KR101789175B1 - 방열성이 우수한 레이저 다이오드 바 모듈 - Google Patents

방열성이 우수한 레이저 다이오드 바 모듈 Download PDF

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인하대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 레이저 다이오드 바 모듈에 있어서, 레이저 광을 방출시키는 활성층과 반도체층을 구비한 레이저 다이오드 바; 상기 레이저 다이오드 바의 하부에 형성되어 상기 레이저 다이오드 바의 하부에서 발생된 열을 배출하는 하부 히트싱크; 및 내측면에 단차가 형성되며 원위부(distal)인 제1 단차가 상기 레이저 다이오드 바의 상면을 덮고, 근위부(proximal)인 제2 단차가 상기 하부 히트싱크에 결합된 상부 히트싱크; 및 상기 상부 히트싱크의 근위부(proximal)와 상기 하부 히트싱크 사이에 형성된 절연층을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 다이오드 바 상부의 전극 구조물을 방열 성능에 적합하도록 개량한 상부 히트싱크가 다이오드 내부에서 발생된 열이 효과적으로 방열될 수 있도록 넓은 열전달 단면적을 제공하여 열전달 병목현상을 대폭 개선한다.

Description

방열성이 우수한 레이저 다이오드 바 모듈{LASER DIODE BAR MODULE FOR EXCELLENT HEAT DISSIPATION}
본 발명은 방열성이 우수한 레이저 다이오드 바 모듈에 관한 것으로서, 특히 다이오드 내부에서 발생된 열의 외부전달이 효율적으로 이루어져 방열통로의 전달 단면적이 넓어지게 형성된 레이저 다이오드 바 모듈에 관한 것이다.
반도체 기술이 발달하고 다양한 분야로 그 응용이 넓어지면서, 반도체 광원(LED, LD 등)산업이 급속히 성장하고 있다. 반도체 광원으로 레이저 다이오드는 고출력 광원인 백열등, 할로겐 램프, 방전램프 등에 사용된다. 또한, 레이저 다이오드는 특수 분야인 레이저 용접, 표면가공, 프린팅 및 마킹 등의 산업분야와 국방기술에도 다수 사용되고 있다.
이하, 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 레이저 다이오드의 구조에 대해서 개략적으로 설명한다. 도 1은 종래 기술에 따른 레이저 다이오드 하나의 구조를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 레이저 다이오드는 제1 반도체층(10), 활성층(20), 제2 반도체층(30)이 순차적으로 적층되어 이루어진 레이저 구조물과 그 하부와 상부에 각각 형성되어진 하부 전극(40a)과 상부 전극(40b)을 포함하고 있으며, 레이저 광이 방출되는 전면과 그 반대편인 후면에 각각 반사막(50a, 50b)을 구비하고 있는 구조이다.
구체적으로 도시되지는 않았으나, 제1 반도체층(10)은 n 타입 도핑된 n-클래드 층, n 타입 도핑된 n-웨이브가이드 층이 차례로 적층되어 이루어질 수 있다. 또한, 활성층(20)은 제1 반도체층(10)의 최상층인 n-웨이브가이드층 상부에 형성되어 있으며, 활성층(20) 상부에는 제2 반도체층(30)이 형성되어 있다.
이 경우, 제2 반도체층(30)은 제1 반도체층의 구조와 유사하게 전자확산방지층(EBL), p-웨이브가이드층, p-클래드층이 순차적으로 적층되어 이루어진다. 또한, 제2 반도체층(30)의 상부, 즉, p-클래드층의 상부 중심 영역에는 레이저 광이 방출되는 전면에서 그 반대편인 후면에 이르는 리지(ridge)(35)가 돌출되어져 있다.
한편, 도시된 바와 같이, 제1 반도체층(10) 하부, 즉, 제1 반도체층(10)을 구성하는 최하부층인 n-클래드층 하부에는 하부 전극(40a)이 형성되고, 제2 반도체층(30) 상부(p-클래드층 상부)에는 상부 전극(40b)이 형성되어 있다.
이때, 상부 전극(40b)은 전면과 후면에 인접한 제2 반도체층(30)의 상부 영역을 제외한 A, B, C, D 영역과 리지(35)의 양 끝단부를 제외한 제2 반도체층(30)의 중심 영역에 리지(35)를 감싸며 형성되어 있다.
또한, 상부 전극(40b)이 리지 상부 영역에만 전기적으로 연결될 수 있도록, 리지 상부 영역을 제외한 모든 영역, 다시 말해서, 제2 반도체층에서 리지가 돌출된 영역을 제외한 모든 영역과 리지의 측면부에 절연막이 개재되어 있다. 상기의 구조에 의하면, 레이저 구조물의 상부로의 전기 공급이 리지 상부 면을 통해서만 이루어지는 것은 통상적인 구조와 같다.
이러한 레이저 다이오드는 활성층에 공급된 전력이 모두 빛으로 변환되지는 못하며, 약 30~50% 가량이 열로 전환되어 낭비된다. 도 1에 도시된 종래기술은, 레이저 동작시 양자효율의 불완전성이나 재흡수 등의 이유로 발생된 열의 방출이 원활하지 않아 반사막과 접하고 있는 활성층 부위의 결정성이 저하되는 등 성능의 저하가 발생된다. 이와 같이, 다이오드의 개량시 방열문제는 주요한 기술적 해결과제로 인식되고 있다.
종래의 레이저 다이오드는 구조상 여러 근원적인 이유로 인해 발생하는 열을 효과적으로 배출시키는데 한계가 존재한다. 특히, 고출력에서 동작하는 레이저 다이오드의 경우 이러한 문제점이 두드러지므로, 고출력 레이저 다이오드와 그 배열구조인 고출력 바(bar)를 구현하기 위해서, 열 방출 효율을 향상시킬 수 있는 패키지 구조의 개선이 요구된다.
고출력 레이저 다이오드는 광출력을 제외한 부분은 열로 손실되기 때문에 많은 열이 발생하고 이를 효율적으로 방출해야하는 문제가 특히 중요하다. 이를 해결하기 위해 열저항을 최소로 줄여야 하므로 열전도도가 높은 PCB를 사용하는 방법과 레이저 다이오드 하단에 추가적인 방열구조물을 추가하는 방법이 있다.
열전도도가 높은 PCB를 사용하는 방법과 레이저 다이오드 하단에 추가적인 방열 구조물을 사용하는 방법은 열전달계수가 우수해도 기대한 만큼의 개선 정도가 크지 않으며, 구조상 병목현상이 일어나 레이저 다이오드 상부에 정체되어 있는 열은 효율적으로 전달하지 못하는 한계가 있다. 결국, 다이오드 근처에 방열 구조물을 구성하거나 반도체 소자 하단에 추가적인 방열 구조물을 사용하는 종래의 방법은 상부의 비효율적 열전달 구조 및 열전달 단면적의 근원적 협소화 현상으로 인해 고출력 다이오드 및 다이오드 배열(bar) 내부의 열을 전달하기에 적합하지 못하다.
첫 번째로, 한국등록특허 제10-1136317호(선행기술 1)는 흡수된 레이저 광으로 인한 열을 효과적으로 방출시키기 위해서, 열을 방출시키는 면적과 속도를 증가시킬 수 있는 레이저 구조물의 상부에 복수 개의 방열 구조물을 돌출시킨 구조를 개시한다. 도 2는 선행기술 1에 따른 레이저 다이오드의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 선행기술 1에 개시된 레이저 다이오드는 제1 반도체층(10), 활성층(20), 제2 반도체층(30)이 순차적으로 적층되어 이루어진 레이저 구조물과 하부 전극(40b)과 상부 전극(40a)을 포함한다. 레이저 구조물은 광이 방출되는 전면에서 반대편인 후면까지 스트라이프(stripe) 형상의 리지(35)가 상부 중심 영역에 형성된다. 상부 전극(40a)은 리지(35)의 상부에 형성된다. 리지(35)의 측면의 레이저 구조물 상부에는 복수 개의 방열 구조물(100)이 돌출 형성 된다.
선행기술 1은 방열 구조물(100)을 요철 형상으로 제공하여 열 방출 면적과 속도를 증가시킴으로써 레이저 다이오드의 방열특성을 향상시키는 것을 기술적 특징으로 한다.
선행기술 1의 실시 예에서, 레이저 다이오드 상부의 방열 구조물(100)은 열전달 단면적을 넓혀 열 방출을 개선하고 있지만, 병목지점 이후의 적용기술로써 열전달 경로를 추가 개선하는 것은 아니다. 즉, 선행기술 1의 방열 구조물(100)은 열전달 경로상의 단면적 확장 개선이 아니고, 병목지점 이후의 표면적만 넓히는 구조이므로, 레이저 구조물의 활성층(20) 근처 부위에서의 열 병목 현상을 해결하지 못한다.
두 번째로, 한국등록특허 제10-1501012호(선행기술 2)는 고출력 레이저 다이오드 모듈을 개시한다. 도 3은 선행기술 2에 따른 고출력 레이저 다이오드의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 선행기술 2에 개시된 고출력 레이저 다이오드는 방열을 위한 히트싱크(10), 제1 레이저 다이오드 칩(50), 제2 레이저 다이오드 칩(70), 제1 리드전극(20), 제2 리드전극(30)을 포함한다.
선행기술 2에서는 레이저 다이오드(50, 70)의 하부에 대면적의 히트싱크(10)를 마련한다. 선행기술 2의 실시 예에서, 레이저 다이오드 하부의 히트싱크(10)는 성능에 따라 다양하게 방열 효율을 개선할 수 있지만, 레이저 다이오드 상부에 발생하는 열 병목현상은 개선하지 못하는 한계가 있다.
세 번째로, 한국공개특허 제10-2003-0083090호(선행기술 3)은 레이저 광을 방출하는 반도체 레이저 다이오드 어레이에 관한 것으로, 광출력면 및 그 반대면과, 리지가 형성된 면 및 그 반대면을 제외한 반도체 레이저 다이오드 어레이의 측면에 절연막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 선행기술 3은 열전달 경로를 제한적으로 병렬화하여 열전달을 개선하고자 하였다.
선행기술 3과 같이 대다수의 종래기술은 레이저 다이오드의 구동시 발생된 높은 열을 하단의 히트 블록과 광방출 효율 향상을 위한 AR 코팅 등으로 해결한다. 다만, 이러한 실시예에서 레이저 다이오드 바 하부의 히트 블록을 형성하는 것은 기술적 발전에 관계없이 방열에 있어서 분명한 한계를 갖는다. 반면, 전기적 쇼트를 줄이는 것은 공정의 정확도를 높이는 기술개량으로 해결이 가능하다.
즉, 전술한 바와 같이 종래 반도체 광원의 성능을 개선하기 위하여, 반도체단위의 기술 개발과 방열 재료의 열전도율 향상 및 광학 특성의 향상이 필요하지만, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 재료나 방법에는 한계가 있는 실정이다.
한국등록특허 제10-1136317호 한국등록특허 제10-1501012호 한국공개특허 제10-2003-0083090호
본 발명은 방열 특성이 우수한 레이저 다이오드 바 모듈을 제공하고자 한다. 특히, 본 발명은 다이오드의 내부에서 발생된 열을 효과적으로 방출하기 위해 상부 전극 구조를 개량한 레이저 다이오드 바 모듈을 제공하고자 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 레이저 다이오드 바 모듈에 있어서, 레이저 광을 방출시키는 활성층과 반도체층을 구비한 레이저 다이오드 바; 상기 레이저 다이오드 바의 하부에 형성되어 상기 레이저 다이오드 바의 하부에서 발생된 열을 배출하는 하부 히트싱크; 및 내측면에 단차가 형성되며 원위부(distal)인 제1 단차가 상기 레이저 다이오드 바의 상면을 덮고, 근위부(proximal)인 제2 단차가 상기 하부 히트싱크에 결합된 상부 히트싱크; 및 상기 상부 히트싱크의 근위부(proximal)와 상기 하부 히트싱크 사이에 형성된 절연층을 포함할 수 있다.
바람직하게, 본 발명에 따른 상기 상부 히트싱크는, 상부 전극과 연결되어 제1 극성의 전원을 인가할 수 있다.
바람직하게, 본 발명에 따른 상기 상부 히트싱크는, 상기 제2 단차의 두께가 상기 제1 단차의 두께보다 두껍게 제공될 수 있다.
바람직하게, 본 발명에 따른 상기 상부 히트싱크는, 상기 제1 단차의 길이가 상기 레이저 다이오드 바의 폭보다 길게 형성되어 상기 레이저 다이오드 바의 후면과 상기 제2 단차 사이에 이격된 공간을 형성할 수 있다.
바람직하게, 본 발명에 따른 상기 상부 히트싱크는, 상기 레이저 다이오드 바의 상부가 p형 반도체인 경우, 전원이 인가되는 전극부와 전도를 차단하는 절연부가 상기 레이저 다이오드 바의 길이 방향을 따라 교대로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 다이오드 바 상부의 전극 구조물을 방열 성능에 적합하도록 개량한 상부 히트싱크가 다이오드 내부에서 발생된 열이 효과적으로 방열될 수 있도록 넓은 열전달 단면적을 제공하여 열전달 병목현상을 대폭 개선한다. 따라서, 레이저 다이오드의 내부에서 발생된 열의 효과적인 방열이 가능한 이점이 있다.
도 1, 2, 3은 종래 기술에 따른 레이저 다이오드의 구조를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈의 사시도를 나타낸다. 도 4a는 n층이 상부에 위치하는 레이저 다이오드 바 모듈을 나타내고, 도 4b는 p층이 상부에 위치하는 레이저 다이오드 바 모듈을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈의 측면도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈의 측면 사시도를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈과 일반 레이저 다이오드 바 모듈의 방열 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
이하, 첨부된 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 예시적 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일 참조부호는 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 부재를 나타낸다.
본 발명의 목적 및 효과는 하기의 설명에 의해서 자연스럽게 이해되거나 보다 분명해 질 수 있으며, 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈(1, 1')의 사시도를 나타낸다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈(1)의 측면도를 나타낸다. 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈(1)의 측면 사시도를 나타낸다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 레이저 다이오드 바 모듈(1, 1')은 레이저 다이오드 바(20), 하부 히트싱크(10), 상부 히트싱크(40) 및 절연층(30)을 포함할 수 있다.
레이저 다이오드 바(20)는 레이저 광을 방출시키는 활성층과 반도체층을 구비할 수 있다. 도면에는 도시되지 않았으나 레이저 다이오드 바는 제1 반도체층, 활성층, 제2 반도체층을 포함할 수 있다. 제1 반도체층과 제2 반도체층은 n 타입 또는 p 타입으로 도핑된 층을 구분하기 위한 용어이다. 반도체층 및 레이저 다이오드 구성의 일반적인 설명은 발명의 배경이 되는 기술에서 기술한 바 자세한 원용은 생략한다.
본 실시예로, 레이저 다이오드 바(20)는 GaAs, InP의 기판으로 제공될 수 있다. 또한, 상기 기판에 유기금속 화학 증착법(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD: Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD: Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE: Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE: Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 반도체층을 형성할 수 있다.
도 4a는 n층이 상부에 위치하는 레이저 다이오드 바 모듈(1)을 나타내고, 도 4b는 p층이 상부에 위치하는 레이저 다이오드 바 모듈(1')을 나타낸다.
도 4a를 참조하면, n층이 상부에 위치하기 때문에 레이저 다이오드 바(20)의 상부에 평면의 전극이 위치할 수 있다. 이는 후술하게 될 상부 히트싱크(40)의 전면이 전극부(403)로 형성된 실시예를 의미한다.
도 4b를 참조하면, p층이 상부에 위치하기 때문에 활성층으로만 전기를 흘려줄 수 있어야 한다. 따라서, 본 실시예의 경우 히트싱크(40)는 전극부(403)와 절연부(401)가 교대로 형성된다. 이와 관련 후술한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 레이저 다이오드 바(20)는 상부 히트싱크(40)와 하부 히트싱크(10) 사이에 패키징된다. 이 경우, 레이저 다이오드 바(20)의 상부면은 상부 솔더(50b)로 상부 히트싱크(40)에 결합되고, 하부면은 하부 솔더(50a)로 하부 히트싱크(10)에 결합된다.
하부 히트싱크(10)는 레이저 다이오드 바(20)의 하부에 형성된다. 하부 히트싱크(10)는 레이저 다이오드 바(20)의 하부에서 발생된 열을 배출할 수 있다. 하부 히트싱크(10)는 열 전도성이 우수한 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag)의 소재로 제공될 수 있다.
상부 히트싱크(40)는 내측면에 단차가 형성되며 원위부(distal)인 제1 단차(406)가 레이저 다이오드 바(20)의 상면을 덮고, 근위부(proximal)인 제2 단차(407)가 하부 히트싱크(10)에 결합될 수 있다.
상부 히트싱크(40)는 다이오드의 상부에 접촉되는 구조물로 상부 컨택 덮개 구조물(top-contact canopy structure)로 이해될 수 있다. 상부 히트싱크(40)는 상부 전극과 연결되어 제1 극성의 전원을 인가할 수 있다. 상부 히트싱크(40)는 기존의 전극층을 캐노피 구조물의 형태로 개량한 구성임에 주목한다. 따라서, 상부 히트싱크(40)는 전기전도성과 열 전도성이 모두 우수한 소재로 제공됨이 바람직하다. 본 실시예로, 상부 히트싱크(40)는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu)의 소재로 제공될 수 있다.
상부 히트싱크(40)는 레이저 다이오드 바(20)의 상부 전면을 덮는 구조로 구성된다. 상부 히트싱크(40)의 높이는 레이저 다이오드 바(20)의 높이보다 500um정도 높거나 500um 정도 낮게 구성될 수 있다. 이는 제작 공차, 방열 단면적 등을 고려하여 설계상 변경될 필요가 있기 때문이다.
상부 히트싱크(40)는 도 4에 도시된 바와 같이 외면인 상면이 편평하게 형성된다. 하지만, 상부 히트싱크(40)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 내측면에 단차가 형성된 구성을 갖는다. 이 경우, 형성된 단차 중 제1 단차(406)는 레이저 다이오드(20)의 상면을 커버링하는 얇은 판의 구성이며 이 두께는 50~200 mm로 구성될 수 있다. 제1 단차(406)는 상부 히트싱크(40)의 원위부로 이해될 수 있으며 레이저 다이오드 바(20) 상부면에 접촉하여 열을 전달하는 영역이다.
제2 단차(406)는 상부 히트싱크(40)의 근위부로 이해될 수 있다. 제2 단차(407)는 레이저 다이오드 바(20)와 이격되어 하부 히트싱크(10)에 결합된다. 제2 단차(407)는 제1 단차(406)로부터 전달된 열을 발산하거나 하부 히트싱크(10)로 전달할 수 있다.
상부 히트싱크(40)는 제2 단차(407)의 두께가 제1 단차(406)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다. 본 실시예로 제2 단차(407)의 두께는 500~2000mm 로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상부 히트싱크(40)의 결합시 절연층(30)은 얇게 형성된다. 본 실시예에 따른 상부 히트싱크(40)는 열 전달에 특히 적합한 단차가 형성된 캐노피 덮개의 구조를 갖는 점에 주목한다.
보다 상세하게, 상부 히트싱크(40)는 제1 단차(406)의 길이가 레이저 다이오드 바(20)의 폭보다 길게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상부 히트싱크(40)는 레이저 다이오드 바(20)의 후면과 제2 단차(407) 사이에 이격된 공간(405)을 형성할 수 있다. 이격된 공간(405)은 약 1~2mm 정도로 형성될 수 있다. 상기 공간(405)에는 광 디텍터가 마련될 수 있다.
도 1b에 도시된 바와 같이 상부 히트싱크(40)는 레이저 다이오드 바(20)의 상부가 p형 반도체인 경우, 전원이 인가되는 전극부(403)와 전기의 전도를 차단하는 절연부(401)가 레이저 다이오드 바(20)의 길이 방향을 따라 교대로 형성될 수 있다. 이는 레이저 다이오드 바(20)의 활성층으로 전원을 공급하기 위함이다. 도 1a와 같이 레이저 다이오드 바(20)의 상부가 n형 반도체인 경우, 상부 히트싱크(40)는 전극부(403)만으로 구성될 수 있다.
절연층(30)은 상부 히트싱크(40)의 근위부(407)와 하부 히트싱크(10) 사이에 형성될 수 있다. 절연층은 결과적으로 상부 전극과 하부 전극 사이의 전기적 전도를 차단한다. 본 실시예로 절연층(30)은 약 4~6um의 높이로 형성될 수 있다. 보다 바람직하게, 절연층은 5um의 높이로 형성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 바 모듈(1)과 일반 레이저 다이오드 바 모듈의 방열 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 종래의 일반 레이저 다이오드 바 모듈은 절연층(30)의 높이가 레이저 다이오드(20)만큼 형성되고, 일반적인 상부 전극층이 올려지는 형태로 설정하여 전산모사 하였다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따라 전극층을 개조한 상부 히트싱크(40)의 구조적 차이만으로, 일반 레이저 다이오드 모듈 대비 최고 온도가 약 19도 차이나는 것을 확인할 수 있었다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 레이저 다이오드 바 모듈(1, 1')은 레이저 다이오드 바(20)의 상부에 적체되어 있는 열을 전극 연결층을 개조한 상부 히트싱크("Top-Contact Canopy Structure")(40)를 통해 전달한다. 대면적의 상부 히트싱크(40) 구조로 인하여 레이저 다이오드는 방열 성능이 효과적으로 개선되어 수명 및 광원의 효율성이 향상될 수 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리 범위는 설명한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태에 의하여 정해져야 한다.
1, 1': 레이저 다이오드 바 모듈
10: 하부 히트싱크
20: 레이저 다이오드 바
30: 절연층
40: 상부 히트싱크
401: 절연부
403: 전극부
406: 제1 단차
407: 제2 단차
50: 솔더

Claims (5)

  1. 레이저 광을 방출시키는 활성층과 반도체층을 구비한 레이저 다이오드 바;
    상기 레이저 다이오드 바의 하부에 형성되어 상기 레이저 다이오드 바의 하부에서 발생된 열을 배출하는 하부 히트싱크; 및
    내측면에 단차가 형성되며 원위부(distal)인 제1 단차가 상기 레이저 다이오드 바의 상면을 덮고, 근위부(proximal)인 제2 단차가 상기 하부 히트싱크에 결합된 상부 히트싱크; 및
    상기 상부 히트싱크의 근위부(proximal)와 상기 하부 히트싱크 사이에 형성된 절연층을 포함하며,
    상기 상부 히트싱크는,
    상기 레이저 다이오드 바의 상부가 p형 반도체인 경우, 전원이 인가되는 전극부와 전기의 전도를 차단하는 절연부가 상기 레이저 다이오드 바의 길이 방향을 따라 교대로 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 히트싱크는,
    상부 전극과 연결되어 제1 극성의 전원을 인가하며 두께는 50~200mm 인 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 모듈.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 히트싱크는,
    상기 제2 단차의 두께가 상기 제1 단차의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 모듈.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 히트싱크는,
    상기 제1 단차의 길이가 상기 레이저 다이오드 바의 폭보다 길게 형성되어 상기 레이저 다이오드 바의 후면과 상기 제2 단차 사이에 이격된 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 바 모듈.
  5. 삭제
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JP2004146720A (ja) * 2002-10-28 2004-05-20 Sony Corp 半導体レーザ・モジュール

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