KR102305874B1 - 하층막 형성용 재료, 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 제조 방법 및 적층체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 하층막 형성용 재료는, 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하고, 상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하이다.
Figure 112019122902055-pct00021

Description

하층막 형성용 재료, 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 제조 방법 및 적층체
본 발명은 하층막 형성용 재료, 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 제조 방법 및 적층체에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조에서는, 높은 집적도를 얻기 위해서 다층 레지스트 프로세스가 이용되고 있다. 이 프로세스에서는, 일반적으로, 우선 기판 상에 하층막 형성용 재료를 이용하여 레지스트 하층막을 형성하고, 이어서 레지스트 하층막의 상면측에 레지스트층을 형성하고, 소성, 노광을 거쳐 레지스트 패턴을 형성한다. 계속해서, 에칭에 의해 상기 레지스트 패턴을 레지스트 하층막에 전사하고, 레지스트 하층막 패턴을 기판에 전사하는 것에 의해 원하는 패턴을 얻을 수 있다.
기판으로서는 평탄한 형상의 기판뿐만 아니라, 보다 복잡한 회로의 형성을 행하기 위해서 예비적으로 큰 회로 형상을 형성한 요철 구조를 갖는 기판을 이용하여, 치수 사이즈가 큰 회로 형상을 더 가공해서, 미세한 회로를 형성하는 멀티 패터닝법이 최첨단의 회로 형성 프로세스에서는 도입되고 있다.
이러한 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막에는, 요철 구조를 갖는 기판의 요철부에 대한 매립성, 레지스트를 도포하는 측의 표면의 평탄성, 적당한 굴절률이나 소쇠(消衰) 계수 등의 광학 특성, 양호한 에칭 내성 등의 특성이 요구된다.
근년, 집적도를 보다 높이기 위해서 패턴의 미세화가 더 진행되고 있다. 이 미세화에 대응하기 위해, 하층막 형성용 재료에 이용되는 화합물 등의 구조나 작용기 등에 대하여 여러 가지의 검토가 행해지고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
한편으로, 높은 집적도를 얻기 위한 패턴 형성의 미세화에 있어서, 현재 주류인 ArF 엑시머 레이저를 이용하는 리소그래피 공정에서는 반도체 기판으로부터의 난반사나 정재파의 영향이 큰 문제가 되고 있다. 이 문제를 해결하기 위해, 하층막에 요구되는 기능의 일부로서, 반사 방지 기능을 부여한 재료가 널리 검토되고 있다. 당해 반사 방지 기능을 하층막에 부여하는 형태로서는, 예를 들면, 어떤 종의 재료로 기판 표면의 요철 구조를 매립하고, 평탄성을 갖게 한 층 상에 반사 방지막(BARC: Bottom Anti-Reflective Coating)을 설치하는 형태나, 기판 표면의 요철 구조를 매립하는 재료 자신에게 반사 방지 기능을 부여하는 형태 등이 검토되고 있다.
특히, 전자의 반사 방지막의 형성 재료에 대해서는, 그 사용의 용이성 등으로부터, 흡광 부위를 갖는 폴리머 등으로 이루어지는 유기 반사 방지막에 대하여 수많은 검토가 행해지고 있다. 예를 들면, 특허문헌 2에는, 상층에 형성하는 레지스트막과의 인터믹싱이 없고, ArF 엑시머 레이저를 이용하여 노광하는 경우, 원하는 광학 상수(굴절률, 소쇠 계수)가 얻어지고, 또한 레지스트막에 대해서 큰 드라이 에칭 속도의 선택비가 얻어지는, 레지스트 하층막(반사 방지막)이 개시되어 있다.
일본 특허공개 2004-177668호 공보 국제 공개 제2009/008446호
최근에는, 복수종의 트렌치, 특히 서로 상이한 어스펙트비를 갖는 트렌치를 갖는 기판, 즉 보다 미세한 요철 구조를 갖는 기판을 이용하여, 다층 레지스트법에 의한 멀티 패터닝으로 미세 패턴을 형성하는 경우가 증가하고 있다. 이와 같은 경우, 최상층에 형성되는 레지스트층은 레티클 상의 패턴을 정확히 전사하기 위해서 고도한 평탄성이 요구된다. 근년의 패턴 미세화의 흐름 속에서, 레지스트 현상 공정에 있어서의 패턴 무너짐을 피하기 위해서 레지스트층의 막 두께는 박막화되고 있어, 레지스트층은 하층막의 평탄성의 영향을 보다 한층 강하게 받도록 되고 있다. 따라서, 상기와 같은 일반적으로 수지가 침입하기 어려운 표면 구조의 기판 상에 형성되는 레지스트 하층막은, 이들 트렌치를 충분히 매립한 것임과 함께 높은 평탄성을 가질 것이 요구된다. 게다가, 도포 후의 베이킹 공정에 있어서, 휘발 성분(아웃 가스)을 발생시키지 않는 재료가 바람직하다고 생각된다.
본 발명자들의 검토에 의하면, 종래의 레지스트 하층막 형성용 재료에서는, 평탄성의 요구를 만족시키면서, 휘발 성분을 발생시키지 않는 재료를 실현하는 것은 곤란한 경향이 있는 것을 알게 되었다.
한편, 추가적인 미세 가공 기술인, EUV(극단 자외선의 약칭, 파장 13.5nm) 노광을 채용한 리소그래피에서는, 기판으로부터의 반사는 없기는 하지만, 특히, 종래의 매립성에 더하여, EUV광의 고에너지선 노광용 레지스트 하층막을 형성하는 재료의 휘발 성분(아웃 가스) 발생이 큰 문제가 될 가능성이 있다.
또한, 노광하는 광의 파장 이하의 라인폭으로 회로도를 그리는 경우, 복수의 요철층을 형성하고, 조합하는 방법이 알려져 있다. 이와 같은 태양을 실현하기 위해서는, 상기 요철층의 평활화를 목적으로 하는 하층막 상에 중간층을 형성하고, 추가로 그 위에 새로운 레지스트층을 형성하는 방법을 예시할 수 있다.
본 발명자들의 검토에 의하면, 예를 들면 이 중간층을 스핀 코팅법 등으로 형성하는 경우, 용매의 선택을 잘못하면, 하층막과 중간층이 인터믹싱을 일으켜 버리고, 그 결과, 하층막과 중간층의 계면 강도가 저하되거나, 하층막의 평활성이 상실되거나 하는 경우가 있는 것도 알게 되었다.
본건 제 1 발명은 상기 사정에 비추어 이루어진 것으로, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 실현할 수 있는 하층막 형성용 재료를 제공하는 것이다.
또한, 본건 제 1 발명은, 요철 구조에 대한 매립성이 우수하고, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 복잡한 형상의 기판 상에 형성할 수 있는 하층막 형성용 재료를 제공하는 것이다.
또한, 본건 제 2 발명은 상기 사정에 비추어 이루어진 것으로, 중간층과 레지스트 하층막의 인터믹싱을 일으키지 않고 밀착성이 우수함과 함께 평탄성이 우수한 적층체를 실현할 수 있는 하층막 형성용 재료를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 이하에 나타내는 하층막 형성용 재료, 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 제조 방법 및 적층체가 제공된다.
[1]
다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하고,
상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
[화학식 1]
Figure 112019122902055-pct00001
(상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
[화학식 2]
Figure 112019122902055-pct00002
(상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
[2]
상기 [1]에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 30∼300℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 40℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
[3]
상기 [1]에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 30∼300℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 40℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
[4]
상기 [2] 또는 [3]에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 80℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
[5]
상기 [1] 내지 [4] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 1에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 휘발 성분의 발생량이, 상기 환상 올레핀 폴리머의 전체를 100질량%로 했을 때, 0.0질량% 이상 1.0질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 1: 상기 환상 올레핀 폴리머를 테트라하이드로퓨란에 용해시켜 고형분 농도가 20질량%인 용액을 제작하고, 얻어진 용액을 알루미늄 접시에 계량하고, 이어서 질소 기류하, 200℃에서 3분간 가열하여 테트라하이드로퓨란을 제거하고, 이어서 실온까지 냉각해서 상기 환상 올레핀 폴리머를 고화시키고, 질소 분위기하에서, 30∼300℃의 온도 범위, 10℃/min의 승온 속도로 상기 환상 올레핀 폴리머를 가열하고, 100∼250℃의 범위에 있어서의 중량 감소량으로부터, 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 상기 휘발 성분의 발생량을 산출한다)
[6]
상기 [1] 내지 [5] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
[7]
상기 [1] 내지 [6] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
[8]
상기 [1] 내지 [6] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 하층막 형성용 재료의 상기 굴절률(n값)로 한다)
[9]
상기 [1] 내지 [8] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
[10]
상기 [1] 내지 [8] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 하층막 형성용 재료의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
[11]
상기 [1] 내지 [10] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
[12]
상기 [1] 내지 [11] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 하층막 형성용 재료에 포함되는 폴리머 성분의 전체 함유량을 100질량부로 했을 때, 상기 하층막 형성용 재료 중의 가교제의 함유량이 5질량부 미만인 하층막 형성용 재료.
[13]
상기 [1] 내지 [12] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 하층막 형성용 재료 중의 상기 환상 올레핀 폴리머의 함유량이, 상기 하층막 형성용 재료의 전체를 100질량%로 했을 때, 50질량% 이상 100질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
[14]
다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
환상 올레핀 폴리머를 포함하는 막의 재료이며,
상기 환상 올레핀 폴리머 자신은, 유기 용매에 적어도 0.01질량% 이상 50질량% 이하 중 어느 농도에서 용해 가능하고,
상기 막에 있어서, 하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 50% 이상 100% 이하를 만족시키는 것을 특징으로 하는 하층막 형성용 재료.
(방법 4: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 상기 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 상기 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 상기 잔존 용매를 제거한 상기 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.)
[15]
다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
환상 올레핀 폴리머를 포함하고,
하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 잔막률이 50% 이상 100% 이하를 만족시키는 하층막 형성용 재료.
(방법 4: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 상기 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 상기 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 상기 잔존 용매를 제거한 상기 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.)
[16]
상기 [14] 또는 [15]에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 환상 올레핀 폴리머는, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖고,
상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
[화학식 3]
Figure 112019122902055-pct00003
(상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
[화학식 4]
Figure 112019122902055-pct00004
(상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
[17]
상기 [14] 내지 [16] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
[18]
상기 [14] 내지 [17] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
[19]
상기 [14] 내지 [17] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 하층막 형성용 재료의 상기 굴절률(n값)로 한다)
[20]
상기 [14] 내지 [19] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
[21]
상기 [14] 내지 [19] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 하층막 형성용 재료의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
[22]
상기 [14] 내지 [21] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
[23]
상기 [14] 내지 [22] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 하층막 형성용 재료에 포함되는 폴리머 성분의 전체 함유량을 100질량부로 했을 때, 상기 하층막 형성용 재료 중의 가교제의 함유량이 5질량부 미만인 하층막 형성용 재료.
[24]
상기 [14] 내지 [23] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 하층막 형성용 재료 중의 상기 환상 올레핀 폴리머의 함유량이, 상기 하층막 형성용 재료의 전체를 100질량%로 했을 때, 50질량% 이상 100질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
[25]
상기 [1] 내지 [24] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막.
[26]
상기 [1] 내지 [24] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 도막을 기판 상에 형성하는 공정을 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
[27]
상기 [26]에 기재된 레지스트 하층막의 제조 방법에 있어서,
상기 도막을 가열하는 공정을 추가로 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
[28]
기판과,
상기 기판의 한쪽 면에 형성된, 상기 [1] 내지 [24] 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막
을 구비하는 적층체.
[29]
상기 [28]에 기재된 적층체에 있어서,
상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)에 있어서의 하기 식에 의해 산출되는 평탄도(ΔFT)가 0% 이상 5% 이하인 적층체.
평탄도(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(여기에서, 상기 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최대값을 Hmax로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최소값을 Hmin으로 한다)
[30]
상기 [28] 또는 [29]에 기재된 적층체에 있어서,
상기 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav가 5nm 이상 1000nm 이하인 적층체.
(여기에서, 상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 한다)
[31]
상기 [28] 내지 [30] 중 어느 하나에 기재된 적층체에 있어서,
상기 기판은 적어도 한쪽 표면에 요철 구조를 갖고,
상기 요철 구조 상에 상기 레지스트 하층막이 형성되어 있고,
상기 요철 구조는 높이가 5nm 이상 500nm 이하이며, 볼록 볼록간의 간격이 1nm 이상 10mm 이하인 적층체.
본건 제 1 발명에 의하면, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 실현할 수 있는 하층막 형성용 재료를 제공할 수 있다.
또한, 본건 제 1 발명의 하층막 형성용 재료는 요철 구조에 대한 매립성이 우수하기 때문에, 본 발명에 의하면, 요철 구조에 대한 매립성이 우수하고, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 복잡한 형상의 기판 상에 형성할 수 있다.
또한, 본건 제 2 발명에 의하면, 중간층과 레지스트 하층막이 인터믹싱을 일으키지 않고, 밀착성이 우수함과 함께 평탄성이 우수한 적층체를 실현할 수 있는 하층막 형성용 재료를 제공할 수 있다.
전술한 목적, 그 밖의 목적, 특징 및 이점은 이하에 기술하는 적합한 실시의 형태 및 그것에 부수하는 이하의 도면에 의해 더 분명해진다.
도 1은 실시예 1에 기재된 폴리머 1의 고체 점탄성 측정에 있어서의 저장 탄성률(G') 곡선, 손실 탄성률(G'') 곡선, 및 그들의 교점을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 실시형태의 적층체에 있어서의 레지스트 하층막의 두께, 요철 구조의 높이 및 요철 구조의 볼록 볼록간의 간격을 설명하기 위한 모식도이다.
도 3은 본 발명에 따른 실시형태의 볼록 볼록간의 간격이나 볼록부의 높이, 볼록부 폭이 불균일한 요철 구조를 설명하기 위한 모식도이다.
도 4는 실시예 28에 기재된 폴리머 19와 TiO2를 겹쳐 칠한 웨이퍼의 단면 TEM 사진이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대하여 설명한다. 한편, 수치 범위의 「A∼B」는 특별히 언급이 없으면, A 이상 B 이하를 나타낸다.
[제 1 발명]
이하, 제 1 발명에 따른 실시형태에 대하여 설명한다.
<하층막 형성용 재료>
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하고, 상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하이다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료란, 반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서, 레지스트층과 기판(바람직하게는 요철 구조를 갖는 기판) 사이에 배치하는 층을 형성하기 위한 재료이다. 레지스트층과 기판 사이에 배치하는 층은, 통상, 포토리소그래피 프로세스에서 마스크의 패턴을 전사하는 레지스트 재료로 이루어지는 레지스트층을 기준으로 레지스트 하층막으로 불린다. 상기 기판의 레지스트 하층막과 접하는 표면은, 예를 들면, 실리카(SiO2)막, SiCN막, 실리카(SiO2)에 카본(C)을 도핑한 SiOC막이나, 메틸실록세인계 유기막(SOG), 수 nm 이하의 미소한 공공(空孔)이 균일하게 분포한 실리카 절연막 등의 저유전 재료로 피막을 형성한 상태여도 된다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료가, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함함으로써, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 가열에 의한 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 형성할 수 있다. 즉, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는 레지스트 하층막의 형성에 적합하게 이용할 수 있다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료에 있어서, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머의 함유량은, 하층막 형성용 재료의 전체를 100질량%로 했을 때, 50질량% 이상 100질량% 이하인 것 바람직하고, 70질량% 이상 100질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 80질량% 이상 100질량% 이하인 것이 더 바람직하며, 90질량% 이상 100질량% 이하인 것이 특히 바람직하다.
후술하는 제 2 발명에 있어서의 환상 올레핀 폴리머의 경우도 마찬가지의 범위인 것이 바람직하다.
상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]는 5/95 이상 95/5 이하이고, 바람직하게는 7/93 이상 93/7 이하이고, 보다 바람직하게는 10/90 이상 90/10 이하이며, 더 바람직하게는 15/85 이상 85/15 이하의 범위이다.
본 발명자들은, 환상 올레핀 폴리머의 조성이 상기 범위 내이면, 폴리머 주쇄의 산소나 황 등의 원소의 밀도가 적합한 범위가 되어, 기판의 요철 구조를 매립할 때의 기판 계면과의 적당한 밀착성을 발현할 수 있고, 보이드 등의 발생을 억제할 수 있고, 높은 평탄성을 유지하면서 양호한 상태의 매립성을 실현할 수 있다고 생각하고 있다. 또한, 환상 올레핀 폴리머의 주쇄에 산소나 황 등의 원소가 존재하는 것에 의한 기판과의 상호작용은, 환상 올레핀 폴리머가 미세한 요철 구조에 침입하기 위한 드라이빙 포스가 되고 있을 가능성이 있다고도 추측하고 있다.
즉, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 요철 구조를 갖는 기판의 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막을 형성하기 위해서 특히 적합하게 이용할 수 있다.
상기 [A]/[B]가 상기 범위의 상하한의 범위 외인 경우, 예를 들면, 요철 기판으로의 도포, 베이킹 후의 냉각 과정에 있어서 기판 계면과의 밀착성이 발현되지 않고, 재료가 수축하여 보이드 등의 문제를 일으키는 경우가 있다.
본 실시형태에 있어서 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]와 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]는 다음 식으로 표시된다. 여기에서, 하기 화학식(1) 및 화학식(2)에 있어서, 주쇄 부분의 점선은 이중 결합을 구성하는 하나의 공유 결합을 의미하거나, 혹은 이중 결합이 수소화되어 이중 결합을 구성하는 하나의 공유 결합이 소실된 상태를 의미한다.
[화학식 5]
Figure 112019122902055-pct00005
(상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20(바람직하게는 탄소수 2∼10)의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30(바람직하게는 탄소수 3∼20)의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30(바람직하게는 탄소수 4∼20)의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
[화학식 6]
Figure 112019122902055-pct00006
(상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20(바람직하게는 탄소수 2∼10)의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30(바람직하게는 탄소수 3∼20)의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30(바람직하게는 탄소수 4∼20)의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
상기 화학식(1)의 R1∼R4에 있어서의 탄소 원자수 1∼10의 알킬기로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-뷰틸기, tert-뷰틸기, n-펜틸기, 사이클로펜틸기, 사이클로헥실기, 사이클로옥틸기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수가 6∼20인 아릴기로서는, 예를 들면, 페닐기, 나프틸기, 안트라센일기, o-톨릴기, m-톨릴기, p-톨릴기, 바이페닐기, 페놀기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 1∼10의 알콕시기로서는, 예를 들면, 메톡시기, 에톡시기, n-프로폭시기, i-프로폭시기, n-뷰톡시기, tert-뷰톡시기, n-펜톡시기, 사이클로펜톡시기, 사이클로헥실옥시기, 사이클로옥틸옥시기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수가 6∼20인 아릴옥시기로서는, 예를 들면, 페닐옥시기, 나프틸옥시기, 안트라센일옥시기, o-톨릴옥시기, m-톨릴옥시기, p-톨릴옥시기, 4-옥시-1,1'-바이페닐기, 4-하이드록시페닐옥시기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 2∼10의 알콕시알킬기로서는, 예를 들면, 메톡시메틸기, 메톡시에틸기, 에톡시메틸기, 에톡시에틸기, n-프로폭시메틸기, 아이소프로폭시메틸기, n-뷰톡시메틸기, 아이소뷰톡시메틸기, tert-뷰톡시메틸기, 사이클로펜틸옥시메틸기, 사이클로헥실옥시메틸기, 사이클로옥틸옥시메틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기로서는, 예를 들면, 페닐옥시메틸기, 나프틸옥시메틸기, 안트라센일옥시메틸기, o-톨릴옥시메틸기, m-톨릴옥시메틸기, p-톨릴옥시메틸기, 4-옥시-1,1'-바이페닐메틸기, 4-하이드록시페닐옥시메틸기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 2∼20의 알콕시카보닐기로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐기, 에톡시카보닐기, n-프로폭시카보닐기, n-뷰톡시카보닐기, 아이소뷰톡시카보닐기, tert-뷰톡시카보닐기, n-펜틸옥시카보닐기, 사이클로펜틸옥시카보닐기, n-헥실옥시카보닐기, 사이클로헥실옥시카보닐기, 3-메틸뷰톡시카보닐기, 2-메틸펜톡시카보닐기, 3-메틸펜톡시카보닐기, 4-메틸펜톡시카보닐기, 1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐기, 1-메틸사이클로헥실옥시카보닐기, 노보닐옥시카보닐기, 아다만틸옥시카보닐기 등을 들 수 있다. 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기로서는, 예를 들면, 다이메틸아미노카보닐기, 다이에틸아미노카보닐기, 에틸메틸아미노카보닐기, 메틸뷰틸아미노카보닐기, 뷰틸에틸아미노카보닐기, 사이클로헥실메틸아미노카보닐기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수 7∼20의 아릴옥시카보닐기로서는, 예를 들면, 페녹시카보닐기, 벤질옥시카보닐기, 4-메틸페녹시카보닐기, 3,4-다이메틸페녹시카보닐기, 1-나프톡시카보닐기, 2-나프톡시카보닐기, 1-안트라센옥시카보닐기 등을 들 수 있다. 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기로서는, 예를 들면, 메틸페닐아미노카보닐기, 에틸페닐아미노카보닐기, 뷰틸페닐아미노카보닐기, 사이클로헥실페닐아미노카보닐기 등을 들 수 있다. 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐메틸기, 메톡시카보닐에틸기, 에톡시카보닐메틸기, 에톡시카보닐에틸기, n-프로폭시카보닐메틸기, i-프로폭시카보닐메틸기, n-뷰톡시카보닐메틸기, tert-뷰톡시카보닐메틸기, n-펜틸옥시카보닐메틸기, 사이클로펜틸옥시카보닐메틸기, n-헥실옥시카보닐메틸기, 사이클로헥실옥시카보닐메틸기, n-옥틸옥시카보닐메틸기, 사이클로옥틸옥시카보닐메틸기, 1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸기, 1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐페닐기, 메톡시카보닐-o-톨릴기, 메톡시카보닐-m-톨릴기, 메톡시카보닐-p-톨릴기, 메톡시카보닐자일릴기, 메톡시카보닐-α-나프틸기, 메톡시카보닐-β-나프틸기, 에톡시카보닐페닐기, 프로폭시카보닐페닐기, 뷰톡시카보닐페닐기, 에톡시카보닐페닐기, n-프로폭시카보닐페닐기, i-프로폭시카보닐페닐기, n-뷰톡시카보닐페닐기, tert-뷰톡시카보닐페닐기, n-펜틸옥시카보닐페닐기, 사이클로펜틸옥시카보닐페닐기, n-헥실옥시카보닐페닐기, 사이클로헥실옥시카보닐페닐기, n-옥틸옥시카보닐페닐기, 사이클로옥틸옥시카보닐페닐기, 1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐페닐기, 1-메틸사이클로헥실옥시카보닐페닐기, 메톡시카보닐나프틸기, 메톡시카보닐에틸기, 에톡시카보닐나프닐기, n-프로폭시카보닐나프틸기, i-프로폭시카보닐나프틸기, n-뷰톡시카보닐나프틸기, tert-뷰톡시카보닐나프틸기, n-펜틸옥시카보닐나프틸기, 사이클로펜틸옥시카보닐나프틸기, n-헥실옥시카보닐나프틸기, 사이클로헥실옥시카보닐나프틸기, n-옥틸옥시카보닐나프틸기, 사이클로옥틸옥시카보닐나프틸기, 1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐나프틸기, 1-메틸사이클로헥실옥시카보닐나프틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기로서는, 예를 들면, 페녹시카보닐메틸기, 벤질옥시카보닐메틸기, 4-메틸페녹시카보닐메틸기, 3,4-다이메틸페녹시카보닐메틸기, 1-나프톡시카보닐메틸기, 2-나프톡시카보닐메틸기, 1-안트라센옥시카보닐메틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기로서는, 예를 들면, 메톡시메틸옥시카보닐기, 에톡시메틸옥시카보닐기, n-프로폭시메틸옥시카보닐기, 아이소프로폭시메틸옥시카보닐기, n-뷰톡시메틸옥시카보닐기, tert-뷰톡시메틸옥시카보닐기, 사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐기, 사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐기, 사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐기, 노보닐옥시메틸옥시카보닐기, 1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐기, 1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐기, 1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐기, 1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐기, 1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐기, 1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐기, 1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐기, 테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐기, 테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐기, 1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐기, 2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐기 등을 들 수 있다. 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐메틸옥시카보닐기, 에톡시카보닐메틸옥시카보닐기, n-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐기, 아이소프로폭시카보닐메틸옥시카보닐기, n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐기, tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐기, 사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기, 2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐기 등을 들 수 있다.
또, R1∼R4는 환 구조를 형성해도 되고, 구체적으로는 R1∼R4 중 각각 독립적으로 또는 적어도 2개가 결합하고, 그때, -C-, -O-, -NR9- 결합을 개재시켜도 된다. 예를 들면, 환상 알킬 구조, 환상 에스터 구조, 환상 산 무수물 구조, 환상 아마이드 구조, 환상 이미드 구조 등을 들 수 있다.
R1∼R4 중 적어도 2개가 -C-의 결합을 개재시켜 환상 알킬 구조를 형성하는 경우, 사이클로펜틸, 사이클로헥실, 사이클로펜틸 등을 들 수 있다. -O-의 결합을 개재시켜 환상 에스터 구조를 형성하는 경우, γ-뷰티로락톤, δ-발레로락톤 등을 들 수 있다. 환상 산 무수물 구조의 경우, 무수 말레산 구조 등을 들 수 있다. -NR9-의 결합을 개재시켜 락탐환을 형성하는 경우, γ-락탐, δ-락탐 등을 들 수 있고, 이들 락탐환이나 환상 이미드 구조인 말레이미드환을 형성하는 경우, 질소 원자 상의 R9로서는, 예를 들면, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기 등을 들 수 있다. 탄소수 1∼10의 알킬기로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-뷰틸기, tert-뷰틸기, 1-메틸뷰틸기, 2-메틸뷰틸기, n-펜틸기, 1-메틸펜틸기, 1-에틸뷰틸기, 2-메틸헥실기, 2-에틸헥실기, 4-메틸헵틸기, 사이클로펜틸기, 사이클로헥실기, 사이클로옥틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 6∼20의 아릴기로서는, 예를 들면, 페닐, 나프틸, 안트라센일, o-톨릴, m-톨릴, p-톨릴, 바이페닐, 페놀 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 상기 화학식(1)의 R1∼R4로서는 알콕시카보닐기, 아릴옥시카보닐기, 알콕시카보닐알킬기, 알콕시카보닐아릴기, 알콕시알킬옥시카보닐기, 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기, γ-뷰티로락톤환, 무수 말레산, 말레이미드환이 바람직하다.
또한, X1은 산소 및 황으로부터 선택되는 원소 유래의 구조를 의미한다. 바람직하게는 산소 유래의 구조이다. 전술한 대로, 이 X1이 상기의 규정을 만족시키는 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하는 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 기판의 요철 구조를 매립할 때의 기판 계면과의 적당한 밀착성을 발현할 수 있고, 보이드 등의 발생을 억제할 수 있고, 높은 평탄성을 유지하면서 양호한 상태의 매립성을 실현할 수 있다고 생각되고 있다. 또한, 환상 올레핀 폴리머의 주쇄에 산소나 황 등의 원소가 존재하는 것에 의한 기판과의 상호작용은, 환상 올레핀 폴리머가 미세한 요철 구조에 침입하기 위한 드라이빙 포스가 되고 있을 가능성이 있다고도 추측하고 있다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머는, 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서의 R1∼R4 중 적어도 1개가 서로 상이한 2종류 이상의 구조 단위를 포함하고 있어도 된다.
본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머의 예로서는, R1∼R4가 모두 수소인 경우는, 폴리(바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), R1∼R4 중 적어도 1개가 알킬기인 경우는, 폴리(5-메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로필)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로필)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴기인 경우는, 폴리(5-페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-바이페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-하이드록시페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시기인 경우는, 폴리(5-메톡시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜톡시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시기인 경우는, 폴리(5-페닐옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴옥시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴옥시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴옥시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-옥시-1,1'-바이페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), (5-(4-하이드록시페닐옥시)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시알킬기인 경우, 폴리(5-메톡시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시에틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시에틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시알킬기인 경우는, 폴리(5-페닐옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일옥시메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴옥시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴옥시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴옥시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-옥시-1,1'-바이페닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-하이드록시페닐옥시메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 다이알킬아미노카보닐기인 경우는, 폴리(5-다이메틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-다이에틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸메틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메틸뷰틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-뷰틸에틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실메틸아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-페녹시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알킬아릴아미노카보닐기인 경우는, 폴리(5-메틸페닐아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸페닐아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-뷰틸페닐아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실페닐아미노카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐에틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐에틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-옥틸옥시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐아릴기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐나프틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐나프틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(5-페녹시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐메틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐메틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있다.
R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, 환상 알킬 구조로서는, 예를 들면, 폴리(1,4,4a,5,6,7,8,8a-옥타하이드로-1,4-메타노-나프탈렌) 등을 들 수 있고, 락톤환을 형성할 수 있는 환상 에스터 구조로서는, 예를 들면 γ-뷰티로락톤 구조로서, 폴리(4-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), δ-발레로락톤 구조로서, 폴리(4-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온) 등을 들 수 있고, 환상 산 무수물 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온)을 들 수 있고, 락탐환을 형성할 수 있는 환상 아마이드 구조로서는, 예를 들면 γ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 또한 δ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온) 등을 들 수 있고, 말레이미드환을 형성할 수 있는 환상 이미드 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4-메틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온) 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(5-메톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸펜톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐페닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐나프틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐나프틸-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-페녹시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)이 바람직하다.
이들 중에서도, 도포액을 조제할 때의 용제(PGMEA) 용해성을 향상시키는 관점, 도포 후의 환상 올레핀 폴리머의 극성을 보다 크게 변화시키는 관점에서, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)이 더 바람직하다.
더욱이 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, R1∼R4가 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서, 폴리(4-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-메틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온)이 바람직하다.
본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=1인 환상 올레핀 폴리머의 예로서는, R1∼R4가 모두 수소인 경우는, 폴리(테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), R1∼R4 중 적어도 1개가 알킬기인 경우는, 폴리(8-메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로필)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로필)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴기인 경우는, 폴리(8-페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-바이페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-하이드록시페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시기인 경우는, 폴리(8-메톡시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜톡시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시기인 경우는, 폴리(8-페닐옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴옥시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴옥시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴옥시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-옥시-1,1'-바이페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), (8-(4-하이드록시페닐옥시)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시알킬기인 경우, 폴리(8-메톡시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시에틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시에틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시알킬기인 경우는, 폴리(8-페닐옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일옥시메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴옥시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴옥시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴옥시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-옥시-1,1'-바이페닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-하이드록시페닐옥시메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 다이알킬아미노카보닐기인 경우는, 폴리(8-다이메틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-다이에틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에틸메틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메틸뷰틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-뷰틸에틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실메틸아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-페녹시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알킬아릴아미노카보닐기인 경우는, 폴리(8-메틸페닐아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에틸페닐아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-뷰틸페닐아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실페닐아미노카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐에틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐에틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-옥틸옥시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐아릴기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐나프틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐나프틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(8-페녹시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐메틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐메틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R1∼R4 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있다.
R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, 환상 알킬 구조로서는, 예를 들면, 폴리(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-도데카하이드로-1,4:9,10-다이메타노-안트라센) 등을 들 수 있고, 락톤환을 형성할 수 있는 환상 에스터 구조로서는, 예를 들면 γ-뷰티로락톤 구조로서, 폴리(4-옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), δ-발레로락톤 구조로서, 폴리(4-옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온) 등을 들 수 있고, 환상 산 무수물 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4-옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온)을 들 수 있고, 락탐환을 형성할 수 있는 환상 아마이드 구조로서는, 예를 들면 γ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 또한 δ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온) 등을 들 수 있고, 말레이미드환을 형성할 수 있는 환상 이미드 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4-메틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온) 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=1인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(8-메톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸펜톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐페닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐나프틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐나프틸-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-페녹시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)이 바람직하다.
이들 중에서도, 도포액을 조제할 때의 용제(PGMEA) 용해성을 향상시키는 관점, 도포 후의 환상 올레핀 폴리머의 극성을 보다 크게 변화시키는 관점에서, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)이 더 바람직하다.
더욱이 본 실시형태에 따른 상기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A]에 있어서, R1∼R4가 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, n=1인 환상 올레핀 폴리머로서, 폴리(4-옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-메틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온)이 바람직하다.
상기 화학식(2)에 있어서 R5∼R8은, 상기의 화학식(1)의 R1∼R4와 동일한 의의이며, 또한 R5∼R8은 환 구조를 형성해도 되고, 구체적으로는 R5∼R8 중 각각 독립적으로 또는 적어도 2개가 결합하고, 그때, -C-, -O-, -NR9- 결합을 개재시켜도 된다. 예를 들면, 환상 알킬 구조, 환상 에스터 구조, 환상 산 무수물 구조, 환상 아마이드 구조, 환상 이미드 구조 등을 들 수 있다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머는, 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서의 R5∼R8 중 적어도 1개가 서로 상이한 2종류 이상의 구조 단위를 포함하고 있어도 된다.
본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머의 예로서는, R5∼R8 중 적어도 1개가 알킬기인 경우는, 폴리(5-메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로필)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로필)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴기인 경우는, 폴리(5-페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-바이페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-하이드록시페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시기인 경우는, 폴리(5-메톡시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜톡시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시기인 경우는, 폴리(5-페닐옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일옥시-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴옥시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴옥시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴옥시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-옥시-1,1'-바이페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), (5-(4-하이드록시페닐옥시)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시알킬기인 경우, 폴리(5-메톡시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시에틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시에틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시알킬기인 경우는, 폴리(5-페닐옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-나프틸옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-안트라센일옥시메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(o-톨릴옥시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(m-톨릴옥시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(p-톨릴옥시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-옥시-1,1'-바이페닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-하이드록시페닐옥시메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), (5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 다이알킬아미노카보닐기인 경우는, (5-다이메틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-다이에틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸메틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메틸뷰틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-뷰틸에틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실메틸아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-페녹시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알킬아릴아미노카보닐기인 경우는, 폴리(5-메틸페닐아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에틸페닐아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-뷰틸페닐아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실페닐아미노카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐에틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐에틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-옥틸옥시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐아릴기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐나프틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐나프틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(5-페녹시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐메틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐메틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(5-메톡시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 등을 들 수 있다.
R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, 환상 알킬 구조로서는, 예를 들면, 폴리(1,4,4a,5,6,7,8,8a-옥타하이드로-1,4-에폭시-나프탈렌) 등을 들 수 있고, 락톤환을 형성할 수 있는 환상 에스터 구조로서는, 예를 들면 γ-뷰티로락톤 구조로서, 폴리(4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), δ-발레로락톤 구조로서, 폴리(4,10-다이옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온) 등을 들 수 있고, 환상 산 무수물 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온)을 들 수 있고, 락탐환을 형성할 수 있는 환상 아마이드 구조로서는, 예를 들면 γ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 또한 δ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[6.2.1.02,7]-9-운데센-3-온) 등을 들 수 있고, 말레이미드환을 형성할 수 있는 환상 이미드 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4-메틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온) 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(5-메톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소뷰톡시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸펜톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), (5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐페닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-메톡시카보닐나프틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시카보닐나프틸-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(i-프로폭시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-페녹시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-벤질옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸페녹시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-나프톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-나프톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-안트라센옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔) 폴리(5-메톡시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-에톡시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)이 바람직하다.
이들 중에서도, 도포액을 조제할 때의 용제(PGMEA) 용해성을 향상시키는 관점, 도포 후의 환상 올레핀 폴리머의 극성을 보다 크게 변화시키는 관점에서, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔), 폴리(5-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-7-옥시-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)이 더 바람직하다.
더욱이 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, n=0인 환상 올레핀 폴리머로서, 폴리(4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온), 폴리(4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-메틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온)이 바람직하다.
본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=1인 환상 올레핀 폴리머의 예로서는, R5∼R8 중 적어도 1개가 알킬기인 경우는, 폴리(8-메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로필)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로필)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴기인 경우는, 폴리(8-페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-바이페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-하이드록시페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시기인 경우는, 폴리(8-메톡시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜톡시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시기인 경우는, 폴리(8-페닐옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일옥시-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴옥시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴옥시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴옥시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-옥시-1,1'-바이페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), (8-(4-하이드록시페닐옥시)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시알킬기인 경우, 폴리(8-메톡시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시에틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시에틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시알킬기인 경우는, 폴리(8-페닐옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-나프틸옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-안트라센일옥시메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(o-톨릴옥시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(m-톨릴옥시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(p-톨릴옥시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-옥시-1,1'-바이페닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-하이드록시페닐옥시메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 다이알킬아미노카보닐기인 경우는, (5-다이메틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-다이에틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-에틸메틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-메틸뷰틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-뷰틸에틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-사이클로헥실메틸아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-페녹시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알킬아릴아미노카보닐기인 경우는, 폴리(5-메틸페닐아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-에틸페닐아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-뷰틸페닐아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(5-사이클로헥실페닐아미노카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐에틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐에틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-옥틸옥시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐아릴기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐나프틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐나프틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 아릴옥시카보닐알킬기인 경우는, 폴리(8-페녹시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐메틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐메틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있고, R5∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기인 경우는, 폴리(8-메톡시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센) 등을 들 수 있다.
R5∼R8은 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, 환상 알킬 구조로서는, 예를 들면, 폴리(1,4,4a,5,6,7,8,8a,9,9a,10,10a-도데카하이드로-1,4:9,10-다이에폭시-나프탈렌) 등을 들 수 있고, 락톤환을 형성할 수 있는 환상 에스터 구조로서는, 예를 들면 γ-뷰티로락톤 구조로서, 폴리(4,14,15-트라이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), δ-발레로락톤 구조로서, 폴리(4,15,16-트라이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온) 등을 들 수 있고, 환상 산 무수물 구조로서는, 예를 들면, 폴리(4,14,15-트라이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온)을 들 수 있고, 락탐환을 형성할 수 있는 환상 아마이드 구조로서는, 예를 들면 γ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 또한 δ-락탐으로서, 폴리(4-메틸-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-에틸-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-페닐-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-15,16-다이옥시-펜타사이클로[10.2.1.11,8.02,7.09,14]-11-헥사데센-3-온) 등을 들 수 있고, 말레이미드환을 형성할 수 있는 환상 이미드 구조로서, 예를 들면, 폴리(4-메틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온) 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=1인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(8-메톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소뷰톡시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸펜톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐페닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시카보닐나프틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시카보닐나프틸-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(i-프로폭시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-페녹시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-벤질옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸페녹시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸페녹시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-나프톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-나프톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-안트라센옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-메톡시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-에톡시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-프로폭시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-아이소프로폭시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-사이클로옥틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시프로필옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로퓨란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-테트라하이드로피란-2-일옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)이 바람직하다.
이들 중에서도, 도포액을 조제할 때의 용제(PGMEA) 용해성을 향상시키는 관점, 도포 후의 환상 올레핀 폴리머의 극성을 보다 크게 변화시키는 관점에서, 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, n=1인 환상 올레핀 폴리머로서는, 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-3-메틸-3-펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,3,3-트라이메틸-2-뷰톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3,4-다이메틸-3-헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-메틸-3-헵틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로펜틸에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로옥틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸데카하이드로나프탈렌-1-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2,7,7-트라이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-7,7-다이메틸-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-메틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-에틸-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-메틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐페닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(n-펜틸옥시카보닐나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2,3-다이메틸-2-뷰톡시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐)나프틸)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아이소프로폭시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-n-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-tert-뷰톡시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-사이클로옥틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로펜틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸사이클로헥실옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에틸노보닐옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시프로필옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-에톡시-1-메틸에틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로퓨란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(테트라하이드로피란-2-일옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-아다만틸옥시)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(tert-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로펜틸-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-사이클로헥실-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-사이클로헥실-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-사이클로헥실-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-노보닐옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-노보닐-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(4-에틸-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실에톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1,1-다이사이클로헥실프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-에틸사이클로헥실옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)-2-프로폭시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(2-메틸-2-아다만틸옥시카보닐)에톡시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-에틸-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-아이소프로필-2-아다만틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-프로폭시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(2-(1-아다만틸)-2-뷰톡시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-아다만틸)-3-펜틸옥시카보닐메틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-tert-뷰톡시카보닐-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(3-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-1-사이클로펜틸옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-tert-뷰톡시카보닐-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,5-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(5,6-다이(tert-뷰톡시카보닐)-2-노보닐옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(1-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-옥타하이드로-4,7-메타노-인덴-5-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(6-tert-뷰톡시카보닐-데카하이드로나프탈렌-2-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-tert-뷰톡시카보닐-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센), 폴리(8-(9-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-테트라사이클로[6.2.1.13,6.02,7]-도데케인-4-일옥시카보닐)-11,12-다이옥시-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센)이 더 바람직하다.
더욱이 본 실시형태에 따른 상기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]에 있어서, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있는 경우, n=1인 환상 올레핀 폴리머로서, 폴리(4,14,15-트라이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3-온), 폴리(4,14,15-트라이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-메틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-에틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-프로필)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(n-뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(1-메틸뷰틸)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로펜틸-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-사이클로헥실-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-페닐-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온), 폴리(4-(4-하이드록시페닐)-4-아자-14,15-다이옥시-펜타사이클로[9.2.1.11,7.02,6.08,13]-10-펜타데센-3,5-다이온)이 바람직하다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머는, 예를 들면, 이하에 나타내는 하기 화학식(3)으로 표시되는 환상 올레핀 모노머와 하기 화학식(4)로 표시되는 환상 올레핀 모노머를 개환 메타세시스 중합에 의해 중합하는 것에 의해 얻을 수 있다.
[화학식 7]
Figure 112019122902055-pct00007
상기 화학식(3) 중, R1∼R4 및 n은 상기 화학식(1)과 동일한 의의이다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 모노머는, 화학식(3)으로 표시되는 구조 단위에 있어서의 R1∼R4 중 적어도 1개가 서로 상이한 2종류 이상의 구조 단위를 포함하고 있어도 된다.
[화학식 8]
Figure 112019122902055-pct00008
상기 화학식(4) 중, R5∼R8, X1 및 n은 상기 화학식(2)와 동일한 의의이다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 모노머는, 화학식(4)로 표시되는 구조 단위에 있어서의 R5∼R8 중 적어도 1개가 서로 상이한 2종류 이상의 구조 단위를 포함하고 있어도 된다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를 중합할 때에 사용되는 촉매는, 상기 환상 올레핀 모노머를 개환 메타세시스 중합할 수 있는 촉매이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 몰리브데넘(Mo), 텅스텐(W), 루테늄(Ru) 등의 유기 전이 금속 알킬리덴 착체 촉매; 유기 전이 금속 착체와 조촉매로서의 루이스산의 조합에 의한 개환 메타세시스 촉매 등을 들 수 있고, 바람직하게는 몰리브데넘(Mo), 텅스텐(W), 루테늄(Ru) 등의 유기 전이 금속 알킬리덴 착체 촉매가 이용된다.
본 실시형태에서는, 특히, 헤테로원자를 함유하는, 극성이 높은 환상 올레핀 모노머를 공중합할 수 있다. 예를 들면, 몰리브데넘(Mo), 텅스텐(W), 루테늄(Ru) 등의 유기 전이 금속 알킬리덴 착체를 개환 메타세시스 중합 촉매에 사용한 경우에 극성이 높은 환상 올레핀 모노머를 효율적으로 공중합할 수 있다.
상기 유기 전이 금속 알킬리덴 착체의 개환 메타세시스 중합 촉매로서는, 예를 들면, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2, W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2, W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(식 중의 Pri는 iso-프로필기, But는 tert-뷰틸기, Me는 메틸기, Ph는 페닐기를 나타낸다.) 등의 텅스텐계 알킬리덴 촉매; W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OBut)2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OBut)2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OBut)2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe2(CF3))2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe2(CF3))2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCMe2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3), W(N-2,6-Me2C6H3)(CHCHCPh2)(OCMe(CF3)2)2(PMe3), W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe2(CF3))2(PMe3), W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OCMe(CF3)2)2(PMe3), W(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCHCMePh)(OPh)2(PMe3)(식 중의 Pri는 iso-프로필기, But는 tert-뷰틸기, Me는 메틸기, Ph는 페닐기를 나타낸다.) 등의 텅스텐계 알킬리덴 촉매; Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OBut)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe2CF3)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OCMe(CF3)2)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHBut)(OC(CF3)3)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2, Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2, Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OBut)2, Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe2CF3)2, Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2, Mo(N-2,6-Me2C6H3)(CHCMe2Ph)(OC(CF3)3)2(식 중의 Pri는 iso-프로필기, But는 tert-뷰틸기, Me는 메틸기, Ph는 페닐기를 나타낸다.) 등의 몰리브데넘계 알킬리덴 촉매; Ru(P(C6H11)3)2(CHPh)Cl2(식 중의 Ph는 페닐기를 나타낸다.) 등의 루테늄계 알킬리덴 촉매 등을 들 수 있다. 상기 개환 메타세시스 중합 촉매는 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용하여 사용해도 된다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를 중합할 때의 중합 촉매 금속 성분으로서는, 예를 들면, 몰리브데넘, 텅스텐, 레늄, 이리듐, 탄탈럼, 루테늄, 바나듐, 타이타늄, 팔라듐, 로듐 등의 전이 금속을 들 수 있다. 바람직하게는 몰리브데넘, 텅스텐, 루테늄, 로듐이고, 보다 바람직하게는 몰리브데넘, 텅스텐이다.
중합 반응에 있어서 환상 올레핀 모노머와 유기 전이 금속 알킬리덴 착체의 개환 메타세시스 중합 촉매의 몰비는, 환상 올레핀 모노머가 개환 메타세시스 중합 촉매 1몰에 대해서 예를 들면 10당량∼50000당량이고, 바람직하게는 50당량∼30000당량, 보다 바람직하게는 100당량∼20000당량이다.
중합 반응은 무용매로 행해도 되고, 용매를 사용하여 행해도 된다. 용매로서는, 예를 들면, 테트라하이드로퓨란, 다이에틸 에터, 다이뷰틸 에터, 다이메톡시에테인, 다이옥세인 등의 에터류; 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소; 펜테인, 헥세인, 헵테인 등의 지방족 탄화수소; 사이클로펜테인, 사이클로헥세인, 메틸사이클로헥세인, 다이메틸사이클로헥세인, 데칼린 등의 지방족 환상 탄화수소; 메틸렌 다이클로라이드, 다이클로로에테인, 다이클로로에틸렌, 테트라클로로에테인, 클로로벤젠, 트라이클로로벤젠 등의 할로젠화 탄화수소; 아세트산 메틸, 아세트산 에틸 등의 에스터 등을 들 수 있다. 이들 용매는 1종류를 단독으로 이용해도 되고, 2종류 이상을 병용해도 된다.
또한, 중합 반응은 올레핀류나 다이엔류 등의 연쇄 이동제 공존하에서 행해도 된다. 연쇄 이동제로서 이용되는 올레핀류로서는, 예를 들면, 에틸렌, 프로필렌, 뷰텐, 펜텐, 헥센, 옥텐 등의 α-올레핀; 바이닐 트라이메틸실레인, 알릴 트라이메틸실레인, 알릴 트라이에틸실레인, 알릴 트라이아이소프로필실레인 등의 규소 함유 올레핀 등을 들 수 있다. 또한, 다이엔류로서는, 예를 들면, 1,4-펜타다이엔, 1,5-헥사다이엔, 1,6-헵타다이엔 등의 비공액계 다이엔을 들 수 있다. 연쇄 이동제는 각각 단독으로 사용해도 되고, 2종류 이상을 병용해도 된다.
공존시키는 연쇄 이동제의 사용량은, 환상 올레핀 모노머 1몰에 대해서 연쇄 이동제가, 바람직하게는 0.001당량∼1000당량, 보다 바람직하게는 0.01당량∼100당량의 범위이다. 또한, 연쇄 이동제가, 개환 메타세시스 중합 촉매 1몰에 대해서, 바람직하게는 0.1당량∼2000당량, 보다 바람직하게는 1당량∼1000당량의 범위이다. 이들 양비(量比)를 임의로 설정하는 것에 의해, 분자량의 크기를 조정할 수 있다.
중합 반응에 있어서의 모노머 농도는, 환상 올레핀 모노머의 반응성이나 중합 용매에 대한 용해성 등에 따라서도 상이하기 때문에 특별히 한정되지 않지만, 용매 1kg에 대한 환상 올레핀 모노머의 농도는, 예를 들면 0.001kg/kg∼3kg/kg, 바람직하게는 0.01kg/kg∼2kg/kg, 더 바람직하게는 0.02kg/kg∼1kg/kg의 범위이다. 반응 온도는, 환상 올레핀 모노머 및 개환 메타세시스 촉매의 종류나 양 등에 따라서 상이하기 때문에 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, -30℃∼150℃, 바람직하게는 0℃∼120℃, 더 바람직하게는 15℃∼100℃이다. 반응 시간은, 예를 들면, 1분∼10시간, 바람직하게는 5분∼8시간, 더 바람직하게는 10분∼6시간이다.
중합 반응 후, 뷰틸알데하이드 등의 알데하이드류, 아세톤 등의 케톤류, 메탄올 등의 알코올류 등으로 반응을 정지하여, 환상 올레핀 폴리머 용액을 얻을 수 있다. 그때, 환상 올레핀 모노머의 중합률은, 얻어지는 환상 올레핀 폴리머 중의 미중합 모노머의 양을 줄여, 휘발 성분(아웃 가스)의 발생을 보다 억제하는 관점에서, 바람직하게는 90% 이상이고, 보다 바람직하게는 95% 이상이며, 더 바람직하게는 100%이다.
또, 얻어진 환상 올레핀 폴리머의 용액으로부터 폴리머를 취득하는 방법은 특별히 제한은 없지만, 예를 들면, 교반하의 빈용제에 반응 용액을 배출하는 방법, 반응 용액 중에 스팀을 불어넣는 스팀 스트리핑 등의 방법에 의해 폴리머를 석출시키는 방법, 또는 반응 용액으로부터 용제를 가열 등에 의해 증발 제거하는 방법 등을 들 수 있다.
또한, 본 실시형태의 화학식(1) 및 (2)로 표시되는 환상 올레핀 폴리머는 주쇄의 이중 결합을 수첨(수소화라고도 한다)한 형태여도 된다. 이에 의해, 주쇄의 이중 결합에 의해 폴리머쇄의 운동을 제한하고 있는 속박을 풀고, 예를 들면, 폴리머의 유리 전이 온도를 저하시키고, 후술하는 레오미터로 측정했을 때의 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점의 온도를 적절한 범위로 조정하여, 보다 한층 양호한 가열 용융 유동성을 발현시킬 수 있다. 그 결과, 보이드 등의 결함이 보다 한층 억제되고, 평탄성이 보다 한층 우수하고, 보다 한층 양호한 상태의 매립성을 발현한 하층막을 형성할 수 있다.
이때의 수소화 반응에 있어서의 수첨률은 바람직하게는 0.1∼100몰%이고, 보다 바람직하게는 1.0∼95몰%, 더 바람직하게는 5∼90몰%이다.
개환 메타세시스 중합으로 얻어진 폴리머의 주쇄의 이중 결합부를 수소 첨가하기 위한 촉매는, 수소 첨가할 수 있는 촉매이면, 균일계 금속 착체 촉매여도 불균일계의 금속 담지 촉매 중 어느 것이어도 된다. 이 중에서 바람직하게는, 촉매를 용이하게 분리할 수 있는 불균일계 금속 담지 촉매가 적합하고, 예를 들면, 활성탄 담지 팔라듐, 알루미나 담지 팔라듐, 활성탄 담지 로듐, 알루미나 담지 로듐, 활성탄 담지 루테늄, 알루미나 담지 루테늄 등을 들 수 있다. 이들 촉매는 단독으로 이용해도 되고, 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.
수소 첨가에 이용되는 용제로서는, 폴리머를 용해시키고, 또한 용제 자신이 수소 첨가되지 않는 것이라면 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 테트라하이드로퓨란, 다이에틸 에터, 다이뷰틸 에터, 다이메톡시에테인, 다이옥세인 등의 에터류; 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소; 펜테인, 헥세인, 헵테인 등의 지방족 탄화수소; 사이클로펜테인, 사이클로헥세인, 메틸사이클로헥세인, 다이메틸사이클로헥세인, 데칼린 등의 지방족 환상 탄화수소; 메틸렌 다이클로라이드, 다이클로로에테인, 다이클로로에틸렌, 테트라클로로에테인, 클로로벤젠, 트라이클로로벤젠 등의 할로젠화 탄화수소; 아세트산 메틸, 아세트산 에틸 등의 에스터 등을 들 수 있다. 이들 용제는 1종류를 단독으로 이용해도 되고, 2종류 이상을 병용해도 된다. 또한, 바람직하게는 상기한 중합 반응에서 선택되는 용제와 동종의 용제를 이용함으로써, 용제 치환 공정을 필요로 하지 않고 생산성에 적합한 공정을 적용할 수 있다.
상기의 주쇄의 올레핀부의 수소 첨가 반응은 수소 압력이 상압∼10MPa인 것이 바람직하고, 0.5∼8MPa인 것이 보다 바람직하며, 2∼5MPa인 것이 특히 바람직하다. 또한, 반응 온도는 0∼200℃의 온도인 것이 바람직하고, 실온∼150℃인 것이 보다 바람직하며, 50∼100℃인 것이 특히 바람직하다. 수소 첨가 반응의 실시 양식은 특별히 제한은 없지만, 예를 들면, 촉매를 용제 중에 분산 또는 용해시켜 행하는 방법, 촉매를 컬럼 등에 충전하고, 고정상으로서 폴리머 용액을 유통시켜 행하는 방법 등을 들 수 있다.
더욱이, 주쇄의 올레핀부의 수소 첨가 처리는, 수소 첨가 처리 전의 폴리머의 중합 용액을 빈용제에 가하여 폴리머를 단리한 후에, 다시 용제에 용해시켜 수소 첨가 처리를 행해도 되고, 중합 용액으로부터 폴리머를 단리하지 않고, 상기의 수첨 촉매로 수소 첨가 처리를 행해도 되며, 특별히 제한은 없다.
수소 첨가 후, 특히, 활성탄 담지 로듐, 활성탄 담지 루테늄 등의 불균일계 금속 담지 촉매를 바람직하게 이용하는 경우의 폴리머 용액으로부터 폴리머를 취득하는 방법은 특별히 제한은 없지만, 예를 들면, 여과, 원심분리, 디캔테이션 등의 방법으로 촉매를 함유하지 않는 폴리머 용액을 취득하고, 교반하의 빈용제에 반응 용액을 배출하는 방법, 반응 용액 중에 스팀을 불어넣는 스팀 스트리핑 등의 방법에 의해 폴리머를 석출시키는 방법, 또는 반응 용액으로부터 용제를 가열 등에 의해 증발 제거하는 방법 등을 들 수 있다.
또한, 불균일계 금속 담지 촉매를 이용하여 수소 첨가 반응을 실시한 경우는, 합성액을 여과하여 금속 담지 촉매를 여과 분별한 후에, 상기한 방법으로 폴리머를 취득할 수도 있다. 바람직하게는, 반도체 디바이스 제조 공정에서 사용되는, 특히 금속을 포함하지 않는 폴리머 용액을 얻기 위해서는, 촉매 성분을 대략 제거한 용액을 여과하고, 상기한 방법으로 폴리머를 취득해도 된다. 특히, 촉매 성분을 정밀 여과하는 것이 적합하고, 여과 필터의 눈 크기는, 바람직하게는 10μm∼0.05μm, 특히 바람직하게는 10μm∼0.10μm, 더 바람직하게는 5μm∼0.10μm이다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머에 있어서, 예를 들면 시료 농도 3.0∼9.0mg/ml로 겔 퍼미에이션 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정한 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이, 바람직하게는 1000∼20000이고, 보다 바람직하게는 1500∼19000이며, 더 바람직하게는 2000∼18000이다. 중량 평균 분자량(Mw)을 상기 범위로 하는 것에 의해, 기판의 요철 구조의 표면에 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 도포한 후의 베이킹 공정에 있어서의, 통상의 반도체 디바이스 제조 공정에서 적응되는 200∼250℃의 가열에 있어서, 보다 한층 양호한 가열 용융 유동성을 발현할 수 있다. 그 결과, 보이드 등의 결함이 보다 한층 억제되고, 평탄성이 보다 한층 우수하고, 보다 한층 양호한 상태의 매립성을 발현한 하층막을 형성할 수 있다.
또한, 상기 범위의 분자량(Mw)으로 할 때의 중량 평균 분자량(Mw)과 수 평균 분자량(Mn)의 비인 분자량 분포(Mw/Mn)는, 바람직하게는 1.3∼5.0이고, 보다 바람직하게는 1.3∼4.0이며, 더 바람직하게는 1.3∼3.0이다. 분자량 분포(Mw/Mn)를 상기 범위로 하는 것에 의해, 베이킹 공정에서의 가열에 대해서 용융 불균일을 보다 한층 억제할 수 있고, 수지는 보다 한층 균일하게 용융된다. 그 결과, 보이드 등의 결함이 보다 한층 억제되고, 평탄성이 보다 한층 우수하고, 보다 한층 양호한 상태의 매립성을 발현한 하층막을 형성할 수 있다.
여기에서의 가열에 의한 용융 유동성을 나타내는 척도로서, 예를 들면, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 고체 점탄성 측정에 있어서의 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도를 이용할 수 있다(도 1 참조).
저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점은 물질(수지라고도 함)의 레올로지의 변화를 나타내는 척도로서 이용할 수 있다. 통상, 교점에 이를 때까지의 승온 과정에서는 물질은 탄성체로서의 특성을 나타내고, 수지는 유동하지 않는다. 그리고, 교점을 거쳐 더 고온으로 물질을 가열함으로써 점성 유체로서의 특성을 나타내 수지는 유동한다. 즉, 기판의 요철 표면을 보이드 등의 결함을 보다 억제하면서, 보다 한층 균일한 상태로 매립하기 위해서는, 적당한 유동성을 나타내는 것이 바람직하다. 즉, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료에 있어서, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점이 바람직하게는 40∼200℃, 보다 바람직하게는 40∼195℃, 더 바람직하게는 40∼190℃의 범위이면, 반도체 디바이스 제조 공정에서 통상 이용되는 200∼250℃의 가열 조건에 있어서, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료는, 기판 표면의 요철 구조를 보다 한층 균일하게 매립하기 위해서 필요한 적당한 유동성을 나타낼 수 있다.
저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점의 하한치는, 보다 더 바람직하게는 80℃ 이상이고, 보다 더 바람직하게는 90℃ 이상이며, 특히 바람직하게는 100℃ 이상이다. 또한, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점의 상한치는, 바람직하게는 200℃ 이하이고, 보다 바람직하게는 195℃ 이하이며, 특히 바람직하게는 190℃ 이하이다.
여기에서, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 고체 점탄성은, 레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 30∼300℃(혹은 50∼250℃), 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정할 수 있다.
즉, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점이 상기 상한치 이하이면, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료는 점성 유체로서의 특성을 나타내 수지는 유동하여, 보이드 등의 결함을 보다 억제하면서, 기판의 요철 표면을 보다 한층 균일한 상태로 매립할 수 있다.
또한, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점이 상기 하한치 이상이면, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 유동성을 억제할 수 있고, 그 결과, 기판의 요철 표면에서의 수축을 보다 한층 억제할 수 있고, 보이드 등의 결함을 보다 억제하면서, 기판의 요철 표면을 보다 한층 균일한 상태로 매립할 수 있다.
또한, 하기 방법 1에 의해 측정되는, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 중의 휘발 성분의 발생량은, 바람직하게는 0.0질량% 이상 1.0질량% 이하이고, 보다 바람직하게는 0.0질량% 이상 0.7질량% 이하, 더 바람직하게는 0.0질량% 이상 0.5질량% 이하, 특히 바람직하게는 0.0질량% 이상 0.1질량% 이하이다.
이에 의해, 가열 용융 시의 폴리머의 분해에 수반되는 휘발 성분(아웃 가스)의 발생을 억제할 수 있으므로, 보다 한층 평탄성이 우수한 레지스트 하층막을 형성할 수 있다.
즉, 상층에 설치하는 중간층이나 레지스트층에 이용하는 재료와의 인터믹싱을 억제할 수 있고, 보이드 등의 발생을 억제할 수 있고, 보다 한층 양호한 상태의 매립성으로, 평탄성이 보다 한층 우수한 레지스트 하층막을 형성할 수 있다.
방법 1: 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를 테트라하이드로퓨란에 용해시켜 고형분 농도(혹은 폴리머 농도)가 20질량%인 용액을 제작하고, 얻어진 용액을 알루미늄 접시에 계량하고, 이어서 질소 기류하, 200℃에서 3분간 가열하여 테트라하이드로퓨란을 제거하고, 이어서 실온까지 냉각해서 상기 환상 올레핀 폴리머를 고화시키고, 질소 분위기하에서, 30∼300℃의 온도 범위, 10℃/min의 승온 속도로 상기 환상 올레핀 폴리머를 가열하고, 100∼250℃의 범위에 있어서의 중량 감소율로부터, 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 상기 휘발 성분의 발생량을 산출한다.
또한, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료는, 후술하는, 바니시상의 하층막 형성용 재료의 조제에서 사용하는 유기 용매 중 어느 것(바람직하게는 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA))에, 적어도 0.01질량% 이상 50질량% 이하 중 어느 농도에서 용해 가능한 것이 바람직하고, 하기 방법 4에 의해 측정되는, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 잔막률이 바람직하게는 50% 이상 100% 이하, 보다 바람직하게는 60% 이상 100% 이하이다.
방법 4: 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 알코올계 용매, 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매 및 탄화수소계 용매로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 유기 용매(바람직하게는 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA))에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 잔존 용매를 제거한 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.
알코올계 용매로서는, 예를 들면, 4-메틸-2-펜탄올, n-헥산올 등의 탄소수 1∼18의 지방족 모노알코올계 용매; 사이클로헥산올 등의 탄소수 3∼18의 지환식 모노알코올계 용매; 1,2-프로필렌 글라이콜 등의 탄소수 2∼18의 다가 알코올계 용매; 프로필렌 글라이콜 모노메틸 에터 등의 탄소수 3∼19의 다가 알코올 부분 에터계 용매 등을 들 수 있다.
에터계 용매로서는, 예를 들면, 다이에틸 에터, 다이프로필 에터, 다이뷰틸 에터 등의 다이알킬 에터계 용매; 테트라하이드로퓨란, 테트라하이드로피란 등의 환상 에터계 용매; 다이페닐 에터, 아니솔 등의 방향환 함유 에터계 용매 등을 들 수 있다.
케톤계 용매로서는, 예를 들면, 아세톤, 메틸 에틸 케톤, 메틸-n-프로필 케톤, 메틸-n-뷰틸 케톤, 다이에틸 케톤, 메틸-iso-뷰틸 케톤, 2-헵탄온, 에틸-n-뷰틸 케톤, 메틸-n-헥실 케톤, 다이-iso-뷰틸 케톤, 트라이메틸노난온 등의 쇄상 케톤계 용매; 사이클로펜탄온, 사이클로헥산온, 사이클로헵탄온, 사이클로옥탄온, 메틸사이클로헥산온 등의 환상 케톤계 용매; 2,4-펜테인다이온, 아세톤일 아세톤, 아세토페논 등을 들 수 있다.
아마이드계 용매로서는, 예를 들면, N,N'-다이메틸이미다졸리딘온, N-메틸피롤리돈 등의 환상 아마이드계 용매; N-메틸폼아마이드, N,N-다이메틸폼아마이드, N,N-다이에틸폼아마이드, 아세트아마이드, N-메틸아세트아마이드, N,N-다이메틸아세트아마이드, N-메틸프로피온아마이드 등의 쇄상 아마이드계 용매 등을 들 수 있다.
에스터계 용매로서는, 예를 들면, 아세트산 n-뷰틸, 락트산 에틸 등의 모노카복실산 에스터계 용매; 아세트산 프로필렌 글라이콜 등의 다가 알코올 카복실레이트계 용매; 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트 등의 다가 알코올 부분 알킬 에터 아세테이트 등의 다가 알코올 부분 에터 카복실레이트계 용매; 옥살산 다이에틸 등의 다가 카복실산 다이에스터계 용매; γ-뷰티로락톤, δ-발레로락톤 등의 락톤계 용매; 다이에틸 카보네이트, 에틸렌 카보네이트, 프로필렌 카보네이트 등의 카보네이트계 용매 등을 들 수 있다.
탄화수소계 용매로서는, 예를 들면, 탄소수 5∼10의 직쇄상 또는 분기쇄상 탄화수소, 탄소수 5∼12의 지환식 탄화수소, 탄소수 6∼18의 방향족 탄화수소 등을 들 수 있다. 지환식 탄화수소 및 방향족 탄화수소의 환 상의 수소 원자의 일부 또는 전부는 탄소수 1∼5의 직쇄상 또는 분기쇄상 알킬기에 의해 치환되어 있어도 된다.
이들 중에서도, 프로세스에 대한 적응성 등을 고려하면 알코올계 용매 및 에스터계 용매로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종류인 것이 바람직하다. 알코올계 용매로서는, 예를 들면, 프로필렌 글라이콜 모노메틸 에터(PGME), 프로필렌 글라이콜 모노프로필 에터(PGPE) 등을 들 수 있다. 에스터계 용매로서는, 예를 들면 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA)를 들 수 있다. 이들 용매는 단독으로도 2종류 이상 혼합하여 사용해도 된다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 상기 하한치 이상이면, 레지스트 하층막 상에 중간층을 형성하는 경우, 인터믹싱을 억제할 수 있고, 그 결과, 중간층과 레지스트 하층막의 밀착성이 우수함과 함께 평탄성이 우수한 적층체를 실현할 수 있다.
여기에서, 유기 용매로서, 알코올계 용매, 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매 및 탄화수소계 용매로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 유기 용매 중, 어느 한 용매를 이용한 경우에, 상기 잔막률이 상기 범위 내가 되면 되고, 유기 용매로서 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA)를 이용했을 때에 잔막률이 상기 범위 내가 되는 것이 바람직하다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머의 시차 주사 열량 분석에 의한 유리 전이 온도는, 바람직하게는 40∼220℃이고, 보다 바람직하게는 40∼200℃이며, 더 바람직하게는 40∼180℃이다. 또한, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머의 시차 주사 열량 분석에 의한 유리 전이 온도는, 바람직하게는 40℃ 이상, 보다 바람직하게는 50℃ 이상, 더 바람직하게는 60℃ 이상, 보다 더 바람직하게는 70℃ 이상, 그리고 바람직하게는 220℃ 이하, 보다 바람직하게는 200℃ 이하, 더 바람직하게는 180℃ 이하이다. 유리 전이 온도가 상기 범위이면, 상기한 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점의 온도를 상기한 범위로 조정하기 쉬워진다.
또한, 레지스트 하층막의 평탄성의 평가는, 예를 들면, 스핀 코팅법에 의한 도막 형성으로 기판의 요철 표면을 메우고, 소성 후의 샘플의 단면을 잘라낸 샘플의 SEM 관찰에 의한 방법이 이용된다. 이 경우, 바람직하게는 대기면의 변동의 정도를 나타내는 척도로서, 이하의 평탄도(ΔFT)를 이용할 수 있다. 우선, 기판의 요철 구조 중 오목부 바닥면으로부터 대기면(후술하는 표면(α))까지의 높이를 10점 측정하고 평균값(Hav)을 막 두께로 한다. 이어서, 변동의 막 두께의 최대값(Hmax)과 최소값(Hmin)을 계측한 결과로부터, 최대값과 최소값의 차(Hmax―Hmin)를 막 두께의 평균값으로 나눈 값 [(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)을 평탄도(ΔFT)의 척도로 한다. 단, 기판에 요철 구조가 없을 때는, 상기의 「오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 높이」를 「기판 표면으로부터 대기면까지의 높이」로 치환하면 된다.
도 2는, 본 발명에 따른 실시형태의 적층체(10)에 있어서의 레지스트 하층막(2)의 막 두께(4), 요철 구조(7)의 높이(5) 및 요철 구조(7)의 볼록 볼록간의 간격(6)을 설명하기 위한 모식도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(1)에 요철 구조(7)가 있는 경우는, 오목부 바닥면에서 표면(α)(3)까지의 높이가 레지스트 하층막(2)의 막 두께(4)가 되고, 기판(1)에 요철 구조(7)가 없는 경우는, 기판(1)의 표면에서 표면(α)(3)까지의 높이가 레지스트 하층막(2)의 막 두께(4)가 된다.
이때의 평탄도(ΔFT)는, 바람직하게는 0∼5%, 보다 바람직하게는 0∼3%, 더 바람직하게는 0∼1%이다. 이에 의해, 중간층의 유무에 상관없이 레지스트층의 두께를 보다 한층 균일하게 할 수 있고, 리소그래피에 있어서 원하는 패턴을 재현성 좋게 얻을 수 있다.
또한, 레지스트 하층막의 소밀 패턴에 있어서의 막 두께차의 평가는, 예를 들면, 스핀 코팅법에 의한 도막 형성으로 기판의 요철 표면을 메우고, 소성 후의 샘플의 단면을 잘라낸 샘플의 SEM 관찰에 의한 방법이 이용된다. 이 경우, 소밀 패턴의 전환부란, 도 3-2에 나타내는 바와 같이, 기판 상의 요철 구조 중 볼록 볼록간 폭(오목 폭)=a, 볼록 폭=b로 했을 때, a+b로 표시되는 패턴 피치 폭에 대한 볼록 볼록간 폭의 비율 [a/(a+b)]를 α로 하고, 동일 기판 상의 볼록 볼록간 폭과 볼록 폭이 상이한 패턴 영역의 각각의 α의 값, α1 및 α2를 구한다. 그 α1과 α2의 차의 절대값이 0<｜α1-α2｜<1의 범위에 있는 경우를 소밀 패턴의 전환부로 한다. 소밀 패턴의 전환부에 있어서의 막 두께차란, 상기 α의 값이 상이한 동일 기판 상의 패턴 영역에 있어서, 각각의 패턴 영역에서 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 막 두께를 10점 측정하고, 각각의 평균값 H1과 H2, H1과 H2의 평균값 H3을 구하고, 2개의 패턴 영역의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 평균 막 두께의 차의 절대값 ｜H1-H2｜를 H3으로 나눈 값 ｜H1-H2｜/H3×100(%)을 평탄도(ΔFT)의 척도로 한다.
도 3-2에 있어서, a1/(a1+b1)=α1, a2/(a2+b2)=α2, H1과 H2는 상기의 α1과 α2의 영역에 있어서의 각각의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 평균 막 두께이고, ｜H1-H2｜/H3×100(%)=ΔFT이다.
이때의 평탄도(ΔFT)는, 바람직하게는 0∼5%, 보다 바람직하게는 0∼3%, 더 바람직하게는 0∼1%이다. 이에 의해, 중간층의 유무에 상관없이 레지스트층의 두께를 보다 한층 균일하게 할 수 있고, 리소그래피에 있어서 원하는 패턴을 재현성 좋게 얻을 수 있다.
하층막의 상방에 형성한 레지스트 재료로 이루어지는 층에, 파장 193nm의 ArF 엑시머 레이저를 광원으로 해서 포토마스크의 패턴을 전사하는 ArF 포토리소그래피 공정에서는, 레지스트층으로부터 하층막을 통과한 광이 반도체 기판 표면에서 반사되어, 재차 하층막으로부터 상방의 레지스트층에 입사하는 경우가 있다. 소위, 정재파의 영향으로 광간섭이 생겨, 레지스트 내부에서 발생하는 산의 농도가 불균일해짐으로써 패턴의 러프니스(roughness)가 악화되는 경우가 있다. 또한, 복수종의 트렌치, 특히 서로 상이한 어스펙트비의 트렌치를 갖는 기판을 이용한 경우, 광의 반사는 특히 단차 부분에서 난반사를 야기하고, 난반사된 광이 재차, 하층막으로부터 레지스트층에 입사함으로써, 본래, 미(未)노광부여야 할 레지스트층 내부에 광이 입사하여 발생한 산에 의해 전사 정밀도를 악화시켜 버리는 현상이 생기는 경우가 있다.
이들 하층막으로부터 레지스트층으로의 정재파나 난반사에 기인해서 일어나는, 패턴의 러프니스 악화나 전사 정밀도 악화를 방지하기 위해서는, 하층막에 반사 방지막으로서의 기능을 갖게 할 필요가 있다. 실용적으로는, 하층막으로부터 레지스트막 내로의 반사율을 1% 이하로 억제할 필요가 있다고 여겨지고 있다.
반사 방지막으로서의 기능을 발현시키는 구체적인 방법으로서는, 하층막 형성용 재료의 광학 상수를 제어하는 방법이 알려져 있다.
하기 방법 2에 의해 측정되는 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 파장 193nm에 대한 굴절률(n값) 및 하기 방법 3에 의해 측정되는 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)는, 바람직하게는 n값이 1.5∼2.0, k값이 0.0001∼0.5, 보다 바람직하게는 n값이 1.55∼1.95, k값이 0.0001∼0.4, 더 바람직하게는 n값이 1.6∼1.9, k값이 0.0001∼0.3의 범위로 제어됨으로써, 하층막으로부터 레지스트층으로의 반사율을 1% 이하로 할 수 있다. 또한, 상기 반사 방지막은 평탄한 형상인 것이 반사 방지 성능을 발휘시키는 관점에서 바람직하다. 본 실시형태이면, 상기 하지(下地)막 표면을 평탄한 구조로 할 수 있으므로, 반사 방지막을 형성시킴에 있어서도 바람직하다.
방법 2: 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 굴절률(n값)로 한다.
방법 3: 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 환상 올레핀 폴리머 또는 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)로 한다.
또한, 이때에 이용되는 하층막의 막 두께(요철 구조가 없는 기판을 이용할 때는 임의의 10개소에 있어서 기판의 상부로부터 하층막의 표면까지 거리를 측정하고, 요철 구조를 갖는 기판을 이용하는 경우는 기판의 요철 표면의 오목부 바닥면으로부터 하층막의 표면까지의 거리를 측정한다)의 평균값 Hav(여기에서, 레지스트 하층막의 기판과는 반대측의 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 한다)는, 바람직하게는 5∼1000nm, 보다 바람직하게는 5∼800nm, 더 바람직하게는 5∼600nm, 보다 더 바람직하게는 5∼500nm, 보다 더 바람직하게는 7∼450nm, 보다 더 바람직하게는 10∼400nm의 범위이고, 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav의 하한치는 바람직하게는 5nm 이상, 보다 바람직하게는 7nm 이상, 더 바람직하게는 10nm 이상이며, 상한치는 바람직하게는 1000nm 이하, 보다 바람직하게는 800nm 이하, 더 바람직하게는 600nm 이하, 보다 더 바람직하게는 500nm 이하, 보다 더 바람직하게는 450nm 이하, 보다 더 바람직하게는 400nm 이하이다. 상기한 n값과 k값의 범위, 및 하층막의 두께의 범위 내인 경우, ArF 포토리소그래피 공정에 있어서, 포토마스크의 패턴을 러프니스 없이, 정밀도 좋게 전사한 가공 기판을 얻을 수 있다.
<바니시상의 하층막 형성용 재료의 조제>
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 예를 들면, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를 유기 용매에 용해 또는 분산시키고, 필요에 따라서, 원하는 패턴의 사이즈에 따른 세공의 필터를 통과시켜 이물을 제거하는 것에 의해, 기판 상에 도포하는 데 적합한 바니시상의 하층막 형성용 재료로 할 수 있다.
이때에 이용하는 유기 용매로서는, 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를, 용해 또는 분산 가능한 용매이면 특별히 한정되지 않는다.
유기 용매로서는, 예를 들면, 알코올계 용매, 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매, 탄화수소계 용매 등을 들 수 있다.
알코올계 용매로서는, 예를 들면, 4-메틸-2-펜탄올, n-헥산올 등의 탄소수 1∼18의 지방족 모노알코올계 용매; 사이클로헥산올 등의 탄소수 3∼18의 지환식 모노알코올계 용매; 1,2-프로필렌 글라이콜 등의 탄소수 2∼18의 다가 알코올계 용매; 프로필렌 글라이콜 모노메틸 에터 등의 탄소수 3∼19의 다가 알코올 부분 에터계 용매 등을 들 수 있다.
에터계 용매로서는, 예를 들면, 다이에틸 에터, 다이프로필 에터, 다이뷰틸 에터 등의 다이알킬 에터계 용매; 테트라하이드로퓨란, 테트라하이드로피란 등의 환상 에터계 용매; 다이페닐 에터, 아니솔 등의 방향환 함유 에터계 용매 등을 들 수 있다.
케톤계 용매로서는, 예를 들면, 아세톤, 메틸 에틸 케톤, 메틸-n-프로필 케톤, 메틸-n-뷰틸 케톤, 다이에틸 케톤, 메틸-iso-뷰틸 케톤, 2-헵탄온, 에틸-n-뷰틸 케톤, 메틸-n-헥실 케톤, 다이-iso-뷰틸 케톤, 트라이메틸노난온 등의 쇄상 케톤계 용매; 사이클로펜탄온, 사이클로헥산온, 사이클로헵탄온, 사이클로옥탄온, 메틸사이클로헥산온 등의 환상 케톤계 용매; 2,4-펜테인다이온, 아세톤일 아세톤, 아세토페논 등을 들 수 있다.
아마이드계 용매로서는, 예를 들면, N,N'-다이메틸이미다졸리딘온, N-메틸피롤리돈 등의 환상 아마이드계 용매; N-메틸폼아마이드, N,N-다이메틸폼아마이드, N,N-다이에틸폼아마이드, 아세트아마이드, N-메틸아세트아마이드, N,N-다이메틸아세트아마이드, N-메틸프로피온아마이드 등의 쇄상 아마이드계 용매 등을 들 수 있다.
에스터계 용매로서는, 예를 들면, 아세트산 n-뷰틸, 락트산 에틸 등의 모노카복실산 에스터계 용매; 아세트산 프로필렌 글라이콜 등의 다가 알코올 카복실레이트계 용매; 아세트산 프로필렌 글라이콜 모노메틸 에터 등의 다가 알코올 부분 알킬 에터 아세테이트 등의 다가 알코올 부분 에터 카복실레이트계 용매; 옥살산 다이에틸 등의 다가 카복실산 다이에스터계 용매; γ-뷰티로락톤, δ-발레로락톤 등의 락톤계 용매; 다이에틸 카보네이트, 에틸렌 카보네이트, 프로필렌 카보네이트 등의 카보네이트계 용매 등을 들 수 있다.
탄화수소계 용매로서는, 예를 들면, 탄소수 5∼10의 직쇄상 또는 분기쇄상 탄화수소, 탄소수 5∼12의 지환식 탄화수소, 탄소수 6∼18의 방향족 탄화수소 등을 들 수 있다. 지환식 탄화수소 및 방향족 탄화수소의 환 상의 수소 원자의 일부 또는 전부는 탄소수 1∼5의 직쇄상 또는 분기쇄상 알킬기에 의해 치환되어 있어도 된다.
이들 중으로부터, 도공 시의 용매의 휘발 속도, 프로세스에 대한 적응성, 생산성 등을 고려하여 선택되며, 바람직하게는 알코올계 용매, 쇄상 케톤계 용매, 환상 케톤계 용매, 쇄상 에터계 용매, 환상 에터계 용매, 에스터계 용매 등의 함산소 용매가 선택된다. 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는 용매를 1종 또는 2종 이상 포함하고 있어도 된다.
또한, 본 실시형태에 따른 바니시상의 하층막 형성용 재료에 있어서, 환상 올레핀 폴리머의 농도는, 바람직하게는 0.01∼50.0질량%, 보다 바람직하게는 0.1∼45.0질량%, 더 바람직하게는 1.0∼40.0질량%이다. 환상 올레핀 폴리머의 농도는, 폴리머의 용해성, 여과 프로세스에 대한 적응성, 제막성, 하층막으로서의 두께 등을 고려하여 선택할 수 있다.
더욱이, 에칭 내성, 광학 특성 등의 하층막으로서의 재료 물성을 조정할 목적으로, 본 발명의 효과를 해치지 않는 범위에서, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 스타이렌 수지, 하이드록시스타이렌 수지, 하이드록시나프틸렌 수지, 실리콘 수지 등의 수지; 상기 수지와 중합 개시제의 조합이면 상기 수지를 구성하는 모노머; 열경화계의 모노머; 폴리머 재료; 지르코늄, 하프늄, 루테늄, 타이타늄 등 금속의 산화물을 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료에 혼합해도 된다.
더욱이, 레지스트층과 레지스트 하층막, 혹은 레지스트층과 레지스트 하층막 사이에 중간층을 설치하는 경우에는 중간층과 레지스트 하층막 사이에서의 인터믹싱을 억제할 목적으로, 본 발명의 효과를 해치지 않는 범위에서, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는 가교제를 포함해도 된다. 한편, 가교제의 사용은 경화 시의 반응 수축의 영향이 현저해지는 경우가 있다. 예를 들면, 요철의 패턴이 불규칙한 경우, 가교제가 지나치게 많으면 볼록 볼록간이 긴 구조이면 수축의 영향을 무시할 수 없게 되는 경우가 있어, 평탄성이 저하될 가능성이 있다. 그 때문에 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료 중의 가교제의 함유량은 적은 편이 바람직하다. 그 관점에서, 하층막 형성용 재료에 포함되는 폴리머 성분의 전체 함유량을 100질량부로 했을 때, 5질량부 미만이 바람직하고, 3질량부 미만이 보다 바람직하며, 1질량부 미만이 더 바람직하다.
가교제로서는 다작용의 에폭시 화합물, 옥세테인 화합물 등이 적합하게 이용되지만, 이들 화합물로 특별히 제한되는 것은 아니다.
다작용의 에폭시 화합물로서는, 예를 들면, 1,7-옥타다이엔다이에폭사이드, 리모넨다이옥사이드, 4-바이닐사이클로헥센다이옥사이드, 3,4-에폭시사이클로헥실메틸-3',4'-에폭시사이클로헥세인카복실레이트, 다이(3,4-에폭시사이클로헥실)아디페이트, (3,4-에폭시-6-메틸사이클로헥실)메틸-3,4-에폭시-6-메틸사이클로헥세인카복실레이트, 에틸렌 1,2-다이(3,4-에폭시사이클로헥세인카복실산)에스터, 3',4'-에폭시사이클로헥실메틸-3,4-에폭시사이클로헥세인카복실레이트, 비스(3,4-에폭시사이클로헥실메틸)아디페이트, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 할로젠화 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, o-, m-, p-크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 페놀 노볼락형 에폭시 수지, 다가 알코올의 폴리글라이시딜 에터, 3,4-에폭시사이클로헥센일메틸-3',4'-에폭시사이클로헥센카복실레이트와 같은 지환식 에폭시 수지 혹은 수첨 비스페놀 A의 글라이시딜 에터 등의 에폭시 화합물 등을 들 수 있다.
다작용의 옥세테인 화합물로서는, 예를 들면, 비스(3-에틸-3-옥세탄일메틸)에터, 1,2-비스[(3-에틸-3-옥세탄일메톡시)]에테인, 1,3-비스[(3-에틸-3-옥세탄일메톡시)]프로페인, 1,3-비스[(3-에틸-3-옥세탄일메톡시)]-2,2-다이메틸-프로페인, 1,4-비스(3-에틸-3-옥세탄일메톡시)뷰테인, 1,6-비스(3-에틸-3-옥세탄일메톡시)헥세인, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]벤젠, 1,3-비스[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]벤젠, 1,4-비스{[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}벤젠, 1,4-비스{[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}사이클로헥세인, 4,4'-비스{[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}바이페닐, 4,4'-비스{[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}바이사이클로헥세인, 2,3-비스[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인, 2,5-비스[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인, 2,6-비스[(3-메틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]벤젠, 1,3-비스[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]벤젠, 1,4-비스{[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}벤젠, 1,4-비스{[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}사이클로헥세인, 4,4'-비스{[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}바이페닐, 4,4'-비스{[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]메틸}바이사이클로헥세인, 2,3-비스[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인, 2,5-비스[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인, 2,6-비스[(3-에틸-3-옥세탄일)메톡시]바이사이클로[2.2.1]헵테인 등을 들 수 있다. 또한, 이들 가교제는 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다.
이어서, 상기한 방법으로 조제한 바니시상의 하층막 형성용 재료를, 필터를 통과시켜 여과한다. 이에 의해, 바니시상의 하층막 형성용 재료로부터 폴리머 불용분이나 겔, 이물 등을 제거할 수 있고, 하층막으로서 균일한 층을 레지스트막층과 기판 표면 사이에 형성할 수 있다.
여과 필터의 눈 크기는, 바람직하게는 1μm∼0.001μm, 보다 바람직하게는 0.5μm∼0.001μm, 더 바람직하게는 0.1μm∼0.001μm이다. 여과의 프로세스는, 구멍 지름이 큰 필터로부터 작은 필터로 바니시를 보내는 다단 프로세스로 행해도 되고, 구멍 지름이 작은 필터로 바니시를 직접 보내는 단일 프로세스로 행해도 된다. 필터의 재질은, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리프로필렌(PP), 폴리에터설폰(PES), 셀룰로스 등의 유기 재료; 유리 섬유, 금속 등의 무기 재료; 등을 들 수 있고, 하층막으로서의 기능에 영향을 미치지 않으면, 바니시 특성, 프로세스 적응성 등을 고려하여 선택할 수 있다.
또한, 바니시를 필터로 보내는 방법으로서는, 예를 들면, 압력차를 이용하는 방법, 스크루 등을 개재시켜 기계적인 구동에 의해 바니시를 필터로 송액하는 방법 등을 들 수 있다. 더욱이, 여과의 온도는 필터 성능, 용액 점도, 폴리머의 용해성을 고려한 범위에서 선택할 수 있고, 바람직하게는 -10∼200℃, 보다 바람직하게는 0℃∼150℃, 더 바람직하게는 실온∼100℃의 범위이며, 용해 성분 등의 석출 또는 겔화, 가열에 의한 열분해 등의 조성물의 변이가 없으면, 바니시 특성이나 프로세스 적응성 등을 고려하여 선택할 수 있다.
<레지스트 하층막 및 레지스트 하층막의 제조 방법>
본 실시형태에 따른 레지스트 하층막은, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 이용하여 형성할 수 있다.
본 실시형태에 따른 레지스트 하층막의 제조 방법은, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 포함하는 도막을 기판 상에 형성하는 공정(이하, 「도막 형성 공정」이라고도 한다)을 포함한다.
또한, 필요에 따라서, 상기 도막을 가열하는 공정(이하, 「소성 공정」이라고도 한다)을 추가로 포함해도 된다.
본 실시형태에 따른 레지스트 하층막의 제조 방법에 의하면, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 이용하기 때문에, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 얻을 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는 복잡한 형상의 기판에 대한 매립성이 우수하기 때문에, 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막의 제조 방법에 의하면, 단차를 갖는 기판이나, 복수종의 트렌치를 갖는 기판 등의 복잡한 형상의 기판 상에, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 제작할 수 있다.
이하, 각 공정에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이들에 의해 한정되는 것은 아니다.
[도막 형성 공정]
본 공정에서는, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 이용하여, 기판 상에 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 포함하는 도막을 형성한다.
상기 기판으로서는, 예를 들면, 실리콘 웨이퍼, 알루미늄 웨이퍼, 니켈 웨이퍼 등을 들 수 있다. 상기 기판의 표면에는 요철 구조가 부여되어 있어도 된다. 상기 요철 구조는, 예를 들면, 실리카(SiO2)막, SiCN막, 실리카(SiO2)에 카본(C)을 도핑한 SiOC막이나, 메틸실록세인계 유기막(SOG), 수 nm 이하의 미소한 공공이 균일하게 분포한 실리카 절연막 등의 저유전 재료로 피막을 형성한 상태여도 된다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막의 형성 방법에서는, 상기 기판으로서, 단차를 갖는 기판이나 복수종의 트렌치를 갖는 기판 등도 적합하게 이용할 수 있고, 이와 같은 복잡한 형상의 기판을 이용했다고 하더라도 평탄성이 우수한 레지스트 하층막을 형성할 수 있다.
상기 복수종의 트렌치를 갖는 기판으로서는, 예를 들면, 서로 상이한 어스펙트비를 갖는 기판도 적합하게 이용할 수 있다. 상기 어스펙트비는 여러 가지 값이 혼재된 것을 이용할 수 있고, 예를 들면, 기판의 트렌치에 있어서, 어스펙트비에 있어서의 최대값과 최소값의 비로서는, 바람직하게는 1∼30, 보다 바람직하게는 1∼25, 더 바람직하게는 1∼20이다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 기판에 도포하는 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 스핀 코팅, 용액 유연 도포, 롤 도포, 슬릿 코팅, 잉크젯 도포 등의 방법을 이용하여, 전술한 바니시상의 하층막 형성용 재료를 기판에 도포하는 방법 등을 들 수 있다. 이때에 형성되는 레지스트 하층막의 오목부 바닥으로부터 대기면까지의 막 두께로서는, 전술한 평균값 Hav가 바람직하게는 5∼2000nm, 보다 바람직하게는 7∼1000nm, 더 바람직하게는 10∼500nm의 범위이다. 또한, 막 두께의 바람직한 하한치는 15nm 이상이다.
[소성 공정]
본 공정에 있어서는, 상기 도막 형성 공정에 있어서 형성한 도막을 가열(소성)한다. 이 도막을 소성하는 방법으로서는, 예를 들면, 가열하는 방법 등을 들 수 있다. 이 가열의 온도는, 바람직하게는 100℃∼400℃, 보다 바람직하게는 150℃∼300℃, 더 바람직하게는 180℃∼250℃이다. 가열 시간은, 바람직하게는 5초∼60분, 보다 바람직하게는 10초∼10분, 더 바람직하게는 30초∼3분이다. 상기 가열에 있어서의 분위기로서는, 예를 들면, 공기 중; 질소 가스 중, 아르곤 가스 중 등의 불활성 가스 중; 등을 들 수 있다.
또한, 본 공정에 있어서의 가열 양식으로서는, 예를 들면, 도막 중의 용제를 제거할 목적으로 가열하고, 그 후의 가열로 도막을 유동시켜 기판의 요철 구조에 도막을 매립하는 태양; 본 발명의 목적을 달성하면서 기능을 보충하기 위해서 혼합한 열경화계 재료 등의 이종 물질을 경화시키고, 그 후의 가열로 도막을 유동시켜 기판의 요철 구조에 도막을 매립하는 태양; 하층막 형성용 재료의 탈리기를 탈리시킬 목적으로 가열하고, 그 후의 가열로 도막을 유동시켜 기판의 요철 구조에 도막을 매립하는 태양; 등을 들 수 있다.
소성 공정의 가열은 단계적으로 온도를 올리는 다단 프로세스를 이용해도 된다.
형성되는 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav로서는, 바람직하게는 5∼1000nm, 보다 바람직하게는 5∼800nm, 더 바람직하게는 5∼600nm, 보다 더 바람직하게는 5∼500nm, 보다 더 바람직하게는 7∼450nm, 보다 더 바람직하게는 10∼400nm의 범위이고, 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav의 하한치는 바람직하게는 5nm 이상, 보다 바람직하게는 7nm 이상, 더 바람직하게는 10nm 이상이며, 상한치는 바람직하게는 1000nm 이하, 보다 바람직하게는 800nm 이하, 더 바람직하게는 600nm 이하, 보다 더 바람직하게는 500nm 이하, 보다 더 바람직하게는 450nm 이하, 보다 더 바람직하게는 400nm 이하이다.
본 실시형태에 따른 레지스트 하층막은, 예를 들면, 포토리소그래피에 의한 패턴 형성을 위한 공정 부재로서 이용할 수 있다.
<적층체>
본 실시형태에 따른 적층체는, 기판(a)와, 기판(a)의 한쪽 면에 형성된 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막(b)를 구비한다.
기판(a)와 레지스트 하층막(b)가 접촉하는 구조인 것이 바람직하다.
여기에서, 레지스트 하층막(b) 및 그의 제조 방법은, 전술한 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막 및 레지스트 하층막의 제조 방법과 마찬가지이기 때문에, 여기에서의 설명은 생략한다.
도 2는, 본 발명에 따른 실시형태의 적층체(10)에 있어서의 레지스트 하층막(2)의 막 두께(4), 요철 구조(7)의 높이(5) 및 요철 구조(7)의 볼록 볼록간의 간격(6)을 설명하기 위한 모식도이다.
기판(a)는 평탄한 표면을 가지는 구조여도 되지만, 그의 편면 또는 양면에, 바람직하게는 5∼500nm, 보다 바람직하게는 7∼450nm, 더 바람직하게는 10∼400nm의 범위의 높이를 갖는 요철 구조인 것이 바람직하다.
여기에서, 상기 높이는 도 2에 나타내는 요철 구조(7)의 높이(5)를 의미하고, 예를 들면, 요철 구조(7)의 높이(5)를 임의로 10점 측정하여, 그들의 평균값을 채용할 수 있다.
또한, 상기 요철 구조에 있어서의 볼록 볼록간의 간격은, 바람직하게는 1nm 이상 10mm 이하이다. 상기 요철 구조에 있어서의 볼록 볼록간의 간격의 하한치는 3nm 이상인 것이 보다 바람직하고, 5nm 이상인 것이 더 바람직하며, 10nm 이상인 것이 특히 바람직하다.
여기에서, 상기 요철 구조에 있어서의 볼록 볼록간의 간격은, 도 2에 나타내는 요철 구조(7)에 있어서의 볼록 볼록간의 간격(6)을 의미하며, 요철 구조(7)에 있어서의 볼록 볼록간의 간격(6)을 임의로 10점 측정하여, 그들의 평균값을 채용할 수 있다.
또한, 상기 요철 구조에 있어서의 볼록 볼록간의 간격의 상한치는 5mm 이하인 것이 보다 바람직하고, 1mm 이하인 것이 더 바람직하며, 0.5mm 이하인 것이 특히 바람직하다.
기판(a)가 상기와 같은 요철 구조를 갖는 경우에 레지스트 하층막(b)의 효과가 보다 현저히 발현되는 경향이 있으므로 바람직하다.
기판(a)의 두께는 0.01∼10000μm인 것이 바람직하다. 기판(a)의 두께의 하한치는 0.03μm 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.05μm 이상인 것이 더 바람직하며, 0.10μm 이상인 것이 특히 바람직하다.
기판(a)의 두께의 상한치는 5000μm 이하인 것이 보다 바람직하고, 3000μm 이하인 것이 더 바람직하며, 1000μm 이하인 것이 특히 바람직하다.
본 실시형태에 따른 적층체에 있어서, 레지스트 하층막(b)의 기판(a)와는 반대측의 표면(α)에 있어서의 하기 식에 의해 산출되는 평탄도(ΔFT)가 바람직하게는 0∼5%, 보다 바람직하게는 0∼3%, 더 바람직하게는 0∼1%이다.
평탄도(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
여기에서, 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 레지스트 하층막(b)의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 하고, 레지스트 하층막(b)의 막 두께의 최대값을 Hmax로 하고, 레지스트 하층막(b)의 막 두께의 최소값을 Hmin으로 한다.
이에 의해, 중간층의 유무에 상관없이 레지스트층의 두께를 보다 한층 균일하게 할 수 있고, 리소그래피에 있어서 원하는 패턴을 재현성 좋게 얻을 수 있다.
<패턴 형성 방법>
본 실시형태에 따른 패턴 형성 방법은, 예를 들면, 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막의 상면측에, 레지스트 패턴을 형성하는 공정(이하, 「레지스트 패턴 형성 공정」이라고도 한다)과, 상기 레지스트 패턴을 마스크로 하고, 상기 레지스트 하층막 및 기판을 순차적으로 에칭하는 공정(이하, 「에칭 공정」이라고도 한다)을 구비한다.
또한, 본 실시형태에 따른 패턴 형성 방법은, 상기 레지스트 패턴 형성 공정에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 상면측에 중간층을 형성하고, 이 중간층의 상면측에 레지스트 패턴을 형성하고, 상기 에칭 공정에 있어서, 추가로 중간층을 에칭하는 공정이어도 된다.
본 실시형태에 따른 패턴 형성 방법에 의하면, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 중간층과의 인터믹싱이 억제되고, 휘발분의 발생량도 억제된 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막을 이용하므로, 양호한 패턴을 형성할 수 있다.
이하, 각 공정에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이들에 의해 한정되는 것은 아니다.
[레지스트 패턴 형성 공정]
본 공정에 있어서는, 상기 레지스트 하층막의 상면측에 레지스트 패턴을 형성한다. 상기 레지스트 하층막의 상면측에 중간층을 형성하고, 이 중간층의 상면측에 레지스트 패턴을 형성해도 된다.
상기 중간층은, 레지스트 패턴 형성 등에 있어서, 레지스트 하층막 및/또는 레지스트막이 갖는 기능을 보충하거나, 또는 이들이 갖고 있지 않는 기능을 부여하기 위해서 이들 기능을 갖는 층이다. 예를 들면, 반사 방지막(반사 방지층이라고도 한다)을 중간층으로서 형성한 경우, 레지스트 하층막의 반사 방지 기능을 보충할 수 있다. 또한, 하드 마스크층을 중간층으로서 형성한 경우, 현상 공정의 예를 들면, 알칼리 현상액을 사용할 때의 레지스트 하층막에 대한 영향을 억제, 및/또는 본 실시형태의 하층막을 에칭 후, 하층의 실리콘, 알루미늄, 니켈 등으로 이루어지는 기판을 에칭할 때의 레지스트 패턴 형성층의 에칭 내성 부족을 보충할 수 있다.
게다가, 본 실시형태의 하층막 상에 형성하는 중간층은 반사 방지층과 하드 마스크층 중 어느 하나 또는 양쪽을 구비한 구성이어도 되고, 층 구성은 본 실시형태의 하층막의 바로 위에는 반사 방지층을 형성해도 되고, 하드 마스크층을 형성해도 된다. 레지스트 재료, 가공 기판 등의 재료의 특성이나, 생산성을 고려하여 적합하게 선택된다.
상기 중간층은 유기 화합물이나 무기 산화물에 의해 형성할 수 있다. 상기 유기 화합물로서는, 예를 들면, DUV-42, DUV-44, ARC-28, ARC-29(모두 Brewer Science사제)나, AR-3, AR-19(모두 롬앤하스사제) 등을 들 수 있다. 또한, 상기 무기 산화물로서는, 예를 들면, NFC SOG 시리즈(JSR사제), CVD법에 의해 형성되는 폴리실록세인, 산화 타이타늄, 산화 알루미나, 산화 텅스텐 등을 이용할 수 있다.
상기 중간층을 형성하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 도포법이나 CVD법 등을 들 수 있다. 이들 중에서, 도포법이 바람직하다. 도포법을 이용한 경우, 레지스트 하층막을 형성 후, 중간층을 연속해서 형성할 수 있다.
또한, 중간층의 막 두께는 특별히 한정되지 않고, 중간층에 요구되는 기능에 따라 적절히 선택되지만, 바람직하게는 1nm∼5μm, 보다 바람직하게는 5nm∼3μm, 더 바람직하게는 10nm∼0.3μm의 범위이다.
상기 레지스트 하층막 또는 중간층의 상면측에 레지스트 패턴을 형성하는 방법으로서는, 예를 들면, 포토리소그래피를 이용하는 방법 등을 들 수 있다. 이 방법에 대하여, 이하, 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들에 의해 한정되는 것은 아니다.
포토리소그래피를 이용하는 방법은, 예를 들면 레지스트 조성물을 이용하여, 상기 레지스트 하층막의 상면측에 레지스트막을 형성하는 공정(이하, 「레지스트막 형성 공정」이라고도 한다), 상기 레지스트막을 노광하는 공정(이하, 「노광 공정」이라고도 한다) 및 상기 노광된 레지스트막을 현상하는 공정(이하, 「현상 공정」이라고도 한다)을 갖는다.
(레지스트막 형성 공정)
본 공정에서는, 레지스트 조성물을 이용하여, 레지스트 하층막의 상면측에 레지스트막을 형성한다. 구체적으로는, 얻어지는 레지스트막이 소정의 막 두께가 되도록 레지스트 조성물을 도포한 후, 프리 베이킹하는 것에 의해 도막 중의 용매를 휘발시켜, 레지스트막이 형성된다.
레지스트 조성물로서는, 예를 들면, 광산 발생제를 함유하는 포지티브형 또는 네거티브형의 화학 증폭형 레지스트 조성물; 알칼리 가용성 수지와 퀴논 다이아자이드계 감광제로 이루어지는 포지티브형 레지스트 조성물; 알칼리 가용성 수지와 가교제로 이루어지는 네거티브형 레지스트 조성물; 등을 들 수 있다.
상기 레지스트 조성물의 고형분 농도는, 바람직하게는 0.1질량%∼50질량%, 보다 바람직하게는 0.5질량%∼50질량%, 더 바람직하게는 1.0질량%∼50질량%의 범위이고, 대상으로 하는 막 두께나, 생산성을 고려하여 적절한 범위에서 선택할 수 있다.
또한, 상기 레지스트 조성물은 구멍 지름 0.1μm 정도의 필터로 여과하여 조제되는 것이 바람직하다. 한편, 이 공정에서는, 시판 중인 레지스트 조성물을 그대로 사용할 수도 있다. 레지스트 조성물의 도포 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 스핀 코팅, 유연 도포, 롤 도포 등의 방법으로 실시할 수 있다.
또한, 프리 베이킹의 온도는, 사용되는 레지스트 조성물의 종류 등에 따라서 적절히 선택되지만, 30℃∼200℃가 바람직하고, 50℃∼150℃가 보다 바람직하다.
(노광 공정)
본 공정에서는, 상기 레지스트막 형성 공정에서 형성된 레지스트막을 노광한다. 이 노광은, 예를 들면, 소정의 마스크 패턴 및 필요에 따라서 액침액을 개재시켜 행해진다.
노광광으로서는, 레지스트 조성물에 사용되는 광산 발생제의 종류에 따라서, 예를 들면, 가시광선, 자외선, 원자외선, X선, γ선 등의 전자파; 전자선, 분자선, 이온 빔, α선 등의 입자선 등으로부터 적절히 선택되지만, 원자외선이 바람직하고, KrF 엑시머 레이저광(248nm), ArF 엑시머 레이저광(193nm), F2 엑시머 레이저광(파장 157nm), Kr2 엑시머 레이저광(파장 147nm), ArKr 엑시머 레이저광(파장 134nm), 극자외선(파장 13nm 등)이 보다 바람직하고, ArF 엑시머 레이저광이 더 바람직하다.
상기 노광 후에, 형성되는 레지스트 패턴의 해상도, 패턴 프로파일, 현상성 등을 향상시키기 위해, 포스트 베이킹을 행할 수 있다. 이 포스트 베이킹의 온도는, 사용되는 레지스트 조성물의 종류 등에 따라서 적절히 조정되지만, 50℃∼200℃가 바람직하고, 70℃∼150℃가 보다 바람직하다.
(현상 공정)
본 공정에서는, 상기 노광 공정에서 노광된 레지스트막을 현상한다.
상기 현상에 이용되는 현상액으로서는, 사용되는 레지스트 조성물의 종류에 따라서 적절히 선택된다. 알칼리 현상의 경우, 예를 들면, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨, 암모니아, 에틸아민, n-프로필아민, 다이에틸아민, 다이-n-프로필아민, 트라이에틸아민, 메틸다이에틸아민, 다이메틸에탄올아민, 트라이에탄올아민, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄하이드록사이드, 피롤, 피페리딘, 콜린, 1,8-다이아자바이사이클로[5.4.0]-7-운데센, 1,5-다이아자바이사이클로[4.3.0]-5-노넨 등의 알칼리성 수용액 등을 들 수 있다. 한편, 상기 중간층 형성 공정을 행하여 중간층을 형성해 두면, 이들 알칼리성 수용액의 레지스트 하층막에 대한 영향을 억제할 수 있다.
이들 알칼리성 수용액에는, 예를 들면, 메탄올, 에탄올 등의 알코올류 등의 수용성 유기 용매나, 계면활성제를 적량 첨가할 수도 있다.
또한, 현상액으로서는, 유기 용매를 함유하는 현상액을 이용할 수도 있다. 이 유기 용매로서는, 예를 들면, 에스터류, 케톤류, 에터류, 알코올류, 아마이드류, 탄화수소류 등을 들 수 있다. 유기 용매 현상에서 사용하는 용매는 레지스트 하층막의 특성에 따라서 적시 선택된다.
상기 현상액을 이용하여 현상한 후, 세정하고, 건조하는 것에 의해, 소정의 레지스트 패턴이 형성된다.
또한, 상기 레지스트 패턴 형성 공정을 행하는 방법으로서, 전술한 포토리소그래피를 이용하는 방법 이외에도, 나노임프린트법을 이용하는 방법, 자기 조직화 조성물을 이용하는 방법 등도 이용할 수 있다.
[에칭 공정]
본 공정에 있어서는, 상기 레지스트 패턴을 마스크로 하고, 상기 레지스트 하층막 및 기판을 순차적으로 에칭한다. 이에 의해, 기판에 패턴이 형성된다. 한편, 중간층을 형성한 경우는, 추가로 중간층도 에칭한다.
상기 에칭은 드라이 에칭이어도 되고, 웨트 에칭이어도 된다. 상기 드라이 에칭은 공지의 드라이 에칭 장치를 이용하여 행할 수 있다. 또한, 드라이 에칭을 할 때의 소스 가스로서는, 피에칭물의 원소 조성에도 따르기 때문에 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, O2, CO, CO2 등의 산소 원자를 포함하는 가스; He, N2, Ar 등의 불활성 가스; Cl2, BCl3 등의 염소계 가스; CHF3, C24 등의 불소계 가스; H2, NH3의 가스 등을 사용할 수 있다. 한편, 이들 가스는 혼합하여 이용할 수도 있다.
[기판 패턴 형성 후의 하층막 재료의 제거 공정]
본 공정에서는, 상기 에칭 공정에 의해 기판에 레지스트 패턴을 전사·형성 후에, 불필요해진 레지스트 하층막을 제거한다.
제거 방법은 드라이법이어도 되고, 용제 등을 이용하는 웨트법이어도 되고, 재료의 물성이나 프로세스 적응성을 고려하여 적합하게 선택되며, 드라이와 웨트의 방법을 병용해서 이용해도 된다.
드라이법의 경우, 상기 에칭 공정에서 이용되는 드라이 에칭 장치를 사용할 수 있다. 따라서, 에칭 공정으로부터 하층막 재료의 제거 공정으로 이행할 때, 제조 라인을 변경할 필요성이 없어, 생산성의 관점에서 드라이법이 바람직하게 이용된다.
하층막 재료의 제거 공정에 있어서 드라이 에칭 장치를 사용할 때의 가스 소스로서는, 피에칭물의 원소 조성에 의해 적합하게 선택되고, 예를 들면, O2, CO, CO2 등의 산소 원자를 포함하는 가스; He, N2, Ar 등의 불활성 가스; Cl2, BCl3 등의 염소계 가스; CHF3, CF4 등의 불소계 가스; H2, NH3의 가스 등을 사용할 수 있고, 전술한 기판 표면을 피막한 저유전 재료나, 기판 재료에 따라서 보다 적합하게 선택된다. 이들 가스는 2종류 이상을 혼합하여 이용할 수도 있다.
[제 2 발명]
이하, 제 2 발명에 따른 실시형태에 대하여 설명한다.
<하층막 형성용 재료>
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서, 환상 올레핀 폴리머를 포함하고, 하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 잔막률이 50% 이상 100% 이하, 바람직하게는 60% 이상 100% 이하이다. 상기 하층막 형성용 재료의 잔막률의 하한치는 70% 이상이 보다 바람직하다. 한편, 상기 하층막 형성용 재료의 잔막률의 상한치는 99% 이하가 보다 바람직하고, 98% 이하가 더 바람직하다. 잔막률이 지나치게 낮으면 상기한 대로, 중간층과의 혼합 등에 의한 문제가 일어나는 경우가 있다. 한편, 잔막률이 100%를 조금 하회하는 경우는, 중간층과 하지막을 형성하는 중합체의 적당한 얽힘이 생겨, 박리 강도를 높일 수 있는 경우가 있다.
방법 4: 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 잔존 용매를 제거한 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.
또한, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는, 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서, 환상 올레핀 폴리머를 포함하는 막의 재료이며, 상기 환상 올레핀 폴리머 자신은, 유기 용매에 적어도 0.01질량% 이상 50질량% 이하 중 어느 농도에서 용해 가능하고, 상기 막에 있어서, 하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 50% 이상 100% 이하, 바람직하게는 60% 이상 100% 이하이다. 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률의 하한치는 70% 이상이 보다 바람직하다. 한편, 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률의 상한치는 99% 이하가 보다 바람직하고, 98% 이하가 더 바람직하다. 잔막률이 지나치게 낮으면 상기한 대로, 중간층과의 혼합 등에 의한 문제가 일어나는 경우가 있다. 한편, 잔막률이 100%를 조금 하회하는 경우는, 중간층과 하지막을 형성하는 중합체의 적당한 얽힘이 생겨, 박리 강도를 높일 수 있는 경우가 있다.
방법 4: 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 잔존 용매를 제거한 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.
상기 중에서, 박리한 막을 고온 처리하는 조건으로서는, 200℃에서 30분간 처리하는 것이 더 바람직하다.
이 방법 4에 의한 잔막률은 막의 용매에 대한 용해성을 나타내고 있다. 수치가 클수록 용해시키기 어려운 경향이 있다.
전술한 바와 같이, 노광하는 광의 파장 이하의 라인폭으로 회로도를 그리는 경우, 복수의 요철층을 형성하고 조합하는 방법이 알려져 있다. 이와 같은 태양을 실현하기 위해서는, 상기 요철층의 평활화를 목적으로 하는 레지스트 하층막 상에 중간층을 형성하고, 추가로 그 위에 새로운 레지스트층을 형성하는 방법을 예시할 수 있다.
본 발명자들의 검토에 의하면, 예를 들면 이 중간층을 스핀 코팅법 등으로 형성하는 경우, 용매의 선택을 잘못하면, 레지스트 하층막과 중간층이 인터믹싱을 일으켜 버리고, 그 결과, 하층막과 중간층의 계면 강도가 저하되거나, 하층막의 평활성이 상실되거나 하는 경우가 있는 것도 알게 되었다.
본 발명자들은 상기 과제를 달성하기 위해서 예의 검토를 거듭했다. 그 결과, 레지스트 하층막이 중간층 형성에 이용하는 용매에 대해서 친화성이 낮으면, 레지스트 하층막과 중간층이 인터믹싱을 일으켜 버리는 것을 억제할 수 있는 것을 발견했다.
본 발명자들은 상기 지견을 기초로 검토를 더 거듭했다. 그 결과, 상기 방법 4로 측정되는, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 침지했을 때의 잔막률이 상기 범위 내인 하층막 형성용 재료 또는 환상 올레핀 폴리머를 이용하는 것에 의해, 레지스트 하층막이 용해되거나, 레지스트 하층막과 중간층이 필요 이상으로 혼합 상태가 되어버리거나 하는 것을 효과적으로 억제할 수 있는 것을 처음으로 발견했다.
즉, 상기 방법 4로 측정되는, 본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료 또는 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 상기 하한치 이상이면, 레지스트 하층막 상에 중간층을 형성하는 경우, 레지스트 하층막이 용해되거나, 레지스트 하층막과 중간층이 필요 이상으로 혼합 상태가 되어버리거나 하는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 중간층과 레지스트 하층막의 밀착성이 우수함과 함께 평탄성이 우수한 적층체를 실현할 수 있다.
제 2 발명에 이용되는 환상 올레핀 폴리머는 실온∼50℃, 바람직하게는 실온에서 유기 용매에 용해되는 중합체이면 특별히 제한되지 않는다. 유기 용매로서 바람직한 것은 알코올계 용매, 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매 및 환상 탄화수소계 용매로 이루어지는 군으로부터 선택되는 용매이다. 보다 바람직한 것은 알코올계 용매, 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매이며, 더 바람직하게는 에터계 용매, 케톤계 용매, 아마이드계 용매, 에스터계 용매이다. 특히 바람직한 것은 폴리에터 모노에스터 구조를 갖는 용매이다.
제 2 발명의 환상 올레핀 폴리머로서 보다 구체적으로는, 노보네인 골격이나 테트라사이클로도데케인 골격을 갖는 환상 올레핀 폴리머를 바람직한 예로서 들 수 있다. 또한, 상기의 유기 용매에 포함되는 헤테로원자를 갖는 치환기를 포함하는 것이 바람직하다. 헤테로원자를 포함하는 치환기로서는 예를 들면 알콕시기, 아릴옥시기, 알콕시알킬기, 아릴옥시알킬기, 알콕시카보닐기, 다이알킬아미노카보닐기, 아릴옥시카보닐기, 알킬아릴아미노카보닐기, 알콕시카보닐알킬기, 알콕시카보닐아릴기, 아릴옥시카보닐알킬기, 알콕시알킬옥시카보닐기, 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기 등을 바람직한 예로서 들 수 있다. 특히 바람직한 치환기로서는 상기와 같은 에스터기이다.
제 2 발명에 이용되는 환상 올레핀 폴리머로서, 다른 바람직한 구체예로서는, 상기 제 1 발명에서 개시된 구조 단위[A]와 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머이다. 그들 구조 단위의 비율 등의 바람직한 여러 조건은 제 1 발명에서 개시한 그들 범위와 마찬가지이다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료를 이용하여, 막을 형성하는 방법으로서는, 공지의 방법을 이용할 수 있다. 바람직한 구체예로서는, 스핀 코팅법을 들 수 있다. 스핀 코팅에 이용되는 폴리머 용액을 형성하는 용매는 상기의 스핀 코팅용 용매를 예시할 수 있다. 특히 바람직한 것은 상기의 PGMEA와 같은 폴리에터 에스터나 폴리에터, 케톤, 알코올, 에스터 등을 예시할 수 있다. 용해도나 성막 후의 건조 공정을 고려하면, 환상 구조를 갖는 용매를 포함하는 태양이 바람직한 경우가 있다. 구체적으로는 사이클로알칸온과 같은 환상 케톤 화합물이고, 바람직하게는 사이클로헥산온을 들 수 있다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료는 고온에서 소정의 시간 처리하는 것이 바람직하다. 구체적인 온도 조건으로서는, 100∼400℃의 범위를 예시할 수 있다. 바람직한 하한치는 150℃ 이상, 더 바람직하게는 180℃ 이상이다. 한편, 바람직한 상한치는 300℃ 이하, 보다 바람직하게는 250℃ 이하이다. 이 이유로서, 본 발명자들은 이하와 같이 고찰하고 있다.
본 발명자들의 검토에 의하면, 본 실시형태에 따른 극성기를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 이용하여 형성한 막은, 가열 처리에 의해, 가열한 개소 전체가, 비교적 균일하게 극성의 변화가 일어나는 경우가 있는 모양(模樣)이다. 이 극성의 변화에 의해, 용매에 대한 용해도가 크게 변화하는 것, 즉 상기의 유기 용매에 녹기 어려워지는 것은 아닐까 생각하고 있다. 이는 본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머의 극성기의 변질에 의한 것일거라 본 발명자들은 생각하고 있다. 의사(疑似) 가교나 가교 구조를 취하고 있을 가능성도 생각된다. 그 중에서도, 예를 들면, 상기 화학식(2)의 구조를 포함하는 구성의 경우, 그 효과가 큰 태양, 즉 바람직한 태양이다. 이하, 좀 더 구체적으로 설명한다.
본 실시형태에 따른 환상 올레핀 폴리머를 포함하는 막의 극성을 변화시키기 위해서는 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 1종류 이상 포함하는 것이 중요한 경우가 있다. 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]가 가열에 의해 에터기, 싸이오에터기의 개렬(開裂)을 일으켜, 분자의 극성을 변화시킬 수 있다.
다른 태양으로서는, R1∼R8 중 적어도 1개가 알콕시카보닐기, 알콕시카보닐알킬기, 알콕시카보닐아릴기, 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기, 바람직하게는 3급 탄소가 결합하여 에스터기를 형성하는 알콕시카보닐기, 알콕시카보닐알킬기, 알콕시카보닐아릴기, 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기 또는 알콕시알킬옥시카보닐기를 1종류 이상 포함함으로써, 가열에 의해 카복실기가 생성되어, 분자의 극성을 보다 크게 변화시키는 것을 기대할 수 있다.
본 발명의 태양은 이와 같은 특징을 갖고 있으므로, 전술한 대로, 가교제의 함유율을 낮게 하더라도 충분히 높은 내인터믹싱 효과를 발현시킬 수 있다고 생각된다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료란, 반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서, 중간층과 기판(바람직하게는 요철 구조를 갖는 기판) 사이에 배치하는 층을 형성하기 위한 재료이다. 중간층과 기판 사이에 배치하는 층은, 통상, 포토리소그래피 프로세스에서 마스크의 패턴을 전사하는 레지스트 재료로 이루어지는 레지스트층을 기준으로 레지스트 하층막으로 불린다. 상기 기판의 레지스트 하층막과 접하는 표면은, 예를 들면, 실리카(SiO2)막, SiCN막, 실리카(SiO2)에 카본(C)을 도핑한 SiOC막이나, 메틸실록세인계 유기막(SOG), 수 nm 이하의 미소한 공공이 균일하게 분포한 실리카 절연막 등의 저유전 재료로 피막을 형성한 상태여도 된다.
상기 중간층은, 레지스트 패턴 형성 등에 있어서, 레지스트 하층막 및/또는 레지스트막이 갖는 기능을 보충하거나, 또는 이들이 갖고 있지 않는 기능을 부여하기 위해서 이들 기능을 갖는 층이다. 예를 들면, 반사 방지막(반사 방지층이라고도 한다)을 중간층으로서 형성한 경우, 레지스트 하층막의 반사 방지 기능을 보충할 수 있다. 또한, 하드 마스크층을 중간층으로서 형성한 경우, 현상 공정의 예를 들면, 알칼리 현상액을 사용할 때의 레지스트 하층막에 대한 영향을 억제, 및/또는 본 실시형태의 하층막을 에칭 후, 하층의 실리콘, 알루미늄, 니켈 등으로 이루어지는 기판을 에칭할 때의 레지스트 패턴 형성층의 에칭 내성 부족을 보충할 수 있다.
게다가, 본 실시형태의 하층막 상에 형성하는 중간층은 반사 방지층과 하드 마스크층 중 어느 하나 또는 양쪽을 구비한 구성이어도 되고, 층 구성은 본 실시형태의 하층막의 바로 위에는 반사 방지층을 형성해도 되고, 하드 마스크층을 형성해도 된다. 레지스트 재료, 가공 기판 등의 재료의 특성이나, 생산성을 고려하여 적합하게 선택된다.
상기 중간층은 유기 화합물이나 무기 산화물에 의해 형성할 수 있다. 상기 유기 화합물로서는, 예를 들면, DUV-42, DUV-44, ARC-28, ARC-29(모두 Brewer Science사제)나, AR-3, AR-19(모두 롬앤하스사제) 등을 들 수 있다. 또한, 상기 무기 산화물로서는, 예를 들면, NFC SOG 시리즈(JSR사제), CVD법에 의해 형성되는 폴리실록세인, 산화 타이타늄, 산화 알루미나, 산화 텅스텐 등을 이용할 수 있다.
상기 중간층을 형성하는 방법은 도포법이 바람직하다. 도포법을 이용한 경우, 레지스트 하층막을 형성 후, 중간층을 연속해서 형성할 수 있다.
도포법을 이용하여 중간층을 형성할 때에 이용하는 용매로서는, 예를 들면, 상기 스핀 코팅액용의 용매로서 예시한 것이 바람직하고, 그들 중에서도 PGMEA 등의 폴리에터나 폴리에터 에스터 등을 바람직한 예로서 들 수 있다.
또한, 중간층의 막 두께는 특별히 한정되지 않고, 중간층에 요구되는 기능에 따라서 적절히 선택되지만, 바람직하게는 1nm∼5μm, 보다 바람직하게는 5nm∼3μm, 더 바람직하게는 10nm∼0.3μm의 범위이다.
본 실시형태에 따른 하층막 형성용 재료에 관련된 바람직한 환상 올레핀 폴리머는, 상기한 대로 제 1 발명에 따른 환상 올레핀 폴리머와 마찬가지의 것을 이용할 수 있다. 그 때문에, 상세한 설명은 생략한다.
본 실시형태에 따른 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 형성 방법 및 패턴 형성 방법은, 제 1 발명에 따른 레지스트 하층막, 레지스트 하층막의 형성 방법, 패턴 형성 방법에 준하고 있다. 그 때문에, 상세한 설명은 생략한다.
이상, 본건 각 발명의 실시형태에 대하여 기술했지만, 이들은 본 발명의 예시이며, 상기 이외의 다양한 구성을 채용할 수도 있다.
또한, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서의 변형, 개량 등은 본 발명에 포함되는 것이다.
한편, 당연하지만, 전술한 본건 각 발명은 그 내용이 상반되지 않는 범위에서 조합할 수 있다.
[실시예]
이하, 본 실시형태를, 실시예·비교예를 참조하여 상세하게 설명한다. 본 실시형태는 이들 실시예의 기재에 전혀 한정되는 것은 아니다.
실시예·비교예에 있어서의 폴리머에 관한 분석법, 매립성 및 평탄성의 평가는 이하의 방법에 의해 실시했다.
[중량 평균 분자량(Mw) 및 분자량 분포(Mw/Mn)]
하기의 조건에서 겔 퍼미에이션 크로마토그래피(GPC)를 사용하여, 테트라하이드로퓨란(THF) 또는 트라이플루오로톨루엔(TFT)에 용해시킨 폴리머의 중량 평균 분자량(Mw) 및 수 평균 분자량(Mn)을 측정하고, 폴리스타이렌 스탠다드에 의해 분자량을 교정하여 산출했다.
검출기: 니혼분광사제 RI-2031 및 875-UV 또는 Viscotec사제 Model270, 직렬 연결 컬럼: Shodex K-806M, 804, 803, 802.5, 컬럼 온도: 40℃, 유량: 1.0ml/분, 시료 농도: 3.0∼9.0mg/ml.
[수소 첨가율 측정]
폴리머 시료를 중수소화 클로로폼에 용해시키고, 270MHz, 1H-NMR 스펙트럼의 케미컬 시프트 δ=5.0∼7.0ppm 범위에서 이중 결합 탄소의 수소에 귀속하는 피크의 적분값으로 측정했다.
[유리 전이 온도]
시마즈제작소사제 DSC-50을 이용하여, 측정 시료를 질소 분위하에서 10℃/분의 승온 속도로 가열하여 측정했다.
[휘발 성분의 평가 방법]
농도가 20질량%인 폴리머의 THF 용액을 직경 5mm의 알루미늄 접시에 30mg∼50mg의 중량으로 계량하고, 질소 기류하에서 200℃에서 3분간 소성하여 THF를 제거했다. 이어서, 실온까지 냉각해서 중량(W0)을 측정했다. 수지가 고화된 상태의 샘플을 이용하여, 질소 분위기하에서 시마즈제작소사제 TGA-60을 이용하여, 10℃/min의 승온 속도로 30∼300℃까지 시료를 가열하고, 온도의 상승과 함께 중량을 연속적으로 측정하고, 온도 대 중량의 차트를 얻었다. 이 중, 100∼250℃의 범위에서의 중량 감소량(W1)을 차트로부터 판독하고, 하기 식에 의해 휘발 성분의 발생량을 산출했다.
휘발 성분의 발생량(질량%)=W1/W0×100
[고체 점탄성 측정]
안톤파사제 MCR302(레오미터)를 사용하여, 질소 분위기하, 전단 모드로 측정 온도 범위 30∼300℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정했다. 보다 구체적으로는, 이하의 방법에 의해 측정했다.
처음에, 본 실시형태의 환상 올레핀 폴리머의 백색 분말분(10mg)을, 미리 230℃로 가열한 직경 8mm의 평행 원반의 중심에 두었다. 이어서, 원반 사이에 끼우고 질소 분위기하에서 용융시키고, 한 번 30℃까지 냉각했다. 그 후, 주파수 1Hz의 전단 모드로 상기의 승온 속도에 의해 샘플을 300℃까지 가열했다.
얻어진 가열 온도와 저장 탄성률(G') 및 손실 탄성률(G'')의 관계를 플롯한 그래프를 제작하고, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점의 온도를 확인했다. (도 1 참조)
[잔막률 측정]
환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께(α)nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성했다. 이어서, 얻어진 코팅막을 200℃에서 10분간 또는 30분간 처리했다. 실온으로 냉각 후, 코팅막을 20mm×10mm의 사이즈로 잘라냈다. 이 막을 유기 용매(프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA), 프로필렌 글라이콜 모노메틸 에터(PGME) 또는 PGME와 PGMEA의 질량비가 PGME/PGMEA=7/3인 혼합 용매)에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 코팅막 중의 잔존 용매를 제거했다. 이어서, 잔존 용매를 제거한 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출했다.
여기에서, 코팅막은 이하의 방법에 의해 제작했다.
본 실시형태의 환상 올레핀 폴리머를 10질량%로 유기 용매(프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA)와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액)에 용해시킨 용액을 조제하고, 얻어진 용액 2.5mL를 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 질소 분위기하 120℃에서 1분간 건조하고, 이어서 80℃에서 5시간 진공 건조했다. 이어서, 실온으로 냉각 후, 샘플을 20mm×20mm의 사이즈로 잘라내어, 코팅막으로 했다.
[매립성 평가를 위한 표면 요철 구조 형성 기판]
기판 A: 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40∼150nm, 볼록 볼록간 폭 40∼150nm의 라인&스페이스 패턴이 형성된, 사이즈가 3cm×3cm인 실리콘제 기판을 사용했다.
기판 B: 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40nm∼1000μm, 볼록 볼록간 폭 40nm∼1000μm의 라인&스페이스 패턴이 형성된, 사이즈가 3cm×3cm인 실리콘제 기판을 사용했다.
[매립성 평가]
소성 공정까지를 실시하고, 상기 실리콘제 기판의 요철 표면 상에 레지스트 하층막을 형성한 샘플을 나누어, 단면 관찰용의 표면 노출을 실시했다. 그 후, 니혼분광사제 주사형 전자 현미경 JSM-6701F(이하, SEM으로 표기한다)를 사용하여, 볼록 볼록간 폭이 40nm인 기판 A 단면 또는 a1=900μm, b1=1000nm, a2=40nm, b2=1000nm인 기판 B 단면을 관찰하여 매립성을 평가했다.
[평탄성의 평가]
상기의 매립성을 평가한 기판 A 단면 중 볼록 폭 40nm, 볼록 볼록간 폭 120nm의 에어리어의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 높이를 10점 계측하고, 평균값을 Hav로 했다. 이어서, 10점 계측한 높이 중 최대 높이(Hmax)와 최소 높이(Hmin)의 각각의 값으로부터 이하의 식에 의해, 평탄성의 지표를 나타내는 평탄도를 산출했다.
평탄도(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
또한, 상기의 매립성을 평가한 기판 B 단면 중, a1=900μm, b1=900μm, a2=40nm, b2=120nm의 에어리어의 각각의 패턴 영역에서 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 막 두께를 10점 측정하고, 각각의 평균값 H1(a1=900μm, b1=900μm)과 H2(a2=40nm, b2=120nm), H1과 H2의 평균값 H3을 구하고, 이하의 식에 의해, 평탄성의 지표를 나타내는 평탄도를 산출했다.
평탄도(ΔFT)=｜H1-H2｜/H3×100(%)
[n값과 k값의 측정]
니혼세미라보(주)사제 분광 엘립소미터 GES5E를 사용하여, 온도: 23∼25℃, 습도: 50∼55%의 환경에서, 실리콘 웨이퍼에 250nm의 두께로 코팅한 20mm×20mm 사이즈의 측정 샘플을 이용하여 임의의 3점을 측정했다. 측정 결과로부터, 193nm의 굴절률(n값)과 소쇠 계수(k값)를 산출하여 3점의 평균값으로부터 n값 및 k값을 각각 구했다.
여기에서, 측정 샘플은 이하의 방법에 의해 제작했다.
본 실시형태의 환상 올레핀 폴리머를 10질량%로 용해시킨 PGMEA 용액을 조제하고, 얻어진 용액을 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 질소 분위기하 200℃에서 3분간 소성했다. 실온으로 냉각 후, 샘플을 20mm×20mm의 사이즈로 잘라내어 측정용의 샘플로 했다.
[플라즈마 에칭 특성 평가]
알박사제 RIH1515Z 병행 평판형 플라즈마 처리 장치를 이용했다. 우선, 챔버 내에 샘플을 넣고, 챔버 내를 1Pa 이하로 감압하고, 이어서 챔버 내에 CHF3 가스를 30sccm으로 도입하고, 챔버 내의 압력을 7Pa로 유지한 후, 13.56MHz 고주파 전력을 인가하여 플라즈마 방전을 행하여, 플라즈마 에칭 처리했다. 플라즈마 에칭 처리는 30초간, 60초간 및 90초간 실시했다.
[에칭 레이트의 측정 방법]
니혼세미라보(주)사제 분광 엘립소미터 GES5E를 사용하여, 에칭 후의 기판의 표면의 막 두께를 3점 측정하고, 평균값으로부터 막 두께를 산출했다. 이어서, 에칭 전후의 막 두께로부터, 에칭에 의한 막 두께의 감소량을 산출하고, 가로축에 시간(sec), 세로축에 감소 막 두께량(nm)을 플롯했다. 얻어진 그래프의 기울기로부터, 에칭 레이트(nm/sec)를 산출했다.
[O2 에칭에 의한 애싱 특성 평가]
기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 100nm, 볼록 볼록간 폭 100nm의 라인&스페이스 패턴이 형성된 사이즈가 3cm×3cm인 실리콘제 기판 상에, 본 실시형태에 따른 레지스트 하층막을 형성했다.
상기 실리콘제 기판의 요철 표면 상에 레지스트 하층막을 형성한 샘플을 나누어, 그 중의 한쪽의 샘플편을 애싱 전의 단면 관찰용으로 해서 SEM에 의해 관찰을 행했다.
상기 샘플편의 다른 한쪽의 샘플편을 사용하여 O2 에칭에 의한 애싱 특성 평가를 이하의 방법으로 실시했다.
애싱 특성 평가는 상기 플라즈마 에칭 특성 평가에서 사용한 것과 동일한 플라즈마 처리 장치를 이용했다. 우선, 챔버 내에 샘플을 넣고, 챔버 내를 1Pa 이하로 감압하고, 이어서 챔버 내에 O2 가스를 30sccm으로 도입하고, 챔버 내의 압력을 7Pa로 유지했다. 그 후, 13.56MHz 고주파 전력을 인가하여 플라즈마 방전을 행하여, 플라즈마 에칭 처리했다. 플라즈마 에칭 처리는 60초간 실시했다.
상기의 플라즈마 에칭 처리 후, 애싱 후의 단면 관찰을 SEM에 의해 행하고, 플라즈마 에칭 전후의 SEM 관찰상을 비교하여 애싱 특성을 평가했다.
[중간층 형성]
온도: 23∼25℃, 습도: 50∼55%의 환경에서, 30mm×30mm 사이즈의 실리콘 웨이퍼에 본 실시형태의 환상 올레핀 폴리머를 10질량%로 용해시킨 PGMEA/사이클로헥산온=5/5 용액을, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 250nm의 두께로 스핀 코팅하고, 질소 분위기하 200℃에서 1분간 소성했다. 실온으로 냉각 후, 타이타늄 아이소프로폭사이드를 10질량%로 용해시킨 PGMEA 용액을 1000rpm, 10sec의 조건에서 스핀 코팅하고, 질소 분위기하 200℃에서 1분간 소성하여 평가용의 샘플을 제작하고, 단면을 TEM으로 관찰했다.
[실시예 1]
질소 분위기하, 자기 교반 장치를 구비한 5L의 오토클레이브 내에서, 구조 단위[A]를 갖는 테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센을 320g(2mol), 구조 단위[B]를 갖는 4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온을 304g(2mol) 및 1,5-헥사다이엔을 21g(0.25mol)을 테트라하이드로퓨란(이하, THF로 기재한다) 3.4kg에 용해시키고 교반을 행했다.
이것에 개환 메타세시스 중합 촉매로서 Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2를 612mg(0.8mmol) 가하고, 60℃에서 3시간 반응시켰다. 그 후, n-뷰틸알데하이드 173mg(2.4mmol)을 가하고, 냉각하여, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5700, Mw/Mn=1.61, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 메탄올을 이용하여, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액으로부터 환상 올레핀 폴리머를 석출하고, 80℃에서 감압 건조하는 것에 의해 백색 분말 고체(폴리머 1)를 얻었다.
폴리머 1의 유리 전이 온도는 151℃였다.
또한, 폴리머 1의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 1의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 173℃였다(도 1 참조).
이어서, 얻어진 폴리머 1을 10질량%의 농도로 용해시킨, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(이하, PGMEA로 표기한다)와 사이클로헥산온(이하, CH라고도 부른다)의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40∼150nm, 볼록 볼록간 폭 40∼150nm의 라인&스페이스 패턴을 형성한 실리콘 기판 A 표면에 도포했다. 그 후, 질소 분위기하에서 200℃, 3분간 가열했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 1의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.08이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 1은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 1의 층의 두께(Hav)는 300nm이고, 최대 높이(Hmax)는 301nm, 최소 높이(Hmin)는 300nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.3%였다.
[실시예 2]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 8-메톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 2.5kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=6300, Mw/Mn=1.50, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 2)를 얻었다.
폴리머 2의 유리 전이 온도는 150℃였다.
또한, 폴리머 2의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 2의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 167℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 2를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 2의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.04였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 2는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 299nm이고, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[실시예 3]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.1kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=7200, Mw/Mn=1.50, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 3)를 얻었다.
폴리머 3의 유리 전이 온도는 130℃였다.
또한, 폴리머 3의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 3의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 151℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 3을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 3의 굴절률(n값)은 1.68이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 3은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 3의 층의 두께는 302nm이고, 최대 높이(Hmax)는 303nm, 최소 높이(Hmin)는 301nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.7%였다.
[실시예 4]
구조 단위[A]를 갖는 8-메톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센 437g(2mol), 구조 단위[B]를 갖는 4-페닐-4-아자-10-옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3,5-다이온 121g(0.5mol) 및 1,5-헥사다이엔 21g(0.25mol)을 THF 3.7kg에 용해시키고, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.2kg을 얻었다.
이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 50.7%의 5% Rh 카본 11.4g(건조 질량 5.6g)을 가하고, 수소압 5MPa, 100℃에서 12시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 수소 첨가율=100몰%, Mw=7800, Mw/Mn=1.57, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=80/20이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 4)를 얻었다.
폴리머 4의 유리 전이 온도는 172℃였다.
또한, 폴리머 4의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 4의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 190℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 4를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 4의 굴절률(n값)은 1.71이고, 소쇠 계수(k값)는 0.09였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 4는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 4의 층의 두께는 310nm이고, 최대 높이(Hmax)는 311nm, 최소 높이(Hmin)는 309nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.6%였다.
[실시예 5]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.7kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=6800, Mw/Mn=2.84, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 5)를 얻었다.
폴리머 5의 유리 전이 온도는 72℃였다.
또한, 폴리머 5의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 5의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 84℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 5를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 5의 굴절률(n값)은 1.68이고, 소쇠 계수(k값)는 0.01이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 5는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 315nm이며, 평탄도(ΔFT1)는 0.0%였다.
[실시예 6]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5600, Mw/Mn=1.92, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 6)를 얻었다.
폴리머 6의 유리 전이 온도는 56℃였다.
또한, 폴리머 6의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 6의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 76℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 6을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 6의 굴절률(n값)은 1.78이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 6은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 311nm이며, 평탄도(ΔFT1)는 0.0%였다.
[실시예 7]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=7300, Mw/Mn=2.17, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 7)를 얻었다.
폴리머 7의 유리 전이 온도는 58℃였다.
또한, 폴리머 7의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 7의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 81℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 7을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 7의 굴절률(n값)은 1.78이고, 소쇠 계수(k값)는 0.01이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 7은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 305nm이며, 평탄도(ΔFT1)는 0.0%였다.
[실시예 8]
실시예 3과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.1kg을 얻었다. 이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 50.7%의 5% Rh 카본 11.4g(건조 질량 5.6g)을 가하고, 수소압 5MPa, 100℃에서 12시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 수소 첨가율=100몰%, Mw=9600, Mw/Mn=2.07, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 8)를 얻었다.
폴리머 8의 유리 전이 온도는 91℃였다.
또한, 폴리머 8의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 8의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 112℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 8을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 8의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 8은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 8의 층의 두께는 310nm이고, 최대 높이(Hmax)는 311nm, 최소 높이(Hmin)는 309nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.6%였다.
[실시예 9]
실시예 5와 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.7kg을 얻었다. 이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 50.7%의 5% Rh 카본 11.4g(건조 질량 5.6g)을 가하고, 수소압 5MPa, 100℃에서 12시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 수소 첨가율=100몰%, Mw=10400, Mw/Mn=3.18, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 9)를 얻었다.
폴리머 9의 유리 전이 온도는 45℃였다.
또한, 폴리머 9의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 9의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 50℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 9를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 9의 굴절률(n값)은 1.64이고, 소쇠 계수(k값)는 0.01이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 9는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 316nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[실시예 10]
구조 단위[A]를 갖는 바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔을 75g(0.8mol), 구조 단위[B]를 갖는 4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온을 487g(3.2mol)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.8kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5900, Mw/Mn=2.32, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=20/80이었다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 10)를 얻었다.
폴리머 10의 유리 전이 온도는 68℃였다.
또한, 폴리머 10의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 10의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 82℃였다.
이어서, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 10을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 10의 굴절률(n값)은 1.67이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 10은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 320nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[실시예 11]
실시예 5에서 얻어진 폴리머 5를 7질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40∼150nm, 볼록 볼록간 폭 40∼150nm의 라인&스페이스 패턴을 형성한 실리콘 기판 A 표면에 도포했다. 그 후, 질소 분위기하에서 200℃, 3분간 가열했다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 5는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 208nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[실시예 12]
실시예 5에서 얻어진 폴리머 5를 20질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 600rpm, 10sec의 조건에서, 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40∼150nm, 볼록 볼록간 폭 40∼150nm의 라인&스페이스 패턴을 형성한 실리콘 기판 A 표면에 도포했다. 그 후, 질소 분위기하에서 200℃, 3분간 가열했다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 5는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 1622nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[실시예 13]
실시예 8에서 얻어진 폴리머 8을 10질량%와, 가교제로서 3',4'-에폭시사이클로헥실메틸-3,4-에폭시사이클로헥세인카복실레이트(EEC)를 0.3질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 굴절률(n값)은 1.67이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
상기의 환상 올레핀 폴리머가 극성 변화를 일으키는 온도는, G'와 G''의 교점의 온도에 비해서 충분히 높은 것을 알고 있으므로, 상기 환상 올레핀 폴리머와 가교제로 이루어지는 하층막 형성용 재료의 G'와 G''의 교점의 온도도 마찬가지의 값이라고 간주해도 상관없다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 8의 층의 두께는 313nm이고, 최대 높이(Hmax)는 313nm, 최소 높이(Hmin)는 312nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.3%였다.
[실시예 14∼16]
실시예 5에서 얻어진 폴리머 5, 실시예 8에서 얻어진 폴리머 8, 실시예 9에서 얻어진 폴리머 9를 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 B의 요철면에 코팅한 샘플을 제작했다.
SEM에 의해 기판 B의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 5, 폴리머 8, 폴리머 9는 모두 a1=900μm, b1=900μm, a2=40nm, b2=120nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 폴리머 5의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 H1층의 두께는 306nm이고, H2층의 두께는 306nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
폴리머 8의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 H1층의 두께는 301nm이고, H2층의 두께는 302nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.3%였다.
폴리머 9의 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 H1층의 두께는 298nm이고, H2층의 두께는 298nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
[플라즈마 에칭 내성의 평가]
실시예 1∼실시예 10에서 합성한 폴리머 1∼폴리머 10을 각각 10질량%로 용해시킨, PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 실리콘 웨이퍼에 도포하고, 200℃에서 3분간 소성했다. 이어서, 각각의 샘플을 CHF3 가스 분위기하에서 30초간, 60초간 및 90초간 드라이 에칭했다. 에칭 전후의 막 두께로부터, 에칭에 의한 막 두께의 감소량을 산출하고, 가로축에 시간(sec), 세로축에 감소 막 두께량(nm)을 플롯했다. 얻어진 그래프의 기울기로부터 각 샘플의 에칭 레이트(nm/sec)를 산출했다.
실리콘 웨이퍼 표면에 형성한 SiO2[테트라에톡시실레인(TEOS)을 원료로 해서 실리콘 웨이퍼 표면에 소성하여 형성시킨다.]를 대상 물질로 해서 에칭 레이트를 측정하고, 이어서 [SiO2(nm/sec)/각 샘플(nm/sec)]의 값에 의해 에칭 내성을 평가했다. [SiO2(nm/sec)/각 샘플(nm/sec)]의 값이 높을수록 에칭 내성이 우수한 것을 의미한다.
폴리머 1이 4.5이고, 폴리머 2가 5.0이고, 폴리머 3이 5.0이고, 폴리머 4가 5.5이고, 폴리머 5가 4.5이고, 폴리머 6이 5.0이고, 폴리머 7이 5.0이고, 폴리머 8이 5.0이고, 폴리머 9가 5.0이고, 폴리머 9가 4.5여서, 어느 폴리머도 SiO2에 대해서 높은 에칭 내성을 나타냈다.
[O2 에칭에 의한 애싱성의 평가]
실시예 1, 실시예 2, 실시예 3 및 실시예 4에서 합성한 폴리머 1, 폴리머 2, 폴리머 3 및 폴리머 4를 각각 10질량%로 용해시킨, PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을, 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 100nm, 볼록 볼록간 폭 100nm의 라인&스페이스 패턴을 형성한 실리콘 기판 표면에 도포하고, 질소 분위기하 200℃에서 3분간 소성했다. 이어서, 각각의 샘플을 나누고, 그 중의 한쪽을 이용하여 애싱 전의 SEM 관찰을 행하고, 다른 한쪽을 이용하여 O2 가스 분위기하에서 60초간 드라이 에칭하여 애싱했다. 이어서, 애싱 후의 SEM 관찰을 행했다.
애싱 전후의 SEM 관찰상의 비교로부터, 폴리머 1, 폴리머 2, 폴리머 3 및 폴리머 4 중 어느 것에 있어서도 기판 상에 폴리머 잔사 없이 애싱 제거되어 있었다.
비교로서 Si 상의 치환기가 프로폭시메타크릴레이트인 실록세인 수지를 이용하여, 상기와 마찬가지인 방법으로 애싱 특성 평가를 실시한 바, SEM 관찰로 기판 상에 폴리머 잔사가 확인되고, 에칭 시간을 180초까지 더 늘려도 폴리머 잔사 없이 제거할 수는 없었다.
[비교예 1]
고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 255℃인 노볼락 수지 KA1165(DIC사제)를 10질량%로 용해시킨 사이클로헥산온 용액을 조제하고, 실시예 1과 마찬가지인 방법으로 실리콘 기판의 요철 표면에 스핀 코팅하고, 200℃에서 3분간 소성했다.
이어서, SEM에 의해 단면을 관찰한 결과, 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 오목부 에지의 부분에 보이드를 일으키고, 볼록 볼록간의 폭이 100nm인 에어리어에도 동일한 보이드를 일으키고 있었다. 또한, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 두께는 300nm이고, 최대 높이(Hmax)는 317nm, 최소 높이(Hmin)는 285nm이며, 평탄도(ΔFT)는 10.7%이고 대기면에는 변형을 일으켰다.
[비교예 2]
메틸메타크릴레이트를 10질량%로 용해시킨 사이클로헥산온 용액에, 광중합 개시제로서 2-벤질-2-다이메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-뷰탄-1-온을 메틸메타크릴레이트에 대해서 2질량% 용해시켜 용액을 조제했다.
이어서 실시예 1과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 B의 요철면에 상기 용액을 코팅한 샘플을 제작했다.
이어서, 1000mJ/cm2의 조사량으로 UV 조사하여 도포막을 경화시켰다.
이어서, SEM에 의해 단면을 관찰한 결과, a1=900μm, b1=900μm, a2=40nm, b2=120nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 볼록 볼록간의 폭이 900μm인 에어리어에 보이드를 일으키고, 볼록 볼록간의 폭이 40nm인 에어리어에도 동일한 보이드를 일으키고 있었다. 또한, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 H1층의 두께는 250nm이고, H2층의 두께는 264nm이며, 평탄도(ΔFT)는 11.2%였다. 또한 대기면에는 변형을 일으키고 있었다.
이상의 결과를 표 1 및 표 2에 나타낸다.
Figure 112019122902055-pct00009
Figure 112019122902055-pct00010
[실시예 17]
질소 분위기하, 자기 교반 장치를 구비한 5L의 오토클레이브 내에서, 구조 단위[A]를 갖는 테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센을 320g(2mol), 구조 단위[B]를 갖는 4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온을 304g(2mol) 및 1,5-헥사다이엔을 21g(0.25mol)을 테트라하이드로퓨란(이하, THF로 기재한다) 3.4kg에 용해시키고 교반을 행했다.
이것에 개환 메타세시스 중합 촉매로서 Mo(N-2,6-Pri 2C6H3)(CHCMe2Ph)(OCMe(CF3)2)2를 612mg(0.8mmol) 가하고, 60℃에서 3시간 반응시켰다. 그 후, n-뷰틸알데하이드 173mg(2.4mmol)을 가하고 냉각하여, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5700, Mw/Mn=1.61, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 메탄올을 이용하여, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액으로부터 환상 올레핀 폴리머를 석출하고, 80℃에서 감압 건조하는 것에 의해 백색 분말 고체(폴리머 14)를 얻었다.
폴리머 14의 유리 전이 온도는 151℃였다.
이어서, 얻어진 폴리머 14를 10질량%의 농도로 용해시킨, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(이하, PGMEA로 표기한다)와 사이클로헥산온(이하, CH라고도 부른다)의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 기판 표면에 높이 200nm, 볼록부 폭 40∼150nm, 볼록 볼록간 폭 40∼150nm의 라인&스페이스 패턴을 형성한 실리콘 기판 표면 A에 도포했다. 그 후, 질소 분위기하에서 200℃, 3분간 가열했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 14의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.08이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 14는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 14의 층의 두께는 300nm이고, 최대 높이(Hmax)는 301nm, 최소 높이(Hmin)는 300nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.3%였다.
얻어진 폴리머 14를 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGMEA에 대한 잔막률은 88%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGMEA에 대한 잔막률은 96%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGMEA에 침지시킨 경우의 잔막률은 9%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGME에 대한 잔막률은 99%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGME에 대한 잔막률은 99%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 2.4%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 94%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 14의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 98%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 3.7%였다.
[실시예 18]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 8-메톡시카보닐-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 2.5kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=6300, Mw/Mn=1.50, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 15)를 얻었다.
폴리머 15의 유리 전이 온도는 150℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 15를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 15의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.04였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 15는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 299nm이고, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
얻어진 폴리머 15를 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGMEA에 대한 잔막률은 58%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGMEA에 대한 잔막률은 92%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 0.3%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGME에 대한 잔막률은 60%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGME에 대한 잔막률은 94%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 60%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 15의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 93%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
[실시예 19]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 8-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.1kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=7200, Mw/Mn=1.50, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 16)를 얻었다.
폴리머 16의 유리 전이 온도는 130℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 16을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 16의 굴절률(n값)은 1.68이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 16은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 16의 층의 두께는 302nm이고, 최대 높이(Hmax)는 303nm, 최소 높이(Hmin)는 301nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.7%였다.
얻어진 폴리머 16을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGMEA에 대한 잔막률은 97%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGMEA에 대한 잔막률은 98%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 0.3%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGME에 대한 잔막률은 81%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGME에 대한 잔막률은 95%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 88%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 16의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 96%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
[실시예 20]
실시예 19와 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.1kg을 얻었다. 이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 50.7%의 5% Rh 카본 11.4g(건조 질량 5.6g)을 가하고, 수소압 5MPa, 100℃에서 12시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 수소 첨가율=100몰%, Mw=7800, Mw/Mn=1.57, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 17)를 얻었다.
폴리머 17의 유리 전이 온도는 91℃였다.
또한, 폴리머 17의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 17의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 112℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 17을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 17의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 17은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 17의 층의 두께는 310nm이고, 최대 높이(Hmax)는 311nm, 최소 높이(Hmin)는 309nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.6%였다.
얻어진 폴리머 17을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGMEA에 대한 잔막률은 75%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGMEA에 대한 잔막률은 93%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 0.5%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGME에 대한 잔막률은 66%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGME에 대한 잔막률은 92%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.2%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 69%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 17의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 92%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
[실시예 21]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.7kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=6800, Mw/Mn=2.84, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 18)를 얻었다.
폴리머 18의 유리 전이 온도는 72℃였다.
또한, 폴리머 18의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 18의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 84℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 18을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 18의 굴절률(n값)은 1.68이고, 소쇠 계수(k값)는 0.01이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 18은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 18의 층의 두께는 262nm이고, 최대 높이(Hmax)는 262nm, 최소 높이(Hmin)는 262nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
얻어진 폴리머 18을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGMEA에 대한 잔막률은 99%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGMEA에 대한 잔막률은 99%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 30%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGME에 대한 잔막률은 96%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGME에 대한 잔막률은 99%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 1.8%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 71%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 18의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 99%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 9.4%였다.
[실시예 22]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 5-(1-에틸사이클로펜틸옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5600, Mw/Mn=1.92, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 19)를 얻었다.
폴리머 19의 유리 전이 온도는 56℃였다.
또한, 폴리머 19의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 19의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 76℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 19를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 19의 굴절률(n값)은 1.78이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 19는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 19의 층의 두께는 264nm이고, 최대 높이(Hmax)는 266nm, 최소 높이(Hmin)는 264nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.8%였다.
얻어진 폴리머 19를 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGMEA에 대한 잔막률은 99%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGMEA에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 3.0%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGME에 대한 잔막률은 71%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGME에 대한 잔막률은 95%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 2.2%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 76%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 19의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 95%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 2.5%였다.
[실시예 23]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 5-(1-메틸사이클로헥실옥시카보닐)-바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.0kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=7300, Mw/Mn=2.17, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 20)를 얻었다.
폴리머 20의 유리 전이 온도는 58℃였다.
또한, 폴리머 20의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 20의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 81℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 20을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 20의 굴절률(n값)은 1.78이고, 소쇠 계수(k값)는 0.01이었다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 20은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 20의 층의 두께는 263nm이고, 최대 높이(Hmax)는 264nm, 최소 높이(Hmin)는 262nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.8%였다.
얻어진 폴리머 20을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGMEA에 대한 잔막률은 100%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGMEA에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 10%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGME에 대한 잔막률은 100%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGME에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 10%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 98%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 10%였다.
[실시예 24]
실시예 21과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.7kg을 얻었다. 이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 50.7%의 5% Rh 카본 11.4g(건조 질량 5.6g)을 가하고, 수소압 5MPa, 100℃에서 12시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 수소 첨가율=100몰%, Mw=10400, Mw/Mn=3.18, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=50/50이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 21)를 얻었다.
폴리머 21의 유리 전이 온도는 45℃였다.
또한, 폴리머 21의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 21의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 50℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 21을 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 21의 굴절률(n값)은 1.66이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 21은 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 21의 층의 두께는 273nm이고, 최대 높이(Hmax)는 273nm, 최소 높이(Hmin)는 273nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
얻어진 폴리머 21을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGMEA에 대한 잔막률은 79%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGMEA에 대한 잔막률은 97%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 0.8%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGME에 대한 잔막률은 74%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGME에 대한 잔막률은 93%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 6.2%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 76%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 21의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 94%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 6.0%였다.
[실시예 25]
구조 단위[A]를 갖는 바이사이클로[2.2.1]헵트-2-엔을 75g(0.8mol), 구조 단위[B]를 갖는 4,10-다이옥시-트라이사이클로[5.2.1.02,6]-8-데센-3-온을 487g(3.2mol)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 3.8kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=5900, Mw/Mn=2.32, 1HNMR로 해석한 구조 단위[A]와 구조 단위[B]의 몰비는 [A]/[B]=20/80이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 22)를 얻었다.
폴리머 22의 유리 전이 온도는 68℃였다.
또한, 폴리머 22의 휘발 성분의 발생량은 0.0질량%였다.
또한, 폴리머 22의 고체 점탄성 측정의 결과로부터 산출되는 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도는 82℃였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 폴리머 22를 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 폴리머 22의 굴절률(n값)은 1.67이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 폴리머 22는 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측한 어느 계측값도 260nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.0%였다.
얻어진 폴리머 22를 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 22의 PGMEA에 대한 잔막률은 99%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 20의 PGMEA에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 31%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 22의 PGME에 대한 잔막률은 98%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 22의 PGME에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 26%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 22의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 97%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 22의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 27%였다.
[실시예 26]
실시예 20에서 얻어진 폴리머 17을 10질량%와, 가교제로서 3',4'-에폭시사이클로헥실메틸-3,4-에폭시사이클로헥세인카복실레이트(EEC)를 0.3질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 상기의 실리콘 기판 A의 요철면에 코팅한 샘플을 제작했다.
엘립소미터로 측정한 굴절률(n값)은 1.67이고, 소쇠 계수(k값)는 0.02였다.
상기의 환상 올레핀 폴리머가 극성 변화를 일으키는 온도는, G'와 G''의 교점의 온도인 112℃에 비해서 충분히 높은 것을 알고 있으므로, 상기 환상 올레핀 폴리머와 가교제로 이루어지는 하층막 형성용 재료의 G'와 G''의 교점의 온도도 마찬가지의 값이라고 간주해도 상관없다.
SEM에 의해 기판 A의 단면을 관찰한 결과, 볼록 볼록간의 협선폭 40nm(높이 200nm)의 홈에 대해서 보이드 등의 결함 없이 균일하게 매립되어 있었다. 또, 오목부 바닥면으로부터 대기면까지의 거리를 10점 계측해서 평균화한 폴리머 8의 층의 두께는 313nm이고, 최대 높이(Hmax)는 313nm, 최소 높이(Hmin)는 312nm이며, 평탄도(ΔFT)는 0.3%였다.
얻어진 폴리머 17을 10질량%와, 가교제로서 3',4'-에폭시사이클로헥실메틸-3,4-에폭시사이클로헥세인카복실레이트(EEC)를 0.3질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 감압하 80℃에서 5시간 건조했다(중간 단계).
이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 막의 PGMEA에 대한 잔막률은 95%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 막의 PGMEA에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계의 막을 그대로 PGMEA에 침지시킨 경우, 잔막률은 0.5%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 막의 PGME에 대한 잔막률은 94%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 막의 PGME에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.2%였다.
또한, 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 막의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 94%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 막의 PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 100%였다.
참고 정보: 상기 중간 단계에서의 막을 200℃에서 처리하지 않고서 PGME/PGMEA(7/3)에 침지시킨 경우의 잔막률은 0.3%였다.
[비교예 3]
폴리하이드록시스타이렌(이하, PHS로 표기한다. Polysciences, Inc. Mw=5300, Mw/Mn=1.48)을 사용한 것 이외에는 실시예 17과 마찬가지로 해서 10질량%로 용해시킨 PGMEA 용액을 조제하고, 4인치의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅하고, 200℃에서 10분간 소성했다.
실시예 17과 마찬가지로 해서 잔막률을 평가한 결과, PGMEA에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 PHS의 잔막률은 0.2%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 PHS의 잔막률은 0.4%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 PHS의 잔막률은 0.6%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGMEA에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다.
또한, PGME에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 PHS는 0.1%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 PHS는 0.4%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 PHS는 0.5%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGME에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다. 또한, PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 PHS는 0.1%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 PHS는 0.4%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 PHS는 0.5%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGME/PGMEA(7/3)에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다.
[비교예 4]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 5,5,6-트라이플루오로-6-(트라이플루오로메틸)-바이사이클로 8-[2.2.1]헵트-2-엔으로 변경하고, 구조 단위[B]를 갖는 모노머를 사용하지 않은 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.1kg을 얻었다.
이어서, 얻어진 개환 메타세시스 중합체 용액에, 수소 첨가 촉매로서 함수율 52.0%의 5% Pd 카본 51.7g(건조 질량 24.8g)을 가하고, 수소압 8.5MPa, 130℃에서 20시간 수소 첨가 반응을 행했다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=9300, Mw/Mn=1.76이었다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 23)를 얻었다.
실시예 17과 마찬가지로 해서 잔막률을 평가한 결과, PGMEA에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 폴리머 23의 잔막률은 0.3%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 23의 잔막률은 0.5%였다. 또한, 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 23의 잔막률은 0.8%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGMEA에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다.
또한, PGME에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 폴리머 23은 25%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 23은 27%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 23은 28%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGME에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다. 또한, PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률은 감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 폴리머 23은 33%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 가열해서 얻어진 폴리머 23은 35%였다. 질소 분위기하에서 200℃, 30분 가열해서 얻어진 폴리머 23은 35%여서, 어느 가열 시간에 있어서도 PGME/PGMEA(7/3)에 대해서 불용화되는 모습은 관찰되지 않았다.
[비교예 5]
구조 단위[A]를 갖는 모노머를 테트라사이클로[4.4.0.12,5.17,10]-3-도데센으로 변경하고, 구조 단위[B]를 갖는 모노머를 사용하지 않은 것 이외에는, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로, 개환 메타세시스 중합체 용액 4.2kg을 얻었다. 얻어진 폴리머는 중합률=100%, Mw=6800, Mw/Mn=1.55였다.
이어서, 실시예 17과 마찬가지인 방법으로 석출, 건조해서 백색 분말 고체(폴리머 24)를 얻었다.
감압하 80℃에서 5시간 건조만 한 폴리머 24의 잔막률은, PGMEA에 침지하자 팽윤이라고 생각되는 현상으로 백화되었기 때문에 엘립소미터로 측정할 수 없었다. 질소 분위기하에서 200℃, 10분 또는 30분 가열해서 얻어진 폴리머 24의 잔막률도 마찬가지로 백화되었기 때문에 엘립소미터로 측정할 수 없었다. PGME, PGME/PGMEA(7/3)에 대한 잔막률도 PGMEA와 마찬가지로, 침지하면 팽윤이라고 생각되는 현상으로 백화되었기 때문에 엘립소미터로 측정할 수 없었다.
이상의 잔막률의 결과를 표 3 및 표 4에 나타낸다.
Figure 112019122902055-pct00011
Figure 112019122902055-pct00012
[실시예 27]
실시예 21에서 얻어진 폴리머 18을 10질량%의 농도로 용해시킨, PGMEA와 사이클로헥산온의 질량비가 PGMEA/사이클로헥산온=5/5가 되는 용액을 조제하고, 1000rpm, 10sec의 조건에서, 30mm 평방의 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅했다. 이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 1분 가열했다. 실온으로 냉각 후, 타이타늄 테트라아이소프로폭사이드를 10질량%의 농도로 용해시킨 PGMEA 용액을 1000rpm, 10sec의 조건에서, 이 웨이퍼 상에 추가로 스핀 코팅했다. 이어서, 질소 분위기하에서 200℃, 1분 가열하고, 폴리머 18의 층 상에 TiO2를 덧칠한 웨이퍼를 얻었다.
TEM에 의해 단면을 관찰한 결과, 폴리머 18과 TiO2의 계면은 명료하고 평탄했다.
[실시예 28]
폴리머 18을 실시예 22에서 얻어진 폴리머 19로 변경한 것 이외에는, 실시예 27과 마찬가지로 해서 폴리머 19의 층 상에 TiO2를 덧칠한 웨이퍼를 얻었다.
TEM에 의해 단면을 관찰한 결과, 폴리머 19와 TiO2의 계면은 명료하고 평탄했다. 단면 사진을 도 4에 나타낸다.
[비교예 6]
폴리머 18을 폴리하이드록시스타이렌(PHS)으로 변경한 것 이외에는, 실시예 27과 마찬가지로 해서 PHS의 층 상에 TiO2를 덧칠한 웨이퍼를 얻었다.
TEM에 의해 단면을 관찰한 결과, PHS와 TiO2 사이에 명료한 계면은 존재하지 않고, 타이타늄 테트라아이소프로폭사이드의 PGMEA 용액을 스핀 코팅했을 때에 PHS가 용해되어 완전히 섞였다고 생각된다.
이상의 결과로부터, 본 발명에 있어서의 재료를 레지스트 하층막으로서 사용한 경우, 요철이 있는 웨이퍼 표면을 평탄하게 하는 것이 가능하고, 게다가 중간층 또는 레지스트층을 레지스트 하층막 상에 스핀 코팅으로 형성할 때에, 전혀 인터믹싱을 일으키지 않는 것을 알 수 있다.
[산업상의 이용 가능성]
본건 제 1 발명의 하층막 형성용 재료는, 충분한 광학 특성 및 에칭 내성을 만족시킴과 함께 평탄성이 우수하고, 휘발분의 발생량도 억제된 레지스트 하층막을 제공할 수 있다. 이에 의해, 반도체 디바이스 제조 공정에 있어서, 높은 집적도의 반도체 회로를 얻을 수 있다.
본건 제 2 발명의 하층막 형성용 재료는, 중간층과 레지스트 하층막의 밀착성이 우수함과 함께 평탄성이 우수한 적층체를 실현할 수 있다. 이에 의해, 반도체 디바이스 제조 공정에 있어서, 높은 집적도의 반도체 회로를 얻을 수 있다.
이 출원은 2017년 5월 31일에 출원된 일본 출원 특원 2017-108506호 및 2017년 10월 6일에 출원된 일본 출원 특원 2017-196260호를 기초로 하는 우선권을 주장하고, 그의 개시를 여기에 원용한다.
본 발명은 이하의 태양을 포함한다.
1.
다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하고,
상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
[화학식 9]
Figure 112019122902055-pct00013
(상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
[화학식 10]
Figure 112019122902055-pct00014
(상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
2.
1.에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 50∼250℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 80℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
3.
1. 또는 2.에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 1에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 휘발 성분의 발생량이, 상기 환상 올레핀 폴리머의 전체를 100질량%로 했을 때, 0.0질량% 이상 1.0질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 1: 상기 환상 올레핀 폴리머를 테트라하이드로퓨란에 용해시켜 폴리머 농도가 20질량%인 용액을 제작하고, 얻어진 용액을 알루미늄 접시에 계량하고, 이어서 질소 기류하, 200℃에서 3분간 가열하여 테트라하이드로퓨란을 제거하고, 이어서 실온까지 냉각해서 상기 환상 올레핀 폴리머를 고화시키고, 질소 분위기하에서, 30∼300℃의 온도 범위, 10℃/min의 승온 속도로 상기 환상 올레핀 폴리머를 가열하고, 100∼250℃의 범위에 있어서의 중량 감소량으로부터, 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 상기 휘발 성분의 발생량을 산출한다)
4.
1. 내지 3. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
5.
1. 내지 4. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
6.
1. 내지 5. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
7.
1. 내지 6. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
8.
다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
환상 올레핀 폴리머를 포함하는 막의 재료이며,
상기 환상 올레핀 폴리머 자신은, 유기 용매에 적어도 0.01질량% 이상 50질량% 이하의 농도에서 용해 가능하고,
상기 막에 있어서, 하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 50% 이상 100% 이하를 만족시키는 것을 특징으로 하는 하층막 형성용 재료.
(방법 4: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 상기 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 유기 용매(프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트(PGMEA))에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 상기 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 상기 잔존 용매를 제거한 상기 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.)
9.
8.에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
상기 환상 올레핀 폴리머는, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖고,
상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
[화학식 11]
Figure 112019122902055-pct00015
(상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
[화학식 12]
Figure 112019122902055-pct00016
(상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
10.
8. 또는 9.에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
11.
8. 내지 10. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
12.
8. 내지 11. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
(방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
13.
8. 내지 12. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료에 있어서,
요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
14.
1. 내지 13. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막.
15.
1. 내지 13. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 도막을 기판 상에 형성하는 공정을 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
16.
15.에 기재된 레지스트 하층막의 제조 방법에 있어서,
상기 도막을 가열하는 공정을 추가로 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
17.
기판과,
상기 기판의 한쪽 면에 형성된, 1. 내지 13. 중 어느 하나에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막
을 구비하는 적층체.
18.
17.에 기재된 적층체에 있어서,
상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)에 있어서의 하기 식에 의해 산출되는 평탄도(ΔFT)가 0% 이상 5% 이하인 적층체.
평탄도(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
(여기에서, 상기 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최대값을 Hmax로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최소값을 Hmin으로 한다)
19.
17. 또는 18.에 기재된 적층체에 있어서,
상기 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav가 5nm 이상 500nm 이하인 적층체.
(여기에서, 상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 한다)
20.
17. 내지 19. 중 어느 하나에 기재된 적층체에 있어서,
상기 기판은 적어도 한쪽 표면에 요철 구조를 갖고,
상기 요철 구조 상에 상기 레지스트 하층막이 형성되어 있고,
상기 요철 구조는 높이가 5nm 이상 500nm 이하이며, 볼록 볼록간의 간격이 1nm 이상 10mm 이하인 적층체.

Claims (31)

  1. 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
    하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖는 환상 올레핀 폴리머를 포함하고,
    상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
    [화학식 1]
    Figure 112019122902055-pct00017

    (상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
    [화학식 2]
    Figure 112019122902055-pct00018

    (상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
  2. 제 1 항에 있어서,
    레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 30∼300℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 40℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
  3. 제 1 항에 있어서,
    레오미터를 이용하여, 질소 분위기하, 전단 모드, 측정 온도 범위 30∼300℃, 승온 속도 3℃/min, 주파수 1Hz의 조건에서 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 40℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 고체 점탄성에 있어서의, 저장 탄성률(G') 곡선과 손실 탄성률(G'') 곡선의 교점을 나타내는 온도가 80℃ 이상 200℃ 이하인 하층막 형성용 재료
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하기 방법 1에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 휘발 성분의 발생량이, 상기 환상 올레핀 폴리머의 전체를 100질량%로 했을 때, 0.0질량% 이상 1.0질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 1: 상기 환상 올레핀 폴리머를 테트라하이드로퓨란에 용해시켜 고형분 농도가 20질량%인 용액을 제작하고, 얻어진 용액을 알루미늄 접시에 계량하고, 이어서 질소 기류하, 200℃에서 3분간 가열하여 테트라하이드로퓨란을 제거하고, 이어서 실온까지 냉각해서 상기 환상 올레핀 폴리머를 고화시키고, 질소 분위기하에서, 30∼300℃의 온도 범위, 10℃/min의 승온 속도로 상기 환상 올레핀 폴리머를 가열하고, 100∼250℃의 범위에 있어서의 중량 감소량으로부터, 상기 환상 올레핀 폴리머 중의 상기 휘발 성분의 발생량을 산출한다)
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
  8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 2: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 하층막 형성용 재료의 상기 굴절률(n값)로 한다)
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 3: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 하층막 형성용 재료의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
  11. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
  12. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하층막 형성용 재료에 포함되는 폴리머 성분의 전체 함유량을 100질량부로 했을 때, 상기 하층막 형성용 재료 중의 가교제의 함유량이 5질량부 미만인 하층막 형성용 재료.
  13. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하층막 형성용 재료 중의 상기 환상 올레핀 폴리머의 함유량이, 상기 하층막 형성용 재료의 전체를 100질량%로 했을 때, 50질량% 이상 100질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
  14. 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
    환상 올레핀 폴리머를 포함하는 막의 재료이며,
    상기 환상 올레핀 폴리머 자신은, 유기 용매에 적어도 0.01질량% 이상 50질량% 이하 중 어느 농도에서 용해 가능하고,
    상기 막에 있어서, 하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 잔막률이 50% 이상 100% 이하를 만족시키는 것을 특징으로 하는 하층막 형성용 재료.
    (방법 4: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 상기 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 상기 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 상기 잔존 용매를 제거한 상기 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.)
  15. 다층 레지스트 프로세스에 이용되는 레지스트 하층막을 형성하기 위한 하층막 형성용 재료로서,
    환상 올레핀 폴리머를 포함하고,
    하기 방법 4에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 잔막률이 50% 이상 100% 이하를 만족시키는 하층막 형성용 재료.
    (방법 4: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께(α)가 200nm 이상 500nm 이하인 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성한다. 이어서, 얻어진 상기 코팅막을 200℃에서 10분간 처리한다. 이어서, 프로필렌 글라이콜-1-모노메틸 에터-2-아세테이트에 23℃에서 10분간 침지하고, 이어서 150℃에서 3분간의 조건에서 건조하여, 상기 코팅막 중의 잔존 용매를 제거한다. 이어서, 상기 잔존 용매를 제거한 상기 코팅막의 두께(β)를 측정하고, 잔막률(=β/α×100)(%)을 산출한다.)
  16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 환상 올레핀 폴리머는, 하기 화학식(1)로 표시되는 반복 구조 단위[A] 및 하기 화학식(2)로 표시되는 반복 구조 단위[B]를 갖고,
    상기 환상 올레핀 폴리머에 있어서의 상기 구조 단위[A]와 상기 구조 단위[B]의 몰비 [A]/[B]가 5/95 이상 95/5 이하인 하층막 형성용 재료.
    [화학식 3]
    Figure 112019122902055-pct00019

    (상기 화학식(1) 중, R1∼R4 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R1∼R4는 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타낸다.)
    [화학식 4]
    Figure 112019122902055-pct00020

    (상기 화학식(2) 중, R5∼R8 중 적어도 1개가, 수소, 탄소수 1∼10의 알킬기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 탄소수 6∼20의 아릴옥시기, 탄소수 2∼10의 알콕시알킬기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시알킬기, 탄소수 2∼20의 알콕시카보닐기, 탄소수 3∼10의 다이알킬아미노카보닐기, 탄소수 7∼20의 아릴옥시카보닐기, 탄소수 8∼20의 알킬아릴아미노카보닐기, 탄소수 3∼30의 알콕시카보닐알킬기, 탄소수 8∼30의 알콕시카보닐아릴기, 탄소수 8∼20의 아릴옥시카보닐알킬기, 탄소수 3∼20의 알콕시알킬옥시카보닐기 및 탄소수 4∼30의 알콕시카보닐알킬옥시카보닐기로부터 선택되고, R5∼R8이 서로 결합하여 환 구조를 형성하고 있어도 되며, n은 0∼2의 정수를 나타내고, X1은 -O- 또는 -S-를 나타낸다.)
  17. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 이용하여 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 폴리스타이렌 환산의 중량 평균 분자량(Mw)이 1000 이상 20000 이하인 하층막 형성용 재료.
  18. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 2: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 굴절률(n값)로 한다)
  19. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    하기 방법 2에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)이 1.5 이상 2.0 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 2: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 파장 193nm에 있어서의 굴절률(n값)을 상기 하층막 형성용 재료의 상기 굴절률(n값)로 한다)
  20. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 환상 올레핀 폴리머의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 3: 상기 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 환상 올레핀 폴리머의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
  21. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    하기 방법 3에 의해 측정되는 상기 하층막 형성용 재료의 소쇠 계수(k값)가 0.0001 이상 0.5 이하인 하층막 형성용 재료.
    (방법 3: 상기 하층막 형성용 재료로 이루어지는 두께 250nm의 코팅막을 실리콘 웨이퍼 상에 형성하고, 얻어진 상기 코팅막의 소쇠 계수(k값)를 상기 하층막 형성용 재료의 상기 소쇠 계수(k값)로 한다)
  22. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    요철 구조를 갖는 기판의 상기 요철 구조 상에 형성되고, 또한 상기 요철 구조에 있어서의 오목부를 메우기 위한 하층막에 이용되는 하층막 형성용 재료.
  23. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 하층막 형성용 재료에 포함되는 폴리머 성분의 전체 함유량을 100질량부로 했을 때, 상기 하층막 형성용 재료 중의 가교제의 함유량이 5질량부 미만인 하층막 형성용 재료.
  24. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 하층막 형성용 재료 중의 상기 환상 올레핀 폴리머의 함유량이, 상기 하층막 형성용 재료의 전체를 100질량%로 했을 때, 50질량% 이상 100질량% 이하인 하층막 형성용 재료.
  25. 제 1 항, 제 14 항 및 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막.
  26. 제 1 항, 제 14 항 및 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 도막을 기판 상에 형성하는 공정을 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 도막을 가열하는 공정을 추가로 포함하는 레지스트 하층막의 제조 방법.
  28. 기판과,
    상기 기판의 한쪽 면에 형성된, 제 1 항, 제 14 항 및 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 하층막 형성용 재료를 포함하는 레지스트 하층막
    을 구비하는 적층체.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)에 있어서의 하기 식에 의해 산출되는 평탄도(ΔFT)가 0% 이상 5% 이하인 적층체.
    평탄도(ΔFT)=[(Hmax―Hmin)/Hav]×100(%)
    (여기에서, 상기 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최대값을 Hmax로 하고, 상기 레지스트 하층막의 막 두께의 최소값을 Hmin으로 한다)
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 레지스트 하층막의 막 두께의 평균값 Hav가 5nm 이상 1000nm 이하인 적층체.
    (여기에서, 상기 레지스트 하층막의 상기 기판과는 반대측의 표면(α)의 임의의 10개소에 있어서, 상기 레지스트 하층막의 막 두께를 측정하여, 그들의 평균값을 Hav로 한다)
  31. 제 28 항에 있어서,
    상기 기판은 적어도 한쪽 표면에 요철 구조를 갖고,
    상기 요철 구조 상에 상기 레지스트 하층막이 형성되어 있고,
    상기 요철 구조는 높이가 5nm 이상 500nm 이하이며, 볼록 볼록간의 간격이 1nm 이상 10mm 이하인 적층체.
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