JP2021150800A - 光電変換装置、画像読取装置、画像形成装置、及び撮像システム - Google Patents

光電変換装置、画像読取装置、画像形成装置、及び撮像システム Download PDF

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Abstract

【課題】画素から電圧信号を高感度に読み出す装置及び撮像システムを提供する。【解決手段】光電変換装置1において、第1波長領域の光を受光する第1光電変換素子PDR及び信号電荷を電圧信号に変換する第1回路を含む画素2が所定方向に複数配列された第1画素列2Rと、第2波長領域の光を受光する第2光電変換素子PDG及び信号電荷を電圧信号に変換する第2回路を含む画素が所定方向に複数配列された第2画素列2Gと、第3波長領域の光を受光する第3光電変換素子PDB及び信号電荷を電圧信号に変換する第3回路を含む画素が所定方向に複数配列された第3画素列2Bと、第4波長領域の光を受光する第4光電変換素子PDIR及び信号電荷を電圧信号に変換する第4回路を含む画素が所定方向に複数配列された第4画素列2IRと、を備える。第1及び第2画素列における電圧信号の読出し方向は、第3及び第4画素列における電圧信号の読出し方向と異なる。【選択図】図4

Description

本願は、光電変換装置、画像読取装置、画像形成装置、及び撮像システムに関する。
従来から、スキャナ、複写機、デジタルカメラ等に用いられるCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の光電変換装置が知られている。
また、光電変換装置における信号の読出しを制御する構成が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、従来技術では、光電変換装置に含まれる複数の画素から電圧信号を同一方向に読み出すため、信号線の数が多くなり、画素から電圧信号を高感度に読み出せない場合がある。
本発明は、画素から電圧信号を高感度に読み出すことを課題とする。
本発明の一態様に係る光電変換装置は、第1波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第1光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第1回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第1画素列と、第2波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第2光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第2回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第2画素列と、第3波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第3光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第3回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第3画素列と、第4波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第4光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第4回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第4画素列と、を備え、前記第1及び前記第2画素列における電圧信号の読出し方向は、前記第3及び前記第4画素列における電圧信号の読出し方向とは異なっている。
本発明によれば、画素から電圧信号を高感度に読み出せる。
比較例に係る光電変換装置の電圧信号の伝送を示す図である。 比較例に係る光電変換装置を含む信号処理装置の構成を示す図である。 隣接画素間の信号線が電圧信号の感度に与える影響を示す図である。 第1実施形態に係る光電変換装置の構成例を示す図である。 各画素の電圧信号を読み出すための構成例を示す図である。 画素の詳細構成例を示す図であり、(a)は部品構成例を示す図、(b)は回路構成例を示す図である。 各画素回路に供給される制御信号例を示す図である。 複数の画素の間での配線例を示す図である。 光電変換装置と後段の信号処理回路との接続例を示す図であり、(a)は比較例に係る接続を示す図、(b)は実施形態に係る接続を示す図である。 画素のローリング方法例の図であり、(a)は画素の配置例の図、(b)は比較例に係るローリング方法の図、(c)は実施形態に係るローリング方法例の図である。 第2実施形態に係るフォトダイオードと画素回路の配置例を示す図であり、(a)は第1比較例に係る配置の図、(b)は第2比較例に係る配置の図、(c)は第3比較例に係る配置の図、(d)は第2実施形態に係る配置の図である。 第3実施形態に係る画像読取装置の構成例を示すブロック図である。 第4実施形態に係る画像形成装置の構成例を示すブロック図である。 第5実施形態に係るカメラシステムの構成例を示す図である。
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する。
赤,緑,青用の画素に近赤外光用の画素を追加した4ラインのイメージセンサを光電変換装置の一例として実施形態を説明する。また実施形態の説明では、赤色をR、緑色をG、青色をB、近赤外をIRとして省略して表記する。
ここで、Rの波長領域は580nm〜650nm程度の赤色に対応する波長領域を少なくとも含み、第1波長領域の一例である。またGの波長領域は510nm〜580nm程度の緑色に対応する波長領域を少なくとも含み、第2波長領域の一例である。Bの波長領域は410nm〜490nm程度の青色に対応する波長領域を少なくとも含み、第3波長領域の一例である。IRの波長領域は750nm〜1400nm程度の近赤外光に対応する波長領域を少なくとも含み、第4波長領域の一例である。
<比較例>
まず、比較例に係る光電変換装置から説明する。図1は、比較例に係る光電変換装置1Xの電圧信号の伝送を説明する図である。
図1に示すように、光電変換装置1Xは、複数の画素2Xを備えている。複数の画素2Xは、R用の画素列2XRと、G用の画素列2XGと、B用の画素列2XBと、IR用の画素列2XIRとを含んでいる。色毎に複数の画素2XがX方向に配列することで、画素列2XR,2XG,2XB,2XIRのそれぞれを構成している。また各画素列2XR,2XG,2XB,2XIRがY方向に配列することで、光電変換装置1Xを構成している。ここで、X方向は「所定方向」の一例である。
1つの画素2Xは、入射光を受光して信号電荷を生成するフォトダイオードPDと、生成された信号電荷を電圧信号に変換する画素回路PIX_BLKとを含み、入射光の光強度に応じた電圧信号を出力する。
複数の画素2Xのそれぞれによる電圧信号は、Y方向に沿って信号線SIG(1)〜SIG(N)により伝送され、−Y方向側の端部から読み出される。信号線SIG(1)〜SIG(N)は、R,G,B,IRのそれぞれに対応する画素2Xの電圧信号を伝送して出力する。なお、以下では、(1)〜(N)の信号線を区別しない場合は信号線SIGと表記する。
次に図2は、光電変換装置1Xを含むリニアイメージセンサ10Xの構成を説明する図である。リニアイメージセンサ10Xは、光電変換装置1Xと、タイミング生成回路101と、A/D(Analog/Digital)変換回路102と、LVDS(Low voltage differential signaling)回路103とを備えている。
タイミング生成回路101からの制御信号に応じて、光電変換装置1Xにおける画素列2XR,2XG,2XB,2XIRの各列から電圧信号が独立に読み出される。読み出された電圧信号はA/D変換回路102でA/D変換された後、LVDS回路103を介して外部装置に転送される。この構成により、R,G,B,IRの光強度に応じた電圧信号を同時に読み出せるようになっている。
次に図3は、隣接画素間における信号線が電圧信号の感度に与える影響を説明する図であり、光電変換装置1Xの断面を示している。フォトダイオードPDを含むシリコン基板11と、層間膜層12とがZ方向に積層して光電変換装置1Xを構成している。
層間膜層12の内部にはメタル配線部122及び123が設けられている。メタル配線部122及び123はアルミニウムや銅等の金属材料で構成され、信号線として信号を伝送する機能を有する。例えばメタル配線部122は制御信号を伝送する信号線として機能し、メタル配線部123は各画素の電圧信号の読出し信号を伝送する信号線、又は電源信号を伝送する信号線として機能する。
またメタル配線部122及び123は層間膜層12への入射光を反射して透過させないため、メタル配線部122又は123により形成した開口を、層間膜層12への入射光のうちでフォトダイオードPDに到達する光を規定するための開口部(絞り)として機能する。
図3に示した長さa1は、メタル配線部122又は123により形成される矩形形状の開口部124における一辺の長さを表している。なお、開口部124を円形形状で形成することもでき、この場合a1は開口部124の直径に対応する。
ここで、光電変換装置1Xでは、画素2Xのそれぞれの読出し信号が何れも−Y方向側の端部から読み出される。そのため、少なくともR,G,B,IR用の4つの信号線SIGが、隣接する画素2X間を通る構成になっている。図3のメタル配線部122に含まれる信号線122a,122b,122c,122dは、R,G,B,IR用の4つの信号線SIGとして機能するメタル配線を示している。
具体的には、信号線122aは、信号線SIG(1)における画素列2XRの電圧信号を伝送する信号線である。同様に、信号線122bは、信号線SIG(1)における画素列2XGの電圧信号を伝送する信号線である。信号線122cは、信号線SIG(1)における画素列2XBの電圧信号を伝送する信号線である。信号線122dは、信号線SIG(1)における画素列2XIRの電圧信号を伝送する信号線である。
このように、隣接する画素2Xの間の信号線の数が増えると、メタル配線部122の占有する領域が増加するため、開口部124の一辺の長さが短くなる。開口部124の一辺の長さが短くなると、開口部124の開口面積が小さくなり、開口部124を通過してフォトダイオードPDに到達する光が減少し、フォトダイオードPDで受光できる光量が減少する。これにより電圧信号の感度が低下し、画素から電圧信号を高感度に読み出せなくなる場合がある。
そのため、実施形態では、R,G,B,IR用の4つの画素列のうち、2つの画素列における電圧信号の読出し方向と、他の2つの画素列における電圧信号の読出し方向が異なるように光電変換装置を構成する。これにより、各画素列における隣接画素間で電圧信号を伝送するための信号線の数を減らし、メタル配線部122の占有する領域を減少させて、隣接画素間の信号線で形成される開口部の開口面積を大きくする。そして、開口部を通過してフォトダイオードに入射する光の光量を大きくすることで、画素から電圧信号を高感度に読み出せるようにする。
[第1実施形態]
次に、第1実施形態に係る光電変換装置1について説明する。
<光電変換装置1の構成例>
図4は光電変換装置1の構成の一例を説明する図である。図4に示すように、光電変換装置1は、複数の画素2を備えている。複数の画素2は、R用の画素列2Rと、G用の画素列2Gと、B用の画素列2Bと、IR用の画素列2IRとを含んでいる。
Rの波長領域の光を受光して信号電荷を生成するフォトダイオードPDRと、該信号電荷を電圧信号に変換する画素回路PIXRとを含む画素がX方向に複数配列して画素列2Rを構成している。ここで、フォトダイオードPDRは「第1光電変換素子」の一例であり、画素回路PIXRは「第1回路」の一例であり、画素列2Rは、「第1画素列」の一例である。
またGの波長領域の光を受光して信号電荷を生成するフォトダイオードPDGと、該信号電荷を電圧信号に変換する画素回路PIXGとを含む画素がX方向に複数配列して画素列2Gを構成している。ここで、フォトダイオードPDGは「第2光電変換素子」の一例であり、画素回路PIXGは「第2回路」の一例であり、画素列2Gは、「第2画素列」の一例である。
またBの波長領域の光を受光して信号電荷を生成するフォトダイオードPDBと、該信号電荷を電圧信号に変換する画素回路PIXBとを含む画素がX方向に複数配列して画素列2Bを構成している。ここで、フォトダイオードPDBは「第3光電変換素子」の一例であり、画素回路PIXBは「第3回路」の一例であり、画素列2Bは、「第3画素列」の一例である。
またIRの波長領域の光を受光して信号電荷を生成するフォトダイオードPDIRと、該信号電荷を電圧信号に変換する画素回路PIXIRとを含む画素がX方向に複数配列して画素列2IRを構成している。ここで、フォトダイオードPDIRは「第4光電変換素子」の一例であり、画素回路PIXIRは「第4回路」の一例であり、画素列2IRは、「第4画素列」の一例である。
これらの画素列2R,2G,2B,2IRがY方向に配列することで、光電変換装置1を構成している。
複数の画素2のうち、画素列2R及び画素列2Gのそれぞれの出力する電圧信号は、信号線VoutU(1)〜VoutU(N)により+Y方向に伝送され、+Y方向側の端部から読み出される。また複数の画素2のうち、画素列2B及び画素列2IRのそれぞれの出力する電圧信号は、信号線VoutD(1)〜VoutD(N)により−Y方向に伝送され、−Y方向側の端部から読み出される。
換言すると、画素列2R及び画素列2Gのそれぞれの出力する電圧信号の読出し方向は、画素列2B及び画素列2IRのそれぞれの出力する電圧信号の読出し方向とは異なっている。また画素列2R及び画素列2Gにおける電圧信号の読出し方向と、画素列2B及び画素列2IRの電圧信号の読出し方向は、Y方向に沿って反対方向である。
このように構成することで、隣接する画素2の間を通る信号線の数を2本にでき、比較例に係る光電変換装置1Xの4本に対して減少させることができる。
また、光電変換装置1は、複数の画素2毎で画素回路PIXがフォトダイオードPDの近傍に配置されて伝送距離が短いため、フォトダイオードで生成された信号電荷から画素回路までの区間でノイズが発生しにくい構成になっている。
次に図5は、各画素2の電圧信号を読み出すための構成の一例について説明する図である。
ここで、画素列2Rの電圧信号を読み出すための信号線51Rの長さは、Y方向における画素列2Rの位置から+Y方向側の端部50aまであれば、画素列2Rの電圧信号を読出し可能である。これに対して本実施形態では、図5に示すように、信号線51Rを端部50aからY方向における画素列2Gが設けられた位置まで、延伸した構成にしている。
換言すると、画素列2Rは、画素列2Gより光電変換装置1の端部50a側に配置され、画素列2Rの電圧信号を読み出す信号線51Rは、Y方向における画素列2Gが配置された位置から端部50aまで延伸して設けられている。ここで、Y方向における画素列2Gが配置された位置は、例えばY方向において、画素回路PIXGのうちの端部50aから最も遠い部分の位置である。
このようにすることで、画素列2Gの位置でも2本の信号線を通すことができるため、画素列2Rにおける隣接画素間での信号線の本数と、画素列2Gにおける隣接画素間での信号線の本数を等しくすることができる。
同様に、画素列2IRの電圧信号を読み出すための信号線51IRの長さは、Y方向における画素列2IRの位置から−Y方向側の端部50bまであれば、画素列2IRの電圧信号を読出し可能である。これに対して本実施形態では、図5に示すように、信号線51IRを端部50bからY方向における画素列2Bが設けられた位置まで、延伸した構成にしている。
換言すると、画素列2IRは、画素列2Bより光電変換装置1の端部50b側に配置され、画素列2IRの電圧信号を読み出す信号線51IRは、Y方向における画素列2Bが配置された位置から端部50bまで延伸して設けられている。ここで、Y方向における画素列2Bが配置された位置は、例えばY方向において、画素回路PIXBのうちの端部50bから最も遠い部分の位置である。
このようにすることで、画素列2Bの位置でも2本の信号線を通すことができるため、画素列2IRにおける隣接画素間での信号線の本数と、画素列2Bにおける隣接画素間での信号線の本数を等しくすることができる。
隣接画素間の信号線の本数を等しくすることで、色毎で隣接画素間における信号線の占有する領域を等しくできる。これにより色毎での開口部の大きさ(開口面積)が等しくなり、色毎での電圧信号の読出しの感度が等しくなるようになっている。
ここで、上記の端部50aは「光電変換装置の一端」の一例であり、端部50bは「光電変換装置の他端」の一例である。
<画素2の詳細構成例>
次に、画素2の詳細構成について、図6を参照して説明する。図6は画素2の詳細構成の一例を説明する図であり、(a)は部品構成の一例を示す図、(b)は回路構成の一例を示す図である。
図6に示すように、画素2はフォトダイオードPDと、転送スイッチTXと、増幅器SFと、リセットスイッチRTとを備えている。
フォトダイオードPDは、入射光を受光して信号電荷を生成する光電変換素子である。フォトダイオードPDのアノードは接地電圧に接続され、カソードは転送スイッチTXの一方の端部に接続されている。
転送スイッチTXの他方の端部は、増幅器SF及びリセットスイッチRTの一方の端部に接続されている。ここで、転送スイッチTXと、増幅器SFと、リセットスイッチRTが接続される領域をフロートディフュージョン領域FDという。フロートディフュージョン領域FDは、フォトダイオードPDにより生成される信号電荷を電圧に変換する領域である。
またリセットスイッチRTは、生成した信号電荷を消去するためのトランジスタであり、転送スイッチTXは、生成した信号電荷を転送するためのトランジスタである。リセットスイッチRTの他方の端部には、リセット電圧である電源電圧Vinが印加される。
またリセットスイッチRTは、リセットスイッチRTを制御するためのRT制御信号Srtが入力可能に構成され、転送スイッチTXは、転送スイッチTXを制御するためのTX制御信号Stxが入力可能に構成されている。なお、図6では図示を省略するが、フォトダイオードPDの入射光側には色フィルタやマイクロレンズを形成することもできる。
リセットスイッチRTと、転送スイッチTXと、増幅器SFとを含んで画素回路PIXを構成している。但し、カラーフィルタ及びマイクロレンズを設ける場合は、これらも画素回路PIXに含まれる。
<複数の画素2での制御信号の共有例>
次に、実施形態に係る複数の画素2での制御信号の共有例について、図7を参照して説明する。
ここで、光電変換装置1では、画素2R,2G,2B,2IRのそれぞれで光が最大限入射したフルスケール時の電圧信号レベルを合わせると、画素2R,2G,2B,2IRからの電圧信号を処理する増幅回路等の信号処理回路を同じ構成にできるため、好適である。
画素2R,2G,2B,2IRで電圧信号レベルを合わせる調整は、フォトダイオードPDによる光の蓄積時間を制御することで行うことができる。フォトダイオードPDによる光の蓄積時間を制御するために、RT制御信号Srt及びTX制御信号Stxが使用される。
図7は、各画素回路PIXに供給される制御信号の一例を説明する図である。図7では、図4と同様に、画素2をX方向に配列して構成した4つの画素列2R,2G,2B,2IRを、Y方向に並べて構成した光電変換装置1を示している。
ここで、画素列を構成する画素2が配列するX方向に沿って、複数の画素回路PIXのそれぞれにRT制御信号Srt及びTX制御信号Stxを供給すると、1つの制御信号により制御するトランジスタの個数が画素2の個数に応じて数百から数千、時には数万個になるため、全てのトランジスタを均一に駆動させることが困難になる場合がある。
そのため画素2の電圧信号の読出し方向であるY方向に沿って、RT制御信号Srt及びTX制御信号Stxを供給すると好適である。但し、Y方向に沿って画素毎にRT制御信号Srt及びTX制御信号Stxを供給すると、供給するための信号線の本数が増えるため、フォトダイオードPDへの入射光の光量を規定する開口部の開口面積が小さくなって、電圧信号を高感度に読み出すことが困難になる場合がある。
これに対し、実施形態では、複数の画素で制御信号を共有し、複数の画素からなる組毎にRT制御信号Srt及びTX制御信号Stxを供給することで、RT制御信号Srt及びTX制御信号Stxを供給するための信号線の本数を減らす。これにより開口部の開口面積を大きくして電圧信号を高感度に読出し可能にしている。
図7に示すように、画素列2Rでは、信号線LrtRは+Y方向側からRT制御信号SrtRを供給し、また信号線LtxRは+Y方向側からTX制御信号StxRを供給する。+Y方向側は画素列2Rの電圧信号を読出す側に対応する。また信号線LrtR及び信号線LtxRは、それぞれ画素列2Rにおける複数の画素回路PIXRに接続されている。
また画素列2Gでは、信号線LrtGは+Y方向側からRT制御信号SrtGを供給し、また信号線LtxGは+Y方向側からTX制御信号StxGを供給する。+Y方向側は画素列2Gの電圧信号を読出す側に対応する。また信号線LrtG及び信号線LtxGは、それぞれ画素列2Gにおける複数の画素回路PIXGに接続されている。
画素列2Bでは、信号線LrtBは−Y方向側からRT制御信号SrtBを供給し、また信号線LtxBは−Y方向側からTX制御信号StxBを供給する。−Y方向側は画素列2Bの電圧信号を読出す側に対応する。また信号線LrtB及び信号線LtxBは、それぞれ画素列2Bにおける複数の画素回路PIXBに接続されている。
画素列2IRでは、信号線LrtIRは−Y方向側からRT制御信号SrtIRを供給し、また信号線LtxIRは−Y方向側からTX制御信号StxIRを供給する。−Y方向側は画素列2IRの電圧信号を読出す側に対応する。また信号線LrtIR及び信号線LtxIRは、それぞれ画素列2IRにおける複数の画素回路PIXIRに接続されている。
これらの状態を換言すると、画素列2Rにおける画素回路PIXRを制御するRT制御信号SrtRと、画素列2Gにおける画素回路PIXGを制御するRT制御信号SrtGと、画素列2Bにおける画素回路PIXBを制御するRT制御信号SrtBと、画素列2IRにおける画素回路PIXIRを制御するRT制御信号SrtIRは、相互に異なる信号である。
また画素列2Rにおける画素回路PIXRを制御するTX制御信号StxRと、画素列2Gにおける画素回路PIXGを制御するTX制御信号StxGと、画素列2Bにおける画素回路PIXBを制御するTX制御信号StxBと、画素列2IRにおける画素回路PIXIRを制御するTX制御信号StxIRは、相互に異なる信号である。
このようにすることで、色毎でフォトダイオードPDの蓄積時間を同等にするような制御を実行でき、光電変換装置1の後段に接続される信号処理を容易に実行できるようになっている。
ここで、RT制御信号SrtR及びTX制御信号StxRのそれぞれは、「第1回路の制御信号」の一例であり、RT制御信号SrtG及びTX制御信号StxGのそれぞれは、「第2回路の制御信号」の一例である。またRT制御信号SrtB及びTX制御信号StxBのそれぞれは、「第3回路の制御信号」の一例であり、RT制御信号SrtIR及びTX制御信号StxIRのそれぞれは、「第4回路の制御信号」の一例である。
また信号線LrtRは、画素列2Rの電圧信号を読出す側(+Y方向側)に接続され、信号線LrtGは、画素列2Gの電圧信号を読出す側(+Y方向側)に接続され、信号線LrtBは、画素列2Bの電圧信号を読出す側(−Y方向側)に接続され、信号線LrtIRは、画素列2IRの電圧信号を読出す側(−Y方向側)に接続されている。
さらに信号線LtxRは、画素列2Rの電圧信号を読出す側(+Y方向側)に接続され、信号線LtxGは、画素列2Gの電圧信号を読出す側(+Y方向側)に接続され、信号線LtxBは、画素列2Bの電圧信号を読出す側(−Y方向側)に接続され、信号線LtxIRは、画素列2IRの電圧信号を読出す側(−Y方向側)に接続されている。
このようにすることで、全ての画素2の画素回路PIXをできるだけ均一に駆動できるようになっている。
また信号線LrtRは複数の画素回路PIXRに接続され、信号線LrtGは複数の画素回路PIXGに接続され、信号線LrtBは複数の画素回路PIXBに接続され、信号線LrtIRは複数の画素回路PIXIRに接続されている。
さらに信号線LtxRは複数の画素回路PIXRに接続され、信号線LtxGは複数の画素回路PIXGに接続され、信号線LtxBは複数の画素回路PIXBに接続され、信号線LtxIRは、複数の画素回路PIXIRに接続されている。
このようにすることで、全ての画素2の画素回路PIXをできるだけ均一に駆動させ、且つ隣接する画素2の間における配線数をできるだけ減らして、電圧信号の読出しを高感度に行えるようになっている。
ここで、信号線LrtR,LtxRのそれぞれは、「第1回路に制御信号を供給する信号線」の一例であり、信号線LrtG,LtxGのそれぞれは、「第2回路に制御信号を供給する信号線」の一例である。また、信号線LrtB,LtxBのそれぞれは、「第3回路に制御信号を供給する信号線」の一例であり、信号線LrtIR,LtxIRのそれぞれは、「第4回路に制御信号を供給する信号線」の一例である。
なお、図7では、1つの信号線で2つの画素2に制御信号を供給する例を示したが、これに限定されるものではなく、さらに多くの画素2に制御信号を供給するようにしてもよい。
但し、隣接する画素2の間に通す信号線が太いほど、開口部の開口面積が小さくなって電圧信号の読出し感度が低下するため、信号線はできるだけ細くする方が好ましい。しかし信号線を細くしすぎると配線抵抗が大きくなって、均一に画素2を駆動できなくなる。従って、数画素から数十画素程度の数の画素2を駆動できる太さで信号線を構成すると好適である。
<複数の画素2の間での配線例>
次に、複数の画素2の間での配線について、図8を参照して説明する。図8は、複数の画素2の間での配線の一例を説明する図である。
ここで、画素2が配列するX方向に沿った各画素2の電圧信号の読出し感度のばらつきは、光電変換装置1におけるPRNU(Photo Response Non Uniformity)の低下を招く。なお、PRNUとは、光電変換装置に入射する等価な光量に対する各画素の感度のばらつきをいう。
実施形態では、図8に示すように、X方向に配列する画素2のうち、例えば、N番目とN+1番目の間にRT制御信号Srtを供給する信号線LUrtを通し、N+1番目とN+2番目の間にTX制御信号Stxを供給する信号線LUtxを通し、N+2番目とN+3番目の間にダミー信号を供給する信号線DumUを通している。このダミー信号にはリセットスイッチRTのための電源信号や、増幅器SFのための電源信号等を用いることができる。
なお、N〜N+3番目の画素2について示したが、X方向に配列するその他の画素2においても同様に信号線を通すことができる、また−Y方向側における信号線LDrt,LDtx、DumDも同様に通すことができる。
この構成により、隣接する画素2の間の信号線の本数を全ての画素2の間で等しくできる。換言すると、画素列2Rの隣接画素間で、画素回路PIXRの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2Gの隣接画素間で、画素回路PIXGの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2Bの隣接画素間で、画素回路PIXBの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2IRの隣接画素間で、画素回路PIXIRの制御信号を供給する信号線の本数は何れも等しい。
このようにすることで、開口部の開口面積を等しくでき、各画素2の感度のばらつきを抑制できるようになっている。
なお、図8では、画素列2R,2Gにおける6つの画素で信号線LUrt及びLUtxを共通にし、画素列2B,2IRの6つの画素で信号線LUrt及びLUtxを共通にする例を示したが、共通にする信号線LUrt及びLUtxを色毎で分ける構成にしてもよい。つまり、画素列2Rの3画素で信号線LUrt及びLUtxを共通にし、画素列2Gの3画素で信号線LUrt及びLUtxを共通にする。これにより色毎で蓄積時間を変更して色間の感度を等しくすることができる。この場合でも画素2の間の信号線の本数を等しくする構成にすることが好ましい。
<光電変換装置1と後段の信号処理回路との接続例>
次に、光電変換装置1と後段の信号処理回路との接続について、図9を参照して説明する。ここで、図9は光電変換装置1と後段の信号処理回路との接続の一例を説明する図であり、(a)は比較例に係る接続を示す図、(b)は実施形態に係る接続を示す図である。
図9(a)では、光電変換装置1の+X方向側に信号処理回路3a,3bがY方向に並んで配置され、それぞれが光電変換装置1に電気的に接続されている。画素列2R,2Gの電圧信号は+Y方向側に読み出され、信号線4aを通って信号処理回路3aに伝送される。また画素列2B,2IRの電圧信号は−Y方向側に読み出され、信号線4bを通って信号処理回路3bに伝送される構成になっている。
この場合、画素2の個数は数百から数万個にも及ぶため、光電変換装置1で読み出された電圧信号が信号処理回路3a,3bに到達するまでの伝送距離は非常に長くなる。その結果、配線抵抗や寄生容量が大きくなって、電圧信号の電圧値が低下する等して電圧信号を適切に伝送できなくなる場合がある。
そのため、図9(b)に示すように、画素2が配列するX方向と交差するY方向における光電変換装置1の両側に信号処理回路3a,3bを配置することが好ましい。図9(b)では、光電変換装置1の+Y方向側に信号処理回路3aが設けられ、光電変換装置1と信号処理回路3aとが電気的に接続されている。また光電変換装置1の−Y方向側に信号処理回路3bが設けられ、光電変換装置1と信号処理回路3bとが電気的に接続されている。
このようにすることで、光電変換装置1で読み出された電圧信号の伝送距離を短縮でき、配線抵抗や寄生容量の影響を抑えて電圧信号を信号処理回路3a,3bに適切に伝送できるようになっている。
また、Y方向における光電変換装置1の両側に設けられた信号処理回路3a,3bは、同じ構成の回路であることが好ましい。同じ構成にすることで回路特性を共通化でき、光電変換装置1から信号処理回路3a,3bへの電圧信号の入力特性と、信号処理回路3a,3bにより信号処理特性を等しくすることができる。
<複数の画素2のローリング方法例>
次に、光電変換装置1における複数の画素2の電圧信号をローリングする方法について、図10を参照して説明する。ここで、光電変換装置におけるローリングとは、画素列における各画素の電圧信号を読み出すための制御をいう。
図10は、複数の画素2のローリング方法の一例を説明する図であり、(a)は画素2の配置例を示す図、(b)は比較例に係るローリング方法を示す図、(c)は実施形態に係るローリング方法の一例を示す図である。
図10(a)に示すように、画素2のうちの画素2a,2b,2c,2d,2e,2fは、X方向に沿って配列しているものとする。
図10(b)では、画素2a,2b,2cのそれぞれに対するRT制御信号Srt0と、画素2d,2e,2fのそれぞれに対するRT制御信号Srt1とが同時に入力される。画素列における他の画素に対してもRT制御信号Srtが同時に入力される。これにより画素2a,2b,2c,2d,2e,2fの電圧信号が同時に読み出される。
しかし、図10(b)の方法では、画素2における全画素を同時に制御するため、光電変換装置の後段に接続される信号処理回路として非常に大規模なものが求められ、信号処理回路の面積が大きくなることで、信号処理回路のコストが上昇する場合がある。
そのため、図10(c)に示すように、制御信号により画素2の画素回路PIXに対して動作を指示するタイミングを、複数の制御信号毎で異ならせることが好ましい。図10(c)では、まずRT制御信号Srt0は画素2a,2b,2cのそれぞれの画素回路に対して動作を指示し、その後、RT制御信号Srt1は画素2d,2e,2fのそれぞれの画素回路に対して動作を指示している。画素2a,2b,2c,2d,2e,2fの画素回路はRT制御信号Srt0,Srt1による指示に応答して動作し、この動作によって画素2a,2b,2c,2d,2e,2fのそれぞれの電圧信号が読み出される。
画素列における他の画素の画素回路に対しても、複数のRT制御信号Srtは相互にタイミングを異ならせて動作を指示する。また光電変換装置1を構成する画素列2R,2G,2B,2IRのそれぞれの画素回路に対しても、複数のRT制御信号Srtは相互に異なるタイミングで動作を指示する。さらに複数のTX制御信号Stxも相互に異なるタイミングで画素列2R,2G,2B,2IRのそれぞれの画素回路に対して動作を指示する。
画素2a,2b,2c,2d,2e,2fの画素回路はRT制御信号Srt又はTX制御信号Stxによる指示に応答して動作し、この動作によって画素2a,2b,2c,2d,2e,2fのそれぞれの電圧信号が読み出される。
換言すると、複数の画素回路PIXRのそれぞれは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作し、複数の画素回路PIXGのそれぞれは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作する。また複数の画素回路PIXBは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作し、複数の画素回路PIXIRは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作する。
このようにすることで、光電変換装置1の後段に接続される信号処理回路の面積を小さくでき、信号処理回路のコスト上昇を抑制できるようになっている。
<光電変換装置1の作用効果>
以上説明したように、本実施形態では、画素列2R,2G,2B,2IRのうち、画素列2R,2Gにおける電圧信号の読出し方向は、画素列2B,2IRにおける電圧信号の読出し方向とは異なるように光電変換装置1を構成する。
例えば、画素列2R,2G,2B,2IRは、Y方向に配列され、画素列2R,2Gにおける電圧信号の読出し方向と、画素列2B,2IRにおける電圧信号の読出し方向を、Y方向に沿って反対方向にする。
このようにすることで、画素列2R,2G,2B,2IRのそれぞれにおける隣接画素間で電圧信号を伝送するための信号線の数を減らし、メタル配線部122の占有する領域を減少させて、隣接画素間の信号線で形成される開口部の開口面積を大きくすることができる。その結果、各画素2の開口部を通過してフォトダイオードPDに入射する光の光量を大きくでき、電圧信号を各画素2から高感度に読み出すことができる。
なお、画素列2R,2Gにおける電圧信号の読出し方向と、画素列2B,2IRにおける電圧信号の読出し方向は、Y方向に沿って反対の方向であることに限定されるものでなく、異なる方向であれば上述した効果が得られる。
また本実施形態では、画素列2Rは、Y方向において、画素列2Gより光電変換装置1の一端側に配置され、画素列2Rの電圧信号を読み出す信号線は、Y方向における画素列2Gが配置された位置から上記の一端まで延伸して設けられている。また、画素列2IRは、Y方向において、画素列2Bより光電変換装置1の他端側に配置され、画素列IRの電圧信号を読み出す信号線は、Y方向における画素列2Bが配置された位置から上記の他端まで延伸して設けられている。
このようにすることで、画素列2Gの位置でも2本の信号線を通すことができるため、画素列2Rにおける隣接画素間での信号線の本数と、画素列2Gにおける隣接画素間での信号線の本数を等しくすることができる。また画素列2Bの位置でも2本の信号線を通すことができるため、画素列2IRにおける隣接画素間での信号線の本数と、画素列2Bにおける隣接画素間での信号線の本数を等しくすることができる。
色毎での隣接画素間における信号線の本数を等しくすることで、色毎で隣接画素間における信号線の占有する領域を等しくでき、これにより色毎での開口部の大きさ(開口面積)を等しくして、色毎での電圧信号の読出しの感度を等しくすることができる。
また本実施形態では、画素列2Rにおける画素回路PIXRを制御するRT制御信号SrtRと、画素列2Gにおける画素回路PIXGを制御するRT制御信号SrtGと、画素列2Bにおける画素回路PIXBを制御するRT制御信号SrtBと、画素列2IRにおける画素回路PIXIRを制御するRT制御信号SrtIRは、相互に異なる信号である。
また画素列2Rにおける画素回路PIXRを制御するTX制御信号StxRと、画素列2Gにおける画素回路PIXGを制御するTX制御信号StxGと、画素列2Bにおける画素回路PIXBを制御するTX制御信号StxBと、画素列2IRにおける画素回路PIXIRを制御するTX制御信号StxIRは、相互に異なる信号である。
このようにすることで、色毎でフォトダイオードPDの蓄積時間を同等にするような制御を実行でき、光電変換装置1の後段に接続される信号処理を容易に実行できる。
また本実施形態では、信号線LrtRは、画素列2Rの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LrtGは、画素列2Gの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LrtBは、画素列2Bの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LrtIRは、画素列2IRの電圧信号を読出す側に接続されている。
さらに信号線LtxRは、画素列2Rの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LtxGは、画素列2Gの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LtxBは、画素列2Bの電圧信号を読出す側に接続され、信号線LtxIRは、画素列2IRの電圧信号を読出す側に接続されている。
このようにすることで、全ての画素2の画素回路PIXをできるだけ均一に駆動させることができる。
また本実施形態では、信号線LrtRは複数の画素回路PIXRに接続され、信号線LrtGは複数の画素回路PIXGに接続され、信号線LrtBは、複数の画素回路PIXBに接続され、信号線LrtIRは、複数の画素回路PIXIRに接続されている。
さらに信号線LtxRは、複数の画素回路PIXRに接続され、信号線LtxGは、複数の画素回路PIXGに接続され、信号線LtxBは、複数の画素回路PIXBに接続され、信号線LtxIRは、複数の画素回路PIXIRに接続されている。
このようにすることで、全ての画素2の画素回路PIXをできるだけ均一に駆動させ、且つ隣接する画素2の間における配線数をできるだけ減らして、電圧信号の読出しを高感度に行うことができる。
また本実施形態では、画素列2Rの隣接画素間で、画素回路PIXRの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2Gの隣接画素間で、画素回路PIXGの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2Bの隣接画素間で、画素回路PIXBの制御信号を供給する信号線の本数と、画素列2IRの隣接画素間で、画素回路PIXIRの制御信号を供給する信号線の本数は何れも等しい。
このようにすることで、開口部の開口面積を等しくでき、各画素2における感度のばらつきを抑制できる。
また本実施形態では、Y方向における光電変換装置1の両側に信号処理回路3a,3bを配置する。これにより、光電変換装置1で読み出された電圧信号の伝送距離を短縮でき、配線抵抗や寄生容量の影響を抑えて電圧信号を信号処理回路3a,3bに適切に伝送することができる。
また本実施形態では、Y方向における光電変換装置1の両側に設けられた信号処理回路3a,3bは同じ構成の回路である。これにより、回路特性を共通化でき、光電変換装置1から信号処理回路3a,3bへの電圧信号の入力特性と、信号処理回路3a,3bにより信号処理特性を等しくすることができる。
また本実施形態では、複数の画素回路PIXRのそれぞれは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作し、複数の画素回路PIXGのそれぞれは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作する。また複数の画素回路PIXBは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作し、複数の画素回路PIXIRは、RT制御信号Srt又はTX制御信号Stxに応答して異なるタイミングで動作する。
このようにすることで、光電変換装置1の後段に接続される信号処理回路の面積を小さくでき、信号処理回路のコスト上昇を抑制できる。
[第2実施形態]
次に、第2実施形態に係る光電変換装置1aについて、図11を参照して説明する。図11は、第2実施形態に係るフォトダイオードPDと画素回路PIXの配置の一例を説明する図であり、(a)は第1比較例に係る配置を示す図、(b)は第2比較例に係る配置を示す図、(c)は第3比較例に係る配置を示す図、(d)は本実施形態に係る配置を示す図である。
図11(a)の光電変換装置1X1では、画素列2Gと画素列2Bとの境界110を対称軸にして、画素列2R及び2Gと、画素列2B及び2IRとをY方向に対称に配置した構成になっている。
この場合、光電変換を行うフォトダイオードPDの列間隔が、画素列2Rと画素列2Gの間では2列分の列間隔になり、画素列2Gと画素列2Bの間では1列分の列間隔になり、画素列2Bと画素列2IRの間では2列分の列間隔になる。そのため、色毎で列間隔が一定でないために、光電変換装置1X1の製造時に、画素列間で位置ずれが発生する場合がある。
また、図11(b)の光電変換装置1X2では、画素列2Gと画素列2Bの間に、1列分のダミー画素列111を設けている。ここで、ダミー画素列とは、電圧信号を利用しない画素列をいう。
このようにすると色毎の列間隔を一定にできる。しかし、この配置では画素列2R及び2Gと、画素列2B及びIRとの間で、フォトダイオードPDに対する画素回路PIXの配置方向がY方向において反転する。例えば画素列2R及び2Gでは、フォトダイオードPDの+Y方向側に画素回路PIXが配置され、画素列2B及び2IRでは、フォトダイオードPDの−Y方向側に画素回路PIXが配置される。
この配置で光電変換装置1X2を半導体プロセスで製造すると、画素列2R及び2Gと、画素列2B及びIRとで特性が異なるものになる。従って、フォトダイオードPDに対する画素回路PIXの配置方向は、色毎で等しくすることが好ましい。
図11(c)の光電変換装置1X3は、光電変換装置1X2からダミー画素列111を除去し、且つフォトダイオードPDに対する画素回路PIXの配置方向を色毎で等しくしたものである。しかし、光電変換装置1X3では、半導体プロセスが周辺のレイアウトの影響を受けることで、繰り返しパターンとその繰り返しパターンの端部の領域で特性が変わる場合がある。
以上の点に鑑みて、本実施形態では、フォトダイオードPDに対する画素回路PIXの配置方向を色毎で等しくし、また画素列2Rの+Y方向側にダミー画素列112を設け、画素列2IRの−Y方向側にダミー画素列113を設けた構成にしている。
換言すると、フォトダイオードPDRに対する画素回路PIXRの配置方向と、フォトダイオードPDGに対する画素回路PIXGの配置方向と、フォトダイオードPDBに対する画素回路PIXBの配置方向と、フォトダイオードPDIRに対する画素回路PIXIRの配置方向は何れも等しい。
また画素列2Rは画素列2Gとダミー画素列112に隣接し、画素列2Gは画素列2Rと画素列2Bに隣接し、画素列2Bは画素列2Gと画素列2IRに隣接し、画素列2IRは画素列2Bとダミー画素列113に隣接している。
ここで、ダミー画素列112は、「第1模擬画素列」の一例であり、ダミー画素列113は、「第2模擬画素列」の一例である。
この構成により、色毎の列間隔を一定にすることで、光電変換装置1aの製造時における画素列の位置ずれを防止でき、またフォトダイオードPDに対する画素回路PIXの配置方向を色毎で等しくすることで、画素列2R,2G,2B,2IRの特性を等しくすることができる。さらに、端部にダミー画素列112及び113を設けることで、光電変換装置1aの端部における特性変化の影響を受けないようにすることができる。
なお、上記以外の効果は、第1実施形態で説明したものと同様である。
[第3実施形態]
次に、第3実施形態に係る画像読取装置100について、図12を参照して説明する。ここで、画像読取装置100は、原稿画像を読み取るスキャナ等の装置である。
図12は、画像読取装置100の構成の一例を説明するブロック図である。図12に示すように、画像読取装置100は、光電変換装置1と、CPU(Central Processing Unit)101と、LED(Light Emitting Diode)ドライバ102と、LED(Light Emitting Diode)103と、画像処理部104とを備えている。
光電変換装置1は、LED103による照射光の原稿からの反射光を受光し、この受光信号を原稿の読み取り画像データとして画像処理部104に転送する。
CPU101は、画像読取装置100全体を制御するプロセッサである。LEDドライバ102は、CPU101の制御下で、LED103を駆動させて用紙等の原稿に光を照射させる電気回路である。
画像処理部104は、光電変換装置1から転送された画像データに対して、各種の補正処理を実行する電子回路である。
このように光電変換装置1を備えることで、電圧信号を画素から高感度に読み出し、高品質な画像を読み取り可能な画像読取装置100を提供できる。
[第4実施形態]
次に、第4実施形態に係る画像形成装置200について説明する。ここで、画像形成装置200は、用紙等の記録媒体に画像を形成するMFP(Multifunction Peripheral PrinterProduct)やプリンタ等の装置である。
図13は、画像形成装置200の構成の一例を説明するブロック図である。図13に示すように、画像形成装置200は、光電変換装置1と、CPU201と、LEDドライバ202と、LED203と、画像処理部204と、プリンタエンジン205とを備えている。
光電変換装置1は、LED203による照射光の原稿からの反射光を受光し、この受光信号を原稿の読み取り画像データとして画像処理部204に転送する。
CPU201は、画像形成装置200全体を制御するプロセッサである。LEDドライバ202は、CPU201の制御下で、LED203を駆動させて用紙等の原稿に光を照射させる電気回路である。
画像処理部204は、光電変換装置1から転送された画像データに対して、各種の補正処理を実行する電子回路である。
プリンタエンジン205は、光電変換装置1により読み取られた画像データを、画像処理部204を介して入力する。そして、CPU201の制御下で、画像データに基づいて記録媒体上に画像を形成するエンジン部である。
このように光電変換装置1を備えることで、電圧信号を画素から高感度に読み出し、読み取った高品質な画像を記録媒体に形成可能な画像形成装置200を提供できる。
[第5実施形態]
次に、第5実施形態に係るカメラシステム300について説明する。ここで、カメラシステム300は、デジタルカメラやビデオカメラ等のシステムである。
図14はカメラシステム300の構成の一例を説明する図である。
図14に示すように、カメラシステム300は、光電変換装置1と、レンズ301と、駆動部302と、信号処理部303とを備えている。
レンズ301は、被写体の像を光電変換装置1のフォトダイオードPD上に結像させる。光電変換装置1は、結像された被写体の像を撮像した画像信号を出力する。
駆動部302は、光電変換装置1内の回路を駆動するタイミングジェネレータを有し、所定のタイミング信号で光電変換装置1を駆動させる。
信号処理部303は、光電変換装置1の出力する画像信号に対して所定の信号処理を実行する。信号処理部303で処理された画像信号は、アナログ信号であれば、アナログ・デジタル変換回路(AFE;Analog Front End)を介してメモリ等の記憶装置に画像情報として記憶される。またデジタル信号であればデジタル信号処理回路(DFE;Digital Front End)を介してメモリ等の記憶装置に画像情報として記憶される。
記憶装置に記憶された画像情報は、プリンタ等によってハードコピーできる。 また信号処理部303で処理された画像信号は、液晶ディスプレイ等のモニターに動画として表示させることもできる。
このように光電変換装置1を備えることで、電圧信号を画素から高感度に読み出し、高品質な画像を撮像可能なカメラシステム300を提供できる。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は、具体的に開示された上記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
1 光電変換装置
2 画素
2R 画素列(第1画素列の一例)
2G 画素列(第2画素列の一例)
2B 画素列(第3画素列の一例)
2IR 画素列(第4画素列の一例)
50a 端部(光電変換装置の一端の一例)
50b 端部(光電変換装置の他端の一例)
51 信号線
100 画像読取装置
200 画像形成装置
300 カメラシステム(撮像システムの一例)
PD フォトダイオード
PDR フォトダイオード(第1光電変換素子の一例)
PDG フォトダイオード(第2光電変換素子の一例)
PDB フォトダイオード(第3光電変換素子の一例)
PDIR フォトダイオード(第4光電変換素子の一例)
PIX 画素回路
PIXR 画素回路(第1回路の一例)
PIXG 画素回路(第2回路の一例)
PIXB 画素回路(第3回路の一例)
PIXIR 画素回路(第4回路の一例)
FD フロートディフュージョン領域
RT リセットスイッチ
TX 転送スイッチ
SF 増幅器
Srt RT制御信号
Stx TX制御信号
Lrt,Ltx 信号線
3a,3b 信号処理回路
特開2019−041226号公報

Claims (16)

  1. 第1波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第1光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第1回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第1画素列と、
    第2波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第2光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第2回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第2画素列と、
    第3波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第3光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第3回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第3画素列と、
    第4波長領域の光を受光して信号電荷を生成する第4光電変換素子と、該信号電荷を電圧信号に変換する第4回路と、を含む画素が所定方向に複数配列された第4画素列と、を備え、
    前記第1画素列及び前記第2画素列における電圧信号の読出し方向は、前記第3画素列及び前記第4画素列における電圧信号の読出し方向とは異なっている
    光電変換装置。
  2. 前記第1画素列、前記第2画素列、前記第3画素列及び前記第4画素列は、前記所定方向と交差する方向に配列され、
    前記第1画素列及び前記第2画素列における電圧信号の読出し方向と、前記第3画素列及び前記第4画素列における電圧信号の読出し方向は、前記交差する方向に沿って反対方向である
    請求項1に記載の光電変換装置。
  3. 前記第1画素列は、前記所定方向と交差する方向において、前記第2画素列より前記光電変換装置の一端側に配置され、
    前記第1画素列の電圧信号を読み出す信号線は、前記交差する方向における前記第2画素列が配置された位置から前記一端まで延伸して設けられ、
    前記第4画素列は、前記交差する方向において、前記第3画素列より前記光電変換装置の他端側に配置され、
    前記第4画素列の電圧信号を読み出す信号線は、前記交差する方向における前記第3画素列が配置された位置から前記他端まで延伸して設けられている
    請求項1、又は2に記載の光電変換装置。
  4. 前記第1波長領域は赤色に対応する波長領域を少なくとも含み、
    前記第2波長領域は緑色に対応する波長領域を少なくとも含み、
    前記第3波長領域は青色に対応する波長領域を少なくとも含み、
    前記第4波長領域は近赤外に対応する波長領域を少なくとも含む
    請求項1乃至3の何れか1項に記載の光電変換装置。
  5. 前記第1回路の制御信号と、前記第2回路の制御信号と、前記第3回路の制御信号と、前記第4回路の制御信号は、相互に異なる信号である
    請求項1乃至4の何れか1項に記載の光電変換装置。
  6. 前記第1回路に制御信号を供給する信号線は、前記第1画素列の電圧信号を読出す側に接続され、
    前記第2回路に制御信号を供給する信号線は、前記第2画素列の電圧信号を読出す側に接続され、
    前記第3回路に制御信号を供給する信号線は、前記第3画素列の電圧信号を読出す側に接続され、
    前記第4回路に制御信号を供給する信号線は、前記第4画素列の電圧信号を読出す側に接続されている
    請求項1乃至5の何れか1項に記載の光電変換装置。
  7. 前記第1回路に制御信号を供給する信号線は、複数の前記第1回路に接続され、
    前記第2回路に制御信号を供給する信号線は、複数の前記第2回路に接続され、
    前記第3回路に制御信号を供給する信号線は、複数の前記第3回路に接続され、
    前記第4回路に制御信号を供給する信号線は、複数の前記第4回路に接続されている
    請求項1乃至6の何れか1項に記載の光電変換装置。
  8. 前記第1画素列の隣接画素間で、前記第1回路に制御信号を供給する信号線の本数と、
    前記第2画素列の隣接画素間で、前記第2回路に制御信号を供給する信号線の本数と、
    前記第3画素列の隣接画素間で、前記第3回路に制御信号を供給する信号線の本数と、
    前記第4画素列の隣接画素間で、前記第4回路に制御信号を供給する信号線の本数は、何れも等しい
    請求項1乃至7の何れか1項に記載の光電変換装置。
  9. 前記所定方向と交差する方向における前記光電変換装置の両側に信号処理回路が設けられている
    請求項1乃至8の何れか1項に記載の光電変換装置。
  10. 前記交差する方向における前記光電変換装置の両側に設けられた前記信号処理回路は、同じ構成の回路である
    請求項9記載の光電変換装置。
  11. 複数の前記第1回路のそれぞれは、制御信号に応答して異なるタイミングで動作し、
    複数の前記第2回路のそれぞれは、制御信号に応答して異なるタイミングで動作し、
    複数の前記第3回路のそれぞれは、制御信号に応答して異なるタイミングで動作し、
    複数の前記第4回路のそれぞれは、制御信号に応答して異なるタイミングで動作する
    請求項1乃至10の何れか1項に記載の光電変換装置。
  12. 前記第1光電変換素子に対する前記第1回路の配置方向と、
    前記第2光電変換素子に対する前記第2回路の配置方向と、
    前記第3光電変換素子に対する前記第3回路の配置方向と、
    前記第4光電変換素子に対する前記第4回路の配置方向は、何れも等しい
    請求項1乃至11の何れか1項に記載の光電変換装置。
  13. 前記第1画素列は、前記第2画素列と第1模擬画素列に隣接し、
    前記第2画素列は、前記第1画素列と前記第3画素列に隣接し、
    前記第3画素列は、前記第2画素列と前記第4画素列に隣接し、
    前記第4画素列は、前記第3画素列と第2模擬画素列に隣接している
    請求項1乃至12の何れか1項に記載の光電変換装置。
  14. 請求項1乃至13の何れか1項に記載の光電変換装置を備える
    画像読取装置。
  15. 請求項1乃至13の何れか1項に記載の光電変換装置を備える
    画像形成装置。
  16. 請求項1乃至13の何れか1項に記載の光電変換装置を備える
    撮像システム。
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