JP2021048239A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】酸化膜と導電膜との密着性を高めつつ、導電膜の抵抗を低減することが可能な半導体装置を提供する。【解決手段】一実施形態に係る半導体装置は、第１原子を含む酸化膜と、酸化膜上に設けられ、金属原子および酸素原子を含み、導電性を有する導電膜と、を備える。導電膜における酸素原子の体積密度が、５．００×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満である。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、半導体装置およびその製造方法に関する。
酸化膜上に直接金属膜を形成する場合、金属と酸化膜との密着性は弱いため、金属膜が剥がれる可能性がある。そこで、酸化膜と金属膜との間に金属窒化膜を形成する技術が知られている。しかし、金属窒化物の比抵抗は金属に比べて高いため、金属窒化膜および金属膜を含む導電膜は、全体的に高抵抗になる。
特開昭６１−２０３６５２号公報
本発明が解決しようとする課題は、酸化膜と導電膜との密着性を高めつつ、導電膜の抵抗を低減することが可能な半導体装置およびその製造方法を提供することである。
一実施形態に係る半導体装置は、第１原子を含む酸化膜と、酸化膜上に設けられ、金属原子および酸素原子を含み、導電性を有する導電膜と、を備える。導電膜における酸素原子の体積密度が、５．００×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満である。
第１実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。 第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。 酸化膜と導電膜との界面の状態を模式的に示す図である。 タングステンと酸素の状態図の一例である。 第２実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。 第３実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。本実施形態に係る半導体装置１は、基板１０と、酸化膜２０と、導電膜３０と、を備える。
基板１０は、例えばシリコン基板である。基板１０上には、酸化膜２０が形成されている。酸化膜２０には、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）または酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）が含まれている。酸化膜２０上には、導電膜３０が形成されている。
導電膜３０には、金属および酸素が含まれている。この金属は、例えば、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、タンタル（Ｔａ）、またはニオブ（Ｎｂ）である。導電膜３０は、導電性を有し、電気抵抗率（比抵抗）が例えば１．０×１０６μΩ/ｃｍ以下の膜である。
以下、本実施形態に係る半導体装置１の製造方法を説明する。ここでは、導電膜３０の製造工程を説明する。
まず、図２に示すように、基板１０は、ステージ１００に固定された状態でチャンバ１０１内に収容される。このとき、基板１０上には、酸化膜２０が既に形成されている。本実施形態では、酸化膜２０は酸化シリコン膜である。
続いて、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）によって、酸化膜２０上に導電膜３０を形成する。具体的には、金属および酸素を含む材料ガス２０１と、材料ガス２０１に含まれた金属を還元する還元ガス２０２と、を交互にチャンバ１０１内に導入する。このとき、キャリアガス２０３は、材料ガス２０１と還元ガス２０２との間に導入される。キャリアガス２０３によって、チャンバ１０１内に残留したガスが排出される。
本実施形態では、材料ガス２０１は、二塩化酸化タングステン（ＷＯ２Ｃｌ２）を含んだガスである。還元ガス２０２は、水素（Ｈ２）ガスである。キャリアガス２０３は、アルゴン（Ａｒ）ガスである。
図３（ａ）および図３（ｂ）は、酸化膜２０と導電膜３０との界面の原子の状態を模式的に示す図である。上述した材料ガス２０１、還元ガス２０２、およびキャリアガス２０３をチャンバ１０１内に導入すると、図３（ａ）に示すように、タングステンおよび酸素を含んだ導電膜３０が、酸化膜２０上に形成される。
酸素原子は、一般的にシリコン原子と結合しやすい性質を有する。そのため、図３（ｂ）に示すように、導電膜３０と酸化膜２０との界面において、導電膜３０に含まれた酸素原子は、酸化膜２０に含まれたシリコン原子と結合される。換言すると、導電膜３０に含まれた金属原子が、酸素原子を介して酸化膜２０中のシリコン原子と結合される。
したがって、本実施形態によれば、導電膜３０と酸化膜２０との間に高抵抗な金属窒化膜を形成しなくても、導電膜３０と酸化膜２０との密着性を高めることができる。
また、本実施形態では、導電膜３０に含まれる金属原子（タングステン原子）と酸素原子の結合エネルギーは、酸化膜２０におけるシリコン原子と酸素原子の結合エネルギーよりも小さい。そのため、導電膜３０と酸化膜２０との界面では、導電膜３０に含まれる酸素原子は、金属原子よりも寧ろ酸化膜２０に含まれたシリコン原子と結合しようとする。これにより、導電膜３０と酸化膜２０との密着性をより一層高めることができる。その一方で、本実施形態では、導電膜３０中の酸素濃度が高いと、金属酸化物が導電膜３０に生成されやすくなって、導電膜３０の比抵抗が上昇する事態を招く。
図４は、タングステンと酸素の状態図の一例である。図４に示す状態図は、Bin. Tern. Phase Diagrams Columbium, Molybdenum, Tantalum, Tungsten, Ad 407 987,1963, ,,1-127を参照したものである。図４に示す状態図によれば、最も酸素原子比率が低いタングステン酸化物は、三酸化五タングステン（Ｗ５Ｏ３）である。この三酸化五タングステンに占める酸素濃度は、約３７．５ａｔｏｍ％である。導電膜３０膜中の酸素濃度が３７．５ａｔｏｍ％を超えると、タングステン酸化物が生成され、これにより導電膜３０の比抵抗が上昇する。
タングステンの単位体積当たりの原子数は、約６．３×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３であるので、その３７．５％に相当する酸素原子の体積密度は、約２．３８×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３となる。したがって、酸化膜２０と導電膜３０との高い密着性を確保しつつ、導電膜３０の比抵抗の上昇を抑え、導電性を有するためには、導電膜３０における酸素原子の体積密度は、２．３８×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満であることが望ましい。
また、下記の表に示すように、タングステン以外の金属も同様に、状態図等を用いて、導電性を有するための酸素原子の体積密度の上限値を求めることができる。
Figure 2021048239
一方で、密着性の観点から、導電膜３０は一定数以上の体積密度を有することが望ましい。例えば、導電膜３０は酸素原子を１．０×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上含有することにより、酸化膜との密着性をより高めることができる。
また、導電膜３０を形成するときには、導電膜３０に含まれる金属と酸素とが結合した金属酸化物の生成を抑制するために、基板１０の温度（成膜温度）を、その金属酸化物の昇華温度よりも高く設定することが望ましい。例えば、基板１０の温度が７５０℃よりも高いと、タングステン酸化物を昇華させることが可能となる。その結果、導電膜３０におけるタングステン酸化物の生成を抑制することができる。また、導電膜３０に含まれる金属がモリブデンの場合、モリブデン酸化物は４００〜６００℃で昇華する。そのため、基板１０の温度を４００℃よりも高く設定すると、モリブデン酸化物の生成を抑制することができる。
なお、本実施形態では、材料ガス２０１が酸素を含んでいるが導電膜３０の成膜方法はこれに限定されない。材料ガス２０１、還元ガス２０２およびキャリアガス２０３のうちの少なくとも一つが酸素を含む組み合わせで導電膜３０を形成すればよい。
例えば、タングステン化合物（Ｗ（ＣＯ）６、ＷＦ６、ＷＣｌ６、ＷＣｌ５、ＷＯ２Ｃｌ２、ＷＯＣｌ４、Ｗ（ＣＯ）６）を含む材料ガス２０１と、水素（Ｈ２）、二酸化窒素（ＮＯ２）、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）、一酸化炭素（ＣＯ）、酸素（Ｏ２）、またはオゾン（Ｏ３）を含む還元ガス２０２と、アルゴン（Ａｒ）、窒素（Ｎ２）、または二酸化炭素（ＣＯ２）を含むキャリアガス２０３のうち、少なくとも１つが酸素を含む組合せを用いると、導電膜３０中にタングステンおよび酸素が含まれるため、導電膜３０と酸化膜２０との密着性が向上する。ここでは、タングステンを例に記載したが、他の金属元素でも同様に実現可能である。
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。上述した第１実施形態に係る半導体装置１と同様の構成要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
図５に示すように、本実施形態に係る半導体装置２は、導電膜３０の構造が第１実施形態と異なる。第１実施形態に係る導電膜３０は１層構造であるのに対して、本実施形態に係る導電膜３０は、第１層３１および第２層３２を有する２層構造である。
第１層３１は、酸化膜２０に接触し、金属および酸素を含んでいる。第１層３１は、上述した第１実施形態に係る導電膜３０と同様の製造工程によって形成される。例えば、二塩化二酸化タングステンを含む材料ガス２０１、水素を含む還元ガス２０２、およびアルゴンを含むキャリアガス２０３を用いてＣＶＤを行うと、タングステンおよび酸素を含む第１層３１を、酸化膜２０上に形成することができる。このとき、厚い第１層３１が形成されると、抵抗が高くなってしまう。そのため、第１層３１の厚さは、１０ｎｍ以下であることが望ましい。
第２層３２は、第１層３１上に積層される。第２層３２は、第１層３１と異なる材料ガス２０１を用いて形成される。例えば、六フッ化タングステン（ＷＦ６）を含む材料ガス２０１、水素を含む還元ガス２０２、およびアルゴンを含むキャリアガス２０３を用いてＣＶＤを行うと、タングステンを含む第２層３２を、第１層３１上に形成することができる。第２層３２は、酸素を含まないため、第１層３１よりも低抵抗である。導電膜３０全体の抵抗を低減するために、第２層３２は、第１層３１よりも厚いことが望ましい。
本実施形態によれば、酸素を含んだ第１層３１を酸化膜２０上に形成することによって、酸化膜２０と導電膜３０との密着性を高めることができる。さらに、不純物の少ない第２層３２を第１層３１上に形成することによって、導電膜３０の抵抗を低減することができる。これにより、密着性と低抵抗を両立した導電膜３０を実現することができる。
なお、本実施形態では、第１層３１に含まれる金属が、第２層３２に含まれる金属と同種であるが、各層に含まれる金属は異種であってもよい。例えば、第１層３１にモリブデンを用いて、第２層３２にタングステンを用いた構造であってもよい。この場合も、密着性と低抵抗を両立することができる。また、第２層３２は酸素を含まない層として説明したが、第１層３１よりも酸素濃度が低くなるように形成すれば、第２層３２が酸素を含まない場合と同様な効果を有することができる。
(第３実施形態)
図６は、第３実施形態に係る半導体装置の要部の構造を示す断面図である。図６に示す半導体装置３は、ワードラインが積層された三次元半導体メモリである。半導体装置３では、複数の酸化膜２０および複数の導電膜３０が、基板１０上で交互に積層されている。各導電膜３０は、ワードラインとして機能する。
第３実施形態の各導電膜３０を形成する際、まず、基板１０上に酸化膜２０と犠牲膜が交互に積層される。犠牲膜は、例えば窒化シリコン（ＳｉＮ）膜である。犠牲膜は、後述するメモリ素子膜４０の形成後、例えばリン酸を含む薬液によって除去される。犠牲膜の除去によって酸化膜２０の間には、空洞が形成される。この空洞には、各導電膜３０が上述した第１実施形態または第２実施形態で説明した方法で形成される。
メモリ素子膜４０は酸化膜２０および上記犠牲膜からなる積層体を貫通するホール内に形成される。このホールの外周部に電荷ブロック膜４１が形成される。電荷ブロック膜４１の内側に電荷蓄積膜４２が形成される。電荷蓄積膜４２の内側にトンネル絶縁膜４３が形成される。トンネル絶縁膜４３の内側にチャネル膜４４が形成される。チャネル膜４４の内側にコア膜４５が形成される。
電荷ブロック膜４１、トンネル絶縁膜４３およびコア膜４５は、例えば酸化シリコン膜である。電荷蓄積膜４２は、例えば窒化シリコン膜（ＳｉＮ）である。チャネル膜４４は、例えばポリシリコン膜である。
本実施形態では、導電膜３０は、上述した第１実施形態または第２実施形態で説明した方法で形成されるため、酸素を含んでいる。この酸素によって、酸化膜２０と導電膜３０との密着性が向上するので、高抵抗な金属窒化物は不要となる。よって、酸化膜２０と導電膜３０との密着性を高めつつ、導電膜の抵抗を低減することが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
１〜３：半導体装置、１０：基板、２０：酸化膜、３０：導電膜、３１：第１層、３２：第２層

Claims (10)

  1. 第１原子を含む酸化膜と、
    前記酸化膜上に設けられ、金属原子および酸素原子を含み、導電性を有する導電膜と、を備え、
    前記導電膜における前記酸素原子の体積密度が、５．００×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満である、半導体装置。
  2. 第１原子を含む酸化膜と、
    前記酸化膜上に設けられ、金属原子および酸素原子を含み、導電性を有する導電膜と、を備え、
    前記導電膜における前記酸素原子の体積密度が、１．０×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である、半導体装置。
  3. 前記酸化膜と前記導電膜との界面で、前記金属原子が前記酸素原子を介して前記第１原子と結合している、請求項１または２に記載の半導体装置。
  4. 前記導電膜に含まれる金属原子と酸素原子との結合エネルギーは、前記酸化膜における酸素原子と前記第１原子との結合エネルギーよりも小さい、請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体装置。
  5. 前記導電膜上に、前記金属原子と同種かまたは異種の金属原子を含み、前記導電膜よりも酸素濃度の低い膜をさらに備える、請求項１または２に記載の半導体装置。
  6. 前記金属原子が、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、タンタル（Ｔａ）、またはニオブ（Ｎｂ）である、請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体装置。
  7. 基板上に第１原子を含む酸化膜を形成し、
    金属原子を含む材料ガスと、前記金属原子を還元する還元ガスと、前記材料ガスを前記基板へ導入するキャリアガスと、を用いて前記酸化膜上に導電膜を形成する半導体装置の製造方法であって、
    前記材料ガス、前記還元ガス、および前記キャリアガスの少なくとも１つが酸素原子を含み、
    前記導電膜を形成するときの前記基板の温度を、前記金属原子と前記酸素原子とが結合した金属酸化物の昇華温度よりも高く設定する、半導体装置の製造方法。
  8. 前記酸化膜に接触し、前記金属原子および前記酸素原子を含む第１層と、前記第１層に積層され、前記金属原子と同じかまたは異なる金属原子を含み、前記導電膜よりも酸素濃度の低い第２層と、を前記導電膜として形成する、請求項７に記載の半導体装置の製造方法。
  9. 前記金属原子が、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、タンタル（Ｔａ）、またはニオブ（Ｎｂ）である、請求項７または８に記載の半導体装置の製造方法。
  10. タングステン化合物を含む前記材料ガスと、水素（Ｈ２）、二酸化窒素（ＮＯ２）、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）、一酸化炭素（ＣＯ）、酸素（Ｏ２）、またはオゾン（Ｏ３）を含む前記還元ガスと、アルゴン（Ａｒ）、窒素（Ｎ２）、または二酸化炭素（ＣＯ２）を含む前記キャリアガスのうち、少なくとも１つが酸素原子を含む組合せで前記導電膜を形成する、請求項７または８に記載の半導体装置の製造方法。
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