JP2022003142A - 下層膜形成用樹脂材料、レジスト下層膜、レジスト下層膜の製造方法および積層体 - Google Patents
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Abstract
Description
基板としては平坦な形状の基板だけでなく、より複雑な回路の形成を行うために予備的に大きな回路形状を形成した凹凸構造を有する基板を用い、寸法サイズが大きな回路形状をさらに加工して、微細な回路を形成するマルチパターンニング法が最先端の回路形成プロセスでは導入されている。
本発明者らの検討によれば、従来のレジスト下層膜形成用材料では、平坦性の要求を満足させつつ、揮発成分を発生しない材料を実現することは困難な傾向にあることが分かってきた。
加えて、近年では同一基板上に微細凹凸パターンが「疎」にある領域と「密」にある領域が混在する状態(疎密があるパターンと呼ぶ)の基板を用い、一度の露光−現像工程により複数種の微細パターンを多層レジスト法により一挙に形成する場合が増えてきている。このような場合、レジスト下層膜にはパターンが「疎」にある領域から「密」にある領域へと切り替わる部分で凸パターン上の膜厚差が無く、平坦であることが要求される。前述のように最上層のレジスト層膜厚は薄膜化されてきており、疎密の切り替わり領域での膜厚差がそのままレジスト層の膜厚差へとつながりやすい状況になってきている。レジスト層の平坦性が十分でない場合、露光工程において焦点が合わない領域ができ基板全面において正確なパターン形成が困難となる。したがって、上記のような一般的に疎密パターンが混在する基板上に形成されるレジスト下層膜は、基板全面にわたって凸上パターン上の膜厚が均一であることが要求される。
本発明者らの検討によれば、従来のレジスト下層膜形成用材料では、基板全面にわたって凸上パターン上の膜厚が均一な材料を実現することは困難な傾向にあることが分かってきた。
従来の下層膜を上述のような基板上に、例えばスピンコートなどの溶液キャスト法で形成させると、特に基板の凹凸形状が複雑で凸凸間隔が広く、凹上パターン部の深さが深い、かつ、基板上で凹凸形状が疎な領域と密な領域が混在する場合、表面に微妙な凹凸が残り易い場合があることが、本発明者らの検討により分かってきた。これは、凸凸間隔が広く凹パターン部の深さが深い箇所程、乾燥前の溶媒の含有量が高く、乾燥時の体積収縮が大きくなる等を引き金として、下層膜表面の形状が単純な平面では無く、複雑な凹凸が出来やすい為であろうと予想された。
複雑な凹凸形状を有する基板を使用した多層レジスト法による微細パターン形成ほど、レジスト下層膜の平坦性の精度が最終製品の性能に反映され易い為、重要な課題と成り得る。
加えてEUV露光を採用したリソグラフィーでは、露光波長が現在主流のArFドライの193nmあるいはArF液浸の134nmから短くなるため焦点深度が浅くなり、最上層レジスト表面の僅かな凹凸が正確なパターン形成に悪影響を与えてしまう。したがって、レジスト表面の平坦性の重要度がさらに増すと考えられる。
また、本発明は、凹凸構造への埋め込み性に優れ、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を複雑な形状の基板上に形成できる下層膜形成用樹脂材料を提供するものである。
本発明の構成であれば、G'とG"の交点温度が特定の温度範囲の要件を満たすので、下記の推定理由により、課題を解決できると考えられる。
下層膜をスピンコートなどで形成する場合、膜形成工程における高温乾燥工程において、膜表面に流動性が生じ、膜材料の表面張力と、重力等の影響により、溶媒揮発による体積収縮が引き起こす下層膜表面凹凸が緩和されて、平面形状に近づく傾向がある。このため、表面精度の高い下層膜を安定的に製造することができる。
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用樹脂材料であって、
環状オレフィンポリマー(I)を含み、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、上記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用樹脂材料。
[2]
上記[1]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、上記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が60℃以上200℃以下である下層膜形成用樹脂材料。
[3]
上記[1]または[2]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]を有する下層膜形成用樹脂材料。
[4]
上記[3]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]をさらに有する下層膜形成用樹脂材料。
[5]
上記[4]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記環状オレフィンポリマー(I)における上記構造単位[A]と上記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用樹脂材料。
[6]
上記[1]乃至[5]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記環状オレフィンポリマー(I)とは異なる熱可塑性樹脂(II)をさらに含む下層膜形成用樹脂材料。
[7]
上記[6]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記熱可塑性樹脂(II)が芳香環構造を有する有機ポリマーおよび(メタ)アクリルポリマーから選択される少なくとも一種を含む下層膜形成用樹脂材料。
[8]
上記[6]または[7]に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記下層膜形成用樹脂材料における上記環状オレフィンポリマー(I)と上記熱可塑性樹脂(II)との質量比(I/II)が5/95以上85/15以下である下層膜形成用樹脂材料。
[9]
上記[6]乃至[8]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記下層膜形成用樹脂材料中の上記環状オレフィンポリマー(I)および上記熱可塑性樹脂(II)の合計含有量が、上記下層膜形成用樹脂材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用樹脂材料。
[10]
上記[1]乃至[9]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法1により測定される、上記下層膜形成用樹脂材料中の揮発成分の発生量が、上記下層膜形成用樹脂材料の全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法1:上記下層膜形成用樹脂材料をテトラヒドロフランに溶解して、上記下層膜形成用樹脂材料の濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して上記下層膜形成用樹脂材料を固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で上記下層膜形成用樹脂材料を加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、上記下層膜形成用樹脂材料中の上記揮発成分の発生量を算出する)
[11]
上記[1]乃至[10]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される上記環状オレフィンポリマー(I)のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用樹脂材料。
[12]
上記[1]乃至[11]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法2により測定される、上記下層膜形成用樹脂材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法2:上記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を上記下層膜形成用樹脂材料の上記屈折率(n値)とする)
[13]
上記[1]乃至[12]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法3により測定される、上記下層膜形成用樹脂材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法3:上記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた上記コート膜の消衰係数(k値)を上記下層膜形成用樹脂材料の上記消衰係数(k値)とする)
[14]
上記[1]乃至[13]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
凹凸構造を有する基板の上記凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用樹脂材料。
[15]
上記[1]乃至[14]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
上記下層膜形成用樹脂材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、上記下層膜形成用樹脂材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用樹脂材料。
[16]
上記[1]乃至[15]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜。
[17]
上記[1]乃至[15]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含む塗膜を基板上に形成する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。
[18]
上記[17]に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
上記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の製造方法。
[19]
基板と、
上記基板の一方の面に形成された、上記[1]乃至[15]のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。
[20]
上記[19]に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、上記表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、上記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする)
[21]
上記[19]または[20]に記載の積層体において、
上記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上500nm以下である積層体。
(ここで、上記レジスト下層膜の上記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、上記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする)
[22]
上記[19]乃至[21]のいずれか一つに記載の積層体において、
上記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
上記凹凸構造上に上記レジスト下層膜が形成されており、
上記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
また、本発明の下層膜形成用樹脂材料は、凹凸構造への埋め込み性に優れ、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を複雑な形状の基板上に形成することができる。
さらに、本発明の下層膜形成用樹脂材料は、疎密パターンにおける膜厚差が小さくシリコンウェハー面内の凸パターン上の膜厚均一性に優れたレジスト下層膜を複雑な形状の基板上に形成することができる。
本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用樹脂材料であって、環状オレフィンポリマー(I)を含み、レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃(あるいは50〜250℃)、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、上記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である(図1および図2参照)。
すなわち、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、凹凸構造を有する基板の凹凸構造上に形成され、かつ、上記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜を形成するために特に好適に用いることができる。
貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点の下限値は40℃以上であるが、好ましくは60℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは75℃以上、特に好ましくは80℃以上である。
また、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点の上限値は200℃以下であるが、好ましくは195℃以下、より好ましくは190℃以下、さらに好ましくは180℃以下、さらにより好ましくは150℃以下、特に好ましくは140℃以下である。
貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点が上記範囲であると、半導体デバイス製造工程で通常用いられる200〜250℃の加熱条件において、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、基板表面の凹凸構造を均一に埋め込むために必要な適度な流動性を示すことができる。
また、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点が上記下限値以上であると、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料の流動性を抑制でき、その結果、基板の凹凸表面での引けを抑制でき、ボイド等の欠陥を抑制しながら、基板の凹凸表面を均一な状態で埋め込むことができる。
より詳しく説明すると、下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が上記範囲内であれば、下層膜をスピンコートなどで図3−1に示すような基板上に形成する場合、膜形成工程における高温乾燥工程において、下層膜形成用樹脂材料の溶融流動性が好適な範囲にあり、溶媒揮発による体積収縮が引き起こす下層膜表面凹凸が緩和するように樹脂が流動し、平面形状に近づく傾向がある。このため、表面精度の高い下層膜を上記凹凸構造7上に形成することができる。
本実施形態で用いられる環状オレフィンポリマー(I)は、室温〜50℃、好ましくは室温で有機溶媒に溶解する重合体であれば特に制限されない。有機溶媒として好ましいのは、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒および環状炭化水素系溶媒からなる群から選ばれる溶媒である。より好ましいのはアルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒であり、更に好ましくはエーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒である。特に好ましいのは、ポリエーテルモノエステル構造を有する溶媒である。
本実施形態に係る環状オレフィンポリマー(I)としてより具体的には、ノルボルナン骨格やテトラシクロドデカン骨格を有する環状オレフィンポリマーを好ましい例として挙げることができる。また、上記の有機溶媒に含まれるようなヘテロ原子を有する置換基を含むことが好ましい。ヘテロ原子を含む置換基としては例えばアルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシアルキル基、アリールオキシアルキル基、アルコキシカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルアリールアミノカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アリールオキシカルボニルアルキル基、アルコキシアルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基等を好ましい例として挙げる事が出来る。特に好ましい置換基としては上記のようなエステル基である。
本実施形態に係る環状オレフィンポリマー(I)の他の例としては、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]を有することが好ましく、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有することがより好ましい。
本実施形態に係る環状オレフィンポリマー(I)は、広い範囲のガラス転移温度を有するものが存在する。好ましくは40〜220℃であり、より好ましくは50〜220℃であり、さらに好ましくは60〜200℃であり、さらにより好ましくは70〜180℃である。
本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料が、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]および下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマー(I)を含むことで、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに、より一層平坦性に優れ、加熱による揮発分の発生量もより一層抑制されたレジスト下層膜を形成することができる。
繰返し構造単位[A]や繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマー(I)は後述する熱可塑性樹脂(II)との相溶性に優れると考えられるため、平坦化効果等に優れた下層膜形成材料を得るのに有利な場合がある。特に環状オレフィンポリマー(I)のガラス転移温度が高い場合であっても、優れた平坦化効果を示す場合がある。熱可塑性樹脂(II)と組み合わせて用いる場合の高いガラス温度の範囲として、好ましくは120℃以上200℃以下である。好ましい下限値は、125℃以上、さらに好ましくは128℃以上である。好ましい上限値は、190℃以下、さらに好ましくは180℃以下である。
本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、繰返し構造単位[B]を含む環状オレフィンポリマー(I)を用いることが特に好ましい。
本発明者らは、環状オレフィンポリマー(I)の組成が上記範囲内であれば、ポリマー主鎖の酸素や硫黄等の元素の密度が好適な範囲になり、基板の凹凸構造を埋め込む際の基板界面との適度な密着性を発現でき、ボイド等の発生をより一層抑制でき、より高い平坦性を維持しながら良好な状態の埋め込み性を実現できると考えている。また、環状オレフィンポリマー(I)の主鎖に酸素や硫黄等の元素が存在することによる基板との相互作用は、環状オレフィンポリマー(I)が微細な凹凸構造に侵入するためのドライビングフォースとなっている可能性があるとも推測している。
これらの中でも、上記一般式(1)のR1〜R4としてはアルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキル基、アルコキシカルボニルアリール基、アルコキシアルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基、γ−ブチロラクトン環、無水マレイン酸、マレイミド環が好ましい。
また、X1は、酸素および硫黄から選ばれる元素由来の構造を意味する。好ましくは酸素由来の構造である。前述の通り、このX1が上記の規定を満たす一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を有する環状オレフィンポリマー(I)を含む本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、基板の凹凸構造を埋め込む際の基板界面との適度な密着性を発現でき、ボイド等の発生を抑制でき、高い平坦性を維持しながら良好な状態の埋め込み性を実現できると考えている。また、環状オレフィンポリマー(I)の主鎖に酸素や硫黄等の元素が存在することによる基板との相互作用は、環状オレフィンポリマー(I)が微細な凹凸構造に侵入するためのドライビングフォースとなっている可能性があるとも推測している。
ブチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニルメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2
.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=0である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソブトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルブトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルペントキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−フェノキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル
−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)
、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、R1〜R4が互いに結合して環構造を形成している場合、n=0である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オン)、ポリ(4−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)が好ましい。
ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、ポリ(8−ジメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ジエチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エチルメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メチルブチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ブチルエチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(8−メチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ブチルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルエチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルエチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1
〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニルメチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エト
キシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R1〜R4のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマ
ンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、n=1である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソブトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペン
チルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−フェノキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオ
キシ)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]において、R1〜R4が互いに結合して環構造を形成している場合、n=1である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4−オキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3−オン)、ポリ(4−オキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)が好ましい。
)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、(5−ジメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ジエチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メチルブチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルエチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルエチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(5−フェノキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニルメチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフト
キシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(5−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビ
シクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=0である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(5−メトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソブトキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルブトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルペントキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルフェニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−メトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシカルボニルナフチル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−フェノキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ベンジルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシク
ロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−メチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ナフトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アントラセノキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)ポリ(5−メトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−エトキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−
オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)、ポリ(5−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−7−オキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン)が好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、R5〜R8が互いに結合して環構造を形成している場合、n=0である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オン)、ポリ(4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン)が好ましい。
−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがジアルキルアミノカルボニル基の場合は、(5−ジメチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ジエチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−エチルメチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−メチルブチルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ブチルエチルアミノカルボニル11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−シクロヘキシルメチルアミノカルボニル11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルキルアリールアミノカルボニル基の場合は、ポリ(5−メチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−エチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−ブチルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(5−シクロヘキシルフェニルアミノカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルエチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルエチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−オクチルオキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)メチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも一つがアルコキシカルボニルアリール基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアリールオキシカルボニルアルキル基の場合は、ポリ(8−フェノキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニルメチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、
4−ジメチルフェノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニルメチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられ、R5〜R8のうち少なくとも1つがアルコキシカルボニルアルキルオキシカルボニル基の場合は、ポリ(8−メトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ
(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)等が挙げられる。
これらの中でも、本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、n=1である環状オレフィンポリマーとしては、ポリ(8−メトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソブトキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−3−メチル−3−ペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,3,3−トリメチル−2−ブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3,4−ジメチル−3−ヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルブトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルペントキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−メチル−3−ヘプチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロペンチルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロオクチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルデカヒドロナフタレン−1−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチルデカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2,7,7−トリメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−7,7−ジメチル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−メチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−エチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルフェニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、
ポリ(8−(3−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)フェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシカルボニルナフチル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(i−プロポキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルフェニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ペンチルオキシカルボニルナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−メチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2,3−ジメチル−2−ブトキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニル)ナフチル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−フェノキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ベンジルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−メチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3、4−ジメチルフェノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ナフトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アントラセノキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−メトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−エトキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−プロポキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−イソプロポキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−アダマンチルオキシメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−プロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−イソプロポキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−n−ブトキシ)エトキシカルボニル)−1
1,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−tert−ブトキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−シクロオクチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−ノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロペンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルシクロヘキシルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エチルノルボニルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシプロピルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロフラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(テトラヒドロピラン−2−イルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−アダマンチルオキシ)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(n−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロペンチル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−シクロヘキシル−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−シクロヘキシル−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−シクロヘキシル−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−ノルボルニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−ノルボルニル−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルエトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1,1−ジシクロヘキシルプロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−シクロオクチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−ノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルシクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−メチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エチルノルボニルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシプロピルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−エトキシ−1−メチルエチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロフラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−テトラヒドロピラン−2−イルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2− アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)−2−プロポキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(2−メチル−2−アダマンチルオキシカルボニル)エトキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5
.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−エチル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−イソプロピル−2−アダマンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−プロポキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(2−(1−アダマンチル)−2−ブトキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−アダマンチル)−3−ペンチルオキシカルボニルメチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−tert−ブトキシカルボニル−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(3−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−1−シクロペンチルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−tert−ブトキシカルボニル−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,5−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(5,6−ジ(tert−ブトキシカルボニル)−2−ノルボルニルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(1−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(6−tert−ブトキシカルボニル−デカヒドロナフタレン−2−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−tert−ブトキシカルボニル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)、ポリ(8−(9−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]−ドデカン−4−イルオキシカルボニル)−11,12−ジオキシ−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン)が好ましい。
さらに本実施形態に係る上記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]において、R5〜R8が互いに結合して環構造を形成している場合、n=1である環状オレフィンポリマーとして、ポリ(4,14,15−トリオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3−オン)、ポリ(4,14,15−トリオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−メチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−エチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−プロピル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(n−ブチル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(1−メチルブチル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロペンチル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−シクロヘキシル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−フェニル−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)、ポリ(4−(4−ヒドロキシフェニル)−4−アザ−14,15−ジオキシ−ペンタシクロ[9.2.1.11,7.02,6.08,13]−10−ペンタデセン−3,5−ジオン)が好ましい。
この際の水素化反応における水添率は好ましくは0.1〜100モル%であり、より好ましくは1.0〜95モル%、さらに好ましくは5〜90モル%である。
また、不均一系金属担持触媒を利用して水素添加反応を実施した場合は、合成液をろ過して金属担持触媒をろ別した後に、上記した方法でポリマーを取得することもできる。好ましくは、半導体デバイス製造工程で使用される特に金属を含まないポリマー溶液を得るためには、触媒成分を粗取りした溶液をろ過し、上記した方法でポリマーを取得してもよい。特に、触媒成分を精密ろ過することが、好適であり、ろ過フィルターの目開きは、好ましくは、10μm〜0.05μm、特に好ましくは、10μm〜0.10μm、さらに好ましくは、5μm〜0.10μmである。
本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、環状オレフィンポリマー(I)とは異なる熱可塑性樹脂(II)をさらに含むことが好ましい。これにより、例えば、図3に示すような、凸凸間の間隔6や凸部の高さ5、凸部幅8等が不均一な凹凸構造に対する埋め込み性をより一層良好にすることができる。加えて、疎密パターンにおける膜厚差が小さくシリコンウェハー面内の凸パターン上の膜厚均一性をより一層良好にすることができる。
メタクリルアミド化合物としては、例えば、メタクリルアミド、N−メチルメタクリルアミド、N−エチルメタクリルアミド、N−ベンジルメタクリルアミド、N−フェニルメタクリルアミド、N,N−ジメチルメタクリルアミド、N−アントリルアクリルアミド等が挙げられる。
スチレン化合物としては、例えば、スチレン、ヒドロキシスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン、メトキシスチレン、シアノスチレン、アセチルスチレン等が挙げられる。
マレイミド化合物としては、例えば、マレイミド、N−メチルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−ヒドロキシエチルマレイミド等が挙げられる。
また、縮重合ポリマーとしては、例えば、ポリピロメリットイミド、ポリ(p−フェニレンテレフタルアミド)、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミドが挙げられる。
アクリル酸エステル化合物またはメタクリル酸エステル化合物としては、例えば、前述した化合物を使用することができる。
上記ハロゲン原子としては、例えば、塩素原子、フッ素原子、臭素原子等が挙げられる。
加えて、一般的に、異なる2種類のポリマーを混ぜると相分離が起こってしまい、それに伴い、組成物のガラス転移温度が混ぜた2種類のポリマーのガラス転移温度に由来する2つのピークとなり下層膜形成工程でベーク条件が複雑になる、あるいは下層膜内の不均一さにより(特に酸素プラズマでの)エッチングレートが一定とならない、平坦化材としての効果でも不利となることが見込まれる、などリソグラフィー工程には適さない材料となってしまう。そのため、ArFフォトリソグラフィー工程に適している環状オレフィンポリマー(I)に、ポリヒドロキシスチレン系樹脂等の芳香環構造を有する有機ポリマーを組み合わせることは、当業者であれば通常考えないことである。
しかし、本発明者らの検討によれば、環状オレフィンポリマー(I)にポリヒドロキシスチレン系樹脂を組み合わせることによって、下層膜形成用樹脂材料のエッチング耐性やエッチングレート、屈折率(n)、減衰係数(k)等を良好に維持しながら、レオメータで測定した際の貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点の温度を適切な範囲に調整しやすくなり、その結果、例えば図3に示すような、表面に凸凸間幅や凸部の高さが不均一な凹凸構造に対する下層膜形成用樹脂材料の埋め込み性をより一層効果的に向上させることができることを見出した。
本実施形態に係る熱可塑性樹脂(II)は本発明の効果を損なわない範囲で、一種のみを使用することができ、または二種以上を組み合わせて使用することができる。
これにより、加熱溶融時のポリマーの分解に伴う揮発成分(アウトガス)の発生を抑制できるので、より一層平坦性に優れたレジスト下層膜を形成することができる。
すなわち、上層に設ける中間層やレジスト層に用いる材料とのインターミキシングを抑制でき、ボイド等の発生を抑制でき、より一層良好な状態の埋め込み性で、平坦性により一層優れたレジスト下層膜を形成することができる。
方法1:本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料をテトラヒドロフランに溶解して、上記下層膜形成用樹脂材料の濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して上記下層膜形成用樹脂材料を固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で上記下層膜形成用樹脂材料を加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、上記下層膜形成用樹脂材料中の上記揮発成分の発生量を算出する。
図4は、本発明に係る実施形態の積層体10におけるレジスト下層膜2の膜厚4、凹凸構造7の高さ5および凹凸構造7の凸凸間の間隔6を説明するための模式図である。図4に示すように、基板1に凹凸構造7がある場合は、凹部底面から表面(α)3までの高さがレジスト下層膜2の膜厚4となり、基板1に凹凸構造7がない場合は、基板1の表面から表面(α)3までの高さがレジスト下層膜2の膜厚4となる。
また、レジスト下層膜の疎密パターンにおける膜厚差の評価は、例えば、スピンコート法による塗膜形成で基板の凹凸表面を埋め、焼成後のサンプルの断面を切り出したサンプルのSEM観察による方法が用いられる。この場合、疎密パターンの切り替わり部とは、図3−2に示すように、基板上の凹凸構造のうち凸凸間幅(凹幅)=a、凸幅=bとしたとき、a+bで表されるパターンピッチ幅に対する凸凸間幅の割合[a/(a+b)]をαとし、同一基板上の凸凸間幅と凸幅の異なるパターン領域のそれぞれのαの値、α1およびα2を求める。そのα1とα2の差の絶対値が、0<|α1−α2|<1の範囲にある場合を疎密パターンの切り替わり部とする。疎密パターンの切り替わり部における膜厚差とは、上記αの値が異なる同一基板上のパターン領域において、それぞれのパターン領域で凸上表面から大気面までの膜厚を10点測定し、それぞれの平均値H1とH2を求め、2つのパターン領域の凸上平均膜厚の差の絶対値、|H1−H2|を疎密パターンの切り替わり部における膜厚差ΔFT(疎密)とする。
図3−2において、a1/(a1+b1)=α1、a2/(a2+b2)=α2、H1とH2は上記のα1とα2の領域におけるそれぞれの凸上平均膜厚であり、|H1−H2|=ΔFT(疎密)である。
この際の疎密パターンの切り替わり部における膜厚差は、小さい程、基板の凸パターン上の膜厚均一性が良好であるといえ、好ましくは0nm以上20nm以下、より好ましくは0nm以上15nm以下、さらに好ましくは0nm以上10nm以下である。これにより、中間層の有無に関わらずレジスト層の厚みをより一層均一にでき、リソグラフィーにおいて所望のパターンを再現性良く得ることができる。
下記方法2により測定される本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料の波長193nmに対する屈折率(n値)および下記方法3により測定される本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料の消衰係数(k値)は、好ましくはn値が1.5〜2.0、k値が0.0001〜0.5、より好ましくはn値が1.55〜1.95、k値が0.0001〜0.4、さらに好ましくはn値が1.6〜1.9、k値が0.0001〜0.3の範囲に制御されることで、下層膜からレジスト層への反射率を1%以下とすることができる。また、上記反射防止膜は平坦な形状であることが反射防止性能を発揮させる観点で好ましい。本実施形態であれば、上記下地膜表面を平坦な構造とすることができるので、反射防止膜を形成させるうえでも好ましい。
方法2:下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られたコート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を下層膜形成用樹脂材料の屈折率(n値)とする。
方法3:下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られたコート膜の消衰係数(k値)を下層膜形成用樹脂材料の消衰係数(k値)とする。
本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は、例えば、本実施形態に係る環状オレフィンポリマー(I)と、必要に応じて熱可塑性樹脂(II)と、を有機溶媒に溶解または分散させ、必要に応じて、所望のパターンのサイズに応じた細孔のフィルターを通して異物を除去することにより、基板上に塗布するのに好適なワニス状の下層膜形成用樹脂材料とすることができる。
有機溶媒としては、例えば、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒、炭化水素系溶媒等が挙げられる。
多官能のエポキシ化合物としては、例えば、1,7−オクタジエンジエポキシド、リモネンジオキサイド、4−ビニルシクロヘキセンジオキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ジ(3,4−エポキシシクロヘキシル)アジペート、(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル)メチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、エチレン1,2−ジ(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボン酸)エステル、3',4'−エポキシシクロヘエキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ハロゲン化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、o−、m−、p−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、多価アルコールのポリグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートといった脂環式エポキシ樹脂あるいは水添ビスフェノールAのグリシジルエーテル等のエポキシ化合物等が挙げられる。
多官能のオキセタン化合物としては、例えば、ビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、1,2−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]エタン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]プロパン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)]−2,2−ジメチル−プロパン、1,4−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ヘキサン、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,3−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,4−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、1,4−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}シクロヘキサン、4,4'−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビフェニル、4,4'−ビス{[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビシクロヘキサン、2,3−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,6−ビス[(3−メチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ベンゼン、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}シクロヘキサン、4,4'−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビフェニル、4,4'−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ビシクロヘキサン、2,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,6−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]ビシクロ[2.2.1]ヘプタン等が挙げられる。また、これらの架橋剤は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
なお、上記の環状オレフィンポリマー(I)と熱可塑性樹脂(II)の合計含有量の比率は、ワニス状態に限らず、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を形成する場合に好ましい比率であることは言うまでもない。
本実施形態に係るレジスト下層膜は、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を用いて形成することができる。
本実施形態に係るレジスト下層膜の製造方法は、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を含む塗膜を基板上に形成する工程(以下、「塗膜形成工程」ともいう)を含む。
また、必要に応じて、上記塗膜を加熱する工程(以下、「焼成工程」ともいう)をさらに含んでもよい。
また、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料は複雑な形状の基板に対する埋め込み性に優れるため、本実施形態に係るレジスト下層膜の製造方法によれば、段差を有する基板や、複数種のトレンチを有する基板等の複雑な形状の基板上に、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制されたレジスト下層膜を作製することができる。
以下、各工程について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
本工程では、本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を用いて、基板上に本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を含む塗膜を形成する。
上記基板としては、例えば、シリコンウェハー、アルミニウムウェハー、ニッケルウェハー等が挙げられる。上記基板の表面には凹凸構造が付与されていてもよい。上記凹凸構造は、例えば、シリカ(SiO2)膜、SiCN膜、シリカ(SiO2)にカーボン(C)をドープしたSiOC膜や、メチルシロキサン系有機膜(SOG)、数nm以下の微小な空孔が均一に分布したシリカ絶縁膜等の低誘電材料で被膜を形成した状態であってもよい。上記したように、本実施形態に係るレジスト下層膜の製造方法では、上記基板として、段差を有する基板や複数種のトレンチを有する基板等も好適に用いることができ、このような複雑な形状の基板を用いたとしても平坦性に優れるレジスト下層膜を形成することができる。
上記複数種のトレンチを有する基板としては、例えば、互いに異なるアスペクト比を有する基板も好適に用いることができる。上記アスペクト比は、種々の値が混在したものを用いることができ、例えば、基板のトレンチにおいて、アスペクト比における最大値と最小値の比としては、好ましくは1〜30、より好ましくは1〜25、さらに好ましくは1〜20である。
本工程においては、上記塗膜形成工程において形成した塗膜を加熱(焼成)する。この塗膜を焼成する方法としては、例えば、加熱する方法等が挙げられる。この加熱の温度は、好ましくは100℃〜400℃、より好ましくは150℃〜300℃、さらに好ましくは180℃〜250℃である。加熱時間は好ましくは5秒〜60分、より好ましくは10秒〜10分、さらに好ましくは30秒〜3分である。上記加熱における雰囲気としては、例えば、空気中;窒素ガス中、アルゴンガス中等の不活性ガス中;等が挙げられる。
焼成工程の加熱は、段階的に温度を上げる多段プロセスを用いてもよい。
形成されるレジスト下層膜の膜厚の平均値Havとしては、好ましくは5〜500nm、より好ましくは7〜450nm、さらに好ましくは10〜400nmの範囲である。
本実施形態に係る積層体は、基板(a)と、基板(a)の一方の面に形成された本実施形態に係る下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜(b)と、を備える。
基板(a)とレジスト下層膜(b)とが接触する構造であることが好ましい。
ここで、レジスト下層膜(b)およびその製造方法は、前述した本実施形態に係るレジスト下層膜およびレジスト下層膜の製造方法と同様のため、ここでの説明は省略する。
基板(a)は、平坦な表面を持つ構造であってもよいが、その片面または両面に、好ましくは5〜500nm、より好ましくは7〜450nm、さらに好ましくは10〜400nmの範囲の高さを有する凹凸構造であることが好ましい。
ここで、上記高さは、図4に示す凹凸構造7の高さ5を意味し、例えば、凹凸構造7の高さ5を任意に10点測定し、それらの平均値を採用することができる。
また、上記凹凸構造における凸凸間の間隔は、好ましくは1nm以上10mm以下である。上記凹凸構造における凸凸間の間隔の下限値は3nm以上であることがより好ましく、5nm以上であることがさらに好ましく、10nm以上であることが特に好ましい。
ここで、上記凹凸構造における凸凸間の間隔は、図4に示す凹凸構造7における凸凸間の間隔6を意味し、凹凸構造7における凸凸間の間隔6を任意に10点測定し、それらの平均値を採用することができる。
また、上記凹凸構造における凸凸間の間隔の上限値は5mm以下であることがより好ましく、1mm以下あることがさらに好ましく、0.5mm以下であることが特に好ましい。
基板(a)が上記のような凹凸構造を有する場合にレジスト下層膜(b)の効果がより顕著に発現する傾向があるので好ましい。
基板(a)の厚さの上限値は5000μm以下であることがより好ましく、3000μm以下であることがさらに好ましく、1000μm以下であることが特に好ましい。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
ここで、表面(α)の任意の10カ所において、レジスト下層膜(b)の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、レジスト下層膜(b)の膜厚の最大値をHmaxとし、レジスト下層膜(b)の膜厚の最小値をHminとする。
これにより、中間層の有無に関わらずレジスト層の厚みをより一層均一にでき、リソグラフィーにおいて所望のパターンを再現性良く得ることができる。
本実施形態に係るパターン形成方法は、例えば、本実施形態に係るレジスト下層膜の上面側に、レジストパターンを形成する工程(以下、「レジストパターン形成工程」ともいう)と、上記レジストパターンをマスクとし、上記レジスト下層膜および基板を順次エッチングする工程(以下、「エッチング工程」ともいう)とを備える。
本実施形態に係るパターン形成方法によれば、十分な光学特性およびエッチング耐性を満たすとともに平坦性に優れ、揮発分の発生量も抑制された本実施形態に係るレジスト下層膜を用いるので、良好なパターンを形成することができる。
本工程においては、上記レジスト下層膜の上面側にレジストパターンを形成する。上記レジスト下層膜の上面側に中間層を形成し、この中間層の上面側にレジストパターンを形成してもよい。
さらには、本実施形態の下層膜の上に形成する中間層は、反射防止層とハードマスク層の何れか、または両方を備えた構成であってもよく、層構成は、本実施形態の下層膜の直上には反射防止層を形成しても、ハードマスク層を形成してもよい。レジスト材料、加工基板等の材料の特性や、生産性を考慮して好適に選ばれる。
上記中間層は、有機化合物や無機酸化物により形成することができる。上記有機化合物としては、例えば、DUV−42、DUV−44、ARC−28、ARC−29(何れも、Brewer Science社製)や、AR−3、AR−19(何れも、ロームアンドハース社製)等が挙げられる。また、上記無機酸化物としては、例えば、NFC SOGシリーズ(JSR社製)、CVD法により形成されるポリシロキサン、酸化チタン、酸化アルミナ、酸化タングステン等を用いることができる。
また、中間層の膜厚は特に限定されず、中間層に求められる機能に応じて適宜選択されるが、好ましくは1nm〜5μm、より好ましくは5nm〜3μm、さらに好ましくは10nm〜0.3μmの範囲である。
上記レジスト下層膜または中間層の上面側にレジストパターンを形成する方法としては、例えば、フォトリソグラフィーを用いる方法等が挙げられる。この方法について、以下、具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
本工程では、レジスト組成物を用い、レジスト下層膜の上面側にレジスト膜を形成する。具体的には、得られるレジスト膜が所定の膜厚となるようにレジスト組成物を塗布した後、プリベークすることによって塗膜中の溶媒を揮発させ、レジスト膜が形成される。
また、プリベークの温度は、使用されるレジスト組成物の種類等に応じて適宜選択されるが、30℃〜200℃が好ましく、50℃〜150℃がより好ましい。
本工程では、上記レジスト膜形成工程で形成されたレジスト膜を露光する。この露光は、例えば、所定のマスクパターンおよび必要に応じて液浸液を介して行われる。
本工程では、上記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する。
上記現像に用いられる現像液としては、使用されるレジスト組成物の種類に応じて適宜選択される。アルカリ現像の場合、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、コリン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等のアルカリ性水溶液等が挙げられる。なお、上記中間層形成工程を行い中間層を形成しておくと、これらのアルカリ性水溶液のレジスト下層膜に対する影響を抑制することができる。
これらのアルカリ性水溶液には、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類等の水溶性有機溶媒や、界面活性剤を適量添加することもできる。
上記現像液を用いて現像した後、洗浄し、乾燥することによって、所定のレジストパターンが形成される。
本工程においては、上記レジストパターンをマスクとし、上記レジスト下層膜および基板を順次エッチングする。これにより、基板にパターンが形成される。なお、中間層を形成した場合は、さらに中間層もエッチングする。
本工程では、上記エッチング工程により基板にレジストパターンを転写・形成後に、不要となったレジスト下層膜を除去する。
除去方法は、ドライ法でもよいし、溶剤等を用いるウェット法でもよく、材料の物性やプロセス適応性を考慮して好適に選ばれ、ドライとウェットの方法を併用して用いてもよい。
ドライ法の場合、上記エッチング工程で用いられるドライエッチング装置を使用することができる。従って、エッチング工程から下層膜材料の除去工程に移行する際、製造ラインを変更する必要性がなく、生産性の観点からドライ法が好ましく用いられる。
下層膜材料の除去工程においてドライエッチング装置を使用する際のガスソースとしては、被エッチング物の元素組成により好適に選ばれ、例えば、O2、CO、CO2等の酸素原子を含むガス;He、N2、Ar等の不活性ガス;Cl2、BCl3等の塩素系ガス;CHF3、CF4等のフッ素系ガス;H2、NH3のガス等を使用することができ、上述の基板表面を皮膜した低誘電材料や、基板材料に応じてより好適に選ばれる。これらのガスは2種類以上を混合して用いることもできる。
下記の条件でゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)を使用して、テトラヒドロフラン(THF)またはトリフルオロトルエン(TFT)に溶解したポリマーの重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)を測定し、ポリスチレンスタンダードによって分子量を較正して算出した。
ポリマー試料を重水素化クロロホルムに溶解し、270MHz、1H−NMRスペクトルのケミカルシフトδ=5.0〜7.0ppm範囲で二重結合炭素の水素に帰属するピークの積分値で測定した。
島津製作所社製DSC−50を用い、測定試料を窒素雰囲下で10℃/分の昇温速度で加熱し測定した。
濃度が20質量%の下層膜形成用樹脂材料(環状オレフィンポリマー(I)、または環状オレフィンポリマー(I)と熱可塑性樹脂(II)を所定の質量比で混合した樹脂組成物)のTHF溶液を直径5mmのアルミ皿に30mg〜50mgの重量で計量し、窒素気流下で200℃で3分間焼成してTHFを除去した。次いで、室温まで冷却して重量(W0)を測定した。樹脂が固化した状態のサンプルを用いて、窒素雰囲気下で島津製作所社製TGA−60を用い、10℃/minの昇温速度で30〜300℃まで試料を加熱して、温度の上昇とともに重量を連続的に測定し、温度対重量のチャートを得た。このうち、100〜250℃の範囲での重量減少量(W1)をチャートから読み取り、下式により揮発成分の発生量を算出した。
揮発成分の発生量(質量%)=W1/W0×100
アントンパール社製MCR302(レオメータ)を使用して、窒素雰囲気下、ずりモードで測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定した。より具体的には、以下の方法により測定した。
はじめに、本実施形態の下層膜形成用樹脂材料(環状オレフィンポリマー(I)、または環状オレフィンポリマー(I)と熱可塑性樹脂(II)を所定の質量比で混合した樹脂組成物)の白色粉末粉(10mg)を、予め230℃に加熱した直径8mmの平行円盤の中心に置いた。次いで、円盤で挟み窒素雰囲気下で溶融させ、一度、30℃まで冷却した。その後、周波数1Hzのずりモードで上記の昇温速度によりサンプルを300℃まで加熱した。
得られた加熱温度と貯蔵弾性率(G')、および損失弾性率(G'')の関係をプロットしたグラフを作製し、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線との交点の温度を確認した。(図1および2参照)
基板A:基板表面に高さ200nm、凸部幅40〜800nm、凸凸間幅40〜1500nmのライン&スペースパターンが形成された、サイズが3cm×3cmのシリコン製基板を使用した。
基板B:基板表面に高さ200nm、凸部幅40nm〜1000μm、凸凸間幅40nm〜1000μmのライン&スペースパターンが形成された、サイズが3cm×3cmのシリコン製基板を使用した。
焼成工程までを実施し、上記シリコン製基板Aの凹凸表面上にレジスト下層膜を形成したサンプルを割り、断面観察用の面出しを実施した。その後、日本分光社製走査型電子顕微鏡JSM−6701F(以下、SEMと表記する。)を使用して、高さ200nm、凸部幅120nm、凸凸間幅40nmの基板断面を観察して埋め込み性を以下の基準で評価した。
均一:SEMにより断面を観察した結果、ボイド等の欠陥がない状態。
不均一:SEMにより断面を観察した結果、ボイド等の欠陥がある状態。
上記の埋め込み性を評価した基板Aの断面のレジスト下層膜の膜厚を10点計測し、平均値をHavとした。次いで、10点計測した高さのうち最大高さ(Hmax)と最小高さ(Hmin)のそれぞれの値から以下の式により、平坦性の指標を示す平坦度を算出した。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
上記シリコン製基板Bの凹凸表面上にレジスト下層膜を形成したサンプルを割り、断面観察用の面出し後、SEMを使用して、凹凸に疎密があるライン&スペースが図3−2のように形成された部分の膜厚差を計測して評価した。図3−2中、a1=900μm、b1=800nm、a2=40nm、b2=800nmである。それぞれのパターン領域で凸上表面から大気面までの膜厚を10点測定し、それぞれの平均値H1とH2を求め、2つのパターン領域の凸上平均膜厚の差の絶対値ΔFT(疎密)=|H1−H2|を算出し、以下の基準で評価した。
◎:ΔFT(疎密)の値が0nm以上10nm以下の場合
○:ΔFT(疎密)の値が11nm以上20nm以下の場合
×:ΔFT(疎密)の値が21nm以上の場合
日本セミラボ株社製分光エリプソメーターGES5Eを使用して、温度:23〜25℃、湿度:50〜55%の環境で、シリコンウェハーに250nmの厚みでコートした20mm×20mmのサイズの測定サンプルを用いて任意の3点を測定した。測定結果から、波長193nmの屈折率(n値)と消衰係数(k値)を算出し3点の平均値からn値およびk値をそれぞれ求めた。
ここで、測定サンプルは以下の方法により作製した。
本実施形態の下層膜形成用樹脂材料として、環状オレフィンポリマー(I)を用いた場合、環状オレフィンポリマー(I)を濃度10質量%で溶解したプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(以下、PGMEAと表記する。)溶液を調製し、得られた溶液を4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。室温へ冷却後、サンプルを20mm×20mmのサイズで切り出し測定用のサンプルとした。
また、本実施形態の下層膜形成用樹脂材料として、環状オレフィンポリマー(I)と熱可塑性樹脂(II)とを所定の質量比で混合した樹脂組成物を用いた場合、本実施形態の下層膜形成用樹脂材料を濃度10質量%で、PGMEAとシクロヘキサノン(以下、CHと表記する。)の質量比がPGMEA/CH=50/50である混合溶媒に溶解した溶液を調製し、得られた溶液を4インチのシリコンウェハーにスピンコートした。次いで、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。室温へ冷却後、サンプルを20mm×20mmのサイズで切り出し測定用のサンプルとした。
アルバック社製RIH1515Z 並行平板型プラズマ処理装置を用いた。まず、チャンバー内にサンプルを入れ、チャンバー内を1Pa以下に減圧し、次いで、チャンバー内にCHF3ガスを30sccmで導入し、チャンバー内の圧力を7Paに保持した。その後、13.56MHz高周波電力を印加してプラズマ放電を行い、プラズマエッチング処理した。プラズマエッチング処理は30秒間、60秒間および90秒間実施した。
日本セミラボ(株)社製分光エリプソメーターGES5Eを使用して、エッチング後の基板の表面の膜厚を3点測定し、平均値から膜厚を算出した。次いで、エッチング前後の膜厚から、エッチングによる膜厚の減少量を算出し、横軸に時間(sec)、縦軸に減少膜厚量(nm)をプロットした。得られたグラフの傾きから、エッチングレート(nm/sec)を算出した。
基板表面に高さ200nm、凸部幅100nm、凸凸間幅100nmのライン&スペースパターンが形成されたサイズが3cm×3cmのシリコン製基板上に、本実施形態に係るレジスト下層膜を形成した。
上記シリコン製基板の凹凸表面上にレジスト下層膜を形成したサンプルを割り、その内の片方のサンプル片を下層膜材料の除去前の断面観察用としSEMにより観察を行った。
上記サンプル片のもう片方のサンプル片を使用してO2エッチングによる下層膜材料の除去特性評価を以下の方法で実施した。
下層膜材料の除去特性評価は、上記プラズマエッチング特性評価で使用したものと同じプラズマ処理装置を用いた。まず、チャンバー内にサンプルを入れ、チャンバー内を1Pa以下に減圧し、次いで、チャンバー内にO2ガスを30sccmで導入し、チャンバー内の圧力を7Paに保持した。その後、13.56MHz高周波電力を印加してプラズマ放電を行い、プラズマエッチング処理した。プラズマエッチング処理は60秒間実施した。
上記のプラズマエッチング処理後、下層膜材料の除去後の断面観察をSEMにより行い、プラズマエッチング前後のSEM観察像を比較し下層膜材料の除去特性を評価した。
窒素雰囲気下、磁気攪拌装置を備えた5Lのオートクレーブ内で、構造単位[A]を有するテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンを320g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを21g(0.25mol)をテトラヒドロフラン(以下、THFと記す)3.4kgに溶解し攪拌を行った。
これに開環メタセシス重合触媒としてMo(N−2,6−Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2を612mg(0.8mmol)加え、60℃で3時間反応させた。その後、n−ブチルアルデヒド173mg(2.4mmol)を加えて冷却して、開環メタセシス重合体溶液4.0kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5700、Mw/Mn=1.61、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー1のガラス転移温度は151℃であった。
また、ポリマー1の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー1の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は173℃であった(図1参照)。
エリプソメーターで測定したポリマー1の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.08であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは213nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは230nmであり、ポリマー1の疎密パターンにおける膜厚差は17nmであった。
また、ポリマー1を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
構造単位[A]を有するモノマーを8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液2.5kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6300、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー2のガラス転移温度は150℃であった。
また、ポリマー2の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー2の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は167℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー2の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.04であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは216nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは232nmであり、ポリマー2の疎密パターンにおける膜厚差は16nmであった。
また、ポリマー2を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
構造単位[A]を有するモノマーを8−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセンに変更した以外は、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.1kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7200、Mw/Mn=1.50、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー3のガラス転移温度は130℃であった。
また、ポリマー3の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー3の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は151℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー3の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー3は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化したポリマー3の層の厚み(Hav)は302nmであり、最大高さ(Hmax)は303nm、最小高さ(Hmin)は301nmであり、平坦度(ΔFT)は0.7%であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは211nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは224nmであり、ポリマー3の疎密パターンにおける膜厚差は13nmであった。
また、ポリマー3を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
構造単位[A]を有する8−メトキシカルボニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン437g(2mol)、構造単位[B]を有する4−フェニル−4−アザ−10−オキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3,5−ジオン121g(0.5mol)、および1,5−ヘキサジエン21g(0.25mol)をTHF3.7kgに溶解し、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.2kgを得た。
次いで、得られた開環メタセシス重合体溶液に、水素添加触媒として含水率50.7%の5%Rhカーボン11.4g(乾燥質量5.6g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100モル%、Mw=7800、Mw/Mn=1.57、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=80/20であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、乾燥して白色粉末固体(ポリマー4)を得た。
ポリマー4のガラス転移温度は172℃であった。
また、ポリマー4の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー4の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は190℃であった。
エリプソメーターで測定したポリマー4の屈折率(n値)は1.71であり、消衰係数(k値)は0.09であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは219nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは237nmであり、ポリマー4の疎密パターンにおける膜厚差は18nmであった。
また、ポリマー4を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
環状オレフィンポリマー(I)として実施例1で得られたポリマー1および熱可塑性樹脂(II)としてポリヒドロキシスチレン(Polysciences社製、製品名:Poly(4−vinylphenol)、スチレン換算の重量平均分子量:5300)を質量比50/50で混合し、樹脂組成物1を得た。
樹脂組成物1を用いて、上記の揮発成分の評価方法と同様な方法で作製した測定用のサンプルのガラス転移温度は105℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、樹脂組成物1の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は124℃であった(図2参照)。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物1の屈折率(n値)は1.97であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは225nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは230nmであり、、樹脂組成物1の疎密パターンにおける膜厚差は5nmであった。
また、樹脂組成物1を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
ポリマー1の代わりに、実施例2で得られたポリマー2を用いた以外は実施例5と同様な方法で樹脂組成物2を作製した。樹脂組成物2のガラス転移温度は107℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
樹脂組成物2の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は122℃であった。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物2の屈折率(n値)は1.94であり、消衰係数(k値)は0.05であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは225nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは232nmであり、樹脂組成物2の疎密パターンにおける膜厚差は7nmであった。
また、樹脂組成物2を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
ポリマー1の代わりに、実施例3で得られたポリマー3を用いた以外は実施例5と同様な方法で樹脂組成物3を作製した。樹脂組成物3のガラス転移温度は102℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
樹脂組成物3の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は118℃であった。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物3の屈折率(n値)は1.85であり、消衰係数(k値)は0.04であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは219nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは225nmであり、樹脂組成物3の疎密パターンにおける膜厚差は6nmであった。
また、樹脂組成物3を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
ポリマー1の代わりに、実施例4で得られたポリマー4を用いた以外は実施例5と同様な方法で樹脂組成物4を作製した。樹脂組成物4のガラス転移温度は132℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
樹脂組成物4の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は150℃であった。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物4の屈折率(n値)は1.81であり、消衰係数(k値)は0.08であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは220nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは228nmであり、樹脂組成物4の疎密パターンにおける膜厚差は8nmであった。
また、樹脂組成物4を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
構造単位[A]を有するビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを188g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを36g(0.44mol)をTHF2.8kgに溶解し、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.3kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=6800、Mw/Mn=2.84、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー5のガラス転移温度は72℃であった。
また、ポリマー5の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー5の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は84℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー5をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー5の屈折率(n値)は1.68であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは220nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは226nmであり、ポリマー5の疎密パターンにおける膜厚差は6nmであった。
また、ポリマー5を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
実施例9で得られたポリマー5を7質量%の濃度でPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製した以外は、実施例9と同様な方法で上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー5をコ−トしたサンプルを作製した。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、ポリマー5は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測した何れの計測値も208nmであり、平坦度(ΔFT)は0.0%であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは208nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは208nmであり、ポリマー5の疎密パターンにおける膜厚差は0nmであった。
また、ポリマー5を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
実施例9で得られたポリマー5を20質量%の濃度でPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、600rpm、10secの条件で塗布した以外は、実施例9と同様な方法で上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー5をコ−トしたサンプルを作製した。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは1622nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは1622nmであり、ポリマー5の疎密パターンにおける膜厚差は0nmであった。
また、ポリマー5を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表1に示す。
構造単位[A]を有する5−(1−エチルシクロペンチルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを469g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを42g(0.51mol)をTHF3.8kgに溶解し、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.5kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5600、Mw/Mn=1.92、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー6のガラス転移温度は56℃であった。
また、ポリマー6の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー6の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は76℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー6をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー6の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは213nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは218nmであり、ポリマー6の疎密パターンにおける膜厚差は5nmであった。
また、ポリマー6を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表2に示す。
構造単位[A]を有する5−(1−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル)−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを469g(2mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを304g(2mol)、および1,5−ヘキサジエンを42g(0.51mol)をTHF3.8kgに溶解し、実施例1と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液4.5kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=7300、Mw/Mn=2.17、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー7のガラス転移温度は58℃であった。
また、ポリマー7の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー7の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は81℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー7をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー7の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは216nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは223nmであり、ポリマー7の疎密パターンにおける膜厚差は7nmであった。
また、ポリマー7を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表2に示す。
実施例3で得られた開環メタセシス重合体溶液4.0kgに、水素添加触媒として含水率50.3%の5%Ruカーボン34g(乾燥重量16.9g)、含水率50.7%の5%Rhカーボン1.8g(乾燥質量0.89g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100%、Mw=9600、Mw/Mn=2.07、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
次いで、実施例1と同様な方法で析出、80℃で減圧乾燥して白色粉末固体(ポリマー8)を得た。
ポリマー8のガラス転移温度は91℃であった。
また、ポリマー8の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー8の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は112℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー8をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー8の屈折率(n値)は1.66であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは221nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは228nmであり、ポリマー8の疎密パターンにおける膜厚差は8nmであった。
また、ポリマー8を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表2に示す。
実施例9で得られた開環メタセシス重合体溶液3.0kgに、水素添加触媒として含水率50.3%の5%Ruカーボン64g(乾燥重量31.8g)、含水率50.7%の5%Rhカーボン3.5g(乾燥質量1.7g)を加え、水素圧5MPa、100℃で12時間水素添加反応を行った。得られたポリマーは、水素添加率=100%、Mw=10400、Mw/Mn=3.18、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=50/50であった。
ポリマー9のガラス転移温度は45℃であった。
また、ポリマー9の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー9の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は50℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー8をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー9の屈折率(n値)は1.64であり、消衰係数(k値)は0.01であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは211nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは216nmであり、ポリマー9の疎密パターンにおける膜厚差は5nmであった。
また、ポリマー9を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表2に示す。
構造単位[A]を有するビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンを75g(0.8mol)、構造単位[B]を有する4,10−ジオキシ−トリシクロ[5.2.1.02,6]−8−デセン−3−オンを487g(3.2mol)に変更した以外は、実施例5と同様な方法で、開環メタセシス重合体溶液3.3kgを得た。得られたポリマーは、重合率=100%、Mw=5900、Mw/Mn=2.32、1HNMRで解析した構造単位[A]と構造単位[B]のモル比は[A]/[B]=20/80であった。
ポリマー10のガラス転移温度は68℃であった。
また、ポリマー10の揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
また、ポリマー10の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は82℃であった。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面にポリマー10をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定したポリマー10の屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは217nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは221nmであり、ポリマー10の疎密パターンにおける膜厚差は4nmであった。
また、ポリマー10を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表2に示す。
実施例5におけるポリマー1とポリヒドロキシスチレンの混合質量比を60/40に変更した以外は実施例5と同様な方法で樹脂組成物5を作製した。樹脂組成物5のガラス転移温度は127℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
樹脂組成物5の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は145℃であった。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物5の屈折率(n値)は1.78であり、消衰係数(k値)は0.06であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは232nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは240nmであり、樹脂組成物5の疎密パターンにおける膜厚差は8nmであった。
また、樹脂組成物5を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
ポリヒドロキシスチレンの代わりに、熱可塑性樹脂(II)としてポリメチルメタクリレートを用いた以外は実施例5と同様な方法で樹脂組成物6を作製した。樹脂組成物6のガラス転移温度は110℃であり、さらに揮発成分の発生量は0.0質量%であった。
樹脂組成物6の固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度は135℃であった。
エリプソメーターで測定した下層膜形成用樹脂組成物6の屈折率(n値)は1.80であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは227nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは233nmであり、樹脂組成物6の疎密パターンにおける膜厚差は6nmであった。
また、樹脂組成物6を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
実施例14で得られたポリマー8を10質量%と、架橋剤として3',4'−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(EEC)を0.3質量%の濃度で溶解したPGMEAとシクロヘキサノンの質量比がPGMEA/シクロヘキサノン=5/5となるよう溶液を調製し、樹脂組成物7を作製した。
上記の環状オレフィンポリマーが極性変化を起す温度は、G'とG''の交点の温度に比して十分に高いことが分かっているので、上記環状オレフィンポリマー8と架橋剤とからなる樹脂組成物7のG'とG''の交点の温度も同様の値であるとみなして構わない。
次いで、実施例1と同様な方法で、上記のシリコン基板AおよびBの凹凸面に樹脂組成物7をコ−トしたサンプルを作製した。
エリプソメーターで測定した屈折率(n値)は1.67であり、消衰係数(k値)は0.02であった。
SEMにより基板Aの断面を観察した結果、樹脂組成物7は凸凸間の狭線幅40nm(高さ200nm)の溝に対してボイド等の欠陥無く均一に埋め込まれていた。さらに、凹部底面から大気面までの距離を10点計測して平均化した樹脂組成物7の層の厚み(Hav)は313nmであり、最大高さ(Hmax)は313nm、最小高さ(Hmin)は312nmであり、平坦度(ΔFT)は0.3%であった。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは239nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは244nmであり、樹脂組成物7の疎密パターンにおける膜厚差は5nmであった。
また、樹脂組成物7を用いて各評価をおこなった。得られた結果を表3に示す。
固体粘弾性測定の結果から算出される貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が255℃であるノボラック樹脂KA1165(DIC社製)を10質量%で溶解したシクロヘキサノン溶液を調製し、実施例1と同様な方法でシリコン基板AおよびBの凹凸表面にスピンコートし、200℃で3分間焼成した。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは213nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは275nmであり、ノボラック樹脂の疎密パターンにおける膜厚差は62nmであった。得られた結果を表2に示す。
メチルメタクリレートを10質量%で溶解したシクロヘキサノン溶液に光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノー1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンをメチルメタクリレートに対して2質量%溶解した溶液を調製した。
次いで実施例1と同様な方法でシリコン基板AおよびBの凹凸表面にスピンコートし、サンプルを作製した。
次いで、1000mJ/cm2の照射量でUV照射して塗布膜を硬化させた。
またSEMにより基板Bの断面を観察した結果、a1=900μm、b1=800nm領域におけるH1層の厚みは242nm、a2=40nm、b2=800nm領域におけるH2層の厚みは315nmであり、ポリメチルメタクリレート樹脂の疎密パターンにおける膜厚差は73nmであった。得られた結果を表2に示す。
実施例1、実施例2、実施例3、実施例4、実施例9、実施例12、実施例13、実施例14、実施例15および実施例16で合成したポリマー1、ポリマー2、ポリマー3、、ポリマー4、ポリマー5、ポリマー6、ポリマー7、ポリマー8、ポリマー9およびポリマー10をそれぞれ10質量%で溶解したPGMEA/シクロヘキサノン=50/50にとなるよう調整した溶液をシリコンウェハーに塗布し、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。次いで、それぞれのサンプルをCHF3ガス雰囲気下で30秒間、60秒間および90秒間ドライエッチングした。エッチング前後の膜厚から、エッチングによる膜厚の減少量を算出し、横軸に時間(sec)、縦軸に減少膜厚量(nm)をプロットした。得られたグラフの傾きから各サンプルのエッチングレート(nm/sec)を算出した。
また、実施例5、実施例6、実施例7、実施例8、実施例17、実施例18および実施例19で作製した樹脂組成物1、樹脂組成物2、樹脂組成物3、樹脂組成物4、樹脂組成物5、樹脂組成物6および樹脂組成物7をそれぞれ10質量%で溶解したPGMEA/シクロヘキサノン=50/50にとなるよう調整した溶液をシリコンウェハーに塗布し、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。次いで、それぞれのサンプルをCHF3ガス雰囲気下で30秒間、60秒間および90秒間ドライエッチングした。エッチング前後の膜厚から、エッチングによる膜厚の減少量を算出し、横軸に時間(sec)、縦軸に減少膜厚量(nm)をプロットした。得られたグラフの傾きから各サンプルのエッチングレート(nm/sec)を算出した。
ポリマー1が4.5であり、ポリマー2が5.0であり、ポリマー3が5.0であり、ポリマー4が5.5であり、ポリマー5が4.3であり、ポリマー6が4.5であり、ポリマー7が5.1であり、ポリマー8が5.2であり、ポリマー9が5.1であり、ポリマー10が4.3であり、いずれのポリマーもSiO2に対して高いエッチング耐性を示した。
また、樹脂組成物1が3.0であり、樹脂組成物2が2.5であり、樹脂組成物3が2.7であり、樹脂組成物4が3.5であり、樹脂組成物5が3.2であり、樹脂組成物6が2.7であり、樹脂組成物7が5.2であり、いずれの樹脂組成物もSiO2に対して高いエッチング耐性を示した。
実施例1から実施例4、実施例9および実施例12から実施例16で合成したポリマー1からポリマー10、実施例5から実施例8および実施例17から実施例19で作製した樹脂組成物1から樹脂組成物7をそれぞれPGMEA/シクロヘキサノン=50/50に10質量%で溶解させた溶液を基板表面に高さ200nm、凸部幅100nm、凸凸間幅100nmのライン&スペースパターンを形成したシリコン基板表面に塗布し、窒素雰囲気下200℃で3分間焼成した。次いで、それぞれのサンプルを割り、その内の片方を用いて下層膜材料の除去前のSEM観察を行い、もう片方を用いてO2ガス雰囲気下で60秒間ドライエッチングして下層膜材料を除去した。次いで、除去後のSEM観察を行った。
下層膜材料の除去前後のSEM観察像の比較から、ポリマー1からポリマー10、また樹脂組成物1から樹脂組成物7の何れにおいても基板上にポリマー残渣なく除去されていた。図5にポリマー1についてO2エッチングによる除去前後のSEM観察像を示す。
比較としてSi上の置換基がプロポキシメタクリレートであるシロキサン樹脂を用いて、上記と同様な方法で下層膜材料の除去特性評価を実施したところ、SEM観察で基板上にポリマー残渣が確認され、さらにエッチング時間を180秒まで伸ばしてもポリマー残渣なく除去することはできなかった。
1.
多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用樹脂材料であって、
環状オレフィンポリマー(I)を含み、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲50〜250℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が60℃以上200℃以下である下層膜形成用樹脂材料。
2.
1.に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]を有する下層膜形成用樹脂材料。
3.
2.に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]をさらに有する下層膜形成用樹脂材料。
4.
3.に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)における前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用樹脂材料。
5.
1.乃至4.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)とは異なる熱可塑性樹脂(II)をさらに含む下層膜形成用樹脂材料。
6.
5.に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記熱可塑性樹脂(II)が芳香環構造を有する有機ポリマーおよび(メタ)アクリルポリマーから選択される少なくとも一種を含む下層膜形成用樹脂材料。
7.
5.または6.に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記下層膜形成用樹脂材料における前記環状オレフィンポリマー(I)と前記熱可塑性樹脂(II)との質量比(I/II)が5/95以上95/5以下である下層膜形成用樹脂材料。
8.
1.乃至7.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法1により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料中の揮発成分の発生量が、前記下層膜形成用樹脂材料の全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法1:前記下層膜形成用樹脂材料をテトラヒドロフランに溶解して、前記下層膜形成用樹脂材料の濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して前記下層膜形成用樹脂材料を固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で前記下層膜形成用樹脂材料を加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、前記下層膜形成用樹脂材料中の前記揮発成分の発生量を算出する)
9.
1.乃至8.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される前記環状オレフィンポリマー(I)のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用樹脂材料。
10.
1.乃至9.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法2により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法2:前記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記下層膜形成用樹脂材料の前記屈折率(n値)とする)
11.
1.乃至10.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法3により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法3:前記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記下層膜形成用樹脂材料の前記消衰係数(k値)とする)
12.
1.乃至11.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料において、
凹凸構造を有する基板の前記凹凸構造上に形成され、かつ、前記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用樹脂材料。
13.
1.乃至12.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜。
14.
1.乃至12.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含む塗膜を基板上に形成する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。
15.
14.に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
前記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の製造方法。
16.
基板と、
前記基板の一方の面に形成された、1.乃至12.のいずれか一つに記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。
17.
16.に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、前記表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする)
18.
16.または17.に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上500nm以下である積層体。
(ここで、前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする)
19.
16.乃至18.のいずれか一つに記載の積層体において、
前記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
前記凹凸構造上に前記レジスト下層膜が形成されており、
前記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
Claims (22)
- 多層レジストプロセスに用いられるレジスト下層膜を形成するための下層膜形成用樹脂材料であって、
環状オレフィンポリマー(I)を含み、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が40℃以上200℃以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
レオメータを用いて、窒素雰囲気下、ずりモード、測定温度範囲30〜300℃、昇温速度3℃/min、周波数1Hzの条件で測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の固体粘弾性における、貯蔵弾性率(G')曲線と損失弾性率(G'')曲線の交点を示す温度が60℃以上200℃以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1または2に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]を有する下層膜形成用樹脂材料。
- 請求項3に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)は下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]をさらに有する下層膜形成用樹脂材料。
- 請求項4に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)における前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比[A]/[B]が5/95以上95/5以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記環状オレフィンポリマー(I)とは異なる熱可塑性樹脂(II)をさらに含む下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項6に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記熱可塑性樹脂(II)が芳香環構造を有する有機ポリマーおよび(メタ)アクリルポリマーから選択される少なくとも一種を含む下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項6または7に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記下層膜形成用樹脂材料における前記環状オレフィンポリマー(I)と前記熱可塑性樹脂(II)との質量比(I/II)が5/95以上85/15以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項6乃至8のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記下層膜形成用樹脂材料中の前記環状オレフィンポリマー(I)および前記熱可塑性樹脂(II)の合計含有量が、前記下層膜形成用樹脂材料の全体を100質量%としたとき、50質量%以上100質量%以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法1により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料中の揮発成分の発生量が、前記下層膜形成用樹脂材料の全体を100質量%としたとき、0.0質量%以上1.0質量%以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法1:前記下層膜形成用樹脂材料をテトラヒドロフランに溶解して、前記下層膜形成用樹脂材料の濃度が20質量%の溶液を作製し、得られた溶液をアルミ皿に計量し、次いで、窒素気流下、200℃で3分間加熱してテトラヒドロフランを除去し、次いで、室温まで冷却して前記下層膜形成用樹脂材料を固化し、窒素雰囲気下で、30〜300℃の温度範囲、10℃/minの昇温速度で前記下層膜形成用樹脂材料を加熱し、100〜250℃の範囲における重量減少量から、前記下層膜形成用樹脂材料中の前記揮発成分の発生量を算出する) - 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーを用いて測定される前記環状オレフィンポリマー(I)のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上20000以下である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法2により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の波長193nmにおける屈折率(n値)が1.5以上2.0以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法2:前記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の波長193nmにおける屈折率(n値)を前記下層膜形成用樹脂材料の前記屈折率(n値)とする) - 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
下記方法3により測定される、前記下層膜形成用樹脂材料の消衰係数(k値)が0.0001以上0.5以下である下層膜形成用樹脂材料。
(方法3:前記下層膜形成用樹脂材料からなる厚み250nmのコート膜をシリコンウェハー上に形成し、得られた前記コート膜の消衰係数(k値)を前記下層膜形成用樹脂材料の前記消衰係数(k値)とする) - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
凹凸構造を有する基板の前記凹凸構造上に形成され、かつ、前記凹凸構造における凹部を埋めるための下層膜に用いられる下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1乃至14のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料において、
前記下層膜形成用樹脂材料に含まれるポリマー成分の全含有量を100質量部としたとき、前記下層膜形成用樹脂材料中の架橋剤の含有量が5質量部未満である下層膜形成用樹脂材料。 - 請求項1乃至15のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜。
- 請求項1乃至15のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料を含む塗膜を基板上に形成する工程を含むレジスト下層膜の製造方法。
- 請求項17に記載のレジスト下層膜の製造方法において、
前記塗膜を加熱する工程をさらに含むレジスト下層膜の製造方法。 - 基板と、
前記基板の一方の面に形成された、請求項1乃至15のいずれか一項に記載の下層膜形成用樹脂材料を含むレジスト下層膜と、
を備える積層体。 - 請求項19に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)における下記式により算出される平坦度(△FT)が0%以上5%以下である積層体。
平坦度(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(ここで、前記表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最大値をHmaxとし、前記レジスト下層膜の膜厚の最小値をHminとする) - 請求項19または20に記載の積層体において、
前記レジスト下層膜の膜厚の平均値Havが5nm以上500nm以下である積層体。
(ここで、前記レジスト下層膜の前記基板とは反対側の表面(α)の任意の10カ所において、前記レジスト下層膜の膜厚を測定し、それらの平均値をHavとする) - 請求項19乃至21のいずれか一項に記載の積層体において、
前記基板は少なくとも一方の表面に凹凸構造を有し、
前記凹凸構造上に前記レジスト下層膜が形成されており、
前記凹凸構造は、高さが5nm以上500nm以下であり、凸凸間の間隔が1nm以上10mm以下である積層体。
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