CN110709774A - 下层膜形成用材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法及层叠体 - Google Patents

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Abstract

本发明的下层膜形成用材料为用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，其包含具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。

Description

下层膜形成用材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法 及层叠体
技术领域
本发明涉及下层膜形成用材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法以及层叠体。
背景技术
半导体器件的制造中，为了获得高集成度，使用了多层抗蚀剂工艺。在该工艺中，一般而言，首先使用下层膜形成用材料在基板上形成抗蚀剂下层膜，接着，在抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂层，经由烧成、曝光，形成抗蚀剂图案。然后，通过蚀刻将上述抗蚀剂图案转印至抗蚀剂下层膜，将抗蚀剂下层膜图案转印至基板，从而能够获得所期望的图案。
作为基板，不仅使用平坦形状的基板，而且使用具有为了形成更复杂的电路而事先形成了大的电路形状的凹凸结构的基板，对尺寸大小大的电路形状进行进一步加工，形成微细的电路的多图案形成(multi-patterning)法被导入至最先进的电路形成工艺中。
对于这样的多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，要求对于具有凹凸结构的基板的凹凸部的埋入性，涂布抗蚀剂一侧的表面的平坦性，适度的折射率、消光系数等光学特性，良好的蚀刻耐性等特性。
近年来，为了进一步提高集成度，图案的微细化进一步发展。为了应对该微细化，对于下层膜形成用材料所使用的化合物等的结构、官能团等进行了各种研究(例如，参照专利文献1)。
另一方面，在用于获得高集成度的图案形成的微细化时，在目前主流的使用ArF准分子激光的光刻工序中，来自半导体基板的漫反射、驻波的影响成为大问题。为了解决该问题，作为下层膜所要求的功能的一部分，广泛研究了赋予了防反射功能的材料。作为将该防反射功能赋予至下层膜的形式，例如，研究了下述形式：利用某种材料填埋基板表面的凹凸结构，在带有平坦性的层上设置防反射膜(BARC：底部抗反射涂层(Bottom Anti-Reflective Coating))的形式；对于填埋基板表面的凹凸结构的材料本身赋予防反射功能的形式等。
特别是，对于前者的防反射膜的形成材料，从其使用的容易性等考虑，对于包含具有吸光部位的聚合物等的有机防反射膜进行了大量的研究。例如，专利文献2中公开了一种抗蚀剂下层膜(防反射膜)，其不与形成于上层的抗蚀剂膜互混，在使用ArF准分子激光进行曝光的情况下，可获得所期望的光学常数(折射率、消光系数)，并且可获得对于抗蚀剂膜大的干蚀刻速度的选择比。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-177668号公报
专利文献2：国际公开第2009/008446号
发明内容
发明所要解决的课题
最近，使用具有多种沟槽(trench)特别是具有彼此不同的长宽比的沟槽的基板，即，使用具有更微细的凹凸结构的基板，通过利用多层抗蚀剂法进行的多图案形成来形成微细图案的情况逐渐增加。在这样的情况下，关于最上层所形成的抗蚀剂层，为了将中间掩模(reticle)上的图案进行准确地转印，要求高度的平坦性。近年来的图案微细化的潮流中，为了避免抗蚀剂显影工序中的图案倒塌，抗蚀剂层的膜厚逐渐薄膜化，抗蚀剂层变得更加强烈地受到下层膜的平坦性的影响。因此，关于上述那样的、树脂一般难以侵入的表面结构的基板上所形成的抗蚀剂下层膜，要求其为充分地填埋这些沟槽的抗蚀剂下层膜，并且具有高平坦性。进一步，可以认为优选是在涂布后的烘烤工序中不产生挥发成分(释气)的材料。
根据本发明人等的研究，可知以往的抗蚀剂下层膜形成用材料倾向于难以实现在满足平坦性要求的同时不产生挥发成分的材料。
另一方面，作为更微细加工技术的、采用了EUV(极紫外线的简称，波长13.5nm)曝光的光刻中，虽然没有来自基板的反射，但是特别是除了以往的埋入性以外，形成EUV光的高能量射线曝光用抗蚀剂下层膜的材料的挥发成分(释气)产生也可能成为大问题。
此外，在以进行曝光的光的波长以下的线宽来描绘电路图的情况下，已知形成多个凹凸层，进行组合的方法。为了实现这样的方式，能够例示在以上述凹凸层的平滑化为目的的下层膜上形成中间层，进一步在其上形成新的抗蚀剂层的方法。
根据本发明人等的研究，还可知例如在利用旋转涂布法等来形成该中间层的情况下，如果溶剂的选择出错，则会引起下层膜与中间层的互混，其结果是有时下层膜与中间层的界面强度降低，或丧失下层膜的平滑性。
本案第一发明是鉴于上述情况而提出的，其提供一种下层膜形成用材料，其能够实现满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，本案第一发明提供一种下层膜形成用材料，其能够在复杂形状的基板上形成对于凹凸结构的埋入性优异，满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，本案第二发明是鉴于上述情况而提出的，提供一种下层膜形成用材料，其能够实现不引起中间层与抗蚀剂下层膜的互混，密合性优异的同时平坦性优异的层叠体。
用于解决课题的方法
根据本发明，提供以下所示的下层膜形成用材料、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的制造方法以及层叠体。
[1]
一种下层膜形成用材料，其是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，
包含：具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，
上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
[化1]
Figure BDA0002299310930000041
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化2]
Figure BDA0002299310930000042
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
[2]
根据上述[1]所述的下层膜形成用材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下测定得到的上述环状烯烃聚合物的固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
[3]
根据上述[1]所述的下层膜形成用材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下测定得到的上述下层膜形成用材料的固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
[4]
根据上述[2]或[3]所述的下层膜形成用材料，
上述固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为80℃以上200℃以下。
[5]
根据上述[1]～[4]中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将上述环状烯烃聚合物的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的上述环状烯烃聚合物中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下。
(方法1：将上述环状烯烃聚合物溶解于四氢呋喃来制作固体成分浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下、在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温，将上述环状烯烃聚合物固化，在氮气气氛下、30～300℃的温度范围，以10℃/min的升温速度对上述环状烯烃聚合物进行加热，由100～250℃的范围内的重量减少量算出上述环状烯烃聚合物中的上述挥发成分的产生量)
[6]
根据上述[1]～[5]中任一项所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
[7]
根据上述[1]～[6]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述环状烯烃聚合物的上述折射率(n值))
[8]
根据上述[1]～[6]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述下层膜形成用材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述下层膜形成用材料的上述折射率(n值))
[9]
根据上述[1]～[8]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述环状烯烃聚合物的上述消光系数(k值))
[10]
根据上述[1]～[8]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述下层膜形成用材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述下层膜形成用材料的上述消光系数(k值))
[11]
根据上述[1]～[10]中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
[12]
根据上述[1]～[11]中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将上述下层膜形成用材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，上述下层膜形成用材料中的交联剂的含量小于5质量份。
[13]
根据上述[1]～[12]中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将上述下层膜形成用材料的整体设为100质量％时，上述下层膜形成用材料中的上述环状烯烃聚合物的含量为50质量％以上100质量％以下。
[14]
一种下层膜形成用材料，其特征在于，是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，
是包含环状烯烃聚合物的膜的材料，
上述环状烯烃聚合物本身能够在有机溶剂中以至少0.01质量％以上50质量％以下的任一浓度进行溶解，
上述膜中，通过下述方法4测定得到的、上述环状烯烃聚合物的残膜率满足50％以上100％以下。
(方法4：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的上述涂膜在200℃处理10分钟。接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去上述涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去上述残存溶剂后的上述涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
[15]
一种下层膜形成用材料，其是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，
其包含环状烯烃聚合物，
通过下述方法4测定得到的、上述下层膜形成用材料的残膜率满足50％以上100％以下。
(方法4：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用材料的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的上述涂膜在200℃处理10分钟。接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去上述涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去上述残存溶剂后的上述涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
[16]
根据上述[14]或[15]所述的下层膜形成用材料，
上述环状烯烃聚合物具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]，
上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
[化3]
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化4]
Figure BDA0002299310930000091
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
[17]
根据上述[14]～[16]中任一项所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
[18]
根据上述[14]～[17]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述环状烯烃聚合物的上述折射率(n值))
[19]
根据上述[14]～[17]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述下层膜形成用材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述下层膜形成用材料的上述折射率(n值))
[20]
根据上述[14]～[19]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述环状烯烃聚合物的上述消光系数(k值))
[21]
根据上述[14]～[19]中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述下层膜形成用材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述下层膜形成用材料的上述消光系数(k值))
[22]
根据上述[14]～[21]中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
[23]
根据上述[14]～[22]中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将上述下层膜形成用材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，上述下层膜形成用材料中的交联剂的含量小于5质量份。
[24]
根据上述[14]～[23]中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将上述下层膜形成用材料的整体设为100质量％时，上述下层膜形成用材料中的上述环状烯烃聚合物的含量为50质量％以上100质量％以下。
[25]
一种抗蚀剂下层膜，其包含上述[1]～[24]中任一项所述的下层膜形成用材料。
[26]
一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括下述工序：在基板上形成包含上述[1]～[24]中任一项所述的下层膜形成用材料的涂膜。
[27]
根据上述[26]所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对上述涂膜进行加热的工序。
[28]
一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于上述基板的一个面且包含上述[1]～[24]中任一项所述的下层膜形成用材料。
[29]
根据上述[28]所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
(这里，在上述表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin)
[30]
根据上述[28]或[29]所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上1000nm以下。(这里，在上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)
[31]
根据上述[28]～[30]中任一项所述的层叠体，
上述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在上述凹凸结构上形成上述抗蚀剂下层膜，
上述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。
发明的效果
根据本案第一发明，能够提供一种下层膜形成用材料，其能够实现满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，由于本案第一发明的下层膜形成用材料对于凹凸结构的埋入性优异，因此根据本发明，能够在复杂形状的基板上形成对于凹凸结构的埋入性优异，满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，根据本案第二发明，能够提供一种下层膜形成用材料，其能够实现不引起中间层与抗蚀剂下层膜的互混，密合性优异的同时平坦性优异的层叠体。
附图说明
上述目的以及其他目的、特征和优点通过以下所述的合适的实施方式以及其附带的以下附图来进一步明确。
[图1]是表示实施例1所记载的聚合物1的固体粘弹性测定中的储存弹性模量(G’)曲线、损耗弹性模量(G”)曲线以及它们的交点的图。
[图2]是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体中的抗蚀剂下层膜的厚度、凹凸结构的高度和凹凸结构的凸凸间的间隔的示意图。
[图3]是用于说明本发明涉及的实施方式的凸凸间的间隔、凸部的高度、凸部宽度不均匀的凹凸结构的示意图。
[图4]是重叠涂布有实施例28所记载的聚合物19和TiO2的晶片的截面TEM照片。
具体实施方式
以下，对于本发明的实施方式进行说明。另外，数值范围的“A～B”只要没有特别限定，就表示A以上B以下。
[第一发明]
以下，对于第一发明涉及的实施方式进行说明。
＜下层膜形成用材料＞
本实施方式涉及的下层膜形成用材料是用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，包含具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，上述环状烯烃聚合物中的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
所谓本实施方式涉及的下层膜形成用材料，是指在半导体器件的制造工序中，用于形成配置于抗蚀剂层与基板(优选为具有凹凸结构的基板)之间的层的材料。配置于抗蚀剂层与基板之间的层通常以由光刻工艺中转印掩模图案的抗蚀剂材料形成的抗蚀剂层作为基准而被称为抗蚀剂下层膜。上述基板的与抗蚀剂下层膜相接触的表面可以为例如，二氧化硅(SiO2)膜、SiCN膜、二氧化硅(SiO2)中掺杂有碳(C)的SiOC膜、甲基硅氧烷系有机膜(SOG)、均匀地分布有数nm以下的微小孔隙的二氧化硅绝缘膜等由低介电材料形成了被膜的状态。
本实施方式涉及的下层膜形成用材料通过包含具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，从而能够形成满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，由加热引起的挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。即，本实施方式涉及的下层膜形成用材料能够适合用于抗蚀剂下层膜的形成。
本实施方式涉及的下层膜形成用材料中，在将下层膜形成用材料的整体设为100质量％时，具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物的含量优选为50质量％以上100质量％以下，更优选为70质量％以上100质量％以下，进一步优选为80质量％以上100质量％以下，特别优选为90质量％以上100质量％以下。
后述的第二发明中的环状烯烃聚合物的情况也优选为同样的范围。
上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下，优选为7/93以上93/7以下，更优选为10/90以上90/10以下，进一步优选为15/85以上85/15以下的范围。
本发明人等认为如果环状烯烃聚合物的组成处于上述范围内，则聚合物主链的氧、硫等元素的密度处于适当的范围内，能够表现出填埋基板的凹凸结构时与基板界面的适度密合性，能够抑制空隙等的产生，能够维持高平坦性的同时实现良好状态的埋入性。此外，还推测：因在环状烯烃聚合物的主链上存在氧、硫等元素而带来的与基板的相互作用可能会成为用于环状烯烃聚合物侵入至微细的凹凸结构的驱动力。
即，本实施方式涉及的下层膜形成用材料形成于具有凹凸结构的基板的凹凸结构上，并且能够特别适合在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
在上述[A]/[B]处于上述范围的上下限的范围以外的情况下，例如，有时在对于凹凸基板的涂布、烘烤后的冷却过程中，不表现出与基板界面的密合性，材料收缩而产生空隙等不良状况。
本实施方式中，通式(1)所示的重复结构单元[A]与通式(2)所示的重复结构单元[B]由下式表示。这里，下述通式(1)和通式(2)中，主链部分的虚线表示构成双键的一个共价键，或者表示双键被氢化而构成双键的一个共价键消失了的状态。
[化5]
Figure BDA0002299310930000141
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20(优选为碳原子数2～10)的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30(优选为碳原子数3～20)的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30(优选为碳原子数4～20)的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化6]
Figure BDA0002299310930000151
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20(优选为碳原子数2～10)的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30(优选为碳原子数3～20)的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30(优选为碳原子数4～20)的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
作为上述通式(1)的R1～R4中的碳原子数1～10的烷基，可举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、正戊基、环戊基、环己基、环辛基等。作为碳原子数为6～20的芳基，可举出例如，苯基、萘基、蒽基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、联苯基、苯酚基等。作为碳素原子数1～10的烷氧基，可举出例如，甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、环戊氧基、环己基氧基、环辛基氧基等。作为碳原子数为6～20的芳氧基，可举出例如，苯氧基、萘氧基、蒽氧基、邻甲基苯氧基、间甲基苯氧基、对甲基苯氧基、4-氧-1,1’-联苯基、4-羟基苯氧基等。作为碳原子数2～10的烷氧基烷基，可举出例如，甲氧基甲基、甲氧基乙基、乙氧基甲基、乙氧基乙基、正丙氧基甲基、异丙氧基甲基、正丁氧基甲基、异丁氧基甲基、叔丁氧基甲基、环戊基氧基甲基、环己基氧基甲基、环辛基氧基甲基等。作为碳原子数7～20的芳氧基烷基，可举出例如，苯氧基甲基、萘氧基甲基、蒽氧基甲基、邻甲基苯氧基甲基、间甲基苯氧基甲基、对甲基苯氧基甲基、4-氧-1,1’-联苯基甲基、4-羟基苯氧基甲基等。作为碳原子数2～20的烷氧基羰基，可举出例如，甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、正丁氧基羰基、异丁氧基羰基、叔丁氧基羰基、正戊基氧基羰基、环戊基氧基羰基、正己基氧基羰基、环己基氧基羰基、3-甲基丁氧基羰基、2-甲基戊氧基羰基、3-甲基戊氧基羰基、4-甲基戊氧基羰基、1-乙基环戊基氧基羰基、1-甲基环己基氧基羰基、降冰片烷基氧基羰基、金刚烷基氧基羰基等。作为碳原子数3～10的二烷基氨基羰基，可举出例如，二甲基氨基羰基、二乙基氨基羰基、乙基甲基氨基羰基、甲基丁基氨基羰基、丁基乙基氨基羰基、环己基甲基氨基羰基等。作为碳原子数7～20的芳氧基羰基，可举出例如，苯氧基羰基、苄氧基羰基、4-甲基苯氧基羰基、3,4-二甲基苯氧基羰基、1-萘氧基羰基、2-萘氧基羰基、1-蒽氧基羰基等。作为碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基，可举出例如，甲基苯基氨基羰基、乙基苯基氨基羰基、丁基苯基氨基羰基、环己基苯基氨基羰基等。作为碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基，可举出例如，甲氧基羰基甲基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基甲基、乙氧基羰基乙基、正丙氧基羰基甲基、异丙氧基羰基甲基、正丁氧基羰基甲基、叔丁氧基羰基甲基、正戊基氧基羰基甲基、环戊基氧基羰基甲基、正己基氧基羰基甲基、环己基氧基羰基甲基、正辛基氧基羰基甲基、环辛基氧基羰基甲基、1-乙基环戊基氧基羰基甲基、1-甲基环己基氧基羰基甲基等。作为碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基，可举出例如，甲氧基羰基苯基、甲氧基羰基-邻甲苯基、甲氧基羰基-间甲苯基、甲氧基羰基-对甲苯基、甲氧基羰基二甲苯基、甲氧基羰基-α-萘基、甲氧基羰基-β-萘基、乙氧基羰基苯基、丙氧基羰基苯基、丁氧基羰基苯基、乙氧基羰基苯基、正丙氧基羰基苯基、异丙氧基羰基苯基、正丁氧基羰基苯基、叔丁氧基羰基苯基、正戊基氧基羰基苯基、环戊基氧基羰基苯基、正己基氧基羰基苯基、环己基氧基羰基苯基、正辛基氧基羰基苯基、环辛基氧基羰基苯基、1-乙基环戊基氧基羰基苯基、1-甲基环己基氧基羰基苯基、甲氧基羰基萘基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基萘基、正丙氧基羰基萘基、异丙氧基羰基萘基、正丁氧基羰基萘基、叔丁氧基羰基萘基、正戊基氧基羰基萘基、环戊基氧基羰基萘基、正己基氧基羰基萘基、环己基氧基羰基萘基、正辛基氧基羰基萘基、环辛基氧基羰基萘基、1-乙基环戊基氧基羰基萘基、1-甲基环己基氧基羰基萘基等。作为碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基，可举出例如，苯氧基羰基甲基、苄氧基羰基甲基、4-甲基苯氧基羰基甲基、3,4-二甲基苯氧基羰基甲基、1-萘氧基羰基甲基、2-萘氧基羰基甲基、1-蒽氧基羰基甲基等。作为碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基，可举出例如，甲氧基甲基氧基羰基、乙氧基甲基氧基羰基、正丙氧基甲基氧基羰基、异丙氧基甲基氧基羰基、正丁氧基甲基氧基羰基、叔丁氧基甲基氧基羰基、环戊基氧基甲基氧基羰基、环己基氧基甲基氧基羰基、环辛基氧基甲基氧基羰基、降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基、1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基、1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基、1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基、四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基、四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基、1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基、2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基等。作为碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，可举出例如，甲氧基羰基甲基氧基羰基、乙氧基羰基甲基氧基羰基、正丙氧基羰基甲基氧基羰基、异丙氧基羰基甲基氧基羰基、正丁氧基羰基甲基氧基羰基、叔丁氧基羰基甲基氧基羰基、环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、环己基氧基羰基甲基氧基羰基、环辛基氧基羰基甲基氧基羰基、降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基、1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基、1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基、四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基、1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基、2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基等。
进一步，R1～R4可以形成环结构，具体而言，R1～R4中各自独立地或者至少2个结合，此时，可以通过-C-、-O-、-NR9-键来结合。可举出例如，环状烷基结构、环状酯结构、环状酸酐结构、环状酰胺结构、环状酰亚胺结构等。
在R1～R4中的至少2个通过-C-键来形成环状烷基结构的情况下，可举出环戊基、环己基、环戊基等。在通过-O-键来形成环状酯结构的情况下，可举出γ-丁内酯、δ-戊内酯等。在环状酸酐结构的情况下，可举出马来酸酐结构等。在通过-NR9-键来形成内酰胺环的情况下，可举出γ-内酰胺、δ-内酰胺等，在形成这些内酰胺环、作为环状酰亚胺结构的马来酰亚胺环的情况下，作为氮原子上的R9，可举出例如，碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基等。作为碳原子数1～10的烷基，可举出例如，甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、正戊基、1-甲基戊基、1-乙基丁基、2-甲基己基、2-乙基己基、4-甲基庚基、环戊基、环己基、环辛基等。作为碳原子数6～20的芳基，可举出例如，苯基、萘基、蒽基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、联苯基、苯酚等。
其中，作为上述通式(1)的R1～R4，优选为烷氧基羰基、芳氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、γ-丁内酯环、马来酸酐、马来酰亚胺环。
此外，X1是指来源于选自氧和硫的元素的结构。优选为来源于氧的结构。如上所述，可以认为包含具有该X1满足上述规定的通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物的本实施方式涉及的下层膜形成用材料能够表现出填埋基板的凹凸结构时与基板界面的适度的密合性，能够抑制空隙等的产生，能够维持高平坦性的同时实现良好状态的埋入性。此外，还推测：因在环状烯烃聚合物的主链上存在氧、硫等元素而带来的与基板的相互作用可能会成为用于环状烯烃聚合物侵入至微细的凹凸结构的驱动力。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物可以包含通式(1)所示的重复结构单元[A]中的R1～R4的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物的例子，在R1～R4全部为氢的情况下，可举出聚(二环[2.2.1]庚-2-烯)，在R1～R4中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(5-甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(5-苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-联苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(5-甲氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(5-苯氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(4-羟基苯氧基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯氧基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-二甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛基氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氢-1,4-亚甲基萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(5-甲氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13 ,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
其中，从提高调制涂布液时的溶剂(PGMEA)溶解性的观点、使涂布后的环状烯烃聚合物的极性更大幅地变化的观点考虑，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，进一步优选为聚(5-(叔丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13, 6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物的例子，在R1～R4全部为氢的情况下，可举出聚(四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R1～R4中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(8-甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(8-苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-联苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(8-甲氧基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(8-苯氧基-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、(8-(4-羟基苯氧基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯氧基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出聚(8-二甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-二乙基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲基丁基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-丁基乙基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基甲基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(8-甲基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-丁基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基苯基氨基羰基-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正辛基氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R1～R4中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13, 6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等。
在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氢-1,4:9,10-二亚甲基-蒽)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4-氧-五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02 ,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[10.2.1.11,8.02,7.09 ,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11 ,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苯氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02 ,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)。
其中，从提高调制涂布液时的溶剂(PGMEA)溶解性的观点、使涂布后的环状烯烃聚合物的极性更大幅地变化的观点考虑，本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，进一步优选为聚(8-(叔丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13, 6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(1)所示的重复结构单元[A]中，在R1～R4彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂五环[9.2.1.11, 7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)。
上述通式(2)中R5～R8与上述通式(1)的R1～R4含义相同，此外，R5～R8可以形成环结构，具体而言，R5～R8中各自独立地或者至少2个结合，此时，可以通过-C-、-O-、-NR9-键结合。可举出例如，环状烷基结构、环状酯结构、环状酸酐结构、环状酰胺结构、环状酰亚胺结构等。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物可以包含通式(2)所示的重复结构单元[B]中R5～R8的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物的例子，在R5～R8中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(5-甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(5-苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-联苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(5-甲氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(5-苯氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(4-羟基苯氧基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-萘氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-蒽氧基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(邻甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(间甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(对甲基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-羟基苯氧基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出(5-二甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基乙基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正辛基氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(5-苯氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基甲基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基甲基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(5-甲氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)等。
在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a-八氢-1,4-环氧-萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4,10-二氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[6.2.1.02,7]-9-十一碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02 ,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(5-甲氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丁氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基戊氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基苯基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基羰基萘基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(异丙氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苯氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-苄氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-萘氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-蒽氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-甲氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-乙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丙氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-异丙氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
其中，从提高调制涂布液时的溶剂(PGMEA)溶解性的观点、使涂布后的环状烯烃聚合物的极性更大幅地变化的观点考虑，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝0的环状烯烃聚合物，进一步优选为聚(5-(叔丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环辛基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基苯基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(正戊基氧基羰基萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)、聚(5-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-7-氧-二环[2.2.1]庚-2-烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝0的环状烯烃聚合物，优选为聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮)、聚(4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物的例子，在R5～R8中的至少一个为烷基的情况下，可举出聚(8-甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳基的情况下，可举出聚(8-苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-联苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基的情况下，可举出聚(8-甲氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基的情况下，可举出聚(8-苯氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、(8-(4-羟基苯氧基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-萘氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-蒽氧基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(邻甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(间甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(对甲基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-氧-1,1’-联苯基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-羟基苯氧基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为二烷基氨基羰基的情况下，可举出(5-二甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-二乙基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-乙基甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-甲基丁基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-丁基乙基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-环己基甲基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷基芳基氨基羰基的情况下，可举出聚(5-甲基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-乙基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-丁基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(5-环己基苯基氨基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基乙基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正辛基氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基芳基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为芳氧基羰基烷基的情况下，可举出聚(8-苯氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基甲基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基甲基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基烷基氧基羰基的情况下，聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)等，在R5～R8中的至少一个为烷氧基羰基烷基氧基羰基的情况下，可举出聚(8-甲氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)等。
在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为环状烷基结构，可举出例如，聚(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-十二氢-1,4:9,10-二环氧-萘)等，作为能够形成内酯环的环状酯结构，例如作为γ-丁内酯结构，可举出聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)，作为δ-戊内酯结构，可举出聚(4,15,16-三氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为环状酸酐结构，可举出例如，聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)，作为能够形成内酰胺环的环状酰胺结构，例如作为γ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08 ,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)，此外作为δ-内酰胺，可举出聚(4-甲基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02 ,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11 ,8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11,8.02, 7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-15,16-二氧-五环[10.2.1.11, 8.02,7.09,14]-11-十六碳烯-3-酮)等，作为能够形成马来酰亚胺环的环状酰亚胺结构，可举出例如，聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)等。
其中，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(8-甲氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丁氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基戊氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基苯基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基羰基萘基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(异丙氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苯氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-苄氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基苯氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-萘氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-蒽氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-甲氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-乙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丙氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-异丙氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环己基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-环辛基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基降冰片基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基丙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢呋喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-四氢吡喃-2-基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)。
其中，从提高调制涂布液时的溶剂(PGMEA)溶解性的观点、使涂布后的环状烯烃聚合物的极性更大幅地变化的观点考虑，本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，作为n＝1的环状烯烃聚合物，进一步优选为聚(8-(叔丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-3-甲基-3-戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,3,3-三甲基-2-丁氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3,4-二甲基-3-己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-甲基-3-庚基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环戊基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环辛基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基十氢萘-1-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2,7,7-三甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-7,7-二甲基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-甲基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-乙基-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-甲基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(2-环己基-2-丙氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环戊基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-甲基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-(1-乙基环己基氧基羰基)苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基苯基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(正戊基氧基羰基萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2,3-二甲基-2-丁氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环戊基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(2-环己基-2-丙氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环戊基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-乙基环己基氧基羰基)萘基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-异丙氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-正丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-叔丁氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-环辛基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环戊基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基环己基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙基降冰片基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基丙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-乙氧基-1-甲基乙基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢呋喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(四氢吡喃-2-基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17 ,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-金刚烷基氧基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(叔丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环戊基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-环己基-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-环己基-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-环己基-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-降冰片烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-降冰片烷基-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(4-乙基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基乙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1,1-二环己基丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-甲基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-乙基环己基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)-2-丙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(2-甲基-2-金刚烷基氧基羰基)乙氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-乙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-异丙基-2-金刚烷基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丙氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(2-(1-金刚烷基)-2-丁氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-金刚烷基)-3-戊基氧基羰基甲基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-叔丁氧基羰基-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(3-(1-甲基环己基氧基羰基)-1-环戊基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-叔丁氧基羰基-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5-(1-甲基环己基氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,5-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(5,6-二(叔丁氧基羰基)-2-降冰片烷基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(1-(1-甲基环己基氧基羰基)-八氢-4,7-亚甲基茚-5-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(6-叔丁氧基羰基-十氢萘-2-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-叔丁氧基羰基-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯)、聚(8-(9-(1-甲基环己基氧基羰基)-四环[6.2.1.13,6.02,7]-十二烷-4-基氧基羰基)-11,12-二氧-四环[4.4.0.12 ,5.17,10]-3-十二碳烯)。
进一步在本实施方式涉及的上述通式(2)所示的重复结构单元[B]中，在R5～R8彼此结合而形成环结构的情况下，作为n＝1的环状烯烃聚合物，优选为聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3-酮)、聚(4,14,15-三氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-甲基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-乙基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02, 6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丙基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11, 7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(正丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(1-甲基丁基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环戊基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-环己基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-苯基-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)、聚(4-(4-羟基苯基)-4-氮杂-14,15-二氧-五环[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-十五碳烯-3,5-二酮)。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物例如，能够通过将以下所示的下述通式(3)所示的环状烯烃单体和下述通式(4)所示的环状烯烃单体利用开环易位聚合进行聚合而获得。
[化7]
Figure BDA0002299310930001041
上述通式(3)中，R1～R4和n与上述通式(1)含义相同。
本实施方式涉及的环状烯烃单体可以包含通式(3)所示的结构单元中的R1～R4的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
[化8]
Figure BDA0002299310930001042
上述通式(4)中，R5～R8、X1和n与上述通式(2)含义相同。
本实施方式涉及的环状烯烃单体可以包含通式(4)所示的结构单元中的R5～R8的至少1个与其他不同的两种以上的结构单元。
将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物进行聚合时所使用的催化剂只要是能够将上述环状烯烃单体进行开环易位聚合的催化剂，就没有特别限定，可举出例如，钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物催化剂；由有机过渡金属配位化合物与作为助催化剂的路易斯酸组合得到的开环易位催化剂等，优选使用钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物催化剂。
本实施方式中，特别是能够将含有杂原子的极性高的环状烯烃单体进行共聚。例如，在将钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)等有机过渡金属亚烷基配位化合物用于开环易位聚合催化剂的情况下，能够将极性高的环状烯烃单体进行高效地共聚。
作为上述有机过渡金属亚烷基配位化合物的开环易位聚合催化剂，可举出例如，W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钨系亚烷基催化剂；W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OBut)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PMe3)、W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OPh)2(PMe3)(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钨系亚烷基催化剂；Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2、Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(式中的Pri表示异丙基，But表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基。)等钼系亚烷基催化剂；Ru(P(C6H11)3)2(CHPh)Cl2(式中的Ph表示苯基。)等钌系亚烷基催化剂等。上述开环易位聚合催化剂可以单独使用，也可以将2种以上并用来使用。
作为将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物进行聚合时的聚合催化剂金属成分，可举出例如，钼、钨、铼、铱、钽、钌、钒、钛、钯、铑等过渡金属。优选为钼、钨、钌、铑，更优选为钼、钨。
关于聚合反应中环状烯烃单体与有机过渡金属亚烷基配位化合物的开环易位聚合催化剂的摩尔比，相对于开环易位聚合催化剂1摩尔，环状烯烃单体例如为10当量～50000当量，优选为50当量～30000当量，更优选为100当量～20000当量。
聚合反应可以以无溶剂来进行，也可以使用溶剂来进行。作为溶剂，可举出例如，四氢呋喃、二乙基醚、二丁基醚、二甲氧基乙烷、二噁烷等醚类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷、十氢化萘等脂肪族环状烃；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等卤代烃；乙酸甲酯、乙酸乙酯等酯等。这些溶剂可以单独使用1种，也可以并用2种以上。
此外，聚合反应可以在烯烃类、二烯类等链转移剂共存下进行。作为用作链转移剂的烯烃类，可举出例如，乙烯、丙烯、丁烯、戊烯、己烯、辛烯等α-烯烃；乙烯基三甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷、烯丙基三乙基硅烷、烯丙基三异丙基硅烷等含硅烯烃等。此外，作为二烯类，可举出例如，1,4-戊二烯、1,5-己二烯、1,6-庚二烯等非共轭系二烯。链转移剂各自可以单独使用，也可以并用2种以上。
关于共存的链转移剂的使用量，相对于环状烯烃单体1摩尔，链转移剂优选为0.001当量～1000当量，更优选为0.01当量～100当量的范围。此外，相对于开环易位聚合催化剂1摩尔，链转移剂优选为0.1当量～2000当量，更优选为1当量～1000当量的范围。通过任意地设定这些量比，从而能够调整分子量的大小。
聚合反应中的单体浓度根据环状烯烃单体的反应性、在聚合溶剂中的溶解性等而不同，因此没有特别限定，环状烯烃单体相对于溶剂1kg的浓度例如为0.001kg/kg～3kg/kg，优选为0.01kg/kg～2kg/kg，进一步优选为0.02kg/kg～1kg/kg的范围。反应温度根据环状烯烃单体和开环易位催化剂的种类、量等而不同，因此没有特别限定，例如为-30℃～150℃，优选为0℃～120℃，进一步优选为15℃～100℃。反应时间例如为1分钟～10小时，优选为5分钟～8小时，进一步优选为10分钟～6小时。
在聚合反应后，能够利用丁醛等醛类、丙酮等酮类、甲醇等醇类等来停止反应，获得环状烯烃聚合物溶液。此时，从减少所得的环状烯烃聚合物中的未聚合单体的量，进一步抑制挥发成分(释气)的产生的观点考虑，环状烯烃单体的聚合率优选为90％以上，更优选为95％以上，进一步优选为100％。
进一步，由所得的环状烯烃聚合物的溶液来取得聚合物的方法没有特别限制，可举出例如，向搅拌下的不良溶剂中排出反应溶液的方法、通过向反应溶液中吹入蒸汽的汽提等方法来使聚合物析出的方法、或者通过加热等从反应溶液将溶剂蒸发除去的方法等。
此外，本实施方式的通式(1)和(2)所示的环状烯烃聚合物可以是将主链的双键进行了加氢(也称为氢化)的形式。由此，能够解开由主链的双键限制聚合物链运动的束缚，例如，能够使聚合物的玻璃化转变温度降低，将利用后述的流变仪进行测定时的储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整为适当的范围，表现出更好的加热熔融流动性。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。
此时的氢化反应中的氢化率优选为0.1～100摩尔％，更优选为1.0～95摩尔％，进一步优选为5～90摩尔％。
用于将由开环易位聚合获得的聚合物的主链的双键部进行加氢的催化剂只要是能够加氢的催化剂，则可以是均相系金属配位化合物催化剂，也可以是非均相系的金属担载催化剂中的任一者。其中优选为能够将催化剂容易地分离的非均相系金属担载催化剂是适合的，可举出例如，活性炭担载钯、氧化铝担载钯、活性炭担载铑、氧化铝担载铑、活性炭担载钌、氧化铝担载钌等。这些催化剂能够单独使用，或者也能够将两种以上组合使用。
作为加氢所使用的溶剂，只要是将聚合物溶解并且溶剂本身不会被加氢的溶剂，就没有特别限制，可举出例如，四氢呋喃、二乙基醚、二丁基醚、二甲氧基乙烷、二噁烷等醚类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷、十氢化萘等脂肪族环状烃；二氯甲烷、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等卤代烃；乙酸甲酯、乙酸乙酯等酯等。这些溶剂可以单独使用1种，也可以并用2种以上。此外，优选为通过使用与上述聚合反应中选用的溶剂同种的溶剂，从而能够不需要溶剂置换工序而适用适于生产率的工序。
关于上述主链的烯烃部的加氢反应，氢压力优选为常压～10MPa，更优选为0.5～8MPa，特别优选为2～5MPa。此外，反应温度优选为0～200℃的温度，更优选为室温～150℃，特别优选为50～100℃。加氢反应的实施方式没有特别限制，可举出例如，将催化剂分散或溶解于溶剂中来进行加氢的方法，将催化剂填充至柱等制成固定相而使聚合物溶液流通来进行加氢的方法等。
进一步，关于主链的烯烃部的加氢处理，可以是使加氢处理前的聚合物的聚合溶液在不良溶剂中析出，将聚合物离析之后，再次溶解于溶剂来进行加氢处理，也可以是不从聚合溶液将聚合物离析，而利用上述氢化催化剂来进行加氢处理，没有特别限制。
加氢后，特别是优选使用活性炭担载铑、活性炭担载钌等非均相系金属担载催化剂的情况下由聚合物溶液来取得聚合物的方法没有特别限制，可举出例如，利用过滤、离心分离、倾析等方法取得不含催化剂的聚合物溶液，向搅拌下的不良溶剂排出反应溶液的方法；通过向反应溶液中吹入蒸汽的汽提等方法来使聚合物析出的方法；或者通过加热等从反应溶液将溶剂蒸发除去的方法等。
此外，在利用非均相系金属担载催化剂来实施加氢反应的情况下，还能够在将合成液过滤来将金属担载催化剂过滤分离之后，利用上述方法来取得聚合物。优选为了获得半导体器件制造工序所使用的特别是不含金属的聚合物溶液，可以对于将催化剂成分粗提取后的溶液进行过滤，利用上述方法来取得聚合物。将催化剂成分进行精密过滤是特别适合的，过滤器的筛孔优选为10μm～0.05μm，特别优选为10μm～0.10μm，进一步优选为5μm～0.10μm。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物中，例如以试样浓度3.0～9.0mg/ml通过凝胶渗透色谱(GPC)测定得到的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)优选为1000～20000，更优选为1500～19000，进一步优选为2000～18000。通过使重均分子量(Mw)处于上述范围内，从而在向基板的凹凸结构的表面涂布本实施方式涉及的下层膜形成用材料之后的烘烤工序中的、适应通常的半导体器件制造工序的200～250℃的加热中，能够表现出更好的加热熔融流动性。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。
此外，成为上述范围分子量(Mw)时的重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比即分子量分布(Mw/Mn)优选为1.3～5.0，更优选为1.3～4.0，进一步优选为1.3～3.0。通过使分子量分布(Mw/Mn)处于上述范围内，从而能够进一步抑制对于烘烤工序中的加热的熔融不均，树脂更均匀地熔融。其结果是能够形成空隙等缺陷进一步得以抑制，平坦性更优异，表现出更好状态的埋入性的下层膜。
作为表示这里的因加热导致的熔融流动性的标准，例如，能够使用本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的固体粘弹性测定中的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度(参照图1)。
储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点能够作为表示物质(也称为树脂)的流变的变化的标准来使用。通常，在达到交点前的升温过程中，物质显示作为弹性体的特性，树脂不流动。而且，通过经过交点而将物质进一步加热至高温，从而显示作为粘性流体的特性，树脂流动。即，为了对基板的凹凸表面进一步抑制空隙等缺陷的同时，以更均匀的状态进行填埋，优选显示适度的流动性。即，如果本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料中，储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点优选为40～200℃，更优选为40～195℃，进一步优选为40～190℃的范围，则在半导体器件制造工序中通常所使用的200～250℃的加热条件下，本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料能够显示用于将基板表面的凹凸结构更均匀地填埋所需要的适度的流动性。
储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的下限值进一步更优选为80℃以上，进一步更优选为90℃以上，特别优选为100℃以上。此外，储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的上限值优选为200℃以下，更优选为195℃以下，特别优选为190℃以下。
这里，本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的固体粘弹性能够使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围30～300℃(或50～250℃)、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下进行测定。
即，如果储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点为上述上限值以下，则本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料能够显示作为粘性流体的特性，树脂流动，进一步抑制空隙等缺陷的同时，将基板的凹凸表面以更均匀的状态进行填埋。
此外，如果储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点为上述下限值以上，则能够抑制本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的流动性，其结果能够进一步抑制基板的凹凸表面处的收缩，进一步抑制空隙等缺陷的同时，将基板的凹凸表面以更均匀的状态进行填埋。
此外，通过下述方法1测定得到的、本实施方式涉及的环状烯烃聚合物中的挥发成分的产生量优选为0.0质量％以上1.0质量％以下％，更优选为0.0质量％以上0.7质量％以下，进一步优选为0.0质量％以上0.5质量％以下，特别优选为0.0质量％以上0.1质量％以下。
由此，由于能够抑制伴随加热熔融时的聚合物的分解的挥发成分(释气)的产生，因此能够形成平坦性更优异的抗蚀剂下层膜。
即，能够形成如下抗蚀剂下层膜：该抗蚀剂下层膜能够抑制与设置于上层的中间层、抗蚀剂层所使用的材料的互混，能够抑制空隙等的产生，具有更好的状态的埋入性，且平坦性更优异。
方法1：将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物溶解于四氢呋喃来制作固体成分浓度(或聚合物浓度)为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温，将上述环状烯烃聚合物固化，在氮气气氛下、30～300℃的温度范围，以10℃/min的升温速度对上述环状烯烃聚合物进行加热，由100～250℃的范围内的重量减少率，算出上述环状烯烃聚合物中的上述挥发成分的产生量。
此外，本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料优选能够以至少0.01质量％以上50质量％以下的任一浓度溶解在后述的清漆状的下层膜形成用材料的调制所使用的有机溶剂的任一者(优选为丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))中，通过下述方法4测定得到的、本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的残膜率优选为50％以上100％以下，更优选为60％以上100％以下。
方法4：在硅晶片上形成包含本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的涂膜在200℃处理10分钟。接着，在选自由醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂和烃系溶剂所组成的组中的至少1种有机溶剂(优选为丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))中在23℃浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去残存溶剂后的涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
作为醇系溶剂，可举出例如，4-甲基-2-戊醇、正己醇等碳原子数1～18的脂肪族一元醇系溶剂；环己醇等碳原子数3～18的脂环式一元醇系溶剂；1,2-丙二醇等碳原子数2～18的多元醇系溶剂；丙二醇单甲基醚等碳原子数3～19的多元醇部分醚系溶剂等。
作为醚系溶剂，可举出例如，二乙基醚、二丙基醚、二丁基醚等二烷基醚系溶剂；四氢呋喃、四氢吡喃等环状醚系溶剂；二苯基醚、茴香醚等含有芳香环的醚系溶剂等。
作为酮系溶剂，可举出例如，丙酮、甲基乙基酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、二乙基酮、甲基异丁基酮、2-庚酮、乙基正丁基酮、甲基正己基酮、二异丁基酮、三甲基壬酮等链状酮系溶剂；环戊酮、环己酮、环庚酮、环辛酮、甲基环己酮等环状酮系溶剂；2,4-戊二酮、2,5-己二酮、苯乙酮等。
作为酰胺系溶剂，可举出例如，N,N’-二甲基咪唑啉酮、N-甲基吡咯烷酮等环状酰胺系溶剂；N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基丙酰胺等链状酰胺系溶剂等。
作为酯系溶剂，可举出例如，乙酸正丁酯、乳酸乙酯等单羧酸酯系溶剂；丙二醇乙酸酯等多元醇羧酸酯系溶剂；丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯等多元醇部分烷基醚乙酸酯等多元醇部分醚羧酸酯系溶剂；草酸二乙酯等多元羧酸二酯系溶剂；γ-丁内酯、δ-戊内酯等内酯系溶剂；碳酸二乙酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等碳酸酯系溶剂等。
作为烃系溶剂，可举出例如，碳原子数5～10的直链状或支链状烃、碳原子数5～12的脂环式烃、碳原子数6～18的芳香族烃等。脂环式烃和芳香族烃的环上的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1～5的直链状或支链状烷基所取代。
其中，如果考虑对于工艺的适应性等，优选为选自由醇系溶剂和酯系溶剂所组成的组中的至少1种。作为醇系溶剂，可举出例如，丙二醇单甲基醚(PGME)、丙二醇单丙基醚(PGPE)等。作为酯系溶剂，可举出例如丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)。这些溶剂可以单独使用也可以混合使用2种以上。
如果本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的残膜率为上述下限值以上，则在抗蚀剂下层膜上形成中间层的情况下，能够抑制互混，其结果是能够实现中间层与抗蚀剂下层膜的密合性优异且平坦性优异的层叠体。
这里，在使用选自由醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂和烃系溶剂所组成的组中的至少1种有机溶剂中的任一溶剂作为有机溶剂的情况下，上述残膜率只要在上述范围内即可，优选使用丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))作为有机溶剂时残膜率处于上述范围内。
本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的通过差示扫描量热分析得到的玻璃化转变温度优选为40～220℃，更优选为40～200℃，进一步优选为40～180℃。此外，本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的通过差示扫描量热分析得到的玻璃化转变温度优选为40℃以上，更优选为50℃以上，进一步优选为60℃以上，进一步更优选为70℃以上，而且优选为220℃以下，更优选为200℃以下，进一步优选为180℃以下。如果玻璃化转变温度为上述范围，则易于将上述储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度调整为上述范围。
此外，抗蚀剂下层膜的平坦性的评价例如采用以下方法：通过利用旋转涂布法进行的涂膜形成来填补基板的凹凸表面，切出烧成后的样品的截面，利用SEM观察样品。在该情况下，优选能够使用以下的平坦度(ΔFT)作为表示大气面的摇摆程度的标准。首先，在基板的凹凸结构中，测定10处的从凹部底面至大气面(后述的表面(α))的高度，将平均值(Hav)设为膜厚。接着，由计测摇摆的膜厚的最大值(Hmax)与最小值(Hmin)得到的结果，将最大值与最小值的差(Hmax-Hmin)除以膜厚的平均值而得的值[(Hmax-Hmin)/Hav]×100(％)设为平坦度(ΔFT)的标准。不过，在基板没有凹凸结构时，只要将上述“从凹部底面至大气面的高度”改换为“从基板表面至大气面的高度”即可。
图2是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体10中的抗蚀剂下层膜2的膜厚4、凹凸结构7的高度5和凹凸结构7的凸凸间的间隔6的示意图。如图2所示那样，在基板1具有凹凸结构7的情况下，从凹部底面至表面(α)3的高度成为抗蚀剂下层膜2的膜厚4，在基板1不具有凹凸结构7的情况下，从基板1的表面至表面(α)3的高度成为抗蚀剂下层膜2的膜厚4。
此时的平坦度(ΔFT)优选为0～5％，更优选为0～3％，进一步优选为0～1％。由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
此外，抗蚀剂下层膜的疏密图案中的膜厚差的评价例如采用以下方法：通过利用旋转涂布法进行的涂膜形成来填补基板的凹凸表面，切出烧成后的样品的截面，利用SEM观察样品。在该情况下，所谓疏密图案的切换部，如图3-2所示那样，在使基板上的凹凸结构中凸凸间宽度(凹宽度)＝a，凸宽度＝b时，将凸凸间宽度相对于a+b所示的图案间距宽度的比例[a/(a+b)]设为α，求出同一基板上的凸凸间宽度与凸宽度不同的图案区的各个α值、α1和α2。将该α1与α2之差的绝对值处于0＜|α1-α2|＜1的范围的情况设为疏密图案的切换部。所谓疏密图案的切换部中的膜厚差，是指：在上述α值不同的同一基板上的图案区中，对各图案区中从凹部底面至大气面的膜厚测定10处，求出各自的平均值H1和H2、H1与H2的平均值H3，将2个图案区的从凹部底面至大气面的平均膜厚之差的绝对值|H1-H2|除以H3而得的值|H1-H2|/H3×100(％)设为平坦度(ΔFT)的标准。
图3-2中，a1/(a1+b1)＝α1，a2/(a2+b2)＝α2，H1和H2为上述α1区和α2区各自的从凹部底面至大气面的平均膜厚，|H1-H2|/H3×100(％)＝ΔFT。
此时的平坦度(ΔFT)优选为0～5％，更优选为0～3％，进一步优选为0～1％。由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
将波长193nm的ArF准分子激光设为光源，将光掩模的图案转印到形成于下层膜的上方的由抗蚀剂材料所形成的层上的ArF光刻工序中，有时从抗蚀剂层穿过下层膜的光在半导体基板表面反射，再次从下层膜入射至上方的抗蚀剂层。换言之，有时由于驻波的影响而产生光干扰，抗蚀剂内部所产生的酸的浓度变得不均匀，从而图案的粗糙恶化。此外，在使用具有多种沟槽，特别是具有长宽比彼此不同的沟槽的基板的情况下，有时产生下述现象：光的反射特别是在高低差部分引起漫反射，漫反射后的光再次从下层膜入射至抗蚀剂层，从而光入射到本来应该是未曝光部的抗蚀剂层内部，由于产生的酸而使转印精度恶化。
为了防止因这些从下层膜向抗蚀剂层的驻波、漫反射而引起的图案的粗糙恶化、转印精度恶化，需要使下层膜具有作为防反射膜的功能。实用上来看，需要将从下层膜向抗蚀剂膜内的反射率抑制成1％以下。
作为表现作为防反射膜的功能的具体方法，已知控制下层膜形成用材料的光学常数的方法。
关于通过下述方法2测定得到的本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的相对于波长193nm的折射率(n值)和通过下述方法3测定得到的本实施方式涉及的环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的消光系数(k值)，通过控制在优选n值为1.5～2.0，k值为0.0001～0.5，更优选n值为1.55～1.95，k值为0.0001～0.4，进一步优选n值为1.6～1.9，k值为0.0001～0.3的范围，从而能够使从下层膜向抗蚀剂层的反射率为1％以下。此外，从发挥防反射性能的观点来看，优选上述防反射膜为平坦的形状。如果为本实施方式，则能够使上述基底膜表面成为平坦的结构，因此在形成防反射膜方面也优选。
方法2：在硅晶片上形成包含环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的折射率(n值)。
方法3：在硅晶片上形成包含环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的涂膜的消光系数(k值)设为环状烯烃聚合物或下层膜形成用材料的消光系数(k值)。
此外，此时所使用的下层膜的膜厚(在使用没有凹凸结构的基板时，在任意10处测定从基板的上部至下层膜的表面的距离，在使用具有凹凸结构的基板的情况下，测定从基板的凹凸表面的凹部底面至下层膜的表面的距离)的平均值Hav(这里，在抗蚀剂下层膜的与基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)优选为5～1000nm，更优选为5～800nm，进一步优选为5～600nm，进一步更优选为5～500nm，进一步更优选为7～450nm，进一步更优选为10～400nm的范围，抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav的下限值优选为5nm以上，更优选为7nm以上，进一步优选为10nm以上，上限值优选为1000nm以下，更优选为800nm以下，进一步优选为600nm以下，进一步更优选为500nm以下，进一步更优选为450nm以下，进一步更优选为400nm以下。在上述n值和k值的范围以及下层膜的厚度的范围内的情况下，在ArF光刻工序中，能够获得光掩模的图案不粗糙，精度良好地转印后的加工基板。
＜清漆状的下层膜形成用材料的调制＞
关于本实施方式涉及的下层膜形成用材料，例如，通过使本实施方式涉及的环状烯烃聚合物溶解或分散于有机溶剂中，根据需要，通过与所期望的图案的尺寸相应的细孔的过滤器来除去异物，从而能够制成适合涂布于基板上的清漆状的下层膜形成用材料。
作为此时所使用的有机溶剂，只要是能够将本实施方式涉及的环状烯烃聚合物溶解或分散的溶剂，就没有特别限定。
作为有机溶剂，可举出例如，醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂、烃系溶剂等。
作为醇系溶剂，可举出例如，4-甲基-2-戊醇、正己醇等碳原子数1～18的脂肪族一元醇系溶剂；环己醇等碳原子数3～18的脂环式一元醇系溶剂；1,2-丙二醇等碳原子数2～18的多元醇系溶剂；丙二醇单甲基醚等碳原子数3～19的多元醇部分醚系溶剂等。
作为醚系溶剂，可举出例如，二乙基醚、二丙基醚、二丁基醚等二烷基醚系溶剂；四氢呋喃、四氢吡喃等环状醚系溶剂；二苯基醚、茴香醚等含有芳香环的醚系溶剂等。
作为酮系溶剂，可举出例如，丙酮、甲基乙基酮、甲基正丙基酮、甲基正丁基酮、二乙基酮、甲基异丁基酮、2-庚酮、乙基正丁基酮、甲基正己基酮、二异丁基酮、三甲基壬酮等链状酮系溶剂；环戊酮、环己酮、环庚酮、环辛酮、甲基环己酮等环状酮系溶剂；2,4-戊二酮、2,5-己二酮、苯乙酮等。
作为酰胺系溶剂，可举出例如，N,N’-二甲基咪唑啉酮、N-甲基吡咯烷酮等环状酰胺系溶剂；N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基丙酰胺等链状酰胺系溶剂等。
作为酯系溶剂，可举出例如，乙酸正丁酯、乳酸乙酯等单羧酸酯系溶剂；丙二醇乙酸酯等多元醇羧酸酯系溶剂；丙二醇单甲基醚乙酸酯等多元醇部分烷基醚乙酸酯等多元醇部分醚羧酸酯系溶剂；草酸二乙酯等多元羧酸二酯系溶剂；γ-丁内酯、δ-戊内酯等内酯系溶剂；碳酸二乙酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等碳酸酯系溶剂等。
作为烃系溶剂，可举出例如，碳原子数5～10的直链状或支链状烃、碳原子数5～12的脂环式烃、碳原子数6～18的芳香族烃等。脂环式烃和芳香族烃的环上的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1～5的直链状或支链状烷基所取代。
从这些之中，考虑涂覆时的溶剂的挥发速度、对于工艺的适应性、生产率等来选择，优选选择醇系溶剂、链状酮系溶剂、环状酮系溶剂、链状醚系溶剂、环状醚系溶剂、酯系溶剂等含氧溶剂。本实施方式涉及的下层膜形成用材料可以包含1种或2种以上溶剂。
此外，本实施方式涉及的清漆状的下层膜形成用材料中，环状烯烃聚合物的浓度优选为0.01～50.0质量％，更优选为0.1～45.0质量％，进一步优选为1.0～40.0质量％。环状烯烃聚合物的浓度能够考虑聚合物的溶解性、对于过滤工艺的适应性、制膜性、作为下层膜的厚度等来选择。
进一步，以调整蚀刻耐性、光学特性等作为下层膜的材料物性为目的，在不损害本发明的效果的范围内，可以将丙烯酸系树脂、环氧树脂、苯乙烯树脂、羟基苯乙烯树脂、羟基亚萘基树脂、有机硅树脂等树脂：如果是上述树脂与聚合引发剂的组合则是构成上述树脂的单体；热固化系的单体；聚合物材料；锆、铪、钌、钛等金属的氧化物与本实施方式涉及的下层膜形成用材料进行混合。
进一步，在抗蚀剂层与抗蚀剂下层膜、或抗蚀剂层与抗蚀剂下层膜之间设置中间层的情况下，以抑制中间层与抗蚀剂下层膜之间的互混为目的，在不损害本发明的效果的范围内，本实施方式涉及的下层膜形成用材料可以包含交联剂。另一方面，有时交联剂的使用对于固化时的反应收缩的影响变得显著。例如，在凹凸的图案为不规则的情况下，如果交联剂过多，则在凸凸间为长的结构时，有时不能无视收缩的影响，平坦性有可能降低。因此，本实施方式涉及的下层膜形成用材料中的交联剂的含量优选为少。从该观点考虑，在将下层膜形成用材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，优选小于5质量份，更优选小于3质量份，进一步优选小于1质量份。
作为交联剂，适合使用多官能的环氧化合物、氧杂环丁烷化合物等，这些化合物没有特别限制。
作为多官能的环氧化合物，可举出例如，1,7-辛二烯二环氧化物、柠檬烯二氧化物、4-乙烯基环己烯二氧化物、3,4-环氧环己基甲基-3’,4’-环氧环己烷甲酸酯、二(3,4-环氧环己基)己二酸酯、(3,4-环氧-6-甲基环己基)甲基-3,4-环氧-6-甲基环己烷甲酸酯、1,2-二(3,4-环氧环己烷甲酸)亚乙酯、3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷甲酸酯、双(3,4-环氧环己基甲基)己二酸酯、双酚A型环氧树脂、卤代双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、邻甲酚酚醛清漆型环氧树脂、间甲酚酚醛清漆型环氧树脂、对甲酚酚醛清漆型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、多元醇的聚缩水甘油基醚、3,4-环氧环己烯基甲基-3’,4’-环氧环己烯甲酸酯这样的脂环式环氧树脂或氢化双酚A的缩水甘油基醚等环氧化合物等。
作为多官能的氧杂环丁烷化合物，可举出例如，双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、1,2-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]乙烷、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]丙烷、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)]-2,2-二甲基-丙烷、1,4-双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)丁烷、1,6-双(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)己烷、1,4-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,3-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,4-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4,4’-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4,4’-双{[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}二环己烷、2,3-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,5-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,6-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、1,4-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]苯、1,4-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}苯、1,4-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}环己烷、4,4’-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}联苯、4,4’-双{[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]甲基}二环己烷、2,3-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,5-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2,6-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷等。此外，这些交联剂可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。
接着，使由上述方法调制的清漆状的下层膜形成用材料通过过滤器以进行过滤。由此，能够从清漆状的下层膜形成用材料除去聚合物不溶物质、凝胶、异物等，能够在抗蚀剂膜层与基板表面之间形成作为下层膜的均匀的层。
过滤器的筛孔优选为1μm～0.001μm，更优选为0.5μm～0.001μm，进一步优选为0.1μm～0.001μm。关于过滤的工艺，可以采用从孔径大的过滤器向孔径小的过滤器输送清漆的多段工艺来进行，也可以采用直接向孔径小的过滤器输送清漆的单一工艺来进行。关于过滤器的材质，可举出聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚醚砜(PES)、纤维素等有机材料，玻璃纤维、金属等无机材料等，只要不对作为下层膜的功能带来影响，就能够考虑清漆特性、工艺适应性等进行选择。
此外，作为将清漆输送至过滤器的方法，可举出例如，利用压力差的方法、借助螺杆等通过机械性驱动将清漆输送至过滤器的方法等。进一步，关于过滤的温度，能够在考虑了过滤器性能、溶液粘度、聚合物的溶解性的范围内进行选择，优选为-10～200℃，更优选为0℃～150℃，进一步优选为室温～100℃的范围，只要是没有溶解成分等的析出或凝胶化、由加热引起的热分解等组合物的改性，就能够考虑清漆特性、工艺适应性等进行选择。
＜抗蚀剂下层膜和抗蚀剂下层膜的制造方法＞
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜能够使用本实施方式涉及的下层膜形成用材料来形成。
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法包括下述工序：在基板上形成包含本实施方式涉及的下层膜形成用材料的涂膜的工序(以下，也称为“涂膜形成工序”)。
此外，根据需要，可以进一步包括对上述涂膜进行加热的工序(以下，也称为“烧成工序”)。
根据本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法，由于使用本实施方式涉及的下层膜形成用材料，因此能够获得满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
此外，本实施方式涉及的下层膜形成用材料由于对于复杂形状的基板的埋入性优异，因此根据本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的制造方法，能够在具有高低差的基板、具有多种沟槽的基板等复杂形状的基板上，制作满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。
以下，对于各工序进行说明，但本发明不受它们的限定。
[涂膜形成工序]
本工序中，使用本实施方式涉及的下层膜形成用材料，在基板上形成包含本实施方式涉及的下层膜形成用材料的涂膜。
作为上述基板，可举出例如，硅晶片、铝晶片、镍晶片等。也可以对上述基板的表面赋予凹凸结构。上述凹凸结构可以为例如为二氧化硅(SiO2)膜、SiCN膜、在二氧化硅(SiO2)中掺杂有碳(C)的SiOC膜、甲基硅氧烷系有机膜(SOG)、均匀地分布有数nm以下的微小孔隙的二氧化硅绝缘膜等由低介电材料形成了被膜的状态。如上述那样，在本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的形成方法中，作为上述基板，也能够适合使用具有高低差的基板、具有多种沟槽的基板等，即使使用这样的复杂形状的基板，也能够形成平坦性优异的抗蚀剂下层膜。
作为上述具有多种沟槽的基板，也能够适合使用例如，具有彼此不同的长宽比的基板。能够使用上述长宽比为各种值混合存在的基板，例如，在基板的沟槽中，作为长宽比中的最大值与最小值之比，优选为1～30，更优选为1～25，进一步优选为1～20。
将本实施方式涉及的下层膜形成用材料涂布于基板的方法没有特别限定，可举出例如，使用旋转涂布、溶液流延涂布、辊涂、狭缝涂布、喷墨涂布等方法，将上述清漆状的下层膜形成用材料涂布于基板的方法等。作为此时形成的抗蚀剂下层膜的从凹部底至大气面的膜厚，上述平均值Hav优选为5～2000nm，更优选为7～1000nm，进一步优选为10～500nm的范围。此外，膜厚的优选下限值为15nm以上。
[烧成工序]
本工序中，对上述涂膜形成工序中所形成的涂膜进行加热(烧成)。作为将该涂膜进行烧成的方法，可举出例如，进行加热的方法等。该加热的温度优选为100℃～400℃，更优选为150℃～300℃，进一步优选为180℃～250℃。加热时间优选为5秒～60分钟，更优选为10秒～10分钟，进一步优选为30秒～3分钟。作为上述加热中的气氛，可举出例如，空气中，氮气中、氩气中等非活性气体中等。
此外，作为本工序中的加热方式，可举出例如，以除去涂膜中的溶剂为目的进行加热，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式；在不损害本发明的效果的范围内，使为了补充功能而混合的热固化系材料等异种物质固化，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式；以使下层膜形成用材料的离去基团脱离为目的进行加热，利用之后的加热使涂膜流动，将涂膜填埋到基板的凹凸结构的形式等。
烧成工序的加热可以使用分阶段地提高温度的多段工艺。
作为所形成的抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav，优选为5～1000nm，更优选为5～800nm，进一步优选为5～600nm，进一步更优选为5～500nm，进一步更优选为7～450nm，进一步更优选为10～400nm的范围，抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav的下限值优选为5nm以上，更优选为7nm以上，进一步优选为10nm以上，上限值优选为1000nm以下，更优选为800nm以下，进一步优选为600nm以下，进一步更优选为500nm以下，进一步更优选为450nm以下，进一步更优选为400nm以下。
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜，例如，能够作为用于利用光刻形成图案的工程构件来使用。
＜层叠体＞
本实施方式涉及的层叠体具备：基板(a)，以及形成于基板(a)的一个面且包含本实施方式涉及的下层膜形成用材料的抗蚀剂下层膜(b)。
优选为基板(a)与抗蚀剂下层膜(b)相接触的结构。
这里，抗蚀剂下层膜(b)及其制造方法与上述本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜和抗蚀剂下层膜的制造方法同样，因此省略此处的说明。
图2是用于说明本发明涉及的实施方式的层叠体10中的抗蚀剂下层膜2的膜厚4、凹凸结构7的高度5和凹凸结构7的凸凸间的间隔6的示意图。
基板(a)可以是具有平坦的表面的结构，但优选为其单面或两面具有优选为5～500nm、更优选为7～450nm、进一步优选为10～400nm的范围的高度的凹凸结构。
这里，上述高度是指图2所示的凹凸结构7的高度5，例如，能够对于凹凸结构7的高度5任意地测定10处，采用它们的平均值。
此外，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔优选为1nm以上10mm以下。上述凹凸结构中的凸凸间的间隔的下限值更优选为3nm以上，进一步优选为5nm以上，特别优选为10nm以上。
这里，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔是指图2所示的凹凸结构7中的凸凸间的间隔6，能够对于凹凸结构7中的凸凸间的间隔6任意地测定10处，采用它们的平均值。
此外，上述凹凸结构中的凸凸间的间隔的上限值更优选为5mm以下，进一步优选为1mm以下，特别优选为0.5mm以下。
基板(a)具有上述那样的凹凸结构的情况下，倾向于更显著地表现抗蚀剂下层膜(b)的效果，因此优选。
基板(a)的厚度优选为0.01～10000μm。基板(a)的厚度的下限值更优选为0.03μm以上，进一步优选为0.05μm以上，特别优选为0.10μm以上。
基板(a)的厚度的上限值更优选为5000μm以下，进一步优选为3000μm以下，特别优选为1000μm以下。
本实施方式涉及的层叠体中，抗蚀剂下层膜(b)的与基板(a)相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)优选为0～5％，更优选为0～3％，进一步优选为0～1％。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
这里，在表面(α)的任意10处，测定抗蚀剂下层膜(b)的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将抗蚀剂下层膜(b)的膜厚的最大值设为Hmax，将抗蚀剂下层膜(b)的膜厚的最小值设为Hmin。
由此，无论有无中间层，都能够使抗蚀剂层的厚度更均匀，能够在光刻时再现性良好地获得所期望的图案。
＜图案形成方法＞
本实施方式涉及的图案形成方法例如具备下述工序：在本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂图案的工序(以下，也称为“抗蚀剂图案形成工序”)，以及将上述抗蚀剂图案作为掩模，对上述抗蚀剂下层膜和基板依次进行蚀刻的工序(以下，也称为“蚀刻工序”)。
此外，本实施方式涉及的图案形成方法也可以是：在上述抗蚀剂图案形成工序中，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成中间层，在该中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案，在上述蚀刻工序中，进一步将中间层进行蚀刻的工序。
根据本实施方式涉及的图案形成方法，由于使用满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，与中间层的互混得以抑制，挥发成分的产生量也得以抑制的本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜，因此能够形成良好的图案。
以下，对于各工序进行说明，但本发明不受它们的限定。
[抗蚀剂图案形成工序]
本工序中，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂图案。也可以在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成中间层，在该中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案。
上述中间层是在抗蚀剂图案形成等中，为了补充抗蚀剂下层膜和/或抗蚀剂膜所具有的功能，或者赋予它们所不具有的功能而具有这些功能的层。例如，在形成防反射膜(也称为防反射层)作为中间层的情况下，能够补充抗蚀剂下层膜的防反射功能。此外，在形成硬掩模层作为中间层的情况下，能够抑制显影工序的例如使用碱性显影液时对于抗蚀剂下层膜的影响，和/或能够补充将本实施方式的下层膜进行蚀刻后，将下层的由硅、铝、镍等形成的基板进行蚀刻时的抗蚀剂图案形成层的蚀刻耐性不足。
进一步，本实施方式的下层膜上所形成的中间层可以是具备防反射层和硬掩模层的任一者或这两者的构成，关于层构成，在本实施方式的下层膜的正上方可以形成防反射层，也可以形成硬掩模层。考虑抗蚀剂材料、加工基板等材料的特性、生产率来适当进行选择。
上述中间层能够由有机化合物、无机氧化物来形成。作为上述有机化合物，可举出例如，DUV-42、DUV-44、ARC-28、ARC-29(都是Brewer Science公司制)，AR-3、AR-19(都是罗门哈斯公司制)等。此外，作为上述无机氧化物，能够使用例如，NFC SOG系列(JSR公司制)、通过CVD法形成的聚硅氧烷、氧化钛、氧化铝、氧化钨等。
形成上述中间层的方法没有特别限定，可举出例如，涂布法、CVD法等。其中，优选为涂布法。在使用涂布法的情况下，能够在形成抗蚀剂下层膜之后，连续地形成中间层。
此外，中间层的膜厚没有特别限定，可根据中间层所要求的功能来适当选择，优选为1nm～5μm，更优选为5nm～3μm，进一步优选为10nm～0.3μm的范围。
作为在上述抗蚀剂下层膜或中间层的上表面侧形成抗蚀剂图案的方法，可举出例如，使用光刻的方法等。关于该方法，以下，进行具体地说明，但本发明并不受它们的限定。
使用光刻的方法例如具有下述工序：使用抗蚀剂组合物，在上述抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂膜的工序(以下，也称为“抗蚀剂膜形成工序”)，将上述抗蚀剂膜进行曝光的工序(以下，也称为“曝光工序”)，以及将上述被曝光后的抗蚀剂膜进行显影的工序(以下，也称为“显影工序”)。
(抗蚀剂膜形成工序)
本工序中，使用抗蚀剂组合物，在抗蚀剂下层膜的上表面侧形成抗蚀剂膜。具体而言，以使所得的抗蚀剂膜成为预定的膜厚的方式涂布抗蚀剂组合物之后，进行预烘烤从而使涂膜中的溶剂挥发，形成抗蚀剂膜。
作为抗蚀剂组合物，可举出例如，含有光产酸剂的正型或负型的化学放大型抗蚀剂(chemically amplified resist)组合物、由碱溶性树脂和醌二叠氮化物系光敏剂形成的正型抗蚀剂组合物、由碱溶性树脂和交联剂形成的负型抗蚀剂组合物等。
上述抗蚀剂组合物的固体成分浓度优选为0.1质量％～50质量％，更优选为0.5质量％～50质量％，进一步优选为1.0质量％～50质量％的范围，能够考虑作为对象的膜厚、生产率而在适当的范围内进行选择。
此外，上述抗蚀剂组合物优选利用孔径0.1μm左右的过滤器进行过滤来调制。另外，在该工序中，也能够直接使用市售的抗蚀剂组合物。抗蚀剂组合物的涂布方法没有特别限定，能够利用例如，旋转涂布、流延涂布、辊涂等方法来实施。
此外，预烘烤的温度根据所使用的抗蚀剂组合物的种类等来适当选择，优选为30℃～200℃，更优选为50℃～150℃。
(曝光工序)
本工序中，将上述抗蚀剂膜形成工序中所形成的抗蚀剂膜进行曝光。该曝光例如，通过预定的掩模图案和根据需要的浸液来进行。
作为曝光光，根据抗蚀剂组合物所使用的光产酸剂的种类，例如，从可见光线、紫外线、远紫外线、X射线、γ射线等电磁波；电子射线、分子束、离子束、α射线等粒子束等中适当地选择，优选为远紫外线，更优选为KrF准分子激光光(248nm)、ArF准分子激光光(193nm)、F2准分子激光光(波长157nm)、Kr2准分子激光光(波长147nm)、ArKr准分子激光光(波长134nm)、极紫外线(波长13nm等)，进一步优选为ArF准分子激光光。
在上述曝光后，为了提高所形成的抗蚀剂图案的分辨率、图案轮廓(patternprofile)、显影性等，能够进行后烘烤。该后烘烤的温度可根据所使用的抗蚀剂组合物的种类等进行适当调整，优选为50℃～200℃，更优选为70℃～150℃。
(显影工序)
本工序中，将上述曝光工序中被曝光后的抗蚀剂膜进行显影。
作为上述显影所使用的显影液，根据所使用的抗蚀剂组合物的种类进行适当选择。在碱性显影的情况下，可举出例如，氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙基胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、吡咯、哌啶、胆碱、1,8-二氮杂二环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂二环[4.3.0]-5-壬烯等碱性水溶液等。另外，如果事先进行上述中间层形成工序来形成中间层，则能够抑制这些碱性水溶液对于抗蚀剂下层膜的影响。
这些碱性水溶液中，例如，还能够适量添加甲醇、乙醇等醇类等水溶性有机溶剂、表面活性剂。
此外，作为显影液，还能够使用含有有机溶剂的显影液。作为该有机溶剂，可举出例如，酯类、酮类、醚类、醇类、酰胺类、烃类等。有机溶剂显影所使用的溶剂根据抗蚀剂下层膜的特性来适时选择。
使用上述显影液来进行显影之后，洗涤，干燥，从而形成预定的抗蚀剂图案。
此外，作为进行上述抗蚀剂图案形成工序的方法，除了上述使用光刻的方法以外，还能够采用使用纳米压印法的方法、使用自组装化组合物的方法等。
[蚀刻工序]
本工序中，将上述抗蚀剂图案作为掩模，将上述抗蚀剂下层膜和基板依次蚀刻。由此，在基板上形成图案。另外，在形成有中间层的情况下，也进一步蚀刻中间层。
上述蚀刻可以为干蚀刻，也可以为湿蚀刻。上述干蚀刻能够使用公知的干蚀刻装置来进行。此外，作为进行干蚀刻时的源气体，由于也取决于被蚀刻物的元素组成，因此没有特别限定，能够使用例如，O2、CO、CO2等包含氧原子的气体；He、N2、Ar等非活性气体；Cl2、BCl3等氯系气体；CHF3、CF4等氟系气体；H2、NH3的气体等。另外，这些气体还能够混合使用。
[基板图案形成后的下层膜材料的除去工序]
本工序中，通过上述蚀刻工序将抗蚀剂图案转印并形成于基板上后，将不需要的抗蚀剂下层膜除去。
除去方法可以为干法，也可以为使用溶剂等的湿法，可以考虑材料的物性、工艺适应性来适当地选择，也可以并用干法和湿法来使用。
在干法的情况下，能够使用上述蚀刻工序中所使用的干蚀刻装置。因此，在从蚀刻工序向下层膜材料的除去工序移动时，不需要变更生产线，从生产率的观点考虑，优选使用干法。
作为在下层膜材料的除去工序中使用干蚀刻装置时的气体源，根据被蚀刻物的元素组成来适当地选择，能够使用例如，O2、CO、CO2等包含氧原子的气体；He、N2、Ar等非活性气体；Cl2、BCl3等氯系气体；CHF3、CF4等氟系气体；H2、NH3的气体等，根据对上述基板表面进行被膜的低介电材料、基板材料来更适当地选择。这些气体还能够混合使用2种以上。
[第二发明]
以下，对于第二发明涉及的实施方式进行说明。
＜下层膜形成用材料＞
本实施方式涉及的下层膜形成用材料为用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，其包含环状烯烃聚合物，通过下述方法4测定得到的上述下层膜形成用材料的残膜率为50％以上100％以下，优选为60％以上100％以下。上述下层膜形成用材料的残膜率的下限值更优选为70％以上。另一方面，上述下层膜形成用材料的残膜率的上限值更优选为99％以下，进一步优选为98％以下。如果残膜率过低，则如上述那样，有时由于与中间层的混合等而引起不良状况。另一方面，在残膜率稍微低于100％的情况下，有时形成中间层和基底膜的聚合物发生适度的缠绕，能提高剥离强度。
方法4：在硅晶片上形成包含本实施方式涉及的下层膜形成用材料的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的涂膜在200℃处理10分钟。接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去残存溶剂后的涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
此外，本实施方式涉及的下层膜形成用材料为用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜的下层膜形成用材料，其是包含环状烯烃聚合物的膜的材料，上述环状烯烃聚合物本身能够以至少0.01质量％以上50质量％以下的任一浓度溶解在有机溶剂中，上述膜中，通过下述方法4测定得到的上述环状烯烃聚合物的残膜率为50％以上100％以下，优选为60％以上100％以下。上述环状烯烃聚合物的残膜率的下限值更优选为70％以上。另一方面，上述环状烯烃聚合物的残膜率的上限值更优选为99％以下，进一步优选为98％以下。如果残膜率过低，则如上述那样，有时由于与中间层的混合等而引起不良状况。另一方面，在残膜率稍微低于100％的情况下，有时形成中间层和基底膜的聚合物发生适度的缠绕，能提高剥离强度。
方法4：在硅晶片上形成包含本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的涂膜在200℃处理10分钟。接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去残存溶剂后的涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
上述之中，作为将剥离后的膜进行高温处理的条件，进一步优选为在200℃处理30分钟。
由该方法4得到的残膜率表示膜相对于溶剂的溶解性。数值越大，越倾向于难以溶解。
如上述那样，已知在以曝光的光的波长以下的线宽来描绘电路图的情况下，形成多个凹凸层，进行组合的方法。为了实现这样的形式，可以例示在以上述凹凸层的平滑化作为目的的抗蚀剂下层膜上形成中间层，进一步在其上形成新的抗蚀剂层的方法。
根据本发明人等的研究还可知，例如在利用旋转涂布法等来形成该中间层的情况下，如果溶剂的选择出错，则会引起抗蚀剂下层膜与中间层的互混，其结果是有时下层膜与中间层的界面强度降低，或者失去下层膜的平滑性。
本发明人等为了实现上述课题而反复深入研究。其结果认识到，如果抗蚀剂下层膜对于形成中间层时所使用的溶剂的亲和性低，则能够抑制抗蚀剂下层膜与中间层发生互混。
本发明人等基于上述认识而进一步反复研究。其结果首次发现：通过使用由上述方法4测定得到的在浸渍到丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中时的残膜率处于上述范围内的下层膜形成用材料或环状烯烃聚合物，从而能够有效地抑制抗蚀剂下层膜发生溶解，或有效地抑制抗蚀剂下层膜与中间层成为必要以上的混合状态。
即，如果由上述方法4测定得到的本实施方式涉及的下层膜形成用材料或环状烯烃聚合物的残膜率为上述下限值以上，则在抗蚀剂下层膜上形成中间层的情况下，能够抑制抗蚀剂下层膜溶解，或抑制抗蚀剂下层膜与中间层成为必要以上的混合状态，其结果是能够实现中间层与抗蚀剂下层膜的密合性优异的同时平坦性优异的层叠体。
第二发明所使用的环状烯烃聚合物只要是在室温～50℃，优选在室温下溶解于有机溶剂的聚合物，就没有特别限制。作为有机溶剂，优选的是选自由醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂和环状烃系溶剂所组成的组中的溶剂。更优选为醇系溶剂、醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂，进一步优选为醚系溶剂、酮系溶剂、酰胺系溶剂、酯系溶剂。特别优选为具有聚醚单酯结构的溶剂。
作为第二发明的环状烯烃聚合物，更具体而言，可举出具有降冰片烷骨架、四环十二烷骨架的环状烯烃聚合物作为优选例。此外，优选包含具有上述有机溶剂所包含那样的杂原子的取代基。作为包含杂原子的取代基，可举出例如烷氧基、芳氧基、烷氧基烷基、芳氧基烷基、烷氧基羰基、二烷基氨基羰基、芳氧基羰基、烷基芳基氨基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、芳氧基羰基烷基、烷氧基烷基氧基羰基、烷氧基羰基烷基氧基羰基等作为优选例。作为特别优选的取代基，为上述那样的酯基。
作为第二发明所使用的环状烯烃聚合物，作为其他优选的具体例，为上述第一发明中所公开的具有结构单元[A]和结构单元[B]的环状烯烃聚合物。这些结构单元的比率等优选的各个条件与第1发明所公开的它们的范围相同。
作为使用本实施方式涉及的下层膜形成用材料来形成膜的方法，能够使用公知的方法。作为优选的具体例，可举出旋转涂布法。形成旋转涂布所使用的聚合物溶液的溶剂，可以例示上述旋转涂布用溶剂。特别优选可以例示上述PGMEA那样的聚醚酯、聚醚、酮、醇、酯等。如果考虑溶解度、成膜后的干燥工序，有时优选为包含具有环状结构的溶剂的形式。具体而言，为环烷酮那样的环状酮化合物，优选可举出环己酮。
对于本实施方式涉及的下层膜形成用材料，期望在高温下处理预定的时间。作为具体的温度条件，可以例示100～400℃的范围。优选的下限值为150℃以上，进一步优选为180℃以上。另一方面，优选的上限值为300℃以下，更优选为250℃以下。作为其理由，本发明人等如以下那样进行了考察。
根据本发明人等的研究，使用本实施方式涉及的具有极性基团的环状烯烃聚合物而形成的膜的情况是：通过加热处理，有时加热后的部位整体比较均匀地发生极性的变化。可以认为：由于该极性的变化，对于溶剂的溶解度大幅地发生变化，即，认为可能会变得难以溶解于上述有机溶剂。本发明人等认为这可能是由于本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的极性基团的改性所导致的。还认为可能是因为采用假交联、交联结构。其中，例如，在包含上述通式(2)的结构的构成的情况下，其效果大，即，是优选的形式。以下，稍具体地进行说明。
为了使包含本实施方式涉及的环状烯烃聚合物的膜的极性发生变化，有时包含1种以上通式(2)所示的重复结构单元[B]是重要的。通式(2)所示的重复结构单元[B]通过加热而发生醚基、硫醚基的开裂，能够使分子的极性发生变化。
作为其他形式，通过R1～R8中的至少一个包含烷氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基羰基烷基氧基羰基、优选为叔碳结合而形成酯基的烷氧基羰基、烷氧基羰基烷基、烷氧基羰基芳基、烷氧基羰基烷基氧基羰基或烷氧基烷基氧基羰基的1种以上，从而通过加热而生成羧基，能够期待使分子的极性更大幅地变化。
本发明的形式由于具有这样的特征，因此认为如上所述，即使降低交联剂的含有率也能够充分地表现出高耐互混效果。
所谓本实施方式涉及的下层膜形成用材料，是在半导体器件的制造工序中，用于形成配置于中间层与基板(优选为具有凹凸结构的基板)之间的层的材料。配置于中间层与基板之间的层通常以由光刻工艺中转印掩模图案的抗蚀剂材料所形成的抗蚀剂层作为基准而被称为抗蚀剂下层膜。上述基板的与抗蚀剂下层膜相接触的表面可以为例如，二氧化硅(SiO2)膜、SiCN膜、二氧化硅(SiO2)中掺杂有碳(C)的SiOC膜、甲基硅氧烷系有机膜(SOG)、均匀地分布有数nm以下的微小孔隙的二氧化硅绝缘膜等由低介电材料形成了被膜的状态。
上述中间层是在抗蚀剂图案形成等中，为了补充抗蚀剂下层膜和/或抗蚀剂膜所具有的功能，或者赋予它们所不具有的功能而具有这些功能的层。例如，在形成防反射膜(也称为防反射层)作为中间层的情况下，能够补充抗蚀剂下层膜的防反射功能。此外，在形成硬掩模层作为中间层的情况下，能够抑制显影工序的例如使用碱性显影液时对于抗蚀剂下层膜的影响，和/或能够补充将本实施方式的下层膜进行蚀刻后，将下层的由硅、铝、镍等形成的基板进行蚀刻时的抗蚀剂图案形成层的蚀刻耐性不足。
进一步，本实施方式的下层膜上所形成的中间层可以是具备防反射层和硬掩模层的任一者或这两者的构成，关于层构成，在本实施方式的下层膜的正上方可以形成防反射层，也可以形成硬掩模层。考虑抗蚀剂材料、加工基板等材料的特性、生产率来适当进行选择。
上述中间层能够由有机化合物、无机氧化物来形成。作为上述有机化合物，可举出例如，DUV-42、DUV-44、ARC-28、ARC-29(都是Brewer Science公司制)，AR-3、AR-19(都是罗门哈斯公司制)等。此外，作为上述无机氧化物，能够使用例如，NFCSOG系列(JSR公司制)、通过CVD法形成的聚硅氧烷、氧化钛、氧化铝、氧化钨等。
形成上述中间层的方法优选为涂布法。在使用涂布法的情况下，能够在形成抗蚀剂下层膜之后，连续地形成中间层。
作为使用涂布法来形成中间层时所使用的溶剂，例如，优选为作为上述旋转涂布液用的溶剂所例示的溶剂，其中，作为优选例，可举出PGMEA等聚醚、聚醚酯等。
此外，中间层的膜厚没有特别限定，根据中间层所要求的功能来适当选择，优选为1nm～5μm，更优选为5nm～3μm，进一步优选为10nm～0.3μm的范围。
本实施方式涉及的下层膜形成用材料涉及的优选的环状烯烃聚合物能够使用与如上所述第一发明涉及的环状烯烃聚合物同样的物质。因此，省略详细的说明。
本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的形成方法和图案形成方法按照第一发明涉及的抗蚀剂下层膜、抗蚀剂下层膜的形成方法、图案形成方法。因此，省略详细的说明。
以上，对于本案各发明的实施方式进行了描述，但它们是本发明的例示，也能够采用上述以外的各种构成。
此外，本发明并不限定于上述实施方式，在能够实现本发明目的的范围内的变形、改良等也包含于本发明中。
另外，当然，上述本案各发明能够在其内容不矛盾的范围内进行组合。
实施例
以下，参照实施例、比较例来详细地说明本实施方式。本实施方式并不受这些实施例的记载的任何限定。
实施例、比较例中的聚合物相关的分析法、埋入性和平坦性的评价通过以下方法来实施。
[重均分子量(Mw)和分子量分布(Mw/Mn)]
在下述条件下使用凝胶渗透色谱(GPC)，测定溶解于四氢呋喃(THF)或三氟甲苯(TFT)的聚合物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)，利用聚苯乙烯标准品来校准分子量并算出。
检测器：日本分光公司制RI-2031和875-UV或Viscotec公司制Model270，串联连接柱：Shodex K-806M，804，803，802.5，柱温度：40℃，流量：1.0ml/分钟，试样浓度：3.0～9.0mg/ml。
[加氢率测定]
将聚合物试样溶解于氘代氯仿，以270MHz，以1H-NMR光谱的化学位移δ＝5.0～7.0ppm范围内归属于双键碳的氢的峰的积分值来进行测定。
[玻璃化转变温度]
使用岛津制作所公司制DSC-50，在氮气气氛下以10℃/分钟的升温速度对测定试样进行加热并测定。
[挥发成分的评价方法]
在直径5mm的铝盘中，以30mg～50mg的重量称量浓度为20质量％的聚合物的THF溶液，在氮气气流下，在200℃烧成3分钟，除去THF。接着，冷却至室温，测定重量(W0)。使用树脂固化后的状态的样品，在氮气气氛下，使用岛津制作所公司制TGA-60，以10℃/min的升温速度将试样加热直至30～300℃，随着温度的上升，连续地测定重量，获得了温度相对于重量的图。其中，由图中读取100～250℃的范围内的重量减少量(W1)，通过下式算出挥发成分的产生量。
挥发成分的产生量(质量％)＝W1/W0×100
[固体粘弹性测定]
使用安东帕公司制MCR302(流变仪)，在氮气气氛下，以剪切模式，在测定温度范围30～300℃，升温速度3℃/min，频率1Hz的条件下进行测定。更具体而言，通过以下方法进行测定。
首先，将本实施方式的环状烯烃聚合物的白色粉末粉(10mg)置于预先加热至230℃的直径8mm的平行圆盘的中心。接着，以圆盘夹持，在氮气气氛下使其熔融，一次性冷却至30℃。然后，以频率1Hz的剪切模式，通过上述升温速度，将样品加热直至300℃。
制作绘制了所得的加热温度与储能弹性模量(G’)以及所得的加热温度与损耗弹性模量(G”)的关系的图，确认了储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度。(参照图1)
[残膜率测定]
在硅晶片上形成包含环状烯烃聚合物的厚度(α)nm的涂膜。接着，将所得的涂膜在200℃处理10分钟或30分钟。冷却至室温之后，将涂膜以20mm×10mm的尺寸切出。将该膜在有机溶剂(丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)，丙二醇单甲基醚(PGME)或PGME与PGMEA的质量比为PGME/PGMEA＝7/3的混合溶剂)中在23℃浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去残存溶剂后的涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
这里，涂膜通过以下方法来制作。
调制将本实施方式的环状烯烃聚合物以10质量％溶解于有机溶剂(丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA)与环己酮的质量比成为PGMEA/环己酮＝5/5那样的溶液)的溶液，将所得的溶液2.5mL旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在氮气气氛下，在120℃干燥1分钟，接着，在80℃真空干燥5小时。接着，冷却至室温之后，将样品以20mm×20mm的尺寸切出，作为涂膜。
[用于埋入性评价的表面凹凸结构形成基板]
基板A：使用在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度40～150nm、凸凸间宽度40～150nm的线与间隔图案的、尺寸为3cm×3cm的硅制基板。
基板B：使用在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度40nm～1000μm、凸凸间宽度40nm～1000μm的线与间隔图案的、尺寸为3cm×3cm的硅制基板。
[埋入性评价]
实施至烧成工序，将在上述硅制基板的凹凸表面上形成有抗蚀剂下层膜的样品切开，露出截面观察用的面。然后，使用日本分光公司制扫描型电子显微镜JSM-6701F(以下，表述为SEM。)，观察凸凸间宽度为40nm的基板A截面或a1＝900μm、b1＝1000nm、a2＝40nm、b2＝1000nm的基板B截面来评价埋入性。
[平坦性的评价]
对于评价了上述埋入性的基板A截面中的凸宽度40nm、凸凸间宽度120nm的区域的从凹部底面至大气面的高度，计测10处，将平均值设为Hav。接着，由10处计测到的高度中的最大高度(Hmax)和最小高度(Hmin)的各值，通过以下的式子，算出表示平坦性的指标的平坦度。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
此外，在评价了上述埋入性的基板B截面中，在a1＝900μm、b1＝900μm、a2＝40nm、b2＝120nm的区域的各个图案区内对于从凹部底面至大气面的膜厚，测定10处，求出各自的平均值H1(a1＝900μm、b1＝900μm)和H2(a2＝40nm、b2＝120nm)、H1与H2的平均值H3，通过以下的式子，算出表示平坦性的指标的平坦度。
平坦度(ΔFT)＝|H1-H2|/H3×100(％)
[n值和k值的测定]
使用日本瑟米莱伯(株)公司制光谱椭偏仪GES5E，在温度：23～25℃、湿度：50～55％的环境下，使用在硅晶片上以250nm的厚度涂布后的20mm×20mm的尺寸的测定样品，测定任意的3处。由测定结果，算出193nm的折射率(n值)和消光系数(k值)，由3处的平均值分别求出n值和k值。
这里，测定样品通过以下方法来制作。
调制以10质量％溶解有本实施方式的环状烯烃聚合物的PGMEA溶液，将所得的溶液旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在氮气气氛下在200℃烧成3分钟。冷却至室温之后，将样品以20mm×20mm的尺寸切出，作为测定用的样品。
[等离子体蚀刻特性评价]
使用爱发科公司制RIH1515Z平行平板型等离子体处理装置。首先，在容室(chamber)内放入样品，将容室内减压至1Pa以下，接着，在容室内以30sccm导入CHF3气体，将容室内的压力保持于7Pa，然后施加13.56MHz高频电能，进行等离子体放电，进行等离子体蚀刻处理。等离子体蚀刻处理实施30秒、60秒和90秒。
[蚀刻速率的测定方法]
使用日本瑟米莱伯(株)公司制光谱椭偏仪GES5E，对于蚀刻后的基板的表面的膜厚测定3处，由平均值算出膜厚。接着，由蚀刻前后的膜厚，算出由蚀刻导致的膜厚的减少量，横轴绘制时间(sec)，纵轴绘制减少膜厚量(nm)。由所得的图的斜率，算出蚀刻速率(nm/sec)。
[利用O2蚀刻进行的灰化(ashing)特性评价]
在基板表面形成有高度200nm、凸部宽度100nm、凸凸间宽度100nm的线与间隔图案的尺寸为3cm×3cm的硅制基板上，形成本实施方式涉及的抗蚀剂下层膜。
将在上述硅制基板的凹凸表面上形成有抗蚀剂下层膜的样品切开，将其中的一个样品片用于灰化前的截面观察，通过SEM进行观察。
使用上述样品片的另一个样品片，采用以下方法来实施利用O2蚀刻进行的灰化特性评价。
灰化特性评价使用与上述等离子体蚀刻特性评价中所使用的等离子体处理装置相同的等离子体处理装置。首先，在容室内放入样品，将容室内减压至1Pa以下，接着，在容室内以30sccm导入O2气体，将容室内的压力保持于7Pa。然后，施加13.56MHz高频电能，进行等离子体放电，进行等离子体蚀刻处理。等离子体蚀刻处理实施60秒。
上述等离子体蚀刻处理后，通过SEM进行灰化后的截面观察，将等离子体蚀刻前后的SEM观察图像进行比较，评价灰化特性。
[中间层形成]
在温度：23～25℃、湿度：50～55％的环境下，在30mm×30mm的尺寸的硅晶片上，将以10质量％溶解有本实施方式的环状烯烃聚合物的PGMEA/环己酮＝5/5溶液在1000rpm、10sec的条件下，以250nm的厚度进行旋转涂布，在氮气气氛下，在200℃烧成1分钟。冷却至室温之后，将以10质量％溶解有异丙醇钛的PGMEA溶液在1000rpm、10sec的条件下进行旋转涂布，在氮气气氛下，在200℃烧成1分钟，制作评价用的样品，利用TEM观察截面。
[实施例1]
在氮气气氛下，在具备磁力搅拌装置的5L的高压釜内，将具有结构单元[A]的四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯320g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解于四氢呋喃(以下，记为THF)3.4kg中，进行搅拌。
在其中添加612mg(0.8mmol)的作为开环易位聚合催化剂的Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2，使其在60℃反应3小时。然后，添加正丁醛173mg(2.4mmol)，进行冷却，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5700，Mw/Mn＝1.61，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，使用甲醇，将环状烯烃聚合物从所得的开环易位聚合物溶液中析出，在80℃进行减压干燥，从而获得了白色粉末固体(聚合物1)。
聚合物1的玻璃化转变温度为151℃。
此外，聚合物1的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物1的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为173℃(参照图1)。
接着，调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物1的丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(以下，表述为PGMEA。)与环己酮(以下，也称为CH。)的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，涂布于在基板表面上形成有高度200nm、凸部宽度40～150nm、凸凸间宽度40～150nm的线与间隔图案的硅基板A表面。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
由椭偏仪测定得到的聚合物1的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.08。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物1均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物1的层的厚度(Hav)为300nm，最大高度(Hmax)为301nm，最小高度(Hmin)为300nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
[实施例2]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液2.5kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6300，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物2)。
聚合物2的玻璃化转变温度为150℃。
此外，聚合物2的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物2的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为167℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物2的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物2的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.04。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物2均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为299nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[实施例3]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7200，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物3)。
聚合物3的玻璃化转变温度为130℃。
此外，聚合物3的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物3的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为151℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物3的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物3的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物3均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物3的层的厚度为302nm，最大高度(Hmax)为303nm，最小高度(Hmin)为301nm，平坦度(ΔFT)为0.7％。
[实施例4]
将具有结构单元[A]的8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯437g(2mol)、具有结构单元[B]的4-苯基-4-氮杂-10-氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3,5-二酮121g(0.5mol)以及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解于THF 3.7kg中，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.2kg。
接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为加氢催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝7800，Mw/Mn＝1.57，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝80/20。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物4)。
聚合物4的玻璃化转变温度为172℃。
此外，聚合物4的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物4的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为190℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物4的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物4的折射率(n值)为1.71，消光系数(k值)为0.09。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物4均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物4的层的厚度为310nm，最大高度(Hmax)为311nm，最小高度(Hmin)为309nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
[实施例5]
将具有结构单元[A]的单体变更为二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.7kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6800，Mw/Mn＝2.84，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物5)。
聚合物5的玻璃化转变温度为72℃。
此外，聚合物5的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物5的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为84℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物5的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物5的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为315nm，平坦度(ΔFT1)为0.0％。
[实施例6]
将具有结构单元[A]的单体变更为5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5600，Mw/Mn＝1.92，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物6)。
聚合物6的玻璃化转变温度为56℃。
此外，聚合物6的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物6的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为76℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物6的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物6的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物6均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为311nm，平坦度(ΔFT1)为0.0％。
[实施例7]
将具有结构单元[A]的单体变更为5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7300，Mw/Mn＝2.17，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物7)。
聚合物7的玻璃化转变温度为58℃。
此外，聚合物7的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物7的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为81℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物7的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物7的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物7均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为305nm，平坦度(ΔFT1)为0.0％。
[实施例8]
采用与实施例3同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝9600，Mw/Mn＝2.07，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物8)。
聚合物8的玻璃化转变温度为91℃。
此外，聚合物8的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物8的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为112℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物8的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物8的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物8均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物8的层的厚度为310nm，最大高度(Hmax)为311nm，最小高度(Hmin)为309nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
[实施例9]
采用与实施例5同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.7kg。接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝10400，Mw/Mn＝3.18，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物9)。
聚合物9的玻璃化转变温度为45℃。
此外，聚合物9的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物9的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为50℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物9的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物9的折射率(n值)为1.64，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物9均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为316nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[实施例10]
将具有结构单元[A]的二环[2.2.1]庚-2-烯变更为75g(0.8mol)，将具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮变更为487g(3.2mol)，除此以外，采用与实施例1同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.8kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5900，Mw/Mn＝2.32，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝20/80。
接着，采用与实施例1同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物10)。
聚合物10的玻璃化转变温度为68℃。
此外，聚合物10的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物10的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为82℃。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物10的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物10的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物10均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为320nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[实施例11]
调制以下溶液：以7质量％的浓度溶解有由实施例5获得的聚合物5的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，涂布于在基板表面上形成有高度200nm、凸部宽度40～150nm、凸凸间宽度40～150nm的线与间隔图案的硅基板A表面。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为208nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[实施例12]
调制以下的溶液：以20质量％的浓度溶解有由实施例5获得的聚合物5的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在600rpm、10sec的条件下，涂布于在基板表面上形成有高度200nm、凸部宽度40～150nm、凸凸间宽度40～150nm的线与间隔图案的硅基板A表面。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物5均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为1622nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[实施例13]
调制以下溶液：溶解有浓度10质量％的由实施例8获得的聚合物8和浓度0.3质量％的作为交联剂的3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷甲酸酯(EEC)的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，采用与实施例1同样的方法，制作涂布于上述硅基板A的凹凸面上的样品。
由椭偏仪测定得到的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
可知上述环状烯烃聚合物发生极性变化的温度充分地高于G’与G”的交点的温度，因此由上述环状烯烃聚合物和交联剂形成的下层膜形成用材料的G’与G”的交点的温度也可以视为同样的值。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物8的层的厚度为313nm，最大高度(Hmax)为313nm，最小高度(Hmin)为312nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
[实施例14～16]
采用与实施例1同样的方法，制作了在上述硅基板B的凹凸面涂布有由实施例5获得的聚合物5、由实施例8获得的聚合物8、由实施例9获得的聚合物9的样品。
通过SEM观察基板B的截面，结果是：聚合物5、聚合物8、聚合物9都均匀地填埋于a1＝900μm、b1＝900μm、a2＝40nm、b2＝120nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于聚合物5的从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的H1层的厚度为306nm，H2层的厚度为306nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
对于聚合物8的从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的H1层的厚度为301nm，H2层的厚度为302nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
对于聚合物9的从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的H1层的厚度为298nm，H2层的厚度为298nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
[等离子体蚀刻耐性的评价]
调制以下溶液：分别以10质量％溶解有由实施例1～实施例10合成的聚合物1～聚合物10的PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，将该溶液涂布于硅晶片上，在200℃烧成3分钟。接着，将各个样品在CHF3气体气氛下干蚀刻30秒、60秒和90秒。由蚀刻前后的膜厚，算出由蚀刻导致的膜厚的减少量，横轴绘制时间(sec)，纵轴绘制减少膜厚量(nm)。由所得的图的斜率算出各样品的蚀刻速率(nm/sec)。
将形成于硅晶片表面的SiO2[将四乙氧基硅烷(TEOS)作为原料，使其在硅晶片表面上烧成来形成。]作为对象物质，测定蚀刻速率，接着，由[SiO2(nm/sec)/各样品(nm/sec)]的值评价蚀刻耐性。[SiO2(nm/sec)/各样品(nm/sec)]的值越高，则意味着蚀刻耐性越优异。
聚合物1为4.5，聚合物2为5.0，聚合物3为5.0，聚合物4为5.5，聚合物5为4.5，聚合物6为5.0，聚合物7为5.0，聚合物8为5.0，聚合物9为5.0，聚合物9为4.5，任何聚合物都显示出对于SiO2的高蚀刻耐性。
[利用O2蚀刻进行的灰化性的评价]
调制以下溶液：分别以10质量％溶解有由实施例1、实施例2、实施例3和实施例4合成的聚合物1、聚合物2、聚合物3和聚合物4的PGMEA/环己酮＝50/50的溶液，将该溶液涂布于在基板表面上形成有高度200nm、凸部宽度100nm、凸凸间宽度100nm的线与间隔图案的硅基板表面，在氮气气氛下，在200℃烧成3分钟。接着，将各样品切开，使用其中一个来进行灰化前的SEM观察，使用另一个在O2气体气氛下干蚀刻60秒，进行灰化。接着，进行灰化后的SEM观察。
由灰化前后的SEM观察图像的比较可知，对于聚合物1、聚合物2、聚合物3和聚合物4的任一者而言，在基板上都没有聚合物残渣而是被灰化除去。
作为比较，使用Si上的取代基为丙氧基甲基丙烯酸酯的硅氧烷树脂，采用与上述同样的方法，实施了灰化特性评价，结果是：通过SEM观察确认了在基板上有聚合物残渣，进一步即使将蚀刻时间延长至180秒，也未能无聚合物残渣地被除去。
[比较例1]
调制出以10质量％溶解有酚醛清漆树脂KA1165(DIC公司制)的环己酮溶液，所述酚醛清漆树脂KA1165的由固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为255℃，采用与实施例1同样的方法，将该溶液旋转涂布于硅基板的凹凸表面上，在200℃烧成3分钟。
接着，通过SEM进行截面观察，结果是：对于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，在凹部边缘的部分产生空隙，在凸凸间的宽度为100nm的区域也产生同样的空隙。此外，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的厚度为300nm，最大高度(Hmax)为317nm，最小高度(Hmin)为285nm，平坦度(ΔFT)为10.7％，大气面产生了应变。
[比较例2]
在以10质量％溶解有甲基丙烯酸甲酯的环己酮溶液中，以相对于甲基丙烯酸甲酯为2质量％溶解作为光聚合引发剂的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮，调制成溶液。
接着，采用与实施例1同样的方法，制作在上述硅基板B的凹凸面上涂布有上述溶液的样品。
接着，以1000mJ/cm2的照射量进行UV照射来使涂布膜固化。
接着，通过SEM进行截面观察，结果是：对于a1＝900μm、b1＝900μm、a2＝40nm、b2＝120nm(高度200nm)的槽，在凸凸间的宽度为900μm的区域产生空隙，在凸凸间的宽度为40nm的区域也产生同样的空隙。此外，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的H1层的厚度为250nm，H2层的厚度为264nm，平坦度(ΔFT)为11.2％。此外，大气面产生了应变。
将以上结果示于表1和表2中。
[表1]
[表2]
Figure BDA0002299310930001471
[实施例17]
在氮气气氛下，在具备磁力搅拌装置的5L的高压釜内，将具有结构单元[A]的四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯320g(2mol)、具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮304g(2mol)以及1,5-己二烯21g(0.25mol)溶解于四氢呋喃(以下，记为THF)3.4kg中，进行搅拌。
在其中添加612mg(0.8mmol)的作为开环易位聚合催化剂的Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2，使其在60℃反应3小时。然后，添加正丁醛173mg(2.4mmol)，进行冷却，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5700，Mw/Mn＝1.61，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，使用甲醇，将环状烯烃聚合物从所得的开环易位聚合物溶液中析出，在80℃进行减压干燥，获得了白色粉末固体(聚合物14)。
聚合物14的玻璃化转变温度为151℃。
接着，调制以下的溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物14的丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(以下，表述为PGMEA。)与环己酮(以下，也称为CH。)的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm，10sec的条件下，涂布于在基板表面上形成有高度200nm，凸部宽度40～150nm，凸凸间宽度40～150nm的线与间隔图案的硅基板表面A。然后，在氮气气氛下，在200℃加热3分钟。
由椭偏仪测定得到的聚合物14的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.08。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物14均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物14的层的厚度为300nm，最大高度(Hmax)为301nm，最小高度(Hmin)为300nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所获得的聚合物14的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm，10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃，加热10分钟而获得的聚合物14相对于PGMEA的残膜率为88％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物14相对于PGMEA的残膜率为96％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为9％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物14相对于PGME的残膜率为99％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物14相对于PGME的残膜率为99％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为2.4％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物14相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为94％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物14相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为98％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为3.7％。
[实施例18]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-甲氧基羰基-四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液2.5kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6300，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物15)。
聚合物15的玻璃化转变温度为150℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物15的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物15的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.04。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物15均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为299nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物15的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物15相对于PGMEA的残膜率为58％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物15相对于PGMEA的残膜率为92％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为0.3％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物15相对于PGME的残膜率为60％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物15相对于PGME的残膜率为94％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为0.3％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物15相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为60％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物15相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为93％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为0.3％。
[实施例19]
将具有结构单元[A]的单体变更为8-(1-乙基环戊基氧基羰基)-四环[4.4.0.12, 5.17,10]-3-十二碳烯，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7200，Mw/Mn＝1.50，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物16)。
聚合物16的玻璃化转变温度为130℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物16的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物16的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物16均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物16的层的厚度为302nm，最大高度(Hmax)为303nm，最小高度(Hmin)为301nm，平坦度(ΔFT)为0.7％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物16的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物16相对于PGMEA的残膜率为97％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物16相对于PGMEA的残膜率为98％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为0.3％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物16相对于PGME的残膜率为81％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物16相对于PGME的残膜率为95％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为0.3％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物16相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为88％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物16相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为96％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为0.3％。
[实施例20]
采用与实施例19同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝7800，Mw/Mn＝1.57，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物17)。
聚合物17的玻璃化转变温度为91℃。
此外，聚合物17的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物17的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为112℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物17的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物17的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物17均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物17的层的厚度为310nm，最大高度(Hmax)为311nm，最小高度(Hmin)为309nm，平坦度(ΔFT)为0.6％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物17的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物17相对于PGMEA的残膜率为75％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物17相对于PGMEA的残膜率为93％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为0.5％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物17相对于PGME的残膜率为66％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物17相对于PGME的残膜率为92％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为0.2％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物17相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为69％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物17相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为92％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为0.3％。
[实施例21]
将具有结构单元[A]的单体变更为二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.7kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6800，Mw/Mn＝2.84，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物18)。
聚合物18的玻璃化转变温度为72℃。
此外，聚合物18的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物18的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为84℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物18的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物18的折射率(n值)为1.68，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物18均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物18的层的厚度为262nm，最大高度(Hmax)为262nm，最小高度(Hmin)为262nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物18的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物18相对于PGMEA的残膜率为99％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物18相对于PGMEA的残膜率为99％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为30％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物18相对于PGME的残膜率为96％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物18相对于PGME的残膜率为99％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为1.8％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物18相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为71％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物18相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为99％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为9.4％。
[实施例22]
将具有结构单元[A]的单体变更为5-(1-乙基环戊基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5600，Mw/Mn＝1.92，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物19)。
聚合物19的玻璃化转变温度为56℃。
此外，聚合物19的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物19的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为76℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物19的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物19的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物19均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物19的层的厚度为264nm，最大高度(Hmax)为266nm，最小高度(Hmin)为264nm，平坦度(ΔFT)为0.8％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物19的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物19相对于PGMEA的残膜率为99％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物19相对于PGMEA的残膜率为100％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为3.0％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物19相对于PGME的残膜率为71％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物19相对于PGME的残膜率为95％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为2.2％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物19相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为76％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物19相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为95％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为2.5％。
[实施例23]
将具有结构单元[A]的单体变更为5-(1-甲基环己基氧基羰基)-二环[2.2.1]庚-2-烯，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.0kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝7300，Mw/Mn＝2.17，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物20)。
聚合物20的玻璃化转变温度为58℃。
此外，聚合物20的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物20的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为81℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物20的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物20的折射率(n值)为1.78，消光系数(k值)为0.01。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物20均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物20的层的厚度为263nm，最大高度(Hmax)为264nm，最小高度(Hmin)为262nm，平坦度(ΔFT)为0.8％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物20的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物20相对于PGMEA的残膜率为100％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物20相对于PGMEA的残膜率为100％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为10％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物20相对于PGME的残膜率为100％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物20相对于PGME的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为10％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物20相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为98％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物20相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为10％。
[实施例24]
采用与实施例21同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.7kg。接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率50.7％的5％Rh碳11.4g(干燥质量5.6g)，以氢压5MPa、100℃进行12小时氢化反应。所得的聚合物为氢化率＝100摩尔％，Mw＝10400，Mw/Mn＝3.18，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝50/50。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物21)。
聚合物21的玻璃化转变温度为45℃。
此外，聚合物21的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物21的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为50℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物21的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物21的折射率(n值)为1.66，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物21均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物21的层的厚度为273nm，最大高度(Hmax)为273nm，最小高度(Hmin)为273nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物21的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物21相对于PGMEA的残膜率为79％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物21相对于PGMEA的残膜率为97％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为0.8％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物21相对于PGME的残膜率为74％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物21相对于PGME的残膜率为93％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为6.2％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物21相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为76％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物21相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为94％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为6.0％。
[实施例25]
将具有结构单元[A]的二环[2.2.1]庚-2-烯变更为75g(0.8mol)，将具有结构单元[B]的4,10-二氧-三环[5.2.1.02,6]-8-癸烯-3-酮变更为487g(3.2mol)，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液3.8kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝5900，Mw/Mn＝2.32，利用1HNMR解析得到的结构单元[A]与结构单元[B]的摩尔比为[A]/[B]＝20/80。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物22)。
聚合物22的玻璃化转变温度为68℃。
此外，聚合物22的挥发成分的产生量为0.0质量％。
此外，由聚合物22的固体粘弹性测定的结果算出的表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为82℃。
接着，采用与实施例17同样的方法，制作在上述硅基板A的凹凸面上涂布有聚合物22的样品。
由椭偏仪测定得到的聚合物22的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：聚合物22均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，对于从凹部底面至大气面的距离计测10处而得的任何计测值都为260nm，平坦度(ΔFT)为0.0％。
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有所得的聚合物22的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物22相对于PGMEA的残膜率为99％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物20相对于PGMEA的残膜率为100％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为31％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物22相对于PGME的残膜率为98％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物22相对于PGME的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为26％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物22相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为97％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物22相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为27％。
[实施例26]
调制以下溶液：溶解有浓度10质量％的由实施例20获得的聚合物17和浓度0.3质量％的作为交联剂的3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷甲酸酯(EEC)的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，采用与实施例17同样的方法，制作涂布于上述硅基板A的凹凸面上的样品。
由椭偏仪测定得到的折射率(n值)为1.67，消光系数(k值)为0.02。
可知上述环状烯烃聚合物发生极性变化的温度充分地高于G’与G”的交点的温度即112℃，因此由上述环状烯烃聚合物和交联剂形成的下层膜形成用材料的G’与G”的交点的温度也可以视为同样的值。
通过SEM观察基板A的截面，结果是：均匀地填埋于凸凸间的窄线宽度40nm(高度200nm)的槽，没有空隙等缺陷。进一步，将从凹部底面至大气面的距离计测10处并平均化而得的聚合物8的层的厚度为313nm，最大高度(Hmax)为313nm，最小高度(Hmin)为312nm，平坦度(ΔFT)为0.3％。
调制以下溶液：溶解有浓度10质量％的所得的聚合物17和浓度0.3质量％的作为交联剂的3’,4’-环氧环己基甲基3,4-环氧环己烷甲酸酯(EEC)的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于4英寸的硅晶片上。接着，在减压下，在80℃干燥5小时(中间阶段)。
接着，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的膜相对于PGMEA的残膜率为95％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的膜相对于PGMEA的残膜率为100％。
参考信息：在使上述中间阶段的膜直接浸渍于PGMEA的情况下，残膜率为0.5％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的膜相对于PGME的残膜率为94％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的膜相对于PGME的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME的情况下，残膜率为0.2％。
此外，在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的膜相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为94％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的膜相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率为100％。
参考信息：不将上述中间阶段中的膜在200℃进行处理而使其浸渍于PGME/PGMEA(7/3)的情况下，残膜率为0.3％。
[比较例3]
使用聚羟基苯乙烯(以下，表述为PHS。Polysciences公司，Mw＝5300，Mw/Mn＝1.48)，除此以外，与实施例17同样地操作，调制以10质量％溶解后的PGMEA溶液，旋转涂布于4英寸的硅晶片上，在200℃烧成10分钟。
与实施例17同样地操作，评价残膜率，结果是：关于相对于PGMEA的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的PHS的残膜率为0.2％。在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的PHS的残膜率为0.4％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的PHS的残膜率为0.6％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGMEA不溶解的状态。
此外，关于相对于PGME的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的PHS为0.1％。在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的PHS为0.4％。在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的PHS为0.5％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGME不溶解的状态。此外，关于相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的PHS为0.1％。在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的PHS为0.4％。在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的PHS为0.5％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGME/PGMEA(7/3)不溶解的状态。
[比较例4]
将具有结构单元[A]的单体变更为5,5,6-三氟-6-(三氟甲基)-二环8-[2.2.1]庚-2-烯，没有使用具有结构单元[B]的单体，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.1kg。
接着，在所得的开环易位聚合物溶液中，添加作为氢化催化剂的含水率52.0％的5％Pd碳51.7g(干燥质量24.8g)，以氢压8.5MPa、130℃进行20小时氢化反应。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝9300，Mw/Mn＝1.76。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物23)。
与实施例17同样地操作，评价残膜率，结果是：关于相对于PGMEA的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的聚合物23的残膜率为0.3％。在氮气气氛下，在200℃、加热10分钟而获得的聚合物23的残膜率为0.5％。此外，在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物23的残膜率为0.8％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGMEA不溶解的状态。
此外，关于相对于PGME的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的聚合物23为25％。在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物23为27％。在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物23为28％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGME不溶解的状态。此外，关于相对于PGME/PGMEA(7/3)的残膜率，仅在减压下于80℃干燥了5小时的聚合物23为33％。在氮气气氛下，在200℃加热10分钟而获得的聚合物23为35％。在氮气气氛下，在200℃加热30分钟而获得的聚合物23为35％，在任何加热时间都没有观察到相对于PGME/PGMEA(7/3)不溶解的状态。
[比较例5]
将具有结构单元[A]的单体变更为四环[4.4.0.12,5.17,10]-3-十二碳烯，没有使用具有结构单元[B]的单体，除此以外，采用与实施例17同样的方法，获得了开环易位聚合物溶液4.2kg。所得的聚合物为聚合率＝100％，Mw＝6800，Mw/Mn＝1.55。
接着，采用与实施例17同样的方法进行析出和干燥，获得了白色粉末固体(聚合物24)。
仅在减压下于80℃干燥了5小时的聚合物24的残膜率由于浸渍于PGMEA时发生被认为是溶胀的现象而泛白，因此没能用椭偏仪进行测定。关于在氮气气氛下，在200℃加热10分钟或30分钟而获得的聚合物24的残膜率，也同样地由于泛白而没能用椭偏仪进行测定。相对于PGME、PGME/PGMEA(7/3)的残膜率也与PGMEA同样地，由于浸渍时发生被认为是溶胀的现象而泛白，因此没能用椭偏仪进行测定。
将以上残膜率的结果示于表3和表4中。
[表3]
Figure BDA0002299310930001631
※由3处的平均值算出
[表4]
※由3处的平均值算出
[实施例27]
调制以下溶液：以10质量％的浓度溶解有由实施例21获得的聚合物18的PGMEA与环己酮的质量比为PGMEA/环己酮＝5/5的溶液，在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于30mm见方的硅晶片上。接着，在氮气气氛下，在200℃加热1分钟。冷却至室温之后，进一步将以10质量％的浓度溶解有四异丙醇钛的PGMEA溶液在1000rpm、10sec的条件下，旋转涂布于该晶片上。接着，在氮气气氛下，在200℃加热1分钟，获得了在聚合物18的层上重叠涂布有TiO2的晶片。
通过TEM进行截面观察，结果是：聚合物18与TiO2的界面明确且平坦。
[实施例28]
将聚合物18变更为由实施例22获得的聚合物19，除此以外，与实施例27同样地操作，获得了在聚合物19的层上重叠涂布有TiO2的晶片。
通过TEM进行截面观察，结果是：聚合物19与TiO2的界面明确且平坦。将截面照片示于图4中。
[比较例6]
将聚合物18变更为聚羟基苯乙烯(PHS)，除此以外，与实施例27同样地操作，获得了在PHS的层上重叠涂布有TiO2的晶片。
通过TEM进行截面观察，结果是：PHS与TiO2之间不存在明确的界面，认为在将四异丙醇钛的PGMEA溶液进行旋转涂布时，PHS溶解而完全混杂。
由以上结果可知，在将本发明中的材料用作抗蚀剂下层膜的情况下，能够使具有凹凸的晶片表面变得平坦，并且在利用旋转涂布将中间层或抗蚀剂层形成于抗蚀剂下层膜上时，完全不引起互混。
产业可利用性
本案第一发明的下层膜形成用材料能够提供满足充分的光学特性和蚀刻耐性的同时平坦性优异，挥发成分的产生量也得以抑制的抗蚀剂下层膜。由此，在半导体器件制造工序中，能够获得高集成度的半导体电路。
本案第二发明的下层膜形成用材料能够实现中间层与抗蚀剂下层膜的密合性优异的同时平坦性优异的层叠体。由此，在半导体器件制造工序中，能够获得高集成度的半导体电路。
本申请主张以2017年5月31日申请的日本申请特愿2017-108506号和2017年10月6日申请的日本申请特愿2017-196260号作为基础的优先权，将其公开的全部内容并入本申请中。
本发明包含以下形式。
1.
一种下层膜形成用材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含：具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，
上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
[化9]
Figure BDA0002299310930001661
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化10]
Figure BDA0002299310930001671
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
2.
根据1.所述的下层膜形成用材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围50～250℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下测定得到的上述环状烯烃聚合物的固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为80℃以上200℃以下。
3.
根据1.或2.所述的下层膜形成用材料，
在将上述环状烯烃聚合物的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的上述环状烯烃聚合物中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下。
(方法1：将上述环状烯烃聚合物溶解于四氢呋喃来制作聚合物浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温，将上述环状烯烃聚合物固化，在氮气气氛下、30～300℃的温度范围，以10℃/min的升温速度对上述环状烯烃聚合物进行加热，由100～250℃的范围内的重量减少量算出上述环状烯烃聚合物中的上述挥发成分的产生量)
4.
根据1.～3.中任一项所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
5.
根据1.～4.中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述环状烯烃聚合物的上述折射率(n值))
6.
根据1.～5.中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述环状烯烃聚合物的上述消光系数(k值))
7.
根据1.～6.中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
8.
一种下层膜形成用材料，其特征在于，用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
是包含环状烯烃聚合物的膜的材料，
上述环状烯烃聚合物本身能够在有机溶剂中以至少0.01质量％以上50质量％以下的浓度进行溶解，
上述膜中，通过下述方法4测定得到的、上述环状烯烃聚合物的残膜率满足50％以上100％以下。
(方法4：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜。接着，将所得的上述涂膜在200℃处理10分钟。接着，在23℃在有机溶剂(丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯(PGMEA))中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去上述涂膜中的残存溶剂。接着，测定除去上述残存溶剂后的上述涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
9.
根据8.所述的下层膜形成用材料，
上述环状烯烃聚合物具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]，
上述环状烯烃聚合物中的上述结构单元[A]与上述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下。
[化11]
(上述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数。)
[化12]
Figure BDA0002299310930001701
(上述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。)
10.
根据8.或9.所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的上述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
11.
根据8.～10.中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的上述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下。
(方法2：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为上述环状烯烃聚合物的上述折射率(n值))
12.
根据8.～11.中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的上述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下。
(方法3：在硅晶片上形成包含上述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的上述涂膜的消光系数(k值)设为上述环状烯烃聚合物的上述消光系数(k值))
13.
根据8.～12.中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的上述凹凸结构上，并且在用于填埋上述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
14.
一种抗蚀剂下层膜，其包含1.～13.中任一项所述的下层膜形成用材料。
15.
一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括下述工序：在基板上形成包含1.～13.中任一项所述的下层膜形成用材料的涂膜。
16.
根据15.所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对上述涂膜进行加热的工序。
17.
一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于上述基板的一个面且包含1.～13.中任一项所述的下层膜形成用材料。
18.
根据17.所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下。
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
(这里，在上述表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将上述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin)
19.
根据17.或18.所述的层叠体，
上述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上500nm以下。
(这里，在上述抗蚀剂下层膜的与上述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定上述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav)
20.
根据17.～19.中任一项所述的层叠体，
上述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在上述凹凸结构上形成有上述抗蚀剂下层膜，
上述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。

Claims (31)

1.一种下层膜形成用材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含：具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]的环状烯烃聚合物，
所述环状烯烃聚合物中的所述结构单元[A]与所述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下，
[化1]
Figure FDA0002299310920000011
所述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，
[化2]
所述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。
2.根据权利要求1所述的下层膜形成用材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下测定得到的所述环状烯烃聚合物的固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
3.根据权利要求1所述的下层膜形成用材料，
使用流变仪，在氮气气氛下、剪切模式、测定温度范围30～300℃、升温速度3℃/min、频率1Hz的条件下测定得到的所述下层膜形成用材料的固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为40℃以上200℃以下。
4.根据权利要求2或3所述的下层膜形成用材料，
所述固体粘弹性中的、表示储能弹性模量(G’)曲线与损耗弹性模量(G”)曲线的交点的温度为80℃以上200℃以下。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将所述环状烯烃聚合物的整体设为100质量％时，通过下述方法1测定得到的所述环状烯烃聚合物中的挥发成分的产生量为0.0质量％以上1.0质量％以下，
方法1：将所述环状烯烃聚合物溶解于四氢呋喃来制作固体成分浓度为20质量％的溶液，在铝盘中称量所得的溶液，接着，在氮气气流下，在200℃加热3分钟来除去四氢呋喃，接着，冷却至室温，将所述环状烯烃聚合物固化，在氮气气氛下、30～300℃的温度范围，以10℃/min的升温速度对所述环状烯烃聚合物进行加热，由100～250℃的范围内的重量减少量算出所述环状烯烃聚合物中的所述挥发成分的产生量。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的所述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的所述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下，
方法2：在硅晶片上形成包含所述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为所述环状烯烃聚合物的所述折射率(n值)。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的所述下层膜形成用材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下，
方法2：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为所述下层膜形成用材料的所述折射率(n值)。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的所述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下，
方法3：在硅晶片上形成包含所述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的消光系数(k值)设为所述环状烯烃聚合物的所述消光系数(k值)。
10.根据权利要求1～8中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的所述下层膜形成用材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下，
方法3：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的消光系数(k值)设为所述下层膜形成用材料的所述消光系数(k值)。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的所述凹凸结构上，并且在用于填埋所述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将所述下层膜形成用材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，所述下层膜形成用材料中的交联剂的含量小于5质量份。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将所述下层膜形成用材料的整体设为100质量％时，所述下层膜形成用材料中的所述环状烯烃聚合物的含量为50质量％以上100质量％以下。
14.一种下层膜形成用材料，其特征在于，用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
是包含环状烯烃聚合物的膜的材料，
所述环状烯烃聚合物本身能够在有机溶剂中以至少0.01质量％以上50质量％以下的任一浓度进行溶解，
所述膜中，通过下述方法4测定得到的、所述环状烯烃聚合物的残膜率满足50％以上100％以下，
方法4：在硅晶片上形成包含所述环状烯烃聚合物的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜，接着，将所得的所述涂膜在200℃处理10分钟，接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去所述涂膜中的残存溶剂，接着，测定除去所述残存溶剂后的所述涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
15.一种下层膜形成用材料，其用于形成多层抗蚀剂工艺所使用的抗蚀剂下层膜，
包含环状烯烃聚合物，
通过下述方法4测定得到的、所述下层膜形成用材料的残膜率满足50％以上100％以下，
方法4：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用材料的厚度(α)为200nm以上500nm以下的涂膜，接着，将所得的所述涂膜在200℃处理10分钟，接着，在23℃在丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯中浸渍10分钟，接着，在150℃、3分钟的条件下进行干燥，除去所述涂膜中的残存溶剂，接着，测定除去所述残存溶剂后的所述涂膜的厚度(β)，算出残膜率(＝β/α×100)(％)。
16.根据权利要求14或15所述的下层膜形成用材料，
所述环状烯烃聚合物具有下述通式(1)所示的重复结构单元[A]和下述通式(2)所示的重复结构单元[B]，
所述环状烯烃聚合物中的所述结构单元[A]与所述结构单元[B]的摩尔比[A]/[B]为5/95以上95/5以下，
[化3]
Figure FDA0002299310920000051
所述通式(1)中，R1～R4中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R1～R4可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，
[化4]
Figure FDA0002299310920000061
所述通式(2)中，R5～R8中的至少一个选自氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～20的芳基、碳原子数1～10的烷氧基、碳原子数6～20的芳氧基、碳原子数2～10的烷氧基烷基、碳原子数7～20的芳氧基烷基、碳原子数2～20的烷氧基羰基、碳原子数3～10的二烷基氨基羰基、碳原子数7～20的芳氧基羰基、碳原子数8～20的烷基芳基氨基羰基、碳原子数3～30的烷氧基羰基烷基、碳原子数8～30的烷氧基羰基芳基、碳原子数8～20的芳氧基羰基烷基、碳原子数3～20的烷氧基烷基氧基羰基和碳原子数4～30的烷氧基羰基烷基氧基羰基，R5～R8可以彼此结合而形成环结构，n表示0～2的整数，X1表示-O-或-S-。
17.根据权利要求14～16中任一项所述的下层膜形成用材料，
使用凝胶渗透色谱测定得到的所述环状烯烃聚合物的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为1000以上20000以下。
18.根据权利要求14～17中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的所述环状烯烃聚合物的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下，
方法2：在硅晶片上形成包含所述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为所述环状烯烃聚合物的所述折射率(n值)。
19.根据权利要求14～17中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法2测定得到的所述下层膜形成用材料的波长193nm时的折射率(n值)为1.5以上2.0以下，
方法2：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的波长193nm时的折射率(n值)设为所述下层膜形成用材料的所述折射率(n值)。
20.根据权利要求14～19中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的所述环状烯烃聚合物的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下，
方法3：在硅晶片上形成包含所述环状烯烃聚合物的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的消光系数(k值)设为所述环状烯烃聚合物的所述消光系数(k值)。
21.根据权利要求14～19中任一项所述的下层膜形成用材料，
通过下述方法3测定得到的所述下层膜形成用材料的消光系数(k值)为0.0001以上0.5以下，
方法3：在硅晶片上形成包含所述下层膜形成用材料的厚度250nm的涂膜，将所得的所述涂膜的消光系数(k值)设为所述下层膜形成用材料的所述消光系数(k值)。
22.根据权利要求14～21中任一项所述的下层膜形成用材料，
其形成于具有凹凸结构的基板的所述凹凸结构上，并且在用于填埋所述凹凸结构中的凹部的下层膜中使用。
23.根据权利要求14～22中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将所述下层膜形成用材料所包含的聚合物成分的总含量设为100质量份时，所述下层膜形成用材料中的交联剂的含量小于5质量份。
24.根据权利要求14～23中任一项所述的下层膜形成用材料，
在将所述下层膜形成用材料的整体设为100质量％时，所述下层膜形成用材料中的所述环状烯烃聚合物的含量为50质量％以上100质量％以下。
25.一种抗蚀剂下层膜，其包含权利要求1～24中任一项所述的下层膜形成用材料。
26.一种抗蚀剂下层膜的制造方法，其包括下述工序：在基板上形成包含权利要求1～24中任一项所述的下层膜形成用材料的涂膜。
27.根据权利要求26所述的抗蚀剂下层膜的制造方法，其进一步包括对所述涂膜进行加热的工序。
28.一种层叠体，其具备基板和抗蚀剂下层膜，所述抗蚀剂下层膜形成于所述基板的一个面且包含权利要求1～24中任一项所述的下层膜形成用材料。
29.根据权利要求28所述的层叠体，
所述抗蚀剂下层膜的与所述基板相反侧的表面(α)的通过下述式算出的平坦度(△FT)为0％以上5％以下，
平坦度(ΔFT)＝[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(％)
这里，在所述表面(α)的任意10处，测定所述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav，将所述抗蚀剂下层膜的膜厚的最大值设为Hmax，将所述抗蚀剂下层膜的膜厚的最小值设为Hmin。
30.根据权利要求28或29所述的层叠体，
所述抗蚀剂下层膜的膜厚的平均值Hav为5nm以上1000nm以下，
这里，在所述抗蚀剂下层膜的与所述基板相反侧的表面(α)的任意10处，测定所述抗蚀剂下层膜的膜厚，将它们的平均值设为Hav。
31.根据权利要求28～30中任一项所述的层叠体，
所述基板的至少一个表面具有凹凸结构，
在所述凹凸结构上形成有所述抗蚀剂下层膜，
所述凹凸结构的高度为5nm以上500nm以下，凸凸间的间隔为1nm以上10mm以下。
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