。)に置換していてもよい。
(D1)成分が有するN−置換マレイミド構造含有基としては、誘電特性、導体との接着性、耐熱性、ガラス転移温度及び熱膨張係数の観点から、2つのマレイミド基の窒素原子同士が有機基を介して結合しているビスマレイミド構造を含有する基が好ましく、下記一般式(d−2)で表される基がより好ましい。
(D1)成分は、下記一般式(d−3)で表されるポリフェニレンエーテル誘導体であることが好ましい。
(D)成分の数平均分子量は、4,000〜14,000が好ましく、5,000〜12,000がより好ましく、7,000〜10,000がさらに好ましい。数平均分子量が上記下限値以上であると、より良好なガラス転移温度が得られる傾向にあり、上記上限値以下であると、より良好な成形性が得られる傾向にある。なお、本明細書において、数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、標準ポリスチレンを用いた検量線から換算した値であり、より詳細には実施例に記載の数平均分子量の測定方法により求めた値である。
本実施形態の樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、誘電特性、導体との接着性、耐熱性、ガラス転移温度及び熱膨張係数の観点から、(A)成分100質量部に対して、5〜80質量部が好ましく、7〜70質量部がより好ましく、10〜50質量部がさらに好ましい。
<(E)無機充填材>
(E)無機充填材としては、特に限定されないが、シリカ、アルミナ、酸化チタン、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、クレー(焼成クレー等)、タルク、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素等が挙げられる。なお、(E)無機充填材は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。これらの中でも、熱膨張係数、弾性率、耐熱性及び難燃性の観点から、シリカが好ましい。シリカとしては、例えば、湿式法で製造され含水率の高い沈降シリカと、乾式法で製造され結合水等をほとんど含まない乾式法シリカが挙げられ、乾式法シリカとしては、更に、製造法の違いにより破砕シリカ、フュームドシリカ、溶融シリカ(溶融球状シリカ)が挙げられる。
また、(E)無機充填材の形状及び粒径についても特に制限はない。例えば、粒径は0.01〜20μmが好ましく、0.1〜10μmがより好ましい。ここで、粒径とは、平均粒子径を指し、粒子の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めたとき、体積50%に相当する点の粒子径のことである。レーザ回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
(E)無機充填材としては、特に限定されないが、シリカ、アルミナ、酸化チタン、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、クレー(焼成クレー等)、タルク、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素等が挙げられる。なお、(E)無機充填材は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。これらの中でも、熱膨張係数、弾性率、耐熱性及び難燃性の観点から、シリカが好ましい。シリカとしては、例えば、湿式法で製造され含水率の高い沈降シリカと、乾式法で製造され結合水等をほとんど含まない乾式法シリカが挙げられ、乾式法シリカとしては、更に、製造法の違いにより破砕シリカ、フュームドシリカ、溶融シリカ(溶融球状シリカ)が挙げられる。
また、(E)無機充填材の形状及び粒径についても特に制限はない。例えば、粒径は0.01〜20μmが好ましく、0.1〜10μmがより好ましい。ここで、粒径とは、平均粒子径を指し、粒子の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めたとき、体積50%に相当する点の粒子径のことである。レーザ回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
(E)成分は、分散性及び樹脂組成物中の有機成分との密着性を向上させる目的で、必要に応じ、カップリング剤を併用してもよい。該カップリング剤としては特に限定されるものではなく、例えば、シランカップリング剤又はチタネートカップリング剤を適宜選択して用いることができる。カップリング剤は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。また、カップリング剤の使用量も特に限定されるものではなく、例えば、(E)成分100質量部に対して0.1〜5質量部としてもよく、0.5〜3質量部としてもよい。この範囲であれば、諸特性の低下が少なく、上記の(E)成分の使用による特長を効果的に発揮できる傾向にある。
なお、カップリング剤を用いる場合、樹脂組成物中に(E)成分を配合した後、カップリング剤を添加する、いわゆるインテグラルブレンド処理方式ではなく、予め無機充填材にカップリング剤を乾式又は湿式で表面処理した無機充填材を使用する方式を採用できる。この方法を採用することで、より効果的に上記(E)成分の特長を発現できる。
なお、カップリング剤を用いる場合、樹脂組成物中に(E)成分を配合した後、カップリング剤を添加する、いわゆるインテグラルブレンド処理方式ではなく、予め無機充填材にカップリング剤を乾式又は湿式で表面処理した無機充填材を使用する方式を採用できる。この方法を採用することで、より効果的に上記(E)成分の特長を発現できる。
本実施形態の樹脂組成物が(E)成分を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、熱膨張係数、弾性率及び耐熱性の観点から、樹脂組成物中の(E)成分の含有割合が3〜65体積%が好ましく、5〜60体積%がより好ましく、15〜55体積%がさらに好ましい。樹脂組成物中の(E)成分の含有割合が上記範囲である場合、より良好な硬化性、成形性及び耐薬品性が得られる傾向にある。
また、質量基準の(E)成分の含有量は、上記と同様の観点から、樹脂成分の総量100質量部に対して、5〜50質量部が好ましく、10〜40質量部がより好ましく、15〜35質量部がさらに好ましい。
また、質量基準の(E)成分の含有量は、上記と同様の観点から、樹脂成分の総量100質量部に対して、5〜50質量部が好ましく、10〜40質量部がより好ましく、15〜35質量部がさらに好ましい。
<その他の成分>
本実施形態の樹脂組成物は、必要に応じて、上記各成分以外の、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、カップリング剤、難燃剤、酸化防止剤、熱安定剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、顔料、着色剤、滑剤等を適宜選択して含有させることができる。これらは、各々について、1種類を単独で使用してもよく、2種類以上を併用してもよい。
本実施形態の樹脂組成物は、必要に応じて、上記各成分以外の、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、カップリング剤、難燃剤、酸化防止剤、熱安定剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、顔料、着色剤、滑剤等を適宜選択して含有させることができる。これらは、各々について、1種類を単独で使用してもよく、2種類以上を併用してもよい。
<物性又は特性>
本実施形態の樹脂組成物から積層板を作製したときの、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度は特に限定されないが、良好な耐熱性及びスルーホール接続信頼性、並びに電子部品等を製造する際の優れた加工性の観点から、樹脂組成物の硬化後のガラス転移温度が、150℃以上であることが好ましく、160℃以上であることがより好ましく、170℃以上であることがさらに好ましく、180℃以上であることが特に好ましく、200℃以上であることが最も好ましい。ガラス転移温度の上限は特にないが、例えば1,000℃以下であることが好ましく、500℃以下であることが好ましく、300℃以下であることが好ましい。
ガラス転移温度は、実施例に記載のとおり、IPC規格に準じて測定した値である。
本実施形態の樹脂組成物から積層板を作製したときの、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度は特に限定されないが、良好な耐熱性及びスルーホール接続信頼性、並びに電子部品等を製造する際の優れた加工性の観点から、樹脂組成物の硬化後のガラス転移温度が、150℃以上であることが好ましく、160℃以上であることがより好ましく、170℃以上であることがさらに好ましく、180℃以上であることが特に好ましく、200℃以上であることが最も好ましい。ガラス転移温度の上限は特にないが、例えば1,000℃以下であることが好ましく、500℃以下であることが好ましく、300℃以下であることが好ましい。
ガラス転移温度は、実施例に記載のとおり、IPC規格に準じて測定した値である。
本実施形態の樹脂組成物から積層板を作製したときの、樹脂組成物の硬化物の熱膨張係数(Z方向、Tg以下)は特に限定されないが、積層板のそりを抑制する観点から、150ppm/℃以下が好ましく、140ppm/℃以下がより好ましく、130ppm/℃以下がさらに好ましく、120ppm/℃以下が特に好ましい。熱膨張係数の下限値には制限はないが、例えば25ppm/℃以上である。
熱膨張係数は、実施例に記載のとおり、IPC規格に準じて測定した値である。
熱膨張係数は、実施例に記載のとおり、IPC規格に準じて測定した値である。
本実施形態の樹脂組成物から積層板を作製したときの、樹脂組成物の硬化物の誘電率及び誘電正接は特に限定されないが、高周波帯で好適に用いる観点から、10GHzでの誘電率が小さいことが好ましく、具体的には、3.90以下が好ましく、3.60以下がより好ましく、3.40以下がさらに好ましく、3.35以下が特に好ましい。誘電率の下限については特に限定はないが、例えば0.5以上であり、1.0以上であってもよく、3.0以上であってもよい。
また、10GHzでの誘電正接が小さいことが好ましく、具体的には、0.007以下が好ましく、0.005以下がより好ましく、0.004以下がさらに好ましく、0.003以下が特に好ましい。誘電正接の下限については特に限定はなく、小さいほどよいが、例えば、0.0001以上であり、0.0020以上であってもよい。
なお、誘電率及び誘電正接は実施例のとおり、空胴共振器法で測定した値である。
このように、本発明の樹脂組成物、プリプレグ、積層板及び多層プリント配線板は、1GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができ、特に10GHz以上の高周波信号又は30GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができる。
また、10GHzでの誘電正接が小さいことが好ましく、具体的には、0.007以下が好ましく、0.005以下がより好ましく、0.004以下がさらに好ましく、0.003以下が特に好ましい。誘電正接の下限については特に限定はなく、小さいほどよいが、例えば、0.0001以上であり、0.0020以上であってもよい。
なお、誘電率及び誘電正接は実施例のとおり、空胴共振器法で測定した値である。
このように、本発明の樹脂組成物、プリプレグ、積層板及び多層プリント配線板は、1GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができ、特に10GHz以上の高周波信号又は30GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができる。
[プリプレグ]
本実施形態のプリプレグは、本実施形態の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを含有してなるものである。
該プリプレグは、本実施形態の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを用いて形成され、より具体的には、本実施形態の樹脂組成物を、シート状繊維補強基材に含浸又は塗工し、乾燥させることによって得ることができる。より具体的には、例えば、乾燥炉中で通常、80〜200℃の温度で、1〜30分間加熱乾燥し、半硬化(Bステージ化)させることにより本発明のプリプレグを製造することができる。樹脂組成物の使用量は、乾燥後のプリプレグ中の樹脂組成物由来の固形分濃度が30〜90質量%となるように決定することができる。固形分濃度を上記の範囲とすることで積層板とした際、より良好な成形性が得られる傾向にある。
本実施形態のプリプレグは、本実施形態の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを含有してなるものである。
該プリプレグは、本実施形態の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを用いて形成され、より具体的には、本実施形態の樹脂組成物を、シート状繊維補強基材に含浸又は塗工し、乾燥させることによって得ることができる。より具体的には、例えば、乾燥炉中で通常、80〜200℃の温度で、1〜30分間加熱乾燥し、半硬化(Bステージ化)させることにより本発明のプリプレグを製造することができる。樹脂組成物の使用量は、乾燥後のプリプレグ中の樹脂組成物由来の固形分濃度が30〜90質量%となるように決定することができる。固形分濃度を上記の範囲とすることで積層板とした際、より良好な成形性が得られる傾向にある。
プリプレグのシート状繊維補強基材としては、各種の電気絶縁材料用積層板に用いられている公知のものが用いられる。シート状補強基材の材質としては、Eガラス、Dガラス、Sガラス、Qガラス等の無機物繊維;ポリイミド、ポリエステル、テトラフルオロエチレン等の有機繊維;これらの混合物などが挙げられる。これらのシート状補強基材は、例えば、織布、不織布、ロービンク、チョップドストランドマット、サーフェシングマット等の形状を有する。また、シート状繊維補強基材の厚みは特に制限されず、例えば、0.02〜0.5mmのものを用いることができる。また、樹脂組成物の含浸性、積層板とした際の耐熱性、耐吸湿性、及び加工性の観点から、カップリング剤等で表面処理したもの、及び機械的に開繊処理を施したものを使用できる。
樹脂組成物をシート状補強基材に含浸又は塗工させる方法としては、次のホットメルト法又はソルベント法を採用できる。
ホットメルト法は、樹脂組成物に有機溶媒を含有させず、(1)該組成物との剥離性の良い塗工紙に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートする方法、又は(2)ダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工する方法である。
一方、ソルベント法は、樹脂組成物に有機溶媒を含有させ、得られた樹脂組成物にシート状補強基材を浸漬して、樹脂組成物をシート状補強基材に含浸させ、その後、乾燥させる方法である。
ホットメルト法は、樹脂組成物に有機溶媒を含有させず、(1)該組成物との剥離性の良い塗工紙に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートする方法、又は(2)ダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工する方法である。
一方、ソルベント法は、樹脂組成物に有機溶媒を含有させ、得られた樹脂組成物にシート状補強基材を浸漬して、樹脂組成物をシート状補強基材に含浸させ、その後、乾燥させる方法である。
[積層板、多層プリント配線板及びその製造方法]
本実施形態の積層板は、本実施形態のプリプレグと金属箔とを含有してなるものである。
本実施形態の積層板は、本実施形態のプリプレグと金属箔とを用いて形成され、より具体的には、本実施形態のプリプレグ1枚の片面もしくは両面に金属箔を配置するか、又は本実施形態のプリプレグ2枚以上を重ねて得られるプリプレグの片面もしくは両面に金属箔を配置し、次いで加熱加圧成形することによって得ることができる。
金属箔の金属としては、電気絶縁材料用途で用いられるものであれば特に制限されないが、導電性の観点から、銅、金、銀、ニッケル、白金、モリブデン、ルテニウム、アルミニウム、タングステン、鉄、チタン、クロム、又はこれらの金属元素のうちの少なくとも1種類を含む合金が好ましく、銅、アルミニウムがより好ましく、銅がさらに好ましい。
加熱加圧成形の条件は特に制限されるものではないが、本実施形態の樹脂組成物は硬化に高温を必要としないため、加熱温度は、例えば、生産性及び十分に硬化反応を進める観点から、120〜210℃であり、150〜200℃がより好ましい。OK(村井)また、圧力は、例えば、0.2〜10.0MPa、加熱時間は、例えば、0.1〜5時間の範囲である。また、加熱加圧成形は、真空プレス等を用いて真空状態を0.5〜5時間保持する方法を採用できる。
また、本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態のプリプレグ又は積層板を含有してなるものである。本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態のプリプレグ又は積層板を用いて、公知の方法によって、穴開け加工、金属めっき加工、金属箔のエッチング等による回路形成加工及び多層化接着加工を行うことによって製造することができる。
本実施形態の積層板は、本実施形態のプリプレグと金属箔とを含有してなるものである。
本実施形態の積層板は、本実施形態のプリプレグと金属箔とを用いて形成され、より具体的には、本実施形態のプリプレグ1枚の片面もしくは両面に金属箔を配置するか、又は本実施形態のプリプレグ2枚以上を重ねて得られるプリプレグの片面もしくは両面に金属箔を配置し、次いで加熱加圧成形することによって得ることができる。
金属箔の金属としては、電気絶縁材料用途で用いられるものであれば特に制限されないが、導電性の観点から、銅、金、銀、ニッケル、白金、モリブデン、ルテニウム、アルミニウム、タングステン、鉄、チタン、クロム、又はこれらの金属元素のうちの少なくとも1種類を含む合金が好ましく、銅、アルミニウムがより好ましく、銅がさらに好ましい。
加熱加圧成形の条件は特に制限されるものではないが、本実施形態の樹脂組成物は硬化に高温を必要としないため、加熱温度は、例えば、生産性及び十分に硬化反応を進める観点から、120〜210℃であり、150〜200℃がより好ましい。OK(村井)また、圧力は、例えば、0.2〜10.0MPa、加熱時間は、例えば、0.1〜5時間の範囲である。また、加熱加圧成形は、真空プレス等を用いて真空状態を0.5〜5時間保持する方法を採用できる。
また、本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態のプリプレグ又は積層板を含有してなるものである。本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態のプリプレグ又は積層板を用いて、公知の方法によって、穴開け加工、金属めっき加工、金属箔のエッチング等による回路形成加工及び多層化接着加工を行うことによって製造することができる。
[半導体パッケージ]
本実施形態の半導体パッケージは、本実施形態の多層プリント配線板に半導体を搭載してなるものである。本実施形態の半導体パッケージは、本実施形態の多層プリント配線板の所定の位置に、半導体チップ、メモリ等を搭載して製造することができる。
本実施形態の半導体パッケージは、本実施形態の多層プリント配線板に半導体を搭載してなるものである。本実施形態の半導体パッケージは、本実施形態の多層プリント配線板の所定の位置に、半導体チップ、メモリ等を搭載して製造することができる。
本実施形態の樹脂組成物、樹脂フィルム、プリプレグ、金属張積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージは、1GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができ、特に10GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができる。
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、これらは本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をこれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態とは異なる種々の態様で実施することができる。
以下、実施例を挙げて、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
[ポリアミノビスマレイミド化合物の製造]
製造例1
温度計、還流冷却管、撹拌装置を備えた加熱及び冷却可能な容積1Lのガラス製フラスコ容器に、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン100質量部、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン33質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル81質量部を投入し、液温を120℃に保ったまま、撹拌しながら3時間反応させた後、冷却してから200メッシュフィルターを通して濾過することにより、ポリアミノビスマレイミド化合物(A−1)を製造した。
製造例1
温度計、還流冷却管、撹拌装置を備えた加熱及び冷却可能な容積1Lのガラス製フラスコ容器に、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン100質量部、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン33質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル81質量部を投入し、液温を120℃に保ったまま、撹拌しながら3時間反応させた後、冷却してから200メッシュフィルターを通して濾過することにより、ポリアミノビスマレイミド化合物(A−1)を製造した。
[樹脂組成物、プリプレグ、銅張積層板の製造]
実施例1〜5、比較例1〜2
表1に記載の配合組成(単位:質量部)に従って、60℃で加熱しながら攪拌、混合して、固形分(不揮発分)濃度約40〜60質量%の熱硬化性樹脂組成物(樹脂ワニス)を調製した。
次に、上記で得た樹脂ワニスを、厚さ0.1mmのガラス布(Eガラス、日東紡績株式会社製)に塗工した後、160℃で7分間加熱乾燥して、樹脂含有量(樹脂分)約54質量%のプリプレグを作製した。これらのプリプレグ6枚を重ね、その上下に、厚さ18μmのロープロファイル銅箔(FV−WS、M面Rz:1.5μm、古河電気工業株式会社製)をM面が接するように配置し、温度200℃、圧力3.9MPa、時間120分間の条件で加熱加圧成形して、両面銅張積層板(厚さ:0.8mm)を作製した。
実施例1〜5、比較例1〜2
表1に記載の配合組成(単位:質量部)に従って、60℃で加熱しながら攪拌、混合して、固形分(不揮発分)濃度約40〜60質量%の熱硬化性樹脂組成物(樹脂ワニス)を調製した。
次に、上記で得た樹脂ワニスを、厚さ0.1mmのガラス布(Eガラス、日東紡績株式会社製)に塗工した後、160℃で7分間加熱乾燥して、樹脂含有量(樹脂分)約54質量%のプリプレグを作製した。これらのプリプレグ6枚を重ね、その上下に、厚さ18μmのロープロファイル銅箔(FV−WS、M面Rz:1.5μm、古河電気工業株式会社製)をM面が接するように配置し、温度200℃、圧力3.9MPa、時間120分間の条件で加熱加圧成形して、両面銅張積層板(厚さ:0.8mm)を作製した。
[評価・測定方法]
各例で得られた樹脂組成物、プリプレグ及び銅張積層板を用いて各測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
各例で得られた樹脂組成物、プリプレグ及び銅張積層板を用いて各測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
(1)ガラス転移温度(Tg)及び熱膨張係数
ガラス転移温度(Tg)と熱膨張係数(板厚方向、温度範囲:30〜120℃)は、両面の銅箔をエッチングした5mm角の試験片を用いて、熱機械測定装置(TMA)[ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製、Q400(型番)]により、IPC(The Institute for Interconnecting and Packaging Electronic Circuits)規格に準拠して、ガラス転移温度と熱膨張係数(線膨張係数)を測定した。
(2)誘電特性
銅張積層板の両面の銅箔をエッチング除去した後、60mm×2mmのサイズに切断して、105℃/hrの条件で乾燥したものを試験片とし、10GHzにおけるDk及びDfを空胴共振器法により得られる共振周波数と無負荷Q値から算出した。
測定器にはアジレントテクノロジー製ベクトル型ネットワークアナライザE8364B、関東電子応用開発製CP531(10GHz共振器)及びCPMA−V2(プログラム)をそれぞれ使用して雰囲気温度25℃で行った。
(3)銅箔引きはがし強さ
JIS C6481(1996年)に準拠して、導体との接着性を測定した。
(4)吸水はんだ耐熱性及び吸水率
はんだ耐熱性は、両面の銅箔をエッチングした50mm角の試験片を用いて、プレッシャークッカーテスト(PCT)用装置(条件:121℃、2.2気圧)中に所定時間(1、3及び5時間)処理した後のものを、288℃の溶融はんだ中に20秒間浸漬した後の試験片の外観を目視観察した。また、5時間PCT処理したものの吸水率を、JIS C 6481:1996に準拠して測定した。
なお、表中、はんだ浸漬後の試験片3枚のうち、ミーズリングの発生等の異常が認められたものが0枚の場合を「A」、1枚の場合を「B」、2枚以上の場合を「C」とした。
ガラス転移温度(Tg)と熱膨張係数(板厚方向、温度範囲:30〜120℃)は、両面の銅箔をエッチングした5mm角の試験片を用いて、熱機械測定装置(TMA)[ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製、Q400(型番)]により、IPC(The Institute for Interconnecting and Packaging Electronic Circuits)規格に準拠して、ガラス転移温度と熱膨張係数(線膨張係数)を測定した。
(2)誘電特性
銅張積層板の両面の銅箔をエッチング除去した後、60mm×2mmのサイズに切断して、105℃/hrの条件で乾燥したものを試験片とし、10GHzにおけるDk及びDfを空胴共振器法により得られる共振周波数と無負荷Q値から算出した。
測定器にはアジレントテクノロジー製ベクトル型ネットワークアナライザE8364B、関東電子応用開発製CP531(10GHz共振器)及びCPMA−V2(プログラム)をそれぞれ使用して雰囲気温度25℃で行った。
(3)銅箔引きはがし強さ
JIS C6481(1996年)に準拠して、導体との接着性を測定した。
(4)吸水はんだ耐熱性及び吸水率
はんだ耐熱性は、両面の銅箔をエッチングした50mm角の試験片を用いて、プレッシャークッカーテスト(PCT)用装置(条件:121℃、2.2気圧)中に所定時間(1、3及び5時間)処理した後のものを、288℃の溶融はんだ中に20秒間浸漬した後の試験片の外観を目視観察した。また、5時間PCT処理したものの吸水率を、JIS C 6481:1996に準拠して測定した。
なお、表中、はんだ浸漬後の試験片3枚のうち、ミーズリングの発生等の異常が認められたものが0枚の場合を「A」、1枚の場合を「B」、2枚以上の場合を「C」とした。
なお、表1に示す各成分の詳細は以下の通りである。
[(A)マレイミド化合物]
(A−1)ポリアミノビスマレイミド化合物:製造例1で得たポリアミノビスマレイミド化合物
[(B)有機過酸化物]
(B−1)PB−P:1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン(日本油脂株式会社製、商品名「パーブチルP」)
(B−2)パーヘキシン25B:(2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3)(日本油脂株式会社製、商品名)
[(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤]
(C−1)G8009L:イソシアネートマスクイミダゾール(第一工業製薬株式会社製、商品名)
(C−2)C11Z:2−ウンデシルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名)
[(A)マレイミド化合物]
(A−1)ポリアミノビスマレイミド化合物:製造例1で得たポリアミノビスマレイミド化合物
[(B)有機過酸化物]
(B−1)PB−P:1,3−ビス(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン(日本油脂株式会社製、商品名「パーブチルP」)
(B−2)パーヘキシン25B:(2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3)(日本油脂株式会社製、商品名)
[(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤]
(C−1)G8009L:イソシアネートマスクイミダゾール(第一工業製薬株式会社製、商品名)
(C−2)C11Z:2−ウンデシルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名)
表1から、実施例1〜5で得られた本実施形態の樹脂組成物は、低温で成型することが可能であり、且つ得られる硬化物が良好な耐熱性を有すると共に、吸水はんだ耐熱性に優れることが分かる。
Claims (12)
- (A)マレイミド化合物と、
(B)有機過酸化物と、
(C)非共有電子対を有するヘテロ原子を含む硬化促進剤と、
を含有する、樹脂組成物。 - 前記(C)成分に含まれるヘテロ原子が、窒素原子又はリン原子である、請求項1に記載の樹脂組成物。
- 前記(B)成分の1分間半減期温度が100〜200℃である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。
- 前記(B)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜10質量部である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
- 前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分100質量部に対して、0.1〜10質量部である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
- 前記(B)成分と前記(C)成分の含有量比〔(B)成分/(C)成分〕が、質量基準で、0.2〜10である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
- 前記(A)成分が、1分子中に少なくとも2個のN−置換マレイミド基を有するポリマレイミド化合物(a)、及び下記一般式(A−1)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物(c)からなる群から選ばれる1種以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
(式中、A1は、下記一般式(A−2)、(A−3)、(A−4)又は(A−5)で表される基である。A2は下記一般式(A−6)で表される基である。)
(式中、R1は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。pは0〜4の整数である。)
(式中、R2及びR3は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A3は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、単結合、又は下記一般式(A−3−1)で表される基である。q及びrは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R4及びR5は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A4は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s及びtは、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、nは0〜10の整数である。)
(式中、R6及びR7は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基である。uは1〜8の整数である。)
(式中、R8及びR9は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜5のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子である。A5は炭素数1〜5のアルキレン基、炭素数2〜5のアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基、フルオレニレン基、単結合、又は下記一般式(A−7)もしくは(A−8)で表される基である。q’及びr’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R10及びR11は、各々独立に、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A6は炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、m−フェニレンジイソプロピリデン基、p−フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。s’及びt’は、各々独立に、0〜4の整数である。)
(式中、R12は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子である。A7及びA8は、各々独立に、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、カルボニルオキシ基、ケト基又は単結合である。wは0〜4の整数である。) - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物とシート状繊維補強基材とを含有してなるプリプレグ。
- 請求項8に記載のプリプレグと金属箔とを含有してなる積層板。
- 請求項8に記載のプリプレグ又は請求項9に記載の積層板を含有してなる多層プリント配線板。
- 請求項10に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。
- 請求項8に記載にプリプレグを、120〜210℃に加熱して硬化させる工程を有する、多層プリント配線板の製造方法。
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PCT/JP2019/032615 WO2020040187A1 (ja) | 2018-08-22 | 2019-08-21 | 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板及び半導体パッケージ並びに多層プリント配線板の製造方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2021181505A true JP2021181505A (ja) | 2021-11-25 |
Family
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Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JP2021181505A (ja) |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112079763B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-07-05 | 苏州生益科技有限公司 | 改性马来酰亚胺化合物及使用其制作的半固化片及层压板 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR910003569B1 (ko) * | 1987-12-29 | 1991-06-05 | 주식회사 럭키 | 변성 비스말레이미드 수지 및 그의 제조방법 |
JPH03109426A (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-09 | Hitachi Chem Co Ltd | ポリアミノビスマレイミド樹脂硬化物の製造方法 |
JPH03264348A (ja) * | 1990-03-14 | 1991-11-25 | Hitachi Chem Co Ltd | ポリアミノビスマレイミド樹脂積層板の製造方法 |
JP6750363B2 (ja) * | 2016-07-20 | 2020-09-02 | 日立化成株式会社 | 積層体、金属張積層体及びプリント配線板 |
JP7100799B2 (ja) * | 2018-01-12 | 2022-07-14 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物、プリプレグ、積層板、プリント配線板及び高速通信対応モジュール |
-
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WO2020040187A1 (ja) | 2020-02-27 |
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