CN111183395A - 下层膜形成用树脂材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法及层叠体 - Google Patents

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Abstract

本发明的下层膜形成用树脂材料是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用树脂材料，其包含环状烯烃聚合物(I)，使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。

Description

下层膜形成用树脂材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造 方法及层叠体
技术领域
本发明涉及下层膜形成用树脂材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法以及层叠体。
背景技术
半导体器件的制造中，为了获得高集成度，使用了多层抗蚀剂工艺。在该工艺中，一般而言，首先使用下层膜形成用材料在基板上形成抗蚀剂下层膜，接着，在抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂层，经由烧成、曝光，形成抗蚀剂图案。然后，通过蚀刻将上述抗蚀剂图案转印至抗蚀剂下层膜，将抗蚀剂下层膜图案转印至基板，从而能够获得所期望的图案。
作为基板，不仅使用平坦形状的基板，而且使用具有为了形成更复杂的电路而事先形成了大的电路形状的凹凸结构的基板，对尺寸大小大的电路形状进行进一步加工，形成微细的电路的多图案形成(multi-patterning)法被导入至最先进的电路形成工艺中。
对于这样的多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，要求对于具有凹凸结构的基板的凹凸部的埋入性，涂布抗蚀剂一侧的表面的平坦性，适度的折射率、消光系数等光学特性，良好的蚀刻耐性等特性。
近年来，为了进一步提高集成度，图案的微细化进一步发展。为了应对该微细化，对于下层膜形成用材料所使用的化合物等的结构、官能团等进行了各种研究(例如，参照专利文献1)。
另一方面，在用于获得高集成度的图案形成的微细化时，在目前主流的使用ArF准分子激光的光刻工序中，来自半导体基板的漫反射、驻波的影响成为大问题。为了解决该问题，作为下层膜所要求的功能的一部分，广泛研究了赋予了防反射功能的材料。作为将该防反射功能赋予至下层膜的形式，例如，研究了下述形式：利用某种材料填埋基板表面的凹凸结构，在带有平坦性的层上设置防反射膜(BARC：底部抗反射涂层(Bottom Anti-Reflective Coating))的形式；对于填埋基板表面的凹凸结构的材料本身赋予防反射功能的形式等。
特别是，对于前者的防反射膜的形成材料，从其使用的容易性等考虑，对于包含具有吸光部位的聚合物等的有机防反射膜进行了大量的研究。例如，专利文献2中公开了一种抗蚀剂下层膜(防反射膜)，其不与形成于上层的抗蚀剂膜互混，在使用ArF准分子激光进行曝光的情况下，能够获得所期望的光学常数(折射率、消光系数)，并且能够获得对于抗蚀剂膜大的干蚀刻速度的选择比。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-177668号公报
专利文献2：国际公开第2009/008446号
发明内容
发明所要解决的课题
最近，使用具有多种沟槽(trench)特别是具有彼此不同的长宽比的沟槽的基板，即，使用具有更微细的凹凸结构的基板，通过利用多层抗蚀剂法进行的多图案形成来形成微细图案的情况逐渐增加。在这样的情况下，关于最上层所形成的抗蚀剂层，为了将中间掩模(reticle)上的图案进行准确地转印，要求高度的平坦性。近年的图案微细化的潮流中，为了避免抗蚀剂显影工序中的图案倒塌，抗蚀剂层的膜厚逐渐薄膜化，抗蚀剂层变得更加强烈地受到下层膜的平坦性的影响。因此，对于上述那样的在树脂一般难以侵入的表面结构的基板上形成的抗蚀剂下层膜，要求其为充分地填埋这些沟槽的抗蚀剂下层膜，并且具有高平坦性。进一步，可以认为优选是在涂布后的烘烤工序中不产生挥发成分(释气)的材料。
根据本发明人等的研究，可知以往的抗蚀剂下层膜形成用材料有难以实现在满足平坦性要求的同时不产生挥发成分的材料的倾向。
此外，近年来，使用同一基板上混合存在微细凹凸图案处于“疏”的区域和处于“密”的区域的状态(称为具有疏密的图案)的基板，通过一次的曝光-显影工序并利用多层抗蚀剂法一举形成多种微细图案的情况增多。在这样的情况下，对于抗蚀剂下层膜，要求从图案处于“疏”的区域向处于“密”的区域的切换的部分是平坦的，没有凸图案上的膜厚差。如上述那样，最上层的抗蚀剂层膜厚正在薄膜化，正在成为在疏密的切换区域中的膜厚差易于直接关系到抗蚀剂层的膜厚差的状况。在抗蚀剂层的平坦性并不充分的情况下，曝光工序中形成焦点对不准的区域，难以在基板整面上形成精确的图案。因此，对于上述那样的通常在疏密图案混合存在的基板上形成的抗蚀剂下层膜，要求在基板整面的范围内凸上图案上的膜厚均匀。
根据本发明人等的研究可知，对于以往的抗蚀剂下层膜形成用材料而言，存在难以实现在基板整面的范围内凸上图案上的膜厚均匀的材料的倾向。
通过本发明人等的研究可知，如果利用例如旋转涂布等溶液浇铸法使以往的下层膜形成在上述那样的基板上，则特别是在基板的凹凸形状复杂且凸凸间隔宽，凹上图案部的深度深，并且基板上混合存在凹凸形状疏的区域和密的区域的情况下，有时表面上易于残留微细的凹凸。预测这可能是因为越是凸凸间隔宽，凹图案部的深度深的部位，干燥前的溶剂的含量就越高，干燥时的体积收缩越大等，由此导致下层膜表面的形状不呈单纯的平面，而易于形成复杂的凹凸。
越是由使用了具有复杂的凹凸形状的基板的多层抗蚀剂法进行的微细图案形成，则抗蚀剂下层膜的平坦性的精度就越易于被反映到最终制品的性能上，因此可能成为重要的课题。
另一方面，在作为另一微细加工技术的采用了EUV(极紫外线的简称，波长13.5nm)曝光的光刻中，虽然没有来自基板的反射，但是特别是除了以往的埋入性以外，还存在形成EUV光的高能量射线曝光用抗蚀剂下层膜的材料的挥发成分(释气)产生成为大问题的可能性。
而且，对于采用了EUV曝光的光刻而言，由于曝光波长与现在主流的ArF干式(dry)的193nm或ArF液浸式的134nm相比变短，因此焦深变浅，最上层抗蚀剂表面的极少的凹凸会对于精确的图案形成带来不良影响。因此，认为抗蚀剂表面的平坦性的重要度进一步增加。
本发明是鉴于上述情况而提出的，其提供一种下层膜形成用树脂材料，其能够实现在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。此外，提供一种疏密图案中的膜厚差小，硅晶片面内的凸图案上的膜厚均匀性也优异的下层膜形成用树脂材料。
此外，本发明提供一种下层膜形成用树脂材料，其能够在复杂形状的基板上形成对于凹凸结构的埋入性优异、在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
用于解决课题的方法
根据本发明，提供以下所示的下层膜形成用树脂材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法以及层叠体。
如果是本发明的构成，G’与G”的交点温度就满足特定的温度范围的要件，因此基于下述推定理由，认为能够解决课题。
在利用旋转涂布等来形成下层膜的情况下，在膜形成工序中的高温干燥工序中，在膜表面产生流动性，存在由于膜材料的表面张力和重力等的影响，使得因溶剂挥发而产生的体积收缩所引起的下层膜表面凹凸得以缓和，接近于平面形状的倾向。因此，能够稳定地制造表面精度高的下层膜。
[1]
一种下层膜形成用树脂材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含：环状烯烃聚合物(I)，
使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
[2]
根据上述[1]所述的下层膜形成用树脂材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为60℃以上200℃以下。
[3]
根据上述[1]或[2]所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]。
[化1]
Figure BDA0002438225870000051
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[4]
根据上述[3]所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)进一步具有下述通式(2)所示的重复结构单元[B]。
[化2]
Figure BDA0002438225870000052
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
[5]
根据上述[4]所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
[6]
根据上述[1]～[5]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其进一步包含与上述环状烯烃聚合物(I)不同的热塑性树脂(II)。
[7]
根据上述[6]所述的下层膜形成用树脂材料，
上述热塑性树脂(II)包含选自具有芳香环结构的有机聚合物和(甲基)丙烯酸聚合物中的至少一种。
[8]
根据上述[6]或[7]所述的下层膜形成用树脂材料，
上述下层膜形成用树脂材料中的上述环状烯烃聚合物(I)与上述热塑性树脂(II)的质量比(I/II)为5/95以上85/15以下。
[9]
根据上述[6]～[8]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将上述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，上述下层膜形成用树脂材料中的上述环状烯烃聚合物(I)和上述热塑性树脂(II)的合计含量为50质量％以上100质量％以下。
[10]
根据上述[1]～[9]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将上述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的、上述下层膜形成用树脂材料中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下。
(方法1：将上述下层膜形成用树脂材料溶解于四氢呋喃，制作上述下层膜形成用树脂材料的浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温以固化上述下层膜形成用树脂材料，在氮气气氛下，以30～300℃的温度范围、10℃/min的升温速度对上述下层膜形成用树脂材料进行加热，由100～250℃的范围中的重量减少量算出上述下层膜形成用树脂材料中的上述挥发成分的产生量)
[11]
根据上述[1]～[10]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物(I)的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
[12]
根据上述[1]～[11]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法2测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述下层膜形成用树脂材料的上述折射率(n值))
[13]
根据上述[1]～[12]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法3测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述下层膜形成用树脂材料的上述消光系数(k值))
[14]
根据上述[1]～[13]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
[15]
根据上述[1]～[14]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将上述下层膜形成用树脂材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，上述下层膜形成用树脂材料中的交联剂的含量小于5质量份。
[16]
一种抗蚀剂下层膜，其包含上述[1]～[15]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
[17]
一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括：在基板上形成包含上述[1]～[15]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料的涂膜的工序。
[18]
根据上述[17]所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对上述涂膜进行加热的工序。
[19]
一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于上述基板的一个面且包含上述[1]～[15]中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
[20]
根据上述[19]所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
(这里，在上述表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin)
[21]
根据上述[19]或[20]所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上500nm以下。
(这里，在上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)
[22]
根据上述[19]～[21]中任一项所述的层叠体，
上述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在上述凹凸结构上形成有上述抗蚀剂下层膜，
上述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。
发明的效果
根据本发明，能够提供一种下层膜形成用树脂材料，其能够实现在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，本发明的下层膜形成用树脂材料能够在复杂形状的基板上形成对于凹凸结构的埋入性优异、在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
进一步，本发明的下层膜形成用树脂材料能够在复杂形状的基板上形成疏密图案中的膜厚差小、且硅晶片面内的凸图案上的膜厚均匀性优异的抗蚀剂下层膜。
附图说明
上述目的以及其他目的、特征和优点通过以下所述的合适的实施方式以及其附带的以下附图来进一步明确。
[图1]是表示实施例1所记载的聚合物1的固体粘弹性测定中的储能弹性模量(G’)曲线、损耗弹性模量(G”)曲线以及它们的交点的图。
[图2]是表示实施例5所记载的树脂组合物1的固体粘弹性测定中的储能弹性模量(G’)曲线、损耗弹性模量(G”)曲线以及它们的交点的图。
[图3]是用于说明本发明涉及的实施方式的凸凸间的间隔、凸部的高度、凸部宽度不均匀的凹凸结构的示意图。
[图4]是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体中的抗蚀剂下层膜的厚度、凹凸结构的高度和凹凸结构的凸凸间的间隔的示意图。
[图5]是表示利用O2蚀刻进行了下层膜材料的除去特性评价的聚合物1除去前后的SEM观察图像的图。
具体实施方式
以下，对于本发明的实施方式进行说明。另外，数值范围的“A～B”只要没有特别限定，就表示A以上B以下。
＜下层膜形成用树脂材料＞
本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用树脂材料，其包含环状烯烃聚合物(I)，使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃(或50～250℃)、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下(参照图1和图2)。
本发明人等认为：如果下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度在上述范围内，则下层膜形成用树脂材料的熔融流动性处于适当的范围内，其结果是在填埋基板的凹凸结构时能够抑制空隙等的产生，能够一边维持高平坦性一边实现良好状态的埋入性。
即，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料形成于具有凹凸结构的基板的凹凸结构上，并且能够特别适合形成用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜。
这里，储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点能够作为表示物质(也称为树脂)的流变性的变化的标准来使用。一般而言，在直至交点的升温过程中，物质显示作为弹性体的特性，树脂不流动。然后，通过经过交点而将物质进一步加热至高温，从而显示作为粘性流体的特性，树脂流动。即，储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点具有表示本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的熔融流动性这样的技术上的意义。
储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的下限值为40℃以上，优选为60℃以上，更优选为70℃以上，进一步优选为75℃以上，特别优选为80℃以上。
此外，储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的上限值为200℃以下，优选为195℃以下，更优选为190℃以下，进一步优选为180℃以下，进一步更优选为150℃以下，特别优选为140℃以下。
如果储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点为上述范围，则在半导体器件制造工序中通常所使用的200～250℃的加热条件下，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料能够显示出为了均匀地填埋基板表面的凹凸结构所需要的适度的流动性。
即，如果储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点为上述上限值以下，则本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料显示作为粘性流体的特性，树脂流动，能够一边进一步抑制空隙等缺陷，一边将基板的凹凸表面以均匀的状态填埋。
此外，如果储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点为上述下限值以上，则能够抑制本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的流动性，其结果是能够抑制在基板的凹凸表面处的缩痕，能够一边抑制空隙等缺陷，一边将基板的凹凸表面以均匀的状态填埋。
这里，如图3所示那样，在基板1具有凸凸间的间隔6、凸部的高度5、凸部宽度8等为不均匀的凹凸结构7的情况下，抗蚀剂下层膜2的膜厚易于变得不均匀。然而，根据本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，即使在这样的凸凸间的间隔6、凸部的高度5，凸部宽度8等为不均匀的凹凸结构7的情况下，也能够在上述凹凸结构7上形成在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
更详细地说明的话，如果下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度在上述范围内，则在利用旋转涂布等在图3-1所示那样的基板上形成下层膜的情况下，存在如下倾向：在膜形成工序中的高温干燥工序中，下层膜形成用树脂材料的熔融流动性处于适当的范围内，树脂以缓和因溶剂挥发而产生的体积收缩所引起的下层膜表面凹凸的方式进行流动，接近于平面形状。因此，能够在上述凹凸结构7上形成表面精度高的下层膜。
所谓本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，是指在半导体器件的制造工序中，用于形成配置于抗蚀剂层与基板(优选为具有凹凸结构的基板)之间的层的材料。配置于抗蚀剂层与基板之间的层通常以光刻工艺中转印掩模的图案的由抗蚀剂材料形成的抗蚀剂层作为基准而被称为抗蚀剂下层膜。上述基板的与抗蚀剂下层膜相接的表面可以为例如二氧化硅(SiO2)膜、SiCN膜、在二氧化硅(SiO2)中掺杂有碳(C)的SiOC膜、甲基硅氧烷系有机膜(SOG)、均匀地分布有数nm以下的微小孔隙的二氧化硅绝缘膜等由低介电材料形成了被膜的状态。
(环状烯烃聚合物(I))
本实施方式所使用的环状烯烃聚合物(I)只要是在室温～50℃，优选为室温下溶解于有机溶剂的聚合物，就没有特别限制。作为有机溶剂，优选为选自由醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂和环状烃系溶剂所组成的组中的溶剂。更优选为醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂，进一步优选为醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂。特别优选为具有聚醚单酯结构的溶剂。
作为本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)，更具体而言，可举出具有降冰片烷骨架、四环十二烷骨架的环状烯烃聚合物作为优选例。此外，优选包含具有上述有机溶剂所包含那样的杂原子的取代基。作为包含杂原子的取代基，可举出例如烷氧基、芳氧基、烷氧基烷基、芳氧基烷基、烷氧基羰基、二烷基氨基羰基、芳氧基羰基、烷基芳基氨基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、芳氧基羰基烷基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基等作为优选例。作为特别优选的取代基，为上述那样的酯基。
作为本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)的其他例，优选具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]，更优选具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)中存在具有宽范围的玻璃化转变温度的环状烯烃聚合物。优选为40～220℃，更优选为50～220℃，进一步优选为60～200℃，进一步更优选为70～180℃。
本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料通过包含具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物(I)，从而能够形成在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性进一步优异、且因加热而产生的挥发成分的产生量也进一步得以抑制的抗蚀剂下层膜。
认为具有重复结构单元[A]、重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物(I)与后述的热塑性树脂(II)的相容性优异，因此有时对于获得平坦化效果等优异的下层膜形成材料而言是有利的。特别是，有时即使在环状烯烃聚合物(I)的玻璃化转变温度高的情况下，也显示优异的平坦化效果。作为与热塑性树脂(II)组合使用的情况下的高玻璃化转变温度的范围，优选为120℃以上200℃以下。优选的下限值为125℃以上，进一步优选为128℃以上。优选的上限值为190℃以下，进一步优选为180℃以下。
本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料特别优选使用包含重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物(I)。
在本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的情况下，环状烯烃聚合物(I)中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]优选为5/95以上95/5以下，更优选为7/93以上93/7以下，进一步优选为10/90以上90/10以下。
本发明人等认为如果环状烯烃聚合物(I)的组成处于上述范围内，则聚合物主链的氧、硫等元素的密度处于适当的范围内，能够表现出填埋基板的凹凸结构时与基板界面的适度密合性，能够进一步抑制空隙等的产生，能够一边维持更高的平坦性一边实现良好状态的埋入性。此外，还推测：因在环状烯烃聚合物(I)的主链上存在氧、硫等元素而带来的与基板的相互作用可能会成为用于环状烯烃聚合物(I)侵入至微细的凹凸结构的驱动力。
本实施方式中，通式(1)所示的重复结构单元[A]与通式(2)所示的重复结构单元[B]由下式表示。这里，下述通式(1)和通式(2)中，主链部分的虚线表示构成双键的一个共价键，或者表示双键被氢化而构成双键的一个共价键消失了的状态。
[化3]
Figure BDA0002438225870000141
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20(优选为碳原子数2～10)的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30(优选为碳原子数3～20)的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30(优选为碳原子数4～20)的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化4]
Figure BDA0002438225870000142
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20(优选为碳原子数2～10)的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30(优选为碳原子数3～20)的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30(优选为碳原子数4～20)的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
作为上述通式(1)的R1～R4中的碳原子数1～10的烷基，可举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、正戊基、环戊基、环己基、环辛基等。作为碳原子数为6～20的芳基，可举出例如，苯基、萘基、蒽基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、联苯基、苯酚基等。作为碳素原子数1～10的烷氧基，可举出例如，甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、环戊氧基、环己基氧基、环辛基氧基等。作为碳原子数为6～20的芳氧基，可举出例如，苯氧基、萘氧基、蒽氧基、邻甲基苯氧基、间甲基苯氧基、对甲基苯氧基、4-氧-1,1’-联苯基、4-羟基苯氧基等。作为碳原子数2～10的烷氧基烷基，可举出例如，甲氧基甲基、甲氧基乙基、乙氧基甲基、乙氧基乙基、正丙氧基甲基、异丙氧基甲基、正丁氧基甲基、异丁氧基甲基、叔丁氧基甲基、环戊基氧基甲基、环己基氧基甲基、环辛基氧基甲基等。作为碳原子数7～20的芳氧基烷基，可举出例如，苯氧基甲基、萘氧基甲基、蒽氧基甲基、邻甲基苯氧基甲基、间甲基苯氧基甲基、对甲基苯氧基甲基、4-氧-1,1’-联苯基甲基、4-羟基苯氧基甲基等。作为碳原子数2～20的烷氧基羰基，可举出例如，甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、正丁氧基羰基、异丁氧基羰基、叔丁氧基羰基、正戊基氧基羰基、环戊基氧基羰基、正己基氧基羰基、环己基氧基羰基、3-甲基丁氧基羰基、2-甲基戊氧基羰基、3-甲基戊氧基羰基、4-甲基戊氧基羰基、1-乙基环戊基氧基羰基、1-甲基环己基氧基羰基、降冰片烷基氧基羰基、金刚烷基氧基羰基等。作为碳原子数3～10的二烷基氨基羰基，可举出例如，二甲基氨基羰基、二乙基氨基羰基、乙基甲基氨基羰基、甲基丁基氨基羰基、丁基乙基氨基羰基、环己基甲基氨基羰基等。作为碳原子数7～20的芳氧基羰基，可举出例如，苯氧基羰基、苄氧基羰基、4-甲基苯氧基羰基、3,4-二甲基苯氧基羰基、1-萘氧基羰基、2-萘氧基羰基、1-蒽氧基羰基等。作为碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基，可举出例如，甲基苯基氨基羰基、乙基苯基氨基羰基、丁基苯基氨基羰基、环己基苯基氨基羰基等。作为碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基，可举出例如，甲氧基羰基甲基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基甲基、乙氧基羰基乙基、正丙氧基羰基甲基、异丙氧基羰基甲基、正丁氧基羰基甲基、叔丁氧基羰基甲基、正戊基氧基羰基甲基、环戊基氧基羰基甲基、正己基氧基羰基甲基、环己基氧基羰基甲基、正辛基氧基羰基甲基、环辛基氧基羰基甲基、1-乙基环戊基氧基羰基甲基、1-甲基环己基氧基羰基甲基等。作为碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基，可举出例如，甲氧基羰基苯基、甲氧基羰基-邻甲苯基、甲氧基羰基-间甲苯基、甲氧基羰基-对甲苯基、甲氧基羰基二甲苯基、甲氧基羰基-α-萘基、甲氧基羰基-β-萘基、乙氧基羰基苯基、丙氧基羰基苯基、丁氧基羰基苯基、乙氧基羰基苯基、正丙氧基羰基苯基、异丙氧基羰基苯基、正丁氧基羰基苯基、叔丁氧基羰基苯基、正戊基氧基羰基苯基、环戊基氧基羰基苯基、正己基氧基羰基苯基、环己基氧基羰基苯基、正辛基氧基羰基苯基、环辛基氧基羰基苯基、1-乙基环戊基氧基羰基苯基、1-甲基环己基氧基羰基苯基、甲氧基羰基萘基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基萘基、正丙氧基羰基萘基、异丙氧基羰基萘基、正丁氧基羰基萘基、叔丁氧基羰基萘基、正戊基氧基羰基萘基、环戊基氧基羰基萘基、正己基氧基羰基萘基、环己基氧基羰基萘基、正辛基氧基羰基萘基、环辛基氧基羰基萘基、1-乙基环戊基氧基羰基萘基、1-甲基环己基氧基羰基萘基等。作为碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基，可举出例如，苯氧基羰基甲基、苄氧基羰基甲基、4-甲基苯氧基羰基甲基、3,4-二甲基苯氧基羰基甲基、1-萘氧基羰基甲基、2-萘氧基羰基甲基、1-蒽氧基羰基甲基等。作为碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基，可举出例如，甲氧基甲基氧基羰基、乙氧基甲基氧基羰基、正丙氧基甲基氧基羰基、异丙氧基甲基氧基羰基、正丁氧基甲基氧基羰基、叔丁氧基甲基氧基羰基、环戊基氧基甲基氧基羰基、环己基氧基甲基氧基羰基、环辛基氧基甲基氧基羰基、降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基、1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基、1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基、1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基、四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基、四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基、1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基、2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基等。作为碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，可举出例如，甲氧基羰基甲基氧基羰基、乙氧基羰基甲基氧基羰基、正丙氧基羰基甲基氧基羰基、异丙氧基羰基甲基氧基羰基、正丁氧基羰基甲基氧基羰基、叔丁氧基羰基甲基氧基羰基、环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、环己基氧基羰基甲基氧基羰基、环辛基氧基羰基甲基氧基羰基、降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基、四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基、2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基等。
进一步，R1～R4可以形成环结构，具体而言，R1～R4中各自独立地或者至少2个结合，此时，可以通过-C-、-O-、-NR9-键来结合。可举出例如，环状烷基结构、环状酯结构、环状酸酐结构、环状酰胺结构、环状酰亚胺结构等。
在R1～R4中的至少2个通过-C-键来形成环状烷基结构的情况下，可举出环戊基、环己基、环戊基等。在通过-O-键来形成环状酯结构的情况下，可举出γ-丁内酯、δ-戊内酯等。在环状酸酐结构的情况下，可举出马来酸酐结构等。在通过-NR9-键来形成内酰胺环的情况下，可举出γ-内酰胺、δ-内酰胺等，在形成这些内酰胺环、作为环状酰亚胺结构的马来酰亚胺环的情况下，作为氮原子上的R9，可举出例如，碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基等。作为碳原子数1～10的烷基，可举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、正戊基、1-甲基戊基、1-乙基丁基、2-甲基己基、2-乙基己基、4-甲基庚基、环戊基、环己基、环辛基等。作为碳原子数6～20的芳基，可举出例如，苯基、萘基、蒽基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、联苯基、苯酚等。
其中，作为上述通式(1)的R1～R4，优选为烷氧基羰基、芳氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、γ-丁内酯环、马来酸酐、马来酰亚胺环。
此外，X1是指来源于选自氧和硫的元素的结构。优选为来源于氧的结构。如上所述，可以认为包含具有该X1满足上述规定的通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物(I)的本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料能够表现出填埋基板的凹凸结构时与基板界面的适度的密合性，能够抑制空隙等的产生，能够在维持高平坦性的同时实现良好状态的埋入性。此外，还推测：因在环状烯烃聚合物(I)的主链上存在氧、硫等元素而带来的与基板的相互作用可能会成为用于环状烯烃聚合物(I)侵入至微细的凹凸结构的驱动力。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)可以包含通式(1)所示的重复结构单元[A]中的R1～R4的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物的例子，在R1～R4全部为氢的情况下，可举出聚(二环[2.2.1]庚-2-烯)，在R1～R4中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(5-甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(5-苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-联苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(5-甲氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(5-苯氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(4-羟基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(5-苯基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-二甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氢-1,4-亚甲基萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(5-甲氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13 ,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物的例子，在R1～R4全部为氢的情况下，可举出聚(四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R1～R4中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(8-甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(8-苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-联苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(8-甲氧基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(8-苯氧基-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、(8-(4-羟基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出聚(8-二甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-二乙基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲基丁基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-丁基乙基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(8-甲基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-丁基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正辛基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13, 6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等。
在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氢-1,4:9,10-二亚甲基-蒽)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4-氧-五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02 ,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09 ,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11 ,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苯氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11, 7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)。
上述通式(2)中的R5～R8与上述通式(1)的R1～R4含义相同，此外，R5～R8可以形成环结构，具体而言，R5～R8中各自独立地或者至少2个结合，此时，可以通过-C-、-O-、-NR9-键结合。可举出例如，环状烷基结构、环状酯结构、环状酸酐结构、环状酰胺结构、环状酰亚胺结构等。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)可以包含通式(2)所示的重复结构单元[B]中R5～R8的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物的例子，在R5～R8中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(5-甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(5-苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-联苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(5-甲氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(5-苯氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(4-羟基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出(5-二甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氢-1,4-环氧-萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4,10-二氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(5-甲氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物的例子，在R5～R8中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(8-甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(8-苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-联苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(8-甲氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(8-苯氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出(5-二甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正辛基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)等。
在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氢-1,4:9,10-二环氧-萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4,15,16-三氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02, 7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11, 7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)例如，能够通过将以下所示的下述通式(3)所示的环状烯烃单体和下述通式(4)所示的环状烯烃单体利用开环易位聚合进行聚合而获得。
[化5]
Figure BDA0002438225870000851
上述通式(3)中，R1～R4和n与上述通式(1)含义相同。
本实施方式涉及的环状烯烃单体可以包含通式(3)所示的结构单元中的R1～R4的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
[化6]
Figure BDA0002438225870000861
上述通式(4)中，R5～R8、X1和n与上述通式(2)含义相同。
本实施方式涉及的环状烯烃单体可以包含通式(4)所示的结构单元中的R5～R8的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)进行聚合时所使用的催化剂只要是能够将上述环状烯烃单体进行开环易位聚合的催化剂，就没有特别限定，可举出例如，钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物催化剂；由有机过渡金属配位化合物与作为助催化剂的路易斯酸组合得到的开环易位催化剂等，优选使用钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物催化剂。
本实施方式中，特别是能够将含有杂原子的极性高的环状烯烃单体进行共聚。例如，在将钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物用于开环易位聚合催化剂的情况下，能够将极性高的环状烯烃单体进行高效地共聚。
作为上述有机过渡金属亚烷基配位化合物的开环易位聚合催化剂，可举出例如，W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钨系亚烷基催化剂；W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OPh)2(PMe3)(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钨系亚烷基催化剂；Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钼系亚烷基催化剂；Ru(P(C6H11)3)2(CHPh)Cl2(式中的Ph表示苯基。)等钌系亚烷基催化剂等。上述开环易位聚合催化剂可以单独使用，也可以将2种以上并用来使用。
作为将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)进行聚合时的聚合催化剂金属成分，可举出例如，钼、钨、铼、铱、钽、钌、钒、钛、钯、铑等过渡金属。优选为钼、钨、钌、铑，更优选为钼、钨。
关于聚合反应中环状烯烃单体与有机过渡金属亚烷基配位化合物的开环易位聚合催化剂的摩尔比，相对于开环易位聚合催化剂1摩尔，环状烯烃单体例如为10当量～50000当量，优选为50当量～30000当量，更优选为100当量～20000当量。
聚合反应可以以无溶剂来进行，也可以使用溶剂来进行。作为溶剂，可举出例如，四氢呋喃、二乙基醚、二丁基醚、二甲氧基乙烷、二
Figure BDA0002438225870000881
烷等醚类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷、十氢化萘等脂肪族环状烃；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等卤代烃；乙酸甲酯、乙酸乙酯等酯等。这些溶剂可以单独使用1种，也可以并用2种以上。
此外，聚合反应可以在烯烃类、二烯类等链转移剂的共存下进行。作为用作链转移剂的烯烃类，可举出例如，乙烯、丙烯、丁烯、戊烯、己烯、辛烯等α-烯烃；乙烯基三甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷、烯丙基三乙基硅烷、烯丙基三异丙基硅烷等含硅烯烃等。此外，作为二烯类，可举出例如，1,4-戊二烯、1,5-己二烯、1,6-庚二烯等非共轭系二烯。链转移剂各自可以单独使用，也可以并用2种以上。
关于共存的链转移剂的使用量，相对于环状烯烃单体1摩尔，链转移剂优选为0.001当量～1000当量，更优选为0.01当量～100当量的范围。此外，相对于开环易位聚合催化剂1摩尔，链转移剂优选为0.1当量～2000当量，更优选为1当量～1000当量的范围。通过任意地设定这些量比，从而能够调整分子量的大小。
聚合反应中的单体浓度根据环状烯烃单体的反应性、在聚合溶剂中的溶解性等而不同，因此没有特别限定，环状烯烃单体相对于溶剂1kg的浓度例如为0.001kg/kg～3kg/kg，优选为0.01kg/kg～2kg/kg，进一步优选为0.02kg/kg～1kg/kg的范围。反应温度根据环状烯烃单体和开环易位催化剂的种类、量等而不同，因此没有特别限定，例如为-30℃～150℃，优选为0℃～120℃，进一步优选为15℃～100℃。反应时间例如为1分钟～10小时，优选为5分钟～8小时，进一步优选为10分钟～6小时。
在聚合反应后，能够利用丁醛等醛类、丙酮等酮类、甲醇等醇类等来停止反应，获得环状烯烃聚合物溶液。此时，从减少所得的环状烯烃聚合物中的未聚合单体的量，进一步抑制挥发成分(释气)的产生的观点考虑，环状烯烃单体的聚合率优选为90％以上，更优选为95％以上，进一步优选为100％。
进一步，由所得的环状烯烃聚合物的溶液来取得聚合物的方法没有特别限制，可举出例如，向搅拌下的不良溶剂中排出反应溶液的方法、通过向反应溶液中吹入蒸汽的汽提等方法来使聚合物析出的方法、或者通过加热等从反应溶液将溶剂蒸发除去的方法等。
此外，本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)可以是对主链的双键进行了加氢(也称为氢化)的形式。由此，能够解开由主链的双键限制聚合物链运动的束缚，例如，能够使聚合物的玻璃化转变温度降低，将利用流变仪进行测定时的储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整为适当的范围，表现出更好的加热熔融流动性。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。
此时的氢化反应中的氢化率优选为0.1～100摩尔％，更优选为1.0～95摩尔％，进一步优选为5～90摩尔％。
用于对由开环易位聚合获得的聚合物的主链的双键部进行加氢的催化剂只要是能够加氢的催化剂，则可以是均相系金属配位化合物催化剂，也可以是非均相系的金属担载催化剂中的任一者。其中优选为能够将催化剂容易地分离的非均相系金属担载催化剂是适合的，可举出例如，活性炭担载钯、氧化铝担载钯、活性炭担载铑、氧化铝担载铑、活性炭担载钌、氧化铝担载钌等。这些催化剂能够单独使用，或者也能够将两种以上组合使用。
作为加氢所使用的溶剂，只要是将聚合物溶解并且溶剂本身不会被加氢的溶剂，就没有特别限制，可举出例如，四氢呋喃、二乙基醚、二丁基醚、二甲氧基乙烷、二
Figure BDA0002438225870000891
烷等醚类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷、十氢化萘等脂肪族环状烃；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等卤代烃；乙酸甲酯、乙酸乙酯等酯等。这些溶剂可以单独使用1种，也可以并用2种以上。此外，优选为通过使用与上述聚合反应中选用的溶剂同种的溶剂，从而能够不需要溶剂置换工序而适用适于生产率的工序。
关于上述主链的烯烃部的加氢反应，氢压力优选为常压～10MPa，更优选为0.5～8MPa，特别优选为2～5MPa。此外，反应温度优选为0～200℃的温度，更优选为室温～150℃，特别优选为50～100℃。加氢反应的实施方式没有特别限制，可举出例如，将催化剂分散或溶解于溶剂中来进行加氢的方法，将催化剂填充至柱等制成固定相而使聚合物溶液流通来进行加氢的方法等。
进一步，关于主链的烯烃部的加氢处理，可以是使加氢处理前的聚合物的聚合溶液在不良溶剂中析出，并将聚合物离析之后，再次溶解于溶剂来进行加氢处理，也可以是不从聚合溶液将聚合物离析，而利用上述氢化催化剂来进行加氢处理，没有特别限制。
加氢后，特别是在优选使用活性炭担载铑、活性炭担载钌等非均相系金属担载催化剂时由聚合物溶液来取得聚合物的方法没有特别限制，可举出例如，利用过滤、离心分离、倾析等方法取得不含催化剂的聚合物溶液，向搅拌下的不良溶剂排出反应溶液的方法；通过向反应溶液中吹入蒸汽的汽提等方法来使聚合物析出的方法；或者通过加热等从反应溶液将溶剂蒸发除去的方法等。
此外，在利用非均相系金属担载催化剂来实施加氢反应的情况下，还能够在将合成液过滤来将金属担载催化剂过滤分离之后，利用上述方法来取得聚合物。优选的是，为了获得半导体器件制造工序所使用的尤其不含金属的聚合物溶液，可以对于将催化剂成分粗提取后的溶液进行过滤，利用上述方法来取得聚合物。将催化剂成分进行精密过滤是特别适合的，过滤器的筛孔优选为10μm～0.05μm，特别优选为10μm～0.10μm，进一步优选为5μm～0.10μm。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)中，例如以试样浓度3.0～9.0mg/ml通过凝胶渗透色谱(GPC)测定得到的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)优选为1000～20000，更优选为1500～19000，进一步优选为2000～18000。通过使重均分子量(Mw)处于上述范围内，从而在向基板的凹凸结构的表面涂布本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料之后的烘烤工序中，在通常的半导体器件制造工序所适用的200～250℃的加热中，能够表现出更好的加热熔融流动性。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。进一步，能够在复杂形状的基板上形成疏密图案中的膜厚差小、且硅晶片面内的凸图案上的膜厚均匀性优异的抗蚀剂下层膜。
此外，成为上述范围分子量(Mw)时的重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比即分子量分布(Mw/Mn)优选为1.3～5.0，更优选为1.3～4.0，进一步优选为1.3～3.0。通过使分子量分布(Mw/Mn)处于上述范围内，从而能够进一步抑制对于烘烤工序中的加热的熔融不均，树脂更均匀地熔融。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。
(热塑性树脂(II))
本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料优选进一步包含与环状烯烃聚合物(I)不同的热塑性树脂(II)。由此，例如，能够使对于图3所示那样的、凸凸间的间隔6、凸部的高度5、凸部宽度8等不均匀的凹凸结构的埋入性变得更加良好。此外，能够使疏密图案中的膜厚差小，使硅晶片面内的凸图案上的膜厚均匀性变得更良好。
从降低下层膜形成用树脂材料的玻璃化转变温度，容易将利用流变仪测定时的储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整为适当的范围的观点考虑，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料中的环状烯烃聚合物(I)与热塑性树脂(II)的质量比(I/II)优选为5/95以上，更优选为10/90以上，进一步优选为15/85以上，优选为95/5以下，更优选为90/10以下，进一步优选为85/15以下，进一步更优选为80/20以下，进一步更优选为70/30以下，进一步更优选为63/37以下，特别优选为60/40以下。
作为热塑性树脂(II)，只要是热塑性，就没有特别限定，能够使用各种有机聚合物。作为这样的有机聚合物，例如，能够使用由加聚或缩聚等获得的聚合物。优选能够使用聚酯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、丙烯酸类聚合物、甲基丙烯酸类聚合物(也将丙烯酸类聚合物和甲基丙烯酸类聚合物合并称为(甲基)丙烯酸类聚合物。)、聚乙烯基醚、苯酚酚醛清漆、萘酚酚醛清漆、聚醚、聚酰胺、聚碳酸酯等加聚物或缩聚物。优选使用具有例如苯环、萘环、蒽环、三嗪环、喹啉环和喹喔啉环等芳香环结构作为用于调整折射率(n)和消光系数(k)等的吸光部位的有机聚合物。
作为具有芳香环结构的有机聚合物，可举出例如，包含丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸萘酯、甲基丙烯酸蒽酯、甲基丙烯酸蒽甲酯、苯乙烯、羟基苯乙烯、苄基乙烯基醚和N-苯基马来酰亚胺等加聚性单体作为其结构单元的加聚物；苯酚酚醛清漆和萘酚酚醛清漆等缩聚物。
此外，在使用加聚物作为热塑性树脂(II)的情况下，该聚合物可以为均聚物，也可以为共聚物。加聚物的制造可使用加聚性单体。作为这样的加聚性单体，可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、丙烯酰胺化合物、甲基丙烯酰胺化合物、乙烯基化合物、苯乙烯化合物、马来酰亚胺化合物、马来酸酐、丙烯腈等。
作为丙烯酸酯化合物，可举出例如，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正己酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸蒽甲酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-3-氯-2-羟基丙酯、丙烯酸-2-羟基丙酯、丙烯酸-2,2,2-三氟乙酯、丙烯酸-2,2,2-三氯乙酯、丙烯酸-2-溴乙酯、丙烯酸-4-羟基丁酯、丙烯酸-2-甲氧基乙酯、丙烯酸四氢糠酯、丙烯酸-2-甲基-2-金刚烷酯、5-丙烯酰氧基-6-羟基降冰片烯-2-羧基-6-内酯、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、丙烯酸缩水甘油酯等。
作为甲基丙烯酸酯化合物，可举出例如，甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正己酯、甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸蒽甲酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基丙酯、甲基丙烯酸-2,2,2-三氟乙酯、甲基丙烯酸-2,2,2-三氯乙酯、甲基丙烯酸-2-溴乙酯、甲基丙烯酸-4-羟基丁酯、甲基丙烯酸-2-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、甲基丙烯酸-2-甲基-2-金刚烷酯、5-甲基丙烯酰氧基-6-羟基降冰片烯-2-羧基-6-内酯、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-2-苯基乙酯、甲基丙烯酸羟基苯酯、甲基丙烯酸溴苯酯等。
作为丙烯酰胺化合物，可举出例如，丙烯酰胺、N-甲基丙烯酰胺、N-乙基丙烯酰胺、N-苄基丙烯酰胺、N-苯基丙烯酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺、N-蒽基丙烯酰胺等。
作为甲基丙烯酰胺化合物，可举出例如，甲基丙烯酰胺、N-甲基甲基丙烯酰胺、N-乙基甲基丙烯酰胺、N-苄基甲基丙烯酰胺、N-苯基甲基丙烯酰胺、N,N-二甲基甲基丙烯酰胺、N-蒽基甲基丙烯酰胺等。
作为乙烯基化合物，可举出例如，乙烯醇、2-羟基乙基乙烯基醚、甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、乙酸乙烯酯、乙烯基三甲氧基硅烷、2-氯乙基乙烯基醚、2-甲氧基乙基乙烯基醚、乙烯基萘、乙烯基蒽等。
作为苯乙烯化合物，可举出例如，苯乙烯、羟基苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯、甲氧基苯乙烯、氰基苯乙烯、乙酰苯乙烯等。
作为马来酰亚胺化合物，可举出例如，马来酰亚胺、N-甲基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-羟基乙基马来酰亚胺等。
在使用缩聚物作为热塑性树脂(II)的情况下，作为这样的聚合物，可举出例如，二醇化合物与二羧酸化合物的缩聚物等。作为二醇化合物，可举出例如，二甘醇，1,6-己二醇、丁二醇等。作为二羧酸化合物，可举出例如，琥珀酸、己二酸、对苯二甲酸、马来酸酐等。
此外，作为缩聚物，可举出例如，聚均苯四甲酰亚胺、聚(对苯二甲酰对苯二胺)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚酰胺、聚酰亚胺。
其中，从一边良好地维持本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的蚀刻耐性、折射率(n)、消光系数(k)，一边进一步容易将利用流变仪测定时的储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整成适当的范围的观点，以及半导体制造工艺导入的容易性的观点考虑，作为本实施方式涉及的热塑性树脂(II)，优选为选自具有芳香环结构的有机聚合物和(甲基)丙烯酸聚合物中的至少一种，更优选为选自(甲基)丙烯酸聚合物和聚羟基苯乙烯系树脂中的至少一种。
本实施方式涉及的(甲基)丙烯酸聚合物为至少具有来源于丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物的构成单元的聚合物。
作为丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物，例如，能够使用上述化合物。
本实施方式涉及的聚羟基苯乙烯系树脂为至少具有来源于羟基苯乙烯的构成单元的聚合物。在本实施方式中，所谓羟基苯乙烯，是包含羟基苯乙烯、结合于羟基苯乙烯的α位的氢原子被卤原子、烷基、卤代烷基等其他取代基所取代的产物、以及作为它们的衍生物的羟基苯乙烯衍生物(单体)的概念。
上述羟基苯乙烯衍生物至少维持苯环和与该苯环结合的羟基，可举出例如，结合于羟基苯乙烯的α位的氢原子被卤原子、碳原子数1～5的烷基、卤代烷基等其他取代基取代的产物、以及在羟基苯乙烯的羟基所结合的苯环上进一步结合有碳原子数1～5的烷基的产物、在该羟基所结合的苯环上进一步结合有1～2个羟基的产物(此时，羟基的数的合计为2～3。)等。这里，所谓羟基苯乙烯的α位，只要没有特别规定，就是指苯环所结合的碳原子。
作为上述卤原子，可举出例如，氯原子、氟原子、溴原子等。
本实施方式涉及的聚羟基苯乙烯系树脂中，相对于构成聚羟基苯乙烯系树脂的全部构成单元，来源于羟基苯乙烯的构成单元的比例优选为60摩尔％以上100摩尔％以下，更优选为70摩尔％以上100摩尔％以下，进一步优选为80摩尔％以上100摩尔％以下。
这里，一般而言，聚羟基苯乙烯系树脂等具有芳香环结构的有机聚合物在波长193nm时显示非常大的吸收，因此不适于光源使用波长193nm的ArF准分子激光的ArF光刻工序。因此，如果是本领域技术人员，则通常不会考虑在适于ArF光刻工序的环状烯烃聚合物(I)中组合聚羟基苯乙烯系树脂等具有芳香环结构的有机聚合物。
此外，一般而言，如果将不同的2种聚合物进行混合，则会引起相分离，与此相伴，会成为下述这样不适于光刻工序的材料：组合物的玻璃化转变温度成为来源于所混合的2种聚合物的玻璃化转变温度的2个峰而下层膜形成工序中烘烤条件变得复杂，或由于下层膜内的不均匀性而导致(特别是利用氧等离子体时的)蚀刻速率变得不一定，可预计作为平坦化材料的效果也变得不利等。因此，如果是本领域技术人员，则通常不会考虑在适于ArF光刻工序的环状烯烃聚合物(I)中组合聚羟基苯乙烯系树脂等具有芳香环结构的有机聚合物。
然而，根据本发明人等的研究发现，通过在环状烯烃聚合物(I)中组合聚羟基苯乙烯系树脂，从而一边良好地维持下层膜形成用树脂材料的蚀刻耐性、蚀刻速率，折射率(n)、消光系数(k)等，一边容易将利用流变仪测定时的储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整为适当的范围，其结果是能够进一步有效地提高下层膜形成用树脂材料对于例如图3所示那样的表面上凸凸间宽度、凸部的高度为不均匀的凹凸结构的埋入性。
本实施方式涉及的热塑性树脂(II)的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)优选为1000～100000，更优选为1000～50000，进一步优选为1000～30000。
本实施方式涉及的热塑性树脂(II)在不损害本发明的效果的范围内，能够仅使用一种，或能够组合使用两种以上。
此外，在将上述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的、本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料中的挥发成分的产生量优选为0.0质量％以上1.0质量％以下，更优选为0.0质量％以上0.7质量％以下，进一步优选为0.0质量％以上0.5质量％以下，特别优选为0.0质量％以上0.1质量％以下。
由此，能够抑制伴随加热熔融时的聚合物的分解而发生的挥发成分(释气)的产生，因此能够形成平坦性更优异的抗蚀剂下层膜。
即，能够抑制与设置在上层的中间层、抗蚀剂层中所使用的材料互混，能够抑制空隙等的产生，能够形成具有更加良好状态的埋入性、且平坦性更优异的抗蚀剂下层膜。
方法1：将本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料溶解于四氢呋喃，制作上述下层膜形成用树脂材料的浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温以固化上述下层膜形成用树脂材料，在氮气气氛下，以30～300℃的温度范围、10℃/min的升温速度对上述下层膜形成用树脂材料进行加热，由100～250℃的范围中的重量减少量算出上述下层膜形成用树脂材料中的上述挥发成分的产生量。
本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料利用差示扫描量热分析得到的玻璃化转变温度优选为40～220℃，更优选为50～220℃，进一步优选为60～200℃，进一步更优选为70～180℃。如果玻璃化转变温度为上述范围，则易于将上述储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整至上述范围内。
此外，抗蚀剂下层膜的平坦性的评价例如采用以下方法：通过利用旋转涂布法进行的涂膜形成来填埋基板的凹凸表面，切出烧成后的样品的截面，利用SEM观察该样品。在该情况下，优选能够使用以下的平坦度(ΔFT)作为表示大气面的摇摆程度的标准。首先，在基板的凹凸结构中，测定10处的从凹部底面至大气面(后述的表面(α))的高度，将平均值(Hav)设为膜厚。接着，基于计测摇摆的膜厚的最大值(Hmax)与最小值(Hmin)得到的结果，将最大值与最小值的差(Hmax-Hmin)除以膜厚的平均值而得的值[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(％)设为平坦度(ΔFT)的标准。不过，在基板没有凹凸结构时，只要将上述“从凹部底面至大气面的高度”改换为“从基板表面至大气面的高度”即可。
图4是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体10中的抗蚀剂下层膜2的膜厚4、凹凸结构7的高度5和凹凸结构7的凸凸间的间隔6的示意图。如图4所示那样，在基板1具有凹凸结构7的情况下，从凹部底面至表面(α)3的高度成为抗蚀剂下层膜2的膜厚4，在基板1不具有凹凸结构7的情况下，从基板1的表面至表面(α)3的高度成为抗蚀剂下层膜2的膜厚4。
此时的平坦度(ΔFT)优选为0～5％，更优选为0～3％，进一步优选为0～1％。由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
此外，抗蚀剂下层膜的疏密图案中的膜厚差的评价例如采用以下方法：通过利用旋转涂布法进行的涂膜形成来填埋基板的凹凸表面，切出烧成后的样品的截面，利用SEM观察该样品。在该情况下，所谓疏密图案的切换部，是指如图3-2所示那样，在基板上的凹凸结构中的凸凸间宽度(凹宽度)＝a，凸宽度＝b时，将凸凸间宽度相对于a+b所示的图案间距宽度的比例[a/(a+b)]设为α，求出同一基板上的凸凸间宽度与凸宽度不同的图案区的各个α值、α1和α2。将该α1与α2之差的绝对值处于0＜|α1-α2|＜1的范围的情况设为疏密图案的切换部。所谓疏密图案的切换部中的膜厚差，是指：在上述α值不同的同一基板上的图案区中，对于各图案区测定10处从凸上表面至大气面的膜厚，求出各自的平均值H1和H2，将2个图案区的凸上平均膜厚的差的绝对值，|H1-H2|设为疏密图案的切换部中的膜厚差ΔFT(疏密)。
图3-2中，a1/(a1+b1)＝α1，a2/(a2+b2)＝α2，H1和H2为上述α1和α2区中的各自的凸上平均膜厚，|H1-H2|＝ΔFT(疏密)。
此时的疏密图案的切换部中的膜厚差越小，则可以说基板的凸图案上的膜厚均匀性越良好，优选为0nm以上20nm以下，更优选为0nm以上15nm以下，进一步优选为0nm以上10nm以下。由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度变得更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
将波长193nm的ArF准分子激光设为光源，将光掩模的图案转印到形成于下层膜的上方的由抗蚀剂材料所形成的层上的ArF光刻工序中，有时从抗蚀剂层穿过下层膜的光在半导体基板表面反射，再次从下层膜入射至上方的抗蚀剂层。换言之，有时由于驻波的影响而产生光干扰，抗蚀剂内部所产生的酸的浓度变得不均匀，导致图案的粗糙恶化。此外，在使用具有多种沟槽，特别是具有长宽比彼此不同的沟槽的基板的情况下，有时产生下述现象：光的反射特别是在阶梯部分引起漫反射，漫反射后的光再次从下层膜入射至抗蚀剂层，导致光入射到本来应该是未曝光部的抗蚀剂层内部，由于产生的酸而使转印精度恶化。
为了防止因这些从下层膜向抗蚀剂层的驻波、漫反射而引起的图案的粗糙恶化、转印精度恶化，需要使下层膜具有作为防反射膜的功能。实用上来看，需要将从下层膜向抗蚀剂膜内的反射率抑制成1％以下。
作为使其表现出作为防反射膜的功能的具体方法，已知控制下层膜形成用树脂材料的光学常数的方法。
关于通过下述方法2测定得到的本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的对于波长193nm的折射率(n值)和通过下述方法3测定得到的本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的消光系数(k值)，通过控制在优选n值为1.5～2.0，k值为0.0001～0.5，更优选n值为1.55～1.95，k值为0.0001～0.4，进一步优选n值为1.6～1.9，k值为0.0001～0.3的范围，从而能够使从下层膜向抗蚀剂层的反射率为1％以下。此外，从发挥防反射性能的观点来看，优选上述防反射膜为平坦的形状。如果为本实施方式，则能够使上述下层膜表面成为平坦的结构，因此在形成防反射膜方面也优选。
方法2：在硅晶片上形成包含下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为下层膜形成用树脂材料的折射率(n值)。
方法3：在硅晶片上形成包含下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的涂膜的消光系数(k值)设为下层膜形成用树脂材料的消光系数(k值)。
此外，此时所使用的下层膜的膜厚(在使用没有凹凸结构的基板时，在任意10处测定从基板的上部至下层膜的表面的距离，在使用具有凹凸结构的基板的情况下，测定从基板的凹凸表面的凹部底面至下层膜的表面的距离)的平均值Hav(这里，在抗蚀剂下层膜的与基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)优选为5～500nm，更优选为7～450nm，进一步优选为10～400nm的范围。在处于上述n值和k值的范围以及下层膜的厚度的范围内的情况下，在ArF光刻工序中，能够获得光掩模的图案不粗糙，精度良好地转印的加工基板。
＜清漆状的下层膜形成用树脂材料的调制＞
关于本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，例如，通过使本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)和根据需要的热塑性树脂(II)溶解或分散于有机溶剂中，根据需要，使其通过与所期望的图案的尺寸相应的细孔的过滤器来除去异物，从而能够制成适合涂布于基板上的清漆状的下层膜形成用树脂材料。
作为此时所使用的有机溶剂，只要是能够将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物(I)和根据需要的热塑性树脂(II)溶解或分散的溶剂，就没有特别限定。
作为有机溶剂，可举出例如，醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂、烃系溶剂等。
作为醇系溶剂，可举出例如，甲醇、乙醇、异丙醇、4-甲基-2-戊醇、正己醇等碳原子数1～18的脂肪族一元醇系溶剂；环己醇等碳原子数3～18的脂环式一元醇系溶剂；1,2-丙二醇、1,3-丁二醇等碳原子数2～18的多元醇系溶剂；2-甲氧基乙醇、3-甲氧基丙醇、丙二醇单甲基醚、3-甲氧基丁醇、丙二醇-正丙基醚、二甘醇单乙基醚、丙二醇-正丁基醚、二丙二醇甲基醚、二丙二醇正丙基醚、二丙二醇-正丁基醚、三丙二醇甲基醚、三丙二醇-正丁基醚等碳原子数3～19的多元醇部分醚系溶剂等。
作为醚系溶剂，可举出例如，二乙基醚、二丙基醚、二丁基醚等二烷基醚系溶剂；四氢呋喃、四氢吡喃等环状醚系溶剂；二苯基醚、茴香醚等含有芳香环的醚系溶剂等。
作为酮系溶剂，可举出例如，丙酮、甲基乙基酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、二乙基酮、甲基异丁基酮、2-庚酮、乙基正丁基酮、甲基正己基酮、二异丁基酮、三甲基壬酮等链状酮系溶剂；环戊酮、环己酮、环庚酮、环辛酮、甲基环己酮等环状酮系溶剂；2,4-戊二酮、2,5-己二酮、苯乙酮等。
作为酰胺系溶剂，可举出例如，N,N’-二甲基咪唑啉酮、N-甲基吡咯烷酮等环状酰胺系溶剂；N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基丙酰胺等链状酰胺系溶剂等。
作为酯系溶剂，可举出例如，乙酸正丁酯、乳酸乙酯、环己醇乙酸酯等单羧酸酯系溶剂；丙二醇乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、1,4-丁二醇二乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、1,6-己二醇二乙酸酯、三醋精等多元醇单羧酸酯系溶剂；乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二甘醇单丁基醚乙酸酯等多元醇部分醚羧酸酯系溶剂；草酸二乙酯等多元羧酸二酯系溶剂；γ-丁内酯、δ-戊内酯等内酯系溶剂；碳酸二乙酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等碳酸酯系溶剂等。
作为烃系溶剂，可举出例如，碳原子数5～10的直链状或支链状烃、碳原子数5～12的脂环式烃、碳原子数6～18的芳香族烃等。脂环式烃和芳香族烃的环上的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1～5的直链状或支链状烷基所取代。
从这些中，考虑涂覆时的溶剂的挥发速度、对于工艺的适应性、生产率等来选择，优选选择链状酮系溶剂、环状酮系溶剂、链状醚、环状醚等含氧溶剂。本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料可以包含1种或2种以上的溶剂。
此外，本实施方式涉及的清漆状的下层膜形成用树脂材料中，树脂成分的浓度优选为0.01～50.0质量％，更优选为0.1～45.0质量％，进一步优选为1.0～40.0质量％。树脂成分的浓度能够考虑聚合物的溶解性、对于过滤工艺的适应性、制膜性、作为下层膜的厚度等来选择。
进一步，以调整蚀刻耐性、光学特性等作为下层膜的材料物性为目的，在不损害本发明的效果的范围内，可以将环氧树脂等热固性树脂，热固化系的单体，锆、铪、钌、钛等金属的氧化物与本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料进行混合。
进一步，以抑制抗蚀剂层与抗蚀剂下层膜之间或者在抗蚀剂层与抗蚀剂下层膜之间设置中间层时的中间层与抗蚀剂下层膜之间的互混为目的，在不损害本发明的效果的范围内，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料可以包含交联剂。另一方面，有时交联剂的使用对于固化时的反应收缩的影响变得显著。例如，在凹凸的图案为不规则的情况下，如果交联剂过多，则在凸凸间为长的结构时，有时无法忽视收缩的影响，平坦性有可能降低。因此，本实施方式涉及的下层膜形成用材料中的交联剂的含量优选为少。从该观点考虑，在将下层膜形成用树脂材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料中的交联剂的含量优选小于5质量份，更优选小于3质量份，进一步优选小于2质量份。
作为交联剂，适合使用多官能的环氧化合物、氧杂环丁烷化合物等，但不特别限于这些化合物。
作为多官能的环氧化合物，可举出例如，1,7-辛二烯二环氧化物、柠檬烯二氧化物、4-乙烯基环己烯二氧化物、3,4-环氧环己基甲基-3’,4’-环氧环己烷甲酸酯、二(3,4-环氧环己基)己二酸酯、(3,4-环氧-6-甲基环己基)甲基-3,4-环氧-6-甲基环己烷甲酸酯、1,2-二(3,4-环氧环己烷甲酸)亚乙酯、3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷甲酸酯、双(3,4-环氧环己基甲基)己二酸酯、双酚A型环氧树脂、卤代双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、邻甲酚酚醛清漆型环氧树脂、间甲酚酚醛清漆型环氧树脂、对甲酚酚醛清漆型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、多元醇的聚缩水甘油基醚、3,4-环氧环己烯基甲基-3’,4’-环氧环己烯甲酸酯这样的脂环式环氧树脂或氢化双酚A的缩水甘油基醚等环氧化合物等。
作为多官能的氧杂环丁烷化合物，可举出例如，双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、1,2-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]乙烷、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]丙烷、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]-2,2-二甲基-丙烷、1,4-双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)丁烷、1,6-双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)己烷、1,4-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,3-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,4-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4,4’-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4,4’-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}二环己烷、2,3-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,5-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,6-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、1,4-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,4-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4,4’-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4,4’-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}二环己烷、2,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,5-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,6-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷等。此外，这些交联剂可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。
此外，关于本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，特别是清漆状的下层膜形成用树脂材料中，在将下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，环状烯烃聚合物(I)和热塑性树脂(II)的合计含量优选为50.0～100.0质量％，更优选为60.0～100.0质量％，进一步优选为70.0～100.0质量％。环状烯烃聚合物(I)和热塑性树脂(II)的合计含量能够考虑蚀刻耐性、光学特性等作为下层膜的材料物性来选择。
另外，关于上述环状烯烃聚合物(I)和热塑性树脂(II)的合计含量的比率，不言而喻是在形成本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料时优选的比率，不限于清漆状态。
接着，使由上述方法调制的清漆状的下层膜形成用树脂材料通过过滤器以进行过滤。由此，能够从清漆状的下层膜形成用树脂材料除去聚合物不溶物质、凝胶、异物等，能够在抗蚀剂膜层与基板表面之间形成作为下层膜的均匀的层。
过滤器的筛孔优选为1μm～0.001μm，更优选为0.5μm～0.001μm，进一步优选为0.1μm～0.001μm。关于过滤的工艺，可以采用从孔径大的过滤器向孔径小的过滤器输送清漆的多段工艺来进行，也可以采用直接向孔径小的过滤器输送清漆的单一工艺来进行。关于过滤器的材质，可举出聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚醚砜(PES)、纤维素等有机材料，玻璃纤维、金属等无机材料等，只要不对作为下层膜的功能带来影响，就能够考虑清漆特性、工艺适应性等进行选择。
此外，作为将清漆输送至过滤器的方法，可举出例如，利用压力差的方法、借助螺杆等通过机械性驱动将清漆输送至过滤器的方法等。进一步，关于过滤的温度，能够在考虑了过滤器性能、溶液粘度、聚合物的溶解性的范围内进行选择，优选为-10～200℃，更优选为0℃～150℃，进一步优选为室温～100℃的范围，只要是没有溶解成分等的析出或凝胶化、由加热引起的热分解等组合物的改性，就能够考虑清漆特性、工艺适应性等进行选择。
＜抗蚀剂下层膜和抗蚀剂下层膜的制造方法＞
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜能够使用本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料来形成。
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法包括：在基板上形成包含本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的涂膜的工序(以下，也称为“涂膜形成工序”)。
此外，根据需要，可以进一步包括对上述涂膜进行加热的工序(以下，也称为“烧成工序”)。
根据本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法，由于使用本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，因此能够获得在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料由于对于复杂形状的基板的埋入性优异，因此根据本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法，能够在具有阶梯的基板、具有多种沟槽的基板等复杂形状的基板上，制作在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
以下，对于各工序进行说明，但本发明不受它们的限定。
[涂膜形成工序]
本工序中，使用本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料，在基板上形成包含本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的涂膜。
作为上述基板，可举出例如，硅晶片、铝晶片、镍晶片等。也可以对上述基板的表面赋予凹凸结构。上述凹凸结构可以为例如为二氧化硅(SiO2)膜、SiCN膜、在二氧化硅(SiO2)中掺杂有碳(C)的SiOC膜、甲基硅氧烷系有机膜(SOG)、均匀地分布有数nm以下的微小孔隙的二氧化硅绝缘膜等由低介电材料形成了被膜的状态。如上述那样，在本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法中，作为上述基板，也能够适合使用具有阶梯的基板、具有多种沟槽的基板等，即使使用这样的复杂形状的基板，也能够形成平坦性优异的抗蚀剂下层膜。
作为上述具有多种沟槽的基板，也能够适合使用例如，具有彼此不同的长宽比的基板。能够使用上述长宽比为各种值混合存在的基板，例如，在基板的沟槽中，作为长宽比中的最大值与最小值之比，优选为1～30，更优选为1～25，进一步优选为1～20。
将本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料涂布于基板的方法没有特别限定，可举出例如，使用旋转涂布、溶液流延涂布、辊涂、狭缝涂布、喷墨涂布等方法，将上述清漆状的下层膜形成用树脂材料涂布于基板的方法等。作为此时形成的涂膜的膜厚，优选为1～2000nm，更优选为1～1000nm，进一步优选为1～500nm的范围。
[烧成工序]
本工序中，对上述涂膜形成工序中所形成的涂膜进行加热(烧成)。作为将该涂膜进行烧成的方法，可举出例如，进行加热的方法等。该加热的温度优选为100℃～400℃，更优选为150℃～300℃，进一步优选为180℃～250℃。加热时间优选为5秒～60分钟，更优选为10秒～10分钟，进一步优选为30秒～3分钟。作为上述加热中的气氛，可举出例如，空气中，氮气中、氩气中等非活性气体中等。
此外，作为本工序中的加热方式，可举出例如，以除去涂膜中的溶剂为目的进行加热，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式；在不损害本发明的效果的范围内，使为了补充功能而混合的热固化系材料等异种物质固化，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式；以使下层膜形成用树脂材料的离去基团脱离为目的进行加热，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式等。
烧成工序的加热也可以使用分阶段地提高温度的多段工艺。
作为所形成的抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav，优选为5～500nm，更优选为7～450nm，进一步优选为10～400nm的范围。
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜，例如，能够作为用于利用光刻形成图案的工程构件来使用。
＜层叠体＞
本实施方式涉及的层叠体具备：基板(a)、以及形成于基板(a)的一个面且包含本实施方式涉及的下层膜形成用树脂材料的抗蚀剂下层膜(b)。
优选为基板(a)与抗蚀剂下层膜(b)相接触的结构。
这里，抗蚀剂下层膜(b)及其制造方法与上述本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜和抗蚀剂下层膜的制造方法相同，因此省略此处的说明。
图4是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体10中的抗蚀剂下层膜2的膜厚4、凹凸结构7的高度5和凹凸结构7的凸凸间的间隔6的示意图。
基板(a)可以是具有平坦的表面的结构，但优选为其单面或两面具有优选为5～500nm、更优选为7～450nm、进一步优选为10～400nm的范围的高度的凹凸结构。
这里，上述高度是指图4所示的凹凸结构7的高度5，例如，能够对于凹凸结构7的高度5任意地测定10处，采用它们的平均值。
此外，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔优选为1nm以上10mm以下。上述凹凸结构中的凸凸间的间隔的下限值更优选为3nm以上，进一步优选为5nm以上，特别优选为10nm以上。
这里，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔是指图4所示的凹凸结构7中的凸凸间的间隔6，能够对于凹凸结构7中的凸凸间的间隔6任意地测定10处，采用它们的平均值。
此外，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔的上限值更优选为5mm以下，进一步优选为1mm以下，特别优选为0.5mm以下。
基板(a)具有上述那样的凹凸结构的情况下，有更显著地表现抗蚀剂下层膜(b)的效果的倾向，因此优选。
基板(a)的厚度优选为0.01～10000μm。基板(a)的厚度的下限值更优选为0.03μm以上，进一步优选为0.05μm以上，特别优选为0.10μm以上。
基板(a)的厚度的上限值更优选为5000μm以下，进一步优选为3000μm以下，特别优选为1000μm以下。
本实施方式涉及的层叠体中，抗蚀剂下层膜(b)的与基板(a)相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)优选为0～5％，更优选为0～3％，进一步优选为0～1％。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
这里，在表面(α)的任意10处，测定抗蚀剂下层膜(b)的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将抗蚀剂下层膜(b)的膜厚的最大值设为Hmax，将抗蚀剂下层膜(b)的膜厚的最小值设为Hmin。
由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
＜图案形成方法＞
本实施方式涉及的图案形成方法例如具备下述工序：在本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂图案的工序(以下，也称为“抗蚀剂图案形成工序”)；以及将上述抗蚀剂图案作为掩模，对上述抗蚀剂下层膜和基板依次进行蚀刻的工序(以下，也称为“蚀刻工序”)。
此外，本实施方式涉及的图案形成方法也可以是：在上述抗蚀剂图案形成工序中，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成中间层，在该中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案，在上述蚀刻工序中，进一步将中间层进行蚀刻的工序。
根据本实施方式涉及的图案形成方法，由于使用在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜，因此能够形成良好的图案。
以下，对于各工序进行说明，但本发明不受它们的限定。
[抗蚀剂图案形成工序]
本工序中，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂图案。也可以在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成中间层，在该中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案。
上述中间层是：在抗蚀剂图案形成等中，为了补充抗蚀剂下层膜和/或抗蚀剂膜所具有的功能或赋予它们所不具有的功能而具有这些功能的层。例如，在形成防反射膜(也称为防反射层)作为中间层的情况下，能够补充抗蚀剂下层膜的防反射功能。此外，在形成硬掩模层作为中间层的情况下，能够抑制显影工序的例如使用碱性显影液时对于抗蚀剂下层膜的影响，和/或能够补充将本实施方式的下层膜进行蚀刻后，将下层的由硅、铝、镍等形成的基板进行蚀刻时的抗蚀剂图案形成层的蚀刻耐性不足。
进一步，本实施方式的下层膜上所形成的中间层可以是具备防反射层和硬掩模层的任一者或这两者的构成，关于层构成，在本实施方式的下层膜的正上方可以形成防反射层，也可以形成硬掩模层。考虑抗蚀剂材料、加工基板等材料的特性、生产率来适当进行选择。
上述中间层能够由有机化合物、无机氧化物来形成。作为上述有机化合物，可举出例如，DUV-42、DUV-44、ARC-28、ARC-29(都是Brewer Science公司制)，AR-3、AR-19(都是罗门哈斯公司制)等。此外，作为上述无机氧化物，能够使用例如，NFC SOG系列(JSR公司制)、通过CVD法形成的聚硅氧烷、氧化钛、氧化铝、氧化钨等。
形成上述中间层的方法没有特别限定，可举出例如，涂布法、CVD法等。其中，优选为涂布法。在使用涂布法的情况下，能够在形成抗蚀剂下层膜之后，连续地形成中间层。
此外，中间层的膜厚没有特别限定，可根据中间层所要求的功能来适当选择，优选为1nm～5μm，更优选为5nm～3μm，进一步优选为10nm～0.3μm的范围。
作为在上述抗蚀剂下层膜或中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案的方法，可举出例如，使用光刻的方法等。关于该方法，以下，进行具体地说明，但本发明并不受它们的限定。
使用光刻的方法例如具有下述工序：使用抗蚀剂组合物，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂膜的工序(以下，也称为“抗蚀剂膜形成工序”)；将上述抗蚀剂膜进行曝光的工序(以下，也称为“曝光工序”)；以及将上述被曝光后的抗蚀剂膜进行显影的工序(以下，也称为“显影工序”)。
(抗蚀剂膜形成工序)
本工序中，使用抗蚀剂组合物，在抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂膜。具体而言，以使所得的抗蚀剂膜成为预定的膜厚的方式涂布抗蚀剂组合物之后，进行预烘烤从而使涂膜中的溶剂挥发，形成抗蚀剂膜。
作为抗蚀剂组合物，可举出例如，含有光产酸剂的正型或负型的化学放大型抗蚀剂(chemically amplified resist)组合物、由碱溶性树脂和醌二叠氮化物系光敏剂形成的正型抗蚀剂组合物、由碱溶性树脂和交联剂形成的负型抗蚀剂组合物等。
上述抗蚀剂组合物的固体成分浓度优选为0.1质量％～50质量％，更优选为0.5质量％～50质量％，进一步优选为1.0质量％～50质量％的范围，能够考虑作为对象的膜厚、生产率而在适当的范围内进行选择。
此外，上述抗蚀剂组合物优选利用孔径0.1μm左右的过滤器进行过滤来调制。另外，在该工序中，也能够直接使用市售的抗蚀剂组合物。抗蚀剂组合物的涂布方法没有特别限定，能够利用例如旋转涂布、流延涂布、辊涂等方法来实施。
此外，预烘烤的温度根据所使用的抗蚀剂组合物的种类等来适当选择，优选为30℃～200℃，更优选为50℃～150℃。
(曝光工序)
本工序中，将上述抗蚀剂膜形成工序中所形成的抗蚀剂膜进行曝光。该曝光例如，通过预定的掩模图案和根据需要的浸液来进行。
作为曝光光，根据抗蚀剂组合物所使用的光产酸剂的种类，例如，从可见光线、紫外线、远紫外线、X射线、γ射线等电磁波；电子射线、分子束、离子束、α射线等粒子束等中适当地选择，优选为远紫外线，更优选为KrF准分子激光光(248nm)、ArF准分子激光光(193nm)、F2准分子激光光(波长157nm)、Kr2准分子激光光(波长147nm)、ArKr准分子激光光(波长134nm)、极紫外线(波长13nm等)，进一步优选为ArF准分子激光光。
在上述曝光后，为了提高所形成的抗蚀剂图案的分辨率、图案轮廓(patternprofile)、显影性等，能够进行后烘烤。该后烘烤的温度可根据所使用的抗蚀剂组合物的种类等进行适当调整，优选为50℃～200℃，更优选为70℃～150℃。
(显影工序)
本工序中，将上述曝光工序中被曝光后的抗蚀剂膜进行显影。
作为上述显影所使用的显影液，根据所使用的抗蚀剂组合物的种类进行适当选择。在碱性显影的情况下，可举出例如，氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙基胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、吡咯、哌啶、胆碱、1,8-二氮杂二环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂二环[4.3.0]-5-壬烯等碱性水溶液等。另外，如果事先进行上述中间层形成工序来形成中间层，则能够抑制这些碱性水溶液对于抗蚀剂下层膜的影响。
这些碱性水溶液中，例如，还能够适量添加甲醇、乙醇等醇类等水溶性有机溶剂、表面活性剂。
此外，作为显影液，还能够使用含有有机溶剂的显影液。作为该有机溶剂，可举出例如，酯类、酮类、醚类、醇类、酰胺类、烃类等。有机溶剂显影所使用的溶剂根据抗蚀剂下层膜的特性来适时选择。
使用上述显影液来进行显影之后，进行洗涤、干燥，从而形成预定的抗蚀剂图案。
此外，作为进行上述抗蚀剂图案形成工序的方法，除了上述使用光刻的方法以外，还能够采用使用纳米压印法的方法、使用自组装化组合物的方法等。
[蚀刻工序]
本工序中，将上述抗蚀剂图案作为掩模，将上述抗蚀剂下层膜和基板依次蚀刻。由此，在基板上形成图案。另外，在形成有中间层的情况下，也进一步蚀刻中间层。
上述蚀刻可以为干蚀刻，也可以为湿蚀刻。上述干蚀刻能够使用公知的干蚀刻装置来进行。此外，作为进行干蚀刻时的源气体，由于也取决于被蚀刻物的元素组成，因此没有特别限定，能够使用例如，O2、CO、CO2等包含氧原子的气体；He、N2、Ar等非活性气体；Cl2、BCl3等氯系气体；CHF3、CF4等氟系气体；H2、NH3的气体等。另外，这些气体还能够混合使用。
[基板图案形成后的下层膜材料的除去工序]
本工序中，通过上述蚀刻工序将抗蚀剂图案转印并形成于基板上后，将不需要的抗蚀剂下层膜除去。
除去方法可以为干法，也可以为使用溶剂等的湿法，可以考虑材料的物性、工艺适应性来适当地选择，也可以并用干法和湿法来使用。
在干法的情况下，能够使用上述蚀刻工序中所使用的干蚀刻装置。因此，在从蚀刻工序进入下层膜材料的除去工序时，不需要变更生产线，从生产率的观点考虑，优选使用干法。
作为在下层膜材料的除去工序中使用干蚀刻装置时的气体源，根据被蚀刻物的元素组成来适当地选择，能够使用例如，O2、CO、CO2等包含氧原子的气体；He、N2、Ar等非活性气体；Cl2、BCl3等氯系气体；CHF3、CF4等氟系气体；H2、NH3的气体等，根据对上述基板表面进行被膜的低介电材料、基板材料来更适当地选择。这些气体还能够混合使用2种以上。
实施例
以下，参照实施例、比较例来详细地说明本实施方式。本实施方式并不受这些实施例的记载的任何限定。
通过以下方法来实施实施例、比较例中的关于下层膜形成用树脂材料(环状烯烃聚合物(I)、或将环状烯烃聚合物(I)与热塑性树脂(II)以预定的质量比混合而得到的树脂组合物)的分析法、埋入性和平坦性的评价。
[重均分子量(Mw)和分子量分布(Mw/Mn)]
在下述条件下使用凝胶渗透色谱(GPC)，测定溶解于四氢呋喃(THF)或三氟甲苯(TFT)的聚合物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)，利用聚苯乙烯标准品来校准分子量并算出。
检测器：日本分光公司制RI-2031和875-UV或Viscotec公司制Model270，串联连接柱：Shodex K-806M，804，803，802.5，柱温度：40℃，流量：1.0ml/分钟，试样浓度：3.0～9.0mg/ml。
[氢化率测定]
将聚合物试样溶解于氘代氯仿，以270MHz，以1H-NMR光谱的化学位移δ＝5.0～7.0ppm范围内归属于双键碳的氢的峰的积分值进行了测定。
[玻璃化转变温度]
使用岛津制作所公司制DSC-50，在氮气气氛下以10℃/分钟的升温速度对测定试样进行了加热并测定。
[挥发成分的评价方法]
在直径5mm的铝盘中，以30mg～50mg的重量称量浓度为20质量％的下层膜形成用树脂材料(环状烯烃聚合物(I)，或将环状烯烃聚合物(I)与热塑性树脂(II)以预定的质量比混合而得到的树脂组合物)的THF溶液，在氮气气流下，在200℃烧成3分钟，除去THF。接着，冷却至室温，测定重量(W0)。使用树脂固化后的状态的样品，在氮气气氛下，使用岛津制作所公司制TGA-60，以10℃/min的升温速度将试样加热直至30～300℃，随着温度的上升连续地测定重量，获得了温度相对于重量的图。其中，由图中读取100～250℃的范围中的重量减少量(W1)，通过下式算出挥发成分的产生量。
挥发成分的产生量(质量％)＝W1/W0×100
[固体粘弹性测定]
使用安东帕公司制MCR302(流变仪)，在氮气气氛下，以剪切模式在测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下进行了测定。更具体而言，通过以下方法进行了测定。
首先，将本实施方式的下层膜形成用树脂材料(环状烯烃聚合物(I)，或将环状烯烃聚合物(I)与热塑性树脂(II)以预定的质量比混合而得到的树脂组合物)的白色粉末粉(10mg)置于预先加热至230℃的直径8mm的平行圆盘的中心。接着，用圆盘夹持，在氮气气氛下使其熔融，先冷却至30℃。然后，以频率1Hz的剪切模式，通过上述升温速度，将样品加热至300℃。
制作绘制了所得的加热温度与储能弹性模量(G’)以及损耗弹性模量(G”)的关系的图，确认了储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度。(参照图1和2)
[用于埋入性、平坦性和疏密图案中的膜厚差评价的表面形成有凹凸结构的基板]
基板A：使用了在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度40～800nm、凸凸间宽度40～1500nm的线与间隙图案的、尺寸为3cm×3cm的硅制基板。
基板B：使用了在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度40nm～1000μm、凸凸间宽度40nm～1000μm的线与间隙图案的、尺寸为3cm×3cm的硅制基板。
[埋入性评价]
实施至烧成工序，将在上述硅制基板A的凹凸表面上形成有抗蚀剂下层膜的样品切开，露出截面观察用的面。然后，使用日本分光公司制扫描型电子显微镜JSM-6701F(以下，表述为SEM。)，观察高度200nm、凸部宽度120nm、凸凸间宽度40nm的基板截面，按照以下基准评价了埋入性。
均匀：通过SEM观察截面得到的结果是没有空隙等缺陷的状态。
不均匀：通过SEM观察截面得到的结果是存在空隙等缺陷的状态。
[平坦性的评价]
对于上述评价了埋入性的基板A的截面的抗蚀剂下层膜的膜厚，计测10处，将平均值设为Hav。接着，基于计测10处而得到的高度中的最大高度(Hmax)和最小高度(Hmin)的各个值，通过以下的式子算出表示平坦性的指标的平坦度。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
[疏密图案中的膜厚差的评价]
将在上述硅制基板B的凹凸表面上形成有抗蚀剂下层膜的样品切开，露出截面观察用的面，然后使用SEM，计测如图3-2那样形成有凹凸存在疏密的线与间隙的部分的膜厚差，并进行了评价。图3-2中，a1＝900μm，b1＝800nm，a2＝40nm，b2＝800nm。在各个图案区中将从凸上表面至大气面的膜厚测定10处，求出各自的平均值H1和H2，算出2个图案区的凸上平均膜厚的差的绝对值ΔFT(疏密)＝|H1-H2|，按照以下基准进行了评价。
◎：ΔFT(疏密)的值为0nm以上10nm以下的情况
○：ΔFT(疏密)的值为11nm以上20nm以下的情况
×：ΔFT(疏密)的值为21nm以上的情况
[n值和k值的测定]
使用日本瑟米莱伯(株)公司制光谱椭偏仪GES5E，在温度：23～25℃、湿度：50～55％的环境下，使用在硅晶片上以250nm的厚度涂布后的20mm×20mm的尺寸的测定样品，测定任意的3处。由测定结果，算出波长193nm的折射率(n值)和消光系数(k值)，由3处的平均值分别求出n值和k值。
这里，通过以下方法来制作测定样品。
在使用环状烯烃聚合物(I)作为本实施方式的下层膜形成用树脂材料的情况下，调制以浓度10质量％溶解有环状烯烃聚合物(I)的丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(以下，表述为PGMEA。)溶液，将所得的溶液旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在氮气气氛下在200℃烧成3分钟。冷却至室温之后，将样品以20mm×20mm的尺寸切出，作为测定用的样品。
此外，在使用将环状烯烃聚合物(I)与热塑性树脂(II)以预定的质量比混合而得到的树脂组合物作为本实施方式的下层膜形成用树脂材料的情况下，调制在PGMEA与环己酮(以下，表述为CH。)的质量比为PGMEA/CH＝50/50的混合溶剂中以浓度10质量％溶解有本实施方式的下层膜形成用树脂材料的溶液，将所得的溶液旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在氮气气氛下在200℃烧成3分钟。冷却至室温之后，将样品以20mm×20mm的尺寸切出，作为测定用的样品。
[等离子体蚀刻特性评价]
使用爱发科公司制RIH1515Z平行平板型等离子体处理装置。首先，在容室(chamber)内放入样品，将容室内减压至1Pa以下，接着，在容室内以30sccm导入CHF3气体，将容室内的压力保持于7Pa。然后施加13.56MHz高频电能，进行等离子体放电，进行等离子体蚀刻处理。等离子体蚀刻处理实施了30秒、60秒和90秒。
[蚀刻速率的测定方法]
使用日本瑟米莱伯(株)公司制光谱椭偏仪GES5E，对于蚀刻后的基板的表面的膜厚测定3处，由平均值算出膜厚。接着，基于蚀刻前后的膜厚，算出由蚀刻导致的膜厚的减少量，横轴绘制时间(sec)，纵轴绘制膜厚减少量(nm)。由所得的图的斜率算出蚀刻速率(nm/sec)。
[利用O2蚀刻进行的下层膜材料的除去评价]
在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度100nm、凸凸间宽度100nm的线与间隔图案的尺寸为3cm×3cm的硅制基板上，形成本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜。
将在上述硅制基板的凹凸表面上形成有抗蚀剂下层膜的样品切开，将其中的一个样品片用于除去下层膜材料前的截面观察，通过SEM进行了观察。
使用上述样品片的另一个样品片，采用以下方法实施了利用O2蚀刻进行的下层膜材料的除去特性评价。
下层膜材料的除去特性评价使用了与上述等离子体蚀刻特性评价中所使用的等离子体处理装置相同的等离子体处理装置。首先，在容室内放入样品，将容室内减压至1Pa以下，接着，在容室内以30sccm导入O2气体，将容室内的压力保持于7Pa。然后，施加13.56MHz高频电能，进行等离子体放电，进行了等离子体蚀刻处理。等离子体蚀刻处理实施了60秒。
上述等离子体蚀刻处理后，通过SEM进行除去下层膜材料后的截面观察，将等离子体蚀刻前后的SEM观察图像进行比较，评价了下层膜材料的除去特性。
[实施例1]
在氮气气氛下，在具备磁力搅拌装置的5L的高压釜内，将具有结构单元[A]的四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯320g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解于四氢呋喃(以下，记为THF)3.4kg中，进行了搅拌。
在其中添加612mg(0.8mmol)的作为开环易位聚合催化剂的Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2，使其在60℃反应3小时。然后，添加正丁醛173mg(2.4mmol)，进行冷却，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5700，Mw/Mn＝1.61，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，使用甲醇，使环状烯烃聚合物从所得的开环易位聚合物溶液中析出，在80℃进行减压干燥，从而获得了白色粉末固体(聚合物1)。
聚合物1的玻璃化转变温度为151℃。
此外，聚合物1的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物1的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为173℃(参照图1)。
接着，按照以10质量％的浓度溶解有所得聚合物1且丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(以下，表述为PGMEA。)与环己酮(以下，也称为CH。)的质量比成为PGMEA/环己酮＝5/5的方式调整溶液，在1000rpm、10sec的条件下，涂布于上述硅基板A和基板B表面。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
由椭偏仪测定得到的聚合物1的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.08。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物1均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物1的层的厚度(Hav)为300nm，最大高度(Hmax)为301nm，最小高度(Hmin)为300nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为213nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为230nm，聚合物1的疏密图案中的膜厚差为17nm。
此外，使用聚合物1进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例2]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液2.5kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6300，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物2)。
聚合物2的玻璃化转变温度为150℃。
此外，聚合物2的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物2的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为167℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物2的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物2的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.04。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物2均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为299nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为216nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为232nm，聚合物2的疏密图案中的膜厚差为16nm。
此外，使用聚合物2进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例3]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7200，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物3)。
聚合物3的玻璃化转变温度为130℃。
此外，聚合物3的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物3的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为151℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物3的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物3的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物3均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物3的层的厚度(Hav)为302nm，最大高度(Hmax)为303nm，最小高度(Hmin)为301nm，平坦度(ΔFT)为0.7％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为211nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为224nm，聚合物3的疏密图案中的膜厚差为13nm。
此外，使用聚合物3进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例4]
将具有结构单元[A]的8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯437g(2mol)、具有结构单元[B]的4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮121g(0.5mol)以及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解于THF 3.7kg中，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.2kg。
接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝7800，Mw/Mn＝1.57，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝80/20。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物4)。
聚合物4的玻璃化转变温度为172℃。
此外，聚合物4的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物4的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为190℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物4的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物4的折射率(n值)为1.71，消光系数(k值)为0.09。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物4均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物4的层的厚度(Hav)为310nm，最大高度(Hmax)为311nm，最小高度(Hmin)为309nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为219nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为237nm，聚合物4的疏密图案中的膜厚差为18nm。
此外，使用聚合物4进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例5]
将作为环状烯烃聚合物(I)的由实施例1获得的聚合物1和作为热塑性树脂(II)的聚羟基苯乙烯(Polysciences公司制，制品名：Poly(4-vinylphenol)(聚(4-乙烯基苯酚))，苯乙烯换算的重均分子量：5300)以质量比50/50进行混合，获得了树脂组合物1。
使用树脂组合物1，采用与上述挥发成分的评价方法同样的方法制作测定用样品，该测定用样品的玻璃化转变温度为105℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由树脂组合物1的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为124℃(参照图2)。
这里，使由实施例1获得的聚合物1和聚羟基苯乙烯以分别成为5质量％(合计树脂浓度：10质量％)的方式溶解于PGMEA/CH＝50/50(质量比)的有机溶剂中，调制出混合溶液。将所得的混合溶液利用孔径0.1μm的膜滤器过滤，制成下层膜形成用树脂组合物1。使用该下层膜形成用树脂组合物1，在1000rpm、10sec的条件下，涂布于上述硅基板A和基板B表面。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物1的折射率(n值)为1.97，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物1均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物1的层的厚度(Hav)为301nm，最大高度(Hmax)为303nm，最小高度(Hmin)为301nm，平坦度(ΔFT)为0.7％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为225nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为230nm，树脂组合物1的疏密图案中的膜厚差为5nm。
此外，使用树脂组合物1进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例6]
代替聚合物1而使用由实施例2获得的聚合物2，除此以外，利用与实施例5同样的方法，制作出树脂组合物2。树脂组合物2的玻璃化转变温度为107℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
由树脂组合物2的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为122℃。
接着，利用与实施例5同样的方法，制作出下层膜形成用树脂组合物2。接着，利用与实施例5同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有树脂组合物2的样品。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物2的折射率(n值)为1.94，消光系数(k值)为0.05。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物2均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物2的层的厚度(Hav)为299nm，最大高度(Hmax)为300nm，最小高度(Hmin)为299nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为225nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为232nm，树脂组合物2的疏密图案中的膜厚差为7nm。
此外，使用树脂组合物2进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例7]
代替聚合物1而使用由实施例3获得的聚合物3，除此以外，利用与实施例5同样的方法，制作出树脂组合物3。树脂组合物3的玻璃化转变温度为102℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
由树脂组合物3的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为118℃。
接着，利用与实施例5同样的方法，制作出下层膜形成用树脂组合物3。接着，利用与实施例5同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有树脂组合物3的样品。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物3的折射率(n值)为1.85，消光系数(k值)为0.04。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物3均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物3的层的厚度(Hav)为302nm，最大高度(Hmax)为303nm，最小高度(Hmin)为301nm，平坦度(ΔFT)为0.7％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为219nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为225nm，树脂组合物3的疏密图案中的膜厚差为6nm。
此外，使用树脂组合物3进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例8]
代替聚合物1而使用由实施例4获得的聚合物4，除此以外，利用与实施例5同样的方法，制作出树脂组合物4。树脂组合物4的玻璃化转变温度为132℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
由树脂组合物4的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为150℃。
接着，利用与实施例5同样的方法，制作出下层膜形成用树脂组合物4。接着，利用与实施例5同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有树脂组合物4的样品。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物4的折射率(n值)为1.81，消光系数(k值)为0.08。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物4均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物4的层的厚度(Hav)为300nm，最大高度(Hmax)为302nm，最小高度(Hmin)为300nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为220nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为228nm，树脂组合物4的疏密图案中的膜厚差为8nm。
此外，使用树脂组合物4进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例9]
将具有结构单元[A]的二环[2.2.1]庚-2-烯188g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯36g(0.44mol)溶解于THF2.8kg中，利用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.3kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6800，Mw/Mn＝2.84，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出，在60℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物5)。
聚合物5的玻璃化转变温度为72℃。
此外，聚合物5的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物5的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为84℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物5的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物5的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为315nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为220nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为226nm，聚合物5的疏密图案中的膜厚差为6nm。
此外，使用聚合物5进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例10]
将由实施例9获得的聚合物5以7质量％的浓度且成为PGMEA/环己酮＝5/5的方式调制溶液，除此以外，利用与实施例9同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物5的样品。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为208nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为208nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为208nm，聚合物5的疏密图案中的膜厚差为0nm。
此外，使用聚合物5进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例11]
将由实施例9获得的聚合物5以20质量％的浓度且成为PGMEA/环己酮＝5/5的方式调制溶液，在600rpm、10sec的条件下进行了涂布，除此以外，利用与实施例9同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物5的样品。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为1622nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为1622nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为1622nm，聚合物5的疏密图案中的膜厚差为0nm。
此外，使用聚合物5进行了各评价。将所得的结果示于表1中。
[实施例12]
将具有结构单元[A]的5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯469g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯42g(0.51mol)溶解于THF3.8kg中，利用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.5kg。所得的聚合物是聚合率＝100％，Mw＝5600，Mw/Mn＝1.92，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出，在50℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物6)。
聚合物6的玻璃化转变温度为56℃。
此外，聚合物6的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物6的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为76℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物6的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物6的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物6均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为311nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为213nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为218nm，聚合物6的疏密图案中的膜厚差为5nm。
此外，使用聚合物6进行了各评价。将所得的结果示于表2中。
[实施例13]
将具有结构单元[A]的5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯469g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯42g(0.51mol)溶解于THF3.8kg中，利用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.5kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7300，Mw/Mn＝2.17，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出，在50℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物7)。
聚合物7的玻璃化转变温度为58℃。
此外，聚合物7的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物7的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为81℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物7的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物7的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物7均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为305nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为216nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为223nm，聚合物7的疏密图案中的膜厚差为7nm。
此外，使用聚合物7进行了各评价。将所得的结果示于表2中。
[实施例14]
在由实施例3获得的开环易位聚合物溶液4.0kg中，添加作为氢化催化剂的含水率50.3％的5％Ru碳34g(干燥重量16.9g)，含水率50.7％的5％Rh碳1.8g(干燥质量0.89g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时加氢反应。所得的聚合物为氢化率＝100％，Mw＝9600，Mw/Mn＝2.07，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出，在80℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物8)。
聚合物8的玻璃化转变温度为91℃。
此外，聚合物8的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物8的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为112℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物8的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物8的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物8均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物8的层的厚度(Hav)为310nm，最大高度(Hmax)为311nm，最小高度(Hmin)为309nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为221nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为228nm，聚合物8的疏密图案中的膜厚差为8nm。
此外，使用聚合物8进行了各评价。将所得的结果示于表2中。
[实施例15]
在由实施例9获得的开环易位聚合物溶液3.0kg中，添加作为氢化催化剂的含水率50.3％的5％Ru碳64g(干燥重量31.8g)，含水率50.7％的5％Rh碳3.5g(干燥质量1.7g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时加氢反应。所得的聚合物为氢化率＝100％，Mw＝10400，Mw/Mn＝3.18，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出，在50℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物9)。
聚合物9的玻璃化转变温度为45℃。
此外，聚合物9的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物9的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为50℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物8的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物9的折射率(n值)为1.64，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物9均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为316nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为211nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为216nm，聚合物9的疏密图案中的膜厚差为5nm。
此外，使用聚合物9进行了各评价。将所得的结果示于表2中。
[实施例16]
将具有结构单元[A]的二环[2.2.1]庚-2-烯变更为75g(0.8mol)，将具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮变更为487g(3.2mol)，除此以外，采用与实施例5同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.3kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5900，Mw/Mn＝2.32，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝20/80。
接着，采用与实施例5同样的方法进行析出，在60℃减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物10)。
聚合物10的玻璃化转变温度为68℃。
此外，聚合物10的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物10的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为82℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物10的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物10的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物10均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为320nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为217nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为221nm，聚合物10的疏密图案中的膜厚差为4nm。
此外，使用聚合物10进行了各评价。将所得的结果示于表2中。
[实施例17]
将实施例5中的聚合物1与聚羟基苯乙烯的混合质量比变更为60/40，除此以外，利用与实施例5同样的方法，制作出树脂组合物5。树脂组合物5的玻璃化转变温度为127℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
由树脂组合物5的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为145℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物8的样品。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物5的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.06。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物5的层的厚度(Hav)为336nm，最大高度(Hmax)为337nm，最小高度(Hmin)为335nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为232nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为240nm，树脂组合物5的疏密图案中的膜厚差为8nm。
此外，使用树脂组合物5进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例18]
代替聚羟基苯乙烯，作为热塑性树脂(II)而使用聚甲基丙烯酸甲酯，除此以外，利用与实施例5同样的方法，制作出树脂组合物6。树脂组合物6的玻璃化转变温度为110℃，进而，挥发成分的产生量为0.0质量％。
由树脂组合物6的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为135℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有聚合物8的样品。
由椭偏仪测定得到的下层膜形成用树脂组合物6的折射率(n值)为1.80，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物6均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物6的层的厚度(Hav)为300nm，最大高度(Hmax)为301nm，最小高度(Hmin)为300nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为227nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为233nm，树脂组合物6的疏密图案中的膜厚差为6nm。
此外，使用树脂组合物6进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[实施例19]
按照溶解有浓度10质量％的由实施例14获得的聚合物8和浓度0.3质量％的作为交联剂的3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷甲酸酯(EEC)且PGMEA与环己酮的质量比成为PGMEA/环己酮＝5/5的方式调制溶液，制作出树脂组合物7。
已知上述环状烯烃聚合物发生极性变化的温度充分地高于G’和G”的交点的温度，因此包含上述环状烯烃聚合物8和交联剂的树脂组合物7的G’与G”的交点的温度也可以视为同样的值。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作出在上述硅基板A和B的凹凸面上涂布有树脂组合物7的样品。
由椭偏仪测定得到的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：树脂组合物7均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的树脂组合物7的层的厚度(Hav)为313nm，最大高度(Hmax)为313nm，最小高度(Hmin)为312nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为239nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为244nm，树脂组合物7的疏密图案中的膜厚差为5nm。
此外，使用树脂组合物7进行了各评价。将所得的结果示于表3中。
[比较例1]
调制出以10质量％溶解有酚醛清漆树脂KA1165(DIC公司制)的环己酮溶液，所述酚醛清漆树脂KA1165的由固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为255℃，利用与实施例1同样的方法，旋转涂布于硅基板A和B的凹凸表面，在200℃烧成3分钟。
接着，利用与实施例1同样的方法，分别进行了埋入性和平坦度的评价。通过SEM观察基板A的截面，结果是：酚醛清漆树脂对于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，在凹部边缘的部分产生了空隙。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的厚度为300nm，最大高度(Hmax)为317nm，最小高度(Hmin)为285nm，平坦度(ΔFT)为10.7％，大气面产生了形变。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为213nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为275nm，酚醛清漆树脂的疏密图案中的膜厚差为62nm。将所得的结果示于表2中。
[比较例2]
在以10质量％溶解有甲基丙烯酸甲酯的环己酮溶液中，相对于甲基丙烯酸甲酯溶解2质量％作为光聚合引发剂的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮，调制成溶液。
接着，利用与实施例1同样的方法，旋转涂布于硅基板A和B的凹凸表面，制作出样品。
接着，以1000mJ/cm2的照射量进行UV照射，使涂布膜固化。
接着，利用与实施例1同样的方法，分别进行了埋入性和平坦度的评价。通过SEM观察基板A的截面，结果是：对于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，在凹部边缘的部分产生了空隙。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的厚度为250nm，最大高度(Hmax)为275nm，最小高度(Hmin)为244nm，平坦度(ΔFT)为12.4％，大气面产生了形变。
此外，通过SEM观察基板B的截面，结果是：a1＝900μm、b1＝800nm区域中的H1层的厚度为242nm，a2＝40nm、b2＝800nm区域中的H2层的厚度为315nm，聚甲基丙烯酸甲酯树脂的疏密图案中的膜厚差为73nm。将所得的结果示于表2中。
[等离子体蚀刻耐性的评价]
按照分别以10质量％溶解有由实施例1、实施例2、实施例3、实施例4、实施例9、实施例12、实施例13、实施例14、实施例15和实施例16合成的聚合物1、聚合物2、聚合物3、聚合物4、聚合物5、聚合物6、聚合物7、聚合物8、聚合物9和聚合物10而成为PGMEA/环己酮＝50/50的方式调制溶液，将该溶液涂布于硅晶片上，在氮气气氛下，在200℃烧成3分钟。接着，将各个样品在CHF3气体气氛下干蚀刻30秒、60秒和90秒。由蚀刻前后的膜厚算出因蚀刻引起的膜厚的减少量，横轴绘制时间(sec)，纵轴绘制膜厚减少量(nm)。由所得的图表的倾斜度算出各样品的蚀刻速率(nm/sec)。
此外，按照分别以10质量％溶解有由实施例5、实施例6、实施例7、实施例8、实施例17、实施例18和实施例19制作的树脂组合物1、树脂组合物2、树脂组合物3、树脂组合物4、树脂组合物5、树脂组合物6和树脂组合物7而成为PGMEA/环己酮＝50/50的方式调制溶液，将该溶液涂布于硅晶片上，在氮气气氛下，在200℃烧成3分钟。接着，将各个样品在CHF3气体气氛下干蚀刻30秒、60秒和90秒。由蚀刻前后的膜厚算出因蚀刻引起的膜厚的减少量，横轴绘制时间(sec)，纵轴绘制膜厚减少量(nm)。由所得的图表的倾斜度算出各样品的蚀刻速率(nm/sec)。
将形成于硅晶片表面的SiO2[将四乙氧基硅烷(TEOS)作为原料，使其在硅晶片表面上烧成来形成。]作为对象物质，测定蚀刻速率，接着，由[SiO2(nm/sec)/各样品(nm/sec)]的值评价蚀刻耐性。[SiO2(nm/sec)/各样品(nm/sec)]的值越高，则意味着蚀刻耐性越优异。
聚合物1为4.5，聚合物2为5.0，聚合物3为5.0，聚合物4为5.5，聚合物5为4.3，聚合物6为4.5，聚合物7为5.1，聚合物8为5.2，聚合物9为5.1，聚合物10为4.3，任一聚合物对于SiO2都显示了高蚀刻耐性。
此外，树脂组合物1为3.0，树脂组合物2为2.5，树脂组合物3为2.7，树脂组合物4为3.5，树脂组合物5为3.2，树脂组合物6为2.7，树脂组合物7为5.2，任一树脂组合物对于SiO2都显示了高蚀刻耐性。
[利用O2蚀刻进行的下层膜材料的除去特性的评价]
将由实施例1～实施例4、实施例9和实施例12～实施例16合成的聚合物1～聚合物10，由实施例5～实施例8和实施例17～实施例19制作的树脂组合物1～树脂组合物7分别以10质量％溶解于PGMEA/环己酮＝50/50中而得到溶液，将该溶液涂布于在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度100nm、凸凸间宽度100nm的线与间隙图案的硅基板表面上，在氮气气氛下，在200℃烧成3分钟。接着，将各个样品切开，使用其中的一个样品，进行下层膜材料的除去前的SEM观察，使用另一个样品，在O2气体气氛下干蚀刻60秒，除去下层膜材料。接着，进行除去后的SEM观察。
由下层膜材料除去前后的SEM观察图像的比较可知，聚合物1～聚合物10，以及树脂组合物1～树脂组合物7中的任一者都在基板上无聚合物残渣地被除去。图5显示对于聚合物1，利用O2蚀刻进行的除去前后的SEM观察图像。
作为比较，使用Si上的取代基为丙氧基甲基丙烯酸酯的硅氧烷树脂，利用与上述同样的方法，实施了下层膜材料的除去特性评价，结果是：通过SEM观察确认到基板上有聚合物残渣，进而，即使将蚀刻时间延长至180秒，也未能无聚合物残渣地除去。
[表1]
Figure BDA0002438225870001301
[表2]
Figure BDA0002438225870001311
[表3]
Figure BDA0002438225870001321
产业上的可利用性
本发明的下层膜形成用树脂材料能够提供在满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异、且挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。由此，能够在半导体器件制造工序中，获得高集成度的半导体电路。
本申请主张以2017年10月6日申请的日本申请特愿2017-196452号作为基础的优先权，将其公开的全部内容并入本申请中。
本发明包含以下形式。
1.
一种下层膜形成用树脂材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含：环状烯烃聚合物(I)，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围50～250℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为60℃以上200℃以下。
2.
根据1.所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]。
[化7]
Figure BDA0002438225870001331
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
3.
根据2.所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)进一步具有下述通式(2)所示的重复结构单元[B]。
[化8]
Figure BDA0002438225870001341
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
4.
根据3.所述的下层膜形成用树脂材料，
上述环状烯烃聚合物(I)中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
5.
根据1.～4.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其进一步包含与上述环状烯烃聚合物(I)不同的热塑性树脂(II)。
6.
根据5.所述的下层膜形成用树脂材料，
上述热塑性树脂(II)包含选自具有芳香环结构的有机聚合物和(甲基)丙烯酸聚合物中的至少一种。
7.
根据5.或6.所述的下层膜形成用树脂材料，
上述下层膜形成用树脂材料中的上述环状烯烃聚合物(I)与上述热塑性树脂(II)的质量比(I/II)为5/95以上95/5以下。
8.
根据1.～7.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将上述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的、上述下层膜形成用树脂材料中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下。
(方法1：将上述下层膜形成用树脂材料溶解于四氢呋喃，制作上述下层膜形成用树脂材料的浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温以固化上述下层膜形成用树脂材料，在氮气气氛下，以30～300℃的温度范围、10℃/min的升温速度对上述下层膜形成用树脂材料进行加热，由100～250℃的范围中的重量减少量算出上述下层膜形成用树脂材料中的上述挥发成分的产生量)
9.
根据1.～8.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物(I)的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
10.
根据1.～9.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法2测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述下层膜形成用树脂材料的上述折射率(n值))
11.
根据1.～10.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法3测定得到的上述下层膜形成用树脂材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述下层膜形成用树脂材料的上述消光系数(k值))
12.
根据1.～11.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
13.
一种抗蚀剂下层膜，其包含1.～12.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
14.
一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括：在基板上形成包含1.～12.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料的涂膜的工序。
15.
根据14.所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对上述涂膜进行加热的工序。
16.
一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于上述基板的一个面且包含1.～12.中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
17.
根据16.所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
(这里，在上述表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin)
18.
根据16.或17.所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上500nm以下。
(这里，在上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)
19.
根据16.～18.中任一项所述的层叠体，
上述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在上述凹凸结构上形成有上述抗蚀剂下层膜，
上述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。

Claims (22)

1.一种下层膜形成用树脂材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含：环状烯烃聚合物(I)，
使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的所述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
2.根据权利要求1所述的下层膜形成用树脂材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、以剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件测定得到的所述下层膜形成用树脂材料的固体粘弹性中，表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为60℃以上200℃以下。
3.根据权利要求1或2所述的下层膜形成用树脂材料，
所述环状烯烃聚合物(I)具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]，
[化1]
Figure FDA0002438225860000011
所述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。
4.根据权利要求3所述的下层膜形成用树脂材料，
所述环状烯烃聚合物(I)进一步具有下述通式(2)所示的重复结构单元[B]，
[化2]
Figure FDA0002438225860000021
所述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。
5.根据权利要求4所述的下层膜形成用树脂材料，
所述环状烯烃聚合物(I)中的所述结构单元[A]与所述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其进一步包含与所述环状烯烃聚合物(I)不同的热塑性树脂(II)。
7.根据权利要求6所述的下层膜形成用树脂材料，
所述热塑性树脂(II)包含选自具有芳香环结构的有机聚合物和(甲基)丙烯酸聚合物中的至少一种。
8.根据权利要求6或7所述的下层膜形成用树脂材料，
所述下层膜形成用树脂材料中的所述环状烯烃聚合物(I)与所述热塑性树脂(II)的质量比(I/II)为5/95以上85/15以下。
9.根据权利要求6～8中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将所述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，所述下层膜形成用树脂材料中的所述环状烯烃聚合物(I)和所述热塑性树脂(II)的合计含量为50质量％以上100质量％以下。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将所述下层膜形成用树脂材料的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的、所述下层膜形成用树脂材料中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下，
方法1：将所述下层膜形成用树脂材料溶解于四氢呋喃，制作所述下层膜形成用树脂材料的浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温以固化所述下层膜形成用树脂材料，在氮气气氛下，以30～300℃的温度范围、10℃/min的升温速度对所述下层膜形成用树脂材料进行加热，由100～250℃的范围中的重量减少量算出所述下层膜形成用树脂材料中的所述挥发成分的产生量。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的所述环状烯烃聚合物(I)的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法2测定得到的所述下层膜形成用树脂材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下，
方法2：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为所述下层膜形成用树脂材料的所述折射率(n值)。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
通过下述方法3测定得到的所述下层膜形成用树脂材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下，
方法3：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用树脂材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的消光系数(k值)设为所述下层膜形成用树脂材料的所述消光系数(k值)。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的所述凹凸结构上，并且在用于填埋所述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
15.根据权利要求1～14中任一项所述的下层膜形成用树脂材料，
在将所述下层膜形成用树脂材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，所述下层膜形成用树脂材料中的交联剂的含量小于5质量份。
16.一种抗蚀剂下层膜，其包含权利要求1～15中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
17.一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括：在基板上形成包含权利要求1～15中任一项所述的下层膜形成用树脂材料的涂膜的工序。
18.根据权利要求17所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对所述涂膜进行加热的工序。
19.一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于所述基板的一个面且包含权利要求1～15中任一项所述的下层膜形成用树脂材料。
20.根据权利要求19所述的层叠体，
所述抗蚀剂下层膜的与所述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下，
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
这里，在所述表面(α)的任意10处，测定所述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将所述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将所述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin。
21.根据权利要求19或20所述的层叠体，
所述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上500nm以下，
这里，在所述抗蚀剂下层膜的与所述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定所述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav。
22.根据权利要求19～21中任一项所述的层叠体，
所述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在所述凹凸结构上形成有所述抗蚀剂下层膜，
所述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。
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