TWI808085B - 下層膜形成用材料、光阻下層膜、光阻下層膜之製造方法及積層體 - Google Patents

下層膜形成用材料、光阻下層膜、光阻下層膜之製造方法及積層體 Download PDF

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Abstract

本發明之下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下。
Figure 107118750-A0101-11-0001-215

Description

下層膜形成用材料、光阻下層膜、光阻下層膜之製造方法及積層體
本發明係關於下層膜形成用材料、光阻下層膜、光阻下層膜之製造方法及積層體。
於半導體裝置之製造中，為了獲得高集成度而使用多層光阻製程。此製程中，一般首先於基板上使用下層膜形成用材料形成光阻下層膜，接著於光阻下層膜之上面側形成光阻層，經過燒成、曝光而形成光阻圖案。接著，藉由蝕刻將上述光阻圖案轉印至光阻下層膜，將光阻下層膜圖案轉印至基板而可獲得所需圖案。
作為基板不僅使用平坦形狀之基板，為了進行更複雜之電路形成而使用預備性地形成了較大電路形狀之具有凹凸構造的基板，對尺寸大小較大之電路形狀進一步加工，而形成細微電路之多重圖案化法已導入至最前端的電路形成製程中。
對於此種多層光阻製程中所使用之光阻下層膜，係要求對具有凹凸構造之基板的凹凸部的埋填性、塗佈光阻側之表面之平坦性、適度之折射率或消光係數等光學特性、良好之蝕刻耐性等特性。
近年來，為了更加提高集成度而圖案之細微化更加進 展。為了對應此細微化，已針對下層膜形成用材料所使用之化合物等之構造或官能基等進行了各種檢討(例如參照專利文獻1)。
另一方面，在用於獲得高集成度之圖案形成的細微化時，在使用目前主流之ArF準分子雷射的微影步驟中，來自半導體基板之漫反射或駐波的影響成為較大問題。為了解決此問題，作為對下層膜所要求之機能之一部分，已廣泛檢討賦予反射防止機能之材料。作為對下層膜賦予該反射防止機能的形態，已檢討有例如藉由某種材料埋填基板表面之凹凸構造，在具有平坦性的層上設置反射防止膜(BARC：Bottom Anti-Reflective Coating)的形態；或對埋填基板表面之凹凸構造的材料本身賦予反射防止機能的形態等。
尤其針對前者之反射防止膜之形成材料，由於其使用容易度等，而對由具有吸光部位之聚合物等所構成的有機反射防止膜進行了多數檢討。例如，專利文獻2中揭示一種光阻下層膜(反射防止膜)，係不發生與形成於上層之光阻膜間的互混，在使用ArF準分子雷射進行曝光時，獲得所需之光學常數(折射率、消光係數)，且獲得相對於光阻膜為較大之乾蝕刻速度的選擇比。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2004-177668號公報
專利文獻2：國際專利公開第2009/008446號
最近，使用具有複數種之溝、尤其是具有彼此相異深 寬比之溝的基板、亦即具有更細微之凹凸構造的基板，藉由多層光阻法所進行之多重圖案化形成細微圖案的情況增加。此時，形成於最上層之光阻層係為了正確地轉印光罩(reticle)上之圖案而要求高度平坦性。在近年來之圖案細微化的趨勢中，為了避免光阻顯影步驟中之圖案倒塌而使光阻層之膜厚薄膜化，光阻層更加強烈地受到下層膜之平坦性的影響。從而，對於上述之在一般樹脂難以侵入之表面構造之基板上所形成的光阻下層膜，係要求充分埋填此等溝且具有高平坦性。進而，於塗佈後之烘烤步驟中，認為較佳係不發生揮發成分(釋氣)的材料。
根據本發明人等之檢討，習知之光阻下層膜形成用材料係有難以在滿足平坦性之要求下，同時實現不發生揮發成分之材料的傾向。
另一方面，在採用了更進一步之細微加工技術的EUV(極端紫外線之簡稱，波長13.5nm)曝光的微影時，雖然不發生來自基板之反射，但尤其除了習知之埋填性之外，尚有形成EUV光之高能量射線曝光用光阻下層膜之材料之揮發成分(釋氣)發生成為較大問題的可能性。
又，在依曝光之光之波長以下的線寬描繪電路圖的情況，已知有形成複數凹凸層並予以組合的方法。在實現此種態樣時，可例示以上述凹凸層之平滑化為目的而於下層膜上形成中間層，進而於其上形成新的光阻層的方法。
根據本發明人等的檢討，亦已知例如在藉由旋塗法等形成此中間層時，若選擇錯誤的溶劑，則下層膜與中間層發生互混，其結果，有下層膜與中間層之界面強度降低、喪失下層膜之平滑性的情形。
本案第一發明係有鑑於上述情況而完成者，係提供一種下層膜形成用材料，其可實現滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份之發生量亦受抑制的光阻下層膜。
又，本案第一發明係提供一種下層膜形成用材料，其可於複雜形狀之基板上形成對凹凸構造之埋填性優越、滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份之發生量亦受抑制的光阻下層膜。
又，本案第二發明係有鑑於上述情況而完成者，係提供一種下層膜形成用材料，其可實現不發生中間層與光阻下層膜間之互混而密黏性優越且平坦性優越的積層體。
根據本發明，提供以下所示之下層膜形成用材料、光阻下層膜、光阻下層膜之製造方法及積層體。
[1]一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；[化1]
Figure 107118750-A0101-12-0005-209
(上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；)
Figure 107118750-A0101-12-0005-210
(上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20 之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
[2]如[1]之下層膜形成用材料，其中，使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件所測定的上述環狀烯烴聚合物的固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為40℃以上且200℃以下。
[3]如[1]之下層膜形成用材料，其中，使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件所測定的上述下層膜形成用材料的固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為40℃以上且200℃以下。
[4]如[2]或[3]之下層膜形成用材料，其中，上述固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為80℃以上且200℃以下。
[5]如[1]至[4]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法1所測定之上述環狀烯烴聚合物中之揮發成分的發生量，在將上述環狀烯烴聚合物之全體設為100質量%時，為0.0質量%以上且1.0質量%以下；(方法1：將上述環狀烯烴聚合物溶解於四氫呋喃，製作固形份 濃度為20質量%的溶液，於鋁盤計量所得溶液，接著，於氮氣流下，依200℃加熱3分鐘去除四氫呋喃，接著，冷卻至室溫，將上述環狀烯烴聚合物固化，於氮環境下，依30~300℃之溫度範圍、10℃/min之升溫速度對上述環狀烯烴聚合物進行加熱，由100~250℃之範圍之重量減少量算出上述環狀烯烴聚合物中之上述揮發成分之發生量)。
[6]如[1]至[5]中任一項之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
[7]如[1]至[6]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
[8]如[1]至[6]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述下層膜形成用材料於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述下層膜形成用材料之上述折射率(n值))。
[9]如[1]至[8]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下； (方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
[10]如[1]至[8]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述下層膜形成用材料的消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述下層膜形成用材料之上述消光係數(k值))。
[11]如[1]至[10]中任一項之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜，該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
[12]如[1]至[11]中任一項之下層膜形成用材料，其中，在將上述下層膜形成用材料所含之聚合物成分之總含量設為100質量份時，上述下層膜形成用材料中之交聯劑的含量為未滿5質量份。
[13]如[1]至[12]中任一項之下層膜形成用材料，其中，上述下層膜形成用材料中之上述環狀烯烴聚合物的含量，在將上述下層膜形成用材料之全體設為100質量%時，為50質量%以上且100質量%以下。
[14]一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其特徵在於，其為含有環狀烯烴聚合物之膜的材料；上述環狀烯烴聚合物本身可依至少0.01質量%以上且50質量 %以下之任一濃度溶解於有機溶劑；上述膜中，藉下述方法4所測定之上述環狀烯烴聚合物的殘膜率滿足50%以上且100%以下；(方法4：在矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜；接著，對所得上述塗膜依200℃進行處理10分鐘；接著，於23℃下浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除上述塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了上述殘存溶劑之上述塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%))。
[15]一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有環狀烯烴聚合物；藉下述方法4所測定之上述下層膜形成用材料的殘膜率滿足50%以上且100%以下；(方法4：在矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜；接著，對所得上述塗膜依200℃進行處理10分鐘；接著，於23℃下浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除上述塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了上述殘存溶劑之上述塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%))。
[16]如[14]或[15]之下層膜形成用材料，其中，上述環狀烯烴聚合物係具有下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B] 的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；
Figure 107118750-A0101-12-0010-211
(上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；)
Figure 107118750-A0101-12-0010-212
(上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
[17]如[14]至[16]中任一項之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
[18]如[14]至[17]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
[19]如[14]至[17]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述下層膜形成用材料於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述下層膜形成用材料之上述折射率(n值))。
[20]如[14]至[19]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
[21]如[14]至[19]中任一項之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述下層膜形成用材料的消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述下層膜形成用材料之上述消光係數(k值))。
[22]如[14]至[21]中任一項之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜，該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
[23]如[14]至[22]中任一項之下層膜形成用材料，其中，在將上述下層膜形成用材料所含之聚合物成分之總含量設為100質量份時，上述下層膜形成用材料中之交聯劑的含量為未滿5質量份。
[24]如[14]至[23]中任一項之下層膜形成用材料，其中，上述下層膜形成用材料中之上述環狀烯烴聚合物的含量，在將上述下層膜形成用材料之全體設為100質量%時，為50質量%以上且100質量%以下。
[25]一種光阻下層膜，係含有上述[1]至[24]中任一項之下層膜形成 用材料。
[26]一種光阻下層膜之製造方法，係包括：將含有上述[1]至[24]中任一項之下層膜形成用材料的塗膜形成於基板上的步驟。
[27]如[26]之光阻下層膜之製造方法，其係進一步包括對上述塗膜進行加熱之步驟的光阻下層膜之形成方法。
[28]一種積層體，係具備：基板；與形成於上述基板之一面、且含有上述[1]至[24]中任一項之下層膜形成用材料的光阻下層膜。
[29]如[28]之積層體，其中，上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)中，藉下式所算出的平坦度(△FT)為0%以上且5%以下；平坦度(△FT)=[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%)(其中，於上述表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值作為Hav，以上述光阻下層膜之膜厚之最大值作為Hmax，以上述光阻下層膜之膜厚之最小值作為Hmin)。
[30]如[28]或[29]之積層體，其中，上述光阻下層膜之膜厚之平均值Hav為5nm以上且1000nm以下(其中，於上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值作為Hav)。
[31]如[28]至[30]中任一項之積層體，其中，上述基板係於至少一表面具有凹凸構造；於上述凹凸構造上形成上述光阻下層膜；上述凹凸構造係高度為5nm以上且500nm以下，凸凸間之間 隔為1nm以上且10mm以下。
根據本案第一發明，可提供能實現滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份之發生量亦受抑制之光阻下層膜的下層膜形成用材料。
又，本案第一發明之下層膜形成用材料由於對凹凸構造之埋填性優越，故根據本發明，可於複雜形狀之基板上形成對凹凸構造之埋填性優越、滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份之發生量亦受抑制的光阻下層膜。
又，根據本案第二發明，可提供能實現中間層與光阻下層膜不發生互混、密黏性優越且平坦性優越之積層體的下層膜形成用材料。
1‧‧‧基板
2‧‧‧光阻下層膜
3‧‧‧表面
4‧‧‧膜厚
5‧‧‧凹凸構造之高度
6‧‧‧凸凸間之間隔
7‧‧‧凹凸構造
8‧‧‧凸部寬
10‧‧‧積層體
上述目的及其他目的、特徵及優點，將根據以下所述適宜之實施形態、及其隨附之以下圖式進一步闡明。
圖1為表示實施例1記載之聚合物1之固體黏彈性測定中貯藏彈性模數(G’)曲線、損失彈性模數(G”)曲線、及該等之交點的圖。
圖2(a)及(b)為用於說明本發明實施形態之積層體中光阻下層膜之厚度、凹凸構造之高度及凹凸構造之凸凸間之間隔的模式圖。
圖3(3-1)及(3-2)為用於說明本發明實施形態之凸凸間之間隔或凸部高度、凸部寬不均之凹凸構造的概略圖。
圖4為實施例28記載之重疊塗佈了聚合物19與TiO2之晶圓之剖面TEM照片。
以下說明本發明之實施形態。又，在未特別限制之下，數值範圍「A~B」係表示A以上且B以下。
[第一發明]
以下說明第一發明之實施形態。
<下層膜形成用材料>
本實施形態之下層膜形成用材料係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]的環狀烯烴聚合物，上述環狀烯烴聚合物中之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下。
本實施形態中所謂下層膜形成用材料，係指在半導體裝置之製造步驟中，用於形成配置在光阻層與基板(較佳為具有凹凸構造之基板)間之層的材料。配置於光阻層與基板間之層，通常以在光微影製程中轉印光罩圖案之由光阻材料所構成之光阻層為基準，而稱為光阻下層膜。上述基板之與光阻下層膜相接的表面，亦可為藉由二氧化矽(SiO2)膜、SiCN膜、於二氧化矽(SiO2)中摻雜了碳(C)之SiOC膜、或甲基矽氧烷系有機膜(SOG)、使數nm以下之微小空孔均勻分佈之二氧化矽絕緣膜等之低介電材料形成覆膜的狀態。
本實施形態之下層膜形成用材料係藉由含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元 [B]之環狀烯烴聚合物，而可形成滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、因加熱所造成揮發份之發生量亦受抑制的光阻下層膜。亦即，本實施形態之下層膜形成用材料可適合使用於形成光阻下層膜。
本實施形態之下層膜形成用材料中，具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物的含量，係在將下層膜形成用材料之全體設為100質量%時，較佳為50質量%以上且100質量%以下、更佳為70質量%以上且100質量%以下、再更佳為80質量%以上且100質量%以下、特佳為90質量%以上且100質量%以下。
後述第二發明中之環狀烯烴聚合物之情況較佳亦為相同範圍。
上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下、較佳為7/93以上且93/7以下、更佳為10/90以上且90/10以下、再更佳為15/85以上且85/15以下的範圍。
本案發明人等認為，若環狀烯烴聚合物之組成為上述範圍內，則聚合物主鏈之氧或硫等元素的密度成為適當範圍，在埋填基板之凹凸構造時可表現與基板界面間之適度密黏性，可抑制空隙等發生，可於維持高平坦性之下實現良好狀態的埋填性。又，亦推測藉由於環狀烯烴聚合物之主鏈中存在氧或硫等元素而造成的與基板間之相互作用，有成為用於使環狀烯烴聚合物侵入至細微之凹凸構造中之驅動力的可能性。
亦即，本實施形態之下層膜形成用材料可特別適合使用於用於形成：在具有凹凸構造之基板之凹凸構造上所形成、且用於埋填上 述凹凸構造之凹部的下層膜。
在上述[A]/[B]為上述範圍之上下限之範圍外時，有例如在對凹凸基板之塗佈、烘烤後之冷卻過程中不表現與基板界面間之密黏性，材料收縮而發生空隙等不良狀況的情形。
本實施形態中，一般式(1)所示重複構造單元[A]及一般式(2)所示重複構造單元[B]係藉下式所表示。於此，下述一般式(1)及一般式(2)中，主鏈部分之虛線係意指構成雙鍵之一個共價鍵，或意指雙鍵被氫化而構成雙鍵之一個共價鍵消失的狀態。
Figure 107118750-A0101-12-0017-213
(上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20(較佳為碳數2~10)之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30(較佳為碳數3~20)之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30(較佳為碳數4~20)之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數)。
Figure 107118750-A0101-12-0018-214
(上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20(較佳為碳數2~10)之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30(較佳為碳數3~20)之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30(較佳為碳數4~20)之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
作為上述一般式(1)之R1~R4中之碳原子數1~10的烷基，可舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第三丁基、正戊基、環戊基、環己基、環辛基等。作為碳原子數6~20之芳基，可舉例如苯基、萘基、蒽基、鄰甲苯基、間甲苯基、對甲苯基、聯苯基、酚基等。作為碳原子數1~10之烷氧基，可舉例如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、 環戊氧基、環己氧基、環辛氧基等。作為碳原子數6~20之芳氧基，可舉例如苯氧基、萘氧基、蒽氧基、鄰甲苯氧基、間甲苯氧基、對甲苯氧基、4-氧基-1,1’-聯苯基、4-羥基苯氧基等。作為碳原子數2~10之烷氧基烷基，可舉例如甲氧基甲基、甲氧基乙基、乙氧基甲基、乙氧基乙基、正丙氧基甲基、異丙氧基甲基、正丁氧基甲基、異丁氧基甲基、第三丁氧基甲基、環戊氧基甲基、環己氧基甲基、環辛氧基甲基等。作為碳數7~20之芳氧基烷基，可舉例如苯氧基甲基、萘氧基甲基、蒽氧基甲基、鄰甲苯氧基甲基、間甲苯氧基甲基、對甲苯氧基甲基、4-氧基-1,1’-聯苯基甲基、4-羥基苯氧基甲基等。作為碳原子數2~20之烷氧基羰基，可舉例如甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、環戊氧基羰基、正己氧基羰基、環己氧基羰基、3-甲基丁氧基羰基、2-甲基戊氧基羰基、3-甲基戊氧基羰基、4-甲基戊氧基羰基、1-乙基環戊氧基羰基、1-甲基環己氧基羰基、降
Figure 107118750-A0101-12-0019-12
氧基羰基、金剛烷氧基羰基等。作為碳數3~10之二烷基胺基羰基，可舉例如二甲基胺基羰基、二乙基胺基羰基、乙基甲基胺基羰基、甲基丁基胺基羰基、丁基乙基胺基羰基、環己基甲基胺基羰基等。作為碳原子數7~20之芳氧基羰基，可舉例如苯氧基羰基、苄氧基羰基、4-甲基苯氧基羰基、3,4-二甲基苯氧基羰基、1-萘氧基羰基、2-萘氧基羰基、1-蒽氧基羰基等。作為碳數8~20之烷基芳基胺基羰基，可舉例如甲基苯基胺基羰基、乙基苯基胺基羰基、丁基苯基胺基羰基、環己基苯基胺基羰基等。作為碳數3~30之烷氧基羰基烷基，可舉例如甲氧基羰基甲基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基甲基、乙氧基羰基乙基、正丙氧基羰基甲基、異丙氧基羰基甲基、正丁氧 基羰基甲基、第三丁氧基羰基甲基、正戊氧基羰基甲基、環戊氧基羰基甲基、正己氧基羰基甲基、環己氧基羰基甲基、正辛氧基羰基甲基、環辛氧基羰基甲基、1-乙基環戊氧基羰基甲基、1-甲基環己氧基羰基甲基等。作為碳數8~30之烷氧基羰基芳基，可舉例如甲氧基羰基苯基、甲氧基羰基鄰甲苯基、甲氧基羰基間甲苯基、甲氧基羰基對甲苯基、甲氧基羰基二甲苯基、甲氧基羰基α-萘基、甲氧基羰基β-萘基、乙氧基羰基苯基、丙氧基羰基苯基、丁氧基羰基苯基、乙氧基羰基苯基、正丙氧基羰基苯基、異丙氧基羰基苯基、正丁氧基羰基苯基、第三丁氧基羰基苯基、正戊氧基羰基苯基、環戊氧基羰基苯基、正己氧基羰基苯基、環己氧基羰基苯基、正辛氧基羰基苯基、環辛氧基羰基苯基、1-乙基環戊氧基羰基苯基、1-甲基環己氧基羰基苯基、甲氧基羰基萘基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基萘基、正丙氧基羰基萘基、異丙氧基羰基萘基、正丁氧基羰基萘基、第三丁氧基羰基萘基、正戊氧基羰基萘基、環戊氧基羰基萘基、正己氧基羰基萘基、環己氧基羰基萘基、正辛氧基羰基萘基、環辛氧基羰基萘基、1-乙基環戊氧基羰基萘基、1-甲基環己氧基羰基萘基等。作為碳數8~20之芳氧基羰基烷基，可舉例如苯氧基羰基甲基、苄氧基羰基甲基、4-甲基苯氧基羰基甲基、3,4-二甲基苯氧基羰基甲基、1-萘氧基羰基甲基、2-萘氧基羰基甲基、1-蒽氧基羰基甲基等。作為碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基，可舉例如甲氧基甲基氧基羰基、乙氧基甲基氧基羰基、正丙氧基甲基氧基羰基、異丙氧基甲基氧基羰基、正丁氧基甲基氧基羰基、第三丁氧基甲基氧基羰基、環戊氧基甲基氧基羰基、環己氧基甲基氧基羰基、環辛氧基甲基氧基羰基、降
Figure 107118750-A0101-12-0020-13
氧基甲基氧基羰基、1-甲基環戊氧基甲基氧 基羰基、1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基、1-甲基環己氧基甲基氧基羰基、1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0021-14
氧基甲基氧基羰基、1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0021-15
氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基、四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基、四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基、1-金剛烷氧基甲基氧基羰基、2-金剛烷氧基甲基氧基羰基等。作為碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，可舉例如甲氧基羰基甲基氧基羰基、乙氧基羰基甲基氧基羰基、正丙氧基羰基甲基氧基羰基、異丙氧基羰基甲基氧基羰基、正丁氧基羰基甲基氧基羰基、第三丁氧基羰基甲基氧基羰基、環戊氧基羰基甲基氧基羰基、環己氧基羰基甲基氧基羰基、環辛氧基羰基甲基氧基羰基、降
Figure 107118750-A0101-12-0021-16
氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0021-18
氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0021-19
氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基、四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基、2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基等。
進而，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造，具體而言R1~R4中可為分別獨立，或至少2個鍵結，此時，亦可經由-C-、-O-、-NR9-鍵結。可舉例如環狀烷基構造、環狀酯構造、環狀酸酐構造、環狀醯胺構造、環狀醯亞胺構造等。
R1~R4中至少2個經由-C-鍵結而形成環狀烷基構造時，可舉例如環戊基、環己基等。在經由-O-鍵結形成環狀酯構造時，可舉例如γ-丁內酯、δ-戊內酯等。在環狀酸酐構造的情況，可 舉例如順丁烯二酸酐構造等。在經由-NR9-鍵結形成內醯胺環的情況，可舉例如γ-內醯胺、δ-內醯胺等。在形成此等內醯胺環或屬於環狀醯亞胺構造之順丁烯二醯亞胺環的情況，作為氮原子上之R9，可舉例如碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基等。作為碳數1~10之烷基，可舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第三丁基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、正戊基、1-甲基戊基、1-乙基丁基、2-甲基己基、2-乙基己基、4-甲基庚基、環戊基、環己基、環辛基等。作為碳數6~20之芳基，可舉例如苯基、萘基、蒽基、鄰甲苯基、間甲苯基、對甲苯基、聯苯基、酚等。
此等之中，作為上述一般式(1)之R1~R4，較佳為烷氧基羰基、芳氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、γ-丁內酯環、順丁烯二酸酐、順丁烯二醯亞胺環。
又，X1意指來自選自氧及硫之元素的構造。較佳係來自氧之構造。如上述，該X1係含有具滿足上述規定之一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物的本實施形態之下層膜形成用材料，被認為可在埋填基板凹凸構造時表現與基板界面間之適度密黏性，可抑制空隙等發生，可於維持高平坦性之下實現良好狀態之埋填性。又，亦推測藉由於環狀烯烴聚合物之主鏈中存在氧或硫等元素而造成的與基板間之相互作用，有成為用於使環狀烯烴聚合物侵入至細微之凹凸構造中之驅動力的可能性。
本實施形態之環狀烯烴聚合物，亦可含有一般式(1)所示重複構造單元[A]中之R1~R4之至少一者彼此相異的二種以上之構造單元。
本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物的例子，在R1~R4全部為氫的情況，為聚(雙環[2.2.1]庚-2-烯)，在R1~R4中至少一者為烷基的情況，可舉例如聚(5-甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為芳基的情況，可舉例如聚(5-苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(間甲苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-聯苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(間甲苯氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、 聚(5-(4-氧基-1,1’-聯苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯氧基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基烷基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丁氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧基烷基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(間甲苯氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧基-1,1’-聯苯基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯氧基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丁氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(正己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0025-20
基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0025-21
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚 -2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0026-22
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0026-23
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0026-24
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為二烷基胺基羰基的情況，可舉例如聚(5-二甲基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基甲基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)，在R1~R4中至少一者為芳氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷基芳基胺基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲基苯基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基苯基胺基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基 甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基芳基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰 基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧 基羰基烷基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0029-25
氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0029-26
氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0029-27
氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚 -2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0030-28
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0030-29
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0030-30
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙 環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0031-31
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0031-32
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0031-33
氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0031-34
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0031-35
氧基 羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0032-36
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0032-37
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基 羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0033-38
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0033-39
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基-八氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R1~R4彼此鍵結形成環構造的情況，作為環狀烷基構造，可舉例如聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氫-1,4-甲橋-萘)等，作為可形成內酯環之環狀酯構造，例如作為γ-丁內酯構造，可舉例如聚(4-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作為δ-戊內酯構造，可舉例如聚(4-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)等，作為環狀酸酐構造，可舉例如聚(4-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作為可形成內醯胺環之環狀醯胺構造，例如作為γ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，又作為δ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9- 十一烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)等，作為可形成順丁烯二醯亞胺環之環狀醯亞胺構造，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
此等之中，本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(5-甲氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丁氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0035-40
基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0035-41
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0035-42
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0035-43
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙 基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0036-44
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己 氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基氧基羰 基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0038-45
氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0038-46
氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0038-47
氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0038-48
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、 聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0039-49
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0039-50
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0039-51
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0039-52
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1] 庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0040-53
氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0040-54
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0040-55
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧 基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0041-203
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0041-56
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0041-57
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0041-58
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基-八氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)。
此等之中，由提升調製塗佈液時之溶劑(PGMEA)溶解性的觀點、使塗佈後之環狀烯烴聚合物之極性更大幅變化的觀點而言，本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物，更佳為聚(5-(第三丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3- 己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0042-59
基-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0042-60
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0042-61
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0042-62
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0042-63
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環 [2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-雙環 [2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0044-64
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0044-65
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0044-66
氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三 丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0045-67
氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0045-68
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2- 甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0046-69
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0046-70
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0046-71
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0046-73
氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基-八氫萘-2-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)。
進而本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，在R1~R4彼此鍵結形成環構造的情況，作為n=0之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(4-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁 基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=1之環狀烯烴聚合物的例子，在R1~R4全部為氫的情況，為聚(四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)，在R1~R4中至少一者為烷基的情況，可舉例如聚(8-甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為芳基的情況，可舉例如聚(8-苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-萘基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-聯苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基-四環[4.4,0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(正丙氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-萘氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-氧基-1,1’-聯苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯氧基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基烷基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基乙基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基乙基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基甲基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧基烷基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-萘氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽氧基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-氧基-1,1’-聯苯甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯氧基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0050-74
基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0051-75
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0051-76
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0051-77
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0051-78
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為二烷基胺基羰基的情況，可舉例如聚(8-二甲基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-二乙基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙基甲基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲基丁基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-丁基乙基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己基甲基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)，在R1~R4中至少一者為芳氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷基芳基胺基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲基苯基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙基苯基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-丁基苯基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己基苯基胺基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正辛氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-四 環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基芳基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四環[4.40.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為芳氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基羰基甲基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0055-79
氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0055-80
氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0055-81
氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1- 甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0056-82
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0056-83
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0056-84
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R1~R4中至少一者為烷氧基羰基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0057-85
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0057-86
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0058-87
氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0058-88
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0058-89
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰 基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0059-90
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0059-91
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0059-92
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0059-94
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3- 十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等。
在R1~R4彼此鍵結形成環構造的情況，作為環狀烷基構造，可舉例如聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氫-1,4：9,10-二甲橋-蒽)等，作為可形成內酯環之環狀酯構造，例如作為γ-丁內酯構造，可舉例如聚(4-氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)，作為δ-戊內酯構造，可舉例如聚(4-氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)等，作為環狀酸酐構造，可舉例如聚(4-氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)，作為可形成內醯胺環之環狀醯胺構造，例如作為γ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)，又作為δ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4- 吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)等，作為可形成順丁烯二醯亞胺環之環狀醯亞胺構造，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,131-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)等。
此等之中，本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=1之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(8-甲氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-四 環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0062-95
基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0063-96
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0063-97
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0063-98
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0063-99
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四 環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四 環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苯氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0065-100
氧基甲基氧基羰基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0066-101
氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0066-102
氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0066-103
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰 基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0067-104
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0067-105
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0067-106
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0067-107
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0068-108
氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0068-110
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0068-111
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛 烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0069-112
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0069-113
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0069-114
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0069-115
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)。
此等之中，由提升調製塗佈液時之溶劑(PGMEA)溶解性的觀點、使塗佈後之環狀烯烴聚合物之極性更大幅變化的觀點而言，本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物，更佳為聚(8-(第三丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0070-116
基-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0071-117
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0071-118
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0071-119
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0071-120
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基 -2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3- 十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0073-121
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0073-122
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0073-123
氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0074-124
氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0074-125
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰 基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0075-126
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0075-127
氧基羰基)-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0076-128
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0076-129
氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)。
再者，本實施形態之上述一般式(1)所示重複構造單元[A]中，在R1~R4彼此鍵結形成環構造的情況，作為n=1之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(4-氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)。
上述一般式(2)中R5~R8係與上述一般式(1)之R1~R4同義，又，R5~R8亦可形成環構造，具體而言R5~R8中可為分別獨 立，或至少2個鍵結，此時，亦可經由-C-、-O-、-NR9-鍵結。可舉例如環狀烷基構造、環狀酯構造、環狀酸酐構造、環狀醯胺構造、環狀醯亞胺構造等。
本實施形態之環狀烯烴聚合物，亦可含有一般式(2)所示重複構造單元[B]中R5~R8中至少一者彼此相異的二種以上之構造單元。
本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物的例子，在R5~R8中至少一者為烷基的情況，可舉例如聚(5-甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為芳基的情況，可舉例如聚(5-苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(間甲苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-聯苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(正丁氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(間甲苯氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧基-1,1’-聯苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯氧基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基烷基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丁氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基烷基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(鄰甲苯氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚 (5-(間甲苯氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(對甲苯氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧基-1,1’-聯苯基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羥基苯氧基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1] 庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0080-130
基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0080-131
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0080-132
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0080-133
氧羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0080-134
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰 基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為二烷基胺基羰基的情況，可舉例如聚(5-二甲基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基甲基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)，在R5~R8中至少一者為芳氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷基芳基胺基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲基苯基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己基苯基胺基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(正戊氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基芳基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基 羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基- 雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(5-苯氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0084-135
氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0084-136
氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0084-137
氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、 聚(5-(1-乙氧基丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0085-138
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0085-139
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0085-140
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環 [2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0086-141
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0086-142
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰 基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0087-143
氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0087-144
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0087-145
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-7- 氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0088-146
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0088-147
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0088-148
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0088-149
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基-八氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R5~R8彼此鍵結形成環構造的情況，作為環狀烷基構造，可舉例如聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氫-1,4-環氧基-萘)等，作為可 形成內酯環之環狀酯構造，例如作為γ-丁內酯構造，可舉例如聚(4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作為δ-戊內酯構造，可舉例如聚(4,10-二氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十二烯-3-酮)等，作為環狀酸酐構造，可舉例如聚(4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作為可形成內醯胺環之環狀醯胺構造，例如作為γ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，又作為δ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-10-氧基-三環[6.2.1.02,7]-9-十一烯-3-酮)等，作為可形成順丁烯二醯亞胺環之環狀醯亞胺構造，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8- 癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
此等之中，本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物，較佳係聚(5-甲氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丁氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-7- 氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0091-150
基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0091-151
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0091-152
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0091-154
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基 -7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0092-155
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基- 雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(異丙氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧基- 雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-異丙氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0094-156
氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0094-157
氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0094-158
氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環 [2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0095-159
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0095-160
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0095-161
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚 (5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0096-163
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0096-165
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環己氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降
Figure 107118750-A0101-12-0096-166
氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0096-167
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0096-168
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫 呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0097-169
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0097-170
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0097-171
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1] 庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0098-172
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)。
此等之中，由提升調製塗佈液時之溶劑(PGMEA)溶解性的觀點、使塗佈後之環狀烯烴聚合物之極性更大幅變化的觀點而言，本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=0之環狀烯烴聚合物，更佳為聚(5-(第三丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0098-173
基-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環辛氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0099-174
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0099-175
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0099-176
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0099-177
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2- 烯)、聚(5-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基苯基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基羰基萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-7-氧基-雙環[2.2.1] 庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0101-178
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0101-179
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0101-180
氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基- 雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0102-181
氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0102-182
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環 [2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0103-183
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0103-184
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0103-185
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0103-186
氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙 環[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧基-雙環[2.2.1]庚-2-烯)。
進而本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，在R5~R8彼此鍵結形成環構造的情況，作為n=0之環狀烯烴聚合物，較佳係聚(4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=1之環狀烯烴聚合物的例子，在R5~R8中至少一者為烷基的情況，可舉例如聚(8-甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊基)-11,12-二氧基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為芳基的情況，可舉例如聚(8-苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-萘基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-聯苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-萘氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽氧基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-氧基-1,1’-聯苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯氧基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基烷基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基乙基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基乙基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(環戊氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基烷基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-萘氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-蒽氧基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(鄰甲苯氧基甲基)-11,12- 二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(間甲苯氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(對甲苯氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-氧基-1,1’-聯苯甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-羥基苯氧基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-11,12-二氧 基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0108-187
基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚 (8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0109-188
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0109-189
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0109-190
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0109-191
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為二烷基胺基的情況，可舉例如聚(5-二甲基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-二乙基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-乙基甲基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-甲基丁基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-丁基乙基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-環己基甲基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)，在R5~R8中 至少一者為芳氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷基芳基胺基羰基的情況，可舉例如聚(5-甲基苯基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-乙基苯基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-丁基苯基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(5-環己基苯基胺基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正辛氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基芳基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧 基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為芳氧基羰基烷基的情況，可舉例如聚(8-苯氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲 基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0114-192
氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0114-193
氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0114-194
氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3- 十二烯)、聚(8-(四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0115-195
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0115-196
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0116-197
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等，在R5~R8中至少一者為烷氧基羰基烷基氧基羰基的情況，可舉例如聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環 [4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0117-198
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0117-199
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0117-200
氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0117-201
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0118-202
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基 氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0119-35
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0119-38
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0119-36
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0119-37
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-11,12-二氧基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)等。
在R5~R8彼此鍵結形成環構造的情況，作為環狀烷基構造，可舉例如聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氫-1,4：9,10-二環氧基-萘)等，作為可形成內酯環之環狀酯構造，例如作為γ-丁內酯構造，可舉例如聚(4,14,15-三氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十 五烯-3-酮)，作為δ-戊內酯構造，可舉例如聚(4,15,16-三氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)等，作為環狀酸酐構造，可舉例如聚(4,14,15-三氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)，作為可形成內醯胺環之環狀醯胺構造，例如作為γ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)，又作為δ-內醯胺，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-環戊基-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-環己基-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-苯 基-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-15,16-二氧基-五環[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六烯-3-酮)等，作為可形成順丁烯二醯亞胺環之環狀醯亞胺構造，可舉例如聚(4-甲基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)等。
此等之中，本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=1之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丁氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2- 戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0122-39
基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚 (8-(1-甲基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0123-42
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0123-43
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0123-41
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0123-40
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基-四環 [6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(異丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環 己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-異丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0126-44
氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0127-45
氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0127-46
氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(四氫吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-11,12- 二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0128-47
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0128-48
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0128-49
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基 氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0129-51
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0129-53
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環戊氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環己氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-環辛氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-降
Figure 107118750-A0101-12-0129-50
氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基甲基氧基羰 基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0130-54
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0130-55
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-四氫吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙 基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)-1-環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0131-57
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0131-58
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0131-59
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0131-60
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)。
此等之中，由提升調製塗佈液時之溶劑(PGMEA)溶解性的觀點、使塗佈後之環狀烯烴聚合物之極性更大幅變化的觀點而言，本 實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，作為n=1之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(8-(第三丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0132-61
基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、 聚(8-(1-甲基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環辛氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基十氫萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0133-62
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0133-63
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0133-64
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0133-65
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-甲基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-乙基-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-甲基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰 基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(2-環己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環戊氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-甲基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-(1-乙基環己氧基羰基)苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(正戊氧基羰基萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘 基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(2-環己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環戊氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-乙基環己氧基羰基)萘基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-異丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-第三丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二 烯)、聚(8-(1-(1-環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-環辛氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-降
Figure 107118750-A0101-12-0136-66
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環戊氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,50]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基環己氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基降
Figure 107118750-A0101-12-0136-67
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙基降
Figure 107118750-A0101-12-0136-68
氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(四氫吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-金剛烷氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(第三丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十 二烯)、聚(8-(2-環戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-環己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-環己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-環己基-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0137-69
氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-降
Figure 107118750-A0101-12-0137-70
基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(4-乙基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1,1-二環己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-甲基環己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-乙基環己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰 基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金剛烷氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-乙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-異丙基-2-金剛烷氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(2-(1-金剛烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-金剛烷基)-3-戊氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-第三丁氧基羰基-1-環戊基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(3-(1-甲基環己基氧基羰基)-1-環戊基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-第三丁氧基羰基-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0138-71
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5-(1-甲基環己基氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0138-72
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,5-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0138-74
氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(5,6-二(第三丁氧基羰基)-2-降
Figure 107118750-A0101-12-0138-73
氧 基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(1-(1-甲基環己基氧基羰基)-八氫-4,7-甲橋-茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(6-第三丁氧基羰基-十氫萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-第三丁氧基羰基-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)、聚(8-(9-(1-甲基環己氧基羰基)-四環[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯)。
再者，本實施形態之上述一般式(2)所示重複構造單元[B]中，在R5~R8彼此鍵結形成環構造的情況，作為n=1之環狀烯烴聚合物，較佳為聚(4,14,15-三氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3-酮)、聚(4,14,15-三氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環戊基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-環己基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羥基苯基)-4-吖-14,15-二氧基-五環[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五烯-3,5-二酮)。
本實施形態之環狀烯烴聚合物，可藉由例如使以下所示下述一般式(3)所示環狀烯烴單體與下述一般式(4)所示環狀烯烴單體依開環移位聚合進行聚合而獲得。
Figure 107118750-A0101-12-0140-12
上述一般式(3)中，R1~R4及n係與上述一般式(1)同義。
本實施形態之環狀烯烴單體，亦可含有一般式(3)所示構造單元中R1~R4之至少一者彼此相異的二種以上之構造單元。
Figure 107118750-A0101-12-0140-13
上述一般式(4)中，R5~R8、X1及n係與上述一般式(2)同義。
本實施形態之環狀烯烴單體，亦可含有一般式(4)所示構造單元中R5~R8中至少一者彼此相異的二種以上之構造單元。
本實施形態之環狀烯烴聚合物進行聚合時所使用之觸媒，若為可使上述環狀烯烴單體進行開環移位聚合之觸媒則並無特別限定，可舉例如鉬(Mo)、鎢(W)、釕(Ru)等的有機過渡金屬亞烷基錯合物觸媒，或由有機過渡金屬錯合物、與作為輔助觸媒之路易斯酸的組合所得之開環移位觸媒等；較佳係使用鉬(Mo)、鎢(W)、釕(Ru)等的有機過渡金屬亞烷基錯合物觸媒。
本實施形態中，尤其可使含有雜原子之高極性之環狀烯烴單體進行共聚合。例如，在將鉬(Mo)、鎢(W)、釕(Ru)等的有機過渡金屬亞烷基錯合物觸媒使用於開環移位聚合觸媒時，可使高極性之環狀烯烴單體效率佳地進行共聚合。
作為上述有機過渡金屬亞烷基錯合物之開環移位聚合觸媒，可舉例如W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示異丙基，But表示第三丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基)等的鎢系亞烷基觸媒；W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(O But)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(O But)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(O But)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2) (OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OPh)2(PMe3)(式中的Pri表示異丙基，But表示第三丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基)等的鎢系亞烷基觸媒；Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(O But)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示異丙基，But表示第三丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基)等的鉬系亞烷基觸媒；Ru(P(C6H11)3)2(CHPh)Cl2(式中的Ph表示苯基)等的釕系亞烷基觸媒等。上述開環移位聚合觸媒可單獨使用、或併用2種以上而使用。
作為將本實施形態之環狀烯烴聚合物進行聚合時之聚合觸媒金屬成分，可舉例如鉬、鎢、錸、銥、鉭、釕、釩、鈦、鈀、銠等的過渡金屬。較佳為鉬、鎢、釕、銠，更佳為鉬、鎢。
聚合反應中，環狀烯烴單體與有機過渡金屬亞烷基錯合物的開環移位聚合觸媒的莫耳比，係相對於開環移位聚合觸媒1莫耳，環狀烯烴單體為例如10當量~50000當量、較佳為50當量~30000當量、更佳為100當量~20000當量。
聚合反應可依無溶劑進行、亦可使用溶劑進行。作為溶劑可舉例如四氫呋喃、二乙醚、二丁醚、二甲氧基乙烷或二
Figure 107118750-A0101-12-0143-75
烷等醚類；苯、甲苯、二甲苯或乙基苯等的芳香族烴；戊烷、己烷或庚烷等脂肪族烴，環戊烷、環己烷、甲基環己烷、二甲基環己烷、十氫萘等脂肪族環狀烴；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等的鹵化烴；乙酸甲酯、乙酸乙酯等酯等。此等溶劑可單獨使用1種或併用2種以上。
另外，聚合反應亦可於烯烴類或二烯類等鏈轉移劑共存下進行。作為鏈轉移劑所使用之烯烴類可舉例如乙烯、丙烯、丁烯、戊烯、己烯、辛烯等的α-烯烴，乙烯基三甲基矽烷、烯丙基三甲基矽烷、烯丙基三乙基矽烷、烯丙基三異丙基矽烷等含矽烯烴等。又，作為二烯可舉例如1,4-戊二烯、1,5-己二烯、1,6-庚二烯等非共軛系二烯。鏈轉移劑可分別單獨使用、亦可併用2種以上。
所共存之鏈轉移劑的使用量，係相對於環狀烯烴單體1莫耳，鏈轉移劑較佳為0.001當量~1000當量、更佳為0.01當量~100當量的範圍。又，相對於開環移位聚合觸媒1莫耳，鏈轉移劑較佳為0.1當量~2000當量、更佳為1當量~1000當量的範圍。藉由任意設定此等量比，可調整分子量大小。
聚合反應中之單體濃度係視環狀烯烴單體之反應性或對聚合溶劑之溶解性等而異，並無特別限定，通常相對於溶劑1 kg之環狀烯烴單體的濃度為例如0.001kg/kg~3kg/kg、較佳為0.01kg/kg~2kg/kg、更佳為0.02kg/kg~1kg/kg的範圍。反應溫度係視環狀烯烴單體及開環移位觸媒之種類或量等而異，故無特別限定，例如為-30℃~150℃、較佳為0℃~120℃、更佳為15℃~100℃。反應時間例如為1分鐘~10小時、較佳為5分鐘~8小時、更佳為10分鐘~6小時。
聚合反應後，可藉由丁醛等醛類、丙酮等酮類、甲醇等醇類等停止反應，獲得環狀烯烴聚合物溶液。此時，環狀烯烴單體之聚合率係由減少所得環狀烯烴聚合物中之未聚合單體量、更加抑制揮發成分(釋氣)發生的觀點而言，較佳為90%以上、更佳為95%以上、再更佳為100%。
再者，由所得環狀烯烴聚合物之溶液取得聚合物的方法並無特別限定，可舉例如藉由對攪拌下之貧溶劑排出反應溶液的方法、於反應溶液中吹入蒸氣之蒸氣汽提等方法使聚合物析出的方法，或由反應溶液藉由對溶劑進行加熱等而蒸發去除的方法等。
又，本實施形態之一般式(1)及(2)所示環狀烯烴聚合物亦可為將主鏈之雙鍵經加氫(亦稱為氫化)的形態。藉此，解開因主鏈之雙鍵限制聚合物鏈之運動的束縛，例如使聚合物之玻璃轉移溫度降低，將後述藉由流變儀進行測定時之貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度調整為適當範圍，可表現更加良好之加熱熔融流動性。其結果，更加抑制空隙等缺陷，平坦性更加優越，可形成表現了更良好狀態之埋填性的下層膜。
此時之氫化反應中之加氫率較佳為0.1~100莫耳%、更佳為1.0~95莫耳%、再更佳為5~90莫耳%。
用於對藉開環移位聚合所得聚合物之主鏈之雙鍵部進行加氫的觸媒，若為可進行加氫之觸媒，則可為均勻系金屬錯合物觸媒或不均勻系金屬載持觸媒之任一種。其中，較佳係可容易分離觸媒之不均勻系金屬載持觸媒較為適宜，可舉例如活性碳載持鈀、氧化鋁載持鈀、活性碳載持銠、氧化鋁載持銠、活性碳載持釕、氧化鋁載持釕等。此等觸媒可單獨使用、亦可組合2種以上使用。
作為加氫所使用之溶劑，若溶解聚合物、且溶劑本身未經加氫者則無特別限制，可舉例如四氫呋喃、二乙基醚、二丁基醚、二甲氧基乙烷、二
Figure 107118750-A0101-12-0145-76
烷等之醚類；苯、甲苯、二甲苯、乙基苯等之芳香族烴；戊烷、己烷、庚烷等之脂肪族烴；環戊烷、環己烷、甲基環己烷、二甲基環己烷、十氫萘等之脂肪族環狀烴；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等之鹵化烴；乙酸甲酯、乙酸乙酯等之酯等。此等溶劑可單獨使用1種，亦可併用2種以上。又，較佳係藉由使用與於上述聚合反應所選擇之溶劑同種的溶劑，則可應用不需要溶劑置換步驟而適於生產性之步驟。
上述主鏈之烯烴部之加氫反應，氫壓力較佳為常壓~10MPa、更佳為0.5~8MPa、特佳為2~5MPa。又，反應溫度較佳為0~200℃之溫度、更佳為室溫~150℃、特佳為50~100℃。加氫反應之實施樣式並無特別限制，可舉例如將觸媒分散或溶解於溶劑中而進行的方法；將觸媒填充於管柱等作成固定相並使聚合物溶液流通而進行的方法等。
再者，主鏈之烯烴部之加氫處理，係可使加氫處理前之聚合物之聚合溶液析出至貧溶劑而單離聚合物後，再次溶解於溶劑進行加氫處理，或亦可不由聚合溶液單離出聚合物而藉上述氫化 觸媒進行加氫處理，並無特別限制。
加氫後，尤其在較佳地使用活性碳載持銠、活性碳載持釕等不均勻系金屬載持觸媒時由聚合物溶液取得聚合物的方法，並無特別限制，可舉例如藉由過濾、離心分離、傾析等方法取得不含觸媒之聚合物溶液，對攪拌下之貧溶劑排出反應溶液的方法；藉由對反應溶液中吹入蒸氣之蒸氣汽提等方法，使聚合物析出的方法；或由反應溶液藉由對溶劑進行加熱等而予以蒸發去除的方法等。
又，在利用不均勻系金屬載持觸媒實施加氫反應的情況，係過濾合成液而濾取金屬載持觸媒後，亦可依上述方法取得聚合物。較佳係為了獲得半導體裝置製造步驟中所使用之尤其不含金屬之聚合物溶液，亦可將粗取了觸媒成分之溶液過濾，依上述方法取得聚合物。精密過濾觸媒成分係特別適合，過濾器之網目較佳為10μm~0.05μm、特佳為10μm~0.10μm、更佳為5μm~0.10μm。
本實施形態之環狀烯烴聚合物中，依例如試料濃度3.0~9.0mg/ml藉凝膠滲透層析法(GPC)所測定之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)，較佳為1000~20000、更佳為1500~19000、再更佳為2000~18000。藉由將重量平均分子量(Mw)設為上述範圍，在對基板之凹凸構造之表面塗佈了本實施形態之下層膜形成用材料後的烘烤步驟中，於通常半導體裝置製造步驟所適用之200~250℃的加熱下，可表現更良好之加熱熔融流動性。其結果，更加抑制空隙等缺陷，平坦性更加優越，可形成表現了更良好狀態之埋填性的下層膜。
又，設為上述範圍之分子量(Mw)時的重量平均分子 量(Mw)與數量平均分子量(Mn)之比的分子量分佈(Mw/Mn)，較佳為1.3~5.0、更佳為1.3~4.0、再更佳為1.3~3.0。藉由將分子量分佈(Mw/Mn)設為上述範圍，對於烘烤步驟中之加熱可更加抑制熔融不均，樹脂更均勻地熔融。其結果，更加抑制空隙等缺陷，平坦性更加優越，可形成表現了更良好狀態之埋填性的下層膜。
於此作為表示加熱所造成之熔融流動性的尺度，可使用例如本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之固體黏彈性測定中的表示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度(參照圖1)。
貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點，可使用作為表示物質(亦稱為樹脂)之流變性變化的尺度。通常，在到達交點為止之升溫過程中物質顯示作為彈性體的特性，樹脂不流動。然後，在經過交點並藉由進一步將物質加熱至高溫，則顯示作為黏性流體之特性而樹脂發生流動。所以，為了更加抑制空隙等缺陷、並依更加均勻之狀態埋填基板凹凸表面，較佳係顯示適度的流動性。亦即，本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料中，貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點若較佳為40~200℃、更佳為40~195℃、再更佳為40~190℃之範圍，則在半導體裝置製造步驟中通常使用之200~250℃之加熱條件下，本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料可顯示用於更加均勻地埋填基板表面凹凸構造所必要的適度流動性。
貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的下限值，較佳為80℃以上、更佳為90℃以上、特佳為100℃以上。又，貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點之上限值較 佳為200℃以下、更佳為195℃以下、特佳190℃以下。
於此，本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之固體黏彈性，係可使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃(或50~250℃)、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件進行測定。
亦即，貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點若為上述上限值以下，則本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料顯示作為黏性流體之特性而樹脂流動，更加抑制空隙等缺陷，且可依更均勻之狀態埋填基板凹凸表面。
又，貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點若為上述下限值以上，則可抑制本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之流動性，其結果，可更加抑制於基板凹凸表面之牽拉，更加抑制空隙等缺陷，且可依更均勻之狀態埋填基板凹凸表面。
又，依下述方法1所測定之本實施形態之環狀烯烴聚合物中的揮發成分之發生量，較佳為0.0質量%以上且1.0質量%以下、更佳為0.0質量%以上且0.7質量%以下、再更佳為0.0質量%以上且0.5質量%以下、特佳為0.0質量%以上且0.1質量%以下。
藉此，由於可抑制加熱熔融時之聚合物分解所伴隨的揮發成分(釋氣)發生，可形成平坦性更優越的光阻下層膜。
亦即，可抑制與設於上層之中間層或光阻層中所使用之材料間的互混，可抑制空隙等發生，具有更良好狀態之埋填性，可形成平坦性更優越的光阻下層膜。
方法1：將本實施形態之環狀烯烴聚合物溶解於四氫呋喃製作固形份濃度(或聚合物濃度)為20質量%之溶液，於鋁盤計量所得溶 液，接著，於氮氣流下，依200℃加熱3分鐘去除四氫呋喃，接著，冷卻至室溫而固化上述環狀烯烴聚合物，於氮環境下，依30~300℃之溫度範圍、10℃/min之升溫速度加熱上述環狀烯烴聚合物，由100~250℃範圍中之重量減少率，算出上述環狀烯烴聚合物中之上述揮發成分的發生量。
又，本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料較佳係可依至少0.01質量%以上且50質量%以下之任意濃度溶解於後述清漆狀之下層膜形成用材料調製所使用的任一種有機溶劑(較佳係丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))中，依下述方法4所測定之本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料的殘膜率較佳為50%以上且100%以下、更佳為60%以上且100%以下。
方法4：於矽晶圓上形成由本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗佈膜。接著，對所得塗佈膜依200℃處理10分鐘。接著，於選自由醇系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑及烴系溶劑所構成群之至少1種有機溶劑(較佳為丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))中依23℃浸漬10分鐘，接著，依150℃ 3分鐘之條件進行乾燥，去除塗佈膜中之殘存溶劑。接著，測定去除了殘存溶劑之塗佈膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%)。
作為醇系溶劑，可舉例如4-甲基-2-戊醇、正己醇等碳數1~18之脂肪族單元醇系溶劑；環己醇等碳數3~18之脂環式單元醇系溶劑；1,2-丙二醇等碳數2~18之多元醇系溶劑；丙二醇單甲基醚等碳數3~19之多元醇部分醚系溶劑等。
作為醚系溶劑，可舉例如二乙基醚、二丙基醚、二丁基醚等二 烷基醚系溶劑；四氫呋喃、四氫吡喃等環狀醚系溶劑；二苯基醚、苯甲醚等含芳香環醚系溶劑等。
作為酮系溶劑，可舉例如丙酮、甲基乙基酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、2-庚酮、乙基正丁基酮、甲基正己基酮、二異丁基酮、三甲基壬酮等鏈狀酮系溶劑；環戊酮、環己酮、環庚酮、環辛酮、甲基環己酮等之環狀酮系溶劑；2,4-戊二酮、丙酮基丙酮、苯乙酮等。
作為醯胺系溶劑，可舉例如N,N’-二甲基咪唑啶酮、N-甲基吡咯啶酮等環狀醯胺系溶劑；N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二乙基甲醯胺、乙醯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基丙醯胺等鏈狀醯胺系溶劑等。
作為酯系溶劑，可舉例如乙酸正丁酯、乳酸乙酯等之單羧酸酯系溶劑；乙酸丙二醇等之多元醇羧酸酯系溶劑；丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯等多元醇部分烷基醚乙酸酯等之多元醇部分醚羧酸酯系溶劑；草酸二乙酯等多元羧酸二酯系溶劑；γ-丁內酯、δ-戊內酯等內酯系溶劑；碳酸二乙酯、碳酸伸乙酯、碳酸伸丙酯等碳酸酯系溶劑等。
作為烴系溶劑，可舉例如碳數5~10之直鏈狀或分枝鏈狀烴、碳數5~12之脂環式烴、碳數6~18之芳香族烴等。脂環式烴及芳香族烴之環上的氫原子之一部分或全部，亦可由碳數1~5之直鏈狀或分枝鏈狀烷基所取代。
此等之中，若考慮到對製程之適應性等，較佳係選自由醇系溶劑及酯系溶劑所構成群之至少1種。作為醇系溶劑，可舉例如丙二醇單甲基醚(PGME)、丙二醇單丙基醚(PGPE)等。作為酯系溶劑， 可舉例如丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)。此等溶劑可單獨或混合2種以上而使用。
本實施形態之環狀烯烴聚合物之殘膜率若為上述下限值以上，在於光阻下層膜上形成中間層的情況，可抑制互混，其結果，中間層與光阻下層膜間之密黏性優越且可實現平坦性優越的積層體。
於此，作為有機溶劑，在使用了選自由醇系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑及烴系溶劑所構成群之至少1種有機溶劑中的任一種溶劑時，若上述殘膜率成為上述範圍內即可，較佳係使用丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)作為有機溶劑時殘膜率為上述範圍內。
本實施形態之環狀烯烴聚合物之藉示差掃描熱量分析所得的玻璃轉移溫度較佳為40~220℃、更佳為40~200℃、再更佳為40~180℃。又，本實施形態之環狀烯烴聚合物之藉示差掃描熱量分析所得的玻璃轉移溫度較佳為40℃以上、更佳為50℃以上、再更佳為60℃以上、又更佳為70℃以上，而且較佳為220℃以下、更佳為200℃以下、再更佳為180℃以下。若玻璃轉移溫度為上述範圍，則容易將上述貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點之溫度調整為上述範圍。
又，光阻下層膜之平坦性的評價，係例如使用藉旋塗法所進行之塗膜形成埋填基板凹凸表面，以SEM觀察燒成後樣本之切出剖面之樣本的方法。此時，較佳可使用以下平坦度(△FT)作為表示大氣面之波動程度的尺度。首先，基板之凹凸構造中，於10點測定凹部底面至大氣面(後述之表面(α))之高度並以其平均值(Hav) 作為膜厚。接著，由計測波動之膜厚之最大值(Hmax)與最小值(Hmin)的結果，將對最大值與最小值之差(Hmax-Hmin)除以膜厚平均值的值[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%)作為平坦度(△FT)之尺度。其中，在基板無凹凸構造時，則將上述「凹部底面至大氣面之高度」置換為「基板表面至大氣面之高度」即可。
圖2為用於說明本發明實施形態之積層體10中光阻下層膜2之膜厚4、凹凸構造7之高度5及凹凸構造7之凸凸間之間隔6的模式圖。如圖2所示，在基板1具有凹凸構造7的情況，凹部底面至表面(α)3之高度成為光阻下層膜2之膜厚4；在基板1不具凹凸構造7的情況，基板1表面至表面(α)3之高度成為光阻下層膜2之膜厚4。
此時之平坦度(△FT)較佳為0~5%、更佳為0~3%、再更佳為0~1%。藉此，不論有無中間層均可使光阻層厚度更均勻，於微影時可再現性良好地獲得所需圖案。
又，光阻下層膜之疏密圖案之膜厚差的評價，係例如使用藉旋塗法所進行之塗膜形成埋填基板凹凸表面，以SEM觀察燒成後樣本之切出剖面之樣本的方法。此時，所謂疏密圖案之切換部，係如圖3~2所示般，於基板上之凹凸構造中設為凸凸間寬(凹寬)=a、凸寬=b時，將凸凸間寬相對於由a+b所示之圖案隙寬的比例[a/(a+b)]設為α，求得同一基板上之凸凸間寬與凸寬之相異圖案區域的各別α值、α1及α2。將此α1及α2之差的絕對值為0<|α1-α2|<1範圍的情況設為疏密圖案之切換部。所謂疏密圖案之切換部中的膜厚差，係指在上述α值相異之同一基板上的圖案區域中，於各圖案區域10點測定凹部底面至大氣面之膜厚，求得各個平均值H1與H2、H1與 H2之平均值H3，將以H3除以2個圖案區域之凹部底面至大氣面之平均膜厚的差的絕對值|H1-H2|的值|H1-H2|/H3×100(%)作為平坦度(△FT)之尺度。
於圖3-2中，a1/(a1+b1)=α1，a2/(a2+b2)=α2，H1與H2係上述α1與α2之區域中各別之凹部底面至大氣面之平均膜厚，|H1-H2|/H3×100(%)=△FT。
此時之平坦度(△FT)較佳為0~5%、更佳為0~3%、再更佳為0~1%。藉此，不論有無中間層，可使光阻層之厚度更均勻，於微影中可再現性佳地獲得所需圖案。
於對形成於下層膜上方之由光阻材料所構成的層，以波長193nm之ArF準分子雷射作為光源轉印光罩圖案的ArF光微影步驟中，有由光阻層通過下層膜之光係於半導體基板表面反射，再次由下層膜入射至上方之光阻層的情形。有所謂因駐波之影響而發生光干擾，在光阻內部所發生之酸之濃度變得不均，而圖案之粗糙度惡化的情形。又，在使用具有複數種之溝、尤其彼此相異之深寬比之溝的基板的情況，光反射係尤其在段差部分引起亂射，亂射之光再次由下層膜入射至光阻層，而發生光入射至原本應為未曝光部之光阻層內部且所產生之酸使轉印精度惡化的現象。
為了防止因此等由下層膜至光阻層之駐波或亂射所造成的圖案粗糙度惡化或轉印精度惡化，必須使下層膜具有作為反射防止膜之機能。實用上必須將下層膜對光阻膜內之反射率抑制為1%以下。
作為使其表現作為反射防止膜之機能的具體方法，已知有控制下層膜形成用材料之光學常數的方法。
藉下述方法2所測定之本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料對波長193nm之折射率(n值)及藉下述方法3所測定之本實施形態之環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之消光係數(k值)，較佳係控制成n值為1.5~2.0、k值為0.0001~0.5，更佳係n值為1.55~1.95、k值為0.0001~0.4，再更佳係n值為1.6~1.9、k值為0.0001~0.3之範圍，藉此可使下層膜對光阻層的反射率成為1%以下。又，由發揮反射防止性能的觀點而言，上述反射防止膜較佳為平坦之形狀。若為本實施形態，由於可將上述基底膜表面作成為平坦構造，故在形成反射防止膜方面亦較佳。
方法2：於矽晶圓上形成由環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料所構成之厚250nm之塗佈膜，以所得塗佈膜於波長193nm之折射率(n值)作為環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之折射率(n值)。
方法3：於矽晶圓上形成由環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料所構成之厚250nm之塗佈膜，以所得塗佈膜之消光係數(k值)作為環狀烯烴聚合物或下層膜形成用材料之消光係數(k值)。
又，此時所使用之下層膜之膜厚(在使用無凹凸構造之基板時，係於任意10處測定由基板上部至下層膜表面的距離；在使用具凹凸構造之基板時，係測定基板之凹凸表面之凹部底面至下層膜表面之距離)的平均值(Hav)(其中，在光阻下層膜之與基板相反側的表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜的膜厚，將此等平均值作為Hav)，較佳為5~1000nm、更佳為5~800nm、再更佳為5~600nm、又更佳為5~500nm、又再更佳為7~450nm、再更佳為10~400nm之範圍；光阻下層膜之厚度之平均值Hav的下限值較佳為 5nm以上、更佳為7nm以上、再更佳為10nm以上，且上限值較佳為1000nm以下、更佳為800nm以下、再更佳為600nm以下、又更佳為500nm以下、又再更佳為450nm以下、再更佳為400nm以下。在上述n值與k值之範圍、及下層膜之厚度範圍內時，於ArF光微影步驟中，可獲得光罩圖案無粗糙、精度佳地經轉印之加工基板。
<清漆狀之下層膜形成用材料之調製>
本實施形態之下層膜形成用材料係藉由例如使本實施形態之環狀烯烴聚合物溶解或分散於有機溶劑，視需要通過配合了所需圖案之尺寸的細孔之過濾器去除異物，則可作成適合塗佈於基板上之清漆狀之下層膜形成用材料。
作為此時所使用之有機溶劑，若為可溶解或分散本實施形態之環狀烯烴聚合物的溶劑則無特別限定。
作為有機溶劑，可舉例如醇系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑及烴系溶劑等。
作為醇系溶劑，可舉例如4-甲基-2-戊醇、正己醇等碳數1~18之脂肪族單元醇系溶劑；環己醇等碳數3~18之脂環式單元醇系溶劑；1,2-丙二醇等碳數2~18之多元醇系溶劑；丙二醇單甲基醚等碳數3~19之多元醇部分醚系溶劑等。
作為醚系溶劑，可舉例如二乙基醚、二丙基醚、二丁基醚等二烷基醚系溶劑；四氫呋喃、四氫吡喃等環狀醚系溶劑；二苯基醚、苯甲醚等含芳香環醚系溶劑等。
作為酮系溶劑，可舉例如丙酮、甲基乙基酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、2-庚酮、乙基 正丁基酮、甲基正己基酮、二異丁基酮、三甲基壬酮等鏈狀酮系溶劑；環戊酮、環己酮、環庚酮、環辛酮、甲基環己酮等之環狀酮系溶劑；2,4-戊二酮、丙酮基丙酮、苯乙酮等。
作為醯胺系溶劑，可舉例如N,N’-二甲基咪唑啶酮、N-甲基吡咯啶酮等環狀醯胺系溶劑；N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二乙基甲醯胺、乙醯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基丙醯胺等鏈狀醯胺系溶劑等。
作為酯系溶劑，可舉例如乙酸正丁酯、乳酸乙酯等之單羧酸酯系溶劑；乙酸丙二醇等之多元醇羧酸酯系溶劑；丙二醇單甲基醚乙酸酯等多元醇部分烷基醚乙酸酯等之多元醇部分醚羧酸酯系溶劑；草酸二乙酯等多元羧酸二酯系溶劑；γ-丁內酯、δ-戊內酯等內酯系溶劑；碳酸二乙酯、碳酸伸乙酯、碳酸伸丙酯等碳酸酯系溶劑等。
作為烴系溶劑，可舉例如碳數5~10之直鏈狀或分枝鏈狀烴、碳數5~12之脂環式烴、碳數6~18之芳香族烴等。脂環式烴及芳香族烴之環上的氫原子之一部分或全部，亦可由碳數1~5之直鏈狀或分枝鏈狀烷基所取代。
此等之中，若考慮到塗佈時之溶劑揮發速度、對製程之適應性、生產性等而選擇，較佳係選擇醇系溶劑、鏈狀酮系溶劑、環狀酮系溶劑、鏈狀醚系溶劑、環狀醚系溶劑、酯系溶劑等含氧溶劑。本實施形態之下層膜形成用材料可含有1種或2種以上之溶劑。
又，本實施形態之清漆狀之下層膜形成用材料中，環狀烯烴聚合物之濃度較佳為0.01~50質量%、更佳為0.1~45.0質量%、再更佳為1.0~40.0質量%。環狀烯烴聚合物之濃度可考慮聚合 物之溶解性、對過濾製程之適應性、製膜性、作為下層膜之厚度等而選擇。
再者，依調整蝕刻耐性、光學特性等作為下層膜之材料物性的目的，在不損及本發明效果之範圍內，亦可於本實施形態之下層膜形成用材料中混合：丙烯酸樹脂、環氧樹脂、苯乙烯樹脂、羥基苯乙烯樹脂、羥基萘樹脂、聚矽氧樹脂等之樹脂；若為上述樹脂與聚合起始劑之組合，則為構成上述樹脂之單體；熱硬化系之單體；聚合物材料；鋯、鉿、釕、鈦等金屬之氧化物。
再者，依抑制光阻層與光阻下層膜間之互混、或在光阻層與光阻下層膜之間設置了中間層的情況抑制中間層與光阻下層膜間之互混的目的，在不損及本發明效果之範圍內，本實施形態之下層膜形成用材料亦可含有交聯劑。另一方面，交聯劑之使用有硬化時之反應收縮之影響變得顯著的情形。例如，在凹凸圖案呈不規則的情況，若交聯劑過多則凸凸間為較長構造，而有無法忽視收縮之影響的情形，有平坦性降低的可能性。因此，本實施形態之下層膜形成用材料中之交聯劑的含量較少為佳。由此觀點而言，在將下層膜形成用材料所含之聚合體成分之總含量設為100質量份時，較佳為未滿5質量份、更佳為未滿3質量份、再更佳為未滿1質量份。
作為交聯劑之多官能之環氧化合物，適合使用氧環丁烷化合物等，但此等化合物並無特別限制。
作為多官能之環氧化合物，可舉例如1,7-辛二烯二環氧化物、檸檬烯二氧化物、4-乙烯基環己烯二氧化物、3,4-環氧基環己基甲基-3’,4’-環氧基環己烷羧酸酯、二(3,4-環氧基環己基)己二酸酯、 (3,4-環氧基-6-甲基環己基)甲基-3,4-環氧基-6-甲基環己烷羧酸酯、伸乙基1,2-二(3,4-環氧基環己烷羧酸)酯、3’,4’-環氧基環己基甲基-3,4-環氧基環己烷羧酸酯、雙(3,4-環氧基環己基甲基)己二酸酯、雙酚A型環氧樹脂、鹵化雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、鄰-、間-、對-甲酚酚醛清漆型環氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、多元醇之聚環氧丙基醚、3,4-環氧基環己烯基甲基-3’,4’-環氧基環己烯羧酸酯等脂環式環氧樹脂或氫化雙酚A之環氧丙基醚等之環氧化合物等。
作為多官能之氧環丁烷化合物，可舉例如雙(3-乙基-3-氧環丁烷基甲基)醚、1,2-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基甲氧基)]乙烷、1,3-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基甲氧基)]丙烷、1,3-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基甲氧基)]-2,2-二甲基-丙烷、1,4-雙(3-乙基-3-氧環丁烷基甲氧基)丁烷、1,6-雙(3-乙基-3-氧環丁烷基甲氧基)己烷、1,4-雙[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基)]苯、1,3-雙[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]苯、1,4-雙{[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-雙{[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}環己烷、4,4’-雙{[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}聯苯、4,4’-雙{[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}雙環己烷、2,3-雙[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷、2,5-雙[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷、2,6-雙[(3-甲基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷、1,4-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]苯、1,3-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]苯、1,4-雙{[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-雙{[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}環己烷、4,4’-雙{[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}聯苯、4,4’-雙{[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]甲基}雙環己烷、2,3- 雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷、2,5-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷、2,6-雙[(3-乙基-3-氧環丁烷基)甲氧基]雙環[2.2.1]庚烷等。又，此等交聯劑可單獨使用、亦可組合2種以上使用。
接著，使依上述方法所調製之清漆狀之下層膜形成用材料通過過濾器進行過濾。藉此，由清漆狀之下層膜形成用材料去除聚合物不溶分或凝膠、異物等，可於光阻膜層與基板表面之間形成均勻之層作為下層膜。
過濾器之網目較佳為1μm~0.001μm、更佳為0.5μm~0.001μm、再更佳為0.1μm~0.001μm。過濾之製程亦可依將清漆由孔徑較大之過濾器移送至較小之過濾器的多段製程進行，或可依直接將清漆移送至孔徑較小之過濾器的單一製程進行。過濾器之材質可舉例如：聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚醚碸(PES)、纖維素等有機材料；玻璃纖維、金屬等無機材料等，若不對作為下層膜之機能造成影響即可，可考慮清漆特性、製程適應性等而選擇。
又，作為移動清漆至過濾器的方法，可舉例如利用壓力差之方法、經由螺桿等藉由機械性驅動將清漆移送至過濾器的方法等。又，過濾之溫度可於考慮了過濾器性能、溶液黏度、聚合物之溶解性的範圍內選擇，較佳為-10~200℃、更佳為0℃~150℃、再更佳為室溫~100℃之範圍，若無溶解成分等之析出或凝膠化、因加熱所造成之熱分解等組成物之變異即可，可考慮清漆特性或製程適應性等而選擇。
<光阻下層膜及光阻下層膜之製造方法>
本實施形態之光阻下層膜可使用本實施形態之下層膜形成用材料形成。
本實施形態之光阻下層膜之製造方法，係包括於基板上形成含有本實施形態之下層膜形成用材料之塗膜的步驟(以下亦稱為「塗膜形成步驟」)。
又，視需要亦可進一步含有對上述塗膜進行加熱的步驟(以下亦稱為「燒成步驟」)。
根據本實施形態之光阻下層膜之製造方法，由於使用本實施形態之下層膜形成用材料，故可獲得滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份發生量亦受抑制的光阻下層膜。
又，本實施形態之下層膜形成用材料由於對複雜形狀之基板的埋填性優越，故根據本實施形態之光阻下層膜之製造方法，可於具有段差之基板、或具有複數種溝之基板等複雜形狀的基板上，製作滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、揮發份發生量亦受抑制的光阻下層膜。
以下說明各步驟，但本發明並不限定於此等。
[塗膜形成步驟]
本步驟係使用本實施形態之下層膜形成用材料，於基板上形成含有本實施形態之下層膜形成用材料的塗膜。
作為上述基板，可舉例如矽晶圓、鋁晶圓、鎳晶圓等。亦可於上述基板表面賦予凹凸構造。上述凹凸構造亦可為例如藉由二氧化矽(SiO2)膜、SiCN膜、於二氧化矽(SiO2)摻雜了碳(C)之SiOC膜、或甲基矽氧烷系有機膜(SOG)、均勻分佈了數nm以下微小空孔之 二氧化矽絕緣膜等低介電材料形成覆膜的狀態。如上述，於本實施形態之光阻下層膜之形成方法，可適合使用具有段差之基板或具有複數種溝之基板等作為上述基板，而即使使用此種複雜形狀之基板仍可形成平坦性優越的光阻下層膜。
作為上述具有複數種溝之基板，亦適合使用例如具有彼此相異之深寬比的基板。上述深寬比可使用混合存在各種值者，例如，於基板之溝中，以深寬比之最大值與最小值之比計，較佳為1~30、更佳為1~25、再更佳為1~20。
將本實施形態之下層膜形成用材料塗佈至基板的方法並無特別限定，可舉例如使用旋塗法、溶液流延塗佈、輥塗佈、狹隙塗佈、噴墨塗佈等方法，將上述清漆狀之下層膜形成用材料塗佈至基板的方法等。作為此時所形成之光阻下層膜之凹部底至大氣面的膜厚，上述平均值Hav較佳為5~2000nm、更佳為7~1000nm、再更佳為10~500nm之範圍。又，膜厚之較佳下限值為15nm以上。
[燒成步驟]
本步驟中，係對上述塗膜形成步驟中所形成之塗膜進行加熱(燒成)。作為對此塗膜進行燒成之方法，可舉例如進行加熱之方法等。其加熱溫度較佳為100℃~400℃、更佳為150℃~300℃、再更佳為180℃~250℃。加熱時間較佳為5秒~60分鐘、更佳為10秒~10分鐘、再更佳為30秒~3分鐘。上述加熱之環境可舉例如空氣中；氮氣中、氬氣中等惰性氣體中等。
又，作為本步驟中之加熱樣式，可舉例如：依去除塗膜中溶劑之目的進行加熱，藉由其後之加熱使塗膜流動而將塗膜埋 填至基板凹凸構造中的態樣；使為了在不損及本發明效果之範圍內補充機能所混合之熱硬化系材料等之異種物質硬化，藉由其後之加熱使塗膜流動而將塗膜埋填至基板凹凸構造中的態樣；依使下層膜形成用材料之脫離基脫離的目的進行加熱，藉由其後之加熱使塗膜流動而將塗膜埋填至基板凹凸構造中的態樣等。
燒成步驟之加熱亦可使用階段性地提升溫度之多段製程。
所形成之光阻下層膜之膜厚的平均值Hav，較佳為5~1000nm、更佳為5~800nm、進而較佳為5~600nm、進而更佳為5~500nm、特佳為7~450nm、最佳為10~400nm之範圍，光阻下層膜之膜厚的平均值Hav的下限值較佳為5nm以上、更佳為7nm以上、再更佳為10nm以上，且上限值較佳為1000nm以下、更佳為800nm以下、進而較佳為600nm以下、進而更佳為500nm以下、特佳為450nm以下、最佳為400nm以下。
本實施形態之光阻下層膜例如可使用作為用於光微影之圖案形成的步驟構件。
<積層體>
本實施形態之積層體係具備基板(a)、形成於基板(a)之一面的包含本實施形態之下層膜形成用材料的光阻下層膜(b)。
較佳係基板(a)與光阻下層膜(b)接觸之構造。
於此，光阻下層膜(b)及其製造方法由於與上述本實施形態之光阻下層膜及光阻下層膜之製造方法相同，故於此省略說明。
圖2為用於說明本發明實施形態之積層體10中之光阻下層膜2之膜厚4、凹凸構造7之高度5及凹凸構造7之凸凸間 之間隔6的模式圖。
基板(a)亦可為具有平坦表面之構造，但最好於其單面或雙面具有較佳為5~500nm、更佳為7~450nm、再更佳為10~400nm之範圍之高度的凹凸構造。
於此，上述高度係意指圖2所示凹凸構造7之高度5，例如可於任意10點測定凹凸構造7之高度5，採用該等之平均值。
又，上述凹凸構造中之凸凸間之間隔，較佳為1nm以上且10nm以下。上述凹凸構造中之凸凸間之間隔的下限值較佳為3nm以上、更佳為5nm以上、特佳為10nm以上。
於此，上述凹凸構造中之凸凸間之間隔係意指圖2所示凹凸構造7中之凸凸間之間隔6，可於任意10點測定凹凸構造7中之凸凸間之間隔6，採用該等之平均值。
又，上述凹凸構造中之凸凸間之間隔的上限值較佳為5mm以下、更佳為1mm以下、特佳為0.5mm以下。
在基板(a)具有上述凹凸構造時，由於有光阻下層膜(b)之效果更顯著表現的傾向，故較佳。
基板(a)之厚度較佳為0.01~10000μm。基板(a)之厚度的下限值較佳為0.03μm以上、更佳為0.05μm以上、特佳為0.10μm以上。
基板(a)之厚度的上限值較佳為5000μm以下、更佳為3000μm以下、特佳為1000μm以下。
本實施形態之積層體中，光阻下層膜(b)之與基板(a)相反側之表面(α)中由下式算出的平坦度(△FT)較佳為0~5%、更佳為0~3%、再更佳為0~1%。
平坦度(△FT)=[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%)
其中，於表面(α)之任意10處，測定光阻下層膜(b)之膜厚，以該等之平均值作為Hav，以光阻下層膜(b)之膜厚之最大值作為Hmax，以光阻下層膜(b)之膜厚之最小值作為Hmin。
藉此，不論有無中間層，可使光阻層之厚度更加均勻，可於微影時再現性良好地獲得所需圖案。
<圖案形成方法>
本實施形態之圖案形成方法，係例如具備：於本實施形態之光阻下層膜之上面側，形成光阻圖案的步驟(以下亦稱為「光阻圖案形成步驟」)；與以上述光阻圖案作為遮罩，依序對上述光阻下層膜及基板進行蝕刻的步驟(以下亦稱為「蝕刻步驟」)。
又，本實施形態之圖案形成方法，亦可為：於上述光阻圖案形成步驟中，於上述光阻下層膜之上面側形成中間層，並於此中間層之上面側形成光阻圖案，於上述刻蝕步驟中，進一步對中間層進行蝕刻的步驟。
根據本實施形態之圖案形成方法，由於使用滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越、與中間層之互混受抑制、揮發份發生量亦受抑制的本實施形態之光阻下層膜，故可形成良好圖案。
以下說明各步驟，但本發明並不限定於此等。
[光阻圖案形成步驟]
本步驟中，於上述光阻下層膜之上面側形成光阻圖案。亦可於上述光阻下層膜之上面側形成中間層，再於此中間層之上面側形成 光阻圖案。
上述中間層係於光阻圖案形成等時，用於補充光阻下層膜及/或光阻膜所具有之機能、或用於賦予此等未具有之機能，故為具有此等之機能的層。例如形成反射防止膜(亦稱為反射防止層)作為中間層時，可補充光阻下層膜之反射防止機能。又，在形成硬遮罩層作為中間層時，可抑制顯影步驟之例如使用鹼顯影液時對光阻下層膜之影響，及/或本實施形態之下層膜蝕刻後，在對下層之由矽、鋁、鎳等所構成之基板進行蝕刻時可補充光阻圖案形成層之蝕刻耐性不足。
再者，於本實施形態之下層膜上所形成的中間層，可為反射防止層與硬遮罩層之任一者、或具備兩者的構成，層構成係可於本實施形態之下層膜的正上方形成反射防止層，亦可形成硬遮罩層。可考慮光阻材料、加工基板等之材料的特性、或生產性而適當選擇。
上述中間層可藉由有機化合物或無機氧化物形成。作為上述有機化合物，可舉例如DUV-42、DUV-44、ARC-28、ARC-29(均為Brewer Science公司製)，或AR-3、AR-19(均為Rohm and Haas公司製)等。又，作為上述無機氧化物，例如可使用NFC SOG系列(JSR公司製)、藉CVD法所形成之聚矽氧烷、氧化鈦、氧化鋁、氧化鎢等。
形成上述中間層之方法並無特別限定，可舉例如塗佈法或CVD法等。此等之中，較佳為塗佈法。於使用了塗佈法的情況，可於光阻下層膜形成後，連續形成中間層。
又，中間層之膜厚並無特別限定，可配合中間層所要求之機能適當選擇，較佳為1nm~5μm、更佳為5nm~3μm、再更佳為 10nm~0.3μm之範圍。
作為於上述光阻下層膜或中間層之上面側形成光阻圖案的方法，可舉例如使用光微影之方法等。針對此方法，以下具體說明，但本發明並不受限於此等。
使用光微影之方法，係例如具有：使用光阻組成物，於上述光阻下層膜之上面側形成光阻膜的步驟(以下亦稱為「光阻膜形成步驟」)；對上述光阻膜進行曝光之步驟(以下亦稱為「曝光步驟」)；及對上述經曝光之光阻膜進行顯影的步驟(以下亦稱為「顯影步驟」)。
(光阻膜形成步驟)
本步驟係使用光阻組成物，於光阻下層膜之上面側形成光阻膜。具體而言，係依所得光阻膜成為既定膜厚之方式塗佈光阻組成物後，藉由預烘烤使塗膜中之溶劑揮發，形成光阻膜。
作為光阻組成物，可舉例如：含有光酸產生劑之正型或負型之化學放大型光阻組成物；由鹼可溶性樹脂與醌二疊氮化物系感光劑所構成的正型光阻組成物；由鹼可溶性樹脂與交聯劑所構成之負型光阻組成物等。
上述光阻組成物之固形份濃度較佳為0.1質量%~50質量%、更佳為0.5質量%~50質量%、再更佳為1.0質量%~50質量%之範圍，可考慮作為對象之膜厚、或生產性而於適當範圍內選擇。
又，上述光阻組成物較佳係藉由孔徑0.1μm左右之過濾器進行過濾而調製。又，此步驟中，亦可直接使用市售之光阻組 成物。光阻組成物之塗佈方法並無特別限定，例如可藉由旋塗、流延塗佈、輥塗佈等方法實施。
又，預烘烤之溫度係配合所使用之光阻組成物之種類等適當選擇，較佳為30℃~200℃、更佳為50℃~150℃。
(曝光步驟)
此步驟係對上述光阻膜形成步驟所形成之光阻膜進行曝光。此曝光係例如經由既定之遮罩圖案及視需要之液浸液而進行。
作為曝光光，係配合光阻組成物所使用之光酸產生劑之種類，由例如可見光線、紫外線、遠紫外線、X射線、γ射線等電磁波；電子束、分子束、離子束、α射線等粒子束等適當選擇，較佳為遠紫外線，更佳為KrF準分子雷射光(波長248nm)、ArF準分子雷射光(波長193nm)、F2準分子雷射光(波長157nm)、Kr2準分子雷射光(波長147nm)、ArKr準分子雷射光(波長134nm)、極紫外線(波長13nm等)，再更佳為ArF準分子雷射光。
上述曝光後，為了提升所形成之光阻圖案的解析度、圖案輪廓、顯影性等，可進行後烘烤。此後烘烤之溫度係配合所使用之光阻組成物之種類等適當調整，較佳為50℃~200℃、更佳為70℃~150℃。
(顯影步驟)
本步驟係對於上述曝光步驟中經曝光之光阻膜進行顯影。
作為上述顯影所使用之顯影液，係配合所使用之光阻組成物之種類適當選擇。鹼顯影之情況，可舉例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳 酸鈉、矽酸鈉、甲基矽酸鈉、氨、乙基胺、正丙基胺、二乙基胺、二正丙基胺、三乙基胺、甲基二乙基胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、吡咯、哌啶、膽鹼、1,8-二吖雙環[5.4.0]-7-十一烯、1,5-二吖雙環[4.3.0]-5-壬烯等之鹼性水溶液等。又，若事先進行上述中間層形成步驟形成中間層，可抑制此等鹼性水溶液對光阻下層膜之影響。
此等鹼性水溶液亦可適量添加例如甲醇、乙醇等之醇類等之水溶性有機溶劑、或界面活性劑。
又，作為顯影液，亦可使用含有有機溶劑之顯影液。作為此有機溶劑，可舉例如酯類、酮類、醚類、醇類、醯胺類、烴類等。有機溶劑顯影所使用之溶劑係配合光阻下層膜之特性適當選擇。
使用上述顯影液進行顯影後，藉由洗淨、乾燥，形成既定之光阻圖案。
又，作為進行上述光阻圖案形成步驟之方法，除了使用上述光微影之方法以外，亦可使用利用奈米壓印法之方法、利用自我組織化組成物之方法等。
[蝕刻步驟]
本步驟中，係以上述光阻圖案作為遮罩，對上述光阻下層膜及基板依序進行蝕刻。藉此，於基板形成圖案。又，於形成了中間層的情況，係亦進一步對中間層進行蝕刻。
上述蝕刻可為乾式蝕刻、亦可為濕式蝕刻。上述乾式蝕刻可使用公知之乾式蝕刻裝置進行。又，作為乾式蝕刻時之源氣 體，係視被蝕刻物之元素組成而異，並無特別限定，可使用例如O2、CO、CO2等含氧原子氣體；He、N2、Ar等惰性氣體；Cl2、BCl3等氯系氣體；CHF3、CF4等氟系氣體；H2、NH3之氣體等。又，此等氣體亦可混合使用。
[基板圖案形成後之下層膜材料之去除步驟]
本步驟係在藉上述蝕刻步驟於基板轉印、形成光阻圖案後，去除已不需要之光阻下層膜。
去除方法可為乾式法，亦可為使用溶劑等之濕式法，可考慮材料之物性或製程適應性而適當選擇，亦可併用乾式與濕式之方法而使用。
於乾式法的情況，可使用上述蝕刻步驟中所使用之乾式蝕刻裝置。從而，在由蝕刻步驟移行至下層膜材料之去除步驟時，由不需要變更製程產線、生產性之觀點而言較佳係使用乾式法。
作為下層膜材料之去除步驟中使用乾式蝕刻裝置時之氣體源，係視被蝕刻物之元素組成而適當選擇，可使用例如O2、CO、CO2等含氧原子氣體；He、N2、Ar等惰性氣體；Cl2、BCl3等氯系氣體；CHF3、CF4等氟系氣體；H2、NH3之氣體等，配合被覆上述基板表面之低介電材料、或基板材料而適當選擇。此等氣體亦可混合2種以上使用。
[第二發明]
以下說明第二發明之實施形態。
<下層膜形成用材料>
本實施形態之下層膜形成用材料係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有環狀烯烴聚合物；藉下述方法4所測定之上述下層膜形成用材料的殘膜率為50%以上且100%以下、較佳為60%以上且100%以下。上述下層膜形成用材料之殘膜率的下限值更佳為70%以上。另一方面，上述下層膜形成用材料之殘膜率之上限值更佳為99%以下、再更佳為98%以下。若殘膜率過低，則如上述般有發生與中間層之混合等所造成之不良情形的情況。另一方面，在殘膜率稍微小於100%時，發生中間層與形成基底膜之聚合體的適度纏合，有提高剝離強度的情況。
方法4：在矽晶圓上形成由本實施形態之下層膜形成用材料所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜。接著，對所得塗膜依200℃進行處理10分鐘；接著，依23℃浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除塗膜中之殘存溶劑。接著，測定去除了殘存溶劑之塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%)。
又，本實施形態之下層膜形成用材料係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其為含有環狀烯烴聚合物之膜的材料；上述環狀烯烴聚合物本身可依至少0.01質量%以上且50質量%以下之任一濃度溶解於有機溶劑；上述膜中，藉下述方法4所測定之上述環狀烯烴聚合物的殘膜率為50%以上且100%以下、較佳為60%以上且100%以下。上述環狀烯烴聚合物之殘膜率的下限值更佳為70%以上。另一方面，上述環狀烯烴聚合物之殘膜率之上限值更佳為99%以下、再更佳為98%以下。若 殘膜率過低，則如上述般有發生與中間層之混合等所造成之不良情形的情況。另一方面，在殘膜率稍微小於100%時，發生中間層與形成基底膜之聚合體的適度纏合，有提高剝離強度的情況。
方法4：在矽晶圓上形成由本實施形態之環狀烯烴聚合物所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜。接著，對所得塗膜依200℃進行處理10分鐘。接著，依23℃浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除塗膜中之殘存溶劑。接著，測定去除了殘存溶劑之塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%)。
上述中，作為對經剝離之膜進行高溫處理的條件，更佳為依200℃進行處理30分鐘。
此方法4所得之殘膜率係顯示膜對溶劑的溶解性。數值越大則有越難溶解之傾向。
如上述，在依進行曝光之光之波長以下的線寬描畫電路圖的情況，已知有形成複數之凹凸層、組合的方法。為了實現此種態樣，可例示以上述凹凸層之平滑化為目的而於光阻下層膜上形成中間層，進而於其上形成新的光阻層的方法。
根據本發明人等的檢討，已知例如在藉由旋塗法等形成此中間層時，若選擇錯誤的溶劑，則光阻下層膜與中間層發生互混，其結果，有下層膜與中間層之界面強度降低、喪失下層膜之平滑性的情形。
本案發明人等為了達成上述課題而潛心研究。其結果發現，若光阻下層膜對中間層形成所使用之溶劑的親和性低，則可抑制光阻下層膜與中間層發生互混。
本案發明人等根據上述見解進一步檢討。其結果率先發現，藉由使用依上述方法4所測定浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯時之殘膜率為上述範圍內的下層膜形成用材料或環狀烯烴聚合物，可有效抑制光阻下層膜溶解、或光阻下層膜與中間層成為所需以上之混合狀態的情形。
亦即，若依上述方法4所測定之本實施形態之下層膜形成用材料或環狀烯烴聚合物的殘膜率為上述下限值以上，則在光阻下層膜上形成中間層的情況，可抑制光阻下層膜溶解、或光阻下層膜與中間層成為所需以上之混合狀態的情形，其結果，可實現中間層與光阻下層膜間之密黏性優越、且平坦性亦優越的積層體。
第二發明所使用之環狀烯烴聚合物若為室溫~50℃、較佳為室溫下溶解於有機溶劑之聚合體，則無特別限制。作為有機溶劑，較佳係選自醇系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑及環狀烴系溶劑所構成群的溶劑。更佳係醇系溶劑、醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑，再更佳係醚系溶劑、酮系溶劑、醯胺系溶劑、酯系溶劑。特佳為具有聚醚單酯構造之溶劑。
作為第二發明之環狀烯烴聚合物，更具體而言可舉例如具有降
Figure 107118750-A0101-12-0172-77
烷骨架或四環十二烷骨架的環狀烯烴聚合物為較佳例。又，較佳係含有如上述有機溶劑所含有般之具有雜原子之取代基。作為含雜原子之取代基，可舉例如烷氧基、芳氧基、烷氧基烷基、芳氧基烷基、烷氧基羰基、二烷基胺基羰基、芳氧基羰基、烷基芳基胺基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、芳氧基羰基烷基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基等為較佳例。作為特佳取代基係如上述般之酯基。
作為第二發明所使用之環狀烯烴聚合物，作為其他較佳具體例，有上述第一發明所揭示之具有構造單元[A]與構造單元[B]的環狀烯烴聚合物。此等構造單元之比例等之較佳各條件係與第1發明所揭示之該等範圍相同。
作為使用本實施形態之下層膜形成用材料形成膜的方法，可使用公知方法。作為較佳具體例，可舉例如旋塗法。形成旋塗法所使用之聚合物溶液的溶劑，可例示上述旋塗用溶劑。特佳可例示如上述PGMEA般之聚醚酯或聚醚、酮、醇、酯等。若考慮溶解度或成膜後之乾燥步驟，較佳係含有具環狀構造之溶劑的態樣。具體而言可舉例如環烷酮般之環狀酮化合物，較佳為環己酮。
本實施形態之下層膜形成用材料較理想係依高溫進行既定時間之處理。作為具體之溫度條件，可例示100~400℃之範圍。較佳下限值為150℃以上、更佳為180℃以上。另一方面，較佳上限值為300℃以下、更佳為250℃以下。本案發明人等認為其理由如下。
根據本案發明人等之檢討，使用本實施形態之具有極性基之環狀烯烴聚合物所形成的膜，有因加熱處理，經加熱處全體較均勻地發生極性變化的情形。由於此極性變化，對溶劑之溶解度大幅變化，亦即可認為變得難以溶解於上述有機溶劑。本案發明人等認為此係由於本實施形態之環狀烯烴聚合物之極性基之變質所造成。亦認為有發生了擬似交聯或交聯構造的可能性。其中，例如在含有上述一般式(2)之構造的構成的情況，其效果較大，亦即為較佳態樣。以下稍微具體說明。
為了使含有本實施形態之環狀烯烴聚合物之膜的極性變化，重要的是含有一般式(2)所示重複構造單元[B]1種以上。一般式(2)所 示重複構造單元[B]藉由加熱而發生醚基、硫醚基之裂解，可使分子之極性變化。
作為其他態樣，藉由R1~R8中至少一者含有烷氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰氧芳基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、較佳為鍵結3級碳形成酯基的烷氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、或烷氧基烷基氧基羰基1種以上，則因加熱生成羧基，可期待分子極性更大的變化。
本發明之態樣由於具有此種特徵，故如上述般，認為即使降低交聯劑之含有率仍可表現充分高之耐互混效果。
本實施形態之下層膜形成用材料，係指在半導體裝置之製造步驟中，用於形成配置在中間層與基板(較佳為具有凹凸構造之基板)間之層的材料。配置於中間層與基板間之層，通常以在光微影製程中轉印遮罩圖案之由光阻材料所構成之光阻層為基準，而稱為光阻下層膜。上述基板之與光阻下層膜相接的表面，亦可為例如藉由二氧化矽(SiO2)膜、SiCN膜、於二氧化矽(SiO2)中摻雜了碳(C)之SiOC膜、或甲基矽氧烷系有機膜(SOG)、使數nm以下之微小空孔均勻分佈之二氧化矽絕緣膜等之低介電材料形成覆膜的狀態。
上述中間層係於光阻圖案形成等時，用於補充光阻下層膜及/或光阻膜所具有之機能、或用於賦予此等未具有之機能，故為具有此等之機能的層。例如形成反射防止膜(亦稱為反射防止層)作為中間層時，可補充光阻下層膜之反射防止機能。又，在形成硬遮罩層作為中間層時，可抑制顯影步驟之例如使用鹼顯影液時對光阻下層膜之影響，及/或本實施形態之下層膜蝕刻後，在對下層之由 矽、鋁、鎳等所構成之基板進行蝕刻時可補充光阻圖案形成層之蝕刻耐性不足。
再者，於本實施形態之下層膜上所形成的中間層，可為反射防止層與硬遮罩層之任一者、或具備兩者的構成，層構成係可於本實施形態之下層膜的正上方形成反射防止層，亦可形成硬遮罩層。可考慮光阻材料、加工基板等之材料的特性、或生產性而適當選擇。
上述中間層可藉由有機化合物或無機氧化物形成。作為上述有機化合物，可舉例如DUV-42、DUV-44、ARC-28、ARC-29(均為Brewer Science公司製)，或AR-3、AR-19(均為Rohm and Haas公司製)等。又，作為上述無機氧化物，例如可使用NFC SOG系列(JSR公司製)、藉CVD法所形成之聚矽氧烷、氧化鈦、氧化鋁、氧化鎢等。
形成上述中間層之方法較佳為塗佈法。於使用了塗佈法的情況，可於光阻下層膜形成後，連續形成中間層。
作為使用塗佈法形成中間層時所使用之溶劑，較佳為例如上述旋塗液用之溶劑所例示者，此等之中，較佳例可舉例如PGMEA等聚醚或聚醚酯等。
又，中間層之膜厚並無特別限定，可配合中間層所要求之機能適當選擇，較佳為1nm~5μm、更佳為5nm~3μm、再更佳為10nm~0.3μm之範圍。
本實施形態之下層膜形成用材料之較佳環狀烯烴聚合物，可使用如上述般與第一發明之環狀烯烴聚合物相同者。因此省略詳細說明。
本實施形態之光阻下層膜、光阻下層膜之形成方法及 圖案形成方法，係根據第一發明之光阻下層膜、光阻下層膜之形成方法及圖案形成方法。因此省略詳細說明。
以上敘述了本案各發明實施形態，但此等為本發明之例示，亦可採用上述以外之各種構成。
又，本發明並不限定於上述實施形態，可達成本發明目的之範圍內的變形、改良等亦涵括於本發明中。
尚且，當然上述本案各發明亦可在不違反其內容之範圍內加以組合。
[實施例]
以下參照實施例、比較例詳細說明本實施形態。本實施形態並不限定於此等實施例之記載。
關於實施例、比較例中聚合物之分析法、埋填性及平坦性的評價，係依以下方法實施。
[重量平均分子量(Mw)及分子量分佈(Mw/Mn)]
依下述條件使用凝膠滲透層析儀(GPC)，測定溶解於四氫呋喃(THF)及三氟甲苯(TFT)之聚合物的重量平均分子量(Mw)及數量平均分子量(Mn)，藉由聚苯乙烯標準矯正分子量而算出。
檢測器：日本分光公司製RI-2031及875-UV或Viscotec公司製Model270、串聯連接管柱：Shodex K-806M、804、803、802.5、管柱溫度：40℃、流量：1.0ml/分鐘、試料濃度：3.0~9.0mg/ml。
[氫化率測定]
將聚合物試料溶解於氘化氯仿，於270MHz、1H-NMR光譜之化學位移δ=5.0~7.0ppm範圍依歸屬於雙鍵碳之氫的波峰的積分值進行測定。
[玻璃轉移溫度]
使用島津製作所公司製DSC-50，將測定試料於氮環境下依10℃/分鐘之升溫速度進行加熱、測定。
[揮發成分之評價方法]
於直徑5mm之鋁盤中依30mg~50mg之重量計量濃度為20質量%之聚合物的THF溶液，於氮氣流下依200℃燒成3分鐘去除THF。接著，冷卻至室溫測定重量(W0)。使用樹脂經固化之狀態的樣本，於氮環境下使用島津製作所公司製TGA-60，依10℃/min之升溫速度由30~300℃加熱試料，隨著溫度上升連續地測定重量，得到溫度對重量之圖表。其中，由圖表讀取100~250℃範圍之重量減少量(W1)，由下式算出揮發成分之發生量。
揮發成分之發生量(質量%)=W1/W0×100
[固體黏彈性測定]
使用Anton Paar公司製MCR302(流變計)，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件進行測定。更具體而言係藉以下方法進行測定。
首先，將本實施形態之環狀烯烴聚合物之白色粉末粉(10mg)，放置於事先加熱為230℃之直徑8mm之平行圓盤之中心。接著，由 圓盤挾持於氮環境下使其熔融，暫時冷卻至30℃。其後，依頻率1Hz之剪切模式藉上述升溫速度將樣本加熱至300℃。
製作展繪了所得加熱溫度與貯藏彈性模數(G’)、及損失彈性模數(G”)之關係的圖表，確認貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度。(參照圖1)
[殘膜率測定]
在矽晶圓上形成由環狀烯烴聚合物所構成之厚度(α)nm之塗膜。接著，對所得塗膜依200℃進行處理10分鐘或30分鐘。冷卻至室溫後，依20mm×10mm之尺寸切出塗膜。將此膜依23℃浸漬於有機溶劑(丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)、丙二醇單甲基醚(PGME)、或PGME與PGMEA之質量比為PGME/PGMEA=7/3的混合溶劑)10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了殘存溶劑之塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%)。
於此，塗膜係藉以下方法製作。
調製將本實施形態之環狀烯烴聚合物依10質量%溶解於有機溶劑(丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)與環己酮之質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液)的溶液，將所得溶液2.5mL進行旋塗至4吋矽晶圓。接著，於氮環境下以120℃乾燥1分鐘，接著，以80℃真空乾燥5小時。接著，冷卻至室溫後，依20mm×20mm之尺寸切出樣本，作為塗膜。
[用於埋填性評價之表面凹凸構造形成基板]
基板A：使用於基板表面形成了高200nm、凸部寬40~150nm、凸凸間寬40~150nm之線&間圖案的尺寸3cm×3cm之矽製基板。
基板B：使用於基板表面形成了高200nm、凸部寬40nm~1000μm、凸凸間寬40nm~1000μm之線&間圖案的尺寸3cm×3cm之矽製基板。
[埋填性評價]
實施至燒成步驟，切割於上述矽製基板之凹凸表面上形成了光阻下層膜的樣本，實施剖面觀察用之造面。其後，使用日本分光公司製掃描型電子顯微鏡JSM-6701F(以下表記為SEM)，觀察凸凸間寬為40nm之基板A剖面或a1=900μm、b1=1000nm、a2=40nm、b2=1000nm之基板B剖面，評價埋填性。
[平坦性之評價]
於上述評價了埋填性之基板A剖面中，依10點計測凸寬40nm、凸凸間寬120nm之區域中凹部底面至大氣面的高度，設為平均值Hav。接著，由10點計測之高度中最大高度(Hmax)與最小高度(Hmin)之各個值藉以下式算出表示平坦性指標的平坦度。
平坦度(△FT)=[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%)
又，於上述評價了埋填性之基板B剖面中，於a1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nm之區域中各別之圖案區域依10點測定凹部底面至大氣面的膜厚，求得各別之平均值H1(a1=900μm、b1=900μm)與H2(a2=40nm、b2=120nm)、H1與H2之平均值H3，藉以下式算出表示平坦性指標的平坦度。
平坦度(△FT)=|H1-H2|/H3×100(%)
[n值與k值之測定]
使用日本SEMILAB股份有限公司製分光橢圓偏光計GES5E，於溫度：23~25℃、濕度：50~55%之環境，使用於矽晶圓依250nm厚經塗佈之20mm×20mm尺寸的測定樣本，測定任意3點。由測定結果，算出193nm之折射率(n值)與消光係數(k值)，由3點之平均值分別求得n值與k值。
於此，藉以下方法製作測定樣本。
調製將本實施形態之環狀烯烴聚合物依10質量%溶解於PGMEA的溶液，將所得溶液進行旋塗至4吋矽晶圓。接著，於氮環境下以200℃燒成3分鐘。冷卻至室溫後，依20mm×20mm之尺寸切出樣本，作為測定用樣本。
[電漿蝕刻特性評價]
使用ULVAC公司製RIH1515Z並行平板型電漿處理裝置。首先，將樣本置入腔室內，將腔室內減壓為1Pa以下，接著，將CHF3氣體依30sccm導入至腔室內，將腔室內之壓力保持為7Pa後，施加13.56MHz高頻電力進行電漿放電，進行電漿蝕刻處理。電漿蝕刻處理係實施30秒、60秒及90秒。
[蝕刻速率之測定方法]
使用日本SEMILAB股份有限公司製分光橢圓偏光計GES5E，於蝕刻後之基板表面3點測定膜厚，由平均值算出膜厚。接著，由 蝕刻前後之膜厚，算出由蝕刻所造成的膜厚減少量，以橫軸為時間(sec)、縱軸為減少膜厚量(nm)進行展繪。由所得圖表之斜率，算出蝕刻速率(nm/sec)。
[由O 2蝕刻所進行之灰化特性評價]
在於基板表面形成了高200nm、凸部寬100nm、凸凸間寬100nm之線&間圖案的尺寸3cm×3cm的矽製基板上，形成本實施形態之光阻下層膜。
對在上述矽製基板之凹凸表面上形成了光阻下層膜的樣本進行切割，以其中一片之樣本片作為灰化前之剖面觀察用並藉由SEM進行觀察。
使用上述樣本片之另一片樣本片，依以下方法實施由O2蝕刻所進行之灰化特性評價。
灰化特性評價係使用與上述電漿蝕刻特性評價中所使用之相同電漿處理裝置。首先，將樣本置入腔室內，將腔室內減壓為1Pa以下，接著，將O2氣體依30sccm導入至腔室內，將腔室內之壓力保持為7Pa。其後，施加13.56MHz高頻電力進行電漿放電，進行電漿蝕刻處理。電漿蝕刻處理係實施60秒。
於上述電漿蝕刻處理後，藉由SEM進行灰化後之剖面觀察，比較電漿蝕刻前後之SEM觀察影像而評價灰化特性。
[中間層形成]
於溫度：23~25℃、濕度：50~55%之環境，在30mm×30mm尺寸之矽晶圓上，將依10質量%溶解了本實施形態之環狀烯烴聚合物 的PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件、250nm之厚度進行旋塗，於氮環境下以200℃燒成1分鐘。冷卻至室溫後，將依10質量%溶解了異丙氧鈦之PGMEA溶液以1000rpm、10sec之條件進行旋塗，於氮環境下以200℃燒成1分鐘而製作評價用樣本，藉TEM觀察剖面。
[實施例1]
於氮環境下，在具備磁性攪拌裝置之5L之高壓釜內，將具有構造單元[A]之四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯320g(2mol)、具有構造單元[B]之4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)、及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解於四氫呋喃(以下記載為THF)3.4kg進行攪拌。
於其中加入作為開環移位聚合觸媒之Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2 612mg(0.8mmol)，依60℃反應3小時。其後，加入正丁基醛173mg(2.4mmol)並冷卻，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5700、Mw/Mn=1.61、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，使用甲醇，由所得開環移位聚合體溶液析出環狀烯烴聚合物，以80℃進行減壓乾燥而得到白色粉末固體(聚合物1)。
聚合物1之玻璃轉移溫度為151℃。
又，聚合物1之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物1之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為173℃(參 照圖1)。
接著，調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物1的丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(以下記載為PGMEA)、與環己酮(以下亦稱為CH)的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件，塗佈至在基板表面形成有高200nm、凸部寬40~150nm、凸凸間寬40~150nm之線&間圖案的矽基板A表面。其後，於氮環境下以200℃加熱3分鐘。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物1之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.08。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物1係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物1之層的厚度(Hav)為300nm，最大高度(Hmax)為301nm，最小高度(Hmin)為300nm，平坦度(△FT)為0.3%。
[實施例2]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為8-甲氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液2.5kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=6300、Mw/Mn=1.50、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物2)。
聚合物2之玻璃轉移溫度為150℃。
又，聚合物2之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物2之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為167℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物2的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物2之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.04。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物2係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為299nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[實施例3]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為8-(1-乙基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.1kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=7200、Mw/Mn=1.50、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物3)。
聚合物3之玻璃轉移溫度為130℃。
又，聚合物3之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物3之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為151℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物3的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物3之折射率(n值)為1.68，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物3係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物3之層的厚度為302nm，最大高度(Hmax)為303nm，最小高度(Hmin)為301nm，平坦度(△FT)為0.7%。
[實施例4]
將具有構造單元[A]之8-甲氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯437g(2mol)、具有構造單元[B]之4-苯基-4-吖-10-氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮121g(0.5mol)、及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解於THF 3.7kg，依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.2kg。
接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率50.7%之5%Rh碳11.4g(乾燥質量5.6g)，依氫壓5MPa、100℃進行氫化反應12小時。所得聚合物係氫化率=100莫耳%、Mw=7800、Mw/Mn=1.57、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=80/20。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物4)。
聚合物4之玻璃轉移溫度為172℃。
又，聚合物4之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物4之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為190℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作於上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物4的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物4之折射率(n值)為1.71，消光係數(k值)為0.09。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物4係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物4之層的厚度為310nm，最大高度(Hmax)為311nm，最小高度(Hmin)為309nm，平坦度(△FT)為0.6%。
[實施例5]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為雙環[2.2.1]庚-2-烯以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.7kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=2.84、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物5)。
聚合物5之玻璃轉移溫度為72℃。
又，聚合物5之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物5之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈 性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為84℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物5的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物5之折射率(n值)為1.68，消光係數(k值)為0.01。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物5係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為315nm，平坦度(△FT1)為0.0%。
[實施例6]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為5-(1-乙基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5600、Mw/Mn=1.92、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物6)。
聚合物6之玻璃轉移溫度為56℃。
又，聚合物6之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物6之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為76℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物6的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物6之折射率(n值)為1.78，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物6係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為311nm，平坦度(△FT1)為0.0%。
[實施例7]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為5-(1-甲基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=7300、Mw/Mn=2.17、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物7)。
聚合物7之玻璃轉移溫度為58℃。
又，聚合物7之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物7之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為81℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物7的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物7之折射率(n值)為1.78，消光係數(k值)為0.01。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物7係對凸凸間之窄線 寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為305nm，平坦度(△FT1)為0.0%。
[實施例8]
依與實施例3相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.1kg。接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率50.7%之5%Rh碳11.4g(乾燥質量5.6g)，依氫壓5MPa、100℃進行氫化反應12小時。所得聚合物係氫化率=100莫耳%、Mw=9600、Mw/Mn=2.07、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物8)。
聚合物8之玻璃轉移溫度為91℃。
又，聚合物8之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物8之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為112℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物8的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物8之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物8係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物8之層的厚度為 310nm，最大高度(Hmax)為311nm，最小高度(Hmin)為309nm，平坦度(△FT)為0.6%。
[實施例9]
依與實施例5相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.7kg。接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率50.7%之5%Rh碳11.4g(乾燥質量5.6g)，依氫壓5MPa、100℃進行氫化反應12小時。所得聚合物係氫化率=100莫耳%、Mw=10400、Mw/Mn=3.18、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物9)。
聚合物9之玻璃轉移溫度為45℃。
又，聚合物9之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物9之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為50℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物9的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物9之折射率(n值)為1.64，消光係數(k值)為0.01。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物9係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為316nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[實施例10]
除了變更為具有構造單元[A]之雙環[2.2.1]庚-2-烯75g(0.8mol)、具有構造單元[B]之4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮487g(3.2mol)以外，其餘依與實施例1相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.8kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5900、Mw/Mn=2.32、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=20/80。
接著，依與實施例1相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物10)。
聚合物10之玻璃轉移溫度為68℃。
又，聚合物10之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物10之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為82℃。
接著，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物10的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物10之折射率(n值)為1.67，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物10係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為320nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[實施例11]
調製依7質量%濃度溶解了實施例5所得聚合物5的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件，塗佈至在基板表面形成有高200nm、凸部寬40~150nm、凸凸間寬40~150nm之線&間圖案的矽基板A表面。其後，於氮環境下以200℃加熱3分鐘。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物5係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為208nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[實施例12]
調製依20質量%濃度溶解了實施例5所得聚合物5的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依600rpm、10sec之條件，塗佈至在基板表面形成有高200nm、凸部寬40~150nm、凸凸間寬40~150nm之線&間圖案的矽基板A表面。其後，於氮環境下以200℃加熱3分鐘。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物5係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為1622nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[實施例13]
調製依10質量%溶解了實施例8所得聚合物8與依0.3質量之濃度溶解了作為交聯劑之3’,4’-環氧基環己基甲基-3,4-環氧基環己 烷羧酸酯(EEC)的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面進行了塗佈的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之折射率(n值)為1.67，消光係數(k值)為0.02。
由於已知上述環狀烯烴聚合物發生極性變化的溫度較G’與G”之交點之溫度充分高，故由上述環狀烯烴聚合物與交聯劑所構成之下層膜形成用材料之G’與G”之交點之溫度亦可視為相同值。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物8之層的厚度為313nm，最大高度(Hmax)為313nm，最小高度(Hmin)為312nm，平坦度(△FT)為0.3%。
[實施例14~16]
將實施例5所得聚合物5、實施例8所得聚合物8、實施例9所得聚合物9，依與實施例1相同之方法，製作在上述矽基板B之凹凸面進行了塗佈的樣本。
藉SEM觀察基板B之剖面，結果聚合物5、聚合物8、聚合物9均對a1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，聚合物5係於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之H1層之厚度為306nm，H2層之厚度為306nm，平坦度(△FT)為0.0%。
聚合物8係於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之 H1層之厚度為301nm，H2層之厚度為302nm，平坦度(△FT)為0.3%。
聚合物9係於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之H1層之厚度為298nm，H2層之厚度為298nm，平坦度(△FT)為0.0%。
[電漿蝕刻耐性之評價]
將調製為依10質量%分別溶解了實施例1~實施例10所合成的聚合物1~聚合物10的PGMEA/環己酮=5/5的溶液，塗佈至矽晶圓，以200℃燒成3分鐘。接著，將各樣本於CHF3氣體環境下進行乾式蝕刻30秒、60秒及90秒。由蝕刻前後之膜厚，算出蝕刻所造成之膜厚減少量，以橫軸為時間(sec)、縱軸為減少膜厚量(nm)進行展繪。由所得圖表之斜率算出各樣本之蝕刻速率(nm/sec)。
以形成於矽晶圓表面之SiO2[以四乙氧基矽烷(TEOS)為原料，於矽晶圓表面進行燒成而形成]為對象物質測定蝕刻速率，接著，藉由[SiO2(nm/sec)/各樣本(nm/sec)]之值評價蝕刻耐性。[SiO2(nm/sec)/各樣本(nm/sec)]之值越高意味著蝕刻耐性越優良。
聚合物1為4.5，聚合物2為5.0，聚合物3為5.0，聚合物4為5.5，聚合物5為4.5，聚合物6為5.0，聚合物7為5.0、聚合物8為5.0，聚合物9為5.0，聚合物10為4.5，任一聚合物均對SiO2顯示高蝕刻耐性。
[由O 2蝕刻所進行之灰化性評價]
將調製為依10質量%分別溶解了實施例1、實施例2、實施例3及實施例4所合成之聚合物1、聚合物2、聚合物3及聚合物4的PGMEA/環己酮=5/5的溶液，塗佈至在基板表面形成有高 200nm、凸部寬100nm、凸凸間寬100nm之線&間圖案的矽基板表面，於氮環境下以200℃燒成3分鐘。接著，切割各樣本，使用其中一片進行灰化前之SEM觀察，並使用另一片於O2氣體環境下進行乾式蝕刻60秒而進行灰化。接著，進行灰化後之SEM觀察。
由灰化前後之SEM觀察影像之比較，得知聚合物1、聚合物2、聚合物3及聚合物4均於基板上灰化去除成無聚合物殘渣。
作為比較，使用Si上之取代基為甲基丙烯酸丙氧基酯的矽氧烷樹脂，依與上述相同方法實施灰化特性評價，結果藉SEM觀察確認到基板上存在聚合物殘渣，進而即使將蝕刻時間延長至180秒仍無法將其去除成無聚合物殘渣。
[比較例1]
調製依10質量%溶解了由固體黏彈性測定之結果所算出之顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為255℃的酚醛清漆樹脂KA1165(DIC公司製)的環己酮溶液，依與實施例1相同之方法於矽基板之凹凸表面進行旋塗，以200℃燒成3分鐘。
接著，藉SEM進行剖面觀察後，結果對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝，在凹部稜邊之部分發生空隙，於凸凸間之寬為100nm之區域亦發生相同空隙。又，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化的厚度為300nm，最大高度(Hmax)為317nm，最小高度(Hmin)為285nm，平坦度(△FT)為10.7%，於大氣面發生了變形。
[比較例2]
調製於依10質量%溶解了甲基丙烯酸甲酯之環己酮溶液中溶解了相對於甲基丙烯酸甲酯為2質量%之作為光聚合起始劑之2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4嗎啉基苯基)-丁-1-酮的溶液。
接著依與實施例1相同之方法，製作於上述矽基板B之凹凸面塗佈了上述溶液的樣本。
接著，以1000mJ/cm2之照射量進行UV照射使塗佈膜硬化。
接著，藉SEM進行剖面觀察，結果對a1=900μm、b1=900μm、a2=40nm、b2=120nm(高200nm)之溝，在凸凸間之寬為900μm之區域發生空隙，在凸凸間之寬為40nm之區域亦發生相同空隙。又，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之H1層之厚度為250nm，H2層之厚度為264nm，平坦度(△FT)為11.2%。又，大氣面發生了變形。
以上結果示於表1及2。
Figure 107118750-A0101-12-0197-14
Figure 107118750-A0101-12-0198-15
[實施例17]
於氮環境下，在具備磁性攪拌裝置之5L之高壓釜內，將具有構造單元[A]之四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯320g(2mol)、具有構造單元[B]之4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)、及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解於四氫呋喃(以下記載為THF)3.4kg進行攪拌。
於其中加入作為開環移位聚合觸媒之Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2 612mg(0.8mmol)，依60℃反應3小時。其後，加入正丁基醛173mg(2.4mmol)並冷卻，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5700、Mw/Mn=1.61、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，使用甲醇，由所得開環移位聚合體溶液析出環狀烯烴聚合物，以80℃進行減壓乾燥而得到白色粉末固體(聚合物14)。
聚合物14之玻璃轉移溫度為151℃。
接著，調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物14的丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(以下記載為PGMEA)、與環己酮(以下亦稱為CH)的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件，塗佈至在基板表面形成有高200nm、凸部寬40~150nm、凸凸間寬40~150nm之線&間圖案的矽基板A表面。其後，於氮環境下以200℃加熱3分鐘。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物14之折射率(n值)為1.66，消光 係數(k值)為0.08。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物14係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物14之層的厚度為300nm，最大高度(Hmax)為301nm，最小高度(Hmin)為300nm，平坦度(△FT)為0.3%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物14的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物14對PGMEA的殘膜率為88%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物14對PGMEA的殘膜率為96%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGMEA時的殘膜率為9%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物14對PGME的殘膜率為99%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物14對PGME的殘膜率為99%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為2.4%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物14對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為94%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物14對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為98%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於 PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為3.7%。
[實施例18]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為8-甲氧基羰基-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液2.5kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=6300、Mw/Mn=1.50、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物15)。
聚合物15之玻璃轉移溫度為150℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物15的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物15之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.04。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物15係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離的計測值均為299nm，平坦度(△FT)為0.0%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物15的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物15對 PGMEA的殘膜率為58%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物15對PGMEA的殘膜率為92%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為0.3%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物15對PGME的殘膜率為60%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物15對PGME的殘膜率為94%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為0.3%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物15對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為60%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物15對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為93%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為0.3%。
[實施例19]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為8-(1-乙基環戊氧基羰基)-四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.1kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=7200、Mw/Mn=1.50、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物16)。
聚合物16之玻璃轉移溫度為130℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物16的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物16之折射率(n值)為1.68，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物16係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物16之層的厚度為302nm，最大高度(Hmax)為303nm，最小高度(Hmin)為301nm，平坦度(△FT)為0.7%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物16的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物16對PGMEA的殘膜率為97%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物16對PGMEA的殘膜率為98%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為0.3%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物16對PGME的殘膜率為81%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物16對PGME的殘膜率為95%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為0.3%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物16對 PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為88%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物16對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為96%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為0.3%。
[實施例20]
依與實施例19相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.1kg。接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率50.7%之5%Rh碳11.4g(乾燥質量5.6g)，依氫壓5MPa、100℃進行氫化反應12小時。所得聚合物係氫化率=100莫耳%、Mw=7800、Mw/Mn=1.57、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物17)。
聚合物17之玻璃轉移溫度為91℃。
又，聚合物17之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物17之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為112℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物17的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物17之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物17係對凸凸 間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物17之層的厚度為310nm，最大高度(Hmax)為311nm，最小高度(Hmin)為309nm，平坦度(△FT)為0.6%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物17的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物17對PGMEA的殘膜率為75%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物17對PGMEA的殘膜率為93%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為0.5%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物17對PGME的殘膜率為66%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物17對PGME的殘膜率為92%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為0.2%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物17對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為69%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物17對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為92%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為0.3%。
[實施例21]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為雙環[2.2.1]庚-2-烯以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.7kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=2.84、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物18)。
聚合物18之玻璃轉移溫度為72℃。
又，聚合物18之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物18之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為84℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物18的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物18之折射率(n值)為1.68，消光係數(k值)為0.01。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物18係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物18之層的厚度為262nm，最大高度(Hmax)為262nm，最小高度(Hmin)為262nm，平坦度(△FT)為0.0%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物18的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下 依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物18對PGMEA的殘膜率為99%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物18對PGMEA的殘膜率為99%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為30%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物18對PGME的殘膜率為96%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物18對PGME的殘膜率為99%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為1.8%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物18對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為71%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物18對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為99%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為9.4%。
[實施例22]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為5-(1-乙基環戊氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5600、Mw/Mn=1.92、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色 粉末固體(聚合物19)。
聚合物19之玻璃轉移溫度為56℃。
又，聚合物19之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物19之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為76℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物19的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物19之折射率(n值)為1.78，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物19係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物19之層的厚度為264nm，最大高度(Hmax)為266nm，最小高度(Hmin)為264nm，平坦度(△FT)為0.8%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物19的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物19對PGMEA的殘膜率為99%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物19對PGMEA的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為3.0%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物 19對PGME的殘膜率為71%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物19對PGME的殘膜率為95%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為2.2%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物19對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為76%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物19對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為95%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為2.5%。
[實施例23]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為5-(1-甲基環己氧基羰基)-雙環[2.2.1]庚-2-烯)以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.0kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=7300、Mw/Mn=2.17、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物20)。
聚合物20之玻璃轉移溫度為58℃。
又，聚合物20之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物20之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為81℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物20的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物20之折射率(n值)為1.78，消光係數(k值)為0.01。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物20係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物20之層的厚度為263nm，最大高度(Hmax)為264nm，最小高度(Hmin)為262nm，平坦度(△FT)為0.8%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物20的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物20對PGMEA的殘膜率為100%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物20對PGMEA的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為10%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物20對PGME的殘膜率為100%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物20對PGME的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為10%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物20對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為98%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物20對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為10%。
[實施例24]
依與實施例21相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.7kg。接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率50.7%之5%Rh碳11.4g(乾燥質量5.6g)，依氫壓5MPa、100℃進行氫化反應12小時。所得聚合物係氧化率=100莫耳%、Mw=10400、Mw/Mn=3.18、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=50/50。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物21)。
聚合物21之玻璃轉移溫度為45℃。
又，聚合物21之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物21之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為50℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物21的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物21之折射率(n值)為1.66，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物21係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物21之層的厚度為273nm，最大高度(Hmax)為273nm，最小高度(Hmin)為273nm， 平坦度(△FT)為0.0%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物21的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物21對PGMEA的殘膜率79%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物21對PGMEA的殘膜率為97%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為0.8%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物21對PGME的殘膜率為74%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物21對PGME的殘膜率為93%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為6.2%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物21對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為76%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物21對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為94%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為6.0%。
[實施例25]
除了變更為具有構造單元[A]之雙環[2.2.1]庚-2-烯 75g(0.8mol)、具有構造單元[B]之4,10-二氧基-三環[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮487g(3.2mol)以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液3.8kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=5900、Mw/Mn=2.32、藉1HNMR所分析之構造單元[A]與構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]=20/80。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物22)。
聚合物22之玻璃轉移溫度為68℃。
又，聚合物22之揮發成分的發生量為0.0質量%。
又，由聚合物22之固體黏彈性測定之結果所算出的顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為82℃。
接著，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面塗佈了聚合物22的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之聚合物22之折射率(n值)為1.67，消光係數(k值)為0.02。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果聚合物22係對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離之計測值均為260nm，平坦度(△FT)為0.0%。
調製依10質量%濃度溶解了所得聚合物22的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物22對 PGMEA的殘膜率為99%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物22對PGMEA的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為31%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物22對PGME的殘膜率為98%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物22對PGME的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為26%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物22對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為97%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物22對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為27%。
[實施例26]
調製依10質量%溶解了實施例20所得聚合物17與依0.3質量之濃度溶解了作為交聯劑之3’,4’-環氧基環己基甲基-3,4-環氧基環己烷羧酸酯(EEC)的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依與實施例17相同之方法，製作在上述矽基板A之凹凸面進行了塗佈的樣本。
藉橢圓偏光計所測定之折射率(n值)為1.67，消光係數(k值)為0.02。
由於已知上述環狀烯烴聚合物發生極性變化的溫度較G’與G” 之交點之溫度112℃充分高，故由上述環狀烯烴聚合物與交聯劑所構成之下層膜形成用材料之G’與G”之交點之溫度亦可視為相同值。
藉SEM觀察基板A剖面後，結果對凸凸間之窄線寬40nm(高200nm)之溝無空隙等缺陷且均勻埋填。進而，於10點計測凹部底面至大氣面的距離並平均化之聚合物8之層的厚度為313nm，最大高度(Hmax)為313nm，最小高度(Hmin)為312nm，平坦度(△FT)為0.3%。
調製依10質量%溶解了所得聚合物17與依0.3質量之濃度溶解了作為交聯劑之3’,4’-環氧基環己基甲基-3,4-環氧基環己烷羧酸酯(EEC)的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至4吋之矽晶圓。接著，於減壓下依80℃乾燥5小時(中間階段)。
接著，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之膜對PGMEA的殘膜率為95%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得膜對PGMEA的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜直接浸漬於PGMEA時的殘膜率為0.5%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得膜對PGME的殘膜率為94%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得膜對PGME的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME時的殘膜率為0.2%。
又，於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得膜對 PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為94%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得膜對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率為100%。
參考資訊：上述中間階段之膜未經200℃處理而浸漬於PGME/PGMEA(7/3)時的殘膜率為0.3%。
[比較例3]
除了使用聚羥基苯乙烯(以下記載為PHS，Polysciences,Inc.Mw=5300、Mw/Mn=1.48)以外，其餘與實施例17相同地調製依10質量%溶解的PGMEA溶液，進行旋塗至4吋矽晶圓，依200℃燒成10分鐘。
與實施例17同樣地評價殘膜率，結果對PGMEA的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之PHS之殘膜率為0.2%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之PHS的殘膜率為0.4%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之PHS的殘膜率為0.6%；任一加熱時間下均未觀察到對PGMEA呈不溶化的情形。
又，對PGME的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之PHS之殘膜率為0.1%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之PHS的殘膜率為0.4%。於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之PHS的殘膜率為0.5%；任一加熱時間下均未觀察到對PGME呈不溶化的情形。又，對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之PHS之殘膜率為0.1%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之PHS的殘膜率為0.4%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之PHS的殘膜率為0.5%；任一加熱時間下均未觀察到對PGME/PGMEA(7/3)呈不溶化的情形。
[比較例4]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為5,5,6-三氟-6-(三氟甲基)-雙環8-[2.2.1]庚-2-烯，且未使用具有構造單元[B]之單體以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.1kg。
接著，對所得開環移位聚合體溶液添加作為氫化觸媒之含水率52.0%之5%Pd碳51.7g(乾燥質量24.8g)，依氫壓8.5MPa、130℃進行氫化反應20小時。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=9300、Mw/Mn=1.76。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物23)。
與實施例17同樣地評價殘膜率，結果對PGMEA的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之聚合物23之殘膜率為0.3%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物23的殘膜率為0.5%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物23的殘膜率為0.8%；任一加熱時間下均未觀察到對PGMEA呈不溶化的情形。
又，對PGME的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之聚合物23之殘膜率為25%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物23的殘膜率為27%。於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物23的殘膜率為28%；任一加熱時間下均未觀察到對PGME呈不溶化的情形。又，對PGME/PGMEA(7/3)的殘膜率係僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之聚合物23之殘膜率為33%。於氮環境下以200℃加熱10分鐘所得之聚合物23的殘膜率為35%。又，於氮環境下以200℃加熱30分鐘所得之聚合物23的殘膜率為 35%；任一加熱時間下均未觀察到對PGME/PGMEA(7/3)呈不溶化的情形。
[比較例5]
除了將具有構造單元[A]之單體變更為四環[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二烯，且未使用具有構造單元[B]之單體以外，其餘依與實施例17相同之方法，得到開環移位聚合體溶液4.2kg。所得聚合物係聚合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=1.55。
接著，依與實施例17相同之方法進行析出、乾燥，得到白色粉末固體(聚合物24)。
僅在減壓下依80℃乾燥5小時後之聚合物24之殘膜率，係在浸漬於PGMEA時即因可認為為膨潤之現象而白化，故無法藉橢圓偏光計進行測定。於氮環境下以200℃加熱10分鐘或30分鐘所得之聚合物24的殘膜率，亦同樣發生白化，故無法藉橢圓偏光計進行測定。對PGME、PGME/PGMEA(7/3)之殘膜率亦與PGMEA同樣地，浸漬時因可認為為膨潤之現象而白化，故無法藉橢圓偏光計進行測定。
以下殘膜率之結果示於表3及表4。
Figure 107118750-A0101-12-0219-16
Figure 107118750-A0101-12-0220-17
[實施例27]
調製依10質量%濃度溶解了實施例21所得聚合物18的PGMEA、與環己酮的質量比為PGMEA/環己酮=5/5的溶液，依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至30mm正方之矽晶圓。接著，於氮環境下以200℃加熱1分鐘。冷卻至室溫後進一步將依10質量%之濃度溶解了四異丙氧化鈦的PGMEA溶液依1000rpm、10sec之條件進行旋塗至此晶圓上。接著，於氮環境下依200℃加熱1分鐘，獲得於聚合物18之層上重疊塗佈了TiO2的晶圓。
藉TEM進行剖面觀察，結果聚合物18與TiO2的界面明瞭且平坦。
[實施例28]
除了將聚合物18變更為實施例22所得聚合物19以外，其餘與實施例27同樣進行，獲得於聚合物19之層上重疊塗佈了TiO2的晶圓。
藉TEM進行剖面觀察，結果聚合物19與TiO2的界面明瞭且平坦。剖面照片示於圖4。
[比較例6]
除了將聚合物18變更為聚羥基苯乙烯(PHS)以外，其餘與實施例27同樣進行，獲得於PHS之層上重疊塗佈了TiO2的晶圓。
藉TEM進行剖面觀察，結果於PHS與TiO2之間不存在明瞭界面，在將四異丙氧化鈦之PGMEA溶液進行旋塗時，認為PHS溶解 而完全混合。
由以上結果可知，在將本發明之材料使用為光阻下層膜時，可使具凹凸之晶圓表面平坦，尚且，在將中間層或光阻層藉旋塗形成於光阻下層膜上時，完全不發生互混。
(產業上之可利用性)
本案第一發明之下層膜形成用材料，可提供滿足充分之光學特性及蝕刻耐性且平坦性優越，揮發份之發生量亦受抑制的光阻下層膜。藉此，於半導體裝置製造步驟中可獲得高集成度的半導體電路。
本案第二發明之下層膜形成用材料，可實現中間層與光阻下層膜間之密黏性優越且平坦性優越的積層體。藉此，於半導體裝置製造步驟中可獲得高集成度的半導體電路。
本案係主張以2017年5月31日申請之日本申請案特願2017-108506號及2017年10月6日申請之日本申請案特願2017-196260號為基礎之優先權，將其揭示內容全部引用於此。
本發明係包含以下態樣。
1. 一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；[化9]
Figure 107118750-A0101-12-0223-18
(上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；)
Figure 107118750-A0101-12-0223-19
(上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20 之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
2. 如1.記載之下層膜形成用材料，其中，使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍50~250℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件所測定的上述環狀烯烴聚合物的固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為80℃以上且200℃以下。
3. 如1.或2.記載之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法1所測定之上述環狀烯烴聚合物中之揮發成分的發生量，在將上述環狀烯烴聚合物之全體設為100質量%時，為0.0質量%以上且1.0質量%以下；(方法1：將上述環狀烯烴聚合物溶解於四氫呋喃，製作聚合物濃度為20質量%的溶液，於鋁盤計量所得溶液，接著，於氮氣流下，依200℃加熱3分鐘去除四氫呋喃，接著，冷卻至室溫，將上述環狀烯烴聚合物固化，於氮環境下，依30~300℃之溫度範圍、10℃/min之升溫速度對上述環狀烯烴聚合物進行加熱，由100~250℃之範圍之重量減少量算出上述環狀烯烴聚合物中之上述揮發成分之發生量)。
4. 如1.至3.中任一項記載之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
5. 如1.至4.中任一項記載之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
6. 如1.至5.中任一項記載之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
7. 如1.至6.中任一項記載之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜，該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
8. 一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其特徵在於：其為含有環狀烯烴聚合物之膜的材料；上述環狀烯烴聚合物本身可依至少0.01質量%以上且50質量%以下之濃度溶解於有機溶劑；上述膜中，藉下述方法4所測定之上述環狀烯烴聚合物的殘膜率滿足50%以上且100%以下；(方法4：在矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜；接著，對所得上述塗膜依 200℃進行處理10分鐘；接著，於23℃下浸漬於有機溶劑(丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除上述塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了上述殘存溶劑之上述塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%))。
9. 如8.記載之下層膜形成用材料，其中，上述環狀烯烴聚合物係具有下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；
Figure 107118750-A0101-12-0226-20
(上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數)；
Figure 107118750-A0101-12-0227-21
(上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
10. 如8.或9.記載之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
11. 如8.至10.中任一項記載之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為 上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
12. 如8.至11.中任一項記載之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
13. 如8.至12.中任一項記載之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜，該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
14. 一種光阻下層膜，係含有1.至13.中任一項記載之下層膜形成用材料。
15. 一種光阻下層膜之製造方法，係包括：將含有1.至13.中任一項記載之下層膜形成用材料的塗膜形成於基板上的步驟。
16. 如15.記載之光阻下層膜之製造方法，其係進一步包括對上述塗膜進行加熱之步驟的光阻下層膜之形成方法。
17. 一種積層體，係具備：基板；與形成於上述基板之一面、且含有1.至13.中任一項記載之下層膜形成用材料的光阻下層膜。
18. 如17.記載之之積層體，其中，上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)中，藉下式所算出的平坦度(△FT)為0%以上且5%以下；平坦度(△FT)=[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%) (其中，於上述表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值作為Hav，以上述光阻下層膜之膜厚之最大值作為Hmax，以上述光阻下層膜之膜厚之最小值作為Hmin)。
19. 如17.或18.記載之積層體，其中，上述光阻下層膜之膜厚之平均值Hav為5nm以上且500nm以下；(其中，於上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值設為Hav)。
20. 如17.至19.中任一項記載之積層體，其中，上述基板係於至少一表面具有凹凸構造；於上述凹凸構造上形成上述光阻下層膜；上述凹凸構造係高度為5nm以上且500nm以下，凸凸間之間隔為1nm以上且10mm以下。
Figure 107118750-A0101-11-0003-208

Claims (29)

  1. 一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其含有具下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]之環狀烯烴聚合物；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；在將上述下層膜形成用材料所含之聚合物成分之總含量設為100質量份時，上述下層膜形成用材料中之交聯劑的含量為未滿5質量份；
    Figure 107118750-A0305-02-0233-1
     (上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數 3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數)；
    Figure 107118750-A0305-02-0234-2
     (上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
  2. 如請求項1之下層膜形成用材料，其中，使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件所測定的上述環狀烯烴聚合物的固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為 40℃以上且200℃以下。
  3. 如請求項1之下層膜形成用材料，其中，使用流變儀，於氮環境下，依剪切模式、測定溫度範圍30~300℃、升溫速度3℃/min、頻率1Hz之條件所測定的上述下層膜形成用材料的固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為40℃以上且200℃以下。
  4. 如請求項2或3之下層膜形成用材料，其中，上述固體黏彈性中，顯示貯藏彈性模數(G’)曲線與損失彈性模數(G”)曲線之交點的溫度為80℃以上且200℃以下。
  5. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法1所測定之上述環狀烯烴聚合物中之揮發成分的發生量，在將上述環狀烯烴聚合物之全體設為100質量%時，為0.0質量%以上且1.0質量%以下；(方法1：將上述環狀烯烴聚合物溶解於四氫呋喃，製作固形份濃度為20質量%的溶液，於鋁盤計量所得溶液，接著，於氮氣流下，依200℃加熱3分鐘去除四氫呋喃，接著，冷卻至室溫，將上述環狀烯烴聚合物固化，於氮環境下，依30~300℃之溫度範圍、10℃/min之升溫速度對上述環狀烯烴聚合物進行加熱，由100~250℃之範圍之重量減少量算出上述環狀烯烴聚合物中之上述揮發成分之發生量)。
  6. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
  7. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中， 藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
  8. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述下層膜形成用材料於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述下層膜形成用材料之上述折射率(n值))。
  9. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
  10. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述下層膜形成用材料的消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述下層膜形成用材料之上述消光係數(k值))。
  11. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜， 該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
  12. 如請求項1或2之下層膜形成用材料，其中，上述下層膜形成用材料中之上述環狀烯烴聚合物的含量，在將上述下層膜形成用材料之全體設為100質量%時，為50質量%以上且100質量%以下。
  13. 一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料，其特徵在於：其為含有環狀烯烴聚合物之膜的材料；上述環狀烯烴聚合物本身可依至少0.01質量%以上且50質量%以下之濃度溶解於有機溶劑；上述膜中，藉下述方法4所測定之上述環狀烯烴聚合物的殘膜率滿足50%以上且100%以下；在將上述下層膜形成用材料所含之聚合物成分之總含量設為100質量份時，上述下層膜形成用材料中之交聯劑的含量為未滿5質量份；(方法4：在矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜；接著，對所得上述塗膜依200℃進行處理10分鐘；接著，於23℃下浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除上述塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了上述殘存溶劑之上述塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%))。
  14. 一種下層膜形成用材料，係用於形成在多層光阻製程中所使用之光阻下層膜的下層膜形成用材料， 其含有環狀烯烴聚合物；藉下述方法4所測定之上述下層膜形成用材料的殘膜率滿足50%以上且100%以下；在將上述下層膜形成用材料所含之聚合物成分之總含量設為100質量份時，上述下層膜形成用材料中之交聯劑的含量為未滿5質量份；(方法4：在矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚度(α)為200nm以上且500nm以下之塗膜；接著，對所得上述塗膜依200℃進行處理10分鐘；接著，於23℃下浸漬於丙二醇-1-單甲基醚-2-乙酸酯10分鐘，接著，依150℃、3分鐘之條件進行乾燥，去除上述塗膜中之殘存溶劑；接著，測定去除了上述殘存溶劑之上述塗膜的厚度(β)，算出殘膜率(=β/α×100)(%))。
  15. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，上述環狀烯烴聚合物係具有下述一般式(1)所示重複構造單元[A]及下述一般式(2)所示重複構造單元[B]；上述環狀烯烴聚合物中之上述構造單元[A]與上述構造單元[B]的莫耳比[A]/[B]為5/95以上且95/5以下；[化3]
    Figure 107118750-A0305-02-0239-3
     (上述一般式(1)中，R1~R4中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1~R4亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數)；[化4]
    Figure 107118750-A0305-02-0240-4
     (上述一般式(2)中，R5~R8中至少1者為選自氫、碳數1~10之烷基、碳數6~20之芳基、碳數1~10之烷氧基、碳數6~20之芳氧基、碳數2~10之烷氧基烷基、碳數7~20之芳氧基烷基、碳數2~20之烷氧基羰基、碳數3~10之二烷基胺基羰基、碳數7~20之芳氧基羰基、碳數8~20之烷基芳基胺基羰基、碳數3~30之烷氧基羰基烷基、碳數8~30之烷氧基羰基芳基、碳數8~20之芳氧基羰基烷基、碳數3~20之烷氧基烷基氧基羰基及碳數4~30之烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5~R8亦可彼此鍵結形成環構造；n表示0~2之整數；X1表示-O-或-S-)。
  16. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，使用凝膠滲透層析法所測定之上述環狀烯烴聚合物之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1000以上且20000以下。
  17. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述環狀烯烴聚合物於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚 250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述折射率(n值))。
  18. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法2所測定之上述下層膜形成用材料於波長193nm的折射率(n值)為1.5以上且2.0以下；(方法2：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜於波長193nm之折射率(n值)作為上述下層膜形成用材料之上述折射率(n值))。
  19. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述環狀烯烴聚合物之消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述環狀烯烴聚合物所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述環狀烯烴聚合物之上述消光係數(k值))。
  20. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中，藉下述方法3所測定之上述下層膜形成用材料的消光係數(k值)為0.0001以上且0.5以下；(方法3：於矽晶圓上形成由上述下層膜形成用材料所構成之厚250nm的塗膜，以所得上述塗膜之消光係數(k值)作為上述下層膜形成用材料之上述消光係數(k值))。
  21. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其係使用於下層膜，該下層膜形成在具有凹凸構造之基板的上述凹凸構造上，且用於埋填上述凹凸構造之凹部。
  22. 如請求項13或14之下層膜形成用材料，其中， 上述下層膜形成用材料中之上述環狀烯烴聚合物的含量，在將上述下層膜形成用材料之全體設為100質量%時，為50質量%以上且100質量%以下。
  23. 一種光阻下層膜，係含有請求項1至22中任一項之下層膜形成用材料。
  24. 一種光阻下層膜之製造方法，係包括：將含有請求項1至22中任一項之下層膜形成用材料的塗膜形成於基板上的步驟。
  25. 如請求項24之光阻下層膜之製造方法，其係進一步包括對上述塗膜進行加熱之步驟的光阻下層膜之形成方法。
  26. 一種積層體，係具備：基板；與形成於上述基板之一面、且含有請求項1至22中任一項之下層膜形成用材料的光阻下層膜。
  27. 如請求項26之積層體，其中，上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)中，藉下式所算出的平坦度(△FT)為0%以上且5%以下；平坦度(△FT)=[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(%)(其中，於上述表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值作為Hav，以上述光阻下層膜之膜厚之最大值作為Hmax，以上述光阻下層膜之膜厚之最小值作為Hmin)。
  28. 如請求項26或27之積層體，其中，上述光阻下層膜之膜厚之平均值Hav為5nm以上且1000nm以下(其中，於上述光阻下層膜之與上述基板相反側之表面(α)之任意10處，測定上述光阻下層膜之膜厚，以該等之平均值作為Hav)。
  29. 如請求項26或27之積層體，其中，上述基板係於至少一表面具有凹凸構造；於上述凹凸構造上形成上述光阻下層膜；上述凹凸構造係高度為5nm以上且500nm以下，凸凸間之間隔為1nm以上且10mm以下。
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