JP2021099503A - 下層膜形成用材料、レジスト下層膜、レジスト下層膜の製造方法および積層体 - Google Patents
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Abstract
Description
基板としては平坦な形状の基板だけでなく、より複雑な回路の形成を行うために予備的に大きな回路形状を形成した凹凸構造を有する基板を用い、寸法サイズが大きな回路形状をさらに加工して、微細な回路を形成するマルチパターンニング法が最先端の回路形成プロセスでは導入されている。
本発明者らの検討によれば、従来のレジスト下層膜形成用材料では、平坦性の要求を満足させつつ、揮発成分を発生しない材料を実現することは困難な傾向にあることが分かってきた。
本発明者らの検討によると、例えばこの中間層をスピンコート法等で形成する場合、溶媒の選択を誤ると、下層膜と中間層がインターミキシングを起こしてしまい、その結果、下層膜と中間層との界面強度が低下したり、下層膜の平滑性が失われたりする場合があることも分かってきた。
また、本件第一発明は、凹凸構造への埋め込み性に優れ、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を複雑な形状の基板上に形成できる下層膜形成用材料を提供するものである。
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマーを含み、
上記環状オレフィンポリマーにおける上記構造単位[A]と上記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
[2]
上記[1]に記載の下層膜形成用材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される上記環状オレフィンポリマーの固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。
[3]
上記[1]に記載の下層膜形成用材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される上記下層膜形成用材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。
[4]
上記[2]または[3]に記載の下層膜形成用材料において、
上記固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が80℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。
[5]
上記[1]乃至[4]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法1により測定される上記環状オレフィンポリマー中の揮発成分の発生量が、上記環状オレフィンポリマーの全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用材料。
(方法1:上記環状オレフィンポリマーをテトラヒドロフランに溶解して固形分濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して上記環状オレフィンポリマーを固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で上記環状オレフィンポリマーを加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、上記環状オレフィンポリマー中の上記揮発成分の発生量を算出する)
[6]
上記[1]乃至[5]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される上記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。
[7]
上記[1]乃至[6]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される上記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記環状オレフィンポリマーの上記屈折率(n値)とする)
[8]
上記[1]乃至[6]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される上記下層膜形成用材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:上記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記下層膜形成用材料の上記屈折率(n値)とする)
[9]
上記[1]乃至[8]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される上記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記環状オレフィンポリマーの上記消衰係数(k値)とする)
[10]
上記[1]乃至[8]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される上記下層膜形成用材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:上記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記下層膜形成用材料の上記消衰係数(k値)とする)
[11]
上記[1]乃至[10]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の上記凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。
[12]
上記[1]乃至[11]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
上記下層膜形成用材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、上記下層膜形成用材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用材料。
[13]
上記[1]乃至[12]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
上記下層膜形成用材料中の上記環状オレフィンポリマーの含有量が、上記下層膜形成用材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用材料。
[14]
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
環状オレフィンポリマーを含む膜の材料であり、
上記環状オレフィンポリマー自身は、有機溶媒に少なくとも0.01質量%以上50質量%以下のいずれかの濃度で溶解可能であり、
上記膜において、下記方法4により測定される、上記環状オレフィンポリマーの残膜率が50%以上100%以下を満たすことを特徴とする下層膜形成用材料。
(方法4:上記環状オレフィンポリマーからなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られた上記コート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、上記コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、上記残存溶媒を除去した上記コート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
[15]
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
環状オレフィンポリマーを含み、
下記方法4により測定される、上記下層膜形成用材料の残膜率が50%以上100%以下を満たす下層膜形成用材料。
(方法4:上記下層膜形成用材料からなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られた上記コート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、上記コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、上記残存溶媒を除去した上記コート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
[16]
上記[14]または[15]に記載の下層膜形成用材料において、
上記環状オレフィンポリマーは、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有し、
上記環状オレフィンポリマーにおける上記構造単位[A]と上記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
[17]
上記[14]乃至[16]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される上記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。
[18]
上記[14]乃至[17]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される上記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記環状オレフィンポリマーの上記屈折率(n値)とする)
[19]
上記[14]乃至[17]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される上記下層膜形成用材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:上記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記下層膜形成用材料の上記屈折率(n値)とする)
[20]
上記[14]乃至[19]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される上記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記環状オレフィンポリマーの上記消衰係数(k値)とする)
[21]
上記[14]乃至[19]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される上記下層膜形成用材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:上記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記下層膜形成用材料の上記消衰係数(k値)とする)
[22]
上記[14]乃至[21]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の上記凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。
[23]
上記[14]乃至[22]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
上記下層膜形成用材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、上記下層膜形成用材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用材料。
[24]
上記[14]乃至[23]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
上記下層膜形成用材料中の上記環状オレフィンポリマーの含有量が、上記下層膜形成用材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用材料。
[25]
上記[1]乃至[24]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜。
[26]
上記[1]乃至[24]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含む塗膜を基板上に形成する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。
[27]
上記[26]に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
上記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の形成方法。
[28]
基板と、
上記基板の一方の面に形成された、上記[1]乃至[24]のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。
[29]
上記[28]に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、上記表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする)
[30]
上記[28]または[29]に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上1000nm以下である積層体。(ここで、上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする)
[31]
上記[28]乃至[30]のいずれか一つに記載の積層体において、
上記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
上記凹凸構造上に上記レジスト下層膜が形成されており、
上記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
また、本件第一発明の下層膜形成用材料は凹凸構造への埋め込み性に優れるため、本発明によれば、凹凸構造への埋め込み性に優れ、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を複雑な形状の基板上に形成することができる。
また、本件第二発明によれば、中間層とレジスト下層膜がインターミキシングを起こさず、密着性に優れるとともに平坦性に優れた積層体を実現できる下層膜形成用材料を提供することができる。
以下、第一発明に係る実施形態について説明する。
本実施形態に係る下層膜形成用材料は、多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマーを含み、上記環状オレフィンポリマーにおける構造単位[A]と構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である。
後述の第二発明における環状オレフィンポリマーの場合も同様の範囲であることが好ましい。
本発明者らは、環状オレフィンポリマーの組成が上記範囲内であれば、ポリマー主鎖の酸素や硫黄等の元素の密度が好適な範囲になり、基板の凹凸構造を埋め込む際の基板界面との適度な密着性を発現でき、ボイド等の発生を抑制でき、高い平坦性を維持しながら良好な状態の埋め込み性を実現できると考えている。また、環状オレフィンポリマーの主鎖に酸素や硫黄等の元素が存在することによる基板との相互作用は、環状オレフィンポリマーが微細な凹凸構造に侵入するためのドライビングフォースとなっている可能性があるとも推測している。
すなわち、本実施形態に係る下層膜形成用材料は、凹凸構造を有する基板の凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜を形成するために特に好適に用いることができる。
これらの中でも、上記一般式(1)のR1〜R4としてはアルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アルコキシアルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基、γ−ブチロラクトン環、無水マレイン酸、マレイミド環が好ましい。
また、X1は、酸素および硫黄から選ばれる元素由来の構造を意味する。好ましくは酸素由来の構造である。前述の通り、このX1が上記の規定を満たす一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマーを含む本実施形態に係る下層膜形成用材料は、基板の凹凸構造を埋め込む際の基板界面との適度な密着性を発現でき、ボイド等の発生を抑制でき、高い平坦性を維持しながら良好な状態の埋め込み性を実現できると考えている。また、環状オレフィンポリマーの主鎖に酸素や硫黄等の元素が存在することによる基板との相互作用は、環状オレフィンポリマーが微細な凹凸構造に侵入するためのドライビングフォースとなっている可能性があるとも推測している。
ブチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2
.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=0である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソブトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−フェノキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル
−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン
)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が好ましい。
これらの中でも、塗布液を調製する際の溶剤(PGMEA)溶解性を向上させる観点、塗布後の環状オレフィンポリマーの極性をより大きく変化させる観点から、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=0である環状オレフィンポリマー−としては、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プ
ロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)がさらに好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、R1〜R4が互いに結合して環構造を形成している場合、n=0である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オン)、ポリ(4−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)が好ましい。
ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、ポリ(8−ジメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ジエチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エチルメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メチルブチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ブチルエチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(8−メチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ブチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルエチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルエチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1
〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エト
キシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマ
ンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=1である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソブトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペン
チルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−フェノキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオ
キシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が好ましい。
これらの中でも、塗布液を調製する際の溶剤(PGMEA)溶解性を向上させる観点、塗布後の環状オレフィンポリマーの極性をより大きく変化させる観点から、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=0である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロ
ペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキ
シルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)がさらに好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、R1〜R4が互いに結合して環構造を形成している場合、n=1である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4−オキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3−オン)、ポリ(4−オキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)が好ましい。
)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、(5−ジメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ジエチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メチルブチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルエチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルエチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフト
キシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビ
シクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=0である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(5−メトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソブトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−フェノキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシク
ロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−
オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が好ましい。
これらの中でも、塗布液を調製する際の溶剤(PGMEA)溶解性を向上させる観点、塗布後の環状オレフィンポリマーの極性をより大きく変化させる観点から、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=0である環状オレフィンポリマ−としては、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニ
ル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)がさらに好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、R5〜R8が互いに結合して環構造を形成している場合、n=0である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オン)、ポリ(4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)が好ましい。
−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、(5−ジメチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ジエチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−エチルメチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−メチルブチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルエチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルエチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、
4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ
(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=1である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(8−メトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソブトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、
ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−フェノキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−1
1,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5
.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が好ましい。
これらの中でも、塗布液を調製する際の溶剤(PGMEA)溶解性を向上させる観点、塗布後の環状オレフィンポリマーの極性をより大きく変化させる観点から、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=1である環状オレフィンポリマ−としては、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル
)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボ
ニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)がさらに好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、R5〜R8が互いに結合して環構造を形成している場合、n=1である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4,14,15−トリオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3−オン)、ポリ(4,14,15−トリオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)が好ましい。
この際の水素化反応における水添率は好ましくは0.1〜100モル%であり、より好ましくは1.0〜95モル%、さらに好ましくは5〜90モル%である。
また、不均一系金属担持触媒を利用して水素添加反応を実施した場合は、合成液をろ過して金属担持触媒をろ別した後に、上記した方法でポリマーを取得することもできる。好ましくは、半導体デバイス製造工程で使用される特に金属を含まないポリマー溶液を得るためには、触媒成分を粗取りした溶液をろ過し、上記した方法でポリマーを取得してもよい。特に、触媒成分を精密ろ過することが、好適であり、ろ過フィルターの目開きは、好ましくは、10μm〜0.05μm、特に好ましくは、10μm〜0.10μm、さらに好ましくは、5μm〜0.10μmである。
貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点の下限値は、さらにより好ましくは80℃以上であり、さらにより好ましくは90℃以上であり、特に好ましくは100℃以上である。また、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点の上限値は、好ましくは200℃以下であり、より好ましくは195℃以下であり、特に好ましくは190℃以下である。
ここで、本実施形態に係る環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の固体粘弾性は、レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃(あるいは50〜250℃)、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定することができる。
また、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点が上記下限値以上であると、本実施形態に係る環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の流動性を抑制でき、その結果、基板の凹凸表面での引けをより一層抑制でき、ボイド等の欠陥をより抑制しながら、基板の凹凸表面をより一層均一な状態で埋め込むことができる。
これにより、加熱溶融時のポリマーの分解に伴う揮発成分(アウトガス)の発生を抑制できるので、より一層平坦性に優れたレジスト下層膜を形成することができる。
すなわち、上層に設ける中間層やレジスト層に用いる材料とのインターミキシングを抑制でき、ボイド等の発生を抑制でき、より一層良好な状態の埋め込み性で、平坦性により一層優れたレジスト下層膜を形成することができる。
方法1:本実施形態に係る環状オレフィンポリマーをテトラヒドロフランに溶解して固形分濃度(あるいはポリマー濃度)が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して上記環状オレフィンポリマーを固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で上記環状オレフィンポリマーを加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少率から、上記環状オレフィンポリマー中の上記揮発成分の発生量を算出する。
方法4:本実施形態に係る環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料からなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られたコート膜を200℃で10分間処理する。次いで、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒および炭化水素系溶媒からなる群から選ばれる少なくとも1種類の有機溶媒(好ましくはプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA))に23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、残存溶媒を除去したコート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
アルコール系溶媒としては、例えば、4−メチル−2−ペンタノール、n−ヘキサノール等の炭素数1〜18の脂肪族モノアルコール系溶媒;シクロヘキサノール等の炭素数3〜18の脂環式モノアルコール系溶媒;1,2−プロピレングリコール等の炭素数2〜18の多価アルコール系溶媒;プロピレングリコールモノメチルエーテル等の炭素数3〜19の多価アルコール部分エーテル系溶媒等が挙げられる。
エーテル系溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のジアルキルエーテル系溶媒;テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等の環状エーテル系溶媒;ジフェニルエーテル、アニソール等の芳香環含有エーテル系溶媒等が挙げられる。
ケトン系溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチル−n−プロピルケトン、メチル−n−ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル−iso−ブチルケトン、2−ヘプタノン、エチル−n−ブチルケトン、メチル−n−ヘキシルケトン、ジ−iso−ブチルケトン、トリメチルノナノン等の鎖状ケトン系溶媒;シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン、シクロオクタノン、メチルシクロヘキサノン等の環状ケトン系溶媒;2,4−ペンタンジオン、アセトニルアセトン、アセトフェノン等が挙げられる。
アミド系溶媒としては、例えば、N,N'−ジメチルイミダゾリジノン、N−メチルピロリドン等の環状アミド系溶媒;N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルプロピオンアミド等の鎖状アミド系溶媒等が挙げられる。
エステル系溶媒としては、例えば、酢酸n−ブチル、乳酸エチル等のモノカルボン酸エステル系溶媒;酢酸プロピレングリコール等の多価アルコールカルボキシレート系溶媒;プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート等の多価アルコール部分アルキルエーテルアセテート等の多価アルコール部分エーテルカルボキシレート系溶媒;シュウ酸ジエチル等の多価カルボン酸ジエステル系溶媒;γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン系溶媒;ジエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート系溶媒等が挙げられる。
炭化水素系溶媒としては、例えば、炭素数5〜10の直鎖状または分岐鎖状炭化水素、炭素数5〜12の脂環式炭化水素、炭素数6〜18の芳香族炭化水素等が挙げられる。脂環式炭化水素および芳香族炭化水素の環上の水素原子の一部または全部は、炭素数1〜5の直鎖状または分岐鎖状アルキル基によって置換されていてもよい。
これらの中でも、プロセスへの適応性等を考慮するとアルコール系溶媒およびエステル系溶媒からなる群から選ばれる少なくとも1種類であることが好ましい。アルコール系溶媒としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノプロピルエーテル(PGPE)等が挙げられる。エステル系溶媒としては、例えばプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)が挙げられる。これらの溶媒は単独でも2種類以上混合して使用してもよい。
本実施形態に係る環状オレフィンポリマーの残膜率が上記下限値以上であると、レジスト下層膜上に中間層を形成する場合、インターミキシングを抑制することができ、その結果、中間層とレジスト下層膜との密着性に優れるとともに平坦性に優れた積層体を実現することができる。
ここで、有機溶媒として、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒および炭化水素系溶媒からなる群から選ばれる少なくとも1種類の有機溶媒のうち、いずれかの溶媒を用いた場合に、上記残膜率が上記範囲内になればよく、有機溶媒としてプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA))を用いたときに残膜率が上記範囲内になることが好ましい。
図2は、本発明に係る実施形態の積層体10におけるレジスト下層膜2の膜厚4、凹凸構造7の高さ5および凹凸構造7の凸凸間の間隔6を説明するための模式図である。図2に示すように、基板1に凹凸構造7がある場合は、凹部底面から表面(α)3までの高さがレジスト下層膜2の膜厚4となり、基板1に凹凸構造7がない場合は、基板1の表面から表面(α)3までの高さがレジスト下層膜2の膜厚4となる。
また、レジスト下層膜の疎密パターンにおける膜厚差の評価は、例えば、スピンコート法による塗膜形成で基板の凹凸表面を埋め、焼成後のサンプルの断面を切り出したサンプルのSEM観察による方法が用いられる。この場合、疎密パターンの切り替わり部とは、図3−2に示すように、基板上の凹凸構造のうち凸凸間幅(凹幅)=a、凸幅=bとしたとき、a+bで表されるパターンピッチ幅に対する凸凸間幅の割合[a/(a+b)]をαとし、同一基板上の凸凸間幅と凸幅の異なるパターン領域のそれぞれのαの値、α1およびα2を求める。そのα1とα2の差の絶対値が、0<|α1−α2|<1の範囲にある場合を疎密パターンの切り替わり部とする。疎密パターンの切り替わり部における膜厚差とは、上記αの値が異なる同一基板上のパターン領域において、それぞれのパターン領域で凹部底面から大気面までの膜厚を10点測定し、それぞれの平均値H1とH2、H1とH2の平均値H3を求め、2つのパターン領域の凹部底面から大気面までの平均膜厚の差の絶対値|H1−H2|をH3で除した値|H1−H2|/H3×100(%)を平坦度(ΔFT)の尺度とする。
図3−2において、a1/(a1+b1)=α1、a2/(a2+b2)=α2、H1とH2は上記のα1とα2の領域におけるそれぞれの凹部底面から大気面までの平均膜厚であり、|H1−H2|/H3×100(%)=ΔFTである。
この際の平坦度(ΔFT)は、好ましくは0〜5%、より好ましくは0〜3%、さらに好ましくは0〜1%である。これにより、中間層の有無に関わらずレジスト層の厚みをより一層均一にでき、リソグラフィーにおいて所望のパターンを再現性良く得ることができる。
下記方法2により測定される本実施形態に係る環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の波長193nmに対する屈折率(n値)および下記方法3により測定される本実施形態に係る環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の消衰係数(k値)は、好ましくはn値が1.5〜2.0、k値が0.0001〜0.5、より好ましくはn値が1.55〜1.95、k値が0.0001〜0.4、さらに好ましくはn値が1.6〜1.9、k値が0.0001〜0.3の範囲に制御されることで、下層膜からレジスト層への反射率を1%以下とすることができる。また、上記反射防止膜は平坦な形状であることが反射防止性能を発揮させる観点で好ましい。本実施形態であれば、上記下地膜表面を平坦な構造とすることができるので、反射防止膜を形成させるうえでも好ましい。
方法2:環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られたコート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の屈折率(n値)とする。
方法3:環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られたコート膜の消衰係数(k値)を環状オレフィンポリマーまたは下層膜形成用材料の消衰係数(k値)とする。
本実施形態に係る下層膜形成用材料は、例えば、本実施形態に係る環状オレフィンポリマーを有機溶媒に溶解または分散させ、必要に応じて、所望のパターンのサイズに応じた細孔のフィルターを通して異物を除去することにより、基板上に塗布するのに好適なワニス状の下層膜形成用材料とすることができる。
有機溶媒としては、例えば、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒、炭化水素系溶媒等が挙げられる。
多官能のエポキシ化合物としては、例えば、1,7−オクタジエンジエポキシド、リモネンジオキサイド、4−ビニルシクロヘキセンジオキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ジ(3,4−エポキシシクロヘキシル)アジペート、(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル)メチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、エチレン1,2−ジ(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボン酸)エステル、3',4'−エポキシシクロヘエキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ハロゲン化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、o−、m−、p−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、多価アルコールのポリグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートといった脂環式エポキシ樹脂あるいは水添ビスフェノールAのグリシジルエーテル等のエポキシ化合物等が挙げられる。
多官能のオキセタン化合物としては、例えば、ビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、1,2−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]エタン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]プロパン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]−2,2−ジメチル−プロパン、1,4−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ヘキサン、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,3−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,4−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、1,4−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}シクロヘキサン、4,4'−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビフェニル、4,4'−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビシクロヘキサン、2,3−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,6−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}シクロヘキサン、4,4'−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビフェニル、4,4'−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビシクロヘキサン、2,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,6−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン等が挙げられる。また、これらの架橋剤は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本実施形態に係るレジスト下層膜は、本実施形態に係る下層膜形成用材料を用いて形成することができる。
本実施形態に係るレジスト下層膜の製造方法は、本実施形態に係る下層膜形成用材料を含む塗膜を基板上に形成する工程(以下、「塗膜形成工程」ともいう)を含む。
また、必要に応じて、上記塗膜を加熱する工程(以下、「焼成工程」ともいう)をさらに含んでもよい。
また、本実施形態に係る下層膜形成用材料は複雑な形状の基板に対する埋め込み性に優れるため、本実施形態に係るレジスト下層膜の製造方法によれば、段差を有する基板や、複数種のトレンチを有する基板等の複雑な形状の基板上に、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を作製することができる。
以下、各工程について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
本工程では、本実施形態に係る下層膜形成用材料を用いて、基板上に本実施形態に係る下層膜形成用材料を含む塗膜を形成する。
上記基板としては、例えば、シリコンウェハー、アルミニウムウェハー、ニッケルウェハー等が挙げられる。上記基板の表面には凹凸構造が付与されていてもよい。上記凹凸構造は、例えば、シリカ(SiO2)膜、SiCN膜、シリカ(SiO2)にカーボン(C)をドープしたSiOC膜や、メチルシロキサン系有機膜(SOG)、数nm以下の微小な空孔が均一に分布したシリカ絶縁膜等の低誘電材料で被膜を形成した状態であってもよい。上記したように、本実施形態に係るレジスト下層膜の形成方法では、上記基板として、段差を有する基板や複数種のトレンチを有する基板等も好適に用いることができ、このような複雑な形状の基板を用いたとしても平坦性に優れるレジスト下層膜を形成することができる。
上記複数種のトレンチを有する基板としては、例えば、互いに異なるアスペクト比を有する基板も好適に用いることができる。上記アスペクト比は、種々の値が混在したものを用いることができ、例えば、基板のトレンチにおいて、アスペクト比における最大値と最小値の比としては、好ましくは1〜30、より好ましくは1〜25、さらに好ましくは1〜20である。
本工程においては、上記塗膜形成工程において形成した塗膜を加熱(焼成)する。この塗膜を焼成する方法としては、例えば、加熱する方法等が挙げられる。この加熱の温度は、好ましくは100℃〜400℃、より好ましくは150℃〜300℃、さらに好ましくは180℃〜250℃である。加熱時間は好ましくは5秒〜60分、より好ましくは10秒〜10分、さらに好ましくは30秒〜3分である。上記加熱における雰囲気としては、例えば、空気中;窒素ガス中、アルゴンガス中等の不活性ガス中;等が挙げられる。
焼成工程の加熱は、段階的に温度を上げる多段プロセスを用いてもよい。
形成されるレジスト下層膜の膜厚の平均値Havとしては、好ましくは5〜1000nm、より好ましくは5〜800nm、さらに好ましくは5〜600nm、さらにより好ましくは5〜500nm、さらにより好ましくは7〜450nm、さらにより好ましくは10〜400nmの範囲であり、レジスト下層膜の膜厚の平均値Havの下限値は好ましくは5nm以上、より好ましくは7nm以上、さらに好ましくは10nm以上であり、上限値は好ましくは1000nm以下、より好ましくは800nm以下、さらに好ましくは600nm以下、さらにより好ましくは500nm以下、さらにより好ましくは450nm以下、さらにより好ましくは400nm以下である。
本実施形態に係る積層体は、基板(a)と、基板(a)の一方の面に形成された本実施形態に係る下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜(b)と、を備える。
基板(a)とレジスト下層膜(b)とが接触する構造であることが好ましい。
ここで、レジスト下層膜(b)およびその製造方法は、前述した本実施形態に係るレジスト下層膜およびレジスト下層膜の製造方法と同様のため、ここでの説明は省略する。
基板(a)は、平坦な表面を持つ構造であってもよいが、その片面または両面に、好ましくは5〜500nm、より好ましくは7〜450nm、さらに好ましくは10〜400nmの範囲の高さを有する凹凸構造であることが好ましい。
ここで、上記高さは、図2に示す凹凸構造7の高さ5を意味し、例えば、凹凸構造7の高さ5を任意に10点測定し、それらの平均値を採用することができる。
また、上記凹凸構造における凸凸間の間隔は、好ましくは1nm以上10mm以下である。上記凹凸構造における凸凸間の間隔の下限値は3nm以上であることがより好ましく、5nm以上であることがさらに好ましく、10nm以上であることが特に好ましい。
ここで、上記凹凸構造における凸凸間の間隔は、図2に示す凹凸構造7における凸凸間の間隔6を意味し、凹凸構造7における凸凸間の間隔6を任意に10点測定し、それらの平均値を採用することができる。
また、上記凹凸構造における凸凸間の間隔の上限値は5mm以下であることがより好ましく、1mm以下あることがさらに好ましく、0.5mm以下であることが特に好ましい。
基板(a)が上記のような凹凸構造を有する場合にレジスト下層膜(b)の効果がより顕著に発現する傾向があるので好ましい。
基板(a)の厚さの上限値は5000μm以下であることがより好ましく、3000μm以下であることがさらに好ましく、1000μm以下であることが特に好ましい。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
ここで、表面(α)の任意の10カ所において、レジスト下層膜(b)の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、レジスト下層膜(b)の膜厚の最大値をHmaxとし、レジスト下層膜(b)の膜厚の最小値をHminとする。
これにより、中間層の有無に関わらずレジスト層の厚みをより一層均一にでき、リソグラフィーにおいて所望のパターンを再現性良く得ることができる。
本実施形態に係るパターン形成方法は、例えば、本実施形態に係るレジスト下層膜の上面側に、レジストパターンを形成する工程(以下、「レジストパターン形成工程」ともいう)と、上記レジストパターンをマスクとし、上記レジスト下層膜および基板を順次エッチングする工程(以下、「エッチング工程」ともいう)とを備える。
本実施形態に係るパターン形成方法によれば、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、中間層とのインターミキシングが抑制され、揮発分の発生量も抑制された本実施形態に係るレジスト下層膜を用いるので、良好なパターンを形成することができる。
本工程においては、上記レジスト下層膜の上面側にレジストパターンを形成する。上記レジスト下層膜の上面側に中間層を形成し、この中間層の上面側にレジストパターンを形成してもよい。
さらには、本実施形態の下層膜の上に形成する中間層は、反射防止層とハードマスク層の何れか、または両方を備えた構成であってもよく、層構成は、本実施形態の下層膜の直上には反射防止層を形成しても、ハードマスク層を形成してもよい。レジスト材料、加工基板等の材料の特性や、生産性を考慮して好適に選ばれる。
上記中間層は、有機化合物や無機酸化物により形成することができる。上記有機化合物としては、例えば、DUV−42、DUV−44、ARC−28、ARC−29(何れも、Brewer Science社製)や、AR−3、AR−19(何れも、ロームアンドハース社製)等が挙げられる。また、上記無機酸化物としては、例えば、NFC SOGシリーズ(JSR社製)、CVD法により形成されるポリシロキサン、酸化チタン、酸化アルミナ、酸化タングステン等を用いることができる。
また、中間層の膜厚は特に限定されず、中間層に求められる機能に応じて適宜選択されるが、好ましくは1nm〜5μm、より好ましくは5nm〜3μm、さらに好ましくは10nm〜0.3μmの範囲である。
上記レジスト下層膜または中間層の上面側にレジストパターンを形成する方法としては、例えば、フォトリソグラフィーを用いる方法等が挙げられる。この方法について、以下、具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
本工程では、レジスト組成物を用い、レジスト下層膜の上面側にレジスト膜を形成する。具体的には、得られるレジスト膜が所定の膜厚となるようにレジスト組成物を塗布した後、プリベークすることによって塗膜中の溶媒を揮発させ、レジスト膜が形成される。
また、プリベークの温度は、使用されるレジスト組成物の種類等に応じて適宜選択されるが、30℃〜200℃が好ましく、50℃〜150℃がより好ましい。
本工程では、上記レジスト膜形成工程で形成されたレジスト膜を露光する。この露光は、例えば、所定のマスクパターンおよび必要に応じて液浸液を介して行われる。
本工程では、上記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する。
上記現像に用いられる現像液としては、使用されるレジスト組成物の種類に応じて適宜選択される。アルカリ現像の場合、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、コリン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等のアルカリ性水溶液等が挙げられる。なお、上記中間層形成工程を行い中間層を形成しておくと、これらのアルカリ性水溶液のレジスト下層膜に対する影響を抑制することができる。
これらのアルカリ性水溶液には、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類等の水溶性有機溶媒や、界面活性剤を適量添加することもできる。
上記現像液を用いて現像した後、洗浄し、乾燥することによって、所定のレジストパターンが形成される。
本工程においては、上記レジストパターンをマスクとし、上記レジスト下層膜および基板を順次エッチングする。これにより、基板にパターンが形成される。なお、中間層を形成した場合は、さらに中間層もエッチングする。
本工程では、上記エッチング工程により基板にレジストパターンを転写・形成後に、不要となったレジスト下層膜を除去する。
除去方法は、ドライ法でもよいし、溶剤等を用いるウェット法でもよく、材料の物性やプロセス適応性を考慮して好適に選ばれ、ドライとウェットの方法を併用して用いても良い。
ドライ法の場合、上記エッチング工程で用いられるドライエッチング装置を使用することができる。従って、エッチング工程から下層膜材料の除去工程に移行する際、製造ラインを変更する必要性がなく、生産性の観点からドライ法が好ましく用いられる。
下層膜材料の除去工程においてドライエッチング装置を使用する際のガスソースとしては、被エッチング物の元素組成により好適に選ばれ、例えば、O2、CO、CO2等の酸素原子を含むガス;He、N2、Ar等の不活性ガス;Cl2、BCl3等の塩素系ガス;CHF3、CF4等のフッ素系ガス;H2、NH3のガス等を使用することができ、上述の基板表面を皮膜した低誘電材料や、基板材料に応じてより好適に選ばれる。これらのガスは2種類以上を混合して用いることもできる。
以下、第二発明に係る実施形態について説明する。
本実施形態に係る下層膜形成用材料は、多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、環状オレフィンポリマーを含み、下記方法4により測定される、前記下層膜形成用材料の残膜率が50%以上100%以下、好ましくは60%以上100%以下である。上記下層膜形成用材料の残膜率の下限値は70%以上がより好ましい。一方で、上記下層膜形成用材料の残膜率の上限値は99%以下がより好ましく、98%以下がさらに好ましい。残膜率が低すぎると上記した通り、中間層との混合などによる不具合が起こる場合がある。一方で、残膜率が100%を少々下回る場合は、中間層と下地膜を形成する重合体の適度な絡み合いが生じて、剥離強度を高められる場合がある。
方法4:本実施形態に係る下層膜形成用材料からなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られたコート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール―1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、残存溶媒を除去したコート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
方法4:本実施形態に係る環状オレフィンポリマーからなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られたコート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール―1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、残存溶媒を除去したコート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
上記の中で、剥離した膜を高温処理する条件としては、200℃で30分間処理することが更に好ましい。
この方法4による残膜率は、膜の溶媒に対する溶解性を示している。数値が大であるほど溶解し難い傾向がある。
本発明者らの検討によると、例えばこの中間層をスピンコート法等で形成する場合、溶媒の選択を誤ると、レジスト下層膜と中間層がインターミキシングを起こしてしまい、その結果、下層膜と中間層との界面強度が低下したり、下層膜の平滑性が失われたりする場合があることも分かってきた。
本発明者らは、上記知見をもとにさらに検討を重ねた。その結果、上記方法4で測定される、プロピレングリコール―1−モノメチルエーテル−2−アセテートに浸漬したときの残膜率が上記範囲内である下層膜形成用材料または環状オレフィンポリマーを用いることにより、レジスト下層膜が溶解したり、レジスト下層膜と中間層が必要以上に混合状態になったりしてしまうことを効果的に抑制できることを初めて見出した。
すなわち、上記方法4で測定される、本実施形態に係る下層膜形成用材料または環状オレフィンポリマーの残膜率が上記下限値以上であると、レジスト下層膜上に中間層を形成する場合、レジスト下層膜が溶解したり、レジスト下層膜と中間層が必要以上に混合状態になったりすることを抑制することができ、その結果、中間層とレジスト下層膜との密着性に優れるとともに平坦性に優れた積層体を実現することができる。
第二発明の環状オレフィンポリマーとしてより具体的には、ノルボルナン骨格やテトラシクロドデカン骨格を有する環状オレフィンポリマーを好ましい例として挙げることができる。また、上記の有機溶媒に含まれるようなヘテロ原子を有する置換基を含むことが好ましい。ヘテロ原子を含む置換基としては例えばアルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシアルキル基、アリールオキシアルキル基、アルコキシカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルアリールアミノカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アリールオキシカルボニルアルキル基、アルコキシアルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基等を好ましい例として挙げる事ができる。特に好ましい置換基としては上記のようなエステル基である。
第二発明に用いられる環状オレフィンポリマーとして、他の好ましい具体例としては、上記第一発明で開示された構造単位[A]と構造単位[B]とを有する環状オレフィンポリマーである。それら構造単位の比率などの好ましい諸条件は、第1発明で開示したそれら範囲と同様である。
本実施形態に係る下層膜形成用材料を用いて、膜を形成する方法としては、公知の方法を用いることができる。好ましい具体例としては、スピンコート法を挙げることができる。スピンコートに用いられるポリマー溶液を形成する溶媒は、上記のスピンコート用溶媒を例示することができる。特に好ましいのは上記のPGMEAの様なポリエーテルエステルやポリエーテル、ケトン、アルコール、エステル等を例示することができる。溶解度や成膜後の乾燥工程を考慮すると、環状構造を有する溶媒を含む態様が好ましい場合がある。具体的にはシクロアルカノンの様な環状ケトン化合物であり、好ましくはシクロヘキサノンが挙げられる。
本実施形態に係る下層膜形成用材料は、高温で所定の時間処理することが望ましい。具体的な温度条件としては、100〜400℃の範囲を例示できる。好ましい下限値は150℃以上、更に好ましくは180℃以上である。一方、好ましい上限値は300℃以下、より好ましくは250℃以下である。この理由として、本発明者らは以下の様に考察している。
本発明者らの検討によれば、本実施形態に係る極性基を有する環状オレフィンポリマーを用いて形成した膜は、加熱処理により、加熱した箇所全体が、比較的均一に極性の変化が起こることがある模様である。この極性の変化により、溶媒への溶解度が大きく変化する、即ち、上記の有機溶媒に溶け難くなるのではないかと考えている。これは本実施形態に係る環状オレフィンポリマーの極性基の変質によるものであろうと本発明者らは考えている。疑似架橋や架橋構造を取っている可能性も考えられる。その中でも、例えば、上記一般式(2)の構造を含む構成の場合、その効果が大きい、即ち好ましい態様である。以下、もう少し具体的に説明する。
本実施形態に係る環状オレフィンポリマーを含む膜の極性を変化させるためには一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を1種類以上含むことが重要な場合がある。一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]が加熱によりエーテル基、チオエーテル基の開裂を起こし、分子の極性を変化させることができる。
他の態様としては、R1〜R8のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基、好ましくは3級炭素が結合してエステル基を形成するアルコキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基、またはアルコキシアルキルオキシカルボニル基を1種類以上含むことで、加熱によりカルボキシル基が生成して、分子の極性をより大きく変化させることが期待できる。
本発明の態様は、この様な特徴を有しているので、前述の通り、架橋剤の含有率を低くしても十分に高い耐インターミキシング効果を発現させることが出来ると考えられる。
さらには、本実施形態の下層膜の上に形成する中間層は、反射防止層とハードマスク層の何れか、または両方を備えた構成であってもよく、層構成は、本実施形態の下層膜の直上には反射防止層を形成しても、ハードマスク層を形成してもよい。レジスト材料、加工基板等の材料の特性や、生産性を考慮して好適に選ばれる。
上記中間層は、有機化合物や無機酸化物により形成することができる。上記有機化合物としては、例えば、DUV−42、DUV−44、ARC−28、ARC−29(何れも、Brewer Science社製)や、AR−3、AR−19(何れも、ロームアンドハース社製)等が挙げられる。また、上記無機酸化物としては、例えば、NFC SOGシリーズ(JSR社製)、CVD法により形成されるポリシロキサン、酸化チタン、酸化アルミナ、酸化タングステン等を用いることができる。
塗布法を用いて中間層を形成する際に用いる溶媒としては、例えば、上記スピンコート液用の溶媒として例示したものが好ましく、それらの中でもPGMEA等のポリエーテルやポリエーテルエステル等を好ましい例として挙げられる。
また、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
なお、当然ながら、上述した本件各発明は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。
下記の条件でゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)を使用して、テトラヒドロフラン(THF)またはトリフルオロトルエン(TFT)に溶解したポリマーの重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)を測定し、ポリスチレンスタンダードによって分子量を較正して算出した。
ポリマー試料を重水素化クロロホルムに溶解し、270MHz、1H−NMRスペクトルのケミカルシフトδ=5.0〜7.0ppm範囲で二重結合炭素の水素に帰属するピークの積分値で測定した。
島津製作所社製DSC−50を用い、測定試料を窒素雰囲下で10℃/分の昇温速度で加熱し測定した。
濃度が20質量%のポリマーのTHF溶液を直径5mmのアルミ皿に30mg〜50mgの重量で計量し、窒素気流下で200℃で3分間焼成してTHFを除去した。次いで、室温まで冷却して重量(W0)を測定した。樹脂が固化した状態のサンプルを用いて、窒素雰囲気下で島津製作所社製TGA−60を用い、10℃/minの昇温速度で30〜300℃まで試料を加熱して、温度の上昇とともに重量を連続的に測定し、温度対重量のチャートを得た。このうち、100〜250℃の範囲での重量減少量(W1)をチャートから読み取り、下式により揮発成分の発生量を算出した。
揮発成分の発生量(質量%)=W1/W0×100
アントンパール社製MCR302(レオメータ)を使用して、窒素雰囲気下、ずりモードで測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定した。より具体的には、以下の方法により測定した。
はじめに、本実施形態の環状オレフィンポリマーの白色粉末粉(10mg)を、予め230℃に加熱した直径8mmの平行円盤の中心に置いた。次いで、円盤で挟み窒素雰囲気下で溶融させ、一度、30℃まで冷却した。その後、周波数1Hzのずりモードで上記の昇温速度によりサンプルを300℃まで加熱した。
得られた加熱温度と貯蔵弾性率(G')、および損失弾性率(G'')の関係をプロットしたグラフを作製し、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線との交点の温度を確認した。(図1参照)
環状オレフィンポリマーからなる厚さ(α)nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成した。次いで、得られたコート膜を、200℃で10分間、もしくは30分間処理した。室温へ冷却後、コート膜を20mm×10mmのサイズで切り出した。この膜を有機溶媒(プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)またはPGMEとPGMEAの質量比がPGME/PGMEA=7/3の混合溶媒)に23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、コート膜中の残存溶媒を除去した。次いで、残存溶媒を除去したコート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出した。
ここで、コート膜は以下の方法により作製した。
本実施形態の環状オレフィンポリマーを10質量%で有機溶媒(プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)と、シクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液)に溶解した溶液を調製し、得られた溶液2.5mLを4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下120℃で1分間乾燥し、次いで、80℃で5時間真空乾燥した。次いで、室温へ冷却後、サンプルを20mm×20mmのサイズで切り出し、コート膜とした。
基板A:基板表面に高さ200nm、凸部幅40〜150nm、凸凸間幅40〜150nmのライン&スペースパターンが形成された、サイズが3cm×3cmのシリコン製基板を使用した。
基板B:基板表面に高さ200nm、凸部幅40nm〜1000μm、凸凸間幅40nm〜1000μmのライン&スペースパターンが形成された、サイズが3cm×3cmのシリコン製基板を使用した。
焼成工程までを実施し、上記シリコン製基板の凹凸表面上にレジスト下層膜を形成したサンプルを割り、断面観察用の面出しを実施した。その後、日本分光社製走査型電子顕微鏡JSM−6701F(以下、SEMと表記する。)を使用して、凸凸間幅が40nmの基板A断面またはa1=900μm、b1=1000nm、a2=40nm、b2=1000nmの基板B断面を観察して埋め込み性を評価した。
上記の埋め込み性を評価した基板A断面のうち凸幅40nm、凸凸間幅120nmのエリアの凹部底面から大気面までの高さを10点計測し、平均値をHavとした。次いで、10点計測した高さのうち最大高さ(Hmax)と最小高さ(Hmin)のそれぞれの値から以下の式により、平坦性の指標を示す平坦度を算出した。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
また、上記の埋め込み性を評価した基板B断面のうち、a1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nmのエリアのそれぞれのパターン領域で凹部底面から大気面までの膜厚を10点測定し、それぞれの平均値H1(a1=900μm、b1=900μm)とH2(a2=40nm、b2=120nm)、H1とH2の平均値H3を求め、以下の式により、平坦性の指標を示す平坦度を算出した。
平坦度(ΔFT)=|H1−H2|/H3×100(%)
日本セミラボ株社製分光エリプソメーターGES5Eを使用して、温度:23〜25℃、湿度:50〜55%の環境で、シリコンウェハーに250nmの厚みでコートした20mm×20mmのサイズの測定サンプルを用いて任意の3点を測定した。測定結果から、193nmの屈折率(n値)と消衰係数(k値)を算出し3点の平均値からn値およびk値をそれぞれ求めた。
ここで、測定サンプルは以下の方法により作製した。
本実施形態の環状オレフィンポリマーを10質量%で溶解したPGMEA溶液を調製し、得られた溶液を4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。室温へ冷却後、サンプルを20mm×20mmのサイズで切り出し測定用のサンプルとした。
アルバック社製RIH1515Z 並行平板型プラズマ処理装置を用いた。まず、チャンバー内にサンプルを入れ、チャンバー内を1Pa以下に減圧し、次いで、チャンバー内にCHF3ガスを30sccmで導入し、チャンバ内の圧力を7Paに保持した後、13.56MHz高周波電力を印加してプラズマ放電を行い、プラズマエッチング処理した。プラズマエッチング処理は30秒間、60秒間および90秒間実施した。
日本セミラボ(株)社製分光エリプソメーターGES5Eを使用して、エッチング後の基板の表面の膜厚を3点測定し、平均値から膜厚を算出した。次いで、エッチング前後の膜厚から、エッチングによる膜厚の減少量を算出し、横軸に時間(sec)、縦軸に減少膜厚量(nm)をプロットした。得られたグラフの傾きから、エッチングレート(nm/sec)を算出した。
基板表面に高さ200nm、凸部幅100nm、凸凸間幅100nmのライン&スペースパターンが形成されたサイズが3cm×3cmのシリコン製基板上に、本実施形態に係るレジスト下層膜を形成した。
上記シリコン製基板の凹凸表面上にレジスト下層膜を形成したサンプルを割り、その内の片方のサンプル片をアッシング前の断面観察用としSEMにより観察を行った。
上記サンプル片のもう片方のサンプル片を使用してO2エッチングによるアッシング特性評価を以下の方法で実施した。
アッシング特性評価は、上記プラズマエッチング特性評価で使用したものと同じプラズマ処理装置を用いた。まず、チャンバー内にサンプルを入れ、チャンバー内を1Pa以下に減圧し、次いで、チャンバー内にO2ガスを30sccmで導入し、チャンバー内の圧力を7Paに保持した。その後、13.56MHz高周波電力を印加してプラズマ放電を行い、プラズマエッチング処理した。プラズマエッチング処理は60秒間実施した。
上記のプラズマエッチング処理後、アッシング後の断面観察をSEMにより行い、プラズマエッチング前後のSEM観察像を比較しアッシング特性を評価した。
温度:23〜25℃、湿度:50〜55%の環境で、30mm×30mmのサイズのシリコンウェハーに本実施形態の環状オレフィンポリマーを10質量%で溶解したPGMEA/シクロヘキサノン=5/5溶液を、1000rpm、10secの条件で、250nmの厚みでスピンコートし、窒素雰囲気下200℃で1分間焼成した。室温へ冷却後、チタンイソプロポキシドを10質量%で溶解したPGMEA溶液を1000rpm、10secの条件でスピンコートし、窒素雰囲気下200℃で1分間焼成して評価用のサンプルを作製し、断面をTEMで観察した。
窒素雰囲気下、磁気攪拌装置を備えた5Lのオートクレーブ内で、構造単位[A]を有するテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンを320g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを21g(0.25mol)をテトラヒドロフラン(以下、THFと記す)3.4kgに溶解し攪拌を行った。
これに開環メタセシス重合触媒としてMo(N−2,6−Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2を612mg(0.8mmol)加え、60℃で3時間反応させた。その後、n−ブチルアルデヒド173mg(2.4mmol)を加えて冷却して、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5700、Mw/Mn=1.61、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー1のガラス転移温度は151℃であった。
また、ポリマー1の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー1の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は173℃であった(図1参照)。
エリプソメーターで測定したポリマー1の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.08であった。
構造単位[A]を有するモノマーを8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液2.5kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6300、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー2のガラス転移温度は150℃であった。
また、ポリマー2の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー2の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は167℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー2の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.04であった。
構造単位[A]を有するモノマーを8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7200、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー3のガラス転移温度は130℃であった。
また、ポリマー3の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー3の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は151℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー3の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
構造単位[A]を有する8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン437g(2mol)、構造単位[B]を有する4−フェニル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン121g(0.5mol)、および1,5−ヘキサジエン21g(0.25mol)をTHF3.7kgに溶解し、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.2kgを得た。
次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=7800、Mw/Mn=1.57、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=80/20であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー4)を得た。
ポリマー4のガラス転移温度は172℃であった。
また、ポリマー4の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー4の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は190℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー4の屈折率(n値)は1.71であり、消衰係数(k値)は0.09であった。
構造単位[A]を有するモノマーをビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンに変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.7kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=2.84、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー5)を得た。
ポリマー5のガラス転移温度は72℃であった。
また、ポリマー5の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー5の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は84℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー5をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー5の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー5は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も315nmであり、平坦度(ΔFT1)は0.0%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)に変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5600、Mw/Mn=1.92、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー6)を得た。
ポリマー6のガラス転移温度は56℃であった。
また、ポリマー6の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー6の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は76℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー6をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー6の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
SEMにより基板Aの断面観察した結果、ポリマー6は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も311nmであり、平坦度(ΔFT1)は0.0%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)に変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7300、Mw/Mn=2.17、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー7)を得た。
ポリマー7のガラス転移温度は58℃であった。
また、ポリマー7の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー7の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は81℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー7をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー7の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー7は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も305nmであり、平坦度(ΔFT1)は0.0%であった。
実施例3と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=9600、Mw/Mn=2.07、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー8)を得た。
ポリマー8のガラス転移温度は91℃であった。
また、ポリマー8の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー8の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は112℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー8をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー8の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
SEMにより基板Aの断面観察した結果、ポリマー8は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したポリマー8の層の厚みは310nmであり、最大高さ(Hmax)は311nm、最小高さ(Hmin)は309nmであり、平坦度(ΔFT)は0.6%であった。
実施例5と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.7kgを得た。次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=10400、Mw/Mn=3.18、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー9)を得た。
ポリマー9のガラス転移温度は45℃であった。
また、ポリマー9の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー9の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は50℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー9をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー9の屈折率(n値)は1.64であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
SEMにより基板Aの断面観察した結果、ポリマー9は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も316nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
構造単位[A]を有するビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを75g(0.8mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを487g(3.2mol)に変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.8kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5900、Mw/Mn=2.32、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=20/80であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー10)を得た。
ポリマー10のガラス転移温度は68℃であった。
また、ポリマー10の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー10の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は82℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー10をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー10の屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー10は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も320nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
実施例5で得られたポリマー5を7質量%の濃度で溶解したPGMEAと、シクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、基板表面に高さ200nm、凸部幅40〜150nm、凸凸間幅40〜150nmのライン&スペースパターンを形成したシリコン基板A表面に塗布した。その後、窒素雰囲気下で200℃、3分間加熱した。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー5は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も208nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
実施例5で得られたポリマー5を20質量%の濃度で溶解したPGMEAと、シクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、600rpm、10secの条件で、基板表面に高さ200nm、凸部幅40〜150nm、凸凸間幅40〜150nmのライン&スペースパターンを形成したシリコン基板A表面に塗布した。その後、窒素雰囲気下で200℃、3分間加熱した。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー5は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も1622nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
実施例8で得られたポリマー8を10質量%と、架橋剤として3',4'−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(EEC)を0.3質量%の濃度で溶解したPGMEAと、シクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定した屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
上記の環状オレフィンポリマーが極性変化を起す温度は、G'とG''の交点の温度に比して十分に高いことが分かっているので、上記環状オレフィンポリマーと架橋剤とからなる下層膜形成用材料のG'とG''の交点の温度も同様の値であるとみなして構わない。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したポリマー8の層の厚みは313nmであり、最大高さ(Hmax)は313nm、最小高さ(Hmin)は312nmであり、平坦度(ΔFT)は0.3%であった。
実施例5で得られたポリマー5、実施例8で得られたポリマー8、実施例9で得られたポリマー9を実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Bの凹凸面にコ−トしたサンプルを作製した。
SEMにより基板Bの断面を観察した結果、ポリマー5、ポリマー8、ポリマー9はいずれもa1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、ポリマー5の凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したH1層の厚みは306nmであり、H2層の厚みは306nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
ポリマー8の凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したH1層の厚みは301nmであり、H2層の厚みは302nmであり、平坦度(ΔFT)は0.3%であった。
ポリマー9の凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したH1層の厚みは298nmであり、H2層の厚みは298nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
実施例1〜実施例10で合成したポリマー1〜ポリマー10をそれぞれ10質量%で溶解したPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう調製した溶液をシリコンウェハーに塗布し、200℃で3分間焼成した。次いで、それぞれのサンプルをCHF3ガス雰囲気下で30秒間、60秒間および90秒間ドライエッチングした。エッチング前後の膜厚から、エッチングによる膜厚の減少量を算出し、横軸に時間(sec)、縦軸に減少膜厚量(nm)をプロットした。得られたグラフの傾きから各サンプルのエッチングレート(nm/sec)を算出した。
ポリマー1が4.5であり、ポリマー2が5.0であり、ポリマー3が5.0であり、ポリマー4が5.5であり、ポリマー5が4.5であり、ポリマー6が5.0であり、ポリマー7が5.0であり、ポリマー8が5.0であり、ポリマー9が5.0であり、ポリマー9が4.5であり、いずれのポリマーもSiO2に対して高いエッチング耐性を示した。
実施例1、実施例2、実施例3および実施例4で合成したポリマー1、ポリマー2、ポリマー3およびポリマー4をそれぞれ10質量%で溶解したPGMEA/シクロヘキサノン=50/50となるよう調整した溶液を基板表面に高さ200nm、凸部幅100nm、凸凸間幅100nmのライン&スペースパターンを形成したシリコン基板表面に塗布し、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。次いで、それぞれのサンプルを割り、その内の片方を用いてアッシング前のSEM観察を行い、もう片方を用いてO2ガス雰囲気下で60秒間ドライエッチングしてアッシングした。次いで、アッシング後のSEM観察を行った。
アッシング前後のSEM観察像の比較から、ポリマー1、ポリマー2、ポリマー3およびポリマー4の何れにおいても基板上にポリマー残渣なくアッシング除去されていた。
比較としてSi上の置換基がプロポキシメタクリレートであるシロキサン樹脂を用いて、上記と同様な方法でアッシング特性評価を実施したところ、SEM観察で基板上にポリマー残渣が確認され、さらにエッチング時間を180秒まで伸ばしてもポリマー残渣なく除去することはできなかった。
固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が255℃であるノボラック樹脂KA1165(DIC社製)を10質量%で溶解したシクロヘキサノン溶液を調製し、実施例1と同様な方法でシリコン基板の凹凸表面にスピンコートし、200℃で3分間焼成した。
メチルメタクリレートを10質量%で溶解したシクロヘキサノン溶液に光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンをメチルメタクリレートに対して2質量%溶解した溶液を調製した。
次いで実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板Bの凹凸面に上記溶液をコートしたサンプルを作製した。
次いで、1000mJ/cm2の照射量でUV照射して塗布膜を硬化させた。
次いで、SEMにより断面観察した結果、a1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nm(高さ200nm)の溝に対して凸凸間の幅が900μmのエリアにボイドを生じ、凸凸間の幅が40nmのエリアにも同様なボイドを生じていた。また、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したH1層の厚みは250nmであり、H2層の厚みは264nmであり、平坦度(ΔFT)は11.2%であった。また大気面には歪みを生じていた。
窒素雰囲気下、磁気攪拌装置を備えた5Lのオートクレーブ内で、構造単位[A]を有するテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンを320g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを21g(0.25mol)テトラヒドロフラン(以下、THFと記す)3.4kgに溶解し攪拌を行った。
これに開環メタセシス重合触媒としてMo(N−2,6−Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2を612mg(0.8mmol)加え、60℃で3時間反応させた。その後、n−ブチルアルデヒド173mg(2.4mmol)を加えて冷却して、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5700、Mw/Mn=1.61、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー14のガラス転移温度は151℃であった。
次いで、得られたポリマー14を10質量%の濃度で溶解したプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(以下、PGMEAと表記する。)と、シクロヘキサノン(以下、CHとも呼ぶ。)の質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、基板表面に高さ200nm、凸部幅40〜150nm、凸凸間幅40〜150nmのライン&スペースパターンを形成したシリコン基板表面Aに塗布した。その後、窒素雰囲気下で200℃、3分間加熱した。
エリプソメーターで測定したポリマー14の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.08であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー14のPGMEAに対する残膜率は88%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー14のPGMEAに対する残膜率は96%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEAに浸漬させた場合の残膜率は9%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー14のPGMEに対する残膜率は99%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー14のPGMEに対する残膜率は99%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は2.4%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー14のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は94%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー14のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は98%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は3.7%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液2.5kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6300、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー15)を得た。
ポリマー15のガラス転移温度は150℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー15の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.04であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー15のPGMEAに対する残膜率は58%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー15のPGMEAに対する残膜率は92%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は0.3%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー15のPGMEに対する残膜率は60%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー15のPGMEに対する残膜率は94%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー15のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は60%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー15のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は93%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7200、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー16のガラス転移温度は130℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー16をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー16の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー16のPGMEAに対する残膜率は97%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー16のPGMEAに対する残膜率は98%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は0.3%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー16のPGMEに対する残膜率は81%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー16のPGMEに対する残膜率は95%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー16のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は88%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー16のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は96%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
実施例19と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=7800、Mw/Mn=1.57、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー17)を得た。
また、ポリマー17の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー17の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は112℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー17をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメ−タ−で測定したポリマー17の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー17のPGMEAに対する残膜率は75%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー17のPGMEAに対する残膜率は93%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は0.5%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は0.2%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー17のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は69%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー17のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は92%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
構造単位[A]を有するモノマーをビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンに変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.7kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=2.84、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー18)を得た。
ポリマー18のガラス転移温度は72℃であった。
また、ポリマー18の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー18の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は84℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー18の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
SEMにより基板Aの断面観察した結果、ポリマー18は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したポリマー18の層の厚みは262nmであり、最大高さ(Hmax)は262nm、最小高さ(Hmin)は262nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー18のPGMEAに対する残膜率は99%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー18のPGMEAに対する残膜率は99%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は30%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は1.8%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー18のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は71%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー18のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は99%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は9.4%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)に変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5600、Mw/Mn=1.92、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー19)を得た。
ポリマー19のガラス転移温度は56℃であった。
また、ポリマー19の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー19の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は76℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー19をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー19の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
得られたポリマー19を10質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、減圧下80℃で5時間乾燥した(中間段階)。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー19のPGMEAに対する残膜率は99%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー19のPGMEAに対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は3.0%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は2.2%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー19のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は76%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー19のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は95%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は2.5%であった。
構造単位[A]を有するモノマーを5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)に変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7300、Mw/Mn=2.17、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー20)を得た。
ポリマー20のガラス転移温度は58℃であった。
また、ポリマー20の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー20の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は81℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー20をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー20の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
得られたポリマー20を10質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、減圧下80℃で5時間乾燥した(中間段階)。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー20のPGMEAに対する残膜率は100%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー20のPGMEAに対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は10%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は10%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー20のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は98%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー20のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は10%であった。
実施例21と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.7kgを得た。次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=10400、Mw/Mn=3.18、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー21)を得た。
ポリマー21のガラス転移温度は45℃であった。
また、ポリマー21の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー21の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は50℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー21をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー21の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
得られたポリマー21を10質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、減圧下80℃で5時間乾燥した(中間段階)。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー21のPGMEAに対する残膜率は79%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー21のPGMEAに対する残膜率は97%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は0.8%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー21のPGMEに対する残膜率は74%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー21のPGMEに対する残膜率は93%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は6.2%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は6.0%であった。
構造単位[A]を有するビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを75g(0.8mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを487g(3.2mol)に変更した以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.8kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5900、Mw/Mn=2.32、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=20/80であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー22)を得た。
ポリマー22のガラス転移温度は68℃であった。
また、ポリマー22の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー22の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は82℃であった。
次いで、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にポリマー22をコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー22の屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
得られたポリマー22を10質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、減圧下80℃で5時間乾燥した(中間段階)。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー22のPGMEAに対する残膜率は99%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー20のPGMEAに対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は31%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は26%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー22のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は97%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー22のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は27%であった。
実施例20で得られたポリマー17を10質量%と、架橋剤として3',4'−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(EEC)を0.3質量%の濃度で溶解したPGMEAと、シクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、実施例17と同様な方法で、上記のシリコン基板Aの凹凸面にコートしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定した屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
上記の環状オレフィンポリマーが極性変化を起す温度は、G'とG''の交点の温度である112℃に比して十分に高いことが分かっているので、上記環状オレフィンポリマーと架橋剤とからなる下層膜形成用材料のG'とG''の交点の温度も同様の値であるとみなして構わない。
SEMにより基板Aの断面観察した結果、凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したポリマー8の層の厚みは313nmであり、最大高さ(Hmax)は313nm、最小高さ(Hmin)は312nmであり、平坦度(ΔFT)は0.3%であった。
次いで、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られた膜のPGMEAに対する残膜率は95%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られた膜のPGMEAに対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階の膜をそのままPGMEAに浸漬させた場合、残膜率は0.5%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGMEに浸漬させた場合の残膜率は0.2%であった。
また、窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られた膜のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は94%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られた膜のPGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は100%であった。
参考情報:上記中間段階での膜を200℃で処理せずにPGME/PGMEA(7/3)に浸漬させた場合の残膜率は0.3%であった。
ポリヒドロキシスチレン(以下、PHSと表記する。Polysciences,Inc. Mw=5300、Mw/Mn=1.48)を使用した以外は実施例17と同様にして10質量%で溶解したPGMEA溶液を調製し、4インチのシリコンウェハーにスピンコートし、200℃で10分間焼成した。
実施例17と同様にして残膜率を評価した結果、PGMEAに対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのPHSの残膜率は0.2%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたPHSの残膜率は0.4%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたPHSの残膜率は0.6%であり、何れの加熱時間においてもPGMEAに対して不溶化する様子は観察されなかった。
また、PGMEに対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのPHSは0.1%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたPHSは0.4%であった。窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたPHSは0.5%であり、何れの加熱時間においてもPGMEに対して不溶化する様子は観察されなかった。また、PGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのPHSは0.1%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたPHSは0.4%であった。窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたPHSは0.5%であり、何れの加熱時間においてもPGME/PGMEA(7/3)に対して不溶化する様子は観察されなかった。
構造単位[A]を有するモノマーを5,5,6−トリフルオロ−6−(トリフルオロメチル)−ビシクロ8−[2.2.1]ヘプト−2−エンに変更し、構造単位[B]を有するモノマーを使用しなかった以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。
次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率52.0%の5%Pdカーボン51.7g(乾燥質量24.8g)を加え、水素圧8.5MPa、130℃で20時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=9300、Mw/Mn=1.76であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー23)を得た。
実施例17と同様にして残膜率を評価した結果、PGMEAに対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのポリマー23の残膜率は0.3%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー23の残膜率は0.5%であった。また、窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー23の残膜率は0.8%であり、何れの加熱時間においてもPGMEAに対して不溶化する様子は観察されなかった。
また、PGMEに対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのポリマー23は25%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー23は27%であった。窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー23は28%であり、何れの加熱時間においてもPGMEに対して不溶化する様子は観察されなかった。また、PGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率は減圧下80℃で5時間乾燥しただけのポリマー23は33%であった。窒素雰囲気下で200℃、10分加熱して得られたポリマー23は35%であった。窒素雰囲気下で200℃、30分加熱して得られたポリマー23は35%であり、何れの加熱時間においてもPGME/PGMEA(7/3)に対して不溶化する様子は観察されなかった。
構造単位[A]を有するモノマーをテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更し、構造単位[B]を有するモノマーを使用しなかった以外は、実施例17と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.2kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=1.55であった。
次いで、実施例17と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー24)を得た。
減圧下80℃で5時間乾燥しただけのポリマー24の残膜率は、PGMEAに浸漬すると膨潤と思われる現象で白化したためエリプソメーターで測定できなかった。窒素雰囲気下で200℃、10分または30分加熱して得られたポリマー24の残膜率も同様に白化したためエリプソメーターで測定できなかった。PGME、PGME/PGMEA(7/3)に対する残膜率もPGMEAと同様に、浸漬すると膨潤と思われる現象で白化したためエリプソメーターで測定できなかった。
実施例21で得られたポリマー18を10質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、1000rpm、10secの条件で、30mm角のシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下で200℃、1分加熱した。室温に冷却後さらにチタンテトライソプロポキシドを10質量%の濃度で溶解したPGMEA溶液を1000rpm、10secの条件で、このウェハー上にスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下で200℃、1分加熱して、ポリマー18の層の上にTiO2を重ね塗りしたウェハーを得た。
TEMにより断面観察した結果、ポリマー18とTiO2の界面は明瞭かつ平坦であった。
ポリマー18を実施例22で得られたポリマー19に変更した以外は、実施例27と同様にしてポリマー19の層の上にTiO2を重ね塗りしたウェハーを得た。
TEMにより断面観察した結果、ポリマー19とTiO2の界面は明瞭かつ平坦であった。断面写真を図4に示す。
ポリマー18をポリヒドロキシスチレン(PHS)に変更した以外は、実施例27と同様にしてPHSの層の上にTiO2を重ね塗りしたウェハーを得た。
TEMにより断面観察した結果、PHSとTiO2の間に明瞭な界面は存在せず、チタンテトライソプロポキシドのPGMEA溶液をスピンコートした際にPHSが溶解して完全に混ざったと考えられる。
以上の結果から、本発明における材料をレジスト下層膜として使用した場合、凹凸があるウェハー表面を平坦にすることが可能であり、なおかつ中間層またはレジスト層をレジスト下層膜の上にスピンコートで形成する際に、まったくインターミキシングを起こさないことがわかる。
本件第二発明の下層膜形成用材料は、中間層とレジスト下層膜との密着性に優れるとともに平坦性に優れた積層体を実現できる。これにより、半導体デバイス製造工程において、高い集積度の半導体回路を得ることができる。
1.
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマーを含み、
前記環状オレフィンポリマーにおける前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
2.
1.に記載の下層膜形成用材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲50〜250℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される前記環状オレフィンポリマーの固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が80℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。
3.
1.または2.に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法1により測定される前記環状オレフィンポリマー中の揮発成分の発生量が、前記環状オレフィンポリマーの全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用材料。
(方法1:前記環状オレフィンポリマーをテトラヒドロフランに溶解してポリマー濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して前記環状オレフィンポリマーを固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で前記環状オレフィンポリマーを加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、前記環状オレフィンポリマー中の前記揮発成分の発生量を算出する)
4.
1.乃至3.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される前記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。
5.
1.乃至4.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される前記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記環状オレフィンポリマーの前記屈折率(n値)とする)
6.
1.乃至5.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される前記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記環状オレフィンポリマーの前記消衰係数(k値)とする)
7.
1.乃至6.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の前記凹凸構造上に形成され、かつ、前記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。
8.
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
環状オレフィンポリマーを含む膜の材料であり、
上記環状オレフィンポリマー自身は、有機溶媒に少なくとも0.01質量%以上50質量%以下の濃度で溶解可能であり、
前記膜において、下記方法4により測定される、上記環状オレフィンポリマーの残膜率が50%以上100%以下を満たすことを特徴とする下層膜形成用材料。
(方法4:上記環状オレフィンポリマーからなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られた上記コート膜を200℃で10分間処理する。次いで、有機溶媒(プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA))に23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、上記コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、上記残存溶媒を除去した上記コート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。
9.
8.に記載の下層膜形成用材料において、
上記環状オレフィンポリマーは、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有し、
上記環状オレフィンポリマーにおける上記構造単位[A]と上記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
10.
8.または9.に記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される上記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。
11.
8.乃至10.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される上記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記環状オレフィンポリマーの上記屈折率(n値)とする)
12.
8.乃至11.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される上記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:上記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記環状オレフィンポリマーの上記消衰係数(k値)とする)
13.
8.乃至12.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の上記凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。
14.
1.乃至13.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜。
15.
1.乃至13.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含む塗膜を基板上に形成する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。
16.
15.に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
上記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の形成方法。
17.
基板と、
上記基板の一方の面に形成された、1.乃至13.のいずれか一つに記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。
18.
17.に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、上記表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする)
19.
17.または18.に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上500nm以下である積層体。
(ここで、上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする)
20.
17.乃至19.のいずれか一つに記載の積層体において、
上記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
上記凹凸構造上に上記レジスト下層膜が形成されており、
上記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
Claims (31)
- 多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマーを含み、
前記環状オレフィンポリマーにおける前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
- 請求項1に記載の下層膜形成用材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される前記環状オレフィンポリマーの固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。 - 請求項1に記載の下層膜形成用材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される前記下層膜形成用材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用材料。 - 請求項2または3に記載の下層膜形成用材料において、
前記固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が80℃以上200℃以下である下層膜形成用材料 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法1により測定される前記環状オレフィンポリマー中の揮発成分の発生量が、前記環状オレフィンポリマーの全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用材料。
(方法1:前記環状オレフィンポリマーをテトラヒドロフランに溶解して固形分濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して前記環状オレフィンポリマーを固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で前記環状オレフィンポリマーを加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、前記環状オレフィンポリマー中の前記揮発成分の発生量を算出する) - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される前記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される前記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記環状オレフィンポリマーの前記屈折率(n値)とする) - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される前記下層膜形成用材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:前記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記下層膜形成用材料の前記屈折率(n値)とする) - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される前記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記環状オレフィンポリマーの前記消衰係数(k値)とする) - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される前記下層膜形成用材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:前記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記下層膜形成用材料の前記消衰係数(k値)とする) - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の前記凹凸構造上に形成され、かつ、前記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。 - 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
前記下層膜形成用材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、前記下層膜形成用材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用材料。 - 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
前記下層膜形成用材料中の前記環状オレフィンポリマーの含有量が、前記下層膜形成用材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用材料。 - 多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
環状オレフィンポリマーを含む膜の材料であり、
前記環状オレフィンポリマー自身は、有機溶媒に少なくとも0.01質量%以上50質量%以下のいずれかの濃度で溶解可能であり、
前記膜において、下記方法4により測定される、前記環状オレフィンポリマーの残膜率が50%以上100%以下を満たすことを特徴とする下層膜形成用材料。
(方法4:前記環状オレフィンポリマーからなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られた前記コート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール―1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、前記コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、前記残存溶媒を除去した前記コート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。 - 多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、
環状オレフィンポリマーを含み、
下記方法4により測定される、前記下層膜形成用材料の残膜率が50%以上100%以下を満たす下層膜形成用材料。
(方法4:前記下層膜形成用材料からなる厚さ(α)が200nm以上500nm以下のコート膜をシリコンウェハー上に形成する。次いで、得られた前記コート膜を200℃で10分間処理する。次いで、プロピレングリコール―1−モノメチルエーテル−2−アセテートに23℃で10分間浸漬し、次いで、150℃で3分間の条件で乾燥し、前記コート膜中の残存溶媒を除去する。次いで、前記残存溶媒を除去した前記コート膜の厚さ(β)を測定し、残膜率(=β/α×100)(%)を算出する。 - 請求項14または15に記載の下層膜形成用材料において、
前記環状オレフィンポリマーは、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有し、
前記環状オレフィンポリマーにおける前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用材料。
- 請求項14乃至16のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される前記環状オレフィンポリマーのポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用材料。 - 請求項14乃至17のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される前記環状オレフィンポリマーの波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記環状オレフィンポリマーの前記屈折率(n値)とする) - 請求項14乃至17のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法2により測定される前記下層膜形成用材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用材料。
(方法2:前記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記下層膜形成用材料の前記屈折率(n値)とする) - 請求項14乃至19のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される前記環状オレフィンポリマーの消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:前記環状オレフィンポリマーからなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記環状オレフィンポリマーの前記消衰係数(k値)とする) - 請求項14乃至19のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
下記方法3により測定される前記下層膜形成用材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用材料。
(方法3:前記下層膜形成用材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記下層膜形成用材料の前記消衰係数(k値)とする) - 請求項14乃至21のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
凹凸構造を有する基板の前記凹凸構造上に形成され、かつ、前記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用材料。 - 請求項14乃至22のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
前記下層膜形成用材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、前記下層膜形成用材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用材料。 - 請求項14乃至23のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料において、
前記下層膜形成用材料中の前記環状オレフィンポリマーの含有量が、前記下層膜形成用材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用材料。 - 請求項1乃至24のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜。
- 請求項1乃至24のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料を含む塗膜を基板上に形成
する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。 - 請求項26に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
前記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の形成方法。 - 基板と、
前記基板の一方の面に形成された、請求項1乃至24のいずれか一項に記載の下層膜形成用材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。 - 請求項28に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、前記表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする) - 請求項28または29に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上1000nm以下である積層体。(ここで、前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする) - 請求項28乃至30のいずれか一項に記載の積層体において、
前記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
前記凹凸構造上に前記レジスト下層膜が形成されており、
前記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
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