JP2021170673A - 端面発光型のレーザバー - Google Patents
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Abstract
Description
2 個別発光体
3 サーマル・デカップリング構造
10 半導体積層体1のコンタクト面
11 活性層
12 コンタクト面10のコンタクト領域
13 コンタクト面10の冷却領域
14 成長基板
15 リブ
16 対向コンタクト面
17 ファセット
20 コンタクト素子
21 電気絶縁層
23 コンタクト層
26 対向コンタクト素子
30 冷却素子
31 分離層
35 トレンチ
100 レーザバー
200 ヒートシンク
1000 オプトエレクトロニクス部品
X 面内横方向
Y 面内縦方向
Claims (12)
- コンタクト面(10)とレーザ放射を発生するための活性層(11)とを有するAlInGaN系の半導体積層体(1)と、
面内横方向で互いに隣に配置され互いに離間し、それぞれが意図される動作時にレーザ放射を放出する複数の個別発光体(2)と、
前記個別発光体(2)と電気的接触をするために前記コンタクト面(10)において前記面内横方向で互いに隣に配置され互いに離間している複数のコンタクト素子(20)であって、各コンタクト素子(20)が個別発光体(2)に割り当てられている複数のコンタクト素子(20)と、を含む端面発光型のレーザバー(100)であって、
各コンタクト素子(20)は、前記コンタクト面(10)の接触するコンタクト領域(12)を介して前記半導体積層体(1)と電気伝導的に結合され、その結果、前記半導体積層体(1)と前記コンタクト素子(20)との間の電流の流れが前記コンタクト領域(12)を介して可能になり、
前記レーザバー(100)は、二つの隣接する個別発光体(2)の間の領域において、前記二つの隣接する個別発光体(2)の間の熱交換に対抗するサーマル・デカップリング構造(3)を有し、
前記デカップリング構造(3)は、前記コンタクト面(10)に施用され前記コンタクト面(10)の接触する冷却領域(13)を完全に覆う電気伝導性の冷却素子(30)を含み、
前記冷却素子(30)は、前記冷却領域(13)に沿って前記半導体積層体(1)から電気的に隔離され、前記冷却領域(13)に沿って前記半導体積層体(1)と熱的に結合し、
前記冷却領域(13)の幅は、前記面内横方向に沿って測定して、隣接するコンタクト領域(12)の幅の少なくとも半分であり、
すべてのコンタクト素子(20)は、互いに等距離に配置され、一個以上の冷却素子(30)がそれぞれの二つの個別発光体(2)の間の領域に配置され、それぞれの場合に前記コンタクト素子(20)と異なる素子であり、各コンタクト素子(20)の、前記コンタクト素子(20)の両側に配置された二つの最も近い冷却素子(30)からの距離は、同じである、かまたは、
すべてのコンタクト素子(20)は、互いに等距離に配置され、一つ以上の冷却素子(30)がそれぞれの二つの個別発光体(2)の間の領域に配置され、それぞれの場合に前記コンタクト素子(20)と異なる素子であり、各コンタクト素子(20)と前記コンタクト素子(20)の両側に配置された二つの最も近い冷却素子(30)との間の距離は、異なる、
端面発光型のレーザバー(100)。 - 前記コンタクト素子(20)は、互いに離れ互いに接続されない、請求項1に記載のレーザバー(100)。
- 前記冷却素子(30)は、前記デカップリング構造(3)に隣接する個別発光体(2)のコンタクト素子(20)によって形成される、請求項1または2に記載のレーザバー(100)。
- 分離層(31)は、以下の材料、SiC、DLC、AlNのうち一種類を含むか、またはからなる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。
- 個別発光体(2)の両側に、それぞれが冷却素子(30)を有するデカップリング構造(3)が設けられ、
両側に配置された前記二つのデカップリング構造(3)の冷却素子(30)は、前記個別発光体(2)のコンタクト素子(20)によって形成される、
請求項3に記載の、または請求項3に従属する請求項4に記載のレーザバー(100)。 - 前記冷却素子(30)は、前記コンタクト素子(20)とは別個の素子であり、前記面内横方向で前記コンタクト素子(20)から離間し、
前記冷却素子(30)は、前記半導体積層体(1)から完全に電気的に隔離されている、
請求項1、2、および4のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。 - 前記冷却素子(30)の材料組成は、前記コンタクト素子(20)と同じであり、
前記冷却素子(30)の面内寸法は、製造公差の範囲内で個別の前記コンタクト素子(20)と同じである、請求項6に記載のレーザバー(100)。 - 前記半導体積層体(1)は、前記コンタクト面(10)において、前記面内横方向で離間している複数の平行なリブ(15)を含み、
各個別発光体(2)は、リブ(15)、前記リブ(15)の領域中に形成された前記コンタクト領域(12)をそれぞれ含み、その結果、前記個別発光体(2)の動作のために関連付けられた前記コンタクト素子(20)から関連付けられた前記リブ(15)を介して前記活性層(11)に電荷キャリアが注入される、
請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。 - 前記デカップリング構造(3)は、リブ(15)を含み、
前記デカップリング構造(3)の前記冷却領域(13)は、前記デカップリング構造(3)に関連付けられた前記リブ(15)の少なくとも80%にわたって延在する、
請求項1から8のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。 - 前記デカップリング構造(3)は、前記面内横方向で互いに離間し接続されない二つの電気伝導性冷却素子(30)を含む、請求項1から9のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。
- 前記個別発光体(2)は、ゲインガイド型レーザダイオードである、請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザバー(100)。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載のレーザバー(100)と、
ヒートシンク(200)と、
を含み、
前記コンタクト素子(20)および前記冷却素子(30)は、はんだ材料または接着剤を介して前記ヒートシンク(200)に接続されている、
オプトエレクトロニクス部品(1000)。
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